JP2017087150A - Ｖｏｃ処理システム - Google Patents

Abstract

【課題】本願は、ＶＯＣを取り扱う設備を停止して当該設備内を換気する場合に、系外へ放出されるＶＯＣの放出量を可及的に抑制するＶＯＣ処理システムを提供することを課題とする。【解決手段】ＶＯＣを取り扱う設備で気化したＶＯＣを回収するＶＯＣ処理システムであって、設備から吸着ロータの吸着ゾーンを通って再び設備へ戻る気体の循環経路である第１循環経路を形成する主吸着回収部と、吸着ロータの脱着ゾーンから冷却器を通って吸着ロータの冷却ゾーンへ至り、加熱器を通って再び脱着ゾーンへ戻る気体の循環経路である第２循環経路を形成する凝縮回収部と、第１循環経路と第２循環経路のうち少なくとも何れかの循環経路または該循環経路と連通する経路に設けられる吸着剤を有しており、設備の停止により冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に吸着剤で何れかの循環経路の気体中のＶＯＣを吸着回収する副吸着回収部と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、ＶＯＣ処理システムに関する。

近年、ＶＯＣ（Volatile Organic Compounds：揮発性有機化合物）が各種の製造現場で取り扱われている。例えば、粘着テープや各種フィルムの製造設備、大量の印刷物を取り扱う産業用の印刷設備では、排気に含まれるＶＯＣが燃焼法や吸着回収法など様々な手段で処理され、所定のＶＯＣ濃度まで下げられてから系外に排出されている。設備の排気を浄化するシステムとしては、各種のものが提案されている（例えば、特許文献１−３を参照）。

特開２００７−３０１４８０号公報 特開２０００−８４３４０号公報 特開平１１−９０１７７号公報

ＶＯＣを取り扱う設備で気化したＶＯＣを処理するシステムの一種に、当該設備から排気される気体を吸着ロータに通気して吸着剤にＶＯＣを吸着させ、浄化した気体を再び当該設備へ供給するシステムがある。このようなシステムには、吸着ロータの吸着性能を維持するために、吸着ロータに吸着されたＶＯＣを脱着する再生設備が設けられる。そして、この再生設備を、吸着ロータを加熱して脱着させたＶＯＣの蒸気を冷却器で凝縮させる閉ループの循環経路で形成すれば、運転中の設備で気化したＶＯＣを溶液溶剤として連続的に凝縮回収し、ＶＯＣを系外へ排出させないシステムが理論的には実現可能である。これにより、近年高まっている環境保全・省エネ・省資源化のニーズに対応することができる。

しかし、上記のシステムでは、再生設備の循環経路を循環する気体中のＶＯＣ濃度が、低温の冷却器で凝縮させることが可能な濃度に達しないと凝縮回収が行われない。よって、ＶＯＣを取り扱う設備の運転が停止すると、吸着ロータに吸着されるＶＯＣが減り、吸着ロータを再生する循環経路のＶＯＣ濃度も徐々に低下し、再生設備の冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなったタイミングでＶＯＣ濃度が均衡する。よって、ＶＯＣを排出する製造設備のＶＯＣ濃度が、人が立ち入ることが可能な濃度を超えた状態（例えば、２００ｐｐｍ）で均衡している場合、ＶＯＣを取り扱う設備内を換気することになり、ＶＯＣが不可避的に系外へ放出されてしまう。

そこで、本願は、ＶＯＣを取り扱う設備を停止して当該設備内を換気する場合に、系外へ放出されるＶＯＣの放出量を可及的に抑制するＶＯＣ処理システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するため、本発明では、ＶＯＣを取り扱う設備の運転中にＶＯＣを吸着する吸着ロータとは別に、ＶＯＣを取り扱う設備が停止中にＶＯＣを吸着回収させる吸着剤を設けることにした。

詳細には、ＶＯＣを取り扱う設備で気化したＶＯＣを回収するＶＯＣ処理システムであって、前記設備から吸着ロータの吸着ゾーンを通って再び前記設備へ戻る気体の循環経路である第１循環経路を形成する主吸着回収部と、吸着ロータの脱着ゾーンから冷却器を通って吸着ロータの冷却ゾーンへ至り、加熱器を通って再び脱着ゾーンへ戻る気体の循環経路である第２循環経路を形成する凝縮回収部と、第１循環経路と第２循環経路のうち少なくとも何れかの循環経路または該循環経路と連通する経路に設けられる吸着剤を有しており、前記設備の停止により冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に前記吸着剤で何れかの循環経路の気体中のＶＯＣを吸着回収する副吸着回収部と、を備える。

上記のＶＯＣ処理システムであれば、ＶＯＣを取り扱う設備の停止によって当該設備からのＶＯＣの排出が減り、吸着ロータを再生する凝縮回収部の冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなった場合であっても、吸着ロータとは別に設けられた吸着剤によって残留ＶＯＣの吸着が行われる。このため、ＶＯＣを取り扱う設備が停止した後、吸着ロータを再生する循環経路のＶＯＣ濃度が徐々に低下し、冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなってＶＯＣ濃度が均衡しても、吸着ロータとは別に設けられた吸着剤によって残留ＶＯＣの吸着が行われ、ＶＯＣを取り扱う設備のＶＯＣ濃度を更に低下させることができる。よって、ＶＯＣを取り扱う設備を停止して当該設備内を換気する場合に、系外へ放出されるＶＯＣの放出量が可及的に抑制される。

なお、副吸着回収部は、吸着剤を第２循環経路に有し、設備が運転状態の場合には第２循環経路において吸着剤をバイパスし、設備の停止により冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に吸着剤を通気するものであってもよい。また、副吸着回収部は、吸着剤を第１循環経路に有し、設備が運転状態の場合には第１循環経路において吸着剤をバイパスし、設備の停止により冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に吸着剤を通気するものであってもよい。ＶＯＣ処理システムがこのように構成されていれば、設備が運転状態にある場合は吸着剤がバイパスされるので、当該吸着剤にＶＯＣが吸着されて飽和状態に至らないようにすることができ、設備停止後の吸着剤の通気に備えることができる。

また、副吸着回収部は、吸着剤を第１循環経路に有し、設備が停止すると吸着剤を加熱して該吸着剤の再生を開始し、該吸着剤の再生開始後に冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなると該吸着剤の加熱を停止して該吸着剤の通気を行うものであってもよい。ＶＯＣ処理システムがこのように構成されていれば、吸着ロータとは別に設けた吸着剤の通気状態を変更するためのダンパ等の流路切替手段が無くても、ＶＯＣを取り扱う設備が停止し更に冷却器における凝縮回収が無くなった後に、残留ＶＯＣを吸着剤に吸着させることができる。

また、第１循環経路には、吸着剤における吸着中に吸着ロータの吸着ゾーンをバイパスする経路が備わっていてもよい。吸着剤が第１循環経路に設けられている場合に、吸着剤における吸着中に吸着ロータの吸着ゾーンをバイパスする経路が設けられていれば、吸着剤による残留ＶＯＣの吸着中に吸着ロータが通気されないので、吸着ロータに吸着されているＶＯＣが脱着して吸着剤によるＶＯＣ濃度の低下を妨げることがない。

また、設備にはドライヤが併設されており、副吸着回収部は、設備が停止すると吸着剤をドライヤの排気で加熱して該吸着剤の再生を開始し、該吸着剤の再生開始後に冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなるとドライヤによる該吸着剤の加熱を停止して該吸着剤の通気を行うものであってもよい。吸着剤の再生にドライヤの熱を用いれば、吸着剤を再生するための熱源を省略することができる。

また、吸着剤は、設備で取り扱うＶＯＣの種類に応じて複数並列に設けられるものであってもよい。設備で取り扱うＶＯＣの種類に応じて吸着剤が複数並列に設けられていれば
、凝縮回収される溶剤溶液に様々な種類のＶＯＣが混ざらないようにすることができる。

上記のＶＯＣ処理システムであれば、ＶＯＣを取り扱う設備を停止して当該設備内を換気する場合に放出されるＶＯＣの放出量を可及的に抑制することができる。

図１は、第１実施形態のＶＯＣ処理システムを示した図である。 図２は、吸着ロータの各区画を示した図である。 図３は、ドライヤが停止中の場合の第１実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図４は、吸着剤が再生される場合の第１実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図５は、比較例のＶＯＣ処理システムを示した図である。 図６は、第２実施形態のＶＯＣ処理システムを示した図である。 図７は、ドライヤが停止中の場合の第２実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図８は、吸着剤が再生される場合の第２実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図９は、第３実施形態のＶＯＣ処理システムを示した図である。 図１０は、生産設備が停止状態に移行して新たなＶＯＣの発生が止まった場合の第３実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図１１は、ドライヤを止めた場合の第３実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図１２は、第２循環経路における循環を停止した場合の第３実施形態のＶＯＣ処理システムの状態図である。 図１３は、第３実施形態のＶＯＣ処理システムを変形した第１の変形例である。 図１４は、第３実施形態のＶＯＣ処理システムを変形した第２の変形例である。 図１５は、第１実施形態に係るＶＯＣ処理システムの変形例を示した図である。 図１６は、第２実施形態に係るＶＯＣ処理システムに、吸着ゾーンをバイパスする経路を設けたものを示した図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。以下に示す実施形態は、本発明の一例であり、本発明の技術的範囲を以下の実施形態に限定するものではない。

＜第１実施形態＞
図１は、第１実施形態のＶＯＣ処理システムを示した図である。第１実施形態のＶＯＣ処理システム１は、図１に示すように、ＶＯＣを塗布した被塗布物を乾燥させるドライヤ（本願でいう「設備」の一例である）２で発生するＶＯＣの蒸気を回収するシステムであり、ドライヤ２から吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１を通って再びドライヤ２へ戻る気体の循環経路である第１循環経路１１を形成する主吸着回収部１０と、吸着ロータ１２の脱着ゾーン１２Ｚ２から冷却器２３を通って吸着ロータ１２の冷却ゾーン１２Ｚ３へ至り、吸着ロータ用加熱器２２を通って再び脱着ゾーン１２Ｚ２へ戻る気体の循環経路である第２循環経路２１を形成する凝縮回収部２０と、を備える。第１循環経路１１および第２循環経路２１を循環する気体の成分は特に限定されないが、例えば、単なる空気、或いは窒素ガス等の化学的に安定な不活性ガスが好適である。ＶＯＣを塗布した被塗布物を乾
燥させるドライヤ２としては、例えば、ＶＯＣとして酢酸エチルを排出する粘着テープ生産設備が挙げられる。また、第１実施形態のＶＯＣ処理システム１を適用可能な設備としては、ドライヤ２に代えて、例えば、ＶＯＣを単に塗布するだけで加熱しない塗装設備、閉鎖空間ないし密閉空間内に併設された塗装設備およびドライヤからなる設備群、その他の各種設備を挙げることができる。ＶＯＣを塗布する対象物としては、例えば、自動車等が挙げられる。

第１循環経路１１には、ドライヤ２内の気体を吸引し、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１へ送風する主循環ファン１３が備わっている。また、第１循環経路１１には、主循環ファン１３から送風されて吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１へ流入する気体と、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１から流出して再びドライヤ２内へ戻る気体との間で熱交換を行う主循環系再生熱交換器１４が備わっている。

第２循環経路２１には、脱着ゾーン１２Ｚ２へ気体を送風する凝縮回収系第１循環ファン２４と、凝縮回収系第１循環ファン２４から吸着ロータ１２の脱着ゾーン１２Ｚ２へ流れる気体を加熱する吸着ロータ用加熱器２２と、吸着ロータ１２の脱着ゾーン１２Ｚ２を通過した気体を冷却する冷却器２３と、冷却器２３を通過した気体を吸着ロータ１２の冷却ゾーン１２Ｚ３へ送風する凝縮回収系第２循環ファン２５が備わっている。吸着ロータ１２の冷却ゾーン１２Ｚ３を通過した気体は、凝縮回収系第１循環ファン２４へ流れる。また、第２循環経路２１には、吸着ロータ１２の脱着ゾーン１２Ｚ２から冷却器２３へ流れる気体と、冷却器２３から凝縮回収系第２循環ファン２５へ流れる気体との間で熱交換を行う凝縮回収系再生熱交換器２６が備わっている。なお、冷却器２３には、図示しないドレンパンが備わっており、冷却器２３から滴下する凝縮したＶＯＣをドレンパンで受けてＶＯＣを回収できるようになっている。吸着ロータ用加熱器２２は、ＶＯＣを排出する生産設備の余熱を熱源としてもよいし、電気ヒータの熱を熱源としてもよい。

冷却器２３から凝縮回収系再生熱交換器２６へ至る経路の途中には、経路を遮断する第１ダンパ３１Ｄ１が設けられている。そして、冷却器２３から凝縮回収系再生熱交換器２６へ至る経路には、第１ダンパ３１Ｄ１をバイパスするバイパス経路３２が設けられている。このバイパス経路３２には、バイパス経路３２を遮断する第２ダンパ３１Ｄ２、及び、当該第２ダンパ３１Ｄ２の下流側に位置する吸着剤３０（本願でいう「吸着回収部」の一例である）が設けられている。また、第２ダンパ３１Ｄ２と吸着剤３０との間を繋ぐ経路には、吸着ロータ用加熱器２２から脱着ゾーン１２Ｚ２へ至る経路の途中から分岐する分岐経路３３が繋がっている。分岐経路３３には、分岐経路３３を遮断する第３ダンパ３１Ｄ３が設けられている。

吸着剤３０としては、例えば、活性炭、ゼオライト、疎水処理したシリカゲル等を適用可能である。吸着剤３０の必要最低量は、吸着剤３０による吸着が行われる際の第１循環経路１１および第２循環経路２１のＶＯＣ濃度と各循環経路の容積によって定まる。例えば、吸着剤３０の必要最低量は、第１循環経路１１の平均ＶＯＣ濃度に第１循環経路１１の容積を乗算した値と、第２循環経路２１の平均ＶＯＣ濃度に第２循環経路２１の容積を乗算した値とを合算した値（＝第１循環経路１１の平均ＶＯＣ濃度×同容積＋第２循環経路２１の平均ＶＯＣ濃度×同容積）である。

図２は、吸着ロータ１２の各区画を示した図である。吸着ロータ１２は、円筒状の部材の内部に合成ゼオライトやシリカゲル等を主成分とする吸着剤を担持しており、内部を軸方向に沿って気体が流れるように構成されている。吸着ロータ１２の両端面には図示しないセクション分割カセットが配置されており、このカセットによって吸着ロータ１２の気体の通過域が少なくとも３つのセクションに区画される。吸着ロータ１２は、このセクション分割カセットと相対的に回転可能なようになっており、このカセットによって吸着ロ
ータ１２に吸着ゾーン１２Ｚ１と脱着ゾーン１２Ｚ２と冷却ゾーン１２Ｚ３が形成される。なお、吸着ロータ１２は、３つの領域に区画されるものに限定されるものでなく、例えば、パージ領域や予熱領域が更に区画されていてもよい。吸着ロータ１２が図示しないモータ等の駆動装置によって回転駆動されることにより、吸着ロータ１２の特定の領域に担持されている吸着剤が吸着状態、脱着状態、冷却状態の順に状態遷移する。

このように構成されるＶＯＣ処理システム１では、以下のような運転状態が実現される。

例えば、ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム１では、図１に示されるように、主循環ファン１３が回転している。これにより、第１循環経路１１では、ドライヤ２内から吸引された気体が吸着ゾーン１２Ｚ１を通過し、再びドライヤ２内へ戻る循環流が生ずる。そして、ドライヤ２内で気化したＶＯＣは、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着される。例えば、ドライヤ２から約４０００ｐｐｍの酢酸エチルの気体が吸着ゾーン１２Ｚ１へ流入すると、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１において酢酸エチルが吸着され、吸着ゾーン１２Ｚ１を通過した気体に残留する酢酸エチルが１０００ｐｐｍ程度にまで吸着除去され、再びドライヤ２へ送られる。

また、ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム１では、第１ダンパ３１Ｄ１が開かれ、第２ダンパ３１Ｄ２と第３ダンパ３１Ｄ３が閉じられており、冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２が作動状態にあり、凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５が回転している。このため、第２循環経路２１では、吸着ロータ用加熱器２２で加熱された気体が脱着ゾーン１２Ｚ２を通過する。よって、吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着されたＶＯＣは、脱着ゾーン１２Ｚ２において吸着ロータ１２から脱着し、第２循環経路２１を循環する気体に乗って冷却器２３へ送られる。吸着ロータ１２から脱着して冷却器２３へ送られたＶＯＣの蒸気は、冷却器２３の外表面において凝縮し、冷却器２３に備わっているドレンパンに滴下して溶液溶剤として回収される。冷却器２３の外表面におけるＶＯＣの凝縮によってＶＯＣが除去された気体は、冷却ゾーン１２Ｚ３を通過した後に再び吸着ロータ用加熱器２２を通って加熱され、再び脱着ゾーン１２Ｚ２へ流れる。酢酸エチルの飽和蒸気圧濃度は−３０℃の場合に約４２００ｐｐｍなので、例えば、冷却器２３を−３０℃にしておけば、脱着ゾーン１２Ｚ２を通過した気体に酢酸エチルが約２８０００ｐｐｍ含まれる場合であっても、冷却器２３の外表面において酢酸エチルが凝縮され、冷却器２３を通過した気体に残留する酢酸エチルが４２００ｐｐｍ程度にまで凝縮除去され、冷却ゾーン１２Ｚ３へ送られる。

ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム１では、上記のような運転状態が保たれることにより、ドライヤ２内で気化したＶＯＣが系外へ漏れることなく連続的に回収される。

図３は、ドライヤ２が停止中の場合の第１実施形態のＶＯＣ処理システム１の状態図である。生産設備の停止により、ドライヤ２で新たなＶＯＣの発生が無くなると、第１循環経路１１や第２循環経路２１を循環する気体のＶＯＣ濃度が低下していく。そして、冷却器２３の冷却温度によって一義的に決まるＶＯＣ濃度に達した時点で、冷却器２３におけるＶＯＣの凝縮回収ができなくなり、第１循環経路１１や第２循環経路２１を循環する気体のＶＯＣ濃度は平衡濃度になる。冷却器２３が約−３０℃で凝縮回収を行う装置であり、ＶＯＣが酢酸エチルの場合、第２循環経路２１を循環する気体のＶＯＣ濃度は約４２００ｐｐｍで平衡状態になる。また、第１循環経路１１を循環する気体のＶＯＣ濃度は、吸着ロータの性能や循環経路の容量等にもよるが、例えば、約３００ｐｐｍで平衡状態になる。

そこで、ＶＯＣ処理システム１では、ドライヤ２の停止中、図３に示されるように、主
循環ファン１３が回転している。これにより、第１循環経路１１では、ドライヤ２内から吸引された気体が吸着ゾーン１２Ｚ１を通過し、再びドライヤ２内へ戻る循環流が生じ、第１循環経路１１に残留するＶＯＣが吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着される。そして、ＶＯＣ処理システム１では、ドライヤ２の停止中、第１ダンパ３１Ｄ１が閉じられ、第２ダンパ３１Ｄ２が開かれ、第３ダンパ３１Ｄ３が閉じられており、冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２が作動状態にあり、凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５が回転している。このため、第２循環経路２１では、吸着ロータ用加熱器２２で加熱された気体が脱着ゾーン１２Ｚ２を通過する。よって、吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着されたＶＯＣは、脱着ゾーン１２Ｚ２において吸着ロータ１２から脱着し、第２循環経路２１を循環する気体に乗って冷却器２３へ送られる。吸着ロータ１２から脱着して冷却器２３へ送られ、冷却器２３におけるＶＯＣの凝縮によって除去し切れなかった残留ＶＯＣを含む気体は、吸着剤３０を通過する過程で残留ＶＯＣが除去され、その後、冷却ゾーン１２Ｚ３を通過した後に再び吸着ロータ用加熱器２２を通って加熱され、再び脱着ゾーン１２Ｚ２へ流れる。

例えば、第２循環経路２１を循環する気体が、ＶＯＣ濃度が４２００ｐｐｍで平衡状態に達した後に、図３に示した上記の系統構成が行われて吸着剤３０による吸着が行われると、吸着剤３０の性能にもよるが、吸着剤３０を通過した気体のＶＯＣ濃度を３０ｐｐｍ程度にまで下げることができる。ＶＯＣ濃度が３０ｐｐｍ程度にまで低下した気体が冷却ゾーン１２Ｚ３を通過し、吸着ロータ用加熱器２２で加熱されて脱着ゾーン１２Ｚ２を通過することにより、吸着ロータ１２に吸着されていたＶＯＣが脱着し、吸着ロータ１２の再生が行われる。よって、ＶＯＣ濃度が約３００ｐｐｍで平衡状態にあった第１循環経路１１の気体は、吸着ゾーン１２Ｚ１を通過する際にＶＯＣが更に吸着され、ドライヤ２から吸着ゾーン１２Ｚ１へ流れる気体のＶＯＣ濃度が更に低下していく。例えば、人が立ち入る作業環境としての管理濃度が２００ｐｐｍであり、製造設備内のＶＯＣ濃度の目標値が１００ｐｐｍ程度に設定されている場合、ドライヤ２から吸着ゾーン１２Ｚ１へ流れる気体のＶＯＣ濃度が１００ｐｐｍにまで低下したところで、図３に示した上記の系統構成によるＶＯＣ処理システム１の運転を停止する。これにより、製造設備内のＶＯＣ濃度が可及的に抑制された状態になる。なお、製造設備内のＶＯＣ濃度の目標値が高ければ系外に漏洩するＶＯＣの量が増加するし、製造設備内のＶＯＣ濃度の目標値が低ければＶＯＣ処理システム１の運転時間が長くなるので、製造設備内のＶＯＣ濃度の目標値は、これらを総合的に勘案して決定される。

ドライヤ２の停止中、ＶＯＣ処理システム１で上記のような運転を行うことにより、停止状態にあるドライヤ２内に残留するＶＯＣ濃度を可及的に低下させることができる。よって、例えば、ドライヤ２内へ人が立ち入るような場合に、ドライヤ２内に残留するＶＯＣの濃度を一時的に低減することで、ドライヤ２内が系外と繋がった場合でもドライヤ２内に残留するＶＯＣの系外への放出量が可及的に抑制される。

なお、吸着剤３０は、以下のようにして再生される。図４は、吸着剤３０が再生される場合の第１実施形態のＶＯＣ処理システム１の状態図である。吸着剤３０は、ドライヤ２の運転開始前に再生される。すなわち、ＶＯＣ処理システム１では、図４に示されるように、第１ダンパ３１Ｄ１が開かれ、第２ダンパ３１Ｄ２が閉じられ、第３ダンパ３１Ｄ３が開かれており、冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２が作動状態にあり、凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５が回転している。吸着ロータ１２は回転し続けている。そして、第２循環経路２１では、吸着ロータ用加熱器２２で加熱された気体が分岐経路３３を経て吸着剤３０へ流れ、吸着剤３０が加熱される。吸着剤３０に吸着されていたＶＯＣは高温に晒されて吸着剤３０から脱着する。吸着剤３０を通過した気体は、吸着剤３０から脱着したＶＯＣを含んで状態で第２循環経路２１へ合流する。第２循環経路２１では、吸着ロータ用加熱器２２で加熱された気体が脱着ゾーン１２Ｚ２を通
過した後に冷却器２３を通り、冷却ゾーン１２Ｚ３を経て再び吸着ロータ用加熱器２２へ流れるという循環流が形成されているため、分岐経路３３から再び第２循環経路２１へ合流した気体に含まれている吸着剤３０から脱着したＶＯＣは、第２循環経路２１を循環する気体のＶＯＣ蒸気の濃度が、冷却器２３の温度における飽和蒸気濃度以上であれば冷却器２３の外表面において凝縮するし、冷却器２３の温度における飽和蒸気濃度未満であれば冷却器２３の外表面において凝縮することなくそのまま循環し続ける。吸着剤３０の再生が完了したら第３ダンパ３１Ｄ３を閉じて吸着剤３０の通気を停止し、ＶＯＣ処理システム１を定常運転状態に移行させる。

図５は、比較例のＶＯＣ処理システムを示した図である。比較例のＶＯＣ処理システム３０１は、図５に示すように、第１実施形態のＶＯＣ処理システム１からバイパス経路３２や吸着剤３０を省略したものであり、その他の構成については同様である。ＶＯＣの大気中への排出量を極限まで削減することを目指したシステムとして、例えば、図５に示すように、ドライヤ２の排気からＶＯＣを除去してドライヤ２へ再び全量戻すシステムが考えられる。このＶＯＣ処理システム３０１では、ドライヤ２における乾燥工程で発生するＶＯＣ蒸気を吸着ロータ１２で吸着すると共に、吸着したＶＯＣを高温にして脱着させることでＶＯＣ濃度を高濃度化し、冷却器２３における冷却により凝縮させて溶液として回収するものである。しかし、ドライヤ２の停止後は、ドライヤ２の排気中のＶＯＣ濃度の低下に伴い、冷却器２３を通過する気体中のＶＯＣ濃度も低下し、冷却凝縮出来なくなる。凝縮回収出来なくなるＶＯＣ濃度は、ＶＯＣの種類、冷却温度で異なるが、高いものは数千ｐｐｍのレベルになると共に、ドライヤ２の排気中のＶＯＣの新たな吸着ができなくなる（吸着平衡状態）。例えば、その濃度は３００ｐｐｍで、ドライヤ２の停止後、ドライヤ２内に作業者が入って作業するに適した環境基準濃度より高くなる。このように、ＶＯＣを濃縮して冷却凝縮により溶剤回収する手段を適用し、処理した気体を全量戻すシステムにおいては、処理した気体のＶＯＣ濃度下限値は作業環境許容濃度より高くなっており、作業のために作業者が立ち入るには、残存するＶＯＣを系外に排気することで新鮮外気を取り入れる処置が必要となる。この場合、数百ｐｐｍのＶＯＣを少なくとも製造環境容積分だけ屋外に排出することになる。

この点、上記第１実施形態に係るＶＯＣ処理システム１であれば、冷却凝縮により下げられないＶＯＣ濃度を、吸着剤３０に一時的に吸着させることで、ＶＯＣの系外への排出量を可及的に抑制できる。すなわち、上記第１実施形態に係るＶＯＣ処理システム１であれば、冷却器２３の外表面において冷却凝縮できないレベルのＶＯＣ濃度に達した後、通常運転中は通気していない吸着剤３０に通気させることで、ＶＯＣが吸着され、気中のＶＯＣ濃度が低下する。吸着剤３０に吸着されたＶＯＣは、次回のドライヤ２の起動時に、吸着ロータ１２の再生用の昇温された気体の一部を当該吸着剤３０に通気することで脱離され、ドライヤ２において発生する新たなＶＯＣと共に、冷却器２３における通常の冷却凝縮により回収できる。

なお、上記に示したＶＯＣ濃度等の具体的な数値は、吸着ロータ１２のサイズや回転数、処理風速、脱着温度、冷却温度、ドライヤ２から排気されるＶＯＣの濃度などによって変動するものであり、本願で開示する発明の技術的範囲を上記の具体的な数値の形態に限定するものではない。

また、上記第１実施形態では、吸着ロータ１２の脱着ゾーン１２Ｚ２へ加熱した気体を送る吸着ロータ用加熱器２２の熱で吸着剤３０を再生していたが、例えば、吸着剤３０の再生用に単独で用意した加熱手段を吸着剤３０の上流側に設けてもよい。

ところで、上記第１実施形態では、ＶＯＣを吸着剤３０に速やかに吸着させるために、吸着剤３０を冷却器２３の下流側に設けられたバイパス経路３２に備えていたが、吸着剤
３０を再生させるための高温の気体を供給できる箇所であれば、第１循環経路１１と第２循環経路２１の何れの経路上にあってもよい。以下、吸着剤３０の位置を変更したその他の形態について説明する。

＜第２実施形態＞
図６は、第２実施形態のＶＯＣ処理システムを示した図である。第２実施形態のＶＯＣ処理システム１０１は、第１実施形態のＶＯＣ処理システム１において、第２循環経路２１に設けられていた吸着剤３０を第１循環経路１１に置き換えたものである。よって、第１実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

すなわち、主吸着回収部１１０の第１循環経路１１１には、主循環ファン１３や主循環系再生熱交換器１４が備わっている。また、第１循環経路１１１には、主循環ファン１３から主循環系再生熱交換器１４へ至る経路の途中に当該経路を遮断する第１ダンパ１３１Ｄ１が設けられている。そして、主循環ファン１３から主循環系再生熱交換器１４へ至る経路には、第１ダンパ１３１Ｄ１をバイパスするバイパス経路１３２が設けられている。このバイパス経路１３２には、バイパス経路１３２を遮断する第２ダンパ１３１Ｄ２、及び、第２ダンパ１３１Ｄ２の下流側に位置する吸着剤１３０が設けられている。また、第２ダンパ１３１Ｄ２から吸着剤１３０へ至る経路の途中には吸着剤用加熱器１３４が設けられている。そして、凝縮回収部１２０は、第１実施形態の凝縮回収部２０に備わっていた吸着剤３０やバイパス経路３２に相当するものが省略されている。

このように構成されるＶＯＣ処理システム１０１では、以下のような運転状態が実現される。

例えば、ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム１０１では、図６に示されるように、第１ダンパ１３１Ｄ１が開かれ、第２ダンパ１３１Ｄ２が閉じられており、冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２が作動状態にあり、主循環ファン１３と凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５が回転している。これにより、第１循環経路１１１では、ドライヤ２内から吸引された気体が吸着ゾーン１２Ｚ１を通過し、再びドライヤ２内へ戻る循環流が生ずる。そして、ドライヤ２内で気化したＶＯＣは、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着される。また、第２循環経路１２１では、吸着ロータ用加熱器２２で加熱された気体によって吸着ロータ１２から脱着したＶＯＣが冷却器２３へ送られて凝縮し、冷却器２３に備わっているドレンパンに滴下して溶液溶剤として回収される。ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム１０１では、このような運転状態が保たれることにより、ドライヤ２内で気化したＶＯＣが系外へ漏れることなく全て回収される。

図７は、ドライヤ２が停止中の場合の第２実施形態のＶＯＣ処理システム１０１の状態図である。生産設備の停止により、ドライヤ２で新たなＶＯＣの発生が無くなると、第１循環経路１１１や第２循環経路１２１を循環する気体のＶＯＣ濃度が低下していく。そして、冷却器２３の冷却温度によって一義的に決まるＶＯＣ濃度に達した時点で、冷却器２３におけるＶＯＣの凝縮回収ができなくなり、第１循環経路１１１や第２循環経路１２１を循環する気体のＶＯＣ濃度は平衡濃度になる。

そこで、ＶＯＣ処理システム１０１では、ドライヤ２が停止され、第１循環経路１１１や第２循環経路１２１を循環する気体のＶＯＣ濃度が平衡濃度に達した後、図７に示されるように、第１ダンパ１３１Ｄ１が閉じられ、第２ダンパ１３１Ｄ２が開かれる。吸着剤用加熱器１３４は停止したままの状態であり、主循環ファン１３は作動したままの状態である。第２循環経路１２１に備わっている冷却器２３や吸着ロータ用加熱器２２、凝縮回収系第１循環ファン２４、凝縮回収系第２循環ファン２５は停止され、吸着ロータ１２の回転も停止される。これにより、第１循環経路１１１では、ドライヤ２内から吸引された
気体が吸着剤１３０を通過し、再びドライヤ２内へ戻る循環流が生ずる。そして、第１循環経路１１に残留するＶＯＣは、吸着剤１３０に吸着される。

ドライヤ２の停止中、ＶＯＣ処理システム１０１では、上記のような運転が行われることにより、停止状態にあるドライヤ２内に残留するＶＯＣが可及的に除去される。よって、ドライヤ２内へ人が立ち入るような場合に、ドライヤ２内に残留するＶＯＣの濃度を例えば一時的に１００ｐｐｍ程度に低減することで、ドライヤ２内が系外と繋がった場合でもドライヤ２内に残留するＶＯＣの系外への放出量が可及的に抑制される。

なお、吸着剤１３０は、以下のようにして再生される。図８は、吸着剤１３０が再生される場合の第２実施形態のＶＯＣ処理システム１０１の状態図である。吸着剤１３０は、ドライヤ２の運転開始前に再生される。すなわち、ＶＯＣ処理システム１０１では、図８に示されるように、第１ダンパ１３１Ｄ１が閉じられ、第２ダンパ１３１Ｄ２が開かれた状態のまま、吸着剤用加熱器１３４が起動（電気ヒータであれば通電）される。また、凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５が起動され、冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２が動作状態に移行される。これにより、第１循環経路１１１では、吸着剤用加熱器１３４で加熱された気体が吸着剤１３０へ流れ、吸着剤１３０が加熱される。吸着剤１３０に吸着されていたＶＯＣは高温に晒されて吸着剤１３０から脱着する。吸着剤１３０を通過した気体は、吸着剤１３０から脱着したＶＯＣを含んで状態で吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１へ吸着される。第２循環経路２１では、吸着ロータ１２に吸着されたＶＯＣが脱着され、冷却器２３において凝縮回収されているため、吸着剤１３０に吸着されていたＶＯＣは冷却器２３において溶液溶剤となって回収される。吸着剤１３０の再生が完了したら、吸着剤用加熱器１３４を停止（電気ヒータであれば通電の停止）し、第１ダンパ１３１Ｄ１を開いて第２ダンパ１３１Ｄ２を閉じ、ＶＯＣ処理システム１０１を定常運転状態に移行させる。

上記第２実施形態に係るＶＯＣ処理システム１０１も第１実施形態のＶＯＣ処理システム１と同様、冷却凝縮により下げられないＶＯＣ濃度を、吸着剤１３０に一時的に吸着させることで、ＶＯＣの系外への排出量を可及的に抑制できる。

＜第３実施形態＞
図９は、第３実施形態のＶＯＣ処理システムを示した図である。第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１は、第２実施形態のＶＯＣ処理システム１において、バイパス経路１３２に設けていた吸着剤１３０を第１循環経路１１１の循環経路中に置き換えたものである。すなわち、主吸着回収部２１０の第１循環経路２１１には、主循環系再生熱交換器１４から吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１へ至る経路の途中に吸着剤２３０が設けられている。また、吸着剤２３０から吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１へ至る経路の途中に冷却器２２３が設けられている。また、第２実施形態のＶＯＣ処理システム１０１に備わっていたバイパス経路１３２や第１ダンパ１３１Ｄ１、第２ダンパ１３１Ｄ２は省かれている。その他の構成要素については第２実施形態のＶＯＣ処理システム１０１と同様であるため、同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

このように構成されるＶＯＣ処理システム２０１では、以下のような運転状態が実現される。

例えば、ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム２０１では、図９に示されるように、主循環ファン１３が回転している。これにより、第１循環経路２１１では、ドライヤ２内から吸引された気体が吸着ゾーン１２Ｚ１を通過し、再びドライヤ２内へ戻る循環流が生じ、ドライヤ２内で気化したＶＯＣが吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着される。吸着剤２３０は、主循環ファン１３から流れる気体が通気されることにより、ＶＯＣ
をほぼ飽和状態まで吸着した状態になるため、吸着剤２３０の前後のＶＯＣ濃度は同等になる。そして、ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム２０１では、凝縮回収部２２０の冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２が作動状態にあり、冷却器２２３が作動状態にあり、凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５が回転している。これにより、第２循環経路２２１では、吸着ロータ用加熱器２２で加熱された気体によって吸着ロータ１２から脱着したＶＯＣが冷却器２３へ送られて凝縮し、冷却器２３に備わっているドレンパンに滴下して溶液溶剤として回収される。ドライヤ２の運転中、ＶＯＣ処理システム２０１では、このような運転状態が保たれることにより、ドライヤ２内で気化したＶＯＣが系外へ漏れることなく全て回収される。

図１０は、生産設備が停止状態に移行して新たなＶＯＣの発生が止まった場合の第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１の状態図である。生産設備の停止により、ドライヤ２で新たなＶＯＣの発生が無くなったら、主循環系再生熱交換器１４における熱交換を停止する。このとき、吸着剤２３０に４０℃程度で流入していた気体の温度を高めるため、ドライヤ２は運転を継続したままの状態にする。主循環系再生熱交換器１４における熱交換が停止され、ドライヤ２の運転が継続されると、吸着剤２３０に流入する気体の温度が７０℃程度にまで上昇し、吸着剤２３０に吸着されていたＶＯＣが脱着される。吸着剤２３０から脱着したＶＯＣは、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着される。吸着ロータ１２は、第２循環経路２２１によって再生されているため、吸着剤２３０から脱着したＶＯＣは第２循環経路２２１の冷却器２３において凝縮し、溶液溶剤として回収される。

図１１は、ドライヤ２を止めた場合の第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１の状態図である。図１０に示した上記の系統構成が継続されて、第１循環経路２１１と第２循環経路２２１のＶＯＣ濃度が徐々に低下し、冷却器２３においてＶＯＣが凝縮しなくなったらドライヤ２を停止する。ドライヤ２が停止されると、吸着剤２３０に流入する気体の温度が低下し、吸着剤２３０におけるＶＯＣの脱着が止まる。

図１２は、第２循環経路２２１における循環を停止した場合の第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１の状態図である。ドライヤ２の停止によって吸着剤２３０に流入する気体の温度が低下し、吸着剤２３０におけるＶＯＣの脱着が止まった後は、冷却器２３と吸着ロータ用加熱器２２を停止状態にし、凝縮回収系第１循環ファン２４と凝縮回収系第２循環ファン２５を停止する。また、吸着ロータ１２の回転を停止する。第１循環経路１１では、主循環ファン１３による気体の循環が継続されており、また、ドライヤ２の停止に伴って吸着剤２３０に流入する気体の温度も低下しているため、第１循環経路２１１に残留するＶＯＣが吸着剤２３０によって吸着される。

ＶＯＣ処理システム２０１では、上記のような運転が行われることにより、ドライヤ２の停止後、停止状態にあるドライヤ２内に残留するＶＯＣが可及的に除去される。よって、ドライヤ２内へ人が立ち入るような場合に、ドライヤ２内に残留するＶＯＣの濃度を例えば一時的に１００ｐｐｍ程度にまで低減することで、ドライヤ２内が系外と繋がった場合でもドライヤ２内に残留するＶＯＣの系外への放出量が可及的に抑制される。

本第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１における吸着剤２３０の容量は、例えば、図１０に示す系統構成においてＶＯＣ濃度が平衡状態になった場合の第１循環経路２１１のＶＯＣ濃度と、ドライヤ２内の残量ＶＯＣ濃度の目標値との関係に基づいて決定される。例えば、図１０に示す系統構成においてＶＯＣ濃度が平衡状態になった場合の第１循環経路２１１のＶＯＣ濃度が３００ｐｐｍであり、第１循環経路１１の気体の温度が７０℃である場合の吸着剤２３０の吸着総量をＭ０とする。また、ドライヤ２内の残量ＶＯＣ濃度の目標値が１００ｐｐｍであり、第１循環経路１１の気体の温度が３０℃である場合の吸着剤２３０の吸着総量をＭ１とした場合、少なくとも、以下の関係式が成り立つ量の吸
着剤が必要である。
（Ｍ１−Ｍ０）＞（３００ｐｐｍ時の第１循環経路２１１内ＶＯＣ量−１００ｐｐｍ時の第１循環経路２１１内ＶＯＣ量）
また、吸着剤２３０は、高沸点有機物の蓄積と共にＶＯＣの吸着能力も低下していくため、高沸点有機物の吸着によるＶＯＣ吸着量の低下分を見込んだ量の吸着剤を有していることが好ましい。

なお、吸着剤２３０は、例えば、吸着ロータ１２に担持されている吸着剤の性能を劣化させる高沸点有機物の除去を目的として設置されているものを代用してもよい。高沸点有機物を除去可能な吸着剤２３０としては、例えば、活性炭を挙げることができる。また、吸着剤２３０は、図１２に示すように、主循環系再生熱交換器１４から冷却器２２３へ至る経路の途中に設けられるものに限定されない。高沸点有機物の除去を目的とする吸着剤２３０は、吸着ロータ１２への高沸点有機物の流入が阻止できる位置、すなわち、吸着ロータ１２の上流側に配置されていればよく、例えば、冷却器２２３から吸着ロータ１２へ至る経路の途中に設けられていてもよい。

ところで、本第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１は、例えば、下記のように変形することができる。

図１３は、第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１を変形した第１の変形例である。吸着剤２３０をドライヤ２の排気出口の部分に設ける場合、例えば、図１３に示すように、吸着剤２３０が設けられていないドライヤ２の排気出口から第１循環経路２１１へ繋がる経路を更に設けることで、吸着剤２３０を実質的にバイパスする経路を形成することも可能である。この場合、例えば、吸着剤２３０にＶＯＣを吸着させたくない場合に、第１循環経路２１１を通過する気体に吸着剤２３０をバイパスさせることができる。

図１４は、第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１を変形した第２の変形例である。第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１に設けられている吸着剤２３０は、例えば、図１４に示すように、第１循環経路２１１とは異なる循環経路であり、ドライヤ２内を通過する第３循環経路１３５に設けられていてもよい。第３循環経路１３５はドライヤ２を通じて第１循環経路２１１と連通しているので、第３循環経路１３５に設けられた吸着剤用循環ファン１３６によって発生する循環流により、第３循環経路１３５に設けられた吸着剤２３０にドライヤ２内の気体が通気されれば、第３実施形態のＶＯＣ処理システム２０１と同様、ドライヤ２の停止後にドライヤ２内に残留するＶＯＣ濃度を低下させて、ＶＯＣの系外への放出量を可及的に抑制することができる。

＜複数種のＶＯＣを取り扱う場合＞
ところで、複数種のＶＯＣを取り扱う場合、上記各実施形態や変形例に係るＶＯＣ処理システム１，１０１，２０１は、以下のように変形すると好適である。例えば、２種類のＶＯＣを取り扱う場合、上記各実施形態や変形例に係るＶＯＣ処理システム１，１０１，２０１は、以下のように変形すると好適である。

図１５は、第１実施形態に係るＶＯＣ処理システム１の変形例を示した図である。複数種のＶＯＣを取り扱う場合、第１実施形態に係るＶＯＣ処理システム１のバイパス経路３２に複数の吸着剤３０，３０を並列に設けておき、各吸着剤３０，３０の入口に設けた第２ダンパ３１Ｄ２，３１Ｄ２をＶＯＣの種類に応じて切り替えるようにしてもよい。第２実施形態に係るＶＯＣ処理システム１０１や、第３実施形態に係るＶＯＣ処理システム３０１もこれと同様、複数の吸着剤を並列に設け、取り扱うＶＯＣの種類に応じて通気する吸着剤を切り替えるようにしてもよい。

＜吸着ロータをバイパスさせる場合＞
ところで、第１循環経路１１１，２１１に設けられる吸着剤１３０，２３０でドライヤの残留ＶＯＣを除去する場合、吸着ロータ１２をバイパスしてもよい。図１６は、第２実施形態に係るＶＯＣ処理システム１０１に、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１をバイパスする経路を設けたものを示した図である。第１循環経路１１１に設けられる吸着剤１３０でドライヤ２の残留ＶＯＣを除去する場合、例えば、図１６に示すように、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１をバイパスすれば、吸着ロータ１２の吸着ゾーン１２Ｚ１に吸着されているＶＯＣが脱着して吸着剤１３０による残留ＶＯＣの吸着が阻害されることもないので、第１循環経路１１１のＶＯＣ濃度を更に可及的に抑制することができる。

＜その他の変形例＞
上記各実施形態や変形例は、互いに組み合わせることもできる。例えば、第１実施形態のＶＯＣ処理システム１と第２実施形態のＶＯＣ処理システム１０１とを組み合わせ、第１循環経路と第２循環経路のそれぞれに吸着剤を設けてもよい。

１，１０１，２０１，３０１・・ＶＯＣ処理システム：２・・ドライヤ：１０，１１０，２１０・・主吸着回収部：１１，１１１，２１１・・第１循環経路：１２・・吸着ロータ：１２Ｚ１・・吸着ゾーン：１２Ｚ２・・脱着ゾーン：１２Ｚ３・・冷却ゾーン：１３・・主循環ファン：１４・・主循環系再生熱交換器：２０，１２０，２２０・・凝縮回収部：２１，１２１，２２１・・第２循環経路：２２・・吸着ロータ用加熱器：２３，２２３・・冷却器：２４・・凝縮回収系第１循環ファン：２５・・凝縮回収系第２循環ファン：２６・・凝縮回収系再生熱交換器：３０，１３０，２３０・・吸着剤：３１Ｄ１，１３１Ｄ１・・第１ダンパ：３１Ｄ２，１３１Ｄ２・・第２ダンパ：３１Ｄ３・・第３ダンパ：３２，１３２・・バイパス経路：３３・・分岐経路：１３４・・吸着剤用加熱器：１３５・・第３循環経路：１３６・・吸着剤用循環ファン

Claims (7)

1. ＶＯＣを取り扱う設備で気化したＶＯＣを回収するＶＯＣ処理システムであって、
   前記設備から吸着ロータの吸着ゾーンを通って再び前記設備へ戻る気体の循環経路である第１循環経路を形成する主吸着回収部と、
   前記吸着ロータの脱着ゾーンから冷却器を通って前記吸着ロータの冷却ゾーンへ至り、加熱器を通って再び前記脱着ゾーンへ戻る気体の循環経路である第２循環経路を形成する凝縮回収部と、
   前記第１循環経路と前記第２循環経路のうち少なくとも何れかの循環経路または該循環経路と連通する経路に設けられる吸着剤を有しており、前記設備の停止により前記冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に前記吸着剤で前記何れかの循環経路の気体中のＶＯＣを吸着回収する副吸着回収部と、を備える
   ＶＯＣ処理システム。
2. 前記副吸着回収部は、前記吸着剤を前記第２循環経路に有し、前記設備が運転状態の場合には前記第２循環経路において前記吸着剤をバイパスし、前記設備の停止により前記冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に前記吸着剤を通気する、
   請求項１に記載のＶＯＣ処理システム。
3. 前記副吸着回収部は、前記吸着剤を前記第１循環経路に有し、前記設備が運転状態の場合には前記第１循環経路において前記吸着剤をバイパスし、前記設備の停止により前記冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無い場合に前記吸着剤を通気する、
   請求項１に記載のＶＯＣ処理システム。
4. 前記副吸着回収部は、前記吸着剤を前記第１循環経路に有し、前記設備が停止すると前記吸着剤を加熱して該吸着剤の再生を開始し、該吸着剤の再生開始後に前記冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなると該吸着剤の加熱を停止して該吸着剤の通気を行う、
   請求項１に記載のＶＯＣ処理システム。
5. 前記第１循環経路には、前記吸着剤における吸着中に前記吸着ロータの吸着ゾーンをバイパスする経路が備わっている、
   請求項３または４に記載のＶＯＣ処理システム。
6. 前記設備にはドライヤが併設されており、
   前記副吸着回収部は、前記設備が停止すると前記吸着剤を前記ドライヤの排気で加熱して該吸着剤の再生を開始し、該吸着剤の再生開始後に前記冷却器におけるＶＯＣの凝縮が無くなると前記ドライヤによる該吸着剤の加熱を停止して該吸着剤の通気を行う、
   請求項３から５の何れか一項に記載のＶＯＣ処理システム。
7. 前記吸着剤は、前記設備で取り扱うＶＯＣの種類に応じて複数並列に設けられる、
   請求項１から６の何れか一項に記載のＶＯＣ処理システム。

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