JP4669863B2

JP4669863B2 - 揮発性有機化合物含有ガス処理システム

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Publication number: JP4669863B2
Application number: JP2007188909A
Authority: JP
Inventors: 晋中野
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2007-07-20
Filing date: 2007-07-20
Publication date: 2011-04-13
Anticipated expiration: 2027-07-20
Also published as: JP2009022889A

Description

本発明は揮発性有機化合物を含有するガスを処理する揮発性有機化合物含有ガス処理システムに関する。

塗装工場、印刷工場、半導体製造工場等で利用されている揮発性有機化合物（以下、ＶＯＣ（Volatile Organic Compound））には、大気や水質などへ放出されると公害や健康被害の原因となるものが含まれているので適切に処理する必要がある。ＶＯＣ含有ガスを処理する技術としては、濃縮装置で濃縮したＶＯＣを空気とともに圧縮して燃焼し、こうして得た燃焼ガスでタービンを駆動してＶＯＣの酸化分解反応を発電に利用しているものがある。さらに、この種の技術の中には、タービンからの排ガスによって吸気を加熱し、その加熱空気で濃縮装置からＶＯＣを脱着して圧縮機に供給しているものがある（特許文献１等参照）。

特開２００５−６１３５３号公報

ところが、上記技術の加熱空気には蒸発した水分が含まれていることがあり、その水分が圧縮機に到達するまでに凝縮して、比較的温度が低い部分（例えば、発電機ロータや圧縮機入口付近の翼等）に液水として付着する場合がある。このとき、ＶＯＣに酢酸エチル等の酢酸系の成分が含有されていると、その付着した水に溶け込んで酸が金属を腐食させることがある。

本発明の目的は、酢酸系成分を含むＶＯＣを処理する際に、酸による腐食が発生することを抑制できる揮発性有機化合物含有ガス処理システムを提供することにある。

（１）本発明は、上記目的を達成するために、吸気を圧縮する圧縮機と、この圧縮機からの圧縮空気を燃料と燃焼して燃焼ガスを発生する燃焼器と、この燃焼器からの燃焼ガスで駆動されるタービンと、このタービンからの駆動力で発電する発電機とを備えるＶＯＣ含有ガス処理システムにおいて、吸気した空気中の水分を吸着し、この吸着した水分を前記タービンからの排ガスによって脱着する除湿装置と、この除湿装置で水分を除去された空気を前記タービンからの排ガスによって加熱する熱交換器と、酢酸系成分が含有されたＶＯＣ含有ガス中のＶＯＣを吸着して濃縮し、この濃縮されたＶＯＣを前記熱交換器からの空気によって脱着する濃縮装置とを備え、前記濃縮装置からのＶＯＣ含有空気を前記圧縮機で圧縮し、前記圧縮機で圧縮したＶＯＣ含有空気を前記燃焼器で燃焼している。

このように前記除湿装置を設ければ吸気中の水分を除去することができるので、ガスタービン設備内に水分が付着することを抑制できる。これによりＶＯＣ中の酢酸エチル等の酢酸系成分の浮遊分子が水と結合して強酸性液となることが抑制されるので、ガスタービン設備に酸による損傷が発生することを抑制することができる。

（２）上記（１）は、好ましくは、水分が脱着された前記除湿装置の吸着剤に向けて冷却用空気を送風する第１送風装置を備えるものとする。

（３）上記（２）は、好ましくは、揮発性有機化合物が脱着された前記濃縮装置の吸着剤に向けて冷却用空気を送風する第２送風装置を備えるものとする。

（４）上記（３）は、好ましくは、前記第１送風装置から送風され前記除湿装置を通過した空気と、前記第２送風装置から送風され前記濃縮装置を通過した空気は、前記タービンからの排ガスと合流して前記除湿装置に吸着した水分の脱着用に用いられている。

（５）上記（３）は、好ましくは、前記熱交換器における前記タービンからの排ガスの流通ルートの上流側には、前記熱交換器と前記除湿装置に供給される前記タービンからの排ガスの量を調整する流量調整手段が設けられている。

（６）上記（１）は、好ましくは、前記濃縮装置と前記圧縮機の間には、前記濃縮装置からの揮発性有機化合物含有空気を冷却用空気で冷却する熱交換器が設けられている。

（７）上記（１）は、好ましくは、前記圧縮機から前記燃焼器に供給される揮発性有機化合物含有空気を前記タービンの排ガスによって加熱する再生熱交換器を備える。

（８）本発明は、上記目的を達成するために、吸気を圧縮する圧縮機と、この圧縮機からの圧縮空気を燃料と燃焼して燃焼ガスを発生する燃焼器と、この燃焼器からの燃焼ガスで駆動され前記圧縮機と同軸に直結されたタービンと、このタービンからの駆動力で発電し前記圧縮機と隣接して同軸に直結された発電機とを備える揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、吸気した空気中の水分を吸着し、この吸着した水分を前記タービンからの排ガスによって脱着する除湿装置と、この除湿装置で水分を除去された空気を前記タービンからの排ガスによって加熱する熱交換器と、酢酸系成分が含有された揮発性有機化合物含有ガス中の揮発性有機化合物を吸着して濃縮し、この濃縮された揮発性有機化合物を前記熱交換器からの空気によって脱着する濃縮装置とを備え、前記濃縮装置からの揮発性有機化合物含有空気を前記圧縮機で圧縮し、前記圧縮機で圧縮した揮発性有機化合物含有空気を前記燃焼器で燃焼している。

このように前記除湿装置を設ければ吸気中の水分を除去することができるので、ガスタービン設備内に水分が付着することを抑制できる。これによりＶＯＣ中の酢酸エチル等の酢酸系成分の浮遊分子が水と結合して強酸性液となることが抑制されるので、ガスタービン設備に酸による損傷が発生することを抑制することができる。特に、本発明によれば、前記発電機が前記圧縮機と隣接して設けられるマイクロガスタービンにおいて、前記圧縮機から前記発電機に吸気が漏れても前記発電機に水分が付着することを抑制できるので、前記発電機の損傷を抑制することができる。

本発明によれば、吸気中の水分を除去することができるので、酢酸系成分を含むＶＯＣを処理する際に酸による腐食が発生することを抑制することができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は本発明の第１の実施の形態であるＶＯＣ含有ガス処理システム（以下、ＶＯＣ処理システム）の全体構成図である。
この図に示すＶＯＣ処理システムは、ＶＯＣ発生装置５で発生するＶＯＣ含有ガス２５中のＶＯＣを処理するもので、ＶＯＣを濃縮する濃縮装置１と、吸気５０中の水分を除去する除湿装置２と、ＶＯＣを利用して電力を得るガスタービン設備３と、ガスタービン設備３からの排ガス６１で吸気を加熱する熱交換器４を備えている。

図２は本実施の形態であるＶＯＣ処理システムにおける濃縮装置１の構成図である。
この図において、濃縮装置１は、円筒形の回転体であるロータ１１と、ロータ１１内に充填されたＶＯＣ吸着剤１２を備えている。

ロータ１１は、回転軸１３を中心にして図中の矢印Ｄの方向に回転されるもので、周方向に複数に分割された部屋（図示せず）を内部に有している。この図示しない複数の部屋にはそれぞれＶＯＣ吸着剤１２が充填されている。ＶＯＣ吸着剤１２は、例えば、活性炭やゼオライト等から成っている。ＶＯＣ吸着剤１２は、ＶＯＣ発生装置５からブロワ１５によって送られるＶＯＣ含有ガス２５中のＶＯＣを吸着して濃縮する一方、このように吸着したＶＯＣを加熱空気と接触することによって脱着する。

ロータ１１の回転中に図２のｃ−ｄ−ａ−ｏに囲まれた領域Ｔ１に位置する吸着剤１２には、ＶＯＣ発生装置５からのＶＯＣ含有ガス２５が流通している。このようにＶＯＣ含有ガス２５を通過させると、ＶＯＣの９０％以上が除去されたガス２６となる。また、ロータ１１の回転中に図２のａ−ｂ−ｏに囲まれた領域Ｔ２に位置する吸着剤１２には、熱交換器４で所定の温度（例えば、１２０〜１８０℃）に加熱されたガスタービン設備３の吸気５１が流通している。このように加熱空気５１を通過させると、吸着剤１２に吸着して濃縮されたＶＯＣが脱着されてＶＯＣ含有空気５２となってガスタービン設備３の圧縮機３１（後述）に流出される。

なお、濃縮装置１には１８０℃程度の温度の加熱空気を送り込めば、ほとんどのＶＯＣを吸着剤１２から脱着することができる。また、ＶＯＣが脱着した後の吸着剤１２の冷却は自然冷却でも良いが、効率良くＶＯＣを吸着するためには加熱空気が流通する領域Ｔ２に対してロータ１１の回転方向に位置する領域Ｔ３（ｂ−ｃ−ｏに囲まれた領域）に冷却用空気５９を流通させて吸着剤１２を冷やすことが好ましい。

除湿装置２は、吸気した空気中の水分の吸着と脱着を濃縮装置１と同様の原理によって行うもので、回転軸２２を中心に回転されるロータ２１と、ロータ２１の内部に充填された湿分吸着剤（図示せず）を備えている。また、除湿装置２は、ガスタービン設備３の吸気５０が流通する領域Ｔ４と、ガスタービン設備３の排ガス６２が流通する領域Ｔ５を有している。ガスタービン設備３の吸気５０が領域Ｔ４に導かれると吸気５０中の水分は吸着剤に吸着され、ガスタービン設備３の排ガス６２が領域Ｔ５に導かれると吸着剤に吸着した水分が脱着される。なお、この場合も、水分の吸着効率を向上させるために、冷却用空気を流通させる領域Ｔ６を上記領域Ｔ５の隣りに設けると良い。

ここで図１に戻り、熱交換器４は、除湿装置２で水分を除去された空気をガスタービン設備３の排ガスによって加熱するものであり、除湿装置２の領域Ｔ４を流通した空気が熱交換器４に導入されるように除湿装置２と接続されている。

濃縮装置１は、熱交換器４からの加熱空気５１が領域Ｔ２に導入されるように熱交換器４と接続されており、領域Ｔ２を通過してＶＯＣを含有した空気（ＶＯＣ含有空気）５２がガスタービン設備３の圧縮機３１（後述）に導かれるように圧縮機３１と接続されている。また、濃縮装置１は、ＶＯＣ発生装置５から送られるＶＯＣ含有ガス２５が領域Ｔ１に導入されるようにＶＯＣ発生装置５と接続されており、領域Ｔ１でＶＯＣを除去されたガス２６は大気に放出されるようになっている。

ガスタービン設備３は、濃縮装置１からのＶＯＣ含有空気５２を圧縮する圧縮機３１と、圧縮機１で圧縮されたＶＯＣ含有空気５３をタービン３４からの排ガスで加熱する再生熱交換器３２と、再生熱交換器３２からのＶＯＣ含有空気５４を燃料５５とともに燃焼して燃焼ガス５６を発生する燃焼器３３と、燃焼器３３からの燃焼ガス５６で駆動されるタービン３４と、タービン３４に作用する駆動力を軸駆動力に変換するタービンロータ３５と、タービンロータ３５からの軸駆動力で発電する発電機３６を備えている。また、タービン３４を駆動した排ガス６０は、再生熱交換器３２を通過した後に分断されて、除湿装置２の領域Ｔ４と熱交換器４に導かれている。

上記のように構成されるＶＯＣ処理システムにおいて、ＶＯＣ発生装置５で発生したＶＯＣ含有ガス２５（例えば、流量：３００Ｎｍ／ｍｉｎ，ＶＯＣ濃度：４００ｐｐｍ）は、ブロワ１５によって濃縮装置１の領域Ｔ１に導かれる。濃縮装置１に導かれたＶＯＣ含有ガス２５中のＶＯＣは吸着剤１２に吸着して、所定の濃度（例えば、２０００ｐｐｍ）まで濃縮される。また、濃縮装置１を通過してＶＯＣを除去されたガス２６は排気として放出される。

一方、ガスタービン設備３の吸気５０（例えば、流量：６０Ｎｍ／ｍｉｎ）は除湿装置２の領域Ｔ５に導かれ、ロータ２１内の湿分吸着剤によって水分を除去される。水分を除去された吸気５０は、熱交換器４に導入されてタービン３４からの排ガス６１によって加熱される。熱交換器４で加熱された空気５１は、濃縮装置１の領域Ｔ２に導かれて吸着剤１２に濃縮されたＶＯＣを脱着し、脱着したＶＯＣとともに圧縮機３１に導かれる（流量：６０Ｎｍ／ｍｉｎ，ＶＯＣ濃度：２０００ｐｐｍ）。

圧縮機３１で昇圧されたＶＯＣ含有空気５３は、再生熱交換器３２に導かれて加熱され、燃焼器３３に導かれる。加熱されたＶＯＣ含有空気５４は、燃焼器３３内で燃料５５と一緒に燃焼され、燃焼ガス５６となってタービン３４を駆動させる。このようにＶＯＣ含有空気を燃焼させると、ＶＯＣが酸化分解するときに熱エネルギーが発生するので、ＶＯＣを含有していない空気を燃焼する場合と比較して燃焼器３３での燃料使用量を低減することができる（例えば、上記の流量・濃度のＶＯＣ含有空気を１５０ｋＷのガスタービン設備で燃焼すると、４０％程度低減することができる）。また、燃焼器３３内の温度は１０００℃以上に達するため、吸気中のＶＯＣ成分を完全に酸化分解することができる。

また、タービン３４からの排ガス６０は、濃縮装置１からＶＯＣを脱着するための吸気５１の加熱源として用いられるだけでなく、除湿装置２から水分を脱着するための熱源としても用いられており、特別な加熱設備を利用することなくＶＯＣの濃縮と吸気の除湿を行うことができる。

次に本実施の形態の作用及び効果について説明する。

まず、本実施の形態の効果の理解を容易にするために、比較例を説明する。
ＶＯＣを処理する技術としては、濃縮装置で濃縮したＶＯＣをガスタービン設備からの排ガスで加熱した吸気で脱着し、濃縮されたＶＯＣを含んだ吸気をガスタービン設備で燃料とともに燃焼しているものがある。しかしながら、この技術のＶＯＣを脱着した加熱空気には蒸発した水分が含まれていることがあり、その水分が圧縮機に到達するまでに凝縮して、ガスタービン設備の比較的温度が低い部分（例えば、発電機ロータや圧縮機入口付近の翼等）に液水として付着する場合がある。このとき、ＶＯＣに酢酸系の成分（例えば、酢酸エチル、酢酸ノルマルプロピル、酢酸ブチル等）が含有されていると、その付着した水に溶け込んで酸が金属を腐食させることがある。

これに対して、本実施の形態は、吸気した空気５０中の水分を吸着し、その吸着した水分をタービン３４からの排ガス６２によって脱着する除湿装置２を備えている。このように除湿装置２を設ければ、除湿装置２によって吸気５０中の水分を除去することができるので、ガスタービン設備３内に水分が付着することを抑制できる。これによりＶＯＣ中の酢酸エチル等の酢酸系成分の浮遊分子が水と結合して強酸性液となることが抑制されるので、ガスタービン設備３に酸による腐食が発生することを抑制することができる。また、濃縮装置１から圧縮機３１までの通路等、静止した部分に上記の水分が付着すると、それがカビの発生原因となることもあるが、本実施の形態によれば、水分に起因するカビの発生も抑制することができる。このように本実施の形態によれば、水分を原因とした設備の損傷を抑制することができるので、ガスタービン設備３の寿命を長期化することができる。

また、本実施の形態では、ガスタービン設備３の排ガスの熱を濃縮装置１からＶＯＣを脱着するための吸気の加熱源として用い、さらに吸気中から吸着した除湿装置２の水分を脱着するための熱源としても用いている。このように、本来廃熱として放出される排ガスの熱を脱着作用に利用すると、ガスタービン設備３の効率を向上させることができる。

ところで、ＶＯＣが利用される塗装工場や印刷工場等では、システム構成をコンパクトにするために、ＶＯＣ処理システムのガスタービン設備としてマイクロガスタービンを利用することが多い。また、その中でも、圧縮機、タービン、及び発電機が同軸で直結されているマイクロガスタービンでは、コンパクト化を図りながら電機設備である発電機を保護するために、高温熱源であるタービンからできるだけ遠ざけて圧縮機の隣り（即ち、圧縮機を挟んでタービンの反対側）に発電機を配置することが多い。そのため、上記のようなマイクロガスタービンの圧縮機に送られる吸気に水分が含まれていると、圧縮機から発電機に吸気が漏れた場合に、上記のような酸による腐食やサビが発生して発電機が損傷する可能性がある。しかし、このようなマイクロガスタービンを利用する場合にも、本実施の形態は、除湿装置２によって吸気５０中の水分を除去できるので、例えＶＯＣ含有空気５２が発電機３６側に漏れたとしても発電機３６で酸による損傷が発生することを抑制でき、発電機３６の長寿命化も実現することができる。このように本実施の形態のＶＯＣ処理システムは、マイクロガスタービンを備えるＶＯＣ処理システムにおいて、特に顕著な効果を奏する。

次に本発明の第２の実施の形態を説明する。
本実施の形態は、主に、濃縮装置１と除湿装置２に吸着材の冷却用空気を送風している点と、濃縮装置１と除湿装置２で吸着材を冷却した空気を除湿装置２の水分の脱着用に利用している点で第１の実施の形態と異なっている。

図３は本発明の第２の実施の形態であるＶＯＣ処理システムの全体構成図である。なお、先の図と同じ部分には同じ符号を付し説明は省略する（後の図も同様とする）。
この図に示すＶＯＣ処理システムは、濃縮装置冷却ブロワ（第２送風装置）４１と、除湿装置冷却ブロワ（第１送風装置）４２と、三方弁４３を備えている。

濃縮装置冷却ブロワ４１は、濃縮装置１においてＶＯＣが脱着されたＶＯＣ吸着剤１２を冷却するもので、濃縮装置１の領域Ｔ３（図２参照）に向けて冷却用空気６５を送風している。濃縮装置１を通過して吸着剤１２を冷却した冷却用空気６５は、吸着剤１２によって例えば１００℃以上にまで加熱されて加熱空気６６となり、三方弁４３を通過してきた排ガス６２と合流して除湿装置２の領域Ｔ５に導かれている。このように加熱空気６６は除湿吸着剤に吸着した水分の脱着用に用いられている。

除湿装置冷却ブロワ４２は、除湿装置２において水分が脱着された除湿吸着剤を冷却するもので、除湿装置２の領域Ｔ６に向けて冷却用空気６７を送風している。除湿装置２を通過して除湿吸着剤を冷却した冷却用空気６７は、除湿吸着剤によって例えば１００℃以上にまで加熱されて加熱空気６８となり、三方便４３を通過してきた排ガス６２と合流して除湿装置２の領域Ｔ５に導かれている。このように加熱空気６８も除湿吸着剤に吸着した水分の脱着用に用いられている。

三方弁４３は、タービン３４からの排ガス６０を流量調整しながら熱交換器４と除湿装置２に分配するもので、熱交換器４に通じる流路と除湿装置２に通じる流路の結節点に設けられている。熱交換器４に供給される排ガス６１の流量と除湿装置２の領域Ｔ５に供給される排ガス６２の流量は、冷却ブロワ４１，４２からの加熱空気６６，６８の流量及び温度に基づいて調整されている。即ち、本実施の形態では、加熱空気６６，６８の分だけ除湿装置２に供給できる熱媒体が増加しているので、第１の実施の形態と比較して熱交換器４に供給する排ガス６１の流量を増加することができる。また、上記のように三方弁４３を設ければ、加熱空気６６，６８の流量又は温度が変化しても、熱交換器４及び除湿装置２に適切な流量の排ガスを供給することができる。なお、ここでは、熱交換器４と除湿装置２に供給する排ガスの流量を調整する手段として三方弁４３を挙げたが、この他にもオリフィスや流量調整弁等を用いても勿論良い。

上記のように構成されたガス処理システムによれば、冷却ブロワ４１，４２によって濃縮装置１と除湿装置２に冷却用空気６５，６７を供給することができるので、ＶＯＣ含有ガス中のＶＯＣと吸気中の水分の吸着率を向上させることができる。これによりＶＯＣの濃縮と水分の除去を効率の良く行うことができる。また、吸着剤の冷却に用いた空気（加熱空気６６，６８）を除湿装置２の水分脱着用に利用しているので、熱交換器４に配分する排ガス量を増加させることができる。これにより、第１の実施の形態より効率良く吸気を加熱できるので熱交換器４を小型化することができ、ひいてはシステム自体をコンパクトにすることができる。このように本実施の形態のガス処理システムによれば、第１の実施の形態で得られる効果に加え、濃縮装置１と除湿装置２の吸着効率を向上することができ、かつシステムの規模を小さくすることができる。

次に本発明の第３の実施の形態を説明する。
本実施の形態は、濃縮装置１と圧縮機３１の間にＶＯＣ含有ガスの温度を低下させる熱交換器を有している点で第１の実施の形態と異なっている。

図４は本発明の第３の実施の形態であるＶＯＣ処理システムの全体構成図である。
この図に示すＶＯＣ処理システムは、濃縮装置１と圧縮機３１の間に設けられた熱交換器４５を備えている。熱交換器４５は、冷却ブロワ４６によって送風される冷却用空気６９を利用して濃縮装置１からのＶＯＣ含有空気５２を冷却するものである。

このように熱交換器４５を設けると、圧縮機３１に導入されるＶＯＣ含有空気５２の温度が低減するので、圧縮機３１にかかる負荷を低減することができる。これにより燃料消費量を削減することができるので、ガスタービン設備３の発電効率を向上させることができる。

なお、以上の各実施の形態においては、再生熱交換器３２を備えるガスタービン設備３を利用したＶＯＣ処理システムを例に挙げて説明したが、上記の各実施の形態のＶＯＣ処理システムは再生熱交換器３２を省略しても勿論構成可能である。

本発明の第１の実施の形態であるＶＯＣ含有ガス処理システムの全体構成図。本発明の第１の実施の形態であるＶＯＣ含有ガス処理システムにおける濃縮装置の構成図。本発明の第２の実施の形態であるＶＯＣ含有ガス処理システムの全体構成図。本発明の第３の実施の形態であるＶＯＣ含有ガス処理システムの全体構成図。

符号の説明

１濃縮装置
２除湿装置
３ガスタービン設備
４熱交換器
３１圧縮機
３２再生熱交換器
３３燃焼器
３４タービン
３６発電機
４１濃縮装置冷却ブロワ
４２除湿装置冷却ブロワ
４３三方弁
４５熱交換器

Claims

吸気を圧縮する圧縮機と、この圧縮機からの圧縮空気を燃料と燃焼して燃焼ガスを発生する燃焼器と、この燃焼器からの燃焼ガスで駆動されるタービンと、このタービンからの駆動力で発電する発電機とを備える揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
吸気した空気中の水分を吸着し、この吸着した水分を前記タービンからの排ガスによって脱着する除湿装置と、
この除湿装置で水分を除去された空気を前記タービンからの排ガスによって加熱する熱交換器と、
酢酸系成分が含有された揮発性有機化合物含有ガス中の揮発性有機化合物を吸着して濃縮し、この濃縮された揮発性有機化合物を前記熱交換器からの空気によって脱着する濃縮装置とを備え、
前記濃縮装置からの揮発性有機化合物含有空気を前記圧縮機で圧縮し、前記圧縮機で圧縮した揮発性有機化合物含有空気を前記燃焼器で燃焼することを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
請求項１記載の揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
水分が脱着された前記除湿装置の吸着剤に向けて冷却用空気を送風する第１送風装置を備えることを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
請求項２記載の揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
揮発性有機化合物が脱着された前記濃縮装置の吸着剤に向けて冷却用空気を送風する第２送風装置を備えることを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
請求項３記載の揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
前記第１送風装置から送風され前記除湿装置を通過した空気と、前記第２送風装置から送風され前記濃縮装置を通過した空気は、前記タービンからの排ガスと合流して前記除湿装置に吸着した水分の脱着用に用いられていることを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
請求項３記載の揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
前記熱交換器における前記タービンからの排ガスの流通ルートの上流側には、前記熱交換器と前記除湿装置に供給される前記タービンからの排ガスの量を調整する流量調整手段が設けられていることを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
請求項１記載の揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
前記濃縮装置と前記圧縮機の間には、前記濃縮装置からの揮発性有機化合物含有空気を冷却用空気で冷却する熱交換器が設けられていることを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
請求項１記載の揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
前記圧縮機から前記燃焼器に供給される揮発性有機化合物含有空気を前記タービンの排ガスによって加熱する再生熱交換器を備えることを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。
吸気を圧縮する圧縮機と、この圧縮機からの圧縮空気を燃料と燃焼して燃焼ガスを発生する燃焼器と、この燃焼器からの燃焼ガスで駆動され前記圧縮機と同軸に直結されたタービンと、このタービンからの駆動力で発電し前記圧縮機と隣接して同軸に直結された発電機とを備える揮発性有機化合物含有ガス処理システムにおいて、
吸気した空気中の水分を吸着し、この吸着した水分を前記タービンからの排ガスによって脱着する除湿装置と、
この除湿装置で水分を除去された空気を前記タービンからの排ガスによって加熱する熱交換器と、
酢酸系成分が含有された揮発性有機化合物含有ガス中の揮発性有機化合物を吸着して濃縮し、この濃縮された揮発性有機化合物を前記熱交換器からの空気によって脱着する濃縮装置とを備え、
前記濃縮装置からの揮発性有機化合物含有空気を前記圧縮機で圧縮し、前記圧縮機で圧縮した揮発性有機化合物含有空気を前記燃焼器で燃焼することを特徴とする揮発性有機化合物含有ガス処理システム。