JP2017084914A - Printed wiring board and method of manufacturing the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、印刷配線板およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a printed wiring board and a manufacturing method thereof.
近年、電子機器の高機能化・高性能化に伴い、これらの電子機器に使用される半導体装置は、薄型化・小型化が進んでいる。この半導体装置の薄型化・小型化により、印刷配線板の薄型化・高密度実装化が求められている。
印刷配線板の薄型化・高密度実装化のためには、印刷配線板に複数設けられる導体を充填したビアホールの間隙(ピッチ)を狭くする方が好ましい。
In recent years, with the enhancement of functionality and performance of electronic devices, semiconductor devices used in these electronic devices are becoming thinner and smaller. With the thinning and miniaturization of this semiconductor device, there is a demand for thinning and high-density mounting of printed wiring boards.
In order to make the printed wiring board thinner and more densely packed, it is preferable to narrow the gap (pitch) between via holes filled with a plurality of conductors provided on the printed wiring board.
ビアホールの間隙を狭くする印刷配線板として、例えば、以下に示すような印刷配線板がある。
特許文献1には、ビアホール間の間隙を狭くするために、多層コア基板内で、グランド層を絶縁箇所で貫通し電源層に至るテーパ形状のビアホール導体(フィルドビア)と、電源層を絶縁箇所で貫通しグランド層に至るテーパ形状のビアホール導体とを、交互に並設するようにして、ビアホール間の間隙を狭くした多層コア基板が示されている。
また、特許文献2には、コア基板上面から下面に向かい直径が小さくなるテーパ形状のスルーホールと、コア基板下面から上面に向かい直径が小さくなるテーパ形状のスルーホールとを、それぞれレーザ加工により形成した印刷配線板が示されている。
Examples of the printed wiring board that narrows the gap between the via holes include the following printed wiring board.
In
Further, in
しかしながら、印刷配線板のビアホールが放熱部となる場合、隣り合うビアホール同士の間隙が狭いと、ビアホール下穴(孔)をレーザで加工する際、レーザの熱の停滞により、コア基板の絶縁樹脂と導電性金属箔の密着が弱くなり、導電性金属箔が剥がれてしまう問題があった。更に、ビアホール下穴に底がある非貫通形状では、レーザの熱の停滞により、意図に反してレーザの加工でビアホール下穴の底を貫通させてしまい、正常な加工とならない問題があった。このビアホール同士の間隙が広ければ、印刷配線板の小型化が困難となる。さらに、フィルドめっきでビアホール内にフィルドビアを形成する場合、片側からの充填ではビアホール内の埋まり性の問題があった。 However, when the via hole of the printed wiring board serves as a heat radiating part, if the gap between adjacent via holes is narrow, when the via hole pilot hole (hole) is processed with a laser, the heat of the laser is stagnated and the insulating resin of the core substrate There was a problem that the adhesion of the conductive metal foil was weakened and the conductive metal foil was peeled off. Furthermore, in the non-penetrating shape having the bottom in the via hole pilot hole, there is a problem that the laser processing causes the bottom of the via hole pilot hole to penetrate through the bottom of the laser due to the stagnation of the heat of the laser. If the gap between the via holes is wide, it is difficult to reduce the size of the printed wiring board. Furthermore, when a filled via is formed in a via hole by filled plating, filling from one side has a problem of filling property in the via hole.
セミアディティブ工法で放熱部となるビアホール導体を形成する場合、パターンめっきを用いて銅ポストを形成するため、フィルドめっきでビアホールを形成するサブトラクティブ工法を用いる場合よりも工程が増えてしまい、基板完成までの所要時間(リードタイム)が長くなり、かつコストが割高となるという問題があった。 When forming a via-hole conductor as a heat dissipation part by the semi-additive method, the copper post is formed by using pattern plating, so the number of processes is increased compared to the case of using the subtractive method of forming a via hole by filled plating. There was a problem that the required time (lead time) was increased and the cost was high.
本発明は、ビアホール下穴にフィルドめっきして形成されたフィルドビアを複数設けた印刷配線板に関して、フィルドビアが狭い間隙で隣り合い、かつその充填性が向上した印刷配線板およびその製造方法を提供することを課題とする。
また、本発明の別の課題は、コストを抑制した印刷配線板の製造方法を提供することである。
The present invention relates to a printed wiring board provided with a plurality of filled vias formed by filling plated via hole pilot holes, and provides a printed wiring board in which filled vias are adjacent to each other in a narrow gap and its filling property is improved, and a manufacturing method thereof. This is the issue.
Moreover, another subject of this invention is providing the manufacturing method of the printed wiring board which suppressed cost.
本発明は、上記課題を解決するべく完成されたものであって、以下の構成からなる。
(1)絶縁樹脂の両面に導電性金属層を形成したコア層と、前記コア層に少なくとも一方が開口して形成された複数のフィルドビアと、を備える印刷配線板であって、隣り合うフィルドビアのうち少なくとも一つが、前記コア層の表裏面における異なる方向の面から形成されたフィルドビアであることを特徴とする印刷配線板。
(2)前記フィルドビアは、底部に向かって連続的に小さくなるテーパ形状である(1)に記載の印刷配線板。
(3)前記フィルドビアが六方充填配置される(1)または(2)に記載の印刷配線板。
(4)前記フィルドビアが正方格子配置される(1)または(2)に記載の印刷配線板。
(5)複数のフィルドビアがそれぞれ電気的に接続される(1)〜(4)のいずれかに記載の印刷配線板。
(6)絶縁樹脂の両面に導電性金属層を形成したコア層を得る工程と、前記コア層の表裏面からそれぞれレーザ加工して、少なくとも一方が開口し、かつ隣り合うビアホール下穴のうち少なくとも一つが、前記コア層の表裏面における異なる方向の面から形成された複数のビアホール下穴を形成する工程と、前記ビアホール下穴にフィルドめっきしてフィルドビアを形成する工程と、を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法。
(7)前記ビアホール下穴は、レーザ加工で、径が底部に向かって連続的に小さくなるテーパ形状に形成され、かつ隣り合うビアホール下穴のうち少なくとも一つはテーパ形状の方向が異なるように形成される(6)に記載の印刷配線板の製造方法。
(8)前記ビアホール下穴は、コア層に対して二次元配置が六方充填配置となるように、コア層の表裏面からそれぞれ形成される(6)または(7)に記載の印刷配線板の製造方法。
(9)前記ビアホール下穴は、コア層に対して二次元配置が正方格子配置となるように、コア層の表裏面からそれぞれ形成される(6)または(7)に記載の印刷配線板の製造方法。
(10)前記コア基板の少なくとも片面に第二の絶縁樹脂層を積層する工程と、前記第二の絶縁樹脂層に、レーザ加工で前記フィルドビアと接続する第二のビアホール下穴を形成し、フィルドめっきして第二のフィルドビアを設ける工程と、をさらに含む(6)〜(9)のいずれかに記載の印刷配線板の製造方法。
The present invention has been completed in order to solve the above problems, and has the following configuration.
(1) A printed wiring board comprising: a core layer in which a conductive metal layer is formed on both surfaces of an insulating resin; and a plurality of filled vias formed by opening at least one of the core layers. At least one of them is a filled via formed from surfaces in different directions on the front and back surfaces of the core layer.
(2) The printed wiring board according to (1), wherein the filled via has a tapered shape that continuously decreases toward the bottom.
(3) The printed wiring board according to (1) or (2), wherein the filled vias are arranged in a hexagonal manner.
(4) The printed wiring board according to (1) or (2), wherein the filled vias are arranged in a square lattice.
(5) The printed wiring board according to any one of (1) to (4), wherein a plurality of filled vias are electrically connected to each other.
(6) A step of obtaining a core layer in which a conductive metal layer is formed on both surfaces of an insulating resin, and laser processing from the front and back surfaces of the core layer, respectively, and at least one of the adjacent via hole pilot holes is open. One includes a step of forming a plurality of via hole pilot holes formed from surfaces in different directions on the front and back surfaces of the core layer, and a step of forming a filled via by plating the via hole pilot holes. A method for manufacturing a printed wiring board.
(7) The via hole pilot hole is formed in a tapered shape whose diameter continuously decreases toward the bottom by laser processing, and at least one of the adjacent via hole pilot holes has a different taper direction. The manufacturing method of the printed wiring board as described in (6) formed.
(8) The via hole pilot hole is formed from the front and back surfaces of the core layer so that the two-dimensional arrangement is a hexagonal filling arrangement with respect to the core layer. (6) or (7) Production method.
(9) The via hole pilot hole is formed from the front and back surfaces of the core layer so that the two-dimensional arrangement is a square lattice arrangement with respect to the core layer. The printed wiring board according to (6) or (7), Production method.
(10) A step of laminating a second insulating resin layer on at least one surface of the core substrate, and forming a second via hole pilot hole connected to the filled via by laser processing on the second insulating resin layer. The method for producing a printed wiring board according to any one of (6) to (9), further comprising: providing a second filled via by plating.
本発明によれば、コア層に形成した隣り合うフィルドビアのうち少なくとも一つが、コア層の表裏面における異なる方向の面から形成されているので、片側だけで形成したフィルドビアより、隣り合うフィルドビア間の間隙が小さくなり、かつ片側に偏るフィルドビアの数が半分に分割されてフィルドビアの充填性が向上する。
また、セミアディティブで形成するよりも製造工程が減るので、製造のコスト減および製造時間の短縮ができる。
According to the present invention, since at least one of the adjacent filled vias formed in the core layer is formed from surfaces in different directions on the front and back surfaces of the core layer, the adjacent filled vias are formed more than the filled via formed only on one side. The gap is reduced, and the number of filled vias that are biased to one side is divided in half, so that the fillability of filled vias is improved.
In addition, since the number of manufacturing steps is less than that of semi-additive formation, manufacturing costs and manufacturing time can be reduced.
本発明の一実施形態である印刷配線板100は、図1に示すように、絶縁樹脂1とこの両面に形成された導電性金属箔2(導電性金属層)とからなるコア層10に、複数のフィルドビア3を設け、このコア層10に積層される第二の絶縁樹脂4とその表面に形成された導電性金属箔2´とに、フィルドビア3に接続される第二のフィルドビア5を設けたものである。
また、フィルドビア3は、コア層10の表裏面(上下面)に対して、隣り合うフィルドビア3のうち少なくとも一つが、コア層10の表裏面における異なる方向の面から形成されており、上面側から形成された上面フィルドビア31と、下面側から形成された下面フィルドビア32とを含む。
As shown in FIG. 1, a printed
Further, the filled via 3 is formed such that at least one of the adjacent filled
絶縁樹脂1を形成する素材としては、例えば、エポキシ樹脂、ビスマレイミド−トリアジン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリフェニレンエーテル(PPE)樹脂などの有機樹脂などが挙げられる。これらの有機樹脂は2種以上を混合して用いてもよい。絶縁体1として有機樹脂を使用する場合、有機樹脂に補強材を配合して使用するのが好ましい。補強材としては、例えば、ガラス繊維、ガラス不織布、アラミド不織布、アラミド繊維、ポリエステル繊維などが挙げられる。これらの補強材は2種以上を併用してもよい。また、絶縁樹脂1は、好ましくはガラス繊維などのガラス材入り有機樹脂から形成される。さらに、絶縁樹脂1には、シリカ、硫酸バリウム、タルク、クレー、ガラス、炭酸カルシウム、酸化チタンなどの無機充填材が含まれていてもよい。
Examples of the material forming the
絶縁樹脂1の両面に形成された導電性金属箔2は、電解フィルドめっきのシード層になる。導電性金属箔2としては、電気的に接続されるならば特に制限されないが、例えば、銅箔または薄銅箔であるのが好ましい。
The
本実施形態におけるフィルドビア3は、コア層10の表裏面に形成される。より詳細には、図2に示すように、コア層10の表裏面における異なる方向の面から、それぞれレーザL(図示した矢印)を照射してビアホール下穴3aを設け、このビアホール下穴3aに導体材料を充填(フィルドめっき)して形成される。この導体材料としては、例えば、銅めっきがよく、銅めっきは化学銅めっき(無電解銅めっき)でもよいが、電解銅めっきの方がより適している。
なお、レーザ加工で用いられるレーザLとしては、CO2レーザ、UV−YAGレーザなどが挙げられる。
The filled via 3 in the present embodiment is formed on the front and back surfaces of the
Note that examples of the laser L used in laser processing include a CO 2 laser and a UV-YAG laser.
ビアホール下穴3aは、図2に示すように、コア層10の上下面に対して、上面から形成される上面ビアホール下穴31aと、コア層10の下面から形成される下面ビアホール下穴32aとが、隣り合うよう並設されて構成される。この上面ビアホール下穴31aは、電解フィルドめっきされて上面フィルドビア31となり、下面ビアホール下穴32aは同様に下面フィルドビア32となる。なお、図2では上面ビアホール下穴31aと下面ビアホール下穴32aは交互に形成されているが、決してこの限りではなく、上面ビアホール下穴31aと下面ビアホール下穴32aは、それぞれ隣り合うビアホール下穴3aのうち少なくとも一つが、コア層10の表裏面における異なる方向の面から形成されていればよい。
As shown in FIG. 2, the via-hole
図3(a)に示すように、片面側からレーザLを照射してビアホール下穴30a、30a´を設けるような従来の印刷配線板では、ビアホール下穴30aの間隙Aは広ければ、絶縁樹脂1と導電性金属箔2との密着力が強く、レーザ加工のとき、ビアホール下穴30aの底面の導電性金属箔2が絶縁樹脂1から剥がれることはない。しかし、図3(b)に示すように、ビアホール下穴30a´の間隙Bが狭い場合は、レーザLを受ける銅箔の支えが非常に狭いため、レーザの熱の停滞で絶縁樹脂1と導電性金属箔2との密着力が弱くなり、導電性金属箔2が絶縁樹脂1から剥がれる恐れがある。更に熱の停滞が大きい場合は、レーザ照射時に銅箔が破れ、ビアホール下穴30a´の底面が貫通してしまう。狭間隙ではレーザLを受ける銅箔の支えが非常に狭いため密着強度が弱く、レーザ照射時に銅箔が破れる恐れがある。
図2に示すビアホール下穴3aは、隣り合うビアホール下穴3同士の間隙は狭いが、コア層10の表裏面からそれぞれレーザ加工で設けられるので、同一方向から隣り合うビアホール下穴にレーザLは照射される頻度が少ない。そのため、熱が停滞せずダメージが軽減され。レーザLの貫通(銅箔の破れ)は抑制される。
As shown in FIG. 3A, in the conventional printed wiring board in which the via
The via
レーザ加工で形成されたビアホール下穴3aは、図2に示すように、径が底部に向かって連続的に小さくなるテーパ形状に形成される。すなわち、このテーパ形状は開口面側Xより底面側Yの径が小さく形成される。先述したように、ビアホール下穴3aの上面ビアホール下穴31aと下面ビアホール下穴32aは、それぞれ隣り合うビアホール下穴3aのうち少なくとも一つが、コア層10の表裏面における異なる方向の面から形成されている。そのため、片面にビアホール下穴3aの開口面側Xと底面側Yとが並設した状態となる。
このように、図2に示すビアホール下穴3aの間隙Cは、図3(a)に示すコア層10の片面のみからビアホール下穴30aを設けた従来の間隙Aよりも、テーパ形状の分狭くすることができる。これにより、片側レーザ加工よりもめっき面積を稼ぐことが可能であり、より高い放熱効果を得ることができる。
さらに、上述した図3(b)のように、ビアホール下穴の間隙が狭くなっても、絶縁樹脂1と導電性金属箔2との密着力が弱くならないため、レーザLがビアホール下穴3aの底面を貫通することはない。
As shown in FIG. 2, the via hole
As described above, the gap C of the via hole
Further, as shown in FIG. 3B described above, even when the gap between the via hole pilot holes is narrowed, the adhesion between the insulating
上面ビアホール下穴31aおよび下面ビアホール下穴32aのテーパ角は、異なっていてもよいが同一であるのがよく、ビアホール下穴3aの垂直線を基準に例えば5〜20度であるのが好ましい。
また、ビアホール下穴3aの開口面側Xと底面側Yの径は、特に限定されないが、例えば、X:Y=5:4であるのが好ましい。
The taper angles of the upper surface via hole
Further, the diameters of the opening surface side X and the bottom surface side Y of the via hole
フィルドビア3を設けたコア層10の少なくとも片面には、第二の絶縁樹脂4が積層され、この絶縁樹脂4とその表面に設けた導電性金属箔2´とに、フィルドビア3に接続される第二のフィルドビア5が設けられる。図1に示す印刷配線板100では、第二の絶縁樹脂4および第二のフィルドビア5は、コア層10の上下面にそれぞれ一層ずつ積層されているが、一層に限定されない。例えば、第二の絶縁樹脂4および第二のフィルドビア5を交互に積層させて多層のビルドアップ層としてもよい。この場合、積層した各絶縁樹脂層にフィルドビアが形成され、それらの複数のフィルドビアは、コア層10のフィルドビア3と電気的に接続される。
なお、フィルドビアが放熱部となる場合、電気的接続は必須ではないが、電解フィルドめっきでフィルドビアを形成しているため、高熱伝導には電気的な接続が最適である。
A second insulating
In the case where the filled via serves as a heat dissipation portion, electrical connection is not essential, but since the filled via is formed by electrolytic filling plating, electrical connection is optimal for high heat conduction.
印刷配線板100の表面には、ソルダーレジスト(図示せず)を設けてもよい。ソルダーレジストの形成方法は、まず、スプレーコート、ロールコート、カーテンコート、スクリーン法などを用い、感光性液状ソルダーレジストを塗布して乾燥する、あるいは感光性ドライフィルム・ソルダーレジストをロールラミネートで貼り付ける。その後、露光および現像してパッド部分を開口させて加熱硬化させればよい。
A solder resist (not shown) may be provided on the surface of the printed
(コア層におけるフィルドビアの配置)
図4〜7は、コア層10におけるフィルドビア3の配置を示すものであり、図4(a)〜図7(a)はそれぞれコア層10の上面図であり、図4(b)〜図7(b)はそれぞれコア層10の下面図(底面図)である。すなわち、コア層10の上面には上面フィルドビア31が設けられ、下面には下面フィルドビア32がそれぞれ設けられる。
上面フィルドビア31と下面フィルドビア32の配置は、それぞれ隣り合うフィルドビア3のうち少なくとも一つが、前記コア層10の表裏面における異なる方向の面から形成されたフィルドビア3となるようになっており、図4〜図6(a)および(b)に示すように、配置が六方充填配置となっている。また、図7(a)および(b)に示す配置は正方格子配置である。このように配置されたフィルドビア3は、片面同士で配置された上面フィルドビア31と下面フィルドビア32とが隣り合う箇所が存在する。
図4〜図7(a)および(b)に示す六方充填配置および正方格子配置は、コア層10の両面でフィルドビア3の密度を確保し、かつコア層10の片面で隣接するフィルドビア3を排除した構造である。すなわち、フィルドビア3(ビアホール下穴3a)を、コア層10の上下面で隣り合うフィルドビア3同士をずらして形成して六方充填配置または正方格子配置すれば、配置されたフィルドビア3の密度が高く、かつコア層の表裏面(上下面)に形成されているので、フィルドビア3の全てをコア層10の片面で形成するより、レーザ加工時の熱のストレスを小さくすることができる。
(Arrangement of filled vias in the core layer)
4 to 7 show the arrangement of the filled
The arrangement of the upper surface filled via 31 and the lower surface filled via 32 is such that at least one of the adjacent filled
The hexagonal packing arrangement and the tetragonal lattice arrangement shown in FIGS. 4 to 7A and 7B ensure the density of the filled
上述したフィルドビア3は、コア層10の表裏面(上下面)に対して、一方が開口していたが、両方が開口していてもよい。
図8に示す印刷配線板101は、絶縁樹脂1とこの両面に形成された導電性金属箔2(導電性金属層)とからなるコア層10を貫通する複数のフィルドビア3´を設けている。
フィルドビア3´は、コア層10を貫通するスルーホール下孔(図示せず)にフィルドめっきをして形成される。このフィルドビア3´は、コア層10の一方の面(上面)から他方の面(下面)にかけてテーパ形状となった第一貫通フィルドビア33と、コア層10´の他方の面(下面)から一方の面(上面)にかけてテーパ形状となった第二貫通フィルドビア34とが隣り合うように並設される。また、コア層10に対して、上下が開口したフィルドビア3´と一方が開口したフィルドビア3とが混在していてもよい。
One of the filled
A printed
Filled via 3 ′ is formed by filling plated through holes (not shown) penetrating
次に、本発明に係る印刷配線板の一実施形態の製造方法を説明する。本発明に係る印刷配線板の製造方法は、下記の工程(I)〜(VI)を含む。
(I)絶縁樹脂の両面に導電性金属箔が形成されたコア層を準備する工程。
(II)コア層にレーザ加工して、少なくとも一方が開口した複数のビアホール下穴を、隣り合うビアホール下穴のうち少なくとも一つが、前記コア層の表裏面における異なる方向の面から形成されたビアホール下穴となるように形成する工程。
(III)ビアホール下穴の内面をデスミア(樹脂粗化)処理し、導体材料を充填(電解フィルドめっき)した後、ドライフィルムを形成し露光及び現像し、エッチングして、コア層にフィルドビアを形成する工程。
(IV)コア層およびフィルドビアの表面に第二の絶縁樹脂と導電性金属箔を積層する工程。
(V)フィルドビアの直上の第二の絶縁樹脂をレーザ加工して、第二のビアホール下穴を形成する工程。
(VI)第二のビアホール下穴の内面をデスミア(樹脂粗化)処理し、導体材料を充填(電解フィルドめっき)した後、ドライフィルムを形成し露光及び現像し、エッチングして、第二のフィルドビアを形成する工程。
Next, the manufacturing method of one Embodiment of the printed wiring board concerning this invention is demonstrated. The method for producing a printed wiring board according to the present invention includes the following steps (I) to (VI).
(I) A step of preparing a core layer in which a conductive metal foil is formed on both surfaces of an insulating resin.
(II) A plurality of via hole pilot holes, at least one of which is laser-processed into the core layer, wherein at least one of adjacent via hole pilot holes is formed from surfaces in different directions on the front and back surfaces of the core layer. A process of forming a pilot hole.
(III) The inner surface of the via hole pilot hole is desmeared (resin roughening) and filled with conductive material (electrolytic filled plating), then a dry film is formed, exposed and developed, and etched to form a filled via in the core layer Process.
(IV) A step of laminating a second insulating resin and a conductive metal foil on the surfaces of the core layer and filled via.
(V) A step of forming a second via hole prepared hole by laser processing the second insulating resin immediately above the filled via.
(VI) After the inner surface of the second via hole pilot hole is desmeared (resin roughening) and filled with a conductive material (electrolytic field plating), a dry film is formed, exposed and developed, etched, and etched. Forming filled vias;
本発明に係る印刷配線板の製造方法を、図9(a)〜(h)に基づいて説明する。なお、上述した部材についての説明は省略する。 A method for manufacturing a printed wiring board according to the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the description about the member mentioned above is abbreviate | omitted.
まず、絶縁樹脂1の両面に銅箔または薄銅箔などの導電性金属箔2が形成されたコア層10を準備する(図9(a))。
First, the
次に、図9(b)に示すように、コア層10の表裏面からレーザ加工でそれぞれビアホール下穴3aを形成する。このビアホール下穴3aは、隣り合うビアホール下穴3aの少なくとも一方の開口方向がコア層10の表裏面に対して異なるよう形成される。なお、このビアホール下穴3aは、コア層10を貫通するものであってもよい。
Next, as shown in FIG. 9B, via hole
次に、レーザ加工により、ビアホール下穴3aの内面などに残った開口時のコア層10(絶縁樹脂1)の残渣(図示せず)をデスミア処理により除去したビアホール下穴3aに導体材料を充填(電解フィルドめっき)した後、コア層10の表面に、公知の方法でドライフィルム(図示せず)を貼付して露光および現像し、エッチング後、ドライフィルムを剥離すると、図9(c)に示すようにコア層10にフィルドビア3が形成される。
Next, a conductor material is filled into the via hole
次に、図9(d)に示すように、コア層10およびフィルドビア3の表面に、第二の絶縁樹脂4および導電性金属箔2´を積層した後、フィルドビア3の少なくとも開口方向の直上に第二のフィルドビア5を形成するための第二のビアホール下穴5aをレーザ加工により形成する(図9(e)、(f))。また、第二の絶縁樹脂4および導電性金属箔2´の材質は、絶縁樹脂1および導電性金属箔2と同じものであってもよい。
なお、第二のフィルドビア5を形成するための絶縁樹脂4においては、絶縁樹脂1より薄めの層間厚を使用することで、第二のフィルドビア5の電解フィルドめっきの充填性を向上させ、かつ第二のフィルドビア5のテーパ形状を極力抑えて、フィルドビア3で確保しためっき占有率を落とさないようにできる。
Next, as shown in FIG. 9D, after the second insulating
In addition, in the insulating
次に、図9(g)に示すように、第二のビアホール下穴5aに、導体材料を充填(フィルドめっき)して、第二のフィルドビア5を形成する。なお、第二のフィルドビア5の形成方法はフィルドビア3と同じため省略する。この第二のフィルドビア5は、フィルドビア3と電気的に接続し、印刷配線板100が完成する。なお、この後、表面の所定の位置にソルダーレジスト(図示せず)を形成してもよい。
Next, as shown in FIG. 9G, the second via hole
上記した印刷配線板100の製造方法は、フィルドめっきでフィルドビア3を形成する。そのため、パターンめっきを用いて放熱部となる導体(銅ポスト)を形成するセミアディティブプロセスで放熱部となる銅ポストを形成する場合よりも工程が減り、基板完成までの所要時間を削減でき、かつコストを減らすことができる。
さらに、隣り合うフィルドビア3のうち少なくとも一つがコア層10の表裏面における異なる方向の面から形成したフィルドビア3であり、フィルドビア3間の間隙を狭めることができるため、ビアホールをコア層10の片面から形成する工法よりも高い放熱性を備えた印刷配線板が作成可能である。
In the manufacturing method of the printed
Furthermore, at least one of the adjacent filled
1 絶縁樹脂
2、2´ 導電性金属箔
3、3´ フィルドビア
3a ビアホール下穴
4 第二の絶縁樹脂
5 第二のフィルドビア
5a 第二のビアホール下穴
10 コア層
30a、30a´ ビアホール下穴
31 上面フィルドビア
31a 上面ビアホール下穴
32 下面フィルドビア
32a 下面ビアホール下穴
33 第一貫通フィルドビア
34 第二貫通フィルドビア
100、101 印刷配線板
L レーザ
A,B,C 間隙
DESCRIPTION OF
Claims (10)
前記コア層に少なくとも一方が開口して形成された複数のフィルドビアと、を備える印刷配線板であって、
隣り合うフィルドビアのうち少なくとも一つが、前記コア層の表裏面における異なる方向の面から形成されたフィルドビアであることを特徴とする印刷配線板。 A core layer in which a conductive metal layer is formed on both sides of an insulating resin;
A printed wiring board comprising a plurality of filled vias formed by opening at least one of the core layers,
At least one of the adjacent filled vias is a filled via formed from surfaces in different directions on the front and back surfaces of the core layer.
前記コア層の表裏面からそれぞれレーザ加工して、少なくとも一方が開口し、かつ隣り合うビアホール下穴のうち少なくとも一つが、前記コア層の表裏面における異なる方向の面から形成された複数のビアホール下穴を形成する工程と、
前記ビアホール下穴にフィルドめっきしてフィルドビアを形成する工程と、を含むことを特徴とする印刷配線板の製造方法。 Obtaining a core layer having a conductive metal layer formed on both sides of an insulating resin;
Laser processing is performed from the front and back surfaces of the core layer, and at least one of the adjacent via hole pilot holes is below a plurality of via holes formed from surfaces in different directions on the front and back surfaces of the core layer. Forming a hole;
Forming a filled via by plating the via hole pilot hole.
前記第二の絶縁樹脂層に、レーザ加工で前記フィルドビアと接続する第二のビアホール下穴を形成し、フィルドめっきして第二のフィルドビアを設ける工程と、をさらに含む請求項6〜9のいずれかに記載の印刷配線板の製造方法。 Laminating a second insulating resin layer on at least one side of the core substrate;
The method further comprises: forming a second via hole pilot hole connected to the filled via by laser processing in the second insulating resin layer, and providing a second filled via by filling plating. A method for producing a printed wiring board according to claim 1.
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