JP2017084911A - 半導体モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】 第2電極層が絶縁樹脂層から剥離し難い半導体モジュールを提供する。【解決手段】 半導体モジュールは、半導体基板の表面を覆う第1電極層と、第1電極層の表面の外周部を覆う第1絶縁樹脂層と、第1電極層の表面の中央部から第1絶縁樹脂層の表面に跨る範囲を覆っている第2電極層と、第1絶縁樹脂層上に配置されている第2電極層の端部を覆うように第2電極層の表面から第2電極層に覆われていない範囲の第1絶縁樹脂層の表面に跨る範囲を覆う第2絶縁樹脂層と、第2絶縁樹脂層に覆われていない範囲の第2電極層の表面を覆っているはんだ層を有している。第1電極層の外周側から内周側に向かう方向において、前第2絶縁樹脂層の内周側の端部が、第1絶縁樹脂層の内周側の端部よりも内周側の位置、または、第1絶縁樹脂層の内周側の端部と同じ位置に配置されている。【選択図】図2
Description
本明細書が開示する技術は、半導体モジュールに関する。
特許文献1に、半導体装置の上部電極を、はんだによって外部の導電部材(ヒートシンクブロック)に接続した半導体モジュールが開示されている。はんだ層によって、上部電極が外部の導電部材に対して電気的に接続される。
近年の半導体モジュールでは、上部電極が、図5に示す構造を備えている。図5では、上部電極が、第1電極層101と第2電極層102を備えている。第1電極層101は、半導体基板120の表面を覆っている。第1電極層101の外周部は、絶縁樹脂層111によって覆われている。第2電極層102は、第1電極層101の中央部(すなわち、絶縁樹脂層111に覆われていない部分)から絶縁樹脂層111の表面に跨る範囲を覆っている。第2電極層102の表面の略全域を、はんだ層130が覆っている。はんだ層130の上端は、外部の導電部材140に接続されている。
図5の半導体モジュールでは、第2電極層102の絶縁樹脂層111に対する接着強度はそれほど高くない。また、半導体モジュールが温度変化すると、はんだ層130から第2電極層102に対して、第2電極層102を絶縁樹脂層111から引き離す方向に強い熱応力が加わる。このため、第2電極層102が、絶縁樹脂層111から剥離し易い。第2電極層102が絶縁樹脂層111から剥離すると、その後の温度変化によって剥離がさらに進展し、半導体基板120に向かってクラックが伸びる場合がある。クラックが半導体基板120に達すると、半導体モジュールの電気的特性に異常が発生し、問題となる。
したがって、本明細書では、第2電極層が絶縁樹脂層から剥離し難い半導体モジュールを提供する。
本明細書が開示する半導体モジュールは、半導体基板と、前記半導体基板の表面を覆う第1電極層と、前記第1電極層の表面の外周部を覆う第1絶縁樹脂層と、前記第1電極層の表面の中央部から前記第1絶縁樹脂層の表面に跨る範囲を覆っており、端部が前記第1絶縁樹脂層上に配置されている第2電極層と、前記第1絶縁樹脂層上に配置されている前記第2電極層の前記端部を覆うように前記第2電極層の表面から前記第2電極層に覆われていない範囲の前記第1絶縁樹脂層の表面に跨る範囲を覆う第2絶縁樹脂層と、前記第2絶縁樹脂層に覆われていない範囲の前記第2電極層の表面を覆っているはんだ層を有している。前記第1電極層の外周側から内周側に向かう方向において、前第2絶縁樹脂層の前記内周側の端部が、前記第1絶縁樹脂層の前記内周側の端部よりも前記内周側の位置、または、前記第1絶縁樹脂層の前記内周側の前記端部と同じ位置に配置されている。
なお、本明細書において、第1電極層の内周側は、第1電極層の表面の中央に近い側を意味し、外周側はその反対側を意味する。また、第1電極層の表面の外周部は、第1電極層の表面の外周側の部分を意味する。また、第1電極層の表面の中央部は、外周部(第1絶縁樹脂層によって覆われている部分)よりも内周側の部分(第1電極層の表面の中央を含む部分)を意味する。
この半導体モジュールでは、第2絶縁樹脂層が、第2電極層の第1絶縁樹脂層上の部分(以下、乗り上げ部という)を覆っている。外周側から内周側に向かう方向において、第2絶縁樹脂層の内周側の端部が、第1絶縁樹脂層の内周側の端部よりも内周側の位置、または、第1絶縁樹脂層の内周側の端部と同じ位置に配置されている。つまり、第2絶縁樹脂層が、第2電極層の乗り上げ部の略全体を覆っている。このため、はんだ層は、乗り上げ部よりも内周側の部分の第2電極層(第1電極層に直接接している部分)に接続される。このため、半導体モジュールが温度変化したときに、はんだ層から第2電極層の乗り上げ部に応力が加わり難い。また、第1絶縁樹脂層と第2絶縁樹脂層は共に樹脂層であるため、これらの線膨張係数が互いに近い。第2電極層の乗り上げ部が、互いに線膨張係数が近い第1絶縁樹脂層と第2絶縁樹脂層によって挟まれているため、第2電極層の乗り上げ部に熱応力が加わり難い。したがって、この半導体モジュールでは、第2電極層の乗り上げ部が、第1絶縁樹脂層から剥離し難い。
図1に示す実施例1の半導体モジュール10は、下部リードフレーム12、半導体基板16、金属ブロック20、上部リードフレーム24、信号リードフレーム30及び樹脂層26を有している。
下部リードフレーム12は、金属によって構成されている。
半導体基板16は、シリコン等の半導体によって構成されている。半導体基板16は、下部リードフレーム12上に配置されている。図示していないが、半導体基板16の下面には下部電極が配置されている。下部電極は、半導体基板16の下面全域を覆っている。下部電極は、はんだ層14によって下部リードフレーム12に接続されている。また、図1では示されていないが、半導体基板16の上面には図2に示す上部電極40が配置されている。上部電極40は、半導体基板16の上面の中央部を覆っている。また、図示していないが、半導体基板16の上面(上部電極40の外側)には、信号電極が配置されている。
金属ブロック20は、半導体基板16上に配置されている。金属ブロック20の下面は、はんだ層18によって半導体基板16の上面を覆う上部電極40に接続されている。
上部リードフレーム24は、金属によって構成されている。上部リードフレーム24は、金属ブロック20上に配置されている。上部リードフレーム24の下面は、はんだ層22によって金属ブロック20の上面に接続されている。
信号リードフレーム30は、金属によって構成されている。信号リードフレーム30は、下部リードフレーム12から横方向に離れた位置に配置されている。信号リードフレーム30は、ワイヤー28によって半導体基板16の上面の信号電極に接続されている。
樹脂層26は、下部リードフレーム12の下面と上部リードフレーム24の上面が露出するように、下部リードフレーム12、半導体基板16、金属ブロック20及び上部リードフレーム24を覆っている。
上部リードフレーム24は、金属ブロック20とはんだ層22、18を介して半導体基板16に接続されている。下部リードフレーム12は、はんだ層14を介して半導体基板16に接続されている。信号リードフレーム30は、ワイヤー28を介して半導体基板16に接続されている。本実施例では、半導体基板16にIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)が形成されている。上部リードフレーム24は、IGBTのエミッタ電極として機能する。下部リードフレーム12は、IGBTのコレクタ電極として機能する。信号リードフレーム30は、ゲート電極として機能する。上部リードフレーム24、下部リードフレーム12及び信号リードフレーム30の電圧を制御することで、半導体基板16(IGBT)を動作させることができる。また、上部リードフレーム24と下部リードフレーム12は、半導体基板16を冷却するヒートシンクとしても機能する。
図2は、はんだ層18の外周端近傍(図1の範囲X1)における半導体モジュール10の拡大断面図を示している。図2に示すように、半導体基板16の上面には、上部電極40が形成されている。上部電極40は、第1電極層41と第2電極層42を有している。
第1電極層41は、半導体基板16の上面に配置されている。第1電極層41は、半導体基板16の上面の中央(図1の中央C1)を含む広い範囲に形成されている。第1電極層41は、AlSi(より詳細には、99wt%のAlと1wt%のSiの合金)によって構成されている。第1電極層41の厚みは、4〜6μmである。第1電極層41の線膨張係数は、約23ppm/℃である。
第1電極層41の外周部(すなわち、図1の半導体基板16の外周端16aに近い部分)は、第1絶縁樹脂層51によって覆われている。第1絶縁樹脂層51の内周側(第1電極層41の上面の中央C1に近い側)の端部51aは、第1電極層41上に配置されている。第1絶縁樹脂層51は、ポリイミドによって構成されている。第1絶縁樹脂層51の厚みは、5〜10μmである。第1絶縁樹脂層51の線膨張係数は、約35ppmである。
第2電極層42は、第1電極層41の上面の中央部から第1絶縁樹脂層51の上面に跨る範囲に配置されている。すなわち、第2電極層42は、第1絶縁樹脂層51の内周側の端部51aよりも内周側の範囲で、第1電極層41の上面(すなわち、第1絶縁樹脂層51に覆われていない範囲の第1電極層41の上面)に接している。第2電極層42の外周側の部分42cは、第1絶縁樹脂層51上に乗り上げている。以下では、第2電極層42の第1絶縁樹脂層51上に配置されている部分42cを、乗り上げ部42cという。第1絶縁樹脂層51の内周側の端部51aは、第2電極層42によって覆われている。第2電極層42の外周側の端部42aは、第1絶縁樹脂層51上に配置されている。第2電極層42は、下側からTi層及びNi層を順に積層した構造を備えている。したがって、第2電極層42のTi層が、第1絶縁樹脂層51に接している。Ti層と第1絶縁樹脂層51の界面における接着強度は、他の界面(例えば、Ti層と第1電極層41の界面、はんだ層18と第2電極層42の界面、第1絶縁樹脂層51と第1電極層41の界面など)の接着強度よりも低い。Ti層の厚みは、0.1〜0.3μmである。Ti層の線膨張係数は、約9ppm/℃である。Ni層の厚みは、3〜5μmである。Ni層の線膨張係数は、約13ppm/℃である。
第2電極層42の乗り上げ部42cは、第2絶縁樹脂層52によって覆われている。第2絶縁樹脂層52は、第2電極層42の上面から第1絶縁樹脂層51の上面(乗り上げ部42cよりも外周側の第1絶縁樹脂層51の上面)に跨る範囲を覆っている。したがって、第2電極層42の外周側の端部42aが、第2絶縁樹脂層52によって覆われている。第2絶縁樹脂層52の内周側の端部52aは、第1絶縁樹脂層51の内周側の端部51aよりも内周側に配置されている。したがって、第2電極層42の乗り上げ部42cの全体が、第2絶縁樹脂層52によって覆われている。第2絶縁樹脂層52は、ポリイミドによって構成されている。第2絶縁樹脂層52の線膨張係数は、約35ppm/℃である。すなわち、第2絶縁樹脂層52の線膨張係数は、第1絶縁樹脂層51の線膨張係数と略等しい。
はんだ層18は、第2絶縁樹脂層52の内周側の端部52aよりも内周側(すなわち、第2絶縁樹脂層52に覆われていない範囲)の第2電極層42の上面を覆っている。はんだ層18は、はんだ付け工程(ろう付け工程)において、第2電極層42の露出している表面全体に濡れ広がる。このため、はんだ層18の外周端は、第2絶縁樹脂層52の内周側の端部52aの位置と一致する。はんだ層18の表面は、端部52aから内周側に斜め上方に向かって伸びている。はんだ層18の厚みは、約100μmである。はんだ層18の線膨張係数は、約20ppm/℃である。
第2電極層42の第1絶縁樹脂層51に対する接着強度はあまり高くない。また、第1絶縁樹脂層51の内周側の端面51bの両側で、第2電極層42が折れ曲がっている。このため、端面51b近傍で第2電極層42に応力が集中し易い。しかしながら、本実施例の半導体モジュール10では、第2電極層42の第1絶縁樹脂層51からの剥離(特に、端面51bにおける剥離)を抑制することができる。つまり、半導体モジュール10が温度変化すると、はんだ層18が図2の矢印に示す方向に熱膨張または熱収縮する。はんだ層18が厚いので、矢印に示す方向に生じる応力は大きい。しかしながら、本実施例では、第2絶縁樹脂層52の内周側の端部52aが第1絶縁樹脂層51の内周側の端部51aよりも内周側に位置しており、第2電極層42の乗り上げ部42c全体が第2絶縁樹脂層52によって覆われている。このため、はんだ層18が、第2電極層42の乗り上げ部42cに接していない。特に、はんだ層18が、第1絶縁樹脂層51の端面51b上の第2電極層42の部分42bに接していない。このため、はんだ層18の熱応力が、第2電極層42の乗り上げ部42c(特に、部分42b)に加わり難い。また、第2電極層42の乗り上げ部42c全体が、線膨張係数が略等しい第1絶縁樹脂層51と第2絶縁樹脂層52によって上下方向に挟まれている。このため、第2電極層42の乗り上げ部42cで高い応力が発生することが抑制される。これによって、第2電極層42が第1絶縁樹脂層51から剥離することが抑制される。特に、第2電極層42の部分42bが第2絶縁樹脂層52によって覆われているので、端面51bにおける第2電極層42と第1絶縁樹脂層51の剥離を抑制することができる。したがって、この構造によれば、半導体モジュール10の高い信頼性を実現することができる。
なお、第2絶縁樹脂層52の内周側の端部52aが第1絶縁樹脂層51の内周側の端部51aに対して極端に内周側に配置されていると、はんだ層18が第2電極層42に接する面積が小さくなり、これらの間の熱抵抗が高くなる。したがって、端部52aは、端部51aに近い位置に配置されていることが好ましい。例えば、図3に示すように、内周側から外周側に向かう方向において、端部52aが端部51aと同じ位置に配置されていてもよい。図3の構造によれば、図2の構造に比べて、はんだ層18と第2電極層42の間の熱抵抗を小さくすることができる。また、図2の構造でも、第2電極層42の乗り上げ部42cの大部分が第2絶縁樹脂層52によって覆われているので、第2電極層42が第1絶縁樹脂層51から剥離することを抑制することができる。
また、図4に示すように、第1絶縁樹脂層51の上面と端面51b上に、シランカップリング層60が形成されていてもよい。シランカップリング層60は、第2電極層42に接している。シランカップリング層60は、第1絶縁樹脂層51の表面にシランカップリング材を塗布することで形成される。このように、第1絶縁樹脂層51と第2電極層42の間にシランカップリング層60を配置することで、第1絶縁樹脂層51と第2電極層42の間の接着強度を向上させることができる。これによって、第1絶縁樹脂層51と第2電極層42の剥離をより効果的に抑制することができる。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例をさまざまに変形、変更したものが含まれる。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組み合わせによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組み合わせに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成するものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
10 :半導体モジュール
12 :下部リードフレーム
14 :はんだ層
16 :半導体基板
18 :はんだ層
20 :金属ブロック
22 :はんだ層
24 :上部リードフレーム
26 :樹脂層
28 :ワイヤー
30 :信号リードフレーム
40 :上部電極
41 :第1電極層
42 :第2電極層
51 :第1絶縁樹脂層
52 :第2絶縁樹脂層
12 :下部リードフレーム
14 :はんだ層
16 :半導体基板
18 :はんだ層
20 :金属ブロック
22 :はんだ層
24 :上部リードフレーム
26 :樹脂層
28 :ワイヤー
30 :信号リードフレーム
40 :上部電極
41 :第1電極層
42 :第2電極層
51 :第1絶縁樹脂層
52 :第2絶縁樹脂層
Claims (1)
- 半導体モジュールであって、
半導体基板と、
前記半導体基板の表面を覆う第1電極層と、
前記第1電極層の表面の外周部を覆う第1絶縁樹脂層と、
前記第1電極層の表面の中央部から前記第1絶縁樹脂層の表面に跨る範囲を覆っており、端部が前記第1絶縁樹脂層上に配置されている第2電極層と、
前記第1絶縁樹脂層上に配置されている前記第2電極層の前記端部を覆うように、前記第2電極層の表面から前記第2電極層に覆われていない範囲の前記第1絶縁樹脂層の表面に跨る範囲を覆う第2絶縁樹脂層と、
前記第2絶縁樹脂層に覆われていない範囲の前記第2電極層の表面を覆っているはんだ層、
を有しており、
前記第1電極層の外周側から内周側に向かう方向において、前第2絶縁樹脂層の前記内周側の端部が、前記第1絶縁樹脂層の前記内周側の端部よりも前記内周側の位置、または、前記第1絶縁樹脂層の前記内周側の前記端部と同じ位置に配置されている半導体モジュール。
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Cited By (1)
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WO2020174670A1 (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2015
- 2015-10-26 JP JP2015210177A patent/JP2017084911A/ja active Pending
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