JP2017083362A - 圧力センサ - Google Patents

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曽篠 雅彦
Masahiko Soshino
雅彦 曽篠
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Abstract

【課題】結露した水分が圧力導入管に入るのを防止する機構を設けずに圧力センサの結露を抑制する構造を提供する
【解決手段】気体の圧力情報を検出する半導体センサ1と、半導体センサ1を収容するゲージケース3、外装ケース8と半導体センサ1を固定するためのエポキシ樹脂6が外部から受ける熱による急激な温度変化を無くす為にゲージケース3、外装ケース8およびエポキシ樹脂6の外周を覆うゴムからなるゴムカバー12と、を備えた。
【選択図】図1

Description

本発明は、気体の圧力を測定する圧力センサに関する。
圧力検出を行うセンサ素子が収納された圧力検出室と、被測定媒体からの圧力を該圧力検出室へ導入する圧力導入管とを備える圧力センサが特許文献1に記載されている。この特許文献1には、「この圧力検出室の底面に設けられた穴部と連通しつつ前記圧力検出室の下方に延び、被測定媒体からの圧力を前記穴部から前記圧力検出室へ導入する圧力導入管とを備え、前記圧力検出室の底面には、前記圧力検出室にて結露した水分を前記穴部の周囲にてせき止める堰部が設けられていることを特徴とする圧力センサ」と記載されている。
特開2000−186969号公報
上述したように、特許文献1には、圧力検出を行うセンサ素子が収納された圧力検出室と、被測定媒体からの圧力を該圧力検出室へ導入する圧力導入管とを備える圧力センサが記載されている。しかし、特許文献1に記載された圧力検出室にて結露した水分が圧力導入管に入るのを防止する機構は、効果の期待できる結露量が構造により決まっている。このため、効果を期待できる結露量以上になる場合は効果を期待出来ないおそれがあった。
本発明の目的は、結露した水分が圧力導入管に入るのを防止する機構を設けずに、圧力センサの結露を抑制する構造を提供することにある。
上記課題を解決するために、代表的な本発明の圧力センサは、半導体センサと、前記導体センサを収容するケースと、前記ケースの外周を覆うゴムからなるゴムカバーと、を備えた構成からなる。
本発明によれば、結露した水分が圧力導入管に入るのを防止する機構を設けずに、圧力センサの結露を抑制することができる。
本発明の実施形態に係る結露抑制機構を示す圧力センサ装置の断面図
以下本発明の一実施例について図1に沿って説明する。図1は、本発明の一実施例に係る結露抑制機構を示す圧力センサ装置の断面図である。
圧力情報を検出する半導体センサ1はシリコンから成る。半導体センサ1はガラス台座2とアノーディックボンディング等で接合されている。前記半導体センサ1を収納するゲージケース3はエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂、またはPPS等の熱可塑性樹脂からなり、出力端子6はニッケルメッキを施したリン青銅で構成されている。
前記ゲージケース3にはガラス台座2と接合した半導体センサ1が接着剤7により接着固定されている。また、ゲージケース3にインサート成形されている出力端子6は、半導体センサ1とアルミまたは金から成るワイヤー4で電気的に接続されている。この半導体センサ1をシリコーンゲル等の保護材5で被覆することで腐食性ガス,液体から保護されている。外装ケース8はPBT,PPS等の樹脂材と、金属製のリード材9で構成される。
外装ケース8は前記ゲージケース3を実装するための固定等の目的で、エポキシ樹脂6が充填されている。また、外装ケース8の外側をコネクタ形状とし、リード材9により外部に信号を出力する構造となっている。
そして、前記ゲージケース3一部と外装ケース8とエポキシ樹脂6が外部から熱影響を受にくくし、急激な温度変化を無くす為にゴムカバー12が装着・固定されている。
本実施例によれば圧力検出装置にゴムカバー12を装着する構造となっている。圧力検出装置が自動車などの内燃機関の排気環境下にて使用される場合、内燃機関より排出されるガス(高温、高湿)による影響を考慮する必要があり、圧力センサ内部に温度差が生じると温度が低い部位に結露しやすくなる。本実施例では上記記載の温度差による結露を予防する構造として、圧力検出装置にゴムカバー11を装着する。
上記ゴムカバー12を装着することにより、圧力センサ内部の温度差が生じなくなり結露を防止することが可能となり、圧力導入管11に水分が溜まるのを防止することができる。
1…半導体センサ、2…ガラス台座、3…ゲージケース、4…ワイヤー、5…保護材、接着剤、6…出力端子、8…外装ケース、9…リード材、接着剤、11…圧力導入管、12…ゴムカバー

Claims (3)

  1. 半導体センサと、
    前記導体センサを収容するケースと、
    前記ケースの外周を覆うゴムからなるゴムカバーと、を備えたことを特徴とする圧力センサ。
  2. 請求項1に記載の圧力センサにおいて
    前記半導体センサを覆うゲージケースを備え、
    前記ゲージケースは、前記半導体センサと共に前記ケースに実装されていることを特徴とする圧力センサ。
  3. 請求項2に記載の圧力センサにおいて、
    前記ケースは、内部に前記ゲージケースを固定するために樹脂が充填されており、前記樹脂を含む領域が前記ゴムカバーで覆われていることを特徴とする圧力センサ。
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