JP2017076248A - テンプレートマッチングを用いた検査装置および検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下、図面を用いて、本発明におけるテンプレートマッチングを用いた検査装置および検査方法について説明する。なお、図中で説明番号が同じものは、特に断わりがない限り同一部材を示していることとする。
(1)
(2)
(3)
図8は、検査或いは計測装置によって撮像された対象物の取得画像と、アライメント用パターンとして設計データより生成した画像から切り出したテンプレートとを対応付ける本発明のテンプレートマッチング処理の第2の実施例であり、演算処理装置の流れを示したブロック図である。図3で説明した第1の実施例との主な相違は、マッチング候補選出部D、E、Fに対して夫々異なる複数種類の被探索画像A、B、Cを入力可能な点、及びマッチング候補選出部D、E、Fでは夫々異なる種類のマッチング手法による探索処理を行うことが可能な点である。なお、これらの異なる機能は同時に備えることも可能であるが、いずれか一方の機能のみを備えることも可能である。その他については、図3での説明と同様である。
101 電子銃
102 ステージ
103 半導体ウェーハ
104 偏向器
105 対物レンズ
106 2次電子検出器
107、109、110、112 A/D変換器
108 反射電子検出器
111 光学式カメラ
114 演算処理装置
115 メモリ
116 演算処理部
141 電子線
142 コンデンサレンズ
201 テンプレート
210、220、230 被探索画像
305 マッチング処理選出部A
306 マッチング処理選出部B
307 マッチング処理選出部C
311、312、313 単一テンプレート尤度算出処理部
317 複数テンプレート統合尤度算出処理部
319 最大統合尤度マッチング候補処理選出部
400、430 被探索画像
504 単一テンプレート尤度算出処理部
505 統計量算出処理部
506 尤度算出処理部
600 半導体パターンの設計データ
610 被探索画像
704 基準候補の選出部
705 ポート候補となり得るマッチング候補の選出部
706 設計データでの基準候補に対する配置ベクトルとマッチング結果での基準候補に対する配置ベクトルとのずれ量算出処理部
707 基準候補における複数テンプレート統合尤度算出部
804 マッチング処理選出部D
814 マッチング処理選出部E
824 マッチング処理選出部F
901 SEM本体
902 制御装置
903 検出器
904 演算処理装置
905 設計データ記憶媒体
907 演算処理部
908 メモリ
911 レシピ作成部
921 マッチング処理部
931 パターン測定部
1001 テンプレート登録部
1050 マッチング結果表示部
Claims (8)
- 被探索画像を取得し、その被探索画像に対してテンプレートマッチングを施す検査装置であって、
複数のテンプレートを入力するテンプレート入力手段と、
前記被探索画像と前記複数のテンプレートとのマッチング処理を行ってマッチング候補群を選出する複数のマッチング候補選出部と、
前記複数のマッチング候補選出部で選出した複数のマッチング候補群に対する単一テンプレート尤度を算出する複数の単一テンプレート尤度算出処理部と、
前記複数の単一テンプレート尤度算出処理部で算出した複数の単一テンプレート尤度を用いて、前記マッチング候補群に対する複数テンプレート統合尤度を算出する複数テンプレート統合尤度算出処理部と、
前記複数テンプレート統合尤度算出処理部で算出した複数テンプレート統合尤度を用いて、前記マッチング候補群の中から複数テンプレート統合尤度が最大又は閾値以上となるマッチング候補を選出する最大統合尤度マッチング候補選出部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記最大統合尤度マッチング候補選出部は、マッチング位置または最大統合尤度を出力することを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記被探索画像は複数であることを特徴とする検査装置。 - 請求項1記載の検査装置において、
前記複数の単一テンプレート尤度算出処理部で算出する単一テンプレート尤度は、前記マッチング候補群内のマッチング候補の相関値の統計量を用いて算出することを特徴とする検査装置。 - 検査装置において、被探索画像を取得し、その被探索画像に対してテンプレートマッチングを施す検査方法であって、
テンプレート入力手段が、複数のテンプレートを入力する工程と、
複数のマッチング候補選出部が、前記被探索画像と前記複数のテンプレートとのマッチング処理を行ってマッチング候補群を選出する工程と、
複数の単一テンプレート尤度算出処理部が、前記複数のマッチング候補選出部で選出した複数のマッチング候補群に対する単一テンプレート尤度を算出する工程と、
複数テンプレート統合尤度算出処理部が、前記複数の単一テンプレート尤度算出処理部で算出した複数の単一テンプレート尤度を用いて、前記マッチング候補群に対する複数テンプレート統合尤度を算出する工程と、
最大統合尤度マッチング候補選出部が、前記複数テンプレート統合尤度算出処理部で算出した複数テンプレート統合尤度を用いて、前記マッチング候補群の中から複数テンプレート統合尤度が最大又は閾値以上となるマッチング候補を選出する工程と、
を備えることを特徴とする検査方法。 - 請求項5記載の検査方法において、
前記最大統合尤度マッチング候補選出部が、マッチング位置または最大統合尤度を出力する工程を備えることを特徴とする検査方法。 - 請求項5記載の検査方法において、
前記検査装置が、前記被探索画像を複数個取得する工程を備えることを特徴とする検査方法。 - 請求項5記載の検査方法において、
前記複数の単一テンプレート尤度算出処理部が、前記マッチング候補群内のマッチング候補の相関値の統計量を用いて単一テンプレート尤度を算出する工程を備えることを特徴とする検査方法。
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