JP2017074714A - Production method of multilayer polyimide film - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for preventing crack which is generated when a metal-clad laminate is formed by arranging a metal foil on a multilayer polyimide film, and further a flexible printed wiring board is continuously manufactured by a roll-to-roll method.SOLUTION: A multilayer polyimide film is formed by laminating a thermoplastic polyimide layer including at least a thermoplastic polyimide on at least one face of a non-thermoplastic polyimide layer including at least a non-thermoplastic polyimide. A production method of the multilayer polyimide film comprises: forming a multilayer liquid film by simultaneously flow casting at least two kinds of solutions containing a polyimide precursor or a polyimide on a support medium; obtaining a multilayer self-supporting film by heat-treating the multilayer liquid film; and subsequently heat-treating the multilayer self-supporting film, in which a heat-treating step in a super-heated steam atmosphere is included.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。詳しくは、フレキシブルプリント配線板を製造する材料として用いた場合に、フレキシブルプリント配線板の製造工程で発生するクラックを抑制することができる多層ポリイミドフィルムの製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film. Specifically, the present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film that can suppress cracks that occur in the production process of a flexible printed wiring board when used as a material for producing a flexible printed wiring board.

近年、電子機器の高性能化、高機能化、小型化が急速に進んでおり、これに伴って電子機器に用いられる電子部品に対しても小型化、薄型化の要請が高まっている。更に、コストダウン化も進み、フレキシブルプリント配線板(以下、FPCともいう)の製造工程は従来のバッチ式からロールツーロール式の加工方法へと変化しつつある。   2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices have been rapidly improved in performance, functionality, and miniaturization, and accordingly, there is an increasing demand for miniaturization and thinning of electronic components used in electronic devices. Further, the cost reduction is progressing, and the manufacturing process of the flexible printed wiring board (hereinafter also referred to as FPC) is changing from the conventional batch type to the roll-to-roll type processing method.

具体的には、従来のFPCの製造工程は、現像、エッチング処理、レジスト剥離といった各工程をバッチ式で行っていた。一方、主に現像、エッチング処理、レジスト剥離の3工程をロールツーロール式で連続的に行うことにより、高生産性と人員の削減の両方が可能となり、コストダウンが実現できる。   Specifically, in the conventional FPC manufacturing process, each process such as development, etching treatment, and resist stripping is performed in a batch system. On the other hand, by continuously performing the three steps of development, etching treatment, and resist removal in a roll-to-roll manner, both high productivity and a reduction in personnel can be achieved, and cost reduction can be realized.

バッチ式のFPC製造工程は、各工程ごとに細かい条件設定が可能であるというメリットがある一方で、手間がかかる。一方、ロールツーロール式では、コストダウンが見込める一方で、一つの工程の処理時間が長くなると、自ずと連続的に続く工程全体の処理時間も長くなる等、バッチ式に対して小回りが利きづらく、結果として金属張積層板にかかる熱的な負担も大きくなる。また、基材の搬送時にシワを発生させないために基材にある一定以上の張力をかける必要があるなど、バッチ式に比べてロールツーロール式のほうが基材への機械的な負担が大きくなるケースがある。また、FPC加工におけるエッチング処理等における各種薬液に由来する化学的な負担もあり、バッチ式でもロールツーロール式でも負荷を及ぼす。   The batch type FPC manufacturing process has the merit that fine conditions can be set for each process, but takes time and effort. On the other hand, in the roll-to-roll method, while cost reduction can be expected, if the processing time of one process becomes long, the processing time of the whole continuous process naturally increases, and it is difficult to make a small turn compared to the batch method, As a result, the thermal burden on the metal-clad laminate is also increased. In addition, the roll-to-roll method has a greater mechanical burden on the substrate than the batch method, such as the need to apply a certain level of tension to the substrate so as not to cause wrinkles during conveyance of the substrate. There is a case. In addition, there is a chemical burden derived from various chemicals in the etching process or the like in FPC processing, and a load is exerted on both a batch type and a roll-to-roll type.

従来、現像・エッチング処理・レジスト剥離工程で使用するアルカリ溶液に対する耐性を制御したポリイミド(例えば、特許文献1、2)については報告がなされている。   Conventionally, there have been reports on polyimides (for example, Patent Documents 1 and 2) in which resistance to an alkaline solution used in development, etching, and resist stripping processes is controlled.

また、FPCの製造方法において、銅箔が多用される金属箔にポリイミド系樹脂を塗布、乾燥させて、金属張積層板を得て、さらにエッチング等の処理を行い、FPCを得る方法がある。最近、この金属張積層板の製造において、従来の熱処理方法である、熱風乾燥、赤外線乾燥などに代わり、過熱水蒸気による熱処理が提案されている。(例えば、特許文献3、4)。これらの方法は、金属箔にポリイミド系樹脂層を塗布、乾燥して金属張積層板を得るキャスト方法では一定の効果が認められている。   Moreover, in the manufacturing method of FPC, there exists a method of apply | coating and drying a polyimide-type resin to the metal foil with which copper foil is used frequently, obtaining a metal-clad laminated board, and also performing processes, such as an etching, and obtaining FPC. Recently, in the production of this metal-clad laminate, heat treatment with superheated steam has been proposed in place of the conventional heat treatment methods such as hot air drying and infrared drying. (For example, Patent Documents 3 and 4). These methods are recognized to have a certain effect in a casting method in which a metal-clad laminate is obtained by applying a polyimide resin layer to a metal foil and drying it.

特開平06−120659号公報Japanese Patent Laid-Open No. 06-120659 特開2012−186377号公報JP 2012-186377 A 特開2009−286093号公報JP 2009-286093 A 特開2009−286095号公報JP 2009-286095 A

本発明者らの検討によれば、バッチ式のFPC製造工程では問題とはならなかった新たな課題、すなわち、ロールツーロール式のFPC製造工程で基材のポリイミドフィルムにクラックが発生するという問題が発生することが判明した。   According to the study by the present inventors, a new problem that did not become a problem in the batch type FPC manufacturing process, that is, a problem that a crack occurs in the polyimide film of the base material in the roll-to-roll type FPC manufacturing process. Was found to occur.

すなわち、特許文献1、2に開示された材料では、従来のバッチ式であるFPC製造工程においては問題にならずとも、上述のようなロールツーロール式により連続的にFPCを製造する工程に耐えるには不十分であることが判明し、このような工程を経てもクラックが発生しないようなポリイミド材料は、これまで提供されていなかった。また、特許文献3、4に開示された過熱水蒸気による熱処理方法は、金属箔に樹脂層を直接積層するキャスト方法より金属張積層板の生産性などの点において優れる熱ラミネート方法に関する技術は開示されていない。   That is, the materials disclosed in Patent Documents 1 and 2 can withstand the process of continuously manufacturing FPCs by the roll-to-roll method as described above, even if there is no problem in the conventional batch-type FPC manufacturing process. It has been found that such a polyimide material has not been provided, and a polyimide material that does not crack after such a process has not been provided. In addition, the heat treatment method using superheated steam disclosed in Patent Documents 3 and 4 discloses a technique relating to a heat laminating method which is superior in terms of productivity of a metal-clad laminate, etc., than a casting method in which a resin layer is directly laminated on a metal foil. Not.

つまり、多層ポリイミドフィルムの製造において、(1)ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸のイミド化を十分に促進するに十分な熱処理を行う場合、過剰な熱履歴により多層ポリイミドフィルム、特に熱可塑性ポリイミド層の酸化分解反応に起因する多層ポリイミドフィルムの劣化が起こり、金属箔との密着性が低下する課題がある。一方、(2)酸化分解反応が起こらない比較的温和な熱処理条件下でイミド化を行うと非熱可塑性ポリイミドの凝集化が不十分な場合があり、その結果FPCの製造工程における張力荷重下でアルカリ条件下での多層ポリイミドフィルムにおけるクラックが発生する要因となる。   That is, in the production of a multilayer polyimide film, (1) when heat treatment sufficient to sufficiently promote imidization of the polyamic acid which is a polyimide precursor is performed, the multilayer polyimide film, particularly the thermoplastic polyimide layer, is caused by an excessive thermal history. There is a problem that the multilayer polyimide film is deteriorated due to the oxidative decomposition reaction, and the adhesion to the metal foil is lowered. On the other hand, (2) when imidization is performed under relatively mild heat treatment conditions in which no oxidative decomposition reaction occurs, the non-thermoplastic polyimide may be insufficiently agglomerated, and as a result, under a tensile load in the FPC manufacturing process. It becomes a factor which the crack in a multilayer polyimide film under an alkaline condition generate | occur | produces.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、金属箔と積層する工程において熱ラミネート法に好適な多層ポリイミドフィルムを提供することである。他の目的は、FPCの製造工程における過酷な環境に晒されてもクラックが発生しない多層ポリイミドフィルムを提供することにある。具体的には、多層ポリイミドフィルムに金属箔を積層して金属張積層板とし、さらにロールツーロール式で連続的にFPCを製造する際に、銅箔との十分な密着性を発現することができる。あわせて、ロールツーロール式におけるアルカリ処理条件下でもクラックの発生を抑制することができる多層ポリイミドフィルムの製造方法を提供することにある。   This invention is made | formed in view of the said subject, The objective is to provide the multilayer polyimide film suitable for a thermal laminating method in the process of laminating | stacking with metal foil. Another object is to provide a multilayer polyimide film that does not crack even when exposed to the harsh environment in the manufacturing process of FPC. Specifically, when a metal foil is laminated on a multilayer polyimide film to form a metal-clad laminate, and when FPC is continuously produced in a roll-to-roll manner, sufficient adhesion with copper foil can be expressed. it can. In addition, an object of the present invention is to provide a method for producing a multilayer polyimide film capable of suppressing the generation of cracks even under alkaline treatment conditions in a roll-to-roll system.

すなわち、本発明は、以下の新規な多層ポリイミドフィルムの製造方法により上記課題を解決しうる。
1)ポリイミドの前駆体またはポリイミドを含有する溶液を、少なくとも2種以上同時に支持体上に流延して多層液膜を形成し、前記多層液膜を熱処理して多層自己支持性フィルムとした後、前記多層自己支持性フィルムを熱処理する多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、過熱水蒸気雰囲気下において熱処理を行う工程を含むことを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
2)残存溶媒量が31重量%〜150重量%である多層自己支持性フィルム、または残存溶媒量が0.01重量%〜30重量%である多層ポリイミドフィルムの少なくとも一方を過熱水蒸気雰囲気下において熱処理を行う工程を含むことを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
3)多層ポリイミドフィルムが、少なくとも非熱可塑性ポリイミドを含む非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に、少なくとも熱可塑性ポリイミドを含む熱可塑性ポリイミド層を積層した多層ポリイミドフィルムであることを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。
That is, this invention can solve the said subject with the manufacturing method of the following novel multilayer polyimide films.
1) After a polyimide precursor or a polyimide-containing solution is simultaneously cast on a support to form a multilayer liquid film, the multilayer liquid film is heat-treated to form a multilayer self-supporting film The present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film, which comprises heat-treating the multilayer self-supporting film in a superheated steam atmosphere.
2) At least one of a multilayer self-supporting film having a residual solvent amount of 31 wt% to 150 wt% or a multilayer polyimide film having a residual solvent amount of 0.01 wt% to 30 wt% is heat-treated in a superheated steam atmosphere. The manufacturing method of the multilayer polyimide film characterized by including the process of performing.
3) The multilayer polyimide film is a multilayer polyimide film in which a thermoplastic polyimide layer containing at least a thermoplastic polyimide is laminated on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide layer containing at least a non-thermoplastic polyimide. It relates to the manufacturing method.

本発明の製造方法により得られる多層ポリイミドフィルムは、金属箔との十分な密着性を発現するとともに、張力がかかり、かつアルカリ条件下という過酷な環境に晒されてもクラックの発生がない。本発明の製造方法により得られる多層ポリイミドフィルムを用いれば、金属張積層板を用いたFPCの加工工程での生産性を向上させることができる。   The multilayer polyimide film obtained by the production method of the present invention exhibits sufficient adhesion to the metal foil, is tensioned, and does not generate cracks even when exposed to a severe environment under alkaline conditions. If the multilayer polyimide film obtained by the manufacturing method of this invention is used, the productivity in the processing process of FPC using a metal-clad laminated board can be improved.

本発明の割れ裂け耐性テストで使用する試験片を示す図である。It is a figure which shows the test piece used by the cracking-resistance test of this invention.

本発明の実施の一形態について、以下に説明する。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、記述した範囲内で種々の変形を加えた態様で実施できる。   One embodiment of the present invention will be described below. However, this invention is not limited to this, It can implement in the aspect which added the various deformation | transformation within the described range.

なお、本明細書において特記しない限り、数値範囲を表す「A〜B」は、「A以上、B以下」を意味する。   Unless otherwise specified in this specification, “A to B” indicating a numerical range means “A or more and B or less”.

本発明は、多層ポリイミドフィルムが、少なくとも非熱可塑性ポリイミドを含む非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に、少なくとも熱可塑性ポリイミドを含む熱可塑性ポリイミド層を積層した多層ポリイミドフィルムの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a multilayer polyimide film in which a multilayer polyimide film is formed by laminating a thermoplastic polyimide layer containing at least a thermoplastic polyimide on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide layer containing at least a non-thermoplastic polyimide.

(多層ポリイミドフィルム)
本発明における多層ポリイミドフィルムは、少なくとも非熱可塑性ポリイミドを含む非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に、少なくとも熱可塑性ポリイミドを含む熱可塑性ポリイミド層を積層するものをいう。
(Multilayer polyimide film)
The multilayer polyimide film in the present invention refers to a laminate in which a thermoplastic polyimide layer containing at least a thermoplastic polyimide is laminated on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide layer containing at least a non-thermoplastic polyimide.

本発明における非熱可塑性ポリイミドとは、単独で製膜した場合に得られるフィルムを、450℃、1分間加熱した場合に、シワが入ったり伸びたりすることがなく、形状を保持しているポリイミドをいう。   The non-thermoplastic polyimide in the present invention is a polyimide that retains its shape without wrinkling or stretching when heated at 450 ° C. for 1 minute, when the film obtained when formed alone is formed. Say.

本発明における熱可塑性ポリイミドとは、単独で製膜した場合に得られるフィルムを、450℃、1分間加熱した場合に、シワが入ったり、伸びたりして、形状を保持しないポリイミドをいう。   The thermoplastic polyimide in the present invention refers to a polyimide that does not retain its shape when wrinkled or stretched when heated at 450 ° C. for 1 minute.

(非熱可塑性ポリイミド)
多層ポリイミドフィルムの非熱可塑性ポリイミド層に含まれる非熱可塑性ポリイミドの原料として用いる芳香族酸二無水物は特に限定されない。例えば、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの誘導体を含み、これらを単独で、または任意の割合で混合した混合物を例示することができる。
(Non-thermoplastic polyimide)
The aromatic dianhydride used as a raw material of the non-thermoplastic polyimide contained in the non-thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film is not particularly limited. For example, pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6 -Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis ( 3,4-dicarboxy Enyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid mono Ester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), and derivatives thereof, and mixtures thereof alone or in any proportion can be exemplified.

これらの中でも、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種の酸二無水物であることが好ましく、製造時の溶媒溶解性の面で、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物がさらに好ましい。   Among these, from the group consisting of pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride Preferably, it is at least one acid dianhydride selected, and in terms of solvent solubility during production, pyromellitic acid dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride Is more preferable.

多層ポリイミドフィルムの非熱可塑性ポリイミド層に含まれる非熱可塑性ポリイミドの原料として用いる芳香族ジアミンは特に制限されない。例えば、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、p−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン(4,4’-ジアミノビフェニル)、3,3’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニル−N−メチルアミン、4,4’−ジアミノビフェニル−N−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル−N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルおよびそれらの誘導体などが挙げられ、これらを単独で、または任意の割合で混合した混合物を例示することができる。   The aromatic diamine used as a raw material for the non-thermoplastic polyimide contained in the non-thermoplastic polyimide layer of the multilayer polyimide film is not particularly limited. For example, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1 , 4-bis (4-aminophenoxy) benzene, p-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, benzidine (4,4′-diaminobiphenyl), 3,3′- Dichlorobenzidine, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4 ′ -Diaminodiphenyl ether, 1,5-diaminonaphthalene, 4 4'-diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4'-diaminodiphenyl-N-methylamine, 4,4'-diaminobiphenyl-N -Methylamine, 4,4'-diaminodiphenyl-N-phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, 2,2-bis [ 4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, and derivatives thereof are exemplified, and examples thereof include a mixture of these alone or in an arbitrary ratio. be able to.

これらの中でも、非熱可塑性ポリイミドを構成するジアミンとしては、熱可塑性ブロックを形成する面で2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルを用いることが好ましく、線膨張係数及び強度の制御の面で、p−フェニレンジアミンを用いることが好ましい。   Among these, the diamine constituting the non-thermoplastic polyimide is 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 4 in terms of forming a thermoplastic block. , 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl is preferably used, and p-phenylenediamine is preferably used in terms of controlling the linear expansion coefficient and strength.

なお、非熱可塑性ポリイミド中において熱可塑性ブロック成分を含むこと、すなわち、非熱可塑性ポリイミド層になるポリアミド酸が、分子中に熱可塑性ブロック成分を有する非熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸であることは、非熱可塑性ポリイミドと熱可塑性ポリイミドとの密着性を向上させることができる点で好ましい。   It should be noted that the non-thermoplastic polyimide contains a thermoplastic block component, that is, the polyamic acid that becomes the non-thermoplastic polyimide layer is a polyamic acid that is a precursor of the non-thermoplastic polyimide having a thermoplastic block component in the molecule. A certain thing is preferable at the point which can improve the adhesiveness of a non-thermoplastic polyimide and a thermoplastic polyimide.

(熱可塑性ポリイミド)
熱可塑性ポリイミド層に含まれる熱可塑性ポリイミドの原料として用いる芳香族酸二無水物は特に限定されない。例えば、ピロメリット酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、オキシジフタル酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、p−フェニレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、エチレンビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)、ビスフェノールAビス(トリメリット酸モノエステル酸無水物)及びそれらの誘導体を含み、これらを単独で、または任意の割合で混合した混合物を例示することができる。
(Thermoplastic polyimide)
The aromatic dianhydride used as a raw material for the thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic polyimide layer is not particularly limited. For example, pyromellitic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6 -Naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,2 ', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1,1-bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis ( 3,4-dicarboxy Enyl) ethane dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, p-phenylene bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), ethylene bis (trimellitic acid mono Ester acid anhydride), bisphenol A bis (trimellitic acid monoester acid anhydride), and derivatives thereof, and mixtures thereof alone or in any proportion can be exemplified.

これらの中でも、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物からなる群より選ばれる少なくとも1種の酸二無水物であることが好ましく、金属張積層板の銅箔引き剥がし強度を高める面で3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を用いることが好ましく、金属張積層板の銅箔引き剥がし強度を高めたままで、半田耐熱性の向上をさせる点で、ピロメリット酸二無水物と3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物を併用することが好ましい。   Among these, from the group consisting of pyromellitic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride Preferably, the acid dianhydride is at least one selected, and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride is used in terms of increasing the copper foil peeling strength of the metal-clad laminate. It is preferable that pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic acid dicarboxylic acid are used in order to improve solder heat resistance while increasing the peeling strength of the copper foil of the metal-clad laminate. It is preferable to use an anhydride in combination.

熱可塑性ポリイミド層に含まれる熱可塑性ポリイミドの原料として用いる芳香族ジアミンは特に制限されない。例えば、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、p−フェニレンジアミン、4,4’−ジアミノジフェニルプロパン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、ベンジジン(4,4’-ジアミノビフェニル)、3,3’−ジクロロベンジジン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノナフタレン、4,4’−ジアミノジフェニルジエチルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルシラン、4,4’−ジアミノジフェニルエチルホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノジフェニルN−メチルアミン、4,4’−ジアミノジフェニル−N−フェニルアミン、1,4−ジアミノベンゼン(p−フェニレンジアミン)、1,3−ジアミノベンゼン、1,2−ジアミノベンゼン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルおよびそれらの誘導体などが挙げられ、これらを単独で、または任意の割合で混合した混合物をを例示することができる。   The aromatic diamine used as a raw material for the thermoplastic polyimide contained in the thermoplastic polyimide layer is not particularly limited. For example, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1 , 4-bis (4-aminophenoxy) benzene, p-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylpropane, 4,4′-diaminodiphenylmethane, benzidine (4,4′-diaminobiphenyl), 3,3′- Dichlorobenzidine, 4,4′-diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4 ′ -Diaminodiphenyl ether, 1,5-diaminonaphthalene, 4 4'-diaminodiphenyldiethylsilane, 4,4'-diaminodiphenylsilane, 4,4'-diaminodiphenylethylphosphine oxide, 4,4'-diaminodiphenyl N-methylamine, 4,4'-diaminodiphenyl-N- Phenylamine, 1,4-diaminobenzene (p-phenylenediamine), 1,3-diaminobenzene, 1,2-diaminobenzene, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 4, Examples thereof include 4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl and derivatives thereof, and examples thereof include a mixture of these alone or in an arbitrary ratio.

これらの中でも、熱可塑性ポリイミドを構成する2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニルは、金属張積層板の金属箔の引き剥がし強度を向上させる点で好ましい。   Among these, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane and 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl constituting thermoplastic polyimide are metal foils of metal-clad laminates. This is preferable in terms of improving the peeling strength.

本発明においてポリアミド酸を製造するための好ましい溶媒は、ポリアミド酸を溶解する溶媒であればいかなるものも用いることができる。例えば、アミド系溶媒、すなわちN,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N−メチル−2−ピロリドンなどを例示することができる。中でも、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミドを特に好ましく用いることができる。   As the preferred solvent for producing the polyamic acid in the present invention, any solvent that dissolves the polyamic acid can be used. For example, amide solvents such as N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone and the like can be exemplified. Of these, N, N-dimethylformamide and N, N-dimethylacetamide can be particularly preferably used.

本発明においてポリアミド酸の製造にはいかなるモノマーの添加方法を用いても良い。代表的な重合方法として、次のような方法が挙げられる。すなわち、
1)芳香族ジアミンを有機極性溶媒中に溶解し、これと実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物を反応させて重合する方法、
2)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過小モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端に酸無水物基を有するプレポリマーを得る。続いて、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法、
3)芳香族テトラカルボン酸二無水物とこれに対し過剰モル量の芳香族ジアミン化合物とを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る。続いてここに芳香族ジアミン化合物を追加添加後、全工程において芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミン化合物が実質的に等モルとなるように芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いて重合する方法、
4)芳香族テトラカルボン酸二無水物を有機極性溶媒中に溶解および/または分散させた後、実質的に等モルとなるように芳香族ジアミン化合物を用いて重合させる方法、
5)実質的に等モルの芳香族テトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンの混合物を有機極性溶媒中で反応させて重合する方法、
などのような方法である。これらの方法を単独で用いても良いし、部分的に組み合わせて用いることもできる。
In the present invention, any method for adding a monomer may be used for producing the polyamic acid. As typical polymerization methods, the following methods may be mentioned. That is,
1) A method in which an aromatic diamine is dissolved in an organic polar solvent, and this is reacted with a substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride for polymerization.
2) An aromatic tetracarboxylic dianhydride is reacted with a small molar amount of an aromatic diamine compound in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having acid anhydride groups at both ends. Subsequently, a method of polymerizing with an aromatic diamine compound so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps,
3) An aromatic tetracarboxylic dianhydride and an excess molar amount of the aromatic diamine compound are reacted in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends. Subsequently, after adding an aromatic diamine compound here, using the aromatic tetracarboxylic dianhydride so that the aromatic tetracarboxylic dianhydride and the aromatic diamine compound are substantially equimolar in all steps. How to polymerize,
4) A method in which an aromatic tetracarboxylic dianhydride is dissolved and / or dispersed in an organic polar solvent and then polymerized using an aromatic diamine compound so as to be substantially equimolar,
5) A method of polymerizing by reacting a mixture of substantially equimolar aromatic tetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine in an organic polar solvent,
And so on. These methods may be used singly or in combination.

中でも、非熱可塑性ポリイミド層のポリアミド酸は、下記の工程(i)〜(iii)で得られることが好ましい。
(i)芳香族酸二無水物と、これに対し過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性溶媒中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(ii)続いて、ここに芳香族ジアミンを追加添加する工程、
(iii)更に、全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンが実質的に等モルとなるように芳香族酸二無水物を添加して重合し、ポリアミド酸溶液を得る工程。
Especially, it is preferable that the polyamic acid of a non-thermoplastic polyimide layer is obtained by the following process (i)-(iii).
(I) a step of reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polar solvent to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(Ii) Subsequently, an additional step of adding an aromatic diamine here,
(Iii) Further, a step of adding and polymerizing the aromatic dianhydride so that the aromatic dianhydride and the aromatic diamine in all steps are substantially equimolar to obtain a polyamic acid solution.

前記方法の中でも、(i)で得られたプレポリマーが、熱可塑性ブロック成分となることが好ましい。プレポリマーが熱可塑性ブロック成分であるかの判定は、以下のようにして行うことができる。   Among the above methods, the prepolymer obtained in (i) is preferably a thermoplastic block component. Determination of whether a prepolymer is a thermoplastic block component can be performed as follows.

プレポリマー製造時に使用した酸二無水物とジアミンを等モル量に補正して(使用した酸二無水物が複数種である場合、その比率は固定し、また使用したジアミンが複数種である場合も、その比率は固定した)得られたポリアミド酸溶液を、コンマコーターを用いてアルミ箔上に流延し、130℃×100秒で加熱した後、アルミ箔から自己支持性のゲルフィルムを引き剥がして、金属枠に固定する。その後、300℃×20秒、450℃×1分熱処理した際に、フィルムが軟化したり、溶融したりして、外観が変形している場合、熱可塑性ブロック成分と判定する。   Correct the acid dianhydride and diamine used in the preparation of the prepolymer to equimolar amounts (if there are multiple types of acid dianhydrides used, the ratio is fixed, and the diamine used is multiple types) (The ratio was fixed.) The obtained polyamic acid solution was cast on an aluminum foil using a comma coater, heated at 130 ° C. for 100 seconds, and then a self-supporting gel film was drawn from the aluminum foil. Remove and fix to metal frame. Then, when it heat-processes at 300 degreeC * 20 second and 450 degreeC * 1 minute, when a film softens or fuse | melts and the external appearance has changed, it determines with a thermoplastic block component.

熱可塑性ポリイミドの熱可塑性ポリアミド酸の製造方法は、
(i)芳香族酸二無水物と、これに対して過剰モル量の芳香族ジアミンとを有機極性中で反応させ、両末端にアミノ基を有するプレポリマーを得る工程、
(ii)続いて、全工程における芳香族酸二無水物と芳香族ジアミンの比が、決めた比になるように、芳香族酸二無水物を添加して重合し、ポリアミド酸溶液を得る工程、
が好ましい。
(ii)で、芳香族酸二無水物を添加する方法として、粉末を投入する方法、予め酸二無水物を有機極性溶媒に溶解した酸溶液を投入する方法等があるが、反応が均一に進行しやすい面で、酸溶液を投入する方法が好ましい。
The method for producing thermoplastic polyamic acid of thermoplastic polyimide is as follows:
(I) a step of reacting an aromatic acid dianhydride with an excess molar amount of an aromatic diamine in an organic polarity to obtain a prepolymer having amino groups at both ends;
(Ii) Subsequently, a process of adding and polymerizing the aromatic acid dianhydride so that the ratio of the aromatic acid dianhydride and the aromatic diamine in the entire process becomes a determined ratio to obtain a polyamic acid solution. ,
Is preferred.
In (ii), there are a method of adding an aromatic acid dianhydride, a method of adding a powder, a method of adding an acid solution in which an acid dianhydride is dissolved in an organic polar solvent in advance, and the reaction is uniform. In view of easy progress, a method of adding an acid solution is preferable.

これらポリアミド酸の合成時の固形成分濃度は、10重量%〜30重量%であることが好ましい。   The solid component concentration during synthesis of these polyamic acids is preferably 10 to 30% by weight.

また、摺動性、熱伝導性、導電性、耐コロナ性等のフィルムの諸特性を改善する目的でフィラーを添加することもできる。フィラーとしては特に制限されないが、好ましい例としてはシリカ、酸化チタン、アルミナ、窒化珪素、窒化ホウ素、リン酸水素カルシウム、リン酸カルシウム、雲母などが挙げられる。   In addition, a filler can be added for the purpose of improving various properties of the film such as slidability, thermal conductivity, conductivity, and corona resistance. The filler is not particularly limited, and preferred examples include silica, titanium oxide, alumina, silicon nitride, boron nitride, calcium hydrogen phosphate, calcium phosphate, mica and the like.

ポリイミドは、ポリイミドの前駆体、即ちポリアミド酸からの脱水転化反応により得られる。脱水転化反応を行う方法としては、熱によってのみ行う熱キュア法と、化学脱水剤を使用する化学キュア法が広く知られており、これらを適宜選択可能である。生産性に優れていることから、化学キュア法の採用が好ましい。熱キュア法と化学キュア法はともに、イミド化触媒を用いることがイミド化反応を早く進行させる面で好ましい。   The polyimide is obtained by a dehydration conversion reaction from a polyimide precursor, that is, polyamic acid. As a method for carrying out the dehydration conversion reaction, a thermal curing method using only heat and a chemical curing method using a chemical dehydrating agent are widely known, and these can be selected as appropriate. Since it is excellent in productivity, it is preferable to employ a chemical curing method. In both the thermal curing method and the chemical curing method, it is preferable to use an imidization catalyst in terms of advancing the imidization reaction quickly.

化学脱水剤とは、ポリアミック酸に対する脱水閉環剤であり、その主成分として、脂肪族酸無水物、芳香族酸無水物、N,N′−ジアルキルカルボジイミド、低級脂肪族ハロゲン化物、ハロゲン化低級脂肪族酸無水物、アリールスルホン酸ジハロゲン化物、チオニルハロゲン化物またはそれら2種以上の混合物を好ましく用いることができる。その中でも特に、脂肪族酸無水物及び芳香族酸無水物が良好に作用する。また、イミド化触媒とは硬化剤のポリアミック酸に対する脱水閉環作用を促進する効果を有する成分であるが、例えば、脂肪族3級アミン、芳香族3級アミン、複素環式3級アミンを用いることができる。そのうち、イミダゾ−ル、ベンズイミダゾ−ル、イソキノリン、キノリン、またはβ−ピコリンなどの含窒素複素環化合物であることが好ましい。さらに、化学脱水剤またはイミド化触媒の少なくとも一方に有機極性溶媒を添加することも適宜選択されうる。   A chemical dehydrating agent is a dehydrating ring-closing agent for polyamic acid, and the main components thereof are aliphatic acid anhydride, aromatic acid anhydride, N, N′-dialkylcarbodiimide, lower aliphatic halide, halogenated lower fat. An aromatic acid anhydride, an aryl sulfonic acid dihalide, a thionyl halide, or a mixture of two or more thereof can be preferably used. Of these, aliphatic acid anhydrides and aromatic acid anhydrides work particularly well. The imidation catalyst is a component having an effect of promoting the dehydration ring-closing action of the curing agent on the polyamic acid. For example, an aliphatic tertiary amine, an aromatic tertiary amine, or a heterocyclic tertiary amine is used. Can do. Of these, nitrogen-containing heterocyclic compounds such as imidazole, benzimidazole, isoquinoline, quinoline, or β-picoline are preferred. Furthermore, adding an organic polar solvent to at least one of the chemical dehydrating agent or the imidization catalyst may be appropriately selected.

(多層ポリイミドフィルム)
本発明の多層ポリイミドフィルムは、何層でもよく、特に制限されない。例えば、金属張積層板に用いられる多層ポリイミドフィルムは金属箔をラミネートできるように最外層が熱可塑性ポリイミドであることが好ましい。また、多層ポリイミドフィルムの加熱収縮率を抑制し、金属と同等程度とするため、多層ポリイミドフィルムの最外層以外の層は非熱可塑性ポリイミドであることも好ましいが、これらの構造に限定されるわけではない。また、設備面・コスト面・生産性の観点から多層ポリイミドフィルムにおける層の総数は最低限に抑えることが好ましい。多層ポリイミドフィルムのカール抑制のためにも三層であることが好ましい。これらの結果として、非熱可塑性ポリイミドの両面に熱可塑性ポリイミドを配した三層構造の多層ポリイミドフィルムが、金属張積層板、特に両面金属張積層板を製造でき、FPCの軽量化、小型化、高密度化を実現できる点で特に好ましい。
(Multilayer polyimide film)
The multilayer polyimide film of the present invention may have any number of layers and is not particularly limited. For example, the outermost layer of a multilayer polyimide film used for a metal-clad laminate is preferably a thermoplastic polyimide so that a metal foil can be laminated. Moreover, in order to suppress the heat shrinkage rate of the multilayer polyimide film and make it comparable to metal, it is preferable that the layers other than the outermost layer of the multilayer polyimide film are non-thermoplastic polyimides, but they are limited to these structures. is not. Moreover, it is preferable to keep the total number of layers in the multilayer polyimide film to a minimum from the viewpoint of equipment, cost, and productivity. In order to suppress curling of the multilayer polyimide film, it is preferable to have three layers. As a result of these, a multilayer polyimide film having a three-layer structure in which thermoplastic polyimide is disposed on both sides of a non-thermoplastic polyimide can produce a metal-clad laminate, particularly a double-sided metal-clad laminate, and reduce the weight and size of the FPC. This is particularly preferable in terms of realizing high density.

多層ポリイミドフィルムの厚みは、7.5μm〜125μmが好ましい。多層ポリイミドフィルム中の非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面の熱可塑性ポリイミド層の厚みは1.7μ〜35μmが好ましい。熱可塑性ポリイミド層の厚みがこの範囲であれば、金属箔表面との密着性が良好となり、また金属張積層板とした後に金属箔をエッチングしてFPCを製造する際の寸法変化率も良好になる。熱可塑性ポリイミド層の厚みは1.7μm〜10μmがより好ましく、1.7μm〜8μmがさらに好ましい。   The thickness of the multilayer polyimide film is preferably 7.5 μm to 125 μm. The thickness of the thermoplastic polyimide layer on at least one side of the non-thermoplastic polyimide layer in the multilayer polyimide film is preferably 1.7 μm to 35 μm. If the thickness of the thermoplastic polyimide layer is within this range, the adhesion to the surface of the metal foil will be good, and the dimensional change rate when producing FPC by etching the metal foil after forming the metal-clad laminate will also be good. Become. The thickness of the thermoplastic polyimide layer is more preferably 1.7 μm to 10 μm, further preferably 1.7 μm to 8 μm.

(多層ポリイミドフィルムの製造方法)
本発明における多層ポリイミドフィルムの製造方法としては目的とするものを製造することができれば特に制限されず、種々の方法が挙げられる。例えば、
(a)ポリイミドの前駆体またはポリイミドを含有する溶液を、少なくとも2種以上同時に支持体上に流延して多層液膜を形成し、
(b)前記多層液膜を熱処理して多層自己支持性フィルムとした後、
(c)前記多層自己支持性フィルムを熱処理する多層ポリイミドフィルムの製造方法が挙げられる。
(Manufacturing method of multilayer polyimide film)
The production method of the multilayer polyimide film in the present invention is not particularly limited as long as an intended product can be produced, and various methods can be mentioned. For example,
(A) A polyimide precursor or a solution containing polyimide is simultaneously cast on a support to form a multilayer liquid film,
(B) After heat-treating the multilayer liquid film to form a multilayer self-supporting film,
(C) The manufacturing method of the multilayer polyimide film which heat-processes the said multilayer self-supporting film is mentioned.

(多層液膜の形成)
本発明における、(a)ポリイミドの前駆体またはポリイミドを含有する溶液を、少なくとも2種以上同時に支持体上に流延して多層液膜を形成する工程について説明する。
(Formation of multilayer liquid film)
The step of forming a multilayer liquid film by casting (a) a polyimide precursor or a polyimide-containing solution on the support at the same time in the present invention will be described.

多層ポリイミドフィルムの製造方法としては、多層共押出ダイにより、同時に数種類のポリアミド酸溶液を支持体に流延して、多層液膜を形成することが好ましい。   As a method for producing a multilayer polyimide film, it is preferable to simultaneously cast several types of polyamic acid solutions on a support by a multilayer coextrusion die to form a multilayer liquid film.

上記の多層共押出ダイとしては各種構造のものが使用できる。例えば、多層フィルム作成が可能な多層Tダイ等を使用できる。また、従来既知のあらゆる構造のものを好適に使用可能であるが、特に好適に使用可能なものとして、フィードブロックTダイやマルチマニホールドTダイが例示される。   As the multilayer coextrusion die, those having various structures can be used. For example, a multilayer T die capable of creating a multilayer film can be used. In addition, any conventionally known structure can be suitably used, and feed block T dies and multi-manifold T dies are exemplified as particularly suitable ones.

本発明における(a)の工程では、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を含んだ溶液に化学脱水剤もしくはイミド化触媒の少なくとも一方を必要に応じて混合した溶液を得て、この溶液を支持体上に流延、塗布して、多層液膜を得る。   In the step (a) in the present invention, a solution in which at least one of a chemical dehydrating agent or an imidization catalyst is mixed as necessary with a solution containing polyamic acid which is a polyimide precursor is obtained, and this solution is used as a support. It is cast and coated on top to obtain a multilayer liquid film.

(多層自己支持性フィルムの形成)
本発明における、(b)多層液膜を熱処理して多層自己支持性フィルムを形成する工程について説明する。
(Formation of multilayer self-supporting film)
In the present invention, (b) a step of heat-treating the multilayer liquid film to form a multilayer self-supporting film will be described.

前記多層液膜を、ドラム、エンドレスベルト等の支持体上に流延した後、支持体上での熱処理温度を行い、多層自己支持性フィルムを得る。   The multilayer liquid film is cast on a support such as a drum or an endless belt, and then subjected to a heat treatment temperature on the support to obtain a multilayer self-supporting film.

支持体上での熱処理温度は、得られる多層液膜の厚みにもよるが、100℃〜160℃が好適である。その後、溶媒がある程度除去された液膜状態であるゲルフィルムを支持体から剥がし、多層自己支持性フィルムを得る。   The heat treatment temperature on the support is preferably 100 ° C. to 160 ° C., although it depends on the thickness of the resulting multilayer liquid film. Thereafter, the gel film in a liquid film state from which the solvent has been removed to some extent is peeled from the support to obtain a multilayer self-supporting film.

支持体から引き剥がした自己支持性フィルムは、ポリアミド酸からポリイミドへの硬化の中間段階にあり、自己支持性を有する。また、式(1)
(A−B)×100/B・・・・式(1)
式(1)中、A,Bは以下のものを表す。
A:多層膜の重量
B:多層膜を350℃で10分間加熱した後の重量
から算出される残存溶媒量は5重量%〜150重量%であることが好ましく、10重量%〜100重量%がより好ましく、30重量%〜80重量%であることがさらに好ましい。揮発分含量をこの範囲とすることにより、フィルム破断、乾燥ムラによるフィルムの色調ムラ、特性ばらつき等の不具合を抑制できる点で好ましい。また、熱可塑性ポリイミド層の溶融流動性を向上させる目的で、意図的にイミド化率を低くしたり、溶媒を残留させてもよい。
The self-supporting film peeled off from the support is in an intermediate stage of curing from polyamic acid to polyimide and has self-supporting properties. Moreover, Formula (1)
(AB) × 100 / B (1)
In formula (1), A and B represent the following.
A: Weight of the multilayer film B: The residual solvent amount calculated from the weight after heating the multilayer film at 350 ° C. for 10 minutes is preferably 5% by weight to 150% by weight, and 10% by weight to 100% by weight. More preferably, it is more preferably 30% by weight to 80% by weight. By setting the volatile content within this range, it is preferable in that it is possible to suppress problems such as film breakage, uneven color tone of the film due to uneven drying, and variation in characteristics. Further, for the purpose of improving the melt fluidity of the thermoplastic polyimide layer, the imidization rate may be intentionally lowered or the solvent may be left.

(多層自己支持性フィルムを熱処理する工程)
本発明における、(c)前記多層自己支持性フィルムを熱処理してイミド化反応を進めて多層ポリイミドフィルムとする工程について説明する。
(Process to heat treat multilayer self-supporting film)
In the present invention, (c) the step of heat-treating the multilayer self-supporting film to advance an imidization reaction to obtain a multilayer polyimide film will be described.

本発明においては、(b)の工程において得られた多層自己支持性フィルムを支持体から剥がし、多層自己支持性フィルムの端部をクリップ、チャックやピン等の把持部材により固定して硬化時のフィルム幅方向の収縮を回避しながら、加熱炉内を搬送させて残存する溶媒、水、化学脱水剤、イミド化触媒などを除去し、そして残ったアミド酸を完全にイミド化して多層ポリイミドフィルムを得る。   In the present invention, the multilayer self-supporting film obtained in the step (b) is peeled off from the support, and the end of the multilayer self-supporting film is fixed by a gripping member such as a clip, a chuck or a pin. While avoiding shrinkage in the width direction of the film, it is transported through a heating furnace to remove residual solvent, water, chemical dehydrating agent, imidization catalyst, etc., and the remaining amic acid is completely imidized to form a multilayer polyimide film. obtain.

(c)の工程における熱処理方法は、多層自己支持性フィルムに残存する溶媒の除去は、ポリアミド酸からポリイミド化を進めることができれば、公知の方法を適用可能である。例えば、熱風乾燥、赤外線乾燥などが挙げられる。   As the heat treatment method in the step (c), a known method can be applied to remove the solvent remaining in the multilayer self-supporting film as long as the polyimidization can proceed from the polyamic acid. Examples thereof include hot air drying and infrared drying.

このとき、多層自己支持性フィルムを焼成して多層ポリイミドフィルムを得る方法や条件は特に限定されるものではなく、自己支持性フィルムを有効に熱処理して多層ポリイミドフィルムに焼成できる方法や条件であればよい。例えば、フィルムの上方の面または下方の面、あるいは、両面から熱風をフィルム全体に噴射して加熱する方式、または遠赤外線をフィルムに照射する方式等を好適に用いることができる。上記焼成工程における焼成温度は、必要最低限のイミド化を完了できるとともに、残存成分を十分に除去できる温度範囲であれば特に限定されるものではないが、200℃〜400℃であることが好ましい。焼成時間も特に限定されるものではなく、従来公知の範囲内の時間で焼成することができる。   At this time, the method and conditions for obtaining the multilayer polyimide film by firing the multilayer self-supporting film are not particularly limited, and any method or condition that allows the self-supporting film to be effectively heat-treated and fired into the multilayer polyimide film. That's fine. For example, a method in which hot air is sprayed from the upper surface or lower surface of the film, or both surfaces to heat the film, or a method in which far infrared rays are irradiated on the film can be suitably used. The firing temperature in the firing step is not particularly limited as long as the necessary minimum imidization can be completed and the remaining components can be sufficiently removed, but is preferably 200 ° C to 400 ° C. . The firing time is not particularly limited, and the firing can be performed within a conventionally known range.

また、イミド化工程は通常の多層ポリイミドフィルムの製造工程とは別工程で後焼きの形式で行うことも可能である。加熱の方法としては、繰り出してシート状にカットしたものをバッチ式のオーブンに入れる方法、ロールツーロールで再度、熱処理炉内へ搬送しながら加熱する方法などを例示することができるが、限定されるものではなく、従来公知の範囲内で実施することができる。   Moreover, the imidation process can also be performed in the form of post-baking in a separate process from the manufacturing process of a normal multilayer polyimide film. Examples of the heating method include a method in which a sheet that has been drawn out and cut into a sheet is placed in a batch-type oven, a method in which the material is heated while being conveyed again into a heat treatment furnace by roll-to-roll, and the like. However, the present invention can be carried out within a conventionally known range.

(過熱水蒸気雰囲気下で熱処理)
本発明においては、ポリイミドの前駆体またはポリイミドを含有する溶液を、少なくとも2種以上同時に支持体上に流延して多層液膜を形成し、前記多層液膜を熱処理して多層自己支持性フィルムとした後、前記多層自己支持性フィルムを熱処理する多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、過熱水蒸気雰囲気下において熱処理を行う工程を含むことを特徴とする。いずれの工程においても過熱水蒸気雰囲気下での熱処理を行うことが可能であるが、残存溶媒量が31重量%〜150重量%である多層自己支持性フィルム、または残存溶媒量が0.01重量%〜30重量%である多層ポリイミドフィルムの少なくとも一方を過熱水蒸気雰囲気下において熱処理を行うことが好ましい。多層自己支持性フィルムの場合、35重量%〜100重量%であることがより好ましく、40重量%〜80重量%であることがさらに好ましい。残存溶媒量がこの範囲にある場合に過熱水蒸気雰囲気下での熱処理を行うと、加水分解しやすいポリイミドの特性に対して分子量低下等を抑制することが可能となる。また、多層ポリイミドフィルムの場合、0.1重量%〜20重量%であることがより好ましく、0.5重量%〜10重量%であることがさらに好ましく、1重量%〜5重量%であることが特に好ましい。残存溶媒量がこの範囲にある場合に過熱水蒸気雰囲気下での熱処理を行うと、ポリイミドの凝集化をより効率良く進めることが可能となる。
(Heat treatment under superheated steam atmosphere)
In the present invention, at least two kinds of polyimide precursors or polyimide-containing solutions are simultaneously cast on a support to form a multilayer liquid film, and the multilayer liquid film is heat treated to produce a multilayer self-supporting film. After that, a method for producing a multilayer polyimide film in which the multilayer self-supporting film is heat-treated, which includes a step of performing a heat treatment in a superheated steam atmosphere. In any step, heat treatment can be performed in a superheated steam atmosphere, but the amount of residual solvent is 31% by weight to 150% by weight, or the amount of residual solvent is 0.01% by weight. It is preferable to heat-treat at least one of the multilayer polyimide film of ˜30 wt% in a superheated steam atmosphere. In the case of a multilayer self-supporting film, it is more preferably 35% by weight to 100% by weight, and further preferably 40% by weight to 80% by weight. When the amount of the remaining solvent is within this range, if heat treatment is performed in a superheated steam atmosphere, it is possible to suppress a decrease in molecular weight or the like with respect to the properties of polyimide that is easily hydrolyzed. In the case of a multilayer polyimide film, it is more preferably 0.1% by weight to 20% by weight, further preferably 0.5% by weight to 10% by weight, and 1% by weight to 5% by weight. Is particularly preferred. When the residual solvent amount is in this range, the heat treatment in the superheated steam atmosphere makes it possible to promote the agglomeration of the polyimide more efficiently.

フィルムの製膜工程の条件を適切に選択することにより、ポリイミドの一次構造に由来する本来の物性低下を防止し、かつ熱処理工程におけるポリイミドの凝集化による高次構造を制御することにより、連続的なFPCの製造に供してもクラック発生が抑制される多層ポリイミドフィルムを得ることができる。従来から知られている、金属張積層板の製造工程で過熱水蒸気を導入する方法は単層のポリイミドフィルムに対するものであり、熱圧着の前処理やフィルム中の残溶媒の効率的な乾燥除去が目的であるのに対し、本発明では、多層ポリイミドフィルムのポリイミドの高次構造の制御を目的として過熱水蒸気雰囲気下での熱処理を行う。   By appropriately selecting the conditions for the film-forming process, the deterioration of the original physical properties derived from the primary structure of the polyimide is prevented, and by controlling the higher-order structure due to the agglomeration of the polyimide in the heat treatment process, continuous A multilayer polyimide film in which the generation of cracks is suppressed even when it is used for the production of an FPC can be obtained. The conventionally known method of introducing superheated steam in the production process of a metal-clad laminate is for a single-layer polyimide film, and is effective for pre-treatment of thermocompression bonding and efficient drying and removal of residual solvent in the film. In contrast, the present invention performs heat treatment in a superheated steam atmosphere for the purpose of controlling the higher-order structure of the polyimide of the multilayer polyimide film.

本発明では、多層ポリイミドフィルムの製造工程のうち、多層自己支持性フィルムを引き剥がし、加熱炉内を搬送する他の工程の最高温度よりも、過熱水蒸気雰囲気下での熱処理工程の温度を高く設定することが好ましい。過熱水蒸気雰囲気下における熱処理工程の温度を高く設定する場合は、取り扱う多層ポリイミドフィルムにもよるが、加熱炉内を搬送する他の温度より、20℃〜120℃高い温度を例示できる。あるいは、多層自己支持性フィルムを引き剥がし、加熱炉内を搬送する他の工程で加熱する時間よりも、過熱水蒸気雰囲気下での熱処理工程の時間を長く設定することが好ましい。過熱水蒸気雰囲気下における熱処理工程の時間を長く設定する場合は、取り扱う多層ポリイミドフィルム、加熱温度にもよるが、加熱炉内を搬送する他の時間より、0.1分〜90分長い時間を例示できる。0.1分〜60分がさらに好ましく 、0.1分〜30分が特に好ましい。   In the present invention, the temperature of the heat treatment step in the superheated steam atmosphere is set higher than the maximum temperature of the other steps of peeling the multilayer self-supporting film and transporting the inside of the heating furnace among the manufacturing steps of the multilayer polyimide film. It is preferable to do. In the case where the temperature of the heat treatment step in the superheated steam atmosphere is set high, a temperature that is 20 ° C. to 120 ° C. higher than other temperatures transported in the heating furnace can be exemplified, although it depends on the multilayer polyimide film to be handled. Alternatively, it is preferable to set the time of the heat treatment step in the superheated steam atmosphere longer than the time of peeling off the multilayer self-supporting film and heating in another step of transporting the inside of the heating furnace. When setting the time of the heat treatment step in the superheated steam atmosphere to be long, depending on the multilayer polyimide film to be handled and the heating temperature, the time is 0.1 to 90 minutes longer than the other time of transporting in the heating furnace. it can. 0.1 to 60 minutes is more preferable, and 0.1 to 30 minutes is particularly preferable.

過熱水蒸気雰囲気下で熱処理する工程による効果は、フィルム製膜工程での温度を極端に高くできないなどの製膜条件に制約のある、熱可塑性ポリイミド層を有する多層ポリイミドフィルムにおいて、特に共押出法を用いて製造製膜された多層ポリイミドフィルムにおいて、格段に発揮される。   The effect of the heat treatment process in the superheated steam atmosphere is the effect of the co-extrusion method especially in the multilayer polyimide film having the thermoplastic polyimide layer, which has restrictions on the film forming conditions such as the temperature in the film forming process cannot be extremely high. In the multilayer polyimide film manufactured and formed using it, it is remarkably exhibited.

大気中の空気や窒素ガスのような熱風による伝熱は対流伝熱に限られ、表面から順に加熱されるため、フィルム表層に着目すると、過剰な加熱による熱分解が生じた結果、銅箔との密着強度が低下する可能性がある。一方、過熱水蒸気での熱処理は、対流伝熱に限らず、放射伝熱ならびに水蒸気の凝縮熱の複合的な伝熱によるものであり、熱効率が高い。何よりもフィルム表面に触れた高温の水蒸気が凝縮して水になった際に凝縮熱により急激に加熱されることを考えれば、フィルム表面は100℃前後の状態が保たれることとなり、フィルム表層の熱分解は限りなく抑制されていると考えられる。   Heat transfer by hot air such as air or nitrogen gas in the atmosphere is limited to convection heat transfer and is heated in order from the surface, so when paying attention to the film surface, as a result of thermal decomposition due to excessive heating, copper foil and There is a possibility that the adhesion strength of the material will decrease. On the other hand, heat treatment with superheated steam is not limited to convective heat transfer, but is based on a composite heat transfer of radiant heat transfer and heat of condensation of water vapor, and has high thermal efficiency. Above all, considering that the high-temperature water vapor that touched the film surface is condensed and turned into water, the film surface is kept at a temperature of about 100 ° C. It is considered that the thermal decomposition of is suppressed as much as possible.

(金属張積層板)
本発明の多層ポリイミドフィルムは、これに金属箔を積層して金属張積層板とし、さらに当該金属張積層板を用いてロールツーロール式で連続的にFPCを製造する場合に、クラックを抑制することができる。多層ポリイミドフィルムが、非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に熱可塑性ポリイミド層を形成したフィルムである場合、特に容易に連続的に金属張積層板を製造できる。
(Metal-clad laminate)
The multilayer polyimide film of the present invention suppresses cracking when a metal foil is laminated thereon to form a metal-clad laminate, and further when FPC is continuously produced in a roll-to-roll manner using the metal-clad laminate. be able to. When the multilayer polyimide film is a film in which a thermoplastic polyimide layer is formed on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide layer, a metal-clad laminate can be produced particularly easily and continuously.

本発明に用いられる金属箔は特に限定されるものではなく、あらゆる金属箔を用いることができる。例えば、銅、ステンレス、ニッケル、アルミニウム、およびこれら金属の合金などを好適に用いることができる。また、一般的な金属張積層板では、圧延銅箔、電解銅箔などの銅箔が多用されるが、本発明においてもこれらを用いることが好ましい。   The metal foil used in the present invention is not particularly limited, and any metal foil can be used. For example, copper, stainless steel, nickel, aluminum, and alloys of these metals can be suitably used. In general metal-clad laminates, copper foils such as rolled copper foil and electrolytic copper foil are frequently used. However, it is preferable to use these in the present invention.

また、上記金属箔は、目的に応じて表面処理、表面粗さ等種々特性を有したものを選択できる。さらに、上記金属箔の表面には、防錆層や耐熱層あるいは接着層が塗布されていてもよい。上記金属箔の厚みについては特に限定されるものではなく、その用途に応じて、十分な機能が発揮できる厚みであればよい。   Moreover, the said metal foil can select what has various characteristics, such as surface treatment and surface roughness, according to the objective. Furthermore, a rust preventive layer, a heat resistant layer or an adhesive layer may be applied to the surface of the metal foil. The thickness of the metal foil is not particularly limited, and may be any thickness that can exhibit a sufficient function depending on the application.

金属張積層板で用いられる金属箔の厚みはFPCとして使用することができれば特に限定されるものではないが、例えば、厚みが1μm〜25μmの金属箔を用いることが好ましい。   The thickness of the metal foil used in the metal-clad laminate is not particularly limited as long as it can be used as an FPC. For example, it is preferable to use a metal foil having a thickness of 1 μm to 25 μm.

多層ポリイミドフィルムと金属箔の貼り合わせ方法としては、例えば、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置、またはダブルベルトプレス(DBP)による連続処理を用いることができる。中でも、装置構成が単純であり保守コストの面で有利であるという点から、一対以上の金属ロールを有する熱ロールラミネート装置を用いることが好ましい。   As a method for laminating the multilayer polyimide film and the metal foil, for example, a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls or a continuous process using a double belt press (DBP) can be used. Among these, it is preferable to use a hot roll laminating apparatus having a pair of metal rolls because the apparatus configuration is simple and advantageous in terms of maintenance cost.

本発明にかかる金属張積層板を得るためには、連続的に被積層材料を加熱しながら圧着する熱ラミネート装置を用いることが好ましい。さらに、この熱ラミネート装置では、熱ラミネート手段の前段に、被積層材料を繰り出す被積層材料繰出手段を設けてもよいし、熱ラミネート手段の後段に、被積層材料を巻き取る被積層材料巻取手段を設けてもよい。これらの手段を設けることで、上記熱ラミネート装置の生産性をより一層向上させることができる。   In order to obtain the metal-clad laminate according to the present invention, it is preferable to use a thermal laminating apparatus that continuously press-bonds the material to be laminated while heating. Further, in this thermal laminating apparatus, a laminated material feeding means for feeding the laminated material may be provided before the thermal laminating means, or a laminated material winding for winding the laminated material is taken after the thermal laminating means. Means may be provided. By providing these means, the productivity of the thermal laminating apparatus can be further improved.

(FPCの製造)
このようにして得られた金属張積層板を用いて連続的にFPCを製造するには、現像工程、エッチング処理工程、レジスト剥離工程の主要3工程をロールツーロール式で連続的に行う。現像工程で使用される現像液はレジストの種類により異なるが、一般的には炭酸ナトリウム系のアルカリ水溶液が使用される。現像作業は液をスプレー噴射して行い、スプレーノズルは左右に振るなどしてレジスト表面に均一に当てられる。エッチング工程では、エッチング液を回路基板の上下からスプレー噴射することにより、金属を溶解するのが一般的であるが、ここでも、エッチング液として、主に塩化鉄、塩化銅、アルカリ溶液が使用される。剥離工程も、現像、エッチングと同様に剥離液のスプレー噴射によって行われ、剥離液はアルカリ水溶液が使用される。
(Manufacturing of FPC)
In order to continuously produce FPCs using the metal-clad laminate thus obtained, the main three steps of the development step, the etching treatment step, and the resist stripping step are continuously performed in a roll-to-roll manner. The developer used in the development process varies depending on the type of resist, but a sodium carbonate-based alkaline aqueous solution is generally used. The developing operation is performed by spraying the solution, and the spray nozzle is uniformly applied to the resist surface by shaking left and right. In the etching process, it is common to dissolve the metal by spraying the etchant from the top and bottom of the circuit board, but again here, iron chloride, copper chloride, and alkaline solutions are mainly used as the etchant. The The stripping process is also performed by spraying a stripping solution as in the development and etching, and an alkaline aqueous solution is used as the stripping solution.

このように、近年採用されているFPCの製造工程では、ポリイミドが長時間アルカリと接触するとともに、基材には長手方向に張力がかかっており、さらに各工程での薬液のスプレー噴射により回路基板の厚み方向に繰返し応力がかかる状態となる。本発明の多層ポリイミドフィルムは、これらの過酷な工程を通過しても、クラックが発生しないので、連続的にFPCを製造するのに好適である。   In this way, in the FPC manufacturing process adopted in recent years, polyimide is in contact with alkali for a long time, and the substrate is tensioned in the longitudinal direction. Further, the circuit board is sprayed with the chemical solution in each process. In this state, repeated stress is applied in the thickness direction. The multilayer polyimide film of the present invention is suitable for continuously producing FPC because cracks do not occur even when these harsh processes are passed.

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されるものではない。なお、合成例、実施例及び比較例における多層ポリイミドフィルムと金属箔の張り合わせ方法および特性の評価法は次の通りである。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention concretely, this invention is not limited only to these Examples. In addition, the lamination | stacking method and evaluation method of a multilayer polyimide film and metal foil in a synthesis example, an Example, and a comparative example are as follows.

(ポリイミドの非熱可塑性、熱可塑性の判定)
各合成例により得られたポリアミド酸溶液を、コンマコーターを用いてアルミ箔上に流延し、130℃×100秒で加熱した。その後、アルミ箔から、単層の自己支持性フィルムを引き剥がして、金属枠に固定した。300℃×20秒、450℃×1分の熱処理を行い、フィルムが溶融せず、外観も変形しなければ非熱可塑性ポリイミドであると判定し、フィルムが溶融したり、外観が変形したら、熱可塑性ポリイミドであると判定した。
(Non-thermoplastic / thermoplastic determination of polyimide)
The polyamic acid solution obtained in each synthesis example was cast on an aluminum foil using a comma coater and heated at 130 ° C. for 100 seconds. Thereafter, the single-layer self-supporting film was peeled off from the aluminum foil and fixed to the metal frame. If heat treatment is performed at 300 ° C. for 20 seconds and 450 ° C. for 1 minute, the film does not melt and the appearance does not deform, it is determined that it is a non-thermoplastic polyimide. It was determined that it was a plastic polyimide.

(金属張積層板の作製方法)
多層ポリイミドフィルムの両面に12μmの電解銅箔(3EC−M3S−HTE(K);三井金属鉱業製)、さらにその両側に保護材料(アピカル125NPI;カネカ製)を配して、熱ロールラミネート機を用いて、ラミネート温度360℃、ラミネート圧力265N/cm(27kgf/cm)、ラミネート速度1.0m/分の条件で連続的に熱ラミネートを行い、金属張積層板を作製した。
(Method for producing metal-clad laminate)
A 12 μm electrolytic copper foil (3EC-M3S-HTE (K); manufactured by Mitsui Mining & Mining) on both sides of the multilayer polyimide film, and protective materials (Apical 125 NPI; manufactured by Kaneka) are arranged on both sides. Thus, a metal-clad laminate was produced by continuous thermal lamination under conditions of a lamination temperature of 360 ° C., a lamination pressure of 265 N / cm (27 kgf / cm), and a lamination speed of 1.0 m / min.

(金属箔の引き剥がし強度)
JIS C6471の「6.5 引きはがし強さ」に従って、サンプルを作製し、1mm幅の金属箔部分を、90度の剥離角度、50mm/分の条件で剥離し、その荷重を測定した。なお、引き剥がし強度として好ましくは、10〜20N/cmである。
(Stripping strength of metal foil)
According to JIS C6471, “6.5 Peeling Strength”, a sample was prepared, a 1 mm wide metal foil portion was peeled off at a peeling angle of 90 degrees and 50 mm / min, and the load was measured. The peel strength is preferably 10 to 20 N / cm.

(割れ裂け耐性テスト)
フィルムの両端部および中央部の3点からフィルムを切り取り、それぞれ金属張積層板とした。6.0cm×5.5cm角の大きさに金属張積層板を切り取り、その金属箔の一部を図1に示すように格子状(格子サイズ;1.3cm×1.5cm)にエッチングして試験片を得た。800mLの濃度4%の水酸化ナトリウム水溶液(23±2℃)が入った容器に試験片を入れ、230rpmの振とう速度で、23±2℃において振とうしてクラックが入る時間(ST)を測定し、割れ裂け耐性テストとした。なお、エッチング後、格子状の各角部の内側の曲率半径が50μm以下となっていることを光学顕微鏡にて確認して、50μm以下となっているものを試験片とした。この試験片を水酸化ナトリウム水溶液に投入した。クラックの有無は、振とうを100秒毎に止め、試験片を入れた容器ごとにライトボックスにより光を当てて、試験片に光が透過したらクラックと判断した。STは連続的にFPCを製造する工程において、クラックを抑制するために、900秒以上であることが好ましい。
(Break resistance test)
The film was cut out from three points at both ends and the center of the film, and each was used as a metal-clad laminate. A metal-clad laminate is cut to a size of 6.0 cm × 5.5 cm square, and a part of the metal foil is etched into a lattice shape (lattice size: 1.3 cm × 1.5 cm) as shown in FIG. A specimen was obtained. The test piece is put in a container containing 800 mL of 4% sodium hydroxide aqueous solution (23 ± 2 ° C.) and shaken at 23 ± 2 ° C. at a shaking speed of 230 rpm (ST). Measured and used as a crack resistance test. After etching, it was confirmed with an optical microscope that the radius of curvature inside each corner of the lattice was 50 μm or less, and a specimen having a radius of 50 μm or less was used. This test piece was put into a sodium hydroxide aqueous solution. The presence or absence of a crack was judged as a crack when shaking was stopped every 100 seconds, light was applied to each container containing the test piece with a light box, and light was transmitted through the test piece. ST is preferably 900 seconds or more in order to suppress cracks in the process of continuously producing FPC.

以下に、合成例で用いるモノマーの略称を示す。
DMF:N,N−ジメチルホルムアミド
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
ODA:4,4’−ジアミノジフェニルエーテル
PDA:p−フェニレンジアミン
BAPB:4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル
BPDA:3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BTDA:3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
PMDA:ピロメリット酸二無水物
以下に、ポリアミド酸溶液の合成例を示す。
The abbreviations of the monomers used in the synthesis examples are shown below.
DMF: N, N-dimethylformamide BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane ODA: 4,4′-diaminodiphenyl ether PDA: p-phenylenediamine BAPB: 4,4′-bis (4-Aminophenoxy) biphenyl BPDA: 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride BTDA: 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride PMDA: pyromellitic acid The dianhydride Below, the synthesis example of a polyamic-acid solution is shown.

(合成例1)
10℃に冷却したDMF(1137.4g)に、BAPP(57.3g:0.140mol)、ODA(18.6g:0.093mol)、を溶解した。ここに、BTDA(30.0g:0.093mol)、PMDA(25.4g:0.116mol)を添加して、30分間均一攪拌し、プレポリマーを得た。この溶液にPDA(25.2g:0.233mol)を溶解した後、PMDA(50.7g:0.233mol)を溶解し、別途調製してあったPMDAの7.2重量%DMF溶液を注意深く70.5g(PMDA:0.023mol)添加し、粘度が2500poise程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って、23℃での回転粘度が2600ポイズのポリアミド酸溶液を得た。当該ポリアミド酸溶液を用いた単層ポリイミドフィルムの非熱可塑性、熱可塑性の判定の結果、フィルムが溶融せず、外観も変形しなかったため、本合成例1のポリイミドは、非熱可塑性ポリイミドであると判定した。
(Synthesis Example 1)
BAPP (57.3 g: 0.140 mol) and ODA (18.6 g: 0.093 mol) were dissolved in DMF (1137.4 g) cooled to 10 ° C. BTDA (30.0 g: 0.093 mol) and PMDA (25.4 g: 0.116 mol) were added thereto, and the mixture was stirred uniformly for 30 minutes to obtain a prepolymer. After PDA (25.2 g: 0.233 mol) was dissolved in this solution, PMDA (50.7 g: 0.233 mol) was dissolved, and a 7.2 wt% DMF solution of PMDA prepared separately was carefully added to the solution. 0.5 g (PMDA: 0.023 mol) was added, and the addition was stopped when the viscosity reached about 2500 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a rotational viscosity at 23 ° C. of 2600 poise. As a result of the determination of the non-thermoplasticity and thermoplasticity of the single-layer polyimide film using the polyamic acid solution, the film did not melt and the appearance did not deform. Therefore, the polyimide of Synthesis Example 1 is a non-thermoplastic polyimide. It was determined.

なお、プレポリマーを製造する際に用いた、酸二無水物とジアミンを等モル量にして合成したポリアミド酸溶液を、コンマコーターを用いてアルミ箔上に流延し、130℃×100秒で加熱した後、アルミ箔から自己支持性のゲルフィルムを引き剥がして、金属枠に固定した。その後、300℃×20秒、450℃×1分熱処理したところ、フィルムが溶融し、外観が変形していたため、本合成例1のブロック成分は熱可塑性ブロック成分であると判定した。   The polyamic acid solution synthesized in equimolar amounts of acid dianhydride and diamine, which was used when producing the prepolymer, was cast on an aluminum foil using a comma coater, and 130 ° C. × 100 seconds. After heating, the self-supporting gel film was peeled off from the aluminum foil and fixed to the metal frame. Thereafter, when heat treatment was performed at 300 ° C. for 20 seconds and 450 ° C. for 1 minute, the film was melted and the appearance was deformed. Therefore, the block component of Synthesis Example 1 was determined to be a thermoplastic block component.

(合成例2)
10℃に冷却したDMF(1639.2g)に、ODA(72.2g:0.360mol)を溶解した。ここに、BPDA(63.6g:0.216mol)、BTDA(34.8g:0.108mol)を添加して、45分間均一攪拌し、プレポリマーを得た。この溶液にODA(8.66g:0.043mol)、PDA(34.3g:0.317mol)を溶解した後、PMDA(81.7g:0.375mol)を溶解し、別途調製してあったPMDAの7.2重量%DMF溶液を注意深く65.5g(PMDA:0.022mol)添加し、粘度が2500poise程度に達したところで添加を止めた。1時間撹拌を行って、23℃での回転粘度が2600ポイズのポリアミド酸溶液を得た。当該ポリアミド酸溶液を用いた単層ポリイミドフィルムの非熱可塑性、熱可塑性の判定の結果、フィルムが溶融せず、外観も変形しなかったため、本合成例2のポリイミドは、非熱可塑性ポリイミドであると判定した。
(Synthesis Example 2)
ODA (72.2 g: 0.360 mol) was dissolved in DMF (1639.2 g) cooled to 10 ° C. BPDA (63.6 g: 0.216 mol) and BTDA (34.8 g: 0.108 mol) were added thereto, and the mixture was stirred uniformly for 45 minutes to obtain a prepolymer. After dissolving ODA (8.66 g: 0.043 mol) and PDA (34.3 g: 0.317 mol) in this solution, PMDA (81.7 g: 0.375 mol) was dissolved, and PMDA which was separately prepared was dissolved. Then, 65.5 g (PMDA: 0.022 mol) of 7.2% by weight DMF solution was carefully added, and the addition was stopped when the viscosity reached about 2500 poise. Stirring was performed for 1 hour to obtain a polyamic acid solution having a rotational viscosity at 23 ° C. of 2600 poise. As a result of the determination of non-thermoplasticity and thermoplasticity of the single-layer polyimide film using the polyamic acid solution, the film did not melt and the appearance was not deformed. Therefore, the polyimide of Synthesis Example 2 is a non-thermoplastic polyimide. It was determined.

なお、プレポリマーを製造する際に用いた、酸二無水物とジアミンを等モル量にして合成したポリアミド酸溶液を、コンマコーターを用いてアルミ箔上に流延し、130℃×100秒で加熱した後、アルミ箔から自己支持性のゲルフィルムを引き剥がして、金属枠に固定した。その後、300℃×20秒、450℃×1分熱処理したところ、フィルムが溶融し、外観が変形していたため、本合成例2のブロック成分は熱可塑性ブロック成分であると判定した。   The polyamic acid solution synthesized in equimolar amounts of acid dianhydride and diamine, which was used when producing the prepolymer, was cast on an aluminum foil using a comma coater, and 130 ° C. × 100 seconds. After heating, the self-supporting gel film was peeled off from the aluminum foil and fixed to the metal frame. Thereafter, when heat treatment was performed at 300 ° C. for 20 seconds and 450 ° C. for 1 minute, the film was melted and the appearance was deformed. Therefore, the block component of Synthesis Example 2 was determined to be a thermoplastic block component.

(合成例3)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)861.2gに、BAPP(118.6g:0.289mol)を溶解した。ここに、BPDA(12.8g:0.043mol)を投入し、50℃に加熱した後、10℃に冷却し、PMDA(50.4g:0.231mol)を添加し、プレポリマーを得た。その後、別途調製してあったPMDAの7重量%DMF溶液40.5g(PMDA:0.013mol)を注意深く添加し、固形成分濃度約17%で粘度が23℃において800poiseのポリアミド酸溶液を得た。その後、DMFを加え、固形成分濃度14重量%のポリアミド酸溶液を得た。当該ポリアミド酸溶液を用いた単層ポリイミドフィルムの非熱可塑性、熱可塑性の判定の結果、フィルムが溶融して外観が変形しため、本合成例3のポリイミドは、熱可塑性ポリイミドであると判定した。
(Synthesis Example 3)
BAPP (118.6 g: 0.289 mol) was dissolved in 861.2 g of N, N-dimethylformamide (DMF). BPDA (12.8 g: 0.043 mol) was added thereto, heated to 50 ° C., cooled to 10 ° C., and PMDA (50.4 g: 0.231 mol) was added to obtain a prepolymer. Thereafter, 40.5 g (PMDA: 0.013 mol) of a 7% by weight PMDA solution separately prepared was carefully added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of about 17% and an 800 poise viscosity at 23 ° C. . Thereafter, DMF was added to obtain a polyamic acid solution having a solid component concentration of 14% by weight. As a result of the determination of the non-thermoplasticity and thermoplasticity of the single-layer polyimide film using the polyamic acid solution, the appearance of the film was melted and the appearance was deformed. Therefore, the polyimide of Synthesis Example 3 was determined to be a thermoplastic polyimide. .

(合成例4)
N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)902.0gに、BAPB(26.5g:0.072mol)、BPDA(17.6g:0.060mol)を溶解した後、BAPP(68.9g:0.168mol)を溶解した。ここに、PMDA(36.6g:0.168mol)を投入し、別途調製してあったPMDAの7.2重量%DMF溶液を注意深く28.3g(PMDA:0.0094mol)を添加し、固形成分濃度約14%で粘度が23℃において300poiseのポリアミド酸溶液を得た。当該ポリアミド酸溶液を用いた単層ポリイミドフィルムの非熱可塑性、熱可塑性の判定の結果、フィルムが溶融して外観が変形しため、本合成例4のポリイミドは、熱可塑性ポリイミドであると判定した。
(Synthesis Example 4)
After dissolving BAPB (26.5 g: 0.072 mol) and BPDA (17.6 g: 0.060 mol) in 902.0 g of N, N-dimethylformamide (DMF), BAPP (68.9 g: 0.168 mol) Was dissolved. PMDA (36.6 g: 0.168 mol) was added thereto, and 28.3 g (PMDA: 0.0094 mol) of a 7.2 wt% DMF solution of PMDA, which had been separately prepared, was added carefully to obtain a solid component. A 300 poise polyamic acid solution was obtained at a concentration of about 14% and a viscosity of 23 ° C. As a result of the determination of non-thermoplasticity and thermoplasticity of the single-layer polyimide film using the polyamic acid solution, the appearance of the film was melted and the appearance was deformed. Therefore, the polyimide of Synthesis Example 4 was determined to be a thermoplastic polyimide. .

(実施例1)
合成例1で得られたポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比3.5:1.0:7.2)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比50%で添加し、ミキサーにより攪拌後、3層共押出ダイ中央層に供給し、合成例3で得られたポリアミド酸溶液を中央層両面に供給した。3層押出ダイのリップ開口1.3mmから押出し、この樹脂液膜を120℃のステンレス製エンドレスベルトにて80秒乾燥させ、自己支持性フィルムを得た。この自己支持性フィルムをベルトから引き剥がした後、両端をピンにより固定し、270℃×12秒、300℃×12秒、350℃×10秒、320℃×35秒で乾燥・イミド化し、熱可塑性ポリイミド層/非熱可塑性ポリイミド層/熱可塑性ポリイミド層の厚みが、2μm/8.5μm/2μmの三層ポリイミドフィルムを得た。得られた三層ポリイミドフィルム中の残溶媒量は1.2重量%であった。得られた三層ポリイミドフィルムを金属枠に固定し、オーブン内で過熱水蒸気雰囲気下とし、350℃にて30分加熱した。得られた三層ポリイミドフィルムを金属張積層板に加工した。結果を表1にまとめた。
Example 1
A curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 3.5: 1.0: 7.2) was added to the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 1 at a weight ratio of 50% with respect to the polyamic acid solution. Then, after stirring with a mixer, the three-layer coextrusion die was supplied to the central layer, and the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 3 was supplied to both sides of the central layer. The resin film was extruded through a stainless steel endless belt at 120 ° C. for 80 seconds to obtain a self-supporting film. After peeling off this self-supporting film from the belt, both ends are fixed with pins, dried and imidized at 270 ° C. × 12 seconds, 300 ° C. × 12 seconds, 350 ° C. × 10 seconds, 320 ° C. × 35 seconds, The thickness of the plastic polyimide layer / non-thermoplastic polyimide layer / thermoplastic polyimide layer was 2 μm / 8.5 μm / 2 μm, resulting in a three-layer polyimide film. The amount of residual solvent in the obtained three-layer polyimide film was 1.2% by weight. The obtained three-layer polyimide film was fixed to a metal frame, placed in a superheated steam atmosphere in an oven, and heated at 350 ° C. for 30 minutes. The obtained three-layer polyimide film was processed into a metal-clad laminate. The results are summarized in Table 1.

(比較例1)
追加加熱を過熱水蒸気雰囲気下の代わりにイナートオーブン内で窒素雰囲気下として実施した。350℃にて60分加熱した。他の処理は実施例1と同様に実施した。結果を表1にまとめた。
(Comparative Example 1)
Additional heating was performed in an inert oven under a nitrogen atmosphere instead of under a superheated steam atmosphere. Heated at 350 ° C. for 60 minutes. Other treatments were performed in the same manner as in Example 1. The results are summarized in Table 1.

(比較例2)
追加加熱を空気雰囲気下で実施したことを除き、実施例1と同様に実施した。最終的に得られた三層ポリイミドフィルムは、外観が著しく変化し、各種評価に供するに値しなかった。
(Comparative Example 2)
The same procedure as in Example 1 was performed except that the additional heating was performed in an air atmosphere. The finally obtained three-layer polyimide film was remarkably changed in appearance and was not worthy of various evaluations.

(比較例3)
追加加熱を実施せず、実施例1と同様に評価を実施した。
(Comparative Example 3)
Evaluation was performed in the same manner as in Example 1 without performing additional heating.

(実施例2)
合成例2で得られたポリアミド酸溶液に、無水酢酸/イソキノリン/DMF(重量比3.5:1.0:7.2)からなる硬化剤をポリアミド酸溶液に対して重量比50%で添加し、ミキサーにより攪拌後、3層共押出ダイ中央層に供給し、合成例4で得られたポリアミド酸溶液を中央層両面に供給した。3層押出ダイのリップ開口1.3mmから押出し、この樹脂液膜を115℃のステンレス製エンドレスベルトにて80秒乾燥させ、自己支持性フィルムを得た。この自己支持性フィルムをベルトから引き剥がした後、両端をピンにより固定し、280℃×15秒、350℃×30秒、340℃×30秒で乾燥・イミド化し、熱可塑性ポリイミド層/非熱可塑性ポリイミド層/熱可塑性ポリイミド層の厚みが、2μm/8.5μm/2μmの三層ポリイミドフィルムを得た。得られた三層ポリイミドフィルム中の残溶媒量は1.3重量%であった。得られた三層ポリイミドフィルムを金属製の枠に固定し、ナノスチームオーブン内で300℃にて60分加熱した。得られた三層ポリイミドフィルムを金属張積層板に加工した。結果を表1にまとめた。
(Example 2)
A curing agent composed of acetic anhydride / isoquinoline / DMF (weight ratio 3.5: 1.0: 7.2) was added to the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 2 at a weight ratio of 50% with respect to the polyamic acid solution. After stirring with a mixer, the mixture was fed to the center layer of the three-layer coextrusion die, and the polyamic acid solution obtained in Synthesis Example 4 was fed to both sides of the center layer. The resin film was extruded through a lip opening of 1.3 mm of a three-layer extrusion die, and this resin liquid film was dried with a stainless steel endless belt at 115 ° C. for 80 seconds to obtain a self-supporting film. After peeling this self-supporting film from the belt, both ends are fixed with pins, dried and imidized at 280 ° C. × 15 seconds, 350 ° C. × 30 seconds, 340 ° C. × 30 seconds, thermoplastic polyimide layer / non-thermal A three-layer polyimide film having a plastic polyimide layer / thermoplastic polyimide layer thickness of 2 μm / 8.5 μm / 2 μm was obtained. The amount of residual solvent in the obtained three-layer polyimide film was 1.3% by weight. The obtained three-layer polyimide film was fixed to a metal frame and heated in a nano steam oven at 300 ° C. for 60 minutes. The obtained three-layer polyimide film was processed into a metal-clad laminate. The results are summarized in Table 1.

(比較例4)
追加加熱を過熱水蒸気雰囲気下の代わりにイナートオーブンを使用して窒素雰囲気下として実施した。他の処理は実施例2と同様に実施した。結果を表1にまとめた。
(Comparative Example 4)
Additional heating was carried out under a nitrogen atmosphere using an inert oven instead of under a superheated steam atmosphere. Other treatments were performed in the same manner as in Example 2. The results are summarized in Table 1.

(比較例5)
追加加熱を空気雰囲気下で実施したことを除き、実施例2と同様に実施した。最終的に得られた三層ポリイミドフィルムは、外観が著しく変化し、各種評価に供するに値しなかった。
(Comparative Example 5)
The same procedure as in Example 2 was performed except that the additional heating was performed in an air atmosphere. The finally obtained three-layer polyimide film was remarkably changed in appearance and was not worthy of various evaluations.

(比較例6)
追加加熱を実施せず、実施例2同様に評価を実施した。
(Comparative Example 6)
Evaluation was carried out in the same manner as in Example 2 without performing additional heating.

1.金属箔
2.ポリイミドフィルム
1. Metal foil Polyimide film

Claims (3)

ポリイミドの前駆体またはポリイミドを含有する溶液を、少なくとも2種以上同時に支持体上に流延して多層液膜を形成し、前記多層液膜を熱処理して多層自己支持性フィルムとした後、前記多層自己支持性フィルムを熱処理する多層ポリイミドフィルムの製造方法であって、過熱水蒸気雰囲気下において熱処理を行う工程を含むことを特徴とする多層ポリイミドフィルムの製造方法。   A polyimide precursor or a polyimide-containing solution is simultaneously cast on a support to form a multilayer liquid film, and the multilayer liquid film is heat treated to form a multilayer self-supporting film. A method for producing a multilayer polyimide film, comprising a step of heat-treating a multilayer self-supporting film in a superheated steam atmosphere. 残存溶媒量が31重量%〜150重量%である多層自己支持性フィルム、または残存溶媒量が0.01重量%〜30重量%である多層ポリイミドフィルムの少なくとも一方を過熱水蒸気雰囲気下において熱処理を行う工程を含むことを特徴とする、請求項1に記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。   At least one of the multilayer self-supporting film having a residual solvent amount of 31% by weight to 150% by weight and the multilayer polyimide film having a residual solvent amount of 0.01% by weight to 30% by weight is subjected to heat treatment in a superheated steam atmosphere. The method for producing a multilayer polyimide film according to claim 1, comprising a step. 多層ポリイミドフィルムが、少なくとも非熱可塑性ポリイミドを含む非熱可塑性ポリイミド層の少なくとも片面に、少なくとも熱可塑性ポリイミドを含む熱可塑性ポリイミド層を積層した多層ポリイミドフィルムであることを特徴とする、請求項1〜2のいずれかに記載の多層ポリイミドフィルムの製造方法。   The multilayer polyimide film is a multilayer polyimide film in which a thermoplastic polyimide layer containing at least a thermoplastic polyimide is laminated on at least one surface of a non-thermoplastic polyimide layer containing at least a non-thermoplastic polyimide. The manufacturing method of the multilayer polyimide film in any one of 2.
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