JP2017072140A - 流体制御装置 - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 132
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 claims description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 34
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 abstract description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 24
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B45/047—Pumps having electric drive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
- F04B49/06—Control using electricity
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
- F04B53/10—Valves; Arrangement of valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
- F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
- F04B43/04—Pumps having electric drive
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Abstract
【解決手段】ポンプ室45とバルブ室40とを経由する流路を設けた流体制御装置11であって、振動することによりポンプ室45に内圧の変動を生じさせる振動部37と、バルブ室40に面しており、一端側でポンプ室45に通じ他端側でバルブ室40に通じる連通孔43を設けているバルブ底板23と、バルブ室40に面してバルブ底板23に対向しており、バルブ室40に通じる吐出孔41を設けているバルブ天板21と、を備え、連通孔43と吐出孔41とは非対向に配しており、バルブ底板23は、振動部37の振動が伝わることで弾性変形する。
【選択図】図5
Description
以下、本発明の第1の実施形態に係る流体制御装置11について図1〜図9を参照して説明する。
次に、本発明の第2の実施形態に係る流体制御装置51について図10および図11を参照して説明する。
次に、本発明の第3の実施形態に係る流体制御装置61について図12を参照して説明する。
次に、本発明の第4の実施形態に係る流体制御装置71について図13を参照して説明する。
次に、本発明の第5の実施形態に係る流体制御装置81について図14を参照して説明する。
以下、バルブ部12に設ける吐出孔41やフィルム孔42、連通孔43などの形状の変形例を示す。図15(A)〜(E)のそれぞれには、吐出孔41およびフィルム孔42の平面形状と、連通孔43の平面形状とをそれぞれ対応づけて示している。なお、図15(A)に示す各流路孔の平面形状は、上述の各実施形態で採用したものである。
12…バルブ部
21…バルブ天板(第2のプレート)
22…バルブ側壁板
23…バルブ底板(第1のプレート)
24…フィルム
25…突起部
26…切欠部
13,53,63,73,83…ポンプ部
31,64,74…ポンプ側壁板
32,65…ポンプ底板
33,84…圧電素子
34…外周部
35…梁部
36…ダイヤフラム
37…振動部
14…制御部
15…外部構造体
16…接着剤
40…バルブ室
41…吐出孔(第2の流路孔)
42…フィルム孔(第3の流路孔)
43…連通孔(第1の流路孔)
45…ポンプ室
46,66,75…吸入孔
54…振動調整板
55…ポンプ上室
Claims (15)
- ポンプ室とバルブ室とを経由する流路を設けた流体制御装置であって、
振動することにより前記ポンプ室に内圧の変動を生じさせる振動部と、
前記バルブ室に面しており、一端側で前記ポンプ室に通じ他端側で前記バルブ室に通じる第1の流路孔を設けている第1のプレートと、
前記バルブ室に面して前記第1のプレートに対向しており、前記バルブ室に通じる第2の流路孔を設けている第2のプレートと、
前記第1のプレートと前記第2のプレートとの間に配置され、前記第1のプレートと前記第2のプレートと共に前記バルブ室を形成する円環状の側壁板と、
前記バルブ室内部に設けられ、第3の流路孔を設けているフィルムと、
を備え、
前記第1の流路孔と前記第2の流路孔とは非対向に配している、
流体制御装置。 - 前記フィルムは、前記バルブ室の内部で、回転不能に保持される、
請求項1に記載の流体制御装置。 - 前記側壁板の内周の一部と前記フィルムの外周の一部には、それぞれ互いに嵌り合う切欠部と突起部が設けられている、
請求項1又は請求項2に記載の流体制御装置。 - 前記第3の流路孔は、前記第1の流路孔に非対向かつ前記第2の流路孔に対向する位置に設けられている、
請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとのうちの少なくとも一方は、前記振動部の振動が伝わることで、前記第1のプレートと前記第2のプレートとが対向する方向に沿って弾性変形し、なおかつ、前記弾性変形する際であって、前記第1のプレートと前記第2のプレートとの間隔が広くなる方向に変形するときには、同時に前記第1のプレートと前記振動部との間隔が狭くなり、前記第1のプレートと前記第2のプレートとの間隔が狭くなる方向に変形するときには、同時に前記第1のプレートと前記振動部との間隔が広くなる、
請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1の流路孔は、複数の孔からなる、
請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第2の流路孔は、複数の孔からなる、
請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第3の流路孔は、複数の孔からなる、
請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとのうちの少なくとも一方は、前記振動部の振動に連成して振動する、
請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとのうちの少なくとも一方は、前記振動部の振動が流体を介して伝わることで振動する、
請求項1乃至請求項8のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとのうちの少なくとも一方は、前記振動部の駆動周波数と一致する構造共振周波数を有する、
請求項9又は請求項10に記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとは、いずれも前記振動部の振動が伝わって振動する、
請求項1乃至請求項11のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとの間隔の変動の位相は、前記振動部の振動の位相と位相差を有する、
請求項1乃至請求項12のいずれかに記載の流体制御装置。 - 前記第1のプレートと前記第2のプレートとの間隔の変動の位相は、前記第1の流路孔を流れる流量の変動の位相と一致する、または、前記第1の流路孔を流れる流量の変動の位相よりも、前記振動部の振動の位相に近い、
請求項13に記載の流体制御装置。 - 前記振動部は、前記ポンプ室に面しているダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに固定されている圧電素子と、を備える、
請求項1乃至請求項14のいずれかに記載の流体制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014145512 | 2014-07-16 | ||
JP2014145512 | 2014-07-16 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016534373A Division JP6052475B2 (ja) | 2014-07-16 | 2015-07-06 | 流体制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017072140A true JP2017072140A (ja) | 2017-04-13 |
JP6278099B2 JP6278099B2 (ja) | 2018-02-14 |
Family
ID=55078368
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016534373A Active JP6052475B2 (ja) | 2014-07-16 | 2015-07-06 | 流体制御装置 |
JP2016234129A Active JP6278099B2 (ja) | 2014-07-16 | 2016-12-01 | 流体制御装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016534373A Active JP6052475B2 (ja) | 2014-07-16 | 2015-07-06 | 流体制御装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10280915B2 (ja) |
JP (2) | JP6052475B2 (ja) |
GB (1) | GB2542527B (ja) |
WO (1) | WO2016009870A1 (ja) |
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JP6278099B2 (ja) | 2018-02-14 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170824 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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