JP2017069243A - 積層体のレーザ除去加工方法 - Google Patents
積層体のレーザ除去加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017069243A JP2017069243A JP2015189460A JP2015189460A JP2017069243A JP 2017069243 A JP2017069243 A JP 2017069243A JP 2015189460 A JP2015189460 A JP 2015189460A JP 2015189460 A JP2015189460 A JP 2015189460A JP 2017069243 A JP2017069243 A JP 2017069243A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- laser
- branched
- laser beam
- laminate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】異種材料からなる複数層(例えば3層)構造の積層体を、最上層の表面にレーザ光を照射して直線状に切断等するレーザ除去加工方法で、単一のレーザ発振器で、1回の送りで、熱的影響の小さい高品質の除去加工を実現する。
【解決手段】1つのレーザ光(例えば、Nd:YAGレーザ(基本波長:1064nm))を3の分岐レーザ光に分岐し、これらの集光照射による集光点が一直線上に位置する設定とし、積層体(例えば、上からAu、鉄系合金、ガラスの3層)100の表層面101aの加工予定直線上に、一直線上の複数の集光点を移動させ、先頭の分岐レーザ光L1で最上層101を、後続の分岐レーザ光L2,L3で、順次、下の第2層102、第3層103を除去加工するにあたり、第1層と第3層の切断を受け持つ各分岐レーザ光L1,L3の波長を、第2高調波、第3高調波に変換しておく。これにより1回の送りで、材料に応じた波長による切断ができる。
【選択図】 図2
【解決手段】1つのレーザ光(例えば、Nd:YAGレーザ(基本波長:1064nm))を3の分岐レーザ光に分岐し、これらの集光照射による集光点が一直線上に位置する設定とし、積層体(例えば、上からAu、鉄系合金、ガラスの3層)100の表層面101aの加工予定直線上に、一直線上の複数の集光点を移動させ、先頭の分岐レーザ光L1で最上層101を、後続の分岐レーザ光L2,L3で、順次、下の第2層102、第3層103を除去加工するにあたり、第1層と第3層の切断を受け持つ各分岐レーザ光L1,L3の波長を、第2高調波、第3高調波に変換しておく。これにより1回の送りで、材料に応じた波長による切断ができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、層をなす材料が層間方向において、金属層、ガラス層、樹脂層、又はガラス繊維と樹脂との複合層など、異なる材料(材料層)からなる少なくとも2つの層を有する積層基板等の積層体を、その最上層の表面にレーザ光を集光照射して、直線状に、連続して、或いは不連続に、切断、穴あけ、或いは溝入れなどの層をなす材料の除去加工を行う、積層体のレーザ除去加工方法に関する。
レーザ加工により、電子部品搭載用の配線基板集合体(多数個取用基板)のような積層体(積層基板)を、基板固片(個別)に分割するための切断方法として、異種材料の層ごと、吸収率(吸収効率)に優れた波長(基本波長、高調波の波長)のレーザ光を照射して切断する方法が提案されている(特許文献1)。この文献に開示の第1の方法は、積層数に応じた複数(例えば2台)のレーザ発振器(ヘッド)を設けると共に、各レーザ光は、層の材料に応じた(適した)吸収率の波長(基本波長)と第2高調波とし、両レーザ光をミラー、集光レンズ等の光学系を介して1つの同位置(1軸位置)において集光照射できるようにしたレーザ光照射手段(切断装置)を用い、積層体をなす層ごと波長の異なるレーザ光で切断するというものである。すなわち、この切断方法では、最上層(表層)を切断するのに適した波長(例えば、第2高調波)のレーザ光を集光照射しつつ、基板を切断方向に相対的に移動し、まず、その最上層をその切断予定線(ダイシングライン)に沿って除去加工(切断)する。そして、次の層を切断するのに適した波長(基本波長)のレーザ光を、前の第2高調波と同位置で集光照射しつつ、基板を切断方向に相対的に移動し、その下の層を切断するというものである。
また、特許文献1には、レーザ発振器は1台で、発振されるレーザ光をビームスプリッタを用い、透過光(基本波長)と反射光とに分割し、集光照射は同位置(同軸位置)であるが、分割された反射光を波長変換素子(非線形光学結晶)にて第2高調波に波長変換して2種の波長とし、それぞれが各層の材料の吸収率に適したレーザ光となるものとして切断する技術も第2の方法として開示されている。さらに、この変形例として、第2高調波に加えて、第3高調波、第4高調波にも波長変換して、多層の積層体を同位置で集光照射して切断する技術も開示されている。
上記のレーザ除去加工による切断方法においてレーザ発振器を複数用いる場合には、切断装置が大型化、複雑化するし、同装置のコストも増大する。また、レーザ発振器は1台として、ビームスプリッタで層数に応じたレーザ光に分割(分岐)し、第2高調波等を得て、集光照射して切断する場合でも、各レーザ光は同じ位置(1軸)で照射する配置の切断装置を用いることとされている。このため、各層に応じた波長のレーザでの切断をできるとしても、波長の種類の数分、切断のためのレーザ光の走査(例えば、積層体を載置した切断送り用のステージの移動)回数が必要となり、切断終了までの工程数(時間)が多くなるという課題がある。しかも、複数回、繰り返し移動を要することに基づき、その移動(送り)ごと、ステージ等の駆動のための機械精度に基づく集光照射位置の微妙なバラツキが生じる。すなわち、波長の種類の数分、切断のためのレーザ光の走査を繰り返す必要があることから、層ごと切断線の位置に微妙なバラツキが生じる結果、積層体の切断における熱的影響の変化も生じがちとなり、切断線(切断面)精度が低下するなど、品質が不安定化するといった課題があった。
さらに、このような課題は、切断だけでなく、例えば、加工予定直線に沿って、間隔をおいて複数の貫通穴をあけたり、又は複数のスリットを形成するような除去加工(穿孔加工)の場合でも同様にある。そして、このような課題は被切断材(除去加工対象)である積層体の積層数が増大するほど顕在化する。また、このような課題は、切断や貫通させる穿孔ではなく、例えば、3層の積層体において、上の2層だけ材料を除去するような除去加工(溝入れ加工)においても同様にある。
本発明は、層をなす材料が層間方向において、金属層、ガラス層、樹脂層、又はガラス繊維と樹脂との複合層などのように異なる材料(材料層)からなる少なくとも2つの層を有する積層体を、その最上層の表面にレーザ光を集光照射して直線状に切断等するレーザ除去加工における上記課題に鑑みてなされたもので、単一のレーザ発振器の使用で、しかも、1回の送り(レーザ発振器又は積層体の送り)にて、各層をなす材料に応じた波長のレーザ光の集光照射により、効率的で熱的影響の小さい高品質の除去加工のできる方法を提供することをその目的とする。
請求項1に記載の本発明は、異なる材料からなる少なくとも2つの層を有する積層体を、その最上層の表面にレーザ光を集光照射してレーザ除去加工する積層体のレーザ除去加工方法であって、
1台のレーザ発振器から発振されるレーザ光が複数の分岐レーザ光に分岐され、この各分岐レーザ光の集光照射による複数の集光点が一直線上に相互に間隔をおいて位置する設定とされたレーザ光照射手段を用い、
前記積層体の前記最上層の表面における加工予定直線の一端側から他端側に向けて、前記一直線上に位置する前記複数の集光点を、前記間隔を保持した状態で、該加工予定直線上において相対的に移動させ、
先頭の分岐レーザ光の集光照射によって該積層体における最上層の除去加工を行った後、後続の1又は複数の分岐レーザ光の集光照射によって、その下の層、又は順次、下の層の除去加工を行って、前記加工予定直線上において該積層体のレーザ除去加工をするにあたり、
前記複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの波長を、該分岐レーザ光が除去加工対象をなす前記各層の材料に応じ、適度の倍波の高調波に波長変換しておくことを特徴とする。
1台のレーザ発振器から発振されるレーザ光が複数の分岐レーザ光に分岐され、この各分岐レーザ光の集光照射による複数の集光点が一直線上に相互に間隔をおいて位置する設定とされたレーザ光照射手段を用い、
前記積層体の前記最上層の表面における加工予定直線の一端側から他端側に向けて、前記一直線上に位置する前記複数の集光点を、前記間隔を保持した状態で、該加工予定直線上において相対的に移動させ、
先頭の分岐レーザ光の集光照射によって該積層体における最上層の除去加工を行った後、後続の1又は複数の分岐レーザ光の集光照射によって、その下の層、又は順次、下の層の除去加工を行って、前記加工予定直線上において該積層体のレーザ除去加工をするにあたり、
前記複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの波長を、該分岐レーザ光が除去加工対象をなす前記各層の材料に応じ、適度の倍波の高調波に波長変換しておくことを特徴とする。
請求項2に記載の本発明は、前記複数の集光点相互の間隔を同じとすることを特徴とする請求項1に記載の積層体のレーザ除去加工方法である。
請求項3に記載の本発明は、前記各分岐レーザ光の集光照射による各集光点が、除去加工対象をなす前記層の表面又はその近傍に位置するように、各集光点の位置を前記積層体の層間方向において異ならせることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の積層体のレーザ除去加工方法1に記載の積層体のレーザ除去加工方法である。
請求項4に記載の本発明は、前記各分岐レーザ光の集光照射による除去加工対象をなす前記層の材料の融点、又は該層の厚みに応じ、前記複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの出力を、他のものの出力と異ならせることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層体のレーザ除去加工方法である。
請求項3に記載の本発明は、前記各分岐レーザ光の集光照射による各集光点が、除去加工対象をなす前記層の表面又はその近傍に位置するように、各集光点の位置を前記積層体の層間方向において異ならせることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の積層体のレーザ除去加工方法1に記載の積層体のレーザ除去加工方法である。
請求項4に記載の本発明は、前記各分岐レーザ光の集光照射による除去加工対象をなす前記層の材料の融点、又は該層の厚みに応じ、前記複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの出力を、他のものの出力と異ならせることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層体のレーザ除去加工方法である。
本発明において、レーザ光の分岐(分割)は、回析光学素子(DOE)やビームスプリッタを用いればよい。本発明の加工対象をなす積層体について、その層の数に限定はないが、ビームスプリッタは積層数(層数)が少なく、レーザ光の分岐数が少なくてすむ積層体の加工に適する。層数が多く、分岐数が多くなる積層体の加工においては回析光学素子を用いるのがよい。なお、高調波への波長変換(以下、単に変換ともいう)は、波長変換素子(非線形光学結晶)に基本波長のレーザ光を透過させることで得られる。分岐させるべき数は、積層体の層の数となるのが原則であるが、連続して重なる複数の層をなす材料が、特定のレーザ光の吸収率に同一性ないし近似性がある場合には、その複数の層の除去加工を1つの分岐レーザ光で受け持たせてもよい。例えば、三層構造で、吸収率が同一又は近似している2つの層が連続して重なっている(接合されている)場合には、例えば、基本波長と、第2高調波の2種とし、その一方で、該2つの層の除去加工を同時に受け持たせてもよい。
また、波長変換により、分岐した各分岐レーザ光については、それぞれ別の倍波の高調波の波長を選択できる。一方、その選択により、却って、層をなす材料の吸収率に適さず、或いは熱的影響(ダメージ)が大きくなるか、加工効率が低下するような一部の分岐レーザ光については、基本波長のままとしてもよい。なお、レーザ媒体(基本波長)は、適度の倍波に波長変換した後に、除去加工対象の各層をなす材料固有の吸収率に適するものを選択すればよい。また、各分岐レーザ光の出力は、層をなす材料の融点、層の厚み(加工深さ)等の材料特性や、集光におけるスポット径、送り速度等を考慮して設定すればよい。レーザ発振器(レーザ媒体)は、基本波長のほか、1又は複数の分岐レーザ光が得られる出力で、材料に応じ、連続発振又はパルス発振(パルス幅)等を選択すればよい。積層体が、最上層から、例えば、鉄系合金、金(Au)、ガラスの3層である場合には、レーザ媒体はNd:YAGが適する。因みに、その基本波長は1064nmであり、第2高調波は、532nm、第3高調波は、355nmとなるから、各材料の吸収率に応じるとすると、先頭の分岐レーザ光は、基本波長で、第2高調波、第3高調波の順で下の層の除去加工を行わせるのがよい。
請求項1に記載の積層体のレーザ除去加工方法では、1台のレーザ発振器から発振されるレーザ光が複数の分岐レーザ光に分岐され、この各分岐レーザ光の集光照射による複数の集光点が一直線上に相互に間隔をおいて位置する設定とされており、しかも、前記複数の集光点を、前記間隔を保持した状態で、該加工予定直線上において相対的に移動させ、先頭の分岐レーザ光の集光照射によって該積層体における最上層の除去加工を行った後、後続の1又は複数の分岐レーザ光の集光照射によって、その下の層、又は順次、下の層の除去加工を行って、前記加工予定直線(レーザ走査線)上において該積層体をレーザ除去加工することとしている。そして、この加工にあたり、前記分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの波長を、該分岐レーザ光が除去加工対象をなす前記層の材料に応じた、適度の倍波の高調波に波長変換しておくこととしている。このような本発明では、該積層体の前記最上層から下の層をなす各層(除去加工対象)の材料の吸収率の高低差に応じ、当該層の除去加工を行う分岐レーザ光の波長を、適度の倍波の高調波に波長変換しておくこととしているから、1回の送り(レーザ光照射手段又は積層体の少なくとも一方の相対的な移動)にて、熱的影響の小さい高品質の除去加工ができる。
すなわち、本発明では、各層(材料)の除去加工を受け持つべき、1又は複数の分岐レーザ光を、各層の吸収率に応じた高調波に変換するものであるため、当該層(材料)の高品質の除去加工を得ることができるだけでなく、複数の分岐レーザ光を従来技術におけるような同位置(1軸)での照射とするのではなく、集光点が、一直線上に、相互に間隔をおいて照射するものとされている。これにより、その直線方向への相対的な一回の送りにより、積層体における加工予定直線においてその除去加工ができる。結果、熱的影響も少なく、精度、品質の高い切断等の除去加工が効率よく行える。なお、除去加工が、切断又は連続する溝である場合には、切断長(又は溝長)の全長にわたって照射を続ければよい。なお、直線に沿って連続して切断する除去加工においては、複数の集光点相互の前記間隔は同じでなくともよい。
一方、複数の集光点相互の前記間隔は、請求項2に記載の本発明のように同じとしておくとよい。このようにしておくことで、加工予定直線上において、等間隔で穴あけ加工、又は等間隔で、同一長さのスリット状の穴あけ加工をすることができるためである。すなわち、前記間隔を、加工すべき複数の穴のピッチに応じた寸法としておき、照射、送りを間欠的に行うように調節することで等間隔の穴あけ等ができる。例えば、2層の積層体において、集光点(スポット径)形状の単純な穴あけならば、先頭の分岐レーザ光で、最上層の穴あけ箇所で照射を行うことで、その層の穴あけができ、その後、穴相互のピッチに応じた送りを行い、最上層において、次の穴あけ箇所での照射を行う。同時に、後続の分岐レーザ光の照射で、その下の層の穴あけを行い、これを繰り返すように進行すれば、等間隔での穴あけ加工ができる。この場合、穴がスリット状の長穴であれば、長穴の開始端から終端まで、照射を続ければよい。なお、積層体のうち、例えば最下層には貫通させないような穴あけ加工、又は溝加工でも同様にその除去加工ができる。
請求項3に記載の本発明によれば、エネルギ効率が高められるので、より効率的な除去加工が得られる。また、請求項4に記載の本発明のように、レーザのエネルギ出力に差をつけることで、層の融点、厚み等に応じ、より効率的な除去加工が行える。分岐レーザ光のエネルギ出力(強度)は、DOE又はビームスプリッタにおいて差をつければよい。なお、レーザの種類は、積層体をなす層(材料)全体の種類を考慮して、基本波長と、それから得られる倍波の高調波にて、材料に応じ、吸収率が高められるものを選択すればよいのは上記したとおりである。
本発明を具体化した実施の形態例について、図1、図2に基づき、除去加工対象をなす積層体100が3層構造の積層基板(最上層から、例えば、金(Au)、鉄系合金、ガラス)で、これを切断する場合で説明する。レーザ光照射手段(照射装置)200は、図示しないベース上に設けられたレーザ発振器210、レーザ光(基本波長)の分岐手段220、集光レンズ230等の光学系などからなり、除去加工対象の積層体100を載置(搭載)、固定するためのステージ(テーブル)240の図示上方に設けられている。なお、分岐手段220は、ビームスプリッタでもよいが、本例では、回析光学素子(DOE)とする。また、本例で用いるレーザ(媒体)は、Nd:YAGレーザ(基本波長:1064nm)とする。
本例では、1つのレーザ発振器210から照射されるレーザ光Laは、積層体100の3層101,102,103に対応し、DOEにより3つの分岐レーザ光L1,L2,L3に分岐される設定とされている。この3の分岐レーザ光は、それぞれ集光レンズ230を介して積層体100の最上層(第1層)101の表面(表層面)101aに垂直に照射され、その集光照射による3つの集光点が、一直線上において適寸の間隔(本例では、等間隔)をおいて位置し、1列をなして照射されるように設けられている。本例では、3つの分岐レーザ光L1,L2,L3は、積層体100に対し、図示、右から左に向けて相対的に移動するものとされ、先頭(図示左端)と、最後尾(図示右端)の2つの分岐レーザ光L1,L3について、分岐手段(DOE)220と集光レンズ230との間に、それぞれ波長変換素子(非線形光学結晶)250が配置されており、それぞれ、各分岐レーザ光の透過により、先頭の分岐レーザ光L1が第2高調波(波長:532nm)に、最後尾(図示右端)の分岐レーザ光L3が第3高調波(波長:355nm)に変換される設定とされている。すなわち、本例の除去加工対象は、上記したように、上から、金、鉄系合金、ガラスの積層体100のため、この各層(材料)101,102,103の吸収率に応じるように、先頭の第2高調波で最上層101をなす金(Au)の層を、無変換の基本波長で第2層102をなす鉄系合金の層を、そして、第3高調波で第3層103をなすガラスの層をそれぞれ除去加工する設定とされている。
レーザ光の集光照射による切断のための走査(移動)は、積層体100に対し、照射されるレーザ光の集光点が相対的に移動するものであればよいので、例えば、積層体100を載置、固定するステージ240、又は、レーザ光照射手段200のいずれかを移動すればよい。本例では、3つの分岐レーザ光L1,L2,L3の集光照射による集光点が、相互の間隔を一定に保持した状態で、その列方向(一直線方向)に、図示しない移動用の駆動手段により、レーザ光照射手段200ごと、その全体が一体となって所定の速度(等速)で移動(往復動)、停止の制御がされる設定とされている。すなわち本例では、レーザ光照射手段200の図示、右から左への移動により、図示1番左の分岐レーザ光(第2高調波ともいう)L1が、先頭で最上層(金)101を除去加工し、続く分岐レーザ光(基本波長ともいう)L2が第2層(鉄系合金)102を除去加工し、そして最後尾の分岐レーザ光(第3高調波ともいう)L3が第3層(ガラス)103を除去加工する設定とされている。
このような除去加工の開始に際しては、ステージ240の上面に対して、積層体100を載置、固定し、その最上層101の表面101aに設定された加工予定直線(切断予定線)KLの図示右方の延長線上に、3つの分岐レーザ光L1,L2,L3の集光照射による集光点が位置するように、平面における位置決めをする。また、例えば、ステージ240の高さ調節等により焦点位置の調節を行う。本例では、各分岐レーザ光の集光照射による集光点が、切断加工対象をなす各層101、102、103の表面又はその近傍に位置するように、積層体100の層間方向において異なる設定とされている。なお、集光点のスポット径(切断幅)は、レーザの出力、加工精度、熱的影響等を考慮して適度に設定される。
本例では、このように段取り、調節をした後、レーザ光発振器210を駆動してレーザ光Laを発振させ分岐手段(DOE)220に入射させる。これにより3つに分岐された各分岐レーザ光L1,L2,L3は、それぞれ集光レンズ230を介して積層体100の最上層101の表面101aに向けて照射される。ただし、分岐レーザ光L1,L3は、それぞれ波長変換素子(非線形光学結晶)250を透過することで波長変換されている。このような各分岐レーザ光L1,L2,L3による照射状態においては、レーザ光照射手段200を図1、図2中に矢印で示したように右から左に向けて移動する。この移動により、図2−Aに示したように、先ず、図示左端(先頭)の分岐レーザ光(第2高調波)L1が、積層体100の最上層101の表面101aに設定された切断予定線KLに沿い、その右端から集光照射が開始され、最上層101を右から左に向けてライン状に除去加工する。この除去加工の進行に伴い、第2層102(2層目)が露出し、続く左から二番目の分岐レーザ光(基本波長)L2が、その切断予定線KL(最上層101の除去加工ライン)を辿るように、第2層102(2層目)の表面に、その右端から集光照射が開始され、第2層102を右から左に向けてライン状に除去加工する(図2−B参照)。
そして、この除去加工の進行に伴い、図2−Cに示したように、続く最後尾の分岐レーザ光(第3高調波)L3が、その切断予定線KL(最上層101と第2層102の除去加工ライン)を辿るように、第3層103の表面に、その右端から集光照射が開始され、第3層103を右から左に向けてライン状に除去加工する。すなわち、先頭の分岐レーザ光L1による最上層101の切断に続いて、後続の2つの分岐レーザ光L2,L3による第2層102、第3層103の切断が後を追うようにして行われる。そして、最後尾の分岐レーザ光(第3高調波)L3が、積層体100における切断予定線KLの左端を超えることで、積層体100は右端から左端に向けて切断される。すなわち、本例ではレーザ光照射手段200を、積層体100に対し、右端から左端に向けての一回の移動で、切断を終えることができる。なお、この切断後は、レーザ光照射手段200を元位置に戻し、次の切断を行い、或いは、その切断線に対して直角方向等、必要に応じて適宜の切断予定線KLに沿って切断等すればよい。
このように、本例では、媒体が、Nd:YAGレーザ(基本波長:1064nm)である一方、積層体100は、上から、金、鉄系合金、ガラスの3層構造のため、吸収率に応じ、先頭の第2高調波(波長:532nm)L1で最上層101の金(Au)からなる層を、続く無変換の基本波長L2で第2層102の鉄系合金からなる層を、そして第3高調波(波長:355nm)L3で第3層103のガラスの層を切断加工するのであるが、この切断のための積層体100の相対的な移動は一回ですむ。このため、従来技術のように、複数のレーザ光を同じ位置で照射する配置とされた切断装置を用い、各層に応じ、各波長のレーザで繰り返し照射し、切断する場合のように、その層の数の分(波長の種類数の分)の積層体の相対的な移動を要しない。結果、繰り返し移動を要することに起因する位置精度の低下もないから、切断面精度も高く、高品質の除去加工(切断)が効率よくできる。なお、各分岐レーザ光の出力は、各層(材料)の融点、厚みに応じた安定した除去加工ができるエネルギが得られるように分岐手段220によって調整しておけばよい。
例えば、本例(図2参照)の3層構造の積層体100のように、最上層(第1層)101が金(Au)からなる層、第2層102が鉄系合金からなる層、そして第3層103がガラスの層であるときにおいて、その第2層(鉄系合金)102の厚みが、図3に示した別例−1の積層体100のように、図2の第2層102の厚みの例えば2倍である場合には、その第2層102の切断を受け持つ無変換の分岐レーザ光(基本波長)L2の出力が、その厚みに対応して2倍となるように分岐手段220によって調整しておけばよい。なお、図3(A,B,C)に示した別例−1の切断においては、第2層102の厚みと、その切断を受け持つ無変換の分岐レーザ光(基本波長)L2の出力のみが、前例と異なるだけで、レーザ光照射手段200を移動しながら、照射する等の工程は前例と同一である。このため、図2(A,B,C)と同一又は対応する箇所にはそれと同一の符号を付すに止め、その工程等の詳細な説明は省略する(以下、同様とする)。なお、レーザ発振器から照射されるレーザ光Laの強度は、各分岐レーザ光L1,L2,L3の合計強度が得られるように、その出力を設定すればよい。
また、図2の3層構造の積層体において、第3層(ガラス)103の厚みが、図4(A,B,C)に示した別例−2の積層体100のように、図2の積層体100におけるものの例えば2倍である場合には、その第3層(ガラス)103の切断を受け持つ第3高調波(波長:355nm)L3の出力が、その厚みに対応して2倍となるように分岐手段220によって調整しておけばよい。逆に、図2の3層構造の積層体において、第2層(鉄系合金)102又は第3層(ガラス)103の厚みが半分(0.5倍)となれば、それぞれの層の切断を受け持つ分岐レーザ光の出力を半分とすればよい。すなわち、各層の厚みが異なれば、それに応じ、各層の安定した除去加工ができるように、各分岐レーザ光L1,L2,L3の出力の割合を加減すればよい。
上記例における材料構成の積層体でも、その積層順が異なり、例えば上から、鉄系合金、金、ガラスの順であれば、先頭の分岐レーザ光L1を基本波長とし、続く分岐レーザ光L2を第2高調波、最後尾の分岐レーザ光L3を第3高調波に変換しておけばよいことは明らかである。すなわち、波長は、当該分岐レーザ光が除去加工対象をなす層の材料に応じた、適度の倍波の高調波になるように変換しておけばよい。そして、このような3層構造において、上の2層(上から、鉄系合金、金)のみを除去加工するような溝入れ加工をする場合には、分岐レーザ光の数(分岐数)は2とし、先頭の分岐レーザ光を基本波長のものとし、続く2番目の分岐レーザ光を第2高調波に変換し、それぞれ、最上層、下の層の除去加工を受け持たせればよい。すなわち、このような上の2層のみからなる2層構造の積層体を切断する場合もこれと同様にすることでよい。なお、このように積層数が少ない場合には、レーザ光の分岐手段には、ビームスプリッタが適する。
以上は、異なる材料からなる3層構造、又は2層構造の積層体をレーザ除去加工する場合で説明したが、例えば、図5に示したように、積層体100が4層で、その各層(4層)101〜104が上から下に、A材料+B材料+A材料+B材料のように、同材料が繰り返す積層構造であり、A材料が特定レーザ光の基本波長の吸収率において優れ、B材料が第2高調波の吸収率において優れている場合には、次のようにすればよい。すなわち、この場合には、4つの分岐レーザ光L1,L2,L3,L4に分岐するレーザ光照射手段を用いることになるが、先頭から後方に順に、基本波長、第2高調波、基本波長、第2高調波となるように、先頭から2番目と4番目の2つの分岐レーザ光L2、L4の波長を第2高調波に変換して、集光照射し、図5−A,B,C,Dに示したように、レーザ光照射手段200を、図示右から左に移動すればよい。このようにすれば、先頭の分岐レーザ光L1が最上層の除去加工を行った後、後続の複数の分岐レーザ光L2,L3,L4が、順次、下の層の除去加工を行うことになる。もちろん、B材料が第2高調波よりも第3高調波の吸収率において優れている場合には、4つの分岐レーザ光L1,L2,L3,L4は、先頭から後方に順に、基本波長、第3高調波、基本波長、第3高調波の順となるように、2つの分岐レーザ光L2、L4を波長変換しておけばよい。
さらに積層体100が4層でも、それが上から下に、A材料+B材料+A´材料+B´材料のように4つの異なる材料からなる積層構造であるが、A材料、A´材料が特定レーザ光の基本波長の吸収率において優れ、B材料、B´材料が第2高調波(又は他の倍波の高調波)の吸収率において優れている場合にも、4つの分岐レーザ光L1,L2,L3,L4について、前記したのと同様に、そのうちの先頭から2番目と4番目の2つの分岐レーザ光L2,L4の波長を第2高調波(又は他の倍波の高調波)に変換しておけばよい。すなわち、高調波は、材料の吸収率に応じたものが得られるように、層をなす材料に応じ、その倍波を設定すればよい。
一方、このように4つの異なる材料からなる積層体100でも、図6に示したように、それが上から下に、A材料+A´材料+B材料+B´材料のような積層構造である場合には、2つの分岐レーザ光L1,L2に分岐し、そのうちの後続の分岐レーザ光L2を、B、B´材料の吸収率に応じ、例えば第2高調波に変換し、上の2層101,102を分岐レーザ光L1で同時に除去加工し(図6−A参照)、そして、下の2層103,104を分岐レーザ光L2で同時に除去加工することとしてもよい(図6−B参照)。すなわち、本発明では、複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの波長を、該1つの分岐レーザ光が除去加工対象をなす層の材料に応じ、適度の倍波の高調波に変換しておけばよいのであり、1つの分岐レーザ光が除去加工対象をなす層の数は、1だけでなく、複数の場合も含まれる。
なお、加工対象である積層体は、切断又は溝入れ加工でも、その層の数に関係なく適用できる。そして、溝入れ加工では、最上層を含めた溝を入れる層の数分の切断加工と同じである。また、上記例におけるように、積層体の最上層の表面における加工予定直線に沿って、連続して材料を除去加工する切断加工又は溝入れ加工においては、複数の集光点相互の間隔は同じでなくともよい。
一方、上記例に用いたレーザ光照射手段200におけるように、複数の集光点相互の間隔を同じとした場合には、加工予定直線KL上において、等間隔の穴あけ加工をすることができる。例えば、図2に示した3層構造の積層体100ように、各層101,102,103が上から下に、A材料(金)+B材料(鉄系合金)+C材料(ガラス)であり、それらの材料の吸収率に応じるように、第2高調波で金(Au)からなる最上層101を、無変換の基本波長で鉄系合金からなる第2層102を、そして、第3高調波でガラスからなる第3層103の積層体100に穴あけ加工する場合には、次のようにすればよい。
すなわち、この場合には、図7に示したように、3つの分岐レーザ光L1,L2,L3に分岐したレーザ光照射手段200を用いることになるが、先頭から後方に順に、第2高調波、基本波長、第3高調波となるように、先頭と3番目の2つの分岐レーザ光L1,L3の波長を変換しておき、次のように、レーザ光照射手段200の移動、停止、そして照射、照射停止を繰り返せばよい。前記間隔Pは、加工すべき複数の穴の間隔(ピッチ)と同じとなるから、加工すべき穴のピッチ(寸法)に応じ、その間隔Pを設定しておく。
図7−Aに示したように、先頭の分岐レーザ光L1による集光点を加工予定直線KL上の最初の穴あけ位置(穴位置)H1に位置決めするように、図示右から左に移動して停止し、その位置H1で集光照射して最上層101の除去加工(穴あけ加工)をする。そして、この穴あけ終了後、集光照射を停止し、穴のピッチ、すなわち、前記間隔Pに応じた分、レーザ光照射手段200を加工予定直線KLに沿って移動し、先頭の分岐レーザ光L1による集光点が最上層101における次の穴あけ位置H2にくるようにして位置決め、停止し、その位置で集光照射して、最上層101に次の穴あけ加工をする(図7−B参照)。このとき、後続(2番目)の分岐レーザ光L2は、先頭の分岐レーザ光L1によって穴あけされた最初の穴位置H1においてその下の層102を同時に集光照射し、その層(第2層)102の除去加工(穴あけ加工)をする。
そして、この穴あけ終了後、集光照射を停止し、穴のピッチに応じた分、レーザ光照射手段200を加工予定直線KLに沿って移動し、先頭の分岐レーザ光L1による集光点が最上層101における次の穴あけ位置H3にくるようにして位置決め、停止し、その位置で集光照射して、最上層101に、次の穴あけ加工をする(図7−C参照)。このとき、後続(2番目)の分岐レーザ光L2は、先頭の分岐レーザ光L1によって穴あけされた2つ目の穴位置H2においてその下の層102を同時に集光照射することになり、その下の層(第2層)102の除去加工(穴あけ加工)が行われる。同時に、その後続(3番目)の分岐レーザ光L3は、2番目の分岐レーザ光L2によって穴あけされた最初の穴位置H1においてその下の層(第3層103)を集光照射し、その層103に穴あけをする。これにより、最初の穴位置H1においては、その3つの層101,102,103について穴があけられ、貫通した穴が得られる。以後、この移動、移動停止、そして照射、照射停止の工程を最後の穴位置において、第3層103に穴あけ加工がされるまで繰り返す。かくして、その積層体100には、加工予定直線KL上において等間隔で多数の穴があけられる。
なお、照射スポット径、形状は、穴の直径、形状に応じて設定すればよい。また、前例では貫通穴の穴あけ加工の場合で説明したが、貫通穴でない場合には、穴あけ(除去加工)対象をなす最上層101を含む下の1又は複数の層についてのみ、除去加工すればよい。すなわち、前例において上の2層のみ、穴あけ加工する場合には、2つの分岐レーザ光とし、先頭から後方に、第2高調波、基本波長となるように、先頭の分岐レーザ光L1の波長を変換しておき、2つの照射による集光点の間隔Pで、レーザ光照射手段200によるその移動、移動停止、そして照射、照射停止の工程を最後の穴位置において、下の層に穴あけ加工がされるまで繰り返せばよい。なお、穴が加工予定直線に沿って延びるスリット状の長穴である場合には、各長穴において、その長穴の開始端から終端まで照射を続ければよい。
上記例ではレーザ発振器(レーザ媒体)は、Nd:YAGレーザ(基本波長:1064nm)を用いた場合で説明したが、本発明においてレーザ発振器は、積層体の層の構成材料(材質)、厚み、数等に基づき、分岐レーザ光を適度の倍波とした第n高調波が加工対象をなす層(材料)に応じ、総合的にみて、基本波長、又はその適度の倍波の高調波にて、好ましい吸収率が得られるものを選択すればよい。すなわち、レーザは、加工対象をなす積層体の層の材料、層数等に基づいて、YAGレーザ、半導体レーザ、CO2レーザ等から適宜選択すればよいし、連続発振又はパルス発振(パルス幅)といった発振モードもそれらに応じて選択すればよい。
本発明において、レーザ発振器から発振されるレーザ光の分岐手段は、積層体をなす層(材料)の数、或いは適度の倍波となるべき高調波の種類の数に基づき、そして分岐すべき数等を考慮して選択すればよい。分岐数が少ない場合にはビームスプリッタを用いればよい。一方、多い場合には回析光学素子(DOE)を用いるのが好ましい。DOEは、レーザ光の分岐数、分岐されたレーザ光の照射方向(分岐パターン、配置)、レーザ光強度(出力)の大小等の要求される仕様に容易に適合させることができるためである。なお、レーザ発振器から照射されるレーザ光の強度は、分岐されるレーザ光の合計強度(除去加工対象をなす積層体の層の数、融点、厚み等)に基づき、設定すればよい。また、本発明の除去加工対象をなす積層体は、広く積層構造を有するものに適用できる。
100 積層体
101,102,103,104 積層体をなす層
101 積層体の最上層
101a 最上層の表面
200 レーザ光照射手段
210 レーザ発振器
L1,L2,L3,L4 分岐レーザ光
L1 先頭の分岐レーザ光
KL 加工予定直線
P 複数の集光点相互の間隔
101,102,103,104 積層体をなす層
101 積層体の最上層
101a 最上層の表面
200 レーザ光照射手段
210 レーザ発振器
L1,L2,L3,L4 分岐レーザ光
L1 先頭の分岐レーザ光
KL 加工予定直線
P 複数の集光点相互の間隔
Claims (4)
- 異なる材料からなる少なくとも2つの層を有する積層体を、その最上層の表面にレーザ光を集光照射してレーザ除去加工する積層体のレーザ除去加工方法であって、
1台のレーザ発振器から発振されるレーザ光が複数の分岐レーザ光に分岐され、この各分岐レーザ光の集光照射による複数の集光点が一直線上に相互に間隔をおいて位置する設定とされたレーザ光照射手段を用い、
前記積層体の前記最上層の表面における加工予定直線の一端側から他端側に向けて、前記一直線上に位置する前記複数の集光点を、前記間隔を保持した状態で、該加工予定直線上において相対的に移動させ、
先頭の分岐レーザ光の集光照射によって該積層体における最上層の除去加工を行った後、後続の1又は複数の分岐レーザ光の集光照射によって、その下の層、又は順次、下の層の除去加工を行って、前記加工予定直線上において該積層体のレーザ除去加工をするにあたり、
前記複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの波長を、該分岐レーザ光が除去加工対象をなす前記各層の材料に応じ、適度の倍波の高調波に波長変換しておくことを特徴とする、積層体のレーザ除去加工方法。 - 前記複数の集光点相互の間隔を同じとすることを特徴とする請求項1に記載の積層体のレーザ除去加工方法。
- 前記各分岐レーザ光の集光照射による各集光点が、除去加工対象をなす前記層の表面又はその近傍に位置するように、各集光点の位置を前記積層体の層間方向において異ならせることを特徴とする請求項1又は2のいずれか1項に記載の積層体のレーザ除去加工方法1に記載の積層体のレーザ除去加工方法。
- 前記各分岐レーザ光の集光照射による除去加工対象をなす前記層の材料の融点、又は該層の厚みに応じ、前記複数の分岐レーザ光のうち、1又は複数のものの出力を、他のものの出力と異ならせることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層体のレーザ除去加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015189460A JP2017069243A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 積層体のレーザ除去加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015189460A JP2017069243A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 積層体のレーザ除去加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017069243A true JP2017069243A (ja) | 2017-04-06 |
Family
ID=58495149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015189460A Pending JP2017069243A (ja) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 積層体のレーザ除去加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017069243A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018187811A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 大塚包装工業株式会社 | 樹脂製成形品の製造方法及び製造装置 |
JP2020008778A (ja) * | 2018-07-11 | 2020-01-16 | 日本電信電話株式会社 | ハイブリッド光デバイスの溝作製方法およびハイブリッド光デバイス |
KR102150795B1 (ko) * | 2019-04-29 | 2020-09-02 | 정진만 | 이종 금속 절단을 위한 원격 하이브리드 절단장치 |
WO2021100201A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2022067118A (ja) * | 2020-02-21 | 2022-05-02 | ヌヴォトンテクノロジージャパン株式会社 | 個片化方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1015682A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-01-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 塗装鋼板のレーザ切断方法 |
US20020092833A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Orbotech Ltd. | Laser drill for use in electrical circuit fabrication |
JP2003260579A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-16 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
-
2015
- 2015-09-28 JP JP2015189460A patent/JP2017069243A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1015682A (ja) * | 1996-07-03 | 1998-01-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 塗装鋼板のレーザ切断方法 |
US20020092833A1 (en) * | 2001-01-17 | 2002-07-18 | Orbotech Ltd. | Laser drill for use in electrical circuit fabrication |
JP2003260579A (ja) * | 2002-03-08 | 2003-09-16 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018187811A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 大塚包装工業株式会社 | 樹脂製成形品の製造方法及び製造装置 |
JP2020008778A (ja) * | 2018-07-11 | 2020-01-16 | 日本電信電話株式会社 | ハイブリッド光デバイスの溝作製方法およびハイブリッド光デバイス |
WO2020012909A1 (ja) * | 2018-07-11 | 2020-01-16 | 日本電信電話株式会社 | ハイブリッド光デバイスの溝作製方法およびハイブリッド光デバイス |
JP7043999B2 (ja) | 2018-07-11 | 2022-03-30 | 日本電信電話株式会社 | ハイブリッド光デバイスの溝作製方法およびハイブリッド光デバイス |
US11372159B2 (en) | 2018-07-11 | 2022-06-28 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Method for forming groove in hybrid optical device, and hybrid optical device |
KR102150795B1 (ko) * | 2019-04-29 | 2020-09-02 | 정진만 | 이종 금속 절단을 위한 원격 하이브리드 절단장치 |
WO2021100201A1 (ja) * | 2019-11-22 | 2021-05-27 | 三菱重工業株式会社 | レーザ加工方法及びレーザ加工装置 |
JP2022067118A (ja) * | 2020-02-21 | 2022-05-02 | ヌヴォトンテクノロジージャパン株式会社 | 個片化方法 |
US11488867B2 (en) | 2020-02-21 | 2022-11-01 | Nuvoton Technology Corporation Japan | Chip singulation method |
US11646230B2 (en) | 2020-02-21 | 2023-05-09 | Nuvoton Technology Corporation Japan | Chip singulation method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2017069243A (ja) | 積層体のレーザ除去加工方法 | |
KR101376435B1 (ko) | 레이저 다이싱 방법 | |
KR101243543B1 (ko) | 다이싱 방법 | |
TW201700250A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
TW201631228A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
TW201700249A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
JP5620669B2 (ja) | レーザダイシング方法およびレーザダイシング装置 | |
TW201735143A (zh) | SiC晶圓的生成方法 | |
TW201635364A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
TW201631227A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
TW201639016A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
US20110132885A1 (en) | Laser machining and scribing systems and methods | |
KR100864863B1 (ko) | 멀티 레이저 시스템 | |
TW201639018A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
TW201639017A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
JP2007142000A (ja) | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 | |
TW201707822A (zh) | 晶圓的生成方法 | |
CN102271858A (zh) | 在聚合物层表面上开槽的方法和设备 | |
KR20120037369A (ko) | 레이저 가공장치 및 레이저 가공방법 | |
JP2012176420A (ja) | 基板加工装置および基板加工方法 | |
JP2017080796A (ja) | 加工樹脂基板の製造方法およびレーザー加工装置 | |
TW202105863A (zh) | 雷射加工設備、其操作方法以及使用該雷射加工設備加工工件的方法 | |
JP6423135B2 (ja) | パターン付き基板の分割方法 | |
JP5827931B2 (ja) | レーザダイシング方法 | |
JP4589760B2 (ja) | レーザ加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180308 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181204 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20190604 |