JP2017067874A - 表示装置およびその製造方法 - Google Patents

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智一 石川
真彦 仲村
Masahiko Nakamura
真彦 仲村
昌幸 村上
Masayuki Murakami
昌幸 村上
孝次 北村
Koji Kitamura
孝次 北村
伊藤 大輔
Daisuke Ito
大輔 伊藤
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Abstract

【課題】上額縁領域の幅が異なる2種類の表示装置を容易に製造することができる。
【解決手段】表示装置は、基板FSと、シールADHと、を有する。シールADHは、平面視において、額縁領域FLA21およびFLA22に設けられている。スペーサSP21は、額縁領域FLA21と額縁領域FLA22との境界において、基板FSの、額縁領域FLA3側の端部から、基板FSの、額縁領域FLA3側と反対側の端部に亘って形成されている。そして、スペーサSP21の額縁領域FLA21側は、シールADHの部分PT21と接し、スペーサSP21の額縁領域FLA22側は、シールADHの部分PT22と接している。
【選択図】図7

Description

本発明は表示装置およびその製造方法に関し、例えば、表示領域の外側に設けられた額縁領域を有する表示装置およびその製造方法に適用して有効な技術に関する。
例えば液晶表示装置などの表示装置は、表示領域と、表示領域の外側の額縁領域と、を有する。また、このような表示装置は、アレイ基板と、アレイ基板と対向配置された対向基板と、を有する。表示領域では、アレイ基板に、複数の画素が設けられている。複数の画素は、例えばマトリクス状に配置されている。額縁領域では、アレイ基板と対向基板との間に、シールが設けられている。シールは、アレイ基板と対向基板とを接着する。また、アレイ基板または対向基板には、スペーサが設けられている。スペーサは、アレイ基板と対向基板との間隔を保持する。
例えば特開2014−52546号公報(特許文献1)には、表示パネルにおいて、アレイ基板と、アレイ基板に隙間を置いて対向配置された対向基板と、表示領域を囲んだ額縁領域に対向し、アレイ基板及び対向基板を接合するシール材と、を備えた技術が記載されている。
特開2014−52546号公報
このような表示装置において、額縁領域には、半導体チップが設けられる。半導体チップが配置された額縁領域を下額縁領域と称し、表示領域を挟んで、下額縁領域と反対側に配置された額縁領域を、上額縁領域と称する。このとき、表示領域に対して下額縁領域が配置された方向と交差する方向における両側に配置された額縁領域、すなわち左額縁領域および右額縁領域の各々の幅を変更せずに、上額縁領域の幅だけを変更して、表示装置を設計する場合がある。
このような場合、例えば上額縁領域の幅が異なる2種類の表示装置の各々を製造するために、各表示装置の製造工程でフォトリソグラフィ用としてそれぞれ用いられる複数のフォトマスクからなる組を、別々に用意する必要がある。そのため、表示装置の製造に要する費用が増加するか、または、表示装置の製造に要する期間が長くなるおそれがあり、上額縁領域の幅が異なる2種類の表示装置を容易に製造することができない。
本発明は、上述のような従来技術の問題点を解決すべくなされたものであって、上額縁領域の幅が異なる2種類の表示装置を容易に製造することができる表示装置を提供することを目的とする。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明の一態様としての表示装置は、第1基板と、第1基板と対向配置された第2基板と、第1基板と第2基板との間に設けられ、第1基板と第2基板とを接着するシールと、を有する。第1基板は、第1領域と、平面視において、第1領域に対して第1方向における第1の側に配置された第2領域と、を含む。第1領域内には複数の画素が配置されている。シールは、平面視において、第2領域内の第1部分および第2部分に設けられ、第1部分は、スペーサに対して第1領域側に配置され、第2部分は、スペーサを挟んで第1領域と反対側に配置されている。スペーサは、第1部分と第2部分との境界において、第2基板の第1端部から第2端部に亘って形成されており、スペーサの第1部分側と第2部分側とはシールと接している。
また、他の一態様として、当該表示装置は、第1基板または第2基板に設けられた第1アライメントマークを有し、第1アライメントマークは、第1方向において、スペーサと重畳していてもよい。
また、他の一態様として、第1アライメントマークは、第1部分と第2部分との境界において、第1部分に設けられており、第2アライメントマークが、第2部分における、第1基板または第2基板の第3端部に設けられていてもよい。
また、他の一態様として、当該表示装置は、第1基板に設けられた複数の走査線と、複数の信号線と、を有してもよい。また、複数の走査線、または、複数の信号線と同層に設けられたパターンが、平面視において、第2部分に配置され、パターンはフローティングであってもよい。
また、他の一態様として、第2部分における、第1基板の第3端部と第2基板の第4端部とは、シールから露出していてもよい。
また、他の一態様として、第2アライメントマークは、平面視において、第1アライメントマークの形状と異なる形状を有してもよい。
また、他の一態様として、スペーサは、複数の走査線の延在方向に点在する複数の島状のスペーサであってもよい。
あるいは、本発明の一態様としての表示装置の製造方法は、(a)第1マザー基板の複数の基板形成領域のそれぞれに複数の画素を設ける工程、(b)第2マザー基板の複数の基板形成領域のそれぞれにスペーサと第1のアライメントマークと第2のアライメントマークとを設ける工程、を有する。また、当該表示装置の製造方法は、(c)第1マザー基板と第2マザー基板とをシールにて貼り合わせる工程、(d)基板形成領域を第1の大きさでスクライブするか、或いは、前記第1の大きさよりも大きい第2の大きさでスクライブするか、を決定する工程、を有する。また、当該表示装置の製造方法は、(e)スクライブにより、第1マザー基板と第2マザー基板とを、複数の表示パネルに分断する工程、を有する。
また、他の一態様として、第1の大きさでスクライブする際は、第1のアライメントマーク近傍を切断し、第1の大きさでスクライブする際は、第1のアライメントマークよりも複数の画素から離間した第2のアライメントマーク近傍を切断してもよい。
また、他の一態様として、第1の大きさでスクライブする際は、前記スペーサに沿ってスクライブしてもよい。
実施の形態の表示装置の一例を示す平面図である。 実施の形態の表示装置の一例を示す断面図である。 実施の形態の表示装置の一例を示す断面図である。 実施の形態の表示装置の等価回路を示す図である。 実施の形態の表示装置の平面図である。 実施の形態の表示装置の額縁領域の平面図である。 実施の形態の表示装置の額縁領域の平面図である。 実施の形態の表示装置の額縁領域の断面図である。 実施の形態の表示装置の額縁領域の断面図である。 実施の形態の表示装置の製造工程中の平面図である。 実施の形態の表示装置の製造工程中の平面図である。 実施の形態の表示装置の製造工程中の平面図である。 実施の形態の表示装置の製造工程中の断面図である。 実施の形態の表示装置の製造工程中の平面図である。 実施の形態の変形例の表示装置の額縁領域の平面図である。 実施の形態の変形例の表示装置の製造工程中の平面図である。
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は説明をより明確にするため、実施の態様に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。
また本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宜省略することがある。
さらに、実施の形態で用いる図面においては、断面図であっても図面を見やすくするためにハッチングを省略する場合もある。また、平面図であっても図面を見やすくするためにハッチングを付す場合もある。
以下の実施の形態で説明する技術は、表示機能層が設けられた表示領域に設けられた複数の素子に、表示領域の周囲から信号を供給する機構を備える表示装置に広く適用可能である。上記のような表示装置には、例えば、液晶表示装置、あるいは有機EL(Electro-Luminescence)表示装置など、種々の表示装置が例示できる。以下の実施の形態では、表示装置の代表例として、液晶表示装置を取り上げて説明する。
また、以下で説明する実施の形態では、一例として、横電界モードの表示装置を取り上げて説明するが、それに制限されるものではない。
(実施の形態)
<表示装置の構成>
まず、図1〜図3を参照し、表示装置の構成について説明する。図1は、実施の形態の表示装置の一例を示す平面図である。図2および図3は、実施の形態の表示装置の一例を示す断面図である。図2は、図1のA−A線に沿った断面図である。また、図3は、図2のB部の拡大断面図である。
なお、図1では見易さのため、表示領域DPAでは、走査線(走査信号線)GL(後述する図4参照)および信号線(映像信号線)SL(後述する図4参照)の図示を省略している。また、図2は、断面であるが、見易さのためにハッチングは省略している。
図1に示すように、本実施の形態の表示装置LCD1は、画像を表示する表示部DPを有する。表示装置LCD1は、アレイ基板とも称される基板BSと、対向基板とも称される基板FSと、を有するが、例えばその基板BSのうち、表示部DPが設けられた領域が、表示領域DPAである。また、表示装置LCD1は、平面視において、表示部DPの周囲の部分であって、画像を表示しない額縁部(周辺部)FLを有する。額縁部FLが設けられた領域が、額縁領域FLAである。すなわち、額縁領域FLAは、表示領域DPAの外側の領域(周辺領域)である。
なお、本願明細書において、平面視において、とは、図1に示すように、基板BSの主面としての対向面BSf(図2参照)に垂直な方向から視た場合を意味する。また、基板BSの主面としての対向面BSf内で互いに交差、好適には直交する2つの方向を、X軸方向およびY軸方向とし、基板BSの主面としての対向面BSfに垂直な方向を、Z軸方向(図2参照)とする。
また、表示装置LCD1は、対向配置される一対の基板の間に、表示機能層である液晶層が形成された構造を備える。すなわち、図2に示すように、表示装置LCD1は、表示面側の基板(対向基板)FS、基板FSの反対側に位置する基板(アレイ基板)BS、および、基板FSと基板BSとの間に配置される液晶層LCL(図3参照)を有する。
また、図1に示す基板BSは、平面視において、X軸方向に沿って延びる辺BSs1、辺BSs1に平行してX軸方向に沿って延びる辺BSs2、X軸方向に対して交差、好適には直交するY軸方向に沿って延びる辺BSs3、および、辺BSs3に平行してY軸方向に沿って延びる辺BSs4を有する。図1に示す基板BSが有する辺BSs2、辺BSs3、および辺BSs4のそれぞれから表示部DPまでの距離は、同程度であって、辺BSs1から表示部DPまでの距離よりも短い。
以下、本願明細書において、基板BSの周縁部と記載した場合には、基板BSの外縁を構成する辺BSs1、辺BSs2、辺BSs3、および、辺BSs4のうちのいずれかを意味する。また、単に周縁部と記載した場合には、基板BSの周縁部を意味する。
表示部DPは、複数の表示素子としての画素Pix(後述する図4参照)を有する。すなわち、複数の画素Pixは、基板BSの表示領域DPA上に設けられている。複数の画素Pixは、X軸方向およびY軸方向にマトリクス状に配列されている。本実施の形態では、複数の画素Pixの各々は、基板BSの対向面BSf側の表示領域DPAに形成された薄膜トランジスタ(Thin-Film Transistor:TFT)を有する。
表示装置LCD1は、後述する図4を用いて説明するように、複数の走査線GLと、複数の信号線SLと、を有する。後述する図4を用いて説明するように、複数の走査線GLの各々は、X軸方向に配列された複数の画素Pixと電気的に接続され、複数の信号線SLの各々は、Y軸方向に配列された複数の画素Pixと電気的に接続されている。
また、表示装置LCD1は、駆動回路CCを有する。駆動回路CCは、走査線駆動回路CGと、映像線駆動回路CSと、を含む。走査線駆動回路CGは、複数の走査線GL(後述する図4参照)を介して、複数の画素Pix(後述する図4参照)と電気的に接続され、映像線駆動回路CSは、複数の信号線SLを介して、複数の画素Pix(後述する図4参照)と電気的に接続されている。
図1に示す例では、額縁領域FLAは、額縁領域FLA1、FLA2、FLA3およびFLA4を含む。額縁領域FLA1は、平面視において、表示領域DPAに対して、Y軸方向における一方の側(図1中下側)に配置された領域であり、半導体チップCHPが配置される領域である。額縁領域FLA2は、表示領域DPAを挟んで額縁領域FLA1と反対側(図1中上側)に配置された領域である。額縁領域FLA3は、平面視において、表示領域DPAに対して、X軸方向における一方の側(図1中左側)に配置された領域であり、額縁領域FLA4は、表示領域DPAを挟んで額縁領域FLA3と反対側に配置された領域である。
図1に示す例では、基板BSには、半導体チップCHPが設けられている。半導体チップCHPは、平面視において、額縁領域FLA1内に配置されている。半導体チップCHP内には、映像線駆動回路CSが設けられている。したがって、映像線駆動回路CSは、基板BSの対向面BSf側の領域であって、Y軸方向において、表示領域DPAに対して一方の側に配置された領域である額縁領域FLA1に設けられている。
なお、半導体チップCHPが配置された額縁領域FLA1を下額縁領域と称し、表示領域DPAを挟んで、額縁領域FLA1と反対側に配置された額縁領域FLA2を、上額縁領域と称することがある。このとき、表示領域DPAに対して額縁領域FLA1が配置された方向(Y軸方向)と交差する方向(X軸方向)における両側に配置された額縁領域FLA3およびFLA4を、それぞれ左額縁領域および右額縁領域と称することがある。
また、半導体チップCHPは、いわゆるCOG(Chip On Glass)技術を用いて額縁領域FLA1に設けられてもよく、あるいは、基板BSの外部に設けられ、FPC(Flexible Printed Circuits)を介して基板BSと接続されてもよい。額縁領域FLA1には、基板BSと外部とを接続する端子部が設けられる。
なお、後述する図5〜図9を用いて説明するように、表示装置LCD1は、平面視において、額縁領域FLA内に配置されたシールADHを有する。シールADHは、表示部DPの周囲を連続的に囲むように形成され、図2に示す基板FSと基板BSとは、シールADHに設けられるシール材により接着固定される。このように、表示部DPの周囲にシールADHを設けることで、表示機能層である液晶層LCL(図3参照)を封止することができる。
また、図2に示すように、表示装置LCD1の基板BSの背面BSb側には、光源や拡散板等の光学素子からなるバックライトLSと、バックライトLSから発生した光を偏光する偏光板PL2が設けられている。偏光板PL2は、基板BSに固定されている。一方、基板FSの背面FSf側には、偏光板PL1が設けられている。偏光板PL1は、基板FSに固定されている。
なお、図2では、表示装置の基本的な構成部品を例示的に示しているが、変形例としては図2に示す構成部品に加えて、タッチパネルや保護層等の他の部品を追加することができる。
また、図3に示すように、表示装置LCD1は、基板FSと基板BSとの間に配置される複数の画素電極PEおよび共通電極CEを有する。本実施の形態の表示装置LCD1は、上記したように横電界モードの表示装置なので、複数の画素電極PEおよび共通電極CEは、それぞれ基板BSに形成されている。
基板BSは、ガラス基板などからなり、主として画像表示用の回路が形成されている。基板BSは、基板FS側に位置する対向面BSf(図2参照)、および、その反対側に位置する背面BSb(図2参照)を有する。基板BSの対向面BSf側には、TFTなどの駆動素子と、複数の画素電極PEがマトリクス状に形成されている。また、基板BSは、表示領域DPAと、表示領域DPAの外側に設けられた額縁領域FLAと、を含む。基板BSはガラス基板以外、ポリイミド等の樹脂で形成されたものであってもよい。
図3に示す例は、横電界モード(詳しくはFFSモード)の表示装置LCD1を示しているので、共通電極CEは、基板BSの対向面BSf(図2参照)側に形成され、絶縁層OC2に覆われる。また、複数の画素電極PEは、絶縁層OC2を介して共通電極CEと対向するように絶縁層OC2の基板FS側に形成される。
また、図3に示す基板FSは、ガラス基板などからなり、カラー表示の画像を形成するカラーフィルタCFが形成されている。基板FSは、表示面側である背面FSf(図2参照)、および、背面FSfの反対側に位置する対向面FSb(図2参照)を有する。基板FSは、基板BSの対向面BSfと、基板FSの対向面FSbとが対向した状態で、基板BSと対向配置されている。なお、基板(アレイ基板)BSをTFT基板と呼び、カラーフィルタCFが形成された基板(対向基板)FSをカラーフィルタ基板と呼ぶこともできる。また、図3に対する変形例としては、カラーフィルタCFをTFT基板としての基板BSに設ける構成を採用してもよい。
対向基板としての基板FSのカラーフィルタCFは、R(赤)、G(緑)およびB(青)の3色のカラーフィルタ画素CFr、CFgおよびCFbが周期的に配列されたものである。
また、各色のカラーフィルタ画素CFr、CFgおよびCFbのそれぞれの境界には、遮光膜BMが形成されている。遮光膜BMはブラックマトリクスと呼ばれ、例えば黒色の樹脂や、低反射性の金属など、遮光性を有する膜からなる。遮光膜BMは、平面視において、格子状に形成される。
遮光膜BMは表示領域DPAおよび額縁領域FLAのいずれにも形成される。一般的に、遮光膜BMに形成され、カラーフィルタCFが埋め込まれた開口部のうち、周縁部側に形成された開口部の端部が、表示領域DPAと額縁領域FLAの境界として規定される。なお、表示領域DPAの周縁部側にダミーのカラーフィルタを設けてもよい。尚、額縁領域FLAに形成される遮光膜は、表示領域DPAから基板FSの端部に亘って設けられている。
また、基板FSは、カラーフィルタCFを覆う樹脂層OC1を有する。各色のカラーフィルタ画素CFr、CFgおよびCFbの境界には、遮光膜BMが形成されているので、カラーフィルタCFの液晶層側は、凹凸面になっている。樹脂層OC1は、カラーフィルタCFの液晶層側の凹凸を平坦化する平坦化膜として機能する。あるいは、樹脂層OC1は、カラーフィルタCFから液晶層に対して不純物が拡散することを防止する保護膜として機能する。樹脂層OC1は、熱硬化性樹脂、または、光硬化性樹脂など、エネルギーを付与することで硬化する成分を含有させることにより、樹脂材料を硬化させることができる。樹脂層OC1は、額縁領域FLAにも設けられている。
また、基板FSと基板BSとの間には、画素電極PEと共通電極CEとの間に表示用電圧が印加されることにより形成される電界により表示画像を形成する液晶層LCLが設けられる。
また、基板FSは、液晶層LCLと接する界面である対向面FSbに、樹脂層OC1を覆う配向膜AF1を有する。また、基板BSは、液晶層LCLと接する界面である対向面BSfに、絶縁層OC2および複数の画素電極PEを覆う配向膜AF2を有する。この配向膜AF1およびAF2は、液晶層LCLに含まれる液晶の初期配向を揃えるために形成された樹脂膜であって、例えばポリイミド樹脂からなる。この配向膜AF1およびAF2は額縁領域FLAにも設けられており、基板FSの端部にまで設けられていても良い。
図3に示す表示装置LCD1では、バックライトLS(図2参照)から出射された光は、偏光板PL2(図2参照)によってフィルタリングされ、液晶層LCLに入射する。液晶層LCLに入射した光は、液晶によって偏光状態を変化させて基板FSから出射される。
このとき、画素電極PEと共通電極CEに電圧を印加して形成される電界により、液晶の配向が制御され、液晶層LCLは光学的なシャッターとして機能する。
なお、液晶層LCLの厚さは、基板FSや基板BSの厚さと比較して極端に薄い。図3に示す例では、液晶層LCLの厚さは、例えば3〜4μm程度である。
<表示装置の等価回路>
次に、図4を参照し、表示装置の等価回路について説明する。図4は、実施の形態の表示装置の等価回路を示す図である。
図4に示すように、表示装置LCD1の表示部DPは、複数の画素Pixを有する。複数の画素Pixは、平面視において、表示領域DPA内で、基板BSに設けられ、X軸方向およびY軸方向にマトリクス状に配列されている。
また、表示装置LCD1は、複数の走査線GLと、複数の信号線SLと、を有する。複数の走査線GLは、表示領域DPAで、基板BS(例えば図2参照)に設けられ、X軸方向にそれぞれ延在し、かつ、Y軸方向に配列されている。複数の信号線SLは、表示領域DPAで、基板BSに設けられ、Y軸方向にそれぞれ延在し、かつ、X軸方向に配列されている。複数の信号線SLと、複数の走査線GLとは、互いに交差する。
複数の画素Pixの各々は、R(赤)、G(緑)およびB(青)の各々の色を表示する副画素SPixを含む。副画素SPixの各々は、隣り合う2本の走査線GLと、隣り合う2本の信号線SLとに囲まれた領域に設けられているが、他の構成であってもよい。
各副画素SPixは、薄膜トランジスタからなるトランジスタTrdと、トランジスタTrdのドレイン電極に接続される画素電極PEと、画素電極PEと液晶層を挟んで対向する共通電極CEと、を有する。なお、図4では、液晶層を等価的に示す液晶容量と、共通電極CEと画素電極PEとの間に形成される保持容量とを、容量Clcとして示す。なお、薄膜トランジスタのドレイン電極とソース電極とは電位の極性によって適宜入れ替わる。
表示装置LCD1の駆動回路CC(図1参照)は、映像線駆動回路CSと、走査線駆動回路CGと、制御回路CTLと、共通電極駆動回路CMと、を有する。
Y軸方向に配列された複数の副画素SPixのトランジスタTrdの各々のソース電極は、信号線SLに接続されている。また、複数の信号線SLの各々は、映像線駆動回路CSに接続される。
また、X軸方向に配列された複数の副画素SPixのトランジスタTrdの各々のゲート電極は、走査線GLに接続されている。また、各走査線GLは、走査線駆動回路CGに接続されている。
制御回路CTLは、表示装置の外部から送信されてくる表示データ、クロック信号およびディスプレイタイミング信号等の表示制御信号に基づいて、映像線駆動回路CS、走査線駆動回路CGおよび共通電極駆動回路CMを、制御する。
制御回路CTLは、表示装置の副画素の配列や、表示方法、RGBスイッチ(図示は省略)の有無、あるいはタッチパネル(図示は省略)の有無等によって、外部から供給される表示データや表示制御信号を適宜変換して映像線駆動回路CS、走査線駆動回路CGおよび共通電極駆動回路CMに出力する。
<表示装置の額縁領域の構成>
次に、表示装置の額縁領域の構成について説明する。なお、以下では、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が大きい場合の表示装置について説明する。
図5は、実施の形態の表示装置の平面図である。図6および図7は、実施の形態の表示装置の額縁領域の平面図である。図6および図7は、図5に示す表示装置のうち、二点鎖線で囲まれた領域RG1を拡大して示す。また、図6は、基板BSおよび基板BSの対向面BSfに形成されたアライメントマークAM11などを示し、図7は、基板FSおよび基板FSの対向面FSbに形成されたアライメントマークAM12などを示す。
図8および図9は、実施の形態の表示装置の額縁領域の断面図である。図8は、図6および図7のC−C線に沿った断面図であり、図9は、図6および図7のD−D線に沿った断面図である。なお、図6および図7では、理解を簡単にするため、図8および図9に示した部分のうち、説明に必要な部分以外の部分の図示を省略している。また、図8および図9では、液晶層LCL(図3参照)の図示を省略する。
前述した図1を用いて説明したように、また、図5に示すように、基板BSは、辺BSs1、辺BSs2、辺BSs3および辺BSs4を有する。また、辺BSs1、辺BSs2、辺BSs3および辺BSs4の各々にそれぞれ対応した基板BSの4つの側面を、それぞれ側面SSB1、側面SSB2、側面SSB3および側面SSB4と称する。また、辺BSs2、辺BSs3および辺BSs4の各々にそれぞれ対応した基板FSの側面を、それぞれ側面SSF2、側面SSF3および側面SSF4と称する。なお、表示領域PDAに対して辺BSs1側の基板FSの側面を、側面SSF1と称する。
額縁領域FLA2は、額縁領域FLA21およびFLA22を有する。額縁領域FLA21は、額縁領域FLA2のうち表示領域DPA側に位置する部分であり、額縁領域FLA22は、額縁領域FLA2のうち表示領域DPA側と反対側に位置する部分である。
図6〜図8に示すように、額縁領域FLA2において、基板BSの対向面BSfには、配線WGと、絶縁膜IF1と、配線WSと、層間樹脂膜IL1と、配向膜AF2と、が設けられている。
額縁領域FLA2において、基板BSの対向面BSf上には、配線WGが形成されている。配線WGは、例えば走査線GLと同層に形成されており、例えばクロム(Cr)またはモリブデン(Mo)等の金属またはそれらの合金からなる。すなわち、好適には、配線WGは、金属膜または合金膜などの遮光性を有する導電膜からなる。
額縁領域FLA2において、基板BSの対向面BSf上には、配線WGを覆うように、絶縁膜IF1が設けられている。絶縁膜IF1は、例えば窒化シリコンまたは酸化シリコン等からなる透明な絶縁膜である。
なお、基板BSの対向面BSfと、配線WGおよび絶縁膜IF1と、の間に、絶縁膜IF0が形成されていてもよい。
額縁領域FLA2において、絶縁膜IF1上には、配線WSが形成されている。配線WSは、例えば信号線SLと同層に形成されており、例えばアルミニウム(Al)をモリブデン(Mo)等で挟んだ多層構造の金属膜からなる。すなわち、好適には、配線WSは、金属膜などの遮光性を有する導電膜からなる。
額縁領域FLA2において、絶縁膜IF1上には、配線WSを覆うように、保護膜または平坦化膜としての層間樹脂膜IL1が形成されている。層間樹脂膜IL1は、例えばアクリル系の感光性樹脂からなる。
額縁領域FLA2において、層間樹脂膜IL1には、層間樹脂膜IL1を貫通して絶縁膜IF1に達する開口部OP1が形成されている。開口部OP1の底部、開口部OP1の内壁、および、層間樹脂膜IL1上には、絶縁膜IF2が設けられている。絶縁膜IF2は、例えば窒化シリコンまたは酸化シリコン等からなる透明な絶縁膜である。
開口部OP1の底部に形成された部分の絶縁膜IF2には、絶縁膜IF2を貫通して絶縁膜IF1に達する開口部OP2が形成されている。開口部OP2の底部、開口部OP1の内壁に形成された部分の絶縁膜IF2上、および、層間樹脂膜IL1上に形成された部分の絶縁膜IF2上には、配向膜AF2が形成されている。前述したように、配向膜AF2は、例えばポリイミド樹脂からなる。
なお、一部の開口部OP2の底部、開口部OP1の内壁に形成された部分の絶縁膜IF2上、および、層間樹脂膜IL1上に形成された部分の絶縁膜IF2上には、シールド電極SHEが形成されていてもよい。シールド電極SHEは、例えばITO(Indium Tin Oxide)またはIZO(Indium Zinc Oxide)等の透明導電性材料からなる。このような場合、配向膜AF2は、開口部OP2の底部、開口部OP1の内壁に形成された部分の絶縁膜IF2上、および、層間樹脂膜IL1上に形成された部分の絶縁膜IF2上に、シールド電極SHEを覆うように、形成されることになる。
一方、図6〜図8に示すように、額縁領域FLA2において、基板FSの対向面FSbには、遮光膜BMと、カラーフィルタCFと、樹脂層OC1と、スペーサSP1およびSP2と、配向膜AF1と、が設けられている。
額縁領域FLA2において、基板FSの対向面FSbには、遮光膜BMが形成されている。前述したように、遮光膜BMは、例えば黒色の樹脂や、低反射性の金属からなる。
額縁領域FLA2において、遮光膜BMと基板BSとの間には、カラーフィルタCFが形成されている。カラーフィルタCFとして、例えばB(青)のカラーフィルタ画素CFbが形成されている。
額縁領域FLA2において、遮光膜BMとカラーフィルタCFとを覆うように、樹脂層OC1が形成されている。前述したように、樹脂層OC1は、熱硬化性樹脂、または、光硬化性樹脂を含有する。尚、カラーフィルタCFを遮光膜と基板FSとの間に設けるものであってもよい。
額縁領域FLA2において、樹脂層OC1と基板BSとの間には、スペーサSP1およびSP2が形成されている。スペーサSP1およびSP2は、基板FSの対向面FSbから基板BS側に突出している。スペーサSP1およびSP2は、基板BSと基板FSとの間の間隔を保持する。スペーサSP1およびSP2は、例えばアクリル系の感光性樹脂からなる。スペーサSP1およびSP2と基板FSとの間には、カラーフィルタ画素CFbが設けられており、スペーサSP1およびSP2の高さをコントロールしている。また、スペーサSP1は、円錐形状のスペーサが点在したものであってもよい。あるいは、スペーサSP2は、X軸方向に点在する複数の島状のスペーサであってもよい。
スペーサSP1の基板FSからの高さは、スペーサSP2の基板FSからの高さよりも高い。
なお、スペーサSP1およびSP2は、基板BSの対向面BSfに設けられてもよい。このとき、スペーサSP1およびSP2は、基板BSの対向面BSfから基板FS側に突出することになる。
額縁領域FLA2において、樹脂層OC1と基板BSとの間には、配向膜AF1が形成されている。前述したように、配向膜AF1は、例えばポリイミド樹脂からなる。なお、図8では図示は省略するが、配向膜AF1は、スペーサSP1およびSP2の各々の側面および上面に形成されていてもよい。
図8に示すように、配向膜AF1と配向膜AF2との間には、シールADHが設けられている。すなわち、シールADHは、基板BSと基板FSとの間に設けられ、基板BSと基板FSとを接着する接着部である。また、シールADHは、図5に示すように、平面視において、額縁領域FLA1内に設けられた部分PT1と、額縁領域FLA2内に設けられた部分PT2と、平面視において、額縁領域FLA3内に設けられた部分PT3と、平面視において、額縁領域FLA4内に設けられた部分PT4と、を含む。
<額縁領域の幅を変更する場合における課題>
表示装置では、X軸方向における額縁領域FLA3およびFLA4の各々の幅を変更せずに、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅だけを変更して、表示装置を設計する場合がある。このような額縁領域FLA2の幅だけの変更は、表示装置の強度を優先するか、或いは、額縁領域の低減を優先するか、といった顧客からの要求に基づく。
従来、額縁領域FLA2の幅の変更の要求があり、額縁領域FLA2の幅以外の形状および配置を同様にすることが可能であっても、Y軸方向における額縁領域FLA2が異なる2種類の表示装置の各々を製造するために、各表示装置の製造工程でフォトリソグラフィ用としてそれぞれ用いられる複数のフォトマスクからなる組を、別々に用意する必要があった。そのため、表示装置の製造に要する費用が増加し、表示装置の製造に要する期間が長くなっていた。
<額縁領域におけるシールおよびスペーサの配置>
本実施の形態の表示装置では、スペーサSP2としてのスペーサSP21が、額縁領域FLA2内に配置されている。シールADHの部分PT2は、部分PT21と、部分PT22と、を含む。シールADHの部分PT21は、スペーサSP21に対して、Y軸方向において、表示領域DPA側に配置され、シールADHの部分PT22は、スペーサSP21を挟んで部分PT21と反対側に配置されている。基板BSの対向面BSfの、X軸方向における一方の側の端部BF3、または、基板FSの対向面FSbの、X軸方向における一方の側の端部FB3は、シールADHの部分PT3により覆われている。
言い換えれば、額縁領域FLA2の第1部分としての額縁領域FLA21は、スペーサSP21に対して表示領域PDA側に配置され、額縁領域FLA2の第2部分としての額縁領域FLA22は、スペーサSP21を挟んで額縁領域FLA21と反対側に配置されている。シールADHは、平面視において、額縁領域FLA21およびFLA22に設けられている。スペーサSP21は、額縁領域FLA21と額縁領域FLA22との境界において、基板FSの、額縁領域FLA3側の第1端部から、基板FSの、額縁領域FLA4側の第2端部に亘って形成されている。そして、スペーサSP21の額縁領域FLA21側は、シールADHの部分PT21と接し、スペーサSP21の額縁領域FLA22側は、シールADHの部分PT22と接している。
このような表示装置を製造する場合には、後述する図10〜図13を用いて説明するように、基板集合体(マザー基板)SGを分断する際に、X軸方向に延在するスクライブラインとして、スクライブラインLN11およびスクライブラインLN12からなる2種類のスクライブラインのいずれかを用いることができる。スクライブラインLN11は、平面視においてスペーサSP21を通る。スクライブラインLN12は、スクライブラインLN11を挟んで表示領域DPAと反対側に設けられており、平面視においてシールADHが設けられていない領域RL1を通る。
スクライブラインとして、スクライブラインLN11を用いる場合には、後述する図10〜図13を用いて説明するように、例えばスクライブ加工の際に基板集合体SGに加えられる力が、スクライブラインLN11を中心として対称に分布することにより、容易にスクライブ加工を行うことができる。一方、スクライブラインとして、スクライブラインLN12を用いた場合でも、後述する図10〜図13を用いて説明するように、容易にスクライブ加工を行うことができる。したがって、後述する図10〜図13を用いて説明するように、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅を、2種類の幅の間で容易に変更することができる。
一方、表示領域DPAに対してX軸方向における両側に設けられ、Y軸方向に延在するスクライブラインLN2としては、1種類のスクライブラインを用いることができる。このような場合、基板BSの、X軸方向における両側面SSB3およびSSB4(図5参照)の位置は固定され、基板FSの、X軸方向における両側面SSF3およびSSF4(図5参照)の位置は固定され、X軸方向における額縁領域FLA3およびFLA4(図5参照)の幅も固定される。
したがって、本実施の形態の表示装置では、X軸方向における額縁領域FLA3およびFLA4のX軸方向の幅を変更せずに、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅だけを変更することができる。このような額縁領域FLA2の幅だけの変更は、額縁領域FLA2の狭幅化と、表示装置の強度の確保との間のバランスを調整する観点から、重要な構成となってきている。
したがって、本実施の形態の表示装置では、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が異なる2種類の表示装置の各々を製造するために、各表示装置の製造工程でフォトリソグラフィ用としてそれぞれ用いられる複数のフォトマスクからなる組を、別々に用意する必要がない。そのため、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が異なる2種類の表示装置の製造に要する費用を低減することができる。あるいは、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が異なる2種類の表示装置の製造に要する期間を短縮することができる。したがって、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が異なる2種類の表示装置を容易に製造することができる。
すなわち、本実施の形態によれば、額縁領域FLA2に切断箇所を2箇所設け、切断位置を変えることで額縁領域FLA2の幅を選択することが可能である。
スペーサSP21は、X軸方向に延在する。これにより、後述する図10〜図13を用いて説明するように、さらに容易にスクライブ加工を行うことができる。
基板BSの対向面BSfの、Y軸方向における端部BF2、および、基板FSの対向面FSbの、Y軸方向における端部FB2は、シールADHから露出している。言い換えれば、額縁領域FLA22における、基板BSの端部BF2と基板FSの端部FB2とは、シールADHから露出している。すなわち、シールADHは、平面視において、基板BSの、Y軸方向における側面SSB2(図8参照)、および、基板FSの、Y軸方向における側面SSF2(図8参照)から離れている。このような場合、後述する図10〜図13を用いて説明するように、スクライブラインLN12において、容易にスクライブ加工を行うことができる。ただし、スクライブラインLN12を内包する領域RL1でも、シールADHが設けられていてもよい。
好適には、本実施の形態の表示装置は、位置合わせのためのアライメントマークAM1を有する。アライメントマークAM1は、基板BSまたは基板FSに設けられ、Y軸方向において、スペーサSP21と同じ位置に配置されている。言い換えれば、アライメントマークAM1は、Y軸方向において、スペーサSP21と重畳している。そして、アライメントマークAM1は、額縁領域FLA21と額縁領域FLA22との境界において、額縁領域FLA21に設けられている。図6および図7に示すように、基板BSに形成されたアライメントマークAM1を、アライメントマークAM11と称し、基板FSに形成されたアライメントマークAM1を、アライメントマークAM12と称する。
平面視において、アライメントマークAM11およびAM12を通るスクライブラインLN11を用いてスクライブ加工を行うことにより、スクライブ加工の位置精度を向上させることができる。
好適には、本実施の形態の表示装置は、位置合わせのためのアライメントマークAM2を有する。アライメントマークAM2は、基板BSの対向面BSfの、Y軸方向における端部BF2、または、基板FSの対向面FSbの、Y軸方向における端部FB2に設けられている。言い換えれば、アライメントマークAM2は、額縁領域FLA22における、端部BF2または端部FB2に設けられている。図6および図7に示すように、基板BSに形成されたアライメントマークAM2を、アライメントマークAM21と称し、基板FSに形成されたアライメントマークAM2を、アライメントマークAM22と称する。
平面視において、アライメントマークAM21およびAM22を通るスクライブラインLN21を用いてスクライブ加工を行うことにより、スクライブ加工の位置精度を向上させることができる。
好適には、アライメントマークAM11およびAM21は、複数の走査線GLまたは複数の信号線SLと同層に形成されている。走査線GLおよび信号線SLの各々は、前述したように、遮光性を有する導電膜からなる。そのため、アライメントマークAM11およびAM21が、複数の走査線GLまたは複数の信号線SLと同層に形成されることにより、アライメントマークAM11およびAM21の視認性を高めることができ、アライメントマークAM11およびAM21による位置合わせの精度を高めることができる。
好適には、アライメントマークAM12およびAM22は、遮光膜BMと同層に形成されている。遮光膜BMは、前述したように、遮光性を有する膜からなる。そのため、アライメントマークAM12およびAM22が、遮光膜BMと同層に形成されることにより、アライメントマークAM12およびAM22の視認性を高めることができ、アライメントマークAM12およびAM22による位置合わせの精度を高めることができる。
好適には、アライメントマークAM2は、アライメントマークAM1の形状と異なる形状を有する。これにより、アライメントマークAM1とアライメントマークAM2とを誤認することを防止し、スクライブラインLN11およびスクライブラインLN12のうち、所望のスクライブラインを確実に選択してスクライブ加工を行うことができる。
好適には、例えば配線WSなどの回路配線は、額縁領域FLA21に、配置されている。額縁領域FLA21は、前述したように、額縁領域FLA2のうち、表示領域DPA側に位置する部分であり、スペーサSP21の中心に対して表示領域DPA側に位置する部分である。一方、額縁領域FLA22には、後述するダミーパターンGDおよびSDは配置されていてもよいが、例えば配線WSなどの回路配線は配置されていない。額縁領域FLA22は、前述したように、額縁領域FLA2のうち、表示領域DPA側と反対側に位置する部分であり、スペーサSP21の中心に対して表示領域DPA側と反対側に配置された部分である。
このような配置によれば、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅だけを変更した場合でも、例えば配線WSなどの回路配線の配置を変更する必要がないので、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅だけが変更された2種類の表示装置を容易に設計することができる。また、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が大きい表示装置では、基板BSと基板FSとの間がシールADHに含まれる2つの部分PT1およびPT2により2重に封止されることにより、表示装置の強度をさらに向上させることができる。
なお、額縁領域FLA2のY軸方向における幅WD1を、例えば1mm程度とすることができる。また、額縁領域FLA2のうち、スペーサSP1の中心に対して表示領域DPA側に配置された部分(額縁領域FLA21)のY軸方向における幅WD11を、例えば0.5mm程度とすることができる。
<表示装置の製造方法>
次に、表示装置の製造方法について説明する。
図10〜図12は、実施の形態の表示装置の製造工程中の平面図である。図11および図12は、図10に示す基板集合体SGのうち、二点鎖線で囲まれた領域RG2を拡大して示す。また、図11は、マザー基板BSGおよびマザー基板BSGの対向面BSfに形成されたアライメントマークAM11などを示し、図12は、マザー基板FSGおよびマザー基板FSGの対向面FSbに形成されたアライメントマークAM12などを示す。
図13は、実施の形態の表示装置の製造工程中の断面図である。図13は、図11および図12のC−C線に沿った断面図である。なお、図11および図12では、理解を簡単にするため、図13に示した部分のうち、説明に必要な部分以外の部分の図示を省略している。また、図13では、液晶層LCL(図3参照)の図示を省略する。
まず、図13に示すように、マザー基板BSGを用意する。マザー基板BSGは、主面としての対向面BSfの領域として、基板形成領域としての表示パネル形成領域AR1を複数個有する。図10に示すように、複数の表示パネル形成領域AR1は、例えばX軸方向およびY軸方向にマトリクス状に配列されている。後述するシールADHを形成する工程を行った後、マザー基板BSGを複数の表示パネル形成領域AR1の各々に分断することにより、基板BSが複数個形成される。つまり、マザー基板BSGが複数の表示パネル形成領域AR1の各々に分割されて個片化された基板が、基板BSである。
図10に示すように、表示パネル形成領域AR1の対向面BSfは、表示領域DPAと、額縁領域FLAとしての額縁領域FLA1、FLA2、FLA3およびFLA4を含む。額縁領域FLA1は、平面視において、表示領域DPAに対してY軸方向における一方の側に配置されている。この表示パネル形成領域AR1の額縁領域FLA1には、半導体チップCHPが設けられる。額縁領域FLA2は、表示領域DPAを挟んで額縁領域FLA1と反対側に配置されている。額縁領域FLA3は、平面視において、表示領域DPAに対して、Y軸方向と交差、好適には直交するX軸方向における一方の側に配置されている。額縁領域FLA4は、表示領域DPAを挟んで額縁領域FLA3と反対側に配置されている。
次に、複数の表示パネル形成領域AR1の各々に、複数の画素を設ける。
この際、額縁領域FLA2では、図13に示すように、表示パネル形成領域AR1の対向面BSf上に、配線WGが形成され、表示パネル形成領域AR1の対向面BSf上には、配線WGを覆うように、絶縁膜IF1が形成される。なお、マザー基板BSGの対向面BSfと、配線WGおよび絶縁膜IF1と、の間に、絶縁膜IF0が形成されてもよい。
また、額縁領域FLA2において、絶縁膜IF1上には、配線WSが形成され、絶縁膜IF1上には、配線WSを覆うように、保護膜または平坦化膜としての層間樹脂膜IL1が形成される。層間樹脂膜IL1には、層間樹脂膜IL1を貫通して絶縁膜IF1に達する開口部OP1が形成され、開口部OP1の底部、開口部OP1の内壁、および、層間樹脂膜IL1上には、絶縁膜IF2が設けられる。また、開口部OP1の底部に形成された部分の絶縁膜IF2には、絶縁膜IF2を貫通して絶縁膜IF1に達する開口部OP2が形成される。開口部OP2の底部、開口部OP1の内壁に形成された部分の絶縁膜IF2上、および、層間樹脂膜IL1上に形成された部分の絶縁膜IF2上には、配向膜AF2が形成される。
なお、配線WGを形成する際に、表示パネル形成領域AR1に、平面視において、X軸方向にそれぞれ延在し、かつ、Y軸方向に配列された複数の走査線GL(図4参照)を形成する。また、配線WSを形成する際に、表示パネル形成領域AR1に、平面視において、Y軸方向にそれぞれ延在し、かつ、X軸方向に配列された複数の信号線SL(図4参照)を形成する。
また、図13に示すように、マザー基板FSGを用意する。マザー基板FSGは、主面としての対向面FSbの領域として、基板形成領域としての表示パネル形成領域AR2を複数個有する。図10に示すように、表示パネル形成領域AR2は、例えばX軸方向およびY軸方向にマトリクス状に配列されている。後述するシールADHを形成する工程を行った後、マザー基板FSGを複数の表示パネル形成領域AR2の各々に分断することにより、基板FSが複数個形成される。つまり、マザー基板FSGが複数の表示パネル形成領域AR2の各々に分割されて個片化された基板が、基板FSである。
次に、表示パネル形成領域AR1の対向面BSfから突出したか、または、表示パネル形成領域AR2の対向面FSbから突出したスペーサSP1およびSP2を設ける。スペーサSP1およびSP2は、マザー基板BSGおよびFSGのいずれに形成されてもよいが、以下では、スペーサSP1およびSP2が、マザー基板FSGに形成される例について説明する。
図13に示すように、額縁領域FLA2において、表示パネル形成領域AR2の対向面FSbに、遮光膜BMが形成され、遮光膜BM上には、カラーフィルタCFとして例えばB(青)のカラーフィルタ画素CFbが形成され、遮光膜BMの基板BS側には、カラーフィルタCFを覆うように、樹脂層OC1が形成される。
樹脂層OC1の基板BS側には、スペーサSP1およびSP2が形成される。なお、前述したように、スペーサSP1の厚さ寸法は、スペーサSP2の厚さ寸法よりも厚く、スペーサSP1の下面は、配向膜AF2と接触するが、スペーサSP2の下面は、配向膜AF2と接触しない。また、スペーサSP2としてのスペーサSP21が、設けられる。スペーサSP21は、マザー基板BSGとマザー基板FSGとを対向配置する際に、スペーサSP21が平面視において額縁領域FLA2内に配置されるように、設けられる。
なお、スペーサSP21は、マザー基板BSGに設けられてもよい。このとき、スペーサSP21は、額縁領域FLA2内に配置される。
樹脂層OC1上には、配向膜AF1が形成される。前述したように、配向膜AF1は、例えばポリイミド樹脂からなる。
次に、表示パネル形成領域AR1の対向面BSf、または、表示パネル形成領域AR2の対向面FSbに、樹脂膜としてのシール材ADH1を形成する。シール材ADH1を形成する材料として、例えば紫外線硬化型の樹脂を、印刷や描画により塗布する。シール材ADH1は、マザー基板BSGおよびFSGのいずれに形成されてもよいが、ここでは、シール材ADH1が、マザー基板FSGに形成される例について説明する。
次に、図13に示すように、マザー基板BSGとマザー基板FSGとを対向配置する。マザー基板BSGの対向面BSfと、マザー基板FSGの対向面FSbとが対向した状態で、マザー基板BSGとマザー基板FSGとを対向配置する。この際、表示パネル形成領域AR2に形成されたスペーサSP1が、表示パネル形成領域AR1に形成された配向膜AF2と接触することにより、表示パネル形成領域AR1と表示パネル形成領域AR2との間の間隔を保持することができる。
次に、シール材ADH1を硬化させることにより、硬化したシール材ADH1からなる、接着部としてのシールADHを形成し、シールADHによりマザー基板BSGとマザー基板FSGとを接着する。例えばシール材ADH1に紫外線を照射してシール材を硬化させ、さらに熱硬化処理を施し、シール材を本硬化させる。これにより、マザー基板BSGとマザー基板FSGとがシールADHにより接着され(貼り合わされ)、マザー基板BSGと、シールADHによりマザー基板BSGと接着されたマザー基板FSGと、を有する基板(表示パネル)集合体SGが形成される。この時点で各表示パネル内に液晶が封止されていても良いが、この後に液晶を注入するものであってもよい。
この工程では、平面視において、額縁領域FLA1内に設けられた部分PT1と、平面視において、額縁領域FLA2内に設けられた部分PT2と、平面視において、額縁領域FLA3内に設けられた部分PT3と、額縁領域FLA4内に設けられた部分PT4と、を含むシールADHを形成する。シールADHの部分PT2は、部分PT21と、部分PT22と、を含む。また、部分PT21を、スペーサSP21に対して一方の側、すなわち半導体チップCHPが形成される側に配置し、部分PT22を、スペーサSP21を挟んで部分PT21と反対側に配置する。なお、シールADHのうち、表示パネル形成領域AR1およびAR2の外部に設けられた部分を、部分PT5と称する。
次に、基板集合体SGを分断し、マザー基板BSGおよびFSGの各々を分断することにより、表示パネル形成領域AR1からなる基板BSと、表示パネル形成領域AR2からなり、シールADHにより基板BSと接着された基板FSと、を形成する。
マザー基板BSGおよびFSGの各々を分断して基板BSおよびFSを形成する際に、X軸方向に延在するスクライブラインとして、スクライブラインLN11およびスクライブラインLN12からなる2種類のスクライブラインのいずれかを用いることができる。このとき、基板形成領域としての表示パネル形成領域AR1またはAR2を、第1の大きさでスクライブするか、或いは、第1の大きさよりも大きい第2の大きさでスクライブするか、を決定することになる。スクライブラインLN11は、平面視においてスペーサSP21を通る。スクライブラインLN12は、スクライブラインLN11を挟んで表示領域DPAと反対側に設けられており、平面視においてシールADHが設けられていない領域RL1を通る。
スクライブラインとして、スクライブラインLN11を用いる場合には、スペーサSP21のうちスクライブラインLN11に対して両側にそれぞれ配置された2つの部分SP22およびSP23が、スクライブラインLN11を中心として対称に配置される。そのため、例えばスクライブ加工の際にマザー基板BSGまたはマザー基板FSGに加えられる力が、スクライブラインLN11を中心として対称に分布することにより、容易にスクライブ加工を行うことができる。
このとき、表示パネル形成領域AR1の一部からなる基板BSと、表示パネル形成領域AR2の一部からなり、シールADHにより基板BSと接着された基板FSと、が形成される。また、基板BSの対向面BSfの、X軸方向における一方の側の端部BF3、または、基板FSの対向面FSbの、X軸方向における一方の側の端部FB3は、シールADHの部分PT3により覆われる。また、基板BSの対向面BSfの、Y軸方向における半導体チップCHP側と反対側の端部BF21、または、基板FSの対向面FSbの、Y軸方向における端部FB21は、スペーサSP21により覆われる。
一方、スクライブラインとして、スクライブラインLN12を用いる場合には、平面視においてスクライブラインLN12近傍に位置する基板BSおよびFSのいずれもシールADHからの力を受けない。そのため、スクライブラインLN12を用いた場合でも、容易にスクライブ加工を行うことができる。
このとき、表示パネル形成領域AR1の全部からなる基板BSと、表示パネル形成領域AR2の全部からなり、シールADHにより基板BSと接着された基板FSと、が形成される(図8参照)。また、基板BSの対向面BSfの、X軸方向における一方の側の端部BF3、または、基板FSの対向面FSbの、X軸方向における一方の側の端部FB3は、シールADHの部分PT3により覆われる。一方、基板BSの対向面BSfの、Y軸方向における端部BF2、および、基板FSの対向面FSbの、Y軸方向における端部FB2は、シールADHから露出する。
すなわち、スクライブラインLN1として、スクライブラインLN11およびLN12のいずれを用いる場合でも、容易にスクライブ加工を行うことができる。したがって、基板BSの、Y軸方向における半導体チップCHP側と反対側の側面SSB2(図10参照)の位置を、2つの位置の間で容易に変更することができるので、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅を、2種類の幅の間で容易に変更することができる。また、基板FSの、Y軸方向における半導体チップCHP側と反対側の側面SSF2(図10参照)の位置を、2つの位置の間で容易に変更することができるので、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅を、2種類の幅の間で容易に変更することができる。
一方、表示領域DPAに対してX軸方向における両側に設けられ、Y軸方向に延在するスクライブラインLN2としては、1種類のスクライブラインを用いることができる。このような場合、基板BSの、X軸方向における両側面SSB3およびSSB4(図10参照)の位置は固定され、基板FSの、X軸方向における両側面SSF3およびSSF4(図10参照)の位置は固定され、X軸方向における額縁領域FLA3およびFLA4(図10参照)の幅も固定される。
したがって、本実施の形態では、X軸方向における額縁領域FLA3およびFLA4の幅を変更せずに、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅だけを変更することができる。このような場合、Y軸方向における額縁領域FLA2の幅が異なる2種類の表示装置の各々を製造するために、各表示装置の製造工程でフォトリソグラフィ用としてそれぞれ用いられる複数のフォトマスクからなる組を、別々に用意する必要がない。
好適には、スペーサ部SP21は、X軸方向に延在する。これにより、X軸方向におけるいずれの位置でも、スクライブラインLN11が平面視においてスペーサSP21と重なるため、X軸方向におけるいずれの位置でも、例えばスクライブ加工の最適な条件が同じになる。また、スペーサSP21が、スクライブラインLN11を挟んで両側に跨って配置されることにより、基板集合体SGの剛性または硬度の分布が、スクライブラインLN11を中心として対称性を有する。したがって、さらに容易にスクライブ加工を行うことができる。スクライブラインLN11のスペーサSP21は、分断された島状のものがX軸方向に点在するものであってもよい。スペーサSP21は対向する基板に接していない構成となっているが、接していてもよい。また、スペーサSP21自体を設けない構成であってもよい。
また、スクライブラインLN12を用いてスクライブ加工が行われる場合、好適には、基板BSの対向面BSfの端部BF2、および、基板FSの対向面FSbの端部FB2は、シールADHから露出する。シールADHが設けられている領域に比べ、シールADHが設けられていない領域の方が、スクライブ加工が容易な場合がある。このような場合には、基板BSの対向面BSfの端部BF2、および、基板FSの対向面FSbの端部FB2が、シールADHから露出していることにより、スクライブラインLN12において、容易にスクライブすることができる。
このとき、さらに好適には、基板集合体SGには、平面視において、スクライブラインLN12を内包する領域RL1で、スクライブラインLN12を挟んで両側に配置された2つのスペーサSP2としてのスペーサSP23が設けられていてもよい。2つのスペーサSP23が、スクライブラインLN12を挟んで両側に配置されることにより、基板集合体の剛性または硬度の分布が、スクライブラインLN12を中心として対称性を有する。したがって、スクライブラインLN12を用いてさらに容易にスクライブすることができる。
ただし、スクライブラインLN12を内包する領域RL1で、シールADHが設けられていないことは必須ではなく、領域RL1でも、シールADHが設けられていてもよい。したがって、基板BSの対向面BSfの端部BF2、および、基板FSの対向面FSbの端部FB2が、シールADHにより覆われていてもよい。
好適には、基板集合体SGは、スペーサSP2としてのスペーサSP24を有する。スペーサSP24は、Y軸方向に延在する。Y軸方向におけるいずれの位置でも、スクライブラインLN2が平面視においてスペーサSP24と重なる。これにより、Y軸方向におけるいずれの位置でも、例えばスクライブ加工の最適な条件が同じになる。また、スペーサSP24が、スクライブラインLN2を挟んで両側に跨って配置されることにより、基板集合体SGの剛性または硬度の分布が、スクライブラインLN2を中心として対称性を有する。したがって、さらに容易にスクライブ加工を行うことができる。
好適には、基板集合体SGは、アライメントマークAM1を有する。アライメントマークAM1は、マザー基板BSGの表示パネル形成領域AR1またはマザー基板FSGの表示パネル形成領域AR2に設けられる。また、アライメントマークAM1は、マザー基板BSGとマザー基板FSGとを対向配置する際に、アライメントマークAM1が、Y軸方向において、スペーサSP21と同じ位置に配置されるように、設けられる。すなわち、アライメントマークAM1は、Y軸方向において、スペーサSP21と重畳するように、設けられる。表示パネル形成領域AR1またはAR2を、前述した第1の大きさでスクライブする際は、アライメントマークAM1近傍を切断することになる。また、表示パネル形成領域AR1またはAR2を、前述した第1の大きさでスクライブする際は、スペーサSP21に沿ってスクライブすることになる。図11および図12に示すように、基板BSに形成されたアライメントマークAM1を、アライメントマークAM11と称し、基板FSに形成されたアライメントマークAM1を、アライメントマークAM12と称する。
X軸方向に延在するスクライブラインLN11は、平面視において、アライメントマークAM11およびAM12を通る。これにより、アライメントマークAM11およびAM12を用いてスクライブラインLN11でスクライブ加工を行うことができるので、スクライブ加工の位置精度を向上させることができる。
好適には、基板集合体SGは、アライメントマークAM2を有する。アライメントマークAM2は、マザー基板BSGの表示パネル形成領域AR1またはマザー基板FSGの表示パネル形成領域AR2に設けられる。表示パネル形成領域AR1またはAR2を、前述した第2の大きさでスクライブする際は、アライメントマークAM1よりも複数の画素から離間したアライメントマークAM2近傍を切断することになる。また、アライメントマークAM2は、マザー基板BSGとマザー基板FSGとを対向配置する際に、アライメントマークAM2が、表示パネル形成領域AR1の対向面BSfの端部BF2、または、表示パネル形成領域AR2の対向面FSbの端部FB2と重なるように、設けられる。図11および図12に示すように、基板BSに形成されたアライメントマークAM2を、アライメントマークAM21と称し、基板FSに形成されたアライメントマークAM2を、アライメントマークAM22と称する。
X軸方向に延在するスクライブラインLN12は、平面視において、アライメントマークAM21およびAM22を通る。これにより、アライメントマークAM21およびAM22を用いてスクライブラインLN21でスクライブ加工を行うことができるので、スクライブ加工の位置精度を向上させることができる。
好適には、アライメントマークAM1の形状と異なる形状を有するアライメントマークAM2が設けられる。これにより、アライメントマークAM1とアライメントマークAM2とを誤認することを防止し、スクライブラインLN11およびスクライブラインLN12のうち、所望のスクライブラインを確実に選択してスクライブ加工を行うことができる。
図11に示すように、アライメントマークAM11には、例えば、X軸方向に延在する溝部TR11と、Y軸方向に延在する溝部TR21とが形成され、アライメントマークAM21には、Y軸方向に延在する溝部TR31は形成されているが、X軸方向に延在する溝部が形成されていない。これにより、アライメントマークAM21の形状を、アライメントマークAM11の形状と異ならせることができる。
また、平面視において、スクライブラインLN11が溝部TR11を通るように配置し、スクライブラインLN2が溝部TR21およびTR31を通るように配置することができる。溝部TR11が形成されることにより、スクライブラインLN11でスクライブ加工する際の位置精度を容易に向上させることができる。また、溝部TR21およびTR31が形成されることにより、スクライブラインLN2でスクライブ加工する際の位置精度を容易に向上させることができる。Y軸方向に延在するスクライブラインLN2としては、1種類のスクライブラインを用いるため、溝部TR21が形成されたアライメントマークAM11、および、溝部TR31が形成されたアライメントマークAM21のいずれを用いてマザー基板BSGのスクライブ加工を行ってもよい。
図12に示すように、アライメントマークAM12には、例えば、X軸方向に延在する溝部TR12と、Y軸方向に延在する溝部TR22とが形成され、アライメントマークAM22には、Y軸方向に延在する溝部TR32は形成されているが、X軸方向に延在する溝部が形成されていない。これにより、アライメントマークAM22の形状を、アライメントマークAM12の形状と異ならせることができる。
また、平面視において、スクライブラインLN12が溝部TR12を通るように配置し、スクライブラインLN2が溝部TR22およびTR32を通るように配置することができる。溝部TR12が形成されることにより、スクライブラインLN11でスクライブ加工する際の位置精度を容易に向上させることができる。また、溝部TR22およびTR32が形成されることにより、スクライブラインLN2でスクライブ加工する際の位置精度を容易に向上させることができる。Y軸方向に延在するスクライブラインLN2としては、1種類のスクライブラインを用いるため、溝部TR22が形成されたアライメントマークAM12、および、溝部TR32が形成されたアライメントマークAM22のいずれを用いてマザー基板FSGのスクライブ加工を行ってもよい。
なお、アライメントマークAM1およびAM2を用いて形状精度よく位置合わせができればよく、アライメントマークAM1およびAM2の形状として、図11および図12に例示した形状以外の各種の形状を用いることができる。また、後述する変形例で図15および図16を用いて説明するように、基板集合体SGは、アライメントマークAM3を有してもよい。
<ダミーパターン>
図14は、実施の形態の表示装置の製造工程中の平面図である。図14は、図11に示した領域、および、図11に示した領域と隣り合う領域を示す。また、図14は、マザー基板BSGの対向面BSfに形成されたアライメントマークAM11などを示す。
なお、図14では、図11では図示していた層間樹脂膜IL1を除去して透視した状態を示す。また、アライメントマークAM11およびAM21の近傍、すなわち後述する禁止領域RF1にもダミーパターンDM1が形成された場合の断面図が、図13に相当する。また、図14は、配線WSの一部を示す。
図14または図13に示すように、基板集合体SGは、複数の走査線GL(図4参照)または複数の信号線SL(図4参照)と同層に設けられた複数のダミーパターンDM1を有する。複数のダミーパターンDM1は、複数のダミーパターンGDおよび複数のダミーパターンSDを含む。複数のダミーパターンGDは、複数の走査線GLと同層に設けられ、複数のダミーパターンSDは、複数の信号線SLと同層に設けられている。複数のダミーパターンGDおよび複数のダミーパターンSDは、表示領域DPAの外部に設けられればよく、表示パネル形成領域AR1(図13参照)の内部に設けられてもよく、表示パネル形成領域AR1の外部に設けられてもよい。
複数のダミーパターンGDおよび複数のダミーパターンSDは、以下に説明するように、パターンの面積率を調整するためのものである。したがって、複数のダミーパターンGDおよび複数のダミーパターンSDは、電気的に浮遊状態(フローティング状態)であることが好ましい。
アライメントマークAM11およびAM21が、例えば複数の走査線GL(図4参照)と同層に形成されている場合、表示領域DPAの内部において、複数の走査線GLなどのパターンの面積率はある程度大きいが、表示領域DPAの外部では、複数の走査線GLと同層に形成されるパターンの面積率が小さい。そのため、例えばクロム(Cr)またはモリブデン(Mo)等の金属またはそれらの合金からなる導電膜をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングして、複数の走査線GLと同層にパターンを形成する際に、表示領域DPAの内部または外部で、形成されるパターンの形状精度が低下するおそれがある。
一方、上記したように、複数のダミーパターンGDが、表示領域DPAの外部に設けられることにより、表示領域DPAの外部で複数の走査線GLと同層に形成されるパターンの面積率を、表示領域DPAの内部で形成される複数の走査線GLなどのパターンの面積率に近づけることができる。そのため、表示領域DPAの内部で形成される走査線GLの形状精度、および、表示領域DPAの外部で複数の走査線GLと同層に形成されるパターンの形状精度、のいずれをも向上させることができる。
あるいは、アライメントマークAM11およびAM21が、例えば複数の信号線SL(図4参照)と同層に形成されている場合、表示領域DPAの内部において、複数の信号線SLなどのパターンの面積率はある程度大きいが、表示領域DPAの外部では、複数の信号線SLと同層に形成されるパターンの面積率が小さい。そのため、例えばアルミニウム(Al)をモリブデン(Mo)等で挟んだ多層構造の金属膜からなる導電膜をフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いてパターニングして、複数の信号線SLと同層にパターンを形成する際に、表示領域DPAの内部または外部で、形成されるパターンの形状精度が低下するおそれがある。
一方、上記したように、複数のダミーパターンSDが、表示領域DPAの外部に設けられることにより、表示領域DPAの外部で複数の信号線SLと同層に形成されるパターンの面積率を、表示領域DPAの内部で形成される複数の信号線SLなどのパターンの面積率に近づけることができる。そのため、表示領域DPAの内部で形成される信号線SLの形状精度、および、表示領域DPAの外部で複数の信号線SLと同層に形成されるパターンの形状精度、のいずれをも向上させることができる。
このとき、複数のダミーパターンGDのうち一部のダミーパターンGD、または、複数のダミーパターンSDのうち一部のダミーパターンSDは、スクライブラインLN12を用いたスクライブ加工により形成された基板BSに形成されていてもよい。すなわち、ダミーパターンGDまたはダミーパターンSDは、表示パネル形成領域AR1の内部であって、額縁領域FLA2などの額縁領域FLA(図1参照)の内部に設けられてもよい。
例えば、図14および図13にダミーパターンSDの例を示すように、ダミーパターンGDまたはSDが、平面視において、マザー基板BSGの表示パネル形成領域AR1の内部、すなわち基板BSの内部であって、スペーサSP21に対して、Y軸方向における半導体チップCHP側と反対側に、すなわち額縁領域FLA22に、配置されていてもよい。例えばマザー基板BSGとマザー基板FSGとを対向配置する際に、ダミーパターンGDまたはSDが、平面視において、スペーサSP21に対して、Y軸方向における半導体チップCHP側と反対側に配置されるように、ダミーパターンGDまたはSDを、走査線GLまたは信号線SLと同層に形成してもよい。このような場合には、表示領域DPAの内部で形成される走査線GLまたは信号線SLの形状精度、および、ダミーパターンGDまたはSDの形状精度、のいずれをも向上させることができる。
なお、ダミーパターンGDまたはSDが、平面視において、基板BSの内部であって、スペーサSP21に対して表示領域DPAと反対側に配置され、かつ、前述したように、アライメントマークAM11およびAM12が、複数の走査線GLまたは複数の信号線SLと同層に形成されていてもよい。このような場合には、表示領域DPAの内部で形成される走査線GLまたは信号線SLの形状精度、ダミーパターンGDまたはSDの形状精度、ならびに、アライメントマークAM11およびAM12の形状精度、のいずれをも向上させることができる。
また、好適には、ダミーパターンGDおよびSDは、平面視において、アライメントマークAM11およびAM21の近傍に配置されていない。これにより、例えばスクライバに設けられたカメラなどによりアライメントマークAM11またはAM21の近傍を撮像し、撮像された画像に基づいてスクライブ加工を行う位置を決定する際に、ダミーパターンGDおよびSDがアライメントマークAM11またはAM21として誤認されることを防止または抑制することができる。
図14に示すように、ダミーパターンGDおよびSDが配置されることを禁止される禁止領域RF1は、アライメントマークAM11を中心としたカメラの撮像範囲RM1、アライメントマークAM21を中心としたカメラの撮像範囲RM2を内包することが好ましい。このとき、ダミーパターンGDおよびSDは、アライメントマークAM11およびAM21を内包する禁止領域RF1に配置されておらず、禁止領域RF1の外側の領域に配置されることになる。
<表示装置の変形例>
実施の形態では、表示装置がアライメントマークAM1およびAM2を有する例について説明した。一方、表示装置がアライメントマークAM1およびAM2に加え、アライメントマークAM3を有する例について、表示装置の変形例として説明する。
図15は、実施の形態の変形例の表示装置の額縁領域の平面図である。図15は、図5に示す表示装置のうち、二点鎖線で囲まれた領域RG3を拡大して示す。また、図15は、基板BSおよび基板BSの対向面BSfに形成されたアライメントマークAM11などを示す。なお、図15では、図6では図示していた層間樹脂膜IL1を除去して透視した状態を示す。
図15に示すように、本変形例の表示装置は、アライメントマークAM3を有する。アライメントマークAM3は、基板BSの対向面BSfの半導体チップCHP側と反対側の端部BF2、または、図15では図示は省略するが、基板FSの対向面FSbの半導体チップCHP側と反対側の端部FB2(図7参照)に設けられ、アライメントマークAM2と間隔を空けて配置されている。すなわち、アライメントマークAM3は、基板BSまたは基板FSに設けられ、Y軸方向において、アライメントマークAM2と同じ位置に配置されている。図15に示すように、基板BSに形成されたアライメントマークAM3を、アライメントマークAM31と称する。
X軸方向に延在するスクライブラインLN12は、平面視において、アライメントマークAM2およびアライメントマークAM3を通る。これにより、後述する図16を用いて説明するように、スクライブ加工の位置精度をさらに向上させることができる。
好適には、アライメントマークAM3は、アライメントマークAM2の形状と異なる形状を有する。このとき、アライメントマークAM31に、例えば、X軸方向に延在する溝部TR41が形成されることにより、後述する図16を用いて説明するように、スクライブラインLN12でスクライブ加工する際の位置精度を容易に向上させることができる。
好適には、アライメントマークAM3は、平面視において、アライメントマークAM2の近傍に配置されていない。これにより、後述する図16を用いて説明するように、例えばスクライブ加工を行う際に、アライメントマークAM3がアライメントマークAM2として誤認されることを、防止または抑制することができる。
図16は、実施の形態の変形例の表示装置の製造工程中の平面図である。図16は、図10に示す基板集合体SGのうち、二点鎖線で囲まれた領域RG4を拡大して示す。また、図16は、基板BSおよび基板BSの対向面BSfに形成されたアライメントマークAM11などを示す。なお、図16では、図11では図示していた層間樹脂膜IL1を除去して透視した状態を示す。
図16に示すように、本変形例では、基板集合体SGには、アライメントマークAM3が形成される。アライメントマークAM3は、マザー基板BSGの表示パネル形成領域AR1の対向面BSfの端部BF2、または、図15では図示は省略するが、マザー基板FSGの表示パネル形成領域AR2の対向面FSbの半導体チップCHP側と反対側の端部FB2(図12参照)に設けられる。また、アライメントマークAM3は、アライメントマークAM2と間隔を空けて配置される。すなわち、アライメントマークAM3は、表示パネル形成領域AR1または表示パネル形成領域AR2に設けられ、Y軸方向において、アライメントマークAM2と同じ位置に配置される。図16に示すように、マザー基板BSGに形成されるアライメントマークAM3を、アライメントマークAM31と称する。
X軸方向に延在するスクライブラインLN12は、平面視において、アライメントマークAM2およびアライメントマークAM3を通る。これにより、X軸方向に互いに間隔を空けて配置されたアライメントマークAM2およびAM3を用いてスクライブラインLN11でスクライブ加工を行うことができるので、アライメントマークAM2のみが設けられている場合に比べ、スクライブ加工の位置精度をさらに向上させることができる。
好適には、アライメントマークAM3は、アライメントマークAM2の形状と異なる形状を有する。このとき、アライメントマークAM3の形状をアライメントマークAM1の形状に類似した形状とすることができ、アライメントマークAM31に、例えば、X軸方向に延在する溝部TR41を形成することができる。また、平面視において、スクライブラインLN12が、溝部TR41を通るように配置することができる。
X軸方向に延在する溝部TR41が形成されたアライメントマークAM3を用いる場合、X軸方向に延在する溝部が形成されていないアライメントマークAM2を用いる場合に比べ、Y軸方向における位置合わせ精度が向上する。したがって、アライメントマークAM3に溝部TR41が形成されることにより、スクライブラインLN12でスクライブ加工する際の位置精度を容易に向上させることができる。
なお、アライメントマークAM3を用いてスクライブ加工を行うことができればよく、アライメントマークAM3は、表示パネル形成領域AR1の外部、または、表示パネル形成領域AR2の外部に配置されていてもよい。したがって、アライメントマークAM3は、表示パネル形成領域AR1の対向面BSfの半導体チップCHP側と反対側の端部BF2に設けられていなくてもよく、マザー基板FSGの表示パネル形成領域AR2の対向面FSbの半導体チップCHP側と反対側の端部FB2(図12参照)に設けられていなくてもよい。図16に示すように、アライメントマークAM3は、表示パネル形成領域AR1の外部、または、表示パネル形成領域AR2の外部に配置され、かつ、Y軸方向において、アライメントマークAM2と同じ位置に配置されていてもよい。
好適には、アライメントマークAM3は、平面視において、アライメントマークAM2の近傍に配置されておらず、アライメントマークAM2は、平面視において、アライメントマークAM3の近傍に配置されていない。
これにより、例えばスクライバに設けられたカメラなどによりアライメントマークAM2の近傍を撮像し、撮像された画像に基づいてスクライブ加工を行う位置を決定する際に、アライメントマークAM3がアライメントマークAM2として誤認されることを、防止または抑制することができる。また、例えばスクライバに設けられたカメラなどによりアライメントマークAM3の近傍を撮像し、撮像された画像に基づいてスクライブ加工を行う位置を決定する際に、アライメントマークAM2がアライメントマークAM3として誤認されることを、防止または抑制することができる。
なお、このとき、アライメントマークAM3がアライメントマークAM1として誤認されること、および、アライメントマークAM1がアライメントマークAM3として誤認されることも、防止または抑制することができる。
図16に示すように、アライメントマークAM3は、アライメントマークAM2の中心を中心とし、アライメントマークAM2を内包する領域RF2に配置されておらず、領域RF2の外側の領域に配置される。一方、アライメントマークAM2は、アライメントマークAM3の中心を中心とし、アライメントマークAM3を内包する領域RF3に配置されておらず、領域RF3の外側の領域に配置される。領域RF2のX軸方向およびY軸方向の各々における幅WD2、ならびに、領域RF3のX軸方向およびY軸方向の各々における幅WD3を、例えば2mm程度とすることができる。
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば、前記実施の形態においては、開示例として、上額縁領域の幅が異なる2種類の表示装置を1種類のフォトマスクを用いて製造可能な場合を例示したが、その他の適用例として、上額縁領域の幅が異なる3種類以上の表示装置を1種類のフォトマスクを用いて製造可能な場合にも適用可能である。また、前記実施の形態では、それぞれの基板は四角形(矩形)であるが、多角形、円形、楕円形、或いは、多角形のいくつかの辺が弧を描いている形状であってもよい。例えば、円形のパネルと、円形の一部が直線となったパネルとを、本願発明により、1種類のマスクで形成することが可能となる。
また、前記実施の形態においては、開示例として液晶表示装置の場合を例示したが、その他の適用例として、有機EL表示装置、その他の自発光型表示装置、あるいは電気泳動素子等を有する電子ペーパー型表示装置等、あらゆるフラットパネル型の表示装置が挙げられる。また、中小型から大型まで、特に限定することなく適用が可能であることはいうまでもない。
本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例および修正例に想到し得るものであり、それら変更例および修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
例えば、前述の各実施の形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除もしくは設計変更を行ったもの、または、工程の追加、省略もしくは条件変更を行ったものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含まれる。
本発明は、表示装置に適用して有効である。
ADH シール
ADH1 シール材
AF1、AF2 配向膜
AM1、AM11、AM12 アライメントマーク
AM2、AM21、AM22、AM3、AM31 アライメントマーク
AR1、AR2 表示パネル形成領域
BF2、BF21、BF3 端部
BM 遮光膜
BS、FS 基板
BSb、FSf 背面
BSf、FSb 対向面
BSG、FSG マザー基板
BSs1〜BSs4 辺
CC 駆動回路
CE 共通電極
CF カラーフィルタ
CFb、CFg、CFr カラーフィルタ画素
CG 走査線駆動回路
CHP 半導体チップ
Clc 容量
CM 共通電極駆動回路
CS 映像線駆動回路
CTL 制御回路
DM1、GD、SD ダミーパターン
DP 表示部
DPA 表示領域
FB2、FB21、FB3 端部
FL 額縁部
FLA、FLA1、FLA2、FLA21、FLA22、FLA3、FLA4 額縁領域
GL 走査線
IF0、IF1、IF2 絶縁膜
IL1 層間樹脂膜
LCD1 表示装置
LCL 液晶層
LN1、LN11、LN12、LN2、LN21 スクライブライン
LS バックライト
OC1 樹脂層
OC2 絶縁層
OP1、OP2 開口部
PDA 表示領域
PE 画素電極
Pix 画素
PL1、PL2 偏光板
PT1、PT2、PT21、PT22、PT3、PT4、PT5 部分
RF1 禁止領域
RF2、RF3、RG1〜RG4、RL1 領域
RM1、RM2 撮像範囲
SG 基板集合体
SHE シールド電極
SL 信号線
SP1、SP2、SP21〜SP24 スペーサ
SPix 副画素
SSB1〜SSB4、SSF1〜SSF4 側面
TR11、TR12、TR21、TR22、TR31、TR32、TR41 溝部
Trd トランジスタ
WD1、WD11、WD2、WD3 幅
WG、WS 配線

Claims (10)

  1. 第1基板と、
    前記第1基板と対向配置された第2基板と、
    前記第1基板と前記第2基板との間に設けられ、前記第1基板と前記第2基板とを接着するシールと、
    を有する表示装置であって、
    前記第1基板は、
    第1領域と、
    平面視において、前記第1領域に対して第1方向における第1の側に配置された第2領域と、
    を含み、
    前記第1領域内には複数の画素が配置され、
    前記シールは、
    平面視において、前記第2領域内の第1部分および第2部分に設けられ、
    前記第1部分は、スペーサに対して前記第1領域側に配置され、
    前記第2部分は、前記スペーサを挟んで前記第1領域と反対側に配置され、
    前記スペーサは、前記第1部分と前記第2部分との境界において、前記第2基板の第1端部から第2端部に亘って形成されており、前記スペーサの前記第1部分側と前記第2部分側とは前記シールと接している、表示装置。
  2. 請求項1記載の表示装置であって、
    前記第1基板または前記第2基板に設けられた第1アライメントマークを有し、
    前記第1アライメントマークは、前記第1方向において、前記スペーサと重畳している、表示装置。
  3. 請求項2記載の表示装置であって、
    前記第1アライメントマークは、前記第1部分と前記第2部分との境界において、前記第1部分に設けられており、
    第2アライメントマークが、前記第2部分における、前記第1基板または前記第2基板の第3端部に設けられている、表示装置。
  4. 請求項1ないし3の何れかに記載の表示装置であって、
    前記第1基板に設けられた複数の走査線と複数の信号線と、を有し、
    前記複数の走査線、または、前記複数の信号線と同層に設けられたパターンが、平面視において、前記第2部分に配置されており、
    前記パターンはフローティングである、表示装置。
  5. 請求項1又は2に記載の表示装置であって、
    前記第2部分における、前記第1基板の第3端部と前記第2基板の第4端部とは、前記シールから露出している、表示装置。
  6. 請求項3記載の表示装置であって、
    前記第2アライメントマークは、平面視において、前記第1アライメントマークの形状と異なる形状を有する、表示装置。
  7. 請求項1記載の表示装置において、
    前記スペーサは、複数の走査線の延在方向に点在する複数の島状のスペーサである、表示装置。
  8. (a)第1マザー基板の複数の基板形成領域のそれぞれに複数の画素を設ける工程、
    (b)第2マザー基板の複数の基板形成領域のそれぞれにスペーサと第1アライメントマークと第2アライメントマークとを設ける工程、
    (c)前記第1マザー基板と前記第2マザー基板とをシールにて貼り合わせる工程、
    (d)前記基板形成領域を第1の大きさでスクライブするか、或いは、前記第1の大きさよりも大きい第2の大きさでスクライブするか、を決定する工程、
    (e)前記スクライブにより、前記第1マザー基板と前記第2マザー基板とを、複数の表示パネルに分断する工程、
    を有する、表示装置の製造方法。
  9. 請求項8記載の表示装置の製造方法において、
    前記第1の大きさでスクライブする際は、前記第1アライメントマーク近傍を切断し、
    前記第2の大きさでスクライブする際は、前記第1アライメントマークよりも前記複数の画素から離間した前記第2アライメントマーク近傍を切断する、表示装置の製造方法。
  10. 請求項8又は9記載の表示装置の製造方法において、
    前記第1の大きさでスクライブする際は、前記スペーサに沿ってスクライブする、表示装置の製造方法。
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