JP2017067700A - 座標測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成でケーブルの外部への露出を防止可能な座標測定装置を提供する。【解決手段】座標測定装置１は、被測定物が載置されるベース１０と、移動可能なＸ軸ビーム３０と、ベース１０上に設けられ、Ｘ軸ビーム３０を支持する中空のＹ軸コラム２０と、ベース１０の下方に設けられ、Ｘ軸ビーム３０の移動を制御する制御装置５２と、Ｘ軸ビーム３０からＹ軸コラム２０の中空部２２を通過して制御装置５２へ配線されているケーブル５５と、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、座標測定装置に関し、詳細には、移動体と制御装置とをケーブルで接続した座標測定装置に関する。

座標測定装置として、被測定物の形状や寸法を測定するために、被測定物の外形の座標を測定する三次元測定装置が利用されている。
例えば、下記の特許文献１に開示された三次元測定装置は、被測定物が載置されるベースと、このベース上の被測定物を測定するためのプローブを互いに直交する３軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）方向に相対移動させる移動機構と、この移動機構を駆動制御する駆動制御装置と、前記移動機構と前記駆動制御装置とを接続するケーブルとを有する。

特開２０１２−４２２６７号公報

座標測定装置においては、移動機構と駆動制御装置は通常離れて設けられているため、移動機構と制御装置を接続するケーブルが、外部に露出しやすい。かかる場合には、外部に露出したケーブルを配置するスペースを、確保する必要が生じる。また、ケーブルが外部に露出した場合には、当該ケーブルが汚れたり、座標測定装置の美感が損なわれたりする恐れがある。
また、露出したケーブルが不規則に屈曲して破損しないように、ケーブルベア（登録商標）でケーブルを保護する必要があるが、ケーブルベアを設けた場合にはコストアップになってしまう。

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、簡易な構成でケーブルの外部への露出を防止可能な座標測定装置を提供することを目的とする。

本発明の第１の態様においては、被測定物が載置されるベースと、前記ベースに対して相対移動可能な移動体と、前記ベース上に立設され、中空部を有し前記移動体を支持する支持体と、前記ベースの下方に設けられ、前記移動体の移動を制御する制御装置と、前記移動体から前記支持体の前記中空部を通過して前記制御装置へ配線されているケーブルと、を備える、座標測定装置を提供する。

また、前記ベースは、前記支持体の下に形成された貫通孔を有し、前記ケーブルは、前記貫通孔を通過して前記制御装置と接続されていることとしてもよい。

また、前記支持体の側面には、開口部が設けられていることとしてもよい。

また、前記支持体は、前記移動体の長手方向の一端部を支持しており、前記ケーブルは、分岐して前記移動体の前記一端部側と接続されていることとしてもよい。

また、前記座標測定装置は、測定結果を表示する表示装置を支持する支持アームと、前記支持アームをスライドさせるスライド機構と、を更に備えることとしてもよい。

また、前記スライド機構は、前記制御装置を収容する収容部の側面に設けられたレール部を有し、前記支持アームは、前記レール部にスライド可能に連結されていることとしてもよい。

また、前記支持アームは、前記収容部の互いに対向する二つの側面にそれぞれ設けられた前記レール部の一方に着脱可能に連結されていることとしてもよい。

また、前記支持体は、前記ベース上における第１方向の一端側にて、前記第１方向と直交する第２方向に移動する前記移動体を支持し、前記レール部は、前記第１方向の他端側の前記側面に設けられていることとしてもよい。

また、前記支持体は、前記ベース上における第２方向の一端側にて、前記第２方向と直交する第１方向に移動する前記移動体を支持し、前記レール部は、前記第１方向の端側の前記側面に設けられていることとしてもよい。

本発明によれば、簡易な構成でケーブルの外部への露出を防止できるという効果を奏する。

本発明の第１の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例を示す斜視図である。 制御装置５２とＸ軸ビーム３０の間のケーブル５５の配線状態を説明するための図である。 Ｙ軸コラム２０の内部構造を説明するための図である。 Ｙ軸コラム２０の上部の構成を説明するための模式図である。 第２の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例を示す斜視図である。 スライド機構７０の構造を示す斜視図である。 支持アーム６０のスライド機構７０への連結構造を説明するための図である。 スライド機構７０の設置箇所の変形例を説明するための模式図である。

＜１．第１の実施形態＞
（１−１．座標測定装置の構成）
図１を参照しながら、本発明の第１の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例について説明する。

図１は、第１の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例を示す斜視図である。座標測定装置１は、被測定物の外形の座標を測定することで、被測定物の立体形状を特定する三次元測定装置である。図１に示すように、座標測定装置１は、ベース１０と、Ｙ軸コラム２０と、Ｘ軸ビーム３０と、Ｚ軸スピンドル４０と、プローブ４２と、設置台５０とを有する。

ベース１０は、石材製の定盤であり、設置台５０上に設置されている。ベース１０の上面には、被測定物（ワーク）が載置される。ベース１０を平面視した際の形状は、矩形形状である。

Ｙ軸コラム２０は、ベース１０の上面に立設しており、中空部を有しＸ軸ビーム３０を支持する支持体である。Ｙ軸コラム２０は、ベース１０の上面に固定されている。Ｙ軸コラム２０は、ベース１０の上面の縁側にて、図１のＸ軸方向から見てＹ軸方向に延びた略Ｔ字状の形状を成している。Ｙ軸コラム２０は、Ｘ軸ビーム３０の長手方向（図１のＸ軸方向）の一端部を移動可能に支持する。すなわち、本実施形態では、Ｙ軸コラム２０がＸ軸ビーム３０を片持ちで支持する構成となっている。このため、Ｘ軸ビーム３０の長手方向の両端側を支持する場合に比べて、座標測定装置１の小型化が可能となると共に、測定者はベース１０上に被測定物を載置しやすくなる。

Ｘ軸ビーム３０は、Ｙ軸コラム２０と直交するようにＸ軸方向に延びている梁状の部材である。Ｘ軸ビーム３０は、Ｙ軸方向に移動する移動体である。なお、座標測定装置１は、Ｘ軸ビーム３０のＹ軸方向の移動量（座標）を検出するためのスケール及び検出センサーを有する。また、Ｙ軸コラム２０の上部には、Ｘ軸ビーム３０を移動させる駆動機構が設けられている。

Ｚ軸スピンドル４０は、Ｚ軸方向に延びている角柱状の部材であり、Ｘ軸ビーム３０に対して移動可能に連結されている。Ｚ軸スピンドル４０は、Ｙ軸方向及びＺ軸方向にそれぞれ移動する。なお、座標測定装置１は、Ｚ軸スピンドル４０のＹ軸方向及びＺ軸方向の移動量（座標）を検出するためのスケール及び検出センサーを有する。また、Ｘ軸ビーム３０には、Ｚ軸スピンドル４０を移動させる駆動機構が設けられている。

プローブ４２は、Ｚ軸スピンドル４０の下方側の先端に設けられている。座標測定装置１は、プローブ４２の先端に設けられた接触子がベース１０上の被測定物に接触した際のＸ軸ビーム３０及びＺ軸スピンドル４０の移動量（座標）を検出することで、被測定物の外形の座標を測定する。

設置台５０は、ベース１０の下方に設けられており、ベース１０を支持する。設置台５０は、Ｘ軸ビーム３０やＺ軸スピンドル４０の移動を制御する制御装置（図２に示す制御装置５２）を内部に収容する収容部の機能も有する。制御装置５２は、Ｘ軸ビーム３０内から延びるケーブル（図２に示すケーブル５５）で接続されている。

（１−２．ケーブルの配線状態）
図２〜図４を参照しながら、制御装置５２とＸ軸ビーム３０の間のケーブル５５の配線状態について説明する。

図２は、制御装置５２とＸ軸ビーム３０の間のケーブル５５の配線状態を説明するための図である。図３は、Ｙ軸コラム２０の内部構造を説明するための図である。図４は、Ｙ軸コラム２０の上部の構成を説明するための模式図である。なお、図２は、図１に示す座標測定装置１を背面側から見た図であり、説明の便宜上、Ｚ軸スピンドル４０や設置台５０の側板等を省略している。

図２に示すように、ケーブル５５は、Ｘ軸ビーム３０と制御装置５２を接続している。具体的には、ケーブル５５の一端側がＸ軸ビーム３０の一端部３２側と接続され、ケーブル５５の他端側が制御装置５２と接続されている。なお、ケーブル５５の一端側は分岐している。分岐したケーブル５５の一部は、Ｙ軸コラム２０の上部に設けられＸ軸ビーム３０を移動させる駆動機構に接続されており、他の一部は、Ｘ軸ビーム３０に設けられＺ軸スピンドル４０を移動させる駆動機構に接続されている。

本実施形態では、ケーブル５５が外部に露出しないように、ケーブル５５が、Ｘ軸ビーム３０と制御装置５２の間に位置するＹ軸コラム２０内の中空部２２を通過している。すなわち、Ｙ軸コラム２０の中空部２２が、ケーブル５５を収容する収容部になっている。ケーブル５５は、Ｘ軸ビーム３０がＹ軸方向に移動する際に、Ｘ軸ビーム３０と共にＸ軸方向に移動する。このようにケーブル５５が中空部２２を通過していることにより、Ｙ軸コラム２０の周辺にケーブル５５を配線させるスペースを確保する必要がなくなるので、省スペース化が可能となる。

ケーブル５５は、中空部２２内において拘束されずに垂れ下がった状態となっている。また、ケーブル５５は、中空部２２内に所定の撓み形状で収容されている。かかる場合には、Ｘ軸ビーム３０がＹ軸方向に移動しても、Ｘ軸ビーム３０と共に移動するケーブル５５が所定の撓み形状を保持することで、ケーブル５５がねじれたり絡まったりすることを防止できる。

Ｙ軸コラム２０の底部及び上部には、ケーブル５５が通過できるように開口が、それぞれ形成されている。具体的には、Ｙ軸コラム２０の底部には、図３に示すように矩形状の底部開口２３が形成されている。また、Ｙ軸コラム２０の上部には、図４に示すようなガイド穴２６が形成されている。ガイド穴２６は、Ｙ軸方向に沿って形成された長穴であり、ケーブル５５のＹ軸方向への移動をガイドする。これにより、Ｘ軸ビーム３０が移動する際に、ケーブル５５もＹ軸方向に移動できる。

ケーブル５５は、図３に示すベース１０の貫通孔１２を通過して、制御装置５２と接続されている。貫通孔１２は、図３に示すように、Ｙ軸コラム２０の下部に形成された円形状の孔である。貫通孔１２は、少なくとも一部の領域がＹ軸コラム２０の中空部２２の領域と重なるように、形成されている。かかる場合には、Ｘ軸ビーム３０と制御装置５２の間に位置するＹ軸コラム２０及びベース１０の内部を通過することになり、ケーブル５５が外部に露出することを有効に防止できる。また、Ｙ軸コラム２０及びベース１０の内部を通過させることで、ケーブル５５を配線する長さを短くできる。

図２に戻り、Ｙ軸コラム２０の側面である背面２１には、開口部２４が設けられている。開口部２４には、矩形状の開口が形成されている。開口は、ケーブル５５を視認できる位置に形成されている。また、開口は、例えば作業者の手が通過できる（出し入れできる）大きさとなっている。このような開口部２４を設けた場合には、作業者は、開口部２４の開口から手を入れてケーブル５５に触ることができるので、ケーブル５５をＹ軸コラム２０内に配線しやすくなる。

ところで、別部品であるＹ軸コラム２０の底部とベース１０は、図３に示すように、締結部材である複数（図３では８本）のネジ１４で締結されている。本実施形態では、製造時に作業者がネジ１４を締結しやすくするために、開口部２４はＹ軸コラム２０の背面２１の底部側に設けられている。具体的には、作業者が開口から手を入れた際に指がネジ１４に触れられる位置に、開口部２４が設けられている。かかる場合には、作業者は、開口部２４の開口から手を入れて、ネジ１４を締めることができるので、Ｙ軸コラム２０をベース１０に固定しやすくなる。

ベース１０の上面側には、ネジ１４と螺合するネジブッシュが予め配置されている凹部が設けられている。かかる場合には、開口部２４の開口から入れた手でネジ１４を締めるだけでＹ軸コラム２０をベース１０に固定できるので、座標測定装置１の製造時の組立性が向上する。

図２及び図３では省略しているが、背面２１には、開口部２４の開口を閉塞するカバーが取り付け可能となっている。これにより、座標測定装置１の測定者が誤って開口部２４の開口から手を入れることを防止できる。

上記では、開口部２４の開口が矩形状であることとしたが、これに限定されない。例えば、開口は円形状であってもよい。また、上記では、開口部２４がＹ軸コラム２０の背面２１に設けられていることとしたが、これに限定されない。例えば、開口部２４は、背面２１以外の側面に設けられていてもよい。

また、上記では、Ｙ軸コラム２０がＸ軸ビーム３０の長手方向の一端部を支持する片持ち支持構造であることとしたが、これに限定されない。例えば、Ｘ軸ビーム３０の長手方向の両端部をそれぞれ支持するコラムを二つ設けてもよい。
また、上記では、固定されたベース１０に立設されたＹコラム２０に支持されたＸ軸ビーム３０がＹ軸方向に移動することとしたが、これに限定されない。例えば、Ｘ軸ビーム３０が固定され、ベース１０がＹ軸方向に移動してもよい。すなわち、Ｘ軸ビーム３０は、ベース１０に対して相対的にＹ軸方向に相対移動可能であればよい。

（１−３．第１の実施形態における効果）
上述したように、第１の実施形態においては、ケーブル５５が、Ｘ軸ビーム３０からＹ軸コラム２０の中空部２２を通過して制御装置５２へ配線されている。
かかる場合には、Ｘ軸ビーム３０の移動に伴って移動するケーブル５５が中空部２２内に収容されるので、ケーブル５５が外部へ露出することを防止できる。これにより、Ｙ軸コラム２０の周辺にケーブル５５を配線させるスペースを確保する必要がなくなるので、省スペース化が可能となる。また、ケーブル５５が外部へ露出しないことで、ケーブル５５が汚れることを防止できると共に、座標測定装置１の美感が損なわれることを防止できる。

＜２．第２の実施形態＞
（２−１．座標測定装置の構成）
図５を参照しながら、本発明の第２の実施形態に係る座標測定装置１の構成について説明する。

図５は、第２の実施形態に係る座標測定装置１の構成の一例を示す斜視図である。第２の実施形態に係る座標測定装置１は、図５に示すように、ベース１０と、Ｙ軸コラム１２０と、Ｘ軸ビーム１３０と、Ｚ軸スピンドル４０と、プローブ４２と、設置台５０と、支持アーム６０と、スライド機構７０とを有する。ベース１０、Ｚ軸スピンドル４０、プローブ４２及び設置台５０の構成は、第１の実施形態と同様であるので、詳細な説明は省略する。

Ｘ軸ビーム１３０は、第１の実施形態で説明したＸ軸ビーム３０（図１）と同様に、Ｘ軸方向に延びている梁状の部材である。移動体であるＸ軸ビーム１３０は、Ｙ軸方向に移動する。

Ｙ軸コラム１２０は、Ｘ軸方向の一端側において、Ｙ軸方向に延びるように設けられている。Ｙ軸コラム１２０は、Ｘ軸ビーム１３０の長手方向（Ｘ軸方向）の一端部を移動可能に支持する。Ｙ軸コラム１２０は、第１の実施形態のＸ軸ビーム３０と同様に、内部に中空部（図２の中空部２２）を有する。中空部には、Ｘ軸ビーム１３０と制御装置（図２の制御装置５２）と接続するケーブル（図２のケーブル５５）が通過する。これにより、ケーブルが外部に露出することを防止できる。

支持アーム６０は、ディスプレイ８０、キーボード８１、マウス８２及びジョイスティック８３を支持する。支持アーム６０は、測定結果を表示する表示装置であるディスプレイ８０を支持する第１支持部６１と、入力装置であるキーボード８１及びマウス８２を支持する第２支持部６２と、測定者がＸ軸ビーム１３０及びＺ軸スピンドル４０の移動を操作可能なジョイスティック８３を支持する第３支持部６３とを有する。第１支持部６１及び第２支持部６２は、ディスプレイ８０等の向きを調整できるように、アーム本体６０ａに対して回動可能な構成となっている。

なお、支持アーム６０は、ディスプレイ８０、キーボード８１、マウス８２及びジョイスティック８３の全てを支持しなくてもよい。例えば、ディスプレイ８０にタッチパネルが重畳されている場合には、支持アーム６０は、ディスプレイ８０を支持する一方で、キーボード８１やマウス８２を支持しなくてもよい。

スライド機構７０は、支持アーム６０をＹ軸方向にスライドさせる。スライド機構７０は、設置台５０におけるＹ軸コラム１２０が設けられている側とは反対側の端部に設けられている。支持アーム６０は、スライド機構７０によって、図５において実線で示す位置（前方位置）と二点鎖線で示す位置（後方位置）との間でスライドする。例えば、測定中でない場合には、支持アーム６０が後方位置に位置することで、測定者は被測定物をベース１０に載置しやすくなる。一方で、測定の際には、支持アーム６０が前方位置に位置することで、操作者がディスプレイ８０の表示を視認しやすくなると共に、キーボード８１等の入力操作を行いやすくなる。

（２−２．スライド機構の詳細）
図６及び図７を参照しながら、スライド機構７０の詳細について説明する。
図６は、スライド機構７０の構造を示す斜視図である。図７は、支持アーム６０のスライド機構７０への連結構造を説明するための図である。

図６に示すように、スライド機構７０は、設置台５０の側面５１に設けられたレール部７１を有する。レール部７１は、固定ネジ７３で側面５１の上方（別言すれば、ベース１０の下）に固定されている。レール部７１には、支持アーム６０がスライド可能に連結されている。レール部７１は、Ｙ軸方向に沿って設けられており、支持アーム６０のＹ軸方向の移動をガイドする。レール部７１の支持アーム６０が連結される面には、Ｙ軸方向に沿ってスロット７２が形成されている。

図７に示すように、支持アーム６０の下部６５は、ネジ６６が差込口であるスロット７２内をスライド可能なスライダと螺合することで、レール部７１にスライド可能に連結している。例えば、ネジ６６を締めることにより、スロット７２が下部６５側に引き込まれて、下部６５とレール部７１が連結される。かかる場合には、簡易な構成にて、支持アーム６０をＹ軸方向にスライドさせることが可能となる。

スライド機構７０には、支持アーム６０のスライド位置をロックするロック機構が設けられていてもよい。例えば、ロック機構は、後方位置（図５の二点鎖線で示す位置）に位置する支持アーム６０をロックする。測定者は、例えば測定する際に、ロック機構を解除して支持アーム６０を前方位置（図５の実線で示す位置）へ移動させる。ロック機構を設けることで、例えば座標測定装置１に外力が働いた際に支持アーム６０が移動してしまうことを防止できる。

なお、上記では、図５に示すように、Ｙ軸コラム１２０がＸ軸方向（第１方向に該当）の一端側に設けられ、スライド機構７０がＸ軸方向の他端側に設けられていることとしたが、これに限定されない。例えば、スライド機構７０の設置箇所は、図８に示すような位置であってもよい。

図８は、スライド機構７０の設置箇所の変形例を説明するための模式図である。図８では、座標測定装置１を上方から見た図であり、説明の便宜上、ベース１０、Ｙ軸コラム２０及びスライド機構７０のみを示している。また、図８では、測定者Ｐが、座標測定装置１の前の位置（測定時の位置）にいるものとする。

Ｙ軸コラム２０は、測定者Ｐから見てベース１０の奥側、具体的にはＸ軸方向（第２方向に該当）の一端側に設けられている。スライド機構７０は、Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向の両端側に、それぞれ設けられている。そして、変形例においては、支持アーム６０（図５参照）は、二つのレール部７１のいずれか一方に着脱可能に連結されている。かかる場合には、座標測定装置１の設置場所や測定者の利き手等に応じて、支持アーム６０を取り付けることが可能となるので、利便性の高い座標測定装置１を実現できる。

変形例ではＹ軸方向の両端側にスライド機構７０が設けられていることとしたが、これに限定されない。例えば、スライド機構７０は、Ｙ軸方向の一端側又は他端側に設けられていてもよい。

また、上記では、スライド機構７０が、設置台５０の側面５１（図６）に設けられていることとしたが、これに限定されない。例えば、スライド機構７０は、ベース１０の側面に設けられていてもよい。ただし、石材製のベース１０に比べて、金属製の設置台５０の方がスライド機構７０を取り付けるための加工を施しやすいので、スライド機構７０を設置台５０に設ける方が望ましい。

（２−３．第２の実施形態における効果）
上述したように、第２の実施形態においては、スライド機構７０が、ディスプレイ８０等を支持する支持アーム６０をスライドさせる。具体的には、図５に示すように、支持アーム６０がＹ軸方向において前方位置と後方位置との間でスライドする。
かかる場合には、座標測定装置１の使用状態に応じて支持アーム６０をスライドさせることができる。例えば、測定していない場合には支持アーム６０を後方位置に位置させることで、測定者は、ベース１０に被測定物を載置したり、ベース１０から被測定物を取り除いたりする際に、支持アーム６０に支持されたディスプレイ８０等が邪魔にならず、操作しやすくなる。一方で、測定の際には、支持アーム６０を前方位置に位置させることで、ディスプレイ８０の表示内容を視認しやすくなると共に、キーボード８１等の入力操作を行いやすくなる。

また、第２の実施形態でも、Ｘ軸ビーム１３０と制御装置を接続するケーブル（図２のケーブル５５）が、第１の実施形態のＹ軸コラム２０と同様に、Ｙ軸コラム１２０の内部の中空部を通過している。かかる場合には、ケーブルが支持アーム６０の移動を妨げることを防止できるので、支持アーム６０をスライドさせる座標測定装置１において効果がより有効に奏される。

なお、上記では、座標測定装置１が、ベース１０上に載置された被測定物の外形の座標を測定する三次元測定装置であることとしたが、これに限定されない。例えば、座標測定装置１は、ベース１０上の載置された被測定物を、移動しながら撮像する測定装置であってもよい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又は改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。そのような変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

１ 座標測定装置
１０ ベース
１２ 貫通孔
２０ Ｙ軸コラム
２２ 中空部
２４ 開口部
３０ Ｘ軸ビーム
５０ 設置台
５２ 制御装置
５５ ケーブル
６０ 支持アーム
７０ スライド機構
７１ レール部
１２０ Ｙ軸コラム
１３０ Ｘ軸ビーム

Claims (9)

1. 被測定物が載置されるベースと、
   前記ベースに対して相対移動可能な移動体と、
   前記ベース上に立設され、中空部を有し前記移動体を支持する支持体と、
   前記ベースの下方に設けられ、前記移動体の移動を制御する制御装置と、
   前記移動体から前記支持体の前記中空部を通過して前記制御装置へ配線されているケーブルと、
   を備える、座標測定装置。
2. 前記ベースは、前記支持体の下に形成された貫通孔を有し、
   前記ケーブルは、前記貫通孔を通過して前記制御装置と接続されている、
   請求項１に記載の座標測定装置。
3. 前記支持体の側面には、開口部が設けられている、
   請求項１又は２に記載の座標測定装置。
4. 前記支持体は、前記移動体の長手方向の一端部を支持しており、
   前記ケーブルは、分岐して前記移動体の前記一端部側と接続されている、
   請求項１から３のいずれか１項に記載の座標測定装置。
5. 測定結果を表示する表示装置を支持する支持アームと、
   前記支持アームをスライドさせるスライド機構と、を更に備える、
   請求項１から４のいずれか１項に記載の座標測定装置。
6. 前記スライド機構は、前記制御装置を収容する収容部の側面に設けられたレール部を有し、
   前記支持アームは、前記レール部にスライド可能に連結されている、
   請求項５に記載の座標測定装置。
7. 前記支持アームは、前記収容部の互いに対向する二つの側面にそれぞれ設けられた前記レール部の一方に着脱可能に連結されている、
   請求項６に記載の座標測定装置。
8. 前記支持体は、前記ベース上における第１方向の一端側にて、前記第１方向と直交する第２方向に移動する前記移動体を支持し、
   前記レール部は、前記第１方向の他端側の前記側面に設けられている、
   請求項６に記載の座標測定装置。
9. 前記支持体は、前記ベース上における第２方向の一端側にて、前記第２方向と直交する第１方向に移動する前記移動体を支持し、
   前記レール部は、前記第１方向の端側の前記側面に設けられている、
   請求項６に記載の座標測定装置。