JP2017064821A

JP2017064821A - Bending detection method of cutting blade

Info

Publication number: JP2017064821A
Application number: JP2015190722A
Authority: JP
Inventors: 良彰淀; Yoshiaki Yodo
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2015-09-29
Filing date: 2015-09-29
Publication date: 2017-04-06
Anticipated expiration: 2035-09-29
Also published as: JP6537423B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a bending detection method of a cutting blade which can detect efficiently whether or not a cutting blade fitted to a cutting device bends.SOLUTION: A bending detection method of a cutting blade (46) includes a first cutting groove forming step where a cutting blade is made to cut into a workpiece (11) to form a first cutting groove (17a) of a first depth (z1), a second cutting groove forming step where the cutting blade is made to cut into the workpiece to form a second cutting groove (17b) of a second depth (z2) deeper than the first depth, a measurement step where a Y axis direction position (y1') of the first cutting groove and a Y axis direction position (y2') of the second cutting groove are measured respectively, a calculation step where a bending amount (θ) of the cutting blade is calculated by using the Y axis direction position of the first cutting groove and the Y axis direction position of the second cutting groove, and a determination step where it is determined that the cutting blade bends in a case where the bending amount is lager than a threshold value.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、切削装置に装着された切削ブレードが屈折しているか否かを検出する切削ブレードの屈折検出方法に関する。 The present invention relates to a cutting blade refraction detection method for detecting whether or not a cutting blade mounted on a cutting device is refracted.

半導体ウェーハに代表される板状の被加工物を複数のチップへと分割等する際には、スピンドルの先端部に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用することがある（例えば、特許文献１参照）。この切削ブレードは、ダイヤモンド等の砥粒を金属や樹脂等の結合材で固定して形成され（例えば、特許文献２参照）、高速に回転した状態で被加工物に切り込まれる。 When a plate-like workpiece typified by a semiconductor wafer is divided into a plurality of chips, a cutting device in which an annular cutting blade is attached to the tip of a spindle may be used (for example, a patent) Reference 1). The cutting blade is formed by fixing abrasive grains such as diamond with a binder such as metal or resin (see, for example, Patent Document 2), and is cut into a workpiece while rotating at high speed.

ところで、上述した切削ブレードの先端部（刃先）は、被加工物の加工時に加わる外力によって屈折してしまうことがある。切削ブレードの先端部が屈折した状態で被加工物の加工を進めると、切削によって形成される切断面が傾斜して予定されている形状のチップを得られない。そのため、加工中の任意のタイミングで切削ブレードの先端部の形状を確認していた。 By the way, the tip part (cutting edge) of the cutting blade described above may be refracted by an external force applied when processing the workpiece. If the workpiece is processed while the tip of the cutting blade is refracted, a chip having a predetermined shape with a cut surface formed by cutting cannot be obtained. Therefore, the shape of the tip of the cutting blade has been confirmed at an arbitrary timing during processing.

特開２０１２−１２１１６号公報JP 2012-12116 A 特開２０１２−８６２９１号公報JP 2012-86291 A

切削ブレードの先端部の形状は、例えば、テスト用の被加工物を切削ブレードで切削した後、この被加工物に形成された切断面の形状を顕微鏡等で観察することにより確認できる。ところが、この確認方法では、切削装置を停止させた後に切断面を顕微鏡等で観察する必要があるので、作業効率の点で問題があった。 The shape of the tip of the cutting blade can be confirmed by, for example, cutting a test workpiece with the cutting blade and then observing the shape of the cut surface formed on the workpiece with a microscope or the like. However, this confirmation method has a problem in terms of work efficiency because it is necessary to observe the cut surface with a microscope after stopping the cutting device.

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削装置に装着された切削ブレードが屈折しているか否かを効率良く検出できる切削ブレードの屈折検出方法を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a cutting blade refraction detection method capable of efficiently detecting whether or not the cutting blade attached to the cutting apparatus is refracted. It is to be.

本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を切削ブレードで切削する切削手段と、該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させる加工送り手段と、該切削手段を該Ｘ軸方向に垂直なＹ軸方向に移動させる割り出し送り手段と、該被加工物を撮像する撮像手段と、を備える切削装置の該切削ブレードが屈折しているか否かを検出する切削ブレードの屈折検出方法であって、該被加工物を保持した該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させながら、Ｙ軸方向で第１の基準位置に位置付けた該切削ブレードを該被加工物に切り込ませて、第１の深さの第１切削溝を形成する第１切削溝形成ステップと、該被加工物を保持した該チャックテーブルをＸ軸方向に移動させながら、Ｙ軸方向で第２の基準位置に位置付けた該切削ブレードを該被加工物に切り込ませて、第１の深さよりも深い第２の深さの第２切削溝を形成する第２切削溝形成ステップと、該撮像手段で該第１切削溝と該第２切削溝とを撮像して、該第１切削溝のＹ軸方向の位置と該第２切削溝のＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する測定ステップと、該第１切削溝のＹ軸方向の位置及び該第２切削溝のＹ軸方向の位置を用いて、該切削ブレードの屈折量を算出する算出ステップと、該屈折量と、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、該屈折量が該閾値より大きい場合に該切削ブレードが屈折していると判定する判定ステップと、を備えることを特徴とする切削ブレードの屈折検出方法が提供される。 According to the present invention, a chuck table for holding a workpiece, a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade, and a work feeding means for moving the chuck table in the X-axis direction Whether or not the cutting blade of the cutting apparatus is refracted, and an indexing and feeding means for moving the cutting means in the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction and an imaging means for imaging the workpiece A method for detecting refraction of a cutting blade for detecting the cutting blade, wherein the cutting blade positioned at a first reference position in the Y-axis direction is moved while moving the chuck table holding the workpiece in the X-axis direction. A first cutting groove forming step for forming a first cutting groove having a first depth by cutting into a workpiece, and a Y-axis while moving the chuck table holding the workpiece in the X-axis direction. First in direction A second cutting groove forming step of forming a second cutting groove having a second depth deeper than the first depth by cutting the cutting blade positioned at the reference position of the workpiece into the workpiece; Measuring the first cutting groove and the second cutting groove by means, and measuring the position of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove in the Y-axis direction, respectively A calculation step for calculating the amount of refraction of the cutting blade using the position of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove in the Y-axis direction; And a determination step of determining that the cutting blade is refracted when the amount of refraction is greater than the threshold, and a method for detecting refraction of the cutting blade is provided. The

上記本発明で、第１の基準位置と第２の基準位置とが同じ場合には、該算出ステップにおいて、該第１の基準位置、該第２の基準位置、及びこれらの位置関係を用いずに、該切削ブレードの屈折量を算出することができる。 In the present invention, when the first reference position and the second reference position are the same, the first reference position, the second reference position, and their positional relationship are not used in the calculation step. In addition, the amount of refraction of the cutting blade can be calculated.

また、本発明で、第１の基準位置と第２の基準位置とが異なる場合には、該算出ステップにおいて、該第１の基準位置及び該第２の基準位置、又はこれらの位置関係を更に用いて、該切削ブレードの屈折量を算出することができる。 Further, in the present invention, when the first reference position and the second reference position are different, in the calculation step, the first reference position and the second reference position, or the positional relationship thereof is further determined. By using this, the amount of refraction of the cutting blade can be calculated.

本発明において、該判定ステップで該切削ブレードが屈折していると判定された場合にアラームを発する報知ステップを更に備えることが好ましい。 In the present invention, it is preferable that the method further includes a notifying step for issuing an alarm when it is determined in the determining step that the cutting blade is refracted.

本発明に係る切削ブレードの屈折検出方法では、被加工物に対する切り込み深さを変えて形成される第１切削溝と第２切削溝との位置を用いて、切削ブレードが屈折しているか否かを検出するので、従来のように、切削装置を停止させたり、切断面を顕微鏡等で観察したりする必要がない。 In the refraction detection method for a cutting blade according to the present invention, whether or not the cutting blade is refracted by using the positions of the first cutting groove and the second cutting groove formed by changing the depth of cut with respect to the workpiece. Therefore, there is no need to stop the cutting device or observe the cut surface with a microscope or the like as in the prior art.

よって、本発明に係る切削ブレードの屈折検出方法によれば、切削装置に装着された切削ブレードが屈折しているか否かを効率良く検出できる。 Therefore, according to the cutting blade refraction detection method of the present invention, it is possible to efficiently detect whether or not the cutting blade attached to the cutting device is refracted.

切削装置の構成例を模式的に示す図である。。It is a figure which shows the structural example of a cutting device typically. . 切削ユニットの構造を模式的に示す分解斜視図である。It is a disassembled perspective view which shows the structure of a cutting unit typically. 図３（Ａ）は、正常な切削ブレードを模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、正常な切削ブレードで切削された被加工物を模式的に示す断面図である。FIG. 3A is a cross-sectional view schematically showing a normal cutting blade, and FIG. 3B is a cross-sectional view schematically showing a workpiece cut by the normal cutting blade. 図４（Ａ）は、切り刃が屈折した切削ブレードを模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、切り刃が屈折した切削ブレードで切削された被加工物を模式的に示す断面図である。FIG. 4A is a cross-sectional view schematically showing a cutting blade having a refracted cutting edge, and FIG. 4B schematically shows a workpiece cut by the cutting blade having a refracted cutting edge. It is sectional drawing. 図５（Ａ）は、第１切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図であり、図５（Ｂ）は、第２切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図である。FIG. 5A is a sectional view schematically showing a first cutting groove forming step and the like, and FIG. 5B is a sectional view schematically showing a second cutting groove forming step and the like. 切削ブレードの屈折量等の関係を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the relationship of the refraction amount etc. of a cutting blade.

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法は、第１切削溝形成ステップ（図５（Ａ）参照）、第２切削溝形成ステップ（図５（Ｂ）参照）、測定ステップ（図５（Ａ）及び図５（Ｂ）参照）、算出ステップ（図５（Ａ）、図５（Ｂ）、及び図６参照）、判定ステップ、及び報知ステップを含む。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The cutting blade refraction detection method according to this embodiment includes a first cutting groove forming step (see FIG. 5A), a second cutting groove forming step (see FIG. 5B), and a measuring step (FIG. 5A). ) And FIG. 5B), a calculation step (see FIG. 5A, FIG. 5B, and FIG. 6), a determination step, and a notification step.

第１切削溝形成ステップでは、Ｙ軸方向で第１の基準位置に位置付けた切削ブレードを被加工物に切り込ませて、第１の深さの第１切削溝を形成する。第２切削溝形成ステップでは、Ｙ軸方向で第２の基準位置に位置付けた切削ブレードを被加工物に切り込ませて、第１の深さよりも深い第２の深さの第２切削溝を形成する。 In the first cutting groove forming step, the cutting blade positioned at the first reference position in the Y-axis direction is cut into the workpiece to form the first cutting groove having the first depth. In the second cutting groove forming step, a cutting blade positioned at the second reference position in the Y-axis direction is cut into the workpiece, and a second cutting groove having a second depth deeper than the first depth is formed. Form.

測定ステップでは、第１切削溝のＹ軸方向の位置と第２切削溝のＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する。算出ステップでは、第１切削溝のＹ軸方向の位置及び第２切削溝のＹ軸方向の位置を用いて、切削ブレードの屈折量を算出する。 In the measurement step, the position of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove in the Y-axis direction are measured. In the calculation step, the refractive amount of the cutting blade is calculated using the position of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove in the Y-axis direction.

判定ステップでは、算出された屈折量と、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、屈折量が閾値より大きい場合に切削ブレードが屈折していると判定する。報知ステップでは、切削ブレードが屈折していると判定された場合にアラームを発する。以下、本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法について詳述する。 In the determination step, the calculated refraction amount is compared with a preset threshold value, and when the refraction amount is larger than the threshold value, it is determined that the cutting blade is refracted. In the notification step, an alarm is issued when it is determined that the cutting blade is refracted. Hereinafter, a method for detecting refraction of a cutting blade according to the present embodiment will be described in detail.

まず、本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法が実施される切削装置の例について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置の構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、切削装置２は、各構造を支持する基台４を備えている。 First, an example of a cutting apparatus in which the method for detecting refraction of a cutting blade according to this embodiment is performed will be described. FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the cutting device 2 includes a base 4 that supports each structure.

基台４の前方の角部には、矩形の開口４ａが形成されており、この開口４ａ内には、カセット支持台６が昇降可能に設置されている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容する直方体状のカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。 A rectangular opening 4a is formed at the front corner of the base 4, and a cassette support base 6 is installed in the opening 4a so as to be movable up and down. A rectangular parallelepiped cassette 8 for accommodating a plurality of workpieces 11 is placed on the upper surface of the cassette support 6. In FIG. 1, only the outline of the cassette 8 is shown for convenience of explanation.

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハであり、下面側には、大径のダイシングテープ１３が貼り付けられている。ダイシングテープ１３の外周部分は、環状のフレーム１５に固定されている。すなわち、被加工物１１は、ダイシングテープ１３を介してフレーム１５に支持されている。 The workpiece 11 is, for example, a circular wafer made of a semiconductor material such as silicon, and a large-diameter dicing tape 13 is attached to the lower surface side. An outer peripheral portion of the dicing tape 13 is fixed to an annular frame 15. That is, the workpiece 11 is supported on the frame 15 via the dicing tape 13.

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円形のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状等に制限はない。例えば、セラミック、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１として用いることもできる。 In the present embodiment, a circular wafer made of a semiconductor material such as silicon is used as the workpiece 11. However, the material, shape, and the like of the workpiece 11 are not limited. For example, a substrate made of a material such as ceramic, resin, or metal can be used as the workpiece 11.

カセット支持台６の側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い矩形の開口４ｂが形成されている。この開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル１０、Ｘ軸移動テーブル１０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構（加工送り手段）（不図示）及びＸ軸移動機構を覆う防塵防滴カバー１２が設けられている。 A rectangular opening 4b that is long in the X-axis direction (front-rear direction, processing feed direction) is formed on the side of the cassette support base 6. Within this opening 4b, an X-axis moving table 10, an X-axis moving mechanism (processing feed means) (not shown) for moving the X-axis moving table 10 in the X-axis direction, and a dustproof and splashproof cover 12 that covers the X-axis moving mechanism Is provided.

Ｘ軸移動機構は、Ｘ軸方向に平行な一対のＸ軸ガイドレール（不図示）を備えており、Ｘ軸ガイドレールには、Ｘ軸移動テーブル１０がスライド可能に取り付けられている。Ｘ軸移動テーブル１０の下面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸ガイドレールに平行なＸ軸ボールネジ（不図示）が螺合されている。 The X-axis movement mechanism includes a pair of X-axis guide rails (not shown) parallel to the X-axis direction, and the X-axis movement table 10 is slidably attached to the X-axis guide rails. A nut portion (not shown) is provided on the lower surface side of the X-axis moving table 10, and an X-axis ball screw (not shown) parallel to the X-axis guide rail is screwed to the nut portion.

Ｘ軸ボールネジの一端部には、Ｘ軸パルスモータ（不図示）が連結されている。Ｘ軸パルスモータでＸ軸ボールネジを回転させることで、Ｘ軸移動テーブル１０は、Ｘ軸ガイドレールに沿ってＸ軸方向に移動する。 An X-axis pulse motor (not shown) is connected to one end of the X-axis ball screw. By rotating the X-axis ball screw with the X-axis pulse motor, the X-axis moving table 10 moves in the X-axis direction along the X-axis guide rail.

Ｘ軸移動テーブル１０の上方には、被加工物１１を保持するチャックテーブル１４が設けられている。チャックテーブル１４の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１５を四方から固定する４個のクランプ１６が設置されている。 A chuck table 14 for holding the workpiece 11 is provided above the X-axis moving table 10. Around the chuck table 14, four clamps 16 for fixing an annular frame 15 that supports the workpiece 11 from four directions are installed.

チャックテーブル１４は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１４は、上述のＸ軸移動機構でＸ軸方向に移動（加工送り）される。 The chuck table 14 is connected to a rotation drive source (not shown) such as a motor, and rotates around a rotation axis substantially parallel to the Z-axis direction (vertical direction). The chuck table 14 is moved (processed) in the X-axis direction by the X-axis moving mechanism described above.

チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１を保持する保持面１４ａとなっている。この保持面１４ａは、チャックテーブル１４の内部に形成された吸引路（不図示）等を通じて吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１４に近接する位置には、被加工物１１を搬送する搬送ユニット（不図示）が設けられている。 The upper surface of the chuck table 14 is a holding surface 14 a that holds the workpiece 11. The holding surface 14 a is connected to a suction source (not shown) through a suction path (not shown) formed inside the chuck table 14. A transport unit (not shown) for transporting the workpiece 11 is provided at a position close to the chuck table 14.

基台４の上面には、２組の切削ユニット（切削手段）２２を支持する門型の支持構造２４が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２４の前面上部には、各切削ユニット２２をＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構（割り出し送り手段、昇降手段）２６が設けられている。 On the upper surface of the base 4, a gate-type support structure 24 that supports two sets of cutting units (cutting means) 22 is disposed so as to straddle the opening 4 b. Two sets of cutting unit moving mechanisms (index feed means, lifting means) 26 for moving each cutting unit 22 in the Y-axis direction (left-right direction, index feed direction) and Z-axis direction are provided on the upper front surface of the support structure 24. It has been.

各切削ユニット移動機構２６は、支持構造２４の前面に配置されＹ軸方向に平行な一対のＹ軸ガイドレール２８を共通に備えている。Ｙ軸ガイドレール２８には、各切削ユニット移動機構２６を構成するＹ軸移動プレート３０がスライド可能に取り付けられている。 Each cutting unit moving mechanism 26 is commonly provided with a pair of Y-axis guide rails 28 arranged in front of the support structure 24 and parallel to the Y-axis direction. A Y-axis moving plate 30 constituting each cutting unit moving mechanism 26 is slidably attached to the Y-axis guide rail 28.

各Ｙ軸移動プレート３０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール２８に平行なＹ軸ボールネジ３２がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３２の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３４が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３４でＹ軸ボールネジ３２を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３０は、Ｙ軸ガイドレール２８に沿ってＹ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back side (rear side) of each Y-axis moving plate 30, and a Y-axis ball screw 32 parallel to the Y-axis guide rail 28 is screwed into each nut portion. Has been. A Y-axis pulse motor 34 is connected to one end of each Y-axis ball screw 32. When the Y-axis ball motor 32 is rotated by the Y-axis pulse motor 34, the Y-axis moving plate 30 moves in the Y-axis direction along the Y-axis guide rail 28.

各Ｙ軸移動プレート３０の表面（前面）には、Ｚ軸方向に平行な一対のＺ軸ガイドレール３６が設けられている。Ｚ軸ガイドレール３６には、Ｚ軸移動プレート３８がスライド可能に取り付けられている。 A pair of Z-axis guide rails 36 parallel to the Z-axis direction are provided on the surface (front surface) of each Y-axis moving plate 30. A Z-axis moving plate 38 is slidably attached to the Z-axis guide rail 36.

各Ｚ軸移動プレート３８の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３６に平行なＺ軸ボールネジ４０がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ４０の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４２が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４２でＺ軸ボールネジ４０を回転させれば、Ｚ軸移動プレート３８は、Ｚ軸ガイドレール３６に沿ってＺ軸方向に移動する。 A nut portion (not shown) is provided on the back surface side (rear surface side) of each Z-axis moving plate 38, and a Z-axis ball screw 40 parallel to the Z-axis guide rail 36 is screwed into each nut portion. Has been. A Z-axis pulse motor 42 is connected to one end of each Z-axis ball screw 40. When the Z-axis ball screw 40 is rotated by the Z-axis pulse motor 42, the Z-axis moving plate 38 moves in the Z-axis direction along the Z-axis guide rail 36.

各Ｚ軸移動プレート３８の下部には、切削ユニット２２が設けられている。この切削ユニット２２には、円環状の切削ブレード４６が装着されている。また、切削ユニット２２に隣接する位置には、被加工物１１等を撮像するカメラ（撮像手段）４８が設置されている。 A cutting unit 22 is provided below each Z-axis moving plate 38. An annular cutting blade 46 is attached to the cutting unit 22. A camera (imaging means) 48 that images the workpiece 11 and the like is installed at a position adjacent to the cutting unit 22.

各切削ユニット移動機構２６でＹ軸移動プレート３０をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及びカメラ４８は、Ｘ軸方向に垂直なＹ軸方向に移動（割り出し送り）される。また、各切削ユニット移動機構２６でＺ軸移動プレート３８をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２２及びカメラ４８は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に垂直なＺ軸方向に移動（昇降）される。 If the Y-axis moving plate 30 is moved in the Y-axis direction by each cutting unit moving mechanism 26, the cutting unit 22 and the camera 48 are moved (indexed) in the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction. Further, if the Z-axis moving plate 38 is moved in the Z-axis direction by each cutting unit moving mechanism 26, the cutting unit 22 and the camera 48 move (elevate) in the Z-axis direction perpendicular to the X-axis direction and the Y-axis direction. Is done.

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、円形の開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削後の被加工物１１等を洗浄する洗浄ユニット５０が設けられている。Ｘ軸移動機構、チャックテーブル１４、切削ユニット２２、切削ユニット移動機構２６、カメラ４８、洗浄ユニット５０等の構成要素は、制御ユニット５２に接続されている。 A circular opening 4c is formed at a position opposite to the opening 4a with respect to the opening 4b. A cleaning unit 50 is provided in the opening 4c for cleaning the workpiece 11 after cutting. Components such as the X-axis moving mechanism, the chuck table 14, the cutting unit 22, the cutting unit moving mechanism 26, the camera 48, and the cleaning unit 50 are connected to the control unit 52.

制御ユニット５２は、各種の処理を行う演算部５２ａと、制御用のソフトウェアや切削条件、切削ブレード４６が屈折しているか否かを判定する際の判定基準（閾値）等を記憶する記憶部５２ｂと、を備えており、被加工物１１を適切に切削できるように各部の動作を制御する。 The control unit 52 stores a calculation unit 52a that performs various processes, a control software, cutting conditions, a determination criterion (threshold value) for determining whether the cutting blade 46 is refracted, and the like. And controls the operation of each part so that the workpiece 11 can be appropriately cut.

図２は、切削ユニット２２の構造を模式的に示す分解斜視図である。なお、図２では、切削ユニット２２の構成要素の一部が省略されている。切削ユニット２２は、Ｚ軸移動プレート３８の下部に固定された筒状のスピンドルハウジング５４を備えている。スピンドルハウジング５４の内部には、Ｙ軸方向に平行な回転軸を構成するスピンドル５６が収容されている。 FIG. 2 is an exploded perspective view schematically showing the structure of the cutting unit 22. In FIG. 2, some of the components of the cutting unit 22 are omitted. The cutting unit 22 includes a cylindrical spindle housing 54 fixed to the lower part of the Z-axis moving plate 38. The spindle housing 54 accommodates a spindle 56 that constitutes a rotation axis parallel to the Y-axis direction.

スピンドル５６の一端部は、スピンドルハウジング５４から外部に突出している。一方、スピンドル５６の他端側には、スピンドル５６を回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。 One end of the spindle 56 protrudes from the spindle housing 54 to the outside. On the other hand, a rotation drive source (not shown) such as a motor for rotating the spindle 56 is connected to the other end side of the spindle 56.

このスピンドル５６の一端部には、フランジ部材５８が装着される。フランジ部材５８は、円盤状のフランジ部６０と、フランジ部６０の表裏面中央からそれぞれ突き出た第１ボス部６２及び第２ボス部６４と、を含む。フランジ部材５８の中央には、第１ボス部６２、フランジ部６０及び第２ボス部６４を貫通する開口５８ａが形成されている。 A flange member 58 is attached to one end of the spindle 56. The flange member 58 includes a disk-shaped flange portion 60, and a first boss portion 62 and a second boss portion 64 that protrude from the front and back surface centers of the flange portion 60, respectively. In the center of the flange member 58, an opening 58a that penetrates the first boss portion 62, the flange portion 60, and the second boss portion 64 is formed.

フランジ部材５８の開口５８ａには、裏面側（スピンドルハウジング５４側）からスピンドル５６の一端部が嵌め込まれる。この状態で、開口５８ａ内にワッシャー６６を配置し、当該ワッシャー６６を通じて固定用のボルト６８をスピンドル５６のボルト穴５６ａに締め込めば、フランジ部材５８はスピンドル５６に固定される。 One end of the spindle 56 is fitted into the opening 58a of the flange member 58 from the back surface side (spindle housing 54 side). In this state, if the washer 66 is disposed in the opening 58 a and the fixing bolt 68 is tightened into the bolt hole 56 a of the spindle 56 through the washer 66, the flange member 58 is fixed to the spindle 56.

フランジ部６０の外周側の表面は、切削ブレード４６の裏面に接する接触面６０ａとなる。この接触面６０ａは、スピンドル５６の軸心方向（Ｙ軸方向）から見て円環状に形成されている。 The outer peripheral surface of the flange portion 60 serves as a contact surface 60 a that contacts the back surface of the cutting blade 46. The contact surface 60 a is formed in an annular shape when viewed from the axial center direction (Y-axis direction) of the spindle 56.

第１ボス部６２は円筒状に形成されており、その先端側の外周面６２ａには、ネジ山が設けられている。切削ブレード４６の中央には、円形の開口４６ａが形成されている。この開口４６ａに第１ボス部６２を通すことで、切削ブレード４６は、フランジ部材５８に装着される。 The first boss portion 62 is formed in a cylindrical shape, and a screw thread is provided on the outer peripheral surface 62a on the tip side. A circular opening 46 a is formed at the center of the cutting blade 46. The cutting blade 46 is mounted on the flange member 58 by passing the first boss portion 62 through the opening 46a.

切削ブレード４６は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の支持基台７０の外周に、被加工物１１を切削するための円環状の切り刃７２が固定されている。切り刃７２は、例えば、金属や樹脂等のボンド材（結合材）に、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒を混合して所定の厚みに形成される。なお、切削ブレード４６として、切り刃のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。 The cutting blade 46 is a so-called hub blade, and an annular cutting blade 72 for cutting the workpiece 11 is fixed to the outer periphery of a disc-shaped support base 70. The cutting blade 72 is formed to have a predetermined thickness by mixing abrasives such as diamond and CBN (Cubic Boron Nitride) with a bond material (bonding material) such as metal or resin. As the cutting blade 46, a washer blade composed only of a cutting blade may be used.

この切削ブレード４６をフランジ部材５８に装着した状態で、切削ブレード４６の表面側には、円環状のプレート部材７４が配置される。プレート部材７４の中央部には、円形の開口７４ａが形成されており、当該開口７４ａの内壁面には、第１ボス部６２の外周面６２ａに形成されたネジ山に対応するネジ溝が設けられている。 An annular plate member 74 is disposed on the surface side of the cutting blade 46 with the cutting blade 46 mounted on the flange member 58. A circular opening 74 a is formed at the center of the plate member 74, and a screw groove corresponding to a thread formed on the outer peripheral surface 62 a of the first boss 62 is provided on the inner wall surface of the opening 74 a. It has been.

プレート部材７４の外周側の裏面は、切削ブレード４６の表面に接する接触面（不図示）となる。接触面は、フランジ部材５８の接触面６０ａに対応する位置に設けられている。プレート部材７４の開口７４ａに、第１ボス部６２の先端を締め込むことで、切削ブレード４６は、フランジ部材５８とプレート部材７４とで挟持される。 The back surface on the outer peripheral side of the plate member 74 serves as a contact surface (not shown) in contact with the surface of the cutting blade 46. The contact surface is provided at a position corresponding to the contact surface 60 a of the flange member 58. The cutting blade 46 is sandwiched between the flange member 58 and the plate member 74 by tightening the tip of the first boss portion 62 into the opening 74 a of the plate member 74.

このように構成された切削装置２で被加工物１１を切削する際には、まず、被加工物１１をカセット８から搬出してチャックテーブル１４に保持させる。次に、チャックテーブル１４を回転させて、被加工物１１に設定されている切削予定ラインをＸ軸方向に合わせる。また、チャックテーブル１４と切削ユニット２２とを相対的に移動させて、切削予定ラインの延長線上に切削ブレード４６を合わせる。 When cutting the workpiece 11 with the cutting apparatus 2 configured in this way, first, the workpiece 11 is unloaded from the cassette 8 and held on the chuck table 14. Next, the chuck table 14 is rotated to align the planned cutting line set on the workpiece 11 with the X-axis direction. Further, the chuck table 14 and the cutting unit 22 are relatively moved, and the cutting blade 46 is aligned with the extended line of the scheduled cutting line.

その後、切削ブレード４６を回転させつつ被加工物１１に接触可能な高さまで下降させ、更に、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動（加工送り）させる。これにより、切削予定ラインに沿って切削ブレード４６を切り込ませて被加工物１１を切削できる。切削後の被加工物１１は、例えば、チャックテーブル１４から搬出されて、洗浄ユニット５０で洗浄される。 Thereafter, the cutting blade 46 is rotated and lowered to a height at which the workpiece 11 can be contacted, and the chuck table 14 is moved (processed) in the X-axis direction. Thereby, the workpiece 11 can be cut by cutting the cutting blade 46 along the planned cutting line. For example, the workpiece 11 after cutting is unloaded from the chuck table 14 and cleaned by the cleaning unit 50.

図３（Ａ）は、正常な切削ブレード４６を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、正常な切削ブレード４６で切削された被加工物１１を模式的に示す断面図である。図３（Ａ）及び図３（Ｂ）に示すように、切り刃７２が屈折していない正常な切削ブレード４６で被加工物１１を切削すると、切削ブレード４６が切り込まれた被加工物１１の上面１１ａ側には、Ｚ軸方向に平行な側面を持つ切削溝１７が形成される。 3A is a cross-sectional view schematically showing a normal cutting blade 46, and FIG. 3B is a cross-sectional view schematically showing the workpiece 11 cut by the normal cutting blade 46. As shown in FIG. is there. As shown in FIGS. 3A and 3B, when the workpiece 11 is cut with a normal cutting blade 46 in which the cutting blade 72 is not refracted, the workpiece 11 into which the cutting blade 46 has been cut. A cutting groove 17 having a side surface parallel to the Z-axis direction is formed on the upper surface 11a side.

一方で、切削時に加わる外力等によって切り刃７２が屈折すると、切り刃７２の形状に応じて切削溝１７の側面も傾斜してしまう。図４（Ａ）は、切り刃７２が屈折した切削ブレード４６を模式的に示す断面図であり、図４（Ｂ）は、切り刃７２が屈折した切削ブレード４６で切削された被加工物１１を模式的に示す断面図である。 On the other hand, when the cutting blade 72 is refracted by an external force applied at the time of cutting, the side surface of the cutting groove 17 is also inclined according to the shape of the cutting blade 72. FIG. 4A is a cross-sectional view schematically showing the cutting blade 46 refracted by the cutting blade 72, and FIG. 4B shows the workpiece 11 cut by the cutting blade 46 refracted by the cutting blade 72. It is sectional drawing which shows this typically.

本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法では、このような加工精度の低下を防ぐことができるように、切削ブレード４６（切り刃７２）が屈折しているか否かを検出する。なお、切削ブレードの屈折検出方法を構成する以下の各ステップは、制御ユニット５２の指示に基づいて遂行される。 In the cutting blade refraction detection method according to the present embodiment, it is detected whether or not the cutting blade 46 (cutting blade 72) is refracted so as to prevent such a reduction in processing accuracy. The following steps constituting the cutting blade refraction detection method are performed based on instructions from the control unit 52.

本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法では、まず、第１の深さの第１切削溝を被加工物１１に形成する第１切削溝形成ステップを実施する。図５（Ａ）は、第１切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図である。この第１切削溝形成ステップでは、まず、被加工物１１を保持したチャックテーブル１４と切削ユニット２２とを相対的に移動させて、第１切削溝が形成される第１切削溝形成予定ライン（不図示）の延長線上に切削ブレード４６を合わせる。 In the refraction detection method for a cutting blade according to the present embodiment, first, a first cutting groove forming step for forming a first cutting groove having a first depth on the workpiece 11 is performed. FIG. 5A is a cross-sectional view schematically showing a first cutting groove forming step and the like. In the first cutting groove forming step, first, the chuck table 14 holding the workpiece 11 and the cutting unit 22 are relatively moved to form a first cutting groove formation planned line (a first cutting groove forming line ( The cutting blade 46 is aligned with the extended line (not shown).

具体的には、Ｙ軸方向で第１切削溝形成予定ラインに対応する第１の基準位置ｙ１に切削ブレード４６を位置付ける。そして、この切削ブレード４６を回転させつつ被加工物１１に接触可能な第１の高さまで下降させ、更に、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動（加工送り）させる。これにより、被加工物１１の上面１１ａ側に切削ブレード４６を切り込ませて、第１の深さｚ１の第１切削溝１７ａをＸ軸方向に形成できる。 Specifically, the cutting blade 46 is positioned at the first reference position y1 corresponding to the first cutting groove formation scheduled line in the Y-axis direction. Then, while rotating the cutting blade 46, the cutting blade 46 is lowered to a first height at which the workpiece 11 can be contacted, and the chuck table 14 is moved (processed feed) in the X-axis direction. Thereby, the cutting blade 46 can be cut into the upper surface 11a side of the workpiece 11, and the first cutting groove 17a having the first depth z1 can be formed in the X-axis direction.

第１切削溝形成ステップの後には、第１の深さｚ１よりも深い第２の深さの第２切削溝を被加工物１１に形成する第２切削溝形成ステップを実施する。図５（Ｂ）は、第２切削溝形成ステップ等を模式的に示す断面図である。第２切削溝形成ステップでは、まず、被加工物１１を保持したチャックテーブル１４と切削ユニット２２とを相対的に移動させて、第２切削溝が形成される第２切削溝形成予定ライン（不図示）の延長線上に切削ブレード４６を合わせる。 After the first cutting groove forming step, a second cutting groove forming step for forming a second cutting groove having a second depth deeper than the first depth z1 on the workpiece 11 is performed. FIG. 5B is a cross-sectional view schematically showing a second cutting groove forming step and the like. In the second cutting groove forming step, first, the chuck table 14 holding the workpiece 11 and the cutting unit 22 are relatively moved to form a second cutting groove forming line (non-cutting line) on which the second cutting groove is formed. The cutting blade 46 is aligned with the extended line (shown).

具体的には、Ｙ軸方向で第２切削溝形成予定ラインに対応する第２の基準位置ｙ２に切削ブレード４６を位置付ける。なお、第２の基準位置ｙ２は、上述した第１の基準位置ｙ１とは異なる位置に設定されることが望ましい。ただし、第１切削溝１７ａと重ならない第２切削溝１７ｂを形成できるのであれば、第１の基準位置ｙ１と同じ位置に第２の基準位置ｙ２を設定しても良い。本実施形態では、主に、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが異なる場合について説明する。 Specifically, the cutting blade 46 is positioned at the second reference position y2 corresponding to the second cutting groove formation scheduled line in the Y-axis direction. Note that the second reference position y2 is preferably set to a position different from the first reference position y1 described above. However, as long as the second cutting groove 17b that does not overlap the first cutting groove 17a can be formed, the second reference position y2 may be set at the same position as the first reference position y1. In the present embodiment, a case where the first reference position y1 and the second reference position y2 are different will be mainly described.

次に、切削ブレード４６を回転させつつ被加工物１１に接触可能な第２の高さまで下降させ、更に、チャックテーブル１４をＸ軸方向に移動させる。ここで、第２の高さは、第１の高さより低くなるように設定される。すなわち、第２切削溝形成ステップでは、第１切削溝形成ステップよりもチャックテーブル１４の保持面１４ａに近い位置に切削ブレード４６が位置付けられる。これにより、被加工物１１の上面１１ａ側に切削ブレード４６を切り込ませて、第１の深さｚ１よりも深い第２の深さｚ２の第２切削溝１７ｂをＸ軸方向に形成できる。 Next, while rotating the cutting blade 46, the cutting blade 46 is lowered to a second height at which it can contact the workpiece 11, and the chuck table 14 is further moved in the X-axis direction. Here, the second height is set to be lower than the first height. That is, in the second cutting groove forming step, the cutting blade 46 is positioned closer to the holding surface 14a of the chuck table 14 than in the first cutting groove forming step. Thereby, the cutting blade 46 is cut into the upper surface 11a side of the workpiece 11, and the second cutting groove 17b having a second depth z2 deeper than the first depth z1 can be formed in the X-axis direction.

なお、上述した第１切削溝形成ステップ及び第２切削溝形成ステップでは、第１の基準位置ｙ１及び第２の基準位置ｙ２がそれぞれ設定されても良いし、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２との位置関係（代表的には、オフセット量（ｙ１−ｙ２））のみが設定されても良い。少なくとも、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２との位置関係が分かれば、後の算出ステップで切削ブレード４６の屈折量を算出できる。 In the first cutting groove forming step and the second cutting groove forming step described above, the first reference position y1 and the second reference position y2 may be set, respectively, or the first reference position y1 and the second reference position y2 may be set. Only the positional relationship with the reference position y2 (typically, the offset amount (y1-y2)) may be set. If at least the positional relationship between the first reference position y1 and the second reference position y2 is known, the amount of refraction of the cutting blade 46 can be calculated in a later calculation step.

切削ブレード４６（切り刃７２）が屈折している場合には、上述の第１切削溝形成ステップで形成される第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置は、切削ブレード４６の第１の高さに応じて第１の基準位置ｙ１からずれる。同様に、第２切削溝形成ステップで形成される第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置も、切削ブレード４６の第２の高さに応じて第２の基準位置ｙ２からずれる。 When the cutting blade 46 (cutting blade 72) is refracted, the position of the first cutting groove 17a formed in the first cutting groove forming step in the Y-axis direction is the first height of the cutting blade 46. Accordingly, the position deviates from the first reference position y1. Similarly, the position of the second cutting groove 17b formed in the second cutting groove forming step in the Y-axis direction is also shifted from the second reference position y2 according to the second height of the cutting blade 46.

そこで、第１切削溝形成ステップ及び第２切削溝形成ステップの後には、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置と第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置とをそれぞれ測定する測定ステップを実施する。測定ステップでは、まず、カメラ４８を第１切削溝１７ａ及び第２切削溝１７ｂの上方に移動させて、被加工物１１の上面１１ａ側をそれぞれ撮像する。これにより、第１切削溝１７ａの開口を含む画像と、第２切削溝１７ｂの開口を含む画像とが形成される。形成された画像は、記憶部５２ｂに記憶される。 Therefore, after the first cutting groove forming step and the second cutting groove forming step, measurement steps for measuring the position of the first cutting groove 17a in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove 17b in the Y-axis direction, respectively. carry out. In the measurement step, first, the camera 48 is moved above the first cutting groove 17a and the second cutting groove 17b to image the upper surface 11a side of the workpiece 11 respectively. Thereby, an image including the opening of the first cutting groove 17a and an image including the opening of the second cutting groove 17b are formed. The formed image is stored in the storage unit 52b.

次に、制御ユニット５２は、上述の画像に基づいて、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´と、第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´と、をそれぞれ求める（図５（Ａ）、図５（Ｂ））。制御ユニット５２にとって、画像形成時のカメラ４８の位置（座標）は既知なので、形成された画像に基づいて、位置ｙ１´と位置ｙ２´とを求めることができる。図５（Ａ）及び図５（Ｂ）には、第１の基準位置ｙ１と位置ｙ１´とのずれ量Δｙ１及び第２の基準位置ｙ２と位置ｙ２´とのずれ量Δｙ２を併せて示している。 Next, the control unit 52 obtains the position y1 ′ of the first cutting groove 17a in the Y-axis direction and the position y2 ′ of the second cutting groove 17b in the Y-axis direction based on the above-described images (FIG. 5 (A), FIG. 5 (B)). Since the position (coordinates) of the camera 48 at the time of image formation is known to the control unit 52, the position y1 ′ and the position y2 ′ can be obtained based on the formed image. FIGS. 5A and 5B also show a deviation amount Δy1 between the first reference position y1 and the position y1 ′ and a deviation amount Δy2 between the second reference position y2 and the position y2 ′. Yes.

なお、本実施形態では、第１切削溝１７ａの開口を幅方向（Ｙ軸方向）に二等分する点を位置ｙ１´とし、第２切削溝１７ｂの開口を幅方向（Ｙ軸方向）に二等分する点を位置ｙ２´としているが、本発明はこの態様に限定されない。例えば、第１切削溝１７ａの開口の縁を第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置とし、第２切削溝１７ｂの開口の縁を第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置としても良い。このようにして求められた位置ｙ１´と位置ｙ２´とは、記憶部５２ｂに記憶される。 In the present embodiment, the point at which the opening of the first cutting groove 17a is bisected in the width direction (Y-axis direction) is defined as a position y1 ′, and the opening of the second cutting groove 17b is in the width direction (Y-axis direction). Although the point of bisection is set as the position y2 ′, the present invention is not limited to this mode. For example, the edge of the opening of the first cutting groove 17a may be the position of the first cutting groove 17a in the Y-axis direction, and the edge of the opening of the second cutting groove 17b may be the position of the second cutting groove 17b in the Y-axis direction. The position y1 ′ and the position y2 ′ thus determined are stored in the storage unit 52b.

測定ステップの後には、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´及び第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´に基づいて切削ブレードの屈折量を算出する算出ステップを実施する。本実施形態では、この屈折量として、切削ブレード４６の傾きを算出する。図６は、切削ブレード４６の傾き等の関係を模式的に示す図である。 After the measurement step, a calculation step of calculating the refraction amount of the cutting blade based on the position y1 ′ of the first cutting groove 17a in the Y-axis direction and the position y2 ′ of the second cutting groove 17b in the Y-axis direction is performed. In the present embodiment, the inclination of the cutting blade 46 is calculated as the amount of refraction. FIG. 6 is a diagram schematically showing a relationship such as the inclination of the cutting blade 46.

図６に示すように、切削ブレード４６の傾き（屈折量）θは、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´、第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´、第１の基準位置ｙ１及び第２の基準位置ｙ２（又は、これらの位置関係（ｙ１−ｙ２））を用いて、下記式（１）で表現される。 As shown in FIG. 6, the inclination (refractive amount) θ of the cutting blade 46 is determined by the position y1 ′ of the first cutting groove 17a in the Y-axis direction, the position y2 ′ of the second cutting groove 17b in the Y-axis direction, Using the reference position y1 and the second reference position y2 (or their positional relationship (y1-y2)), it is expressed by the following formula (1).

すなわち、切削ブレード４６の傾きθは、下記式（２）から算出される。なお、｜ｚ１−ｚ２｜の値は、第１切削溝形成ステップにおける切削ブレード４６の第１の高さと、第２切削溝形成ステップにおける切削ブレード４６の第２の高さとの差に相当し、制御ユニット５２にとって既知である。傾きθの算出は、演算部５２ａで遂行され、算出された傾きθは、記憶部５２ｂに記憶される。 That is, the inclination θ of the cutting blade 46 is calculated from the following equation (2). The value of | z1-z2 | corresponds to the difference between the first height of the cutting blade 46 in the first cutting groove forming step and the second height of the cutting blade 46 in the second cutting groove forming step, Known to the control unit 52. The calculation of the inclination θ is performed by the calculation unit 52a, and the calculated inclination θ is stored in the storage unit 52b.

算出ステップの後には、算出された傾き（屈折量）θと、あらかじめ設定されている閾値と、を比較して、屈折量が閾値より大きい場合に切削ブレード４６が屈折していると判定する判定ステップを実施する。具体的には、記憶部５２ｂにあらかじめ記憶されている閾値θ_ｔｈと、算出ステップで算出された傾きθと、を比較して、例えば、θ＞θ_ｔｈを満たす場合に切削ブレード４６が屈折していると判定する。閾値θ_ｔｈは、加工装置２に要求される加工精度等に応じて任意に設定できる。また、この比較は、演算部５２ａにおいて遂行される。 After the calculation step, the calculated inclination (refractive amount) θ is compared with a preset threshold value, and it is determined that the cutting blade 46 is refracted when the refractive amount is larger than the threshold value. Perform the steps. Specifically, the threshold value θ _th stored in advance in the storage unit 52b is compared with the inclination θ calculated in the calculation step. For example, when θ> θ _th is satisfied, the cutting blade 46 is refracted. It is determined that The threshold value _θth can be arbitrarily set according to the processing accuracy required for the processing apparatus 2. This comparison is performed in the calculation unit 52a.

判定ステップにおいて切削ブレード４６が屈折していると判定された場合には、オペレータ等に対してアラームを発する報知ステップを実施する。アラームとしては、例えば、警告灯の点灯や、スピーカーからの警告音の発生、ディスプレイへの警告表示等が任意に用いられる。 If it is determined in the determination step that the cutting blade 46 is refracted, a notification step for issuing an alarm to the operator or the like is performed. As the alarm, for example, lighting of a warning light, generation of a warning sound from a speaker, warning display on a display, and the like are arbitrarily used.

以上のように、本実施形態に係る切削ブレードの屈折検出方法では、被加工物１１に対する切り込み深さを変えて形成される第１切削溝１７ａと第２切削溝１７ｂとの位置を用いて、切削ブレード４６が屈折しているか否かを検出するので、従来のように、切削装置２を停止させたり、切断面を顕微鏡等で観察したりする必要がない。そのため、切削装置２に装着された切削ブレード４６が屈折しているか否かを効率良く検出できる。 As described above, in the refraction detection method for a cutting blade according to the present embodiment, using the positions of the first cutting groove 17a and the second cutting groove 17b formed by changing the cutting depth with respect to the workpiece 11, Since it is detected whether or not the cutting blade 46 is refracted, there is no need to stop the cutting device 2 or observe the cut surface with a microscope or the like as in the prior art. Therefore, it can be efficiently detected whether or not the cutting blade 46 attached to the cutting device 2 is refracted.

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが異なる場合について説明しているが、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが同じ場合にも、同様の手順で切削ブレード４６が屈折しているか否かを検出できる。 In addition, this invention is not limited to description of the said embodiment, A various change can be implemented. For example, in the above embodiment, the case where the first reference position y1 and the second reference position y2 are different from each other has been described. However, even when the first reference position y1 and the second reference position y2 are the same, It is possible to detect whether or not the cutting blade 46 is refracted by the same procedure.

この場合には、ｙ１＝ｙ２であり、ｙ１−ｙ２＝０となる。よって、切削ブレード４６の傾き（屈折量）θは、この条件を上記式（１）に代入した下記式（３）で表現される。 In this case, y1 = y2 and y1-y2 = 0. Therefore, the inclination (refractive amount) θ of the cutting blade 46 is expressed by the following formula (3) in which this condition is substituted into the above formula (1).

すなわち、切削ブレード４６の傾きθは、下記式（４）から算出される。式（４）から、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２とが同じ場合には、第１切削溝のＹ軸方向の位置ｙ１´及び第２切削溝のＹ軸方向の位置ｙ２´を用い、第１の基準位置ｙ１及び第２の基準位置ｙ２（これらの位置関係（ｙ１−ｙ２））を用いることなく切削ブレード４６の傾きθを算出できるのが分かる。傾きθの算出は、演算部５２ａで遂行され、算出された傾きθは、記憶部５２ｂに記憶される。 That is, the inclination θ of the cutting blade 46 is calculated from the following equation (4). From Expression (4), when the first reference position y1 and the second reference position y2 are the same, the position y1 ′ of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position y2 of the second cutting groove in the Y-axis direction. It can be seen that the inclination θ of the cutting blade 46 can be calculated without using the first reference position y1 and the second reference position y2 (these positional relationships (y1-y2)). The calculation of the inclination θ is performed by the calculation unit 52a, and the calculated inclination θ is stored in the storage unit 52b.

また、上記実施形態では、第１切削溝形成ステップの後に、第２切削溝形成ステップを実施しているが、第２切削溝形成ステップの後に、第１切削溝形成ステップを実施しても良い。 In the above embodiment, the second cutting groove forming step is performed after the first cutting groove forming step. However, the first cutting groove forming step may be performed after the second cutting groove forming step. .

また、上記実施形態では、第１切削溝形成ステップ及び第２切削溝形成ステップの後に測定ステップを実施しているが、例えば、第１切削溝形成ステップの後に、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´を測定し、第２切削溝形成ステップの後に、第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´を測定することもできる。 Moreover, in the said embodiment, although the measurement step is implemented after the 1st cutting groove formation step and the 2nd cutting groove formation step, for example, after the 1st cutting groove formation step, the Y-axis of the 1st cutting groove 17a The position y1 ′ in the direction can be measured, and the position y2 ′ in the Y-axis direction of the second cutting groove 17b can also be measured after the second cutting groove forming step.

更に、上記実施形態では、屈折量として、切削ブレード４６の傾きθを算出しているが、第１切削溝１７ａのＹ軸方向の位置ｙ１´と第２切削溝１７ｂのＹ軸方向の位置ｙ２´との差から、第１の基準位置ｙ１と第２の基準位置ｙ２との差（オフセット量）を引いた値｜ｙ１´−ｙ２´−（ｙ１−ｙ２）｜等を屈折量としても良い。 Further, in the above embodiment, the inclination θ of the cutting blade 46 is calculated as the amount of refraction, but the position y1 ′ of the first cutting groove 17a in the Y-axis direction and the position y2 of the second cutting groove 17b in the Y-axis direction. A value of | y1′−y2 ′ − (y1−y2) | or the like obtained by subtracting the difference (offset amount) between the first reference position y1 and the second reference position y2 from the difference between “′” may be used as the amount of refraction. .

また、上記実施形態では、判定ステップにおいて切削ブレード４６が屈折していると判定された場合に報知ステップを実施しているが、切削ブレード４６の交換作業を自動で行う場合等には、報知ステップを省略することもできる。 In the above embodiment, the notification step is performed when it is determined in the determination step that the cutting blade 46 is refracted. However, when the cutting blade 46 is automatically replaced, the notification step is performed. Can be omitted.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.

１１被加工物
１１ａ上面
１３ダイシングテープ
１５フレーム
１７切削溝
１７ａ第１切削溝
１７ｂ第２切削溝
θ 傾き（屈折量）
２切削装置
４基台
４ａ，４ｂ，４ｃ開口
６カセット支持台
８カセット
１０Ｘ軸移動テーブル
１２防塵防滴カバー
１４チャックテーブル
１４ａ保持面
１６クランプ
２２切削ユニット（切削手段）
２４支持構造
２６切削ユニット移動機構（割り出し送り手段）
２８Ｙ軸ガイドレール
３０Ｙ軸移動プレート
３２Ｙ軸ボールネジ
３４Ｙ軸パルスモータ
３６Ｚ軸ガイドレール
３８Ｚ軸移動プレート
４０Ｚ軸ボールネジ
４２Ｚ軸パルスモータ
４６切削ブレード
４６ａ開口
４８カメラ（撮像手段）
５０洗浄ユニット
５２制御ユニット
５２ａ演算部
５２ｂ記憶部
５４スピンドルハウジング
５６スピンドル
５６ａボルト穴
５８フランジ部材
５８ａ開口
６０フランジ部
６０ａ接触面
６２第１ボス部
６２ａ外周面
６４第２ボス部
６６ワッシャー
６８ボルト
７０支持基台
７２切り刃
７４プレート部材
７４ａ開口 11 Workpiece 11a Upper surface 13 Dicing tape 15 Frame 17 Cutting groove 17a First cutting groove 17b Second cutting groove θ Inclination (refractive amount)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 2 Cutting device 4 Base 4a, 4b, 4c Opening 6 Cassette support stand 8 Cassette 10 X-axis movement table 12 Dust-proof drip-proof cover 14 Chuck table 14a Holding surface 16 Clamp 22 Cutting unit (cutting means)
24 Support structure 26 Cutting unit moving mechanism (index feed means)
28 Y-axis guide rail 30 Y-axis moving plate 32 Y-axis ball screw 34 Y-axis pulse motor 36 Z-axis guide rail 38 Z-axis moving plate 40 Z-axis ball screw 42 Z-axis pulse motor 46 Cutting blade 46a Opening 48 Camera (imaging means)
50 cleaning unit 52 control unit 52a arithmetic unit 52b storage unit 54 spindle housing 56 spindle 56a bolt hole 58 flange member 58a opening 60 flange portion 60a contact surface 62 first boss portion 62a outer peripheral surface 64 second boss portion 66 washer 68 bolt 70 support Base 72 Cutting blade 74 Plate member 74a Opening

Claims

A chuck table for holding a workpiece, a cutting means for cutting the workpiece held on the chuck table with a cutting blade, a machining feed means for moving the chuck table in the X-axis direction, and the cutting means A cutting blade for detecting whether or not the cutting blade of a cutting apparatus includes an indexing feeding means that moves in a Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction and an imaging means that images the workpiece. A refraction detection method comprising:
While moving the chuck table holding the workpiece in the X-axis direction, the cutting blade positioned at the first reference position in the Y-axis direction is cut into the workpiece to obtain a first depth. A first cutting groove forming step of forming a first cutting groove of
While moving the chuck table holding the workpiece in the X-axis direction, the cutting blade positioned at the second reference position in the Y-axis direction is cut into the workpiece, and from the first depth A second cutting groove forming step of forming a second cutting groove having a deep second depth;
Measurement of imaging the first cutting groove and the second cutting groove with the imaging means and measuring the position of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove in the Y-axis direction, respectively. Steps,
A calculation step of calculating the amount of refraction of the cutting blade using the position of the first cutting groove in the Y-axis direction and the position of the second cutting groove in the Y-axis direction;
A step of comparing the amount of refraction with a preset threshold value and determining that the cutting blade is refracted when the amount of refraction is greater than the threshold value. Cutting blade refraction detection method.

When the first reference position and the second reference position are the same,
2. The cutting blade according to claim 1, wherein in the calculating step, the amount of refraction of the cutting blade is calculated without using the first reference position, the second reference position, and the positional relationship thereof. Refraction detection method.

When the first reference position and the second reference position are different,
2. The cutting blade according to claim 1, wherein in the calculating step, the refraction amount of the cutting blade is calculated by further using the first reference position and the second reference position, or the positional relationship thereof. Refraction detection method.

The method for detecting refraction of a cutting blade according to any one of claims 1 to 3, further comprising a notifying step for issuing an alarm when it is determined that the cutting blade is refracted in the determining step. .