JP2017063104A - インターフェース装置、インターフェースユニット、プローブ装置及び接続方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明のインターフェース装置において、前記支持部は、ベース部材と、前記ベース部材に連結され、内部に空洞部分を有するとともに、前記コネクタを保持するホルダと、前記ベース部材と前記ホルダとの間に介在し、前記ホルダを前記外部のコネクタに向けて付勢する付勢手段と、前記ベース部材に固定されるとともに前記ホルダの空洞部分に遊びを以て挿入された連結部材と、を有している。
そして、本発明のインターフェース装置は、前記付勢手段の付勢力によって前記ホルダを前記ベース部材から第1の間隔に離間させた状態で、前記連結部材が前記空洞部分の内壁に係合することにより、前記ベース部材に対して前記ホルダが固定される。
また、本発明のインターフェース装置は、前記ベース部材と前記ホルダが前記付勢力に抗して前記第1の間隔よりも小さな第2の間隔に近接した状態で、前記連結部材が前記空洞部分の内壁から離間することによって、前記ベース部材に対して前記ホルダの遊動が許容される。
本発明の接続方法は、前記付勢手段の付勢力によって前記ホルダを前記ベース部材から第1の間隔に離間させた状態で、前記コネクタと前記外部のコネクタとを大まかに位置合わせするステップと、
前記コネクタと前記外部のコネクタとを押し合わせることによって、前記ベース部材と前記ホルダが前記付勢力に抗して前記第1の間隔よりも小さな第2の間隔L2に近接した状態で、前記ホルダの遊動を利用して前記コネクタと前記外部のコネクタとを精密に位置合わせするステップと、
前記コネクタと前記外部のコネクタとをさらに押し合わせることによって、前記コネクタと前記外部のコネクタとを嵌合させるステップと、
を含む。
[プローブ装置]
図1は、本発明の一実施の形態に係るプローブ装置100の概略構成を示す断面図である。本実施の形態のプローブ装置100は、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と記すことがある)Wに形成された半導体デバイス等のデバイス(図示せず)の電気的特性の検査を行うものである。
次に、図2及び図3を参照しながら、インターフェース部25を構成する本実施の形態に係るインターフェース装置について説明する。インターフェース部25は、複数のインターフェース装置50を備えている。図2は、一つのインターフェース装置50の概略構成を示す説明図である。図3は、インターフェース装置50に用いる連結部材の外観斜視図である。
コネクタ部51は、コネクタ51aと、コネクタ51aを介して外部コネクタ41と接続される回路配線51bが設けられた基板51cを備えている。つまり、コネクタ部51は、PCB(Printed Circuit Board)コネクタである。図2では、コネクタ51aとして、一つのコネクタの輪郭のみを示しているが、コネクタ51aは、一つに限らず、複数であってもよく、異なる種類のコネクタを含んでいてもよい。コネクタ51aは、外部コネクタ41に嵌合される複数の端子(図示省略)を有している。回路配線51bは、ケーブル71によってテストヘッド3に接続されている。なお、図2では、回路配線51b、ケーブル71を簡略化して模式的に図示している。
コネクタ部51は、その下端の複数箇所に、外部コネクタ41に対して位置決めをする位置決め部81を有している。位置決め部81は、例えば端部が尖った錐形状に形成された位置決め用のピン81aを有している。このピン81aは、プローブカード23の外部コネクタ41の近傍に設けられた位置決め用の凹部83に嵌合することによって、コネクタ部51のコネクタ51aと外部コネクタ41との大まかな位置決めを行うことができる。
支持部53は、ベース部材55と、ベース部材55に連結されたホルダ57とを有している。また、支持部53は、ベース部材55とホルダ57との間に介在する付勢手段としてのバネ59を備えている。さらに、支持部53は、ベース部材55とホルダ57とを連結する連結部材61を備えている。なお、図2では、説明の便宜上、ベース部材55とホルダ57については、縦断面を描いている(図4〜図8において同様である)。
ベース部材55には、バネ59の一端及び連結部材61の一端が固定されており、これらを保持する。
ホルダ57は、例えば螺子等の固定手段(図示省略)でコネクタ部51と固定されており、コネクタ部51を保持する。ホルダ57は、Y方向(図2の紙面に直交する方向)にも一定の厚みを有しており、その内部に空洞部分57aを有する。空洞部分57aは、漏斗を逆さにしたような形状をなし、上部の縮径部57a1と、下部の大径部57a2と、これら縮径部57a1と大径部57a2との間の拡開部57a3とを有している。縮径部57a1は、ホルダ57の上端において、外部空間に開放された円柱状の開口である。大径部57a2は、縮径部57a1よりも大径な円柱状の開口である。また、拡開部57a3では、ホルダ57の内壁(空洞部分57aに臨む壁)が、下方に向かって拡大しており、傾斜面57bが形成されている。なお、図2における下方は、バネ59がホルダ57を付勢する方向である(図2中、黒矢印で示す。以下、「付勢方向」と記すことがある)。なお、空洞部分57aは一つに限らず、ホルダ57のXY方向に複数の空洞部分57aを設け、それぞれに連結部材61が挿入されていてもよい。
バネ59は、コイルバネであり、ベース部材55とホルダ57との間に介在し、ホルダ57を外部コネクタ41に向けて付勢する。なお、本実施の形態においては、X方向に左右一対のバネ59が設けられているが、バネ59は3つ以上でもよく、また、Y方向にも配列することができる。また、付勢手段として、バネ59以外に、例えば板バネやゴムなど、同等の付勢力を有する弾性体を用いることができる。
連結部材61は、図3に示すように軸部63と、軸部63の下端に設けられた拡大部65を備えている。軸部63の上端(基端部)は、例えば螺子等の固定手段(図示省略)でベース部材55に固定されている。軸部63は、空洞部分57aの縮径部57a1に挿入されている。拡大部65は、空洞部分57aの大径部57a2に収容されている。拡大部65は、軸部63に連なる部位から、付勢方向に拡大する円錐状部65aと、この円錐状部65aに連なる円柱状部65bとを備えている。円錐状部65aは、ホルダ57の傾斜面57bに対応する角度で形成された傾斜面65a1を有している。
次に、図4〜図6を参照して、本実施の形態のインターフェース装置50を用いた接続方法について説明する。本実施の形態の接続方法は、以下のステップ1〜3を含むことができる。
バネ59の付勢力によってホルダ57をベース部材55から第1の間隔L1に離間させた状態で、コネクタ部51と外部コネクタ41とを大まかに位置合わせするステップ:
まず、図4は、接続前の状態を示している。このとき、図2と同様に、バネ59の付勢力によってホルダ57はベース部材55から第1の間隔L1で離間している。従って、連結部材61の傾斜面65a1がホルダ57の傾斜面57bに当接しており、ベース部材55に対してホルダ57が動かないように固定されている。このとき、連結部材61は、ホルダ57に対して固定連結位置にあるものとする。
ベース部材55とホルダ57が、第1の間隔L1よりも小さな第2の間隔L2に近接した状態で、ホルダ57の遊動を利用してコネクタ部51と外部コネクタ41とを精密に位置合わせするステップ:
図5は、コネクタ51aを外部コネクタ41に接続するために当接させた状態を示している。図4の状態から、ベース部材55に荷重を加え、コネクタ部51を外部コネクタ41に押し付けることによって、バネ59の付勢力に抗してベース部材55とホルダ57を近づける。つまり、図5では、接続のため、コネクタ51aを外部コネクタ41に当接させて、ベース部材55側から押し付けている。そして、ベース部材55側からの押圧力によって、バネ59が縮み、ベース部材55とホルダ57との間隔が、第1の間隔L1よりも小さな第2の間隔L2に近接している。
ベース部材55にさらに荷重を加え、コネクタ51aと外部コネクタ41とを嵌合させるステップ:
図5の状態から、さらにベース部材55に押圧力を加えることによって、コネクタ51aの端子を外部コネクタ41に嵌合させることができる。図6は、コネクタ51aの端子を外部コネクタ41に嵌合させた状態である。図6の状態では、バネ59は図5の状態よりもさらに縮み、ベース部材55とホルダ57は当接して隙間が無い状態となっている。そのため、ベース部材55側からの荷重をそのままコネクタ51aに加えることができる。このとき、連結部材61はホルダ57の空洞部分57a内で前後左右(XY方向)に遊動可能になっている。
次に、図7を参照して、インターフェース装置50のコネクタ51aを外部コネクタ41から取り外す接続解除方法について説明する。
本実施の形態では、複数のインターフェース装置50を、複数の外部コネクタ41に対して、一括して接続させることができる。この場合、図8に示すように、複数のインターフェース装置50を一括して接続可能に支持する支持部材を用い、インターフェースユニット90を構成することができる。すなわち、本実施の形態のインターフェースユニット90は、複数のインターフェース装置50と、これら複数のインターフェース装置50を一括して支持する支持部材としての支持プレート91と、を備えるものである。
制御部4は、プローブ装置100の各構成部の動作を制御する。制御部4は、典型的にはコンピュータである。図9は、制御部4のハードウェア構成の一例を示している。制御部4は、主制御部201と、キーボード、マウス等の入力装置202と、プリンタ等の出力装置203と、表示装置204と、記憶装置205と、外部インターフェース206と、これらを互いに接続するバス207とを備えている。主制御部201は、CPU(中央処理装置)211、RAM(ランダムアクセスメモリ)212およびROM(リードオンリメモリ)213を有している。記憶装置205は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク装置または光ディスク装置である。また、記憶装置205は、コンピュータ読み取り可能な記録媒体215に対して情報を記録し、また記録媒体215より情報を読み取るようになっている。記録媒体215は、情報を記憶できるものであれば、その形態は問わないが、例えばハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリなどである。記録媒体215は、本実施の形態のプローブ装置100において行われるプローブ方法のレシピを記録した記録媒体であってもよい。
以上の構成を有するプローブ装置100では、外部の搬送装置から、プローブカード23を保持したプローブカードホルダ21を内部受渡機構29に受け渡すことによって、内部受渡機構29がプローブカードホルダ21を移送し、インサートリング15に装着する。このとき、インターフェース部25では、上記のように、複数のインターフェース装置50のコネクタ51aがプローブカード23の複数の接続部(外部コネクタ41)に一括して接続され、テストヘッド3とプローブカード23の各プローブ23aとが電気的に接続される。
Claims (9)
- 外部のコネクタに対して接続されるコネクタと、
前記コネクタを支持する支持部と、
を備えたインターフェース装置であって、
前記支持部は、
ベース部材と、
前記ベース部材に連結され、内部に空洞部分を有するとともに、前記コネクタを保持するホルダと、
前記ベース部材と前記ホルダとの間に介在し、前記ホルダを前記外部のコネクタに向けて付勢する付勢手段と、
前記ベース部材に固定されるとともに前記ホルダの空洞部分に遊びを以て挿入された連結部材と、
を有し、
前記付勢手段の付勢力によって前記ホルダを前記ベース部材から第1の間隔に離間させた状態で、前記連結部材が前記空洞部分の内壁に係合することにより、前記ベース部材に対して前記ホルダが固定されるとともに、
前記ベース部材と前記ホルダが前記付勢力に抗して前記第1の間隔よりも小さな第2の間隔に近接した状態で、前記連結部材が前記空洞部分の内壁から離間することによって、前記ベース部材に対して前記ホルダの遊動が許容されることを特徴とするインターフェース装置。 - 前記コネクタは、前記外部のコネクタに嵌合されるものである請求項1に記載のインターフェース装置。
- 前記内壁は、前記付勢手段が前記ホルダを付勢する方向に向かって拡大する傾斜面を有しており、前記連結部材は、前記傾斜面に対応する傾斜面を有する錐状部分を備えている請求項1に記載のインターフェース装置。
- 前記コネクタと前記外部のコネクタとが押し合う押圧力によって、前記ベース部材と前記ホルダとの間隔が、前記第1の間隔から前記第2の間隔に縮小する請求項1に記載のインターフェース装置。
- 前記コネクタは、前記外部のコネクタと接続される配線が設けられた回路基板を備えている請求項1に記載のインターフェース装置。
- さらに、前記コネクタと前記外部のコネクタとの位置決めを行う位置決め部を有している請求項1に記載のインターフェース装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載のインターフェース装置と、
複数の前記インターフェース装置を一括して支持する支持部材と、
を備え、
複数の外部のコネクタに対して、複数の前記インターフェース装置を一括して接続するインターフェースユニット。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載のインターフェース装置を備えたプローブ装置。
- 請求項1から6のいずれか1項に記載のインターフェース装置を外部のコネクタに対して接続する接続方法であって、
前記付勢手段の付勢力によって前記ホルダを前記ベース部材から第1の間隔に離間させた状態で、前記コネクタと前記外部のコネクタとを大まかに位置合わせするステップと、
前記コネクタと前記外部のコネクタとを押し合わせることによって、前記ベース部材と前記ホルダが前記付勢力に抗して前記第1の間隔よりも小さな第2の間隔L2に近接した状態で、前記ホルダの遊動を利用して前記コネクタと前記外部のコネクタとを精密に位置合わせするステップと、
前記コネクタと前記外部のコネクタとをさらに押し合わせることによって、前記コネクタと前記外部のコネクタとを嵌合させるステップと、
を含む接続方法。
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