JP2017053833A - 補正装置、補正方法および測距装置 - Google Patents

補正装置、補正方法および測距装置 Download PDF

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享宏 小山
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Abstract

【課題】適切な補正を実行する補正装置の提供。【解決手段】受光部3から出力される出力信号s1に基づいて光子数を計数する光子数計数部4と、光子数に対応する補正値Msを取得する補正値取得部6と、補正値Msに基づく補正を行う補正部7とを備える補正装置である。【選択図】図3

Description

本開示は、補正装置、補正方法および測距装置に関する。
従来、パルス光を測距対象物に対して投光し、対象物からの反射パルス光を受光し、パルス光を投光してから反射パルス光を受光するまでの時間(飛行時間(TOF(Time Of Flight))と称されることもある)を計測することにより、測定対象物までの距離を測定する測距装置が知られている(例えば、下記特許文献1参照のこと)。
特開2007−147322号公報
このような測距装置の分野では、生じ得る誤差に対して適切な補正を行い、測距の精度を向上させることが望まれている。
したがって、本開示は、誤差に対して適切な補正を行うことができる補正装置、補正方法および測距装置を提供することを目的の一つとする。
上述の課題を解決するために、本開示は、例えば、
受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得する取得部と、
情報に対応する補正値を取得する補正値取得部と、
補正値に基づく補正を行う補正部と
を備える補正装置である。
本開示は、例えば、
取得部が、受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得し、
補正値取得部が、情報に対応する補正値を取得し、
補正部が、補正値に基づく補正を行う
補正方法である。
本開示は、例えば、
受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得する取得部と、
情報に対応する補正値を取得する補正値取得部と、
補正値に基づく補正を行う補正部と、
補正の結果を使用して、測距対象物までの距離を算出する距離算出部と
を備える測距装置である。
本開示の少なくとも一の実施形態によれば、誤差に対して適切な補正を行うことができる。なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれの効果であってもよい。また、例示された効果により本開示の内容が限定して解釈されるものではない。
図1は、ウォークエラーを説明するための図である。 図2は、受光素子によってウォークエラーの補正誤差が大きくなることを説明するための図である。 図3は、本開示の実施形態の概要を説明するためのブロック図である。 図4は、第1の実施形態における補正装置の構成例を示すブロック図である。 図5は、マルチピクセル型SPADの構成例を示す回路図である。 図6は、マルチピクセル型SPAD出力信号の波形例を示す図である。 図7は、マルチピクセル型SPAD出力信号のピーク電圧と遅延時間との関係を説明するための図である。 図8は、マルチピクセル型SPAD出力信号のパルス毎の積分値の度数分布の計測例を示す図である。 図9は、光子数とずれ量との関係を説明するための図である。 図10は、第2の実施形態における測距装置の構成例を示すブロック図である。 図11は、第3の実施形態における測距装置の構成例を示すブロック図である。 図12は、異なる閾値で検出するタイミング間の時間差がパルス強度の強弱に応じて変化する様子を説明するための図である。 図13は、異なる閾値で検出するタイミング間の検出時間差と検出光子数との関係が記述されたルックアップテーブルの例を示す図である。 図14は、第4の実施形態における測距装置の構成例を示すブロック図である。 図15は、第5の実施形態における補正装置の構成例を示すブロック図である。 図16は、ピーク電圧検出回路の構成例を説明するためのブロック図である。 図17は、ピーク電圧検出回路の詳細な構成例を説明するための図である。 図18は、ピーク電圧検出回路に設定される閾値の一例を説明するための図である。 図19は、ピーク電圧検出回路の動作例を説明するための図である。 図20は、第5の実施形態の変形例を示すブロック図である。 図21は、第5の実施形態の変形例を示すブロック図である。
以下、本開示の実施形態等について図面を参照しながら説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
<実施形態の概要>
<第1の実施形態>
<第2の実施形態>
<第3の実施形態>
<第4の実施形態>
<第5の実施形態>
<変形例>
以下に説明する実施形態等は本開示の好適な具体例であり、本開示の内容がこれらの実施形態等に限定されるものではない。
「ウォークエラーについて」
本開示の理解を容易とするために、始めに、光学的方法で測距を行う測距装置において生じ得るウォークエラー(タイムウォークと称される場合もある)について説明する。なお、光学的方法で測距を行う測距装置とは、概略的に例示すれば、発光タイミングとその光が物体(測距対象物)により反射して戻った光の入力タイミングとの時間差を計測し、その時間差に光速を乗算した後、2で除算することにより測距対象物までの距離を求める装置である。
測距装置では、物体の距離や光反射率、光散乱特性等に応じて強度が大きく変わる反射光の受光タイミングを検出する必要がある。反射光が入力された受光素子およびその信号増幅回路から出力される信号波形は、一般的に有限(100ps(ピコ秒)以上)のパルス立ち上がり時間を有するものであり、受光素子に入力される入力光の強度に応じて当該受光素子から出力される出力信号(適宜、受光信号と称する)の強度も変化する。
このような受光信号に対して、所定の検出閾値を持つ2値化回路(コンパレータ等)を使用して受光信号のレベル(信号強度)が閾値を越えたタイミングを受光したタイミングとして判別する処理がなされる。このような処理により受光したタイミングを検出する方式は、リーディングエッジ検出方式などと称されている。ここで、上述したように、受光信号の有限な立ち上がり時間のために、反射光の光強度の違いによりこのタイミング(信号立ち上がり開始から検出までの遅延時間)が異なってしまう。
図1を参照して具体的に説明する。図1において横軸は時間を示し、縦軸は受光信号の信号強度(電圧レベル)を示している。図1には2個の波形WA1、WA2が模式的に示されており、波形WA1が、光強度が強い反射光の波形を示しており、波形WA2が、光強度が弱い反射光の波形を示している。そして、受光タイミングを判別するための電圧の閾値Vthが設定されている。
波形WA1、WA2を有するそれぞれの反射光が受光部により受光され、受光部から波形WA1、WA2のような信号波形の受光信号が出力されたとする。ここで、図1に示すように、波形WA1が閾値Vthに達したタイミングであるタイミングtd1と、波形WA2が閾値Vthに達したタイミングであるタイミングtd2との間には、誤差(ずれ)Δtd(=td2−td1)が生じる。このΔtdの分、光強度が弱い反射光の場合には、測距対象物までの距離が長く算出されてしまう。このように、反射光の光強度の違いにより生じ得る時間的な誤差(ずれ)がウォークエラーである。
例えば、測距分解能として1cm(センチメートル)を得るには光入力タイミング計測の分解能として67psの高分解能を得る必要がある。また、光を拡散反射する物体に照射された光は空間的に広がり、離れた受光素子へ入射する光量は光源からの発光量のごく一部となるため、大面積で高感度の受光素子を用いる必要がある。このような高感度受光素子のパルス応答出力波形は典型的には1ns(ナノ秒)以上の立ち上がり時間を有し、その場合、ウォークエラーも最大で1nsになる。測距分解能および精度1cmを得るにはこのずれ量を67ps程度以下の誤差に補正できることが望まれる。
ところで、上述した測距装置における受光部を構成する受光素子として、フォトダイオード(PD(Photo Diode)またはリニアモード(連続モードとも称される)のアバランシェフォトダイオード(APD(Avalanche Photo Diode)を使用することが考えられる。そして、そのような受光部を使用して、数十個以上の多数の光子検出受光強度に応じて連続的なピーク値および積分値を有する出力信号を扱う方式が考えられる。
フォトダイオードやアバランシェフォトダイオードは、連続的な入出力特性を示し、一般的に光入力強度に対して出力信号の強度がほぼ比例する。熱雑音等の電気回路で発生するノイズより大きな出力信号を得るためには、アバランシェフォトダイオードの場合は数十個以上、フォトダイオードの場合には数百個以上の光子の入力が必要である。熱雑音は、信号の周波数帯域の平方根に比例して大きくなる性質があるため、光子数十個以下の極微弱光をフォトダイオードやアバランシェフォトダイオードで受光した場合に1ns前後の時間領域で受光タイミングを検出することが困難となる。
さらに、リーディングエッジ検出方式でタイミングを検出する上で、信号の立ち上がりが直線的な場合、すなわち信号強度が時間に比例する場合、検出遅延時間(ウォークエラー)tdと信号のピーク電圧(ピーク値)Vpとの関係は、図2に示される曲線のように概ね反比例する関係にある。なお、図2では、ピーク値に載るノイズ量ΔVp対応するウォークエラーの変化量Δtdも記載されている。図2に示すように、光強度が弱い場合にはパルス強度の変化に対するウォークエラーの変化量Δtdが大きいため、光強度が強い信号と同じノイズ量ΔVpでもウォークエラーの変化量Δtdは大きくなり必要なタイミング計測精度を得ることが困難となる。
さらに、連続的な入出力特性を示すため、限定されたデータ点から補間して連続値に対応する補正値を出力する補間回路も合わせて必要となる。このように、出力値が連続的なフォトダイオードやアバランシェフォトダイオードを用いると、検出可能な強度レベルであっても微弱光でのウォークエラー補正誤差が大きくなり結果的にタイミング計測精度も低下し、且つ、回路規模も大きくなってしまう。すなわち、受光部として微弱な光(光子数が少ない光)でも受光できる構成を採用しつつ、上述したウォークエラーを適切に補正できることが望まれる。以上の点に鑑みてなされた本開示の複数の実施形態等について説明する。
<実施形態の概要>
始めに、理解の容易のために本開示の実施形態(例えば、第1の実施形態)の概要について説明する。本開示は、一例として補正装置として構成することができる。図3に示す補正装置1は、例えば、パルス光源2と、受光部の一例である離散化出力型光検出器3と、計測部の一例であるタイミング計測回路4と、光子数に対応した情報を取得する取得部の一例である光子数計数回路5と、補正値取得部の一例であるずれ量算出回路6と、補正部の一例であるタイミング補正回路7とを備えている。
補正装置1の動作について、概略的に説明する。パルス光源2から例えば、パルス光が出射される。パルス光源2から出射されたパルス光が測距対象物により反射され、反射パルス光RPとして離散化出力型光検出器3に入力される。反射パルス光RPを受光するのに伴って離散化出力型光検出器3から信号s1が出力される。信号s1がタイミング計測回路4に入力される。タイミング計測回路4は、信号s1の電圧レベルが閾値Vthを上回るタイミングt1を計測し、タイミングt1を示すタイミング信号t1sをタイミング補正回路7に出力する。
一方、離散化出力型光検出器3から出力された信号s1は、光子数計数回路5にも入力される。光子数計数回路5は、信号s1に基づいて離散化出力型光検出器3が受光した光子数(フォトン数)PNを求め、光子数PNを示す光子数信号PNsをずれ量算出回路6に出力する。ずれ量算出回路6は、光子数PNに基づいて、基準となる反射パルス光のタイミングに対する時間的なずれ量Mを取得し、ずれ量Mを示す信号Msをタイミング補正回路7に出力する。タイミング補正回路7は、ずれ量Mに基づいてタイミングt1を補正することで補正後のタイミングt2を取得し、タイミングt2を示すタイミング信号t2sを出力する。
なお、図示はしていないが、タイミング信号t2sは、後段の処理における例えば距離算出処理で使用される。すなわち、パルス光源2から出射されたパルス光(基準光)を受光したタイミングとタイミングt2との差分に対し光速が乗算されることで測距対象物までの往復距離が算出され、当該往復距離を2で除算することで測距対象物までの距離が算出される。ずれ量Mは、算出された距離と物体までの実際の距離との誤差を予め測定等し、得られた誤差や各回路における処理の遅延等に応じて適切に設定されるものである。以下、各実施形態におけるより詳細な構成例等について説明する。
<第1の実施形態>
「補正装置の構成例」
図4は、第1の実施形態における補正装置10の構成例を示すブロック図である。第1の実施形態における補正装置10は、例えば、パルス光源11と、マルチピクセル型SPAD(Single Photon Avalanche Diode)(以下、SPADと適宜、略称する)12と、時間デジタル変換器(TDC(Time-to-Digital Converter))13と、積分回路/変換器14と、ルックアップテーブル参照回路15と、タイミング補正回路16とを備えている。
パルス光源11は、光源として例えば半導体レーザと、半導体レーザを駆動するドライバ等を備えている。例えば、間欠的にドライバが動作することにより、半導体レーザからパルス光が所定の周期で出射される。なお、必ずしも一定の周期でパルス光が出射されなくてもよい(他の実施形態についても同様である)。
離散化出力型光検出器3の一例であるSPAD12は、受光部と駆動回路とを含む構成を備えている。SPAD12は、パルス光源11から出射されたパルス光が測距対象物に反射された光(以下適宜、反射パルス光RPと称する)を受光するように構成されている。反射パルス光RPの受光に伴ってSPAD12から信号(以下適宜、SPAD出力信号と称する)s11が出力される。SPAD出力信号s11が、時間デジタル変換器13および積分回路/変換器14のそれぞれに出力される。なお、SPAD12の具体的な構成例については後述する。
タイミング計測回路4の一例である時間デジタル変換器13は、SPAD出力信号s11のレベルが所定の閾値Vthを上回るタイミングt1を計測する回路である。時間デジタル変換器13は、タイミングt1を示すデジタル形式のタイミング信号t1sを生成する。
光子数計数回路5の一例である積分回路/変換器14は、アナログの積分回路と、当該積分回路の後段に接続されるAD(Analog-to-Digital)変換器とを備えている。積分回路/変換器14は、SPAD出力信号s11を積分回路で積分することにより積分値を取得し、積分値からSPAD12が受光した光子数PNを取得(計数)する。
ずれ量算出回路6の一例であるルックアップテーブル参照回路15は、光子数PNと補正値の一例であるずれ量Mとが対応付けられたルックアップテーブルを記憶している。ルックアップテーブル参照回路15は、積分回路/変換器14から供給された光子数PNに対応するずれ量Mを、ルックアップテーブルを参照して取得し、ずれ量Mを示す信号Msを生成する。
タイミング補正回路16は、ずれ量Mに基づいてタイミングt1を補正する回路である。タイミング補正回路16は、ずれ量Mに基づいてタイミングt1を補正してタイミングt2を取得し、当該タイミングt2を示すタイミング信号t2sを生成する。
「SPADについて」
次に、SPAD12の詳細について説明する。図5は、SPAD12の構成例を示している。SPAD12は、実際に光を受光する受光部121を備えている。受光部121は、複数の受光素子122を備えている。受光素子122は、アバランシェフォトダイオード122aと、アバランシェフォトダイオード122aに直列に接続されたクエンチング抵抗122bとを備えている。すなわち、受光部121は、1個の受光素子122を基本単位とし、複数の受光素子122が2次元に電気的に接続(例えば、並列接続)された構成を成している。
さらに、SPAD12は、受光部121に所定の電圧を印加するための電源123と、電源電圧を安定化するための、抵抗124aおよびコンデンサ124bを備える平滑回路124と、受光部121から出力される電流信号を電圧信号に変換するための抵抗125とを備えている。抵抗125は、受光部121の出力側に接続されており、受光部121と抵抗125との間の接続点AAに対して後段の構成(時間デジタル変換器13および積分回路/変換器14)が接続される。この接続点AAを介して、SPAD出力信号s11が後段の構成に出力される。
受光部121において生じるアバランシェ現象について説明する。なお、説明の便宜を考慮して、1個の受光素子122を例にして説明するが、他の受光素子についても同様の現象が生じる。アバランシェフォトダイオード122aに対して降伏電圧以上の逆電圧を印加された状態で光子(フォトン)が入射すると、アバランシェフォトダイオード122aは電子正孔対を生成し電子と正孔とが各々高電界で加速されて次々と雪崩のように新たな電子正孔対を生成する。この現象がアバランシェ現象と称される。
アバランシェフォトダイオード122aに対する印加電圧を降伏電圧まで下げることによりアバランシェ現象を止めることができる。この機能は、アバランシェフォトダイオード122aに直列に接続されたクエンチング抵抗122bにより実現することができ、アバランシェ電流によるクエンチング抵抗122bの端子間の電圧上昇によってバイアス電圧が降下してアバランシェ電流が止まる。
図6は、SPAD12から出力されるSPAD出力信号s11の理想的な波形を示している。図6において、横軸は時間を示しており、縦軸は電圧を示している。実際の波形は、この波形に熱的な要因等によるパルス状またはランダムなノイズ波形が載った状態になる。
SPAD出力信号s11は、光子を受光すると急峻な立ち上がりを示し、レベルがピーク電圧(以下適宜、波高値とも称する)に達した後、指数関数的にレベルが減少する。ブレークダウン電圧以上の逆バイアス電圧が印加されたSPAD12では個々の受光素子122内のアバランシェフォトダイオード122aが一度に1個の光子検出により決まった波形・ピーク電圧の電流パルスを出力し、全受光素子の合計電流が受光部121の出力端子から出力される。この信号を抵抗125に通すことでSPAD出力信号s11を電圧信号として取り扱うことができる。
図6に示すように、受光部121が受光した光子数に応じて、波高値および波形を積分した積分値が離散化される。換言すれば、SPAD出力信号s11の波高値を得ることで受光部121が受光した光子数を得ることができる。
図7は、SPAD出力信号s11のピーク電圧Vpと立ち上がり開始から閾値Vthでの検出までの遅延時間td(図1参照)との関係を模式的に示した図である。図7において、横軸は受光光子数に応じて離散化されたSPAD出力信号s11のピーク電圧またはSPAD出力信号s11の電圧を積分した積分値を示しており、縦軸は遅延時間tdを示している。図7では、SPAD12からの出力の離散化に伴って遅延時間tdも離散化されることが示されている。また、ピーク電圧Vpやその時間積分値の離散化間隔は検出光子数1個の増分に対応して一定であり、微弱信号ほど遅延時間tdの離散化間隔が大きくなることが示されている。
具体例について説明する。ピーク電圧Vpの離散化間隔は典型的には一光子あたり0.2〜0.3mV(ミリボルト)である。SPAD出力信号s11の立ち上り時間は典型的には0.6nsである。例えば2.5光子相当を閾値(ノイズの誤検知を防ぐため2光子以下の信号は後段で検出しないようにする)とした場合、3光子検出時の遅延時間tdと4光子検出する際の遅延時間はそれぞれ、0.5ns(=0.6ns*2.5/3)および0.375ns(=0.6ns*2.5/4)となり、遅延時間tdの離散化間隔は0.125nsとなり、その間に他の遅延時間tdは生じないことになる。
実際にはSPAD出力信号s11およびその増幅信号には熱雑音等のアナログ的なノイズが含まれるが、受光素子122内での電流増倍作用により高いS/N(Signal-to-Noise Ratio)を示す。このため、ノイズによる信号の変動幅よりも検出光子数毎の離散化間隔のほうが大きい値となり、SPAD出力信号s11のパルスピーク値や積分値の度数分布を計測すると、図8に示すように検出光子数に対応した値のところに極大値をもつヒストグラムが得られる。
すなわち、SPAD12を用いることで、微弱な光を受光した場合でも高いS/Nの信号を得ることができる。さらに、SPAD12から出力されるSPAD出力信号s11をピーク電圧等に応じて離散化した信号として取り扱うことが可能となる。そして、SPAD出力信号s11のピーク電圧または積分値を検出する回路を用いその出力から整数単位の検出光子数を計数し、その検出光子数に応じたデジタル信号を出力することができる。
「補正装置の動作」
次に、第1の実施形態における補正装置10の動作例について説明する。パルス光源11から出射されたパルス光が測距対象物により反射され、反射パルス光RPとしてSPAD12により入力される。反射パルス光RPを受光するのに伴ってSPAD12からSPAD出力信号s11が出力される。SPAD出力信号s11が時間デジタル変換器13に入力される。時間デジタル変換器13は、SPAD出力信号s11の電圧レベルが閾値Vthを上回るタイミングt1を計測し、タイミングt1を示すタイミング信号t1sをタイミング補正回路16に出力する。
一方、SPAD12から出力されたSPAD出力信号s11は、積分回路/変換器14にも入力される。積分回路/変換器14は、SPAD出力信号s11を積分回路で積分して積分値を得、当該積分値に基づいて光子数PNを求める。そして、積分回路/変換器14は、AD変換器を使用して光子数PNを示すデジタル形式の光子数信号PNs生成し、ルックアップテーブル参照回路15に出力する。
ルックアップテーブル参照回路15は、ルックアップテーブルを参照して光子数PNに対応するずれ量Mを取得する。参照対象のルックアップテーブルには、図9に模式的に示すように光子数PNとずれ量Mとの対応関係が記述(格納)されていることから、ルックアップテーブル参照回路15は、光子数PNに対応するずれ量Mを取得することができる。ルックアップテーブル参照回路15は、ずれ量Mを示す信号Msをタイミング補正回路16に出力する。タイミング補正回路16は、ずれ量Mに基づいてタイミングt1を補正することで補正後のタイミングt2を取得し、当該タイミングt2を示すタイミング信号t2sを出力する。
以上のような第1の実施形態によれば、受光する光が微弱(例えば、光子数が数10個以下)な場合でも光強度の違いに起因するウォークエラーを高精度に補正することができる。また、SPAD出力信号s11を積分した積分値から得られる光子数をデジタル値に変換するので、積分回路/変換器14から後段の回路等によりノイズや誤差が重畳されることを防止できる。
なお、一の受光素子122が受光した際に起こる電子が増幅される過程において光が発生し、この光が他の受光素子122(例えば、隣接する受光素子122)に影響を与え、当該受光素子122が電流信号を出力する場合がある。この現象は、クロストークと称される。クロストークにより実際にSPAD12に入射した光の光子数と、SPAD12から出力される信号に基づいて判断される光子数とか一致しない場合がある。実施形態では、SPAD12から出力される信号に基づいて光子数が判断され、判断された光子数に応じた補正がなされるようにしている。すなわち、実施形態において、実際にSPAD12に入射した光の光子数と、SPAD12から出力される信号に基づいて判断される光子数とが必ずしも一致している必要はない。
「第1の実施形態の変形例」
上述した第1の実施形態は、以下の変形が可能である。例えば、積分回路/変換器14において、積分回路に代えてアナログのピークホールド回路を使用してもよい。また、積分回路/変換器14において、AD変換器の量子化間隔を積分回路(またはピークホールド回路)の出力の離散化間隔と一致させることで、光子数の計数精度を保ったままAD変換器の回路規模を小さくすることができる。
SPAD出力信号s11のピーク電圧が大きい(パルス高さの高い領域)では、遅延時間tdの離散化間隔が小さくなるので、必要な補正精度に応じて検出光子数の間隔を間引いて粗くすることができる。これにより、補正用データのビット数(総出データ点数)をフォトダイオードやリニアモードのアバランシェフォトダイオードを用いた場合より少なくでき、低コスト且つ高精度にウォークエラーを補正することができる。
<第2の実施形態>
次に、第2の実施形態について説明する。なお、以下の説明において同一の名称、符号については、特に断らない限り同一もしくは同質の部材を示しており、重複する説明を適宜省略する。また、第1の実施形態で説明した事項は、特に断らない限り第2の実施形態に適用することができる。
「測距装置の構成例」
第2の実施形態は、本開示における補正装置を測距装置に適用した例である。図10は、第2の実施形態における測距装置20の構成例を示すブロック図である。測距装置20は、例えば、パルス光源21と、フォトダイオード22と、第2の実施形態における補正装置23と、距離算出回路24とを備えている。
パルス光源21は、例えば、半導体レーザ21aと、駆動回路21bとを備えている。例えば、所定の周期でもって間欠的に駆動回路21bが動作することにより、半導体レーザ21aからレーザパルス光が間欠的に出射される。なお、半導体レーザ21aから出射されたパルス光は、その一部がハーフミラーHMで分岐されて基準パルス光SPとしてフォトダイオード22に入力され、残りが測距対象物MTに照射、反射された後、反射パルス光RPとして補正装置23に入力されるように構成されている。
フォトダイオード22は、基準パルス光SPの受光に伴って受光信号s22を出力する。受光信号s22は、図示しない増幅部により増幅された後、時間デジタル変換器23bに入力されるように構成されている。
補正装置23は、例えば、(マルチピクセル型)SPAD23aと、時間デジタル変換器23bと、積分回路/変換器23cと、ルックアップテーブル参照回路23dと、タイミング補正回路23eとを備えている。補正装置23は、パルス光源11を備えていない他は、構成等は第1の実施形態における補正装置10と同様とされている。
距離算出回路24は、測距対象物MTまでの距離を演算により算出する回路である。距離算出回路24は、例えば、タイミング補正回路23eから供給される時間差信号t4sに光速を乗算することで往復距離を得、往復距離を2で除算することにより測距対象物MTまでの距離を算出する。
「測距装置の動作例」
次に、測距装置20の動作例について説明する。パルス光源21からパルス光が出射され、ハーフミラーHMで分岐された光が基準パルス光SPとしてフォトダイオード22に入力される。フォトダイオード22が基準パルス光SPを受光すると、フォトダイオード22から受光信号s22が出力される。受光信号s22は図示しない増幅部により増幅等の処理がなされた後、時間デジタル変換器23bに入力される。時間デジタル変換器23bは、リーディングエッジ検出方式によりフォトダイオード22が基準パルス光SPを受光したタイミングt22を取得する。
一方、測距対象物MTにより反射された光が反射パルス光RPとして補正装置23のSPAD23aに入力される。SPAD23aが反射パルス光RPを受光すると、SPAD23aからSPAD出力信号s23が出力される。SPAD出力信号s23が時間デジタル変換器23bに入力される。時間デジタル変換器23bは、リーディングエッジ検出方式によりSPAD23aが反射パルス光RPを受光したタイミングt23を取得する。そして、時間デジタル変換器23bは、タイミングt22、t23の時間差である時間差信号t3s(=t23−t22)を取得する。この時間差信号t3sは、半導体レーザ21aから出射されたパルス光の飛行時間(但し、補正前の飛行時間)に対応する。
一方、SPAD23aから出力されたSPAD出力信号s23は、積分回路/変換器23cにも入力される。積分回路/変換器23cは、SPAD出力信号s23を積分回路で積分して積分値を得、当該積分値に基づいて光子数PNを求める。そして、積分回路/変換器23cは、AD変換器を使用して光子数PNを示すデジタル形式の光子数信号PNs生成し、ルックアップテーブル参照回路23dに出力する。
ルックアップテーブル参照回路23dは、ルックアップテーブルを参照して光子数PNに対応するずれ量Mを取得する。ルックアップテーブル参照回路23dは、ずれ量Mを示す信号Msをタイミング補正回路23eに出力する。タイミング補正回路23eは、ずれ量Mに基づいて時間差信号t3sを補正する。例えば、タイミング補正回路23eは、時間差信号t3sからずれ量Mの分を減算することにより補正を行い、パルス光の正確な飛行時間に対応する時間差信号t4sを取得する。そして、タイミング補正回路23eは、時間差信号t4sを距離算出回路24に出力する。
距離算出回路24は、時間差信号t4sに光速を乗算し、その結果を2で除算することで測距対象物MTまでの距離を算出する。以上、説明したように、本開示の補正装置は、測距装置に適用することも可能である。
「第2の実施形態の変形例」
上述した第2の実施形態は、以下の変形が可能である。フォトダイオード22により受光される基準パルス光SPの光強度は一般的に大きい(例えば、光子数100個以上)。このため特定の受光素子を用いる必要性は低いものの、フォトダイオード22に代えて、連続モードのアバランシェフォトダイオードや、SPADを使用してもよい。より感度の高い素子を使用することで、ハーフミラーHMで分岐する光量をより小さくして測距対象物に照射する光量を大きくすることができる。また、第1の実施形態で説明した変形例を第2の実施形態に適用することも可能である。
<第3の実施形態>
次に、第3の実施形態について説明する。なお、以下の説明において同一の名称、符号については、特に断らない限り同一もしくは同質の部材を示しており、重複する説明を適宜省略する。また、第1、第2の実施形態で説明した事項は、特に断らない限り第3の実施形態に適用することができる。
「測距装置の構成例」
第3の実施形態は、第2の実施形態と同様、本開示における補正装置を測距装置に適用した例である。図11は、第2の実施形態における測距装置30の構成例を示すブロック図である。測距装置30は、例えば、パルス光源31と、第3の実施形態における補正装置33と、距離算出回路34とを備えている。
パルス光源31は、例えば、半導体レーザ31aと、駆動回路31bとを備えている。例えば、所定の周期でもって駆動回路31bが動作することにより、半導体レーザ31aからレーザパルス光が間欠的に出射される。なお、半導体レーザ31aから出射されたパルス光は、測距対象物MTに照射、反射された後、反射パルス光RPとして補正装置33に入力されるように構成されている。
補正装置33は、例えば、(マルチピクセル型)SPAD33aと、時間デジタル変換器33bと、積分回路/変換器33cと、ルックアップテーブル参照回路33dと、タイミング補正回路33eとを備えている。補正装置33の構成等は第2の実施形態における補正装置23と同様とされている。
距離算出回路34は、距離算出回路24と同様に測距対象物MTまでの距離を演算により算出する回路である。距離算出回路34は、例えば、タイミング補正回路33eから供給される時間差信号t6sに光速を乗算することで往復距離を得、往復距離を2で除算することにより測距対象物MTまでの距離を算出する。
「測距装置の動作例」
測距装置30は、第2の実施形態におけるフォトダイオード22の代わりに、駆動回路31bから駆動タイミングに同期したパルス信号を取り出して、このパルス信号を発光タイミング検出のための参照信号(以下適宜、参照パルスと称する)とする。以下、測距装置30の具体的な動作例について説明する。
駆動回路31bの動作に伴ってパルス光源31からパルス光が出射される。また、駆動回路31bの駆動タイミングに同期して参照パルスが出力され、当該参照パルスが駆動回路31bから補正装置33の時間デジタル変換器33bに入力される。時間デジタル変換器33bは、参照パルスが入力されたタイミングt31を記憶する。
パルス光源31から出射されたパルス光が測距対象物MTにより反射され、反射パルス光RPとして補正装置33のSPAD33aに入力される。SPAD33aが反射パルス光RPを受光すると、SPAD33aからSPAD出力信号s33が出力される。SPAD出力信号s33が時間デジタル変換器33bに入力される。時間デジタル変換器33bは、リーディングエッジ検出方式によりSPAD33aが反射パルス光RPを受光したタイミングt33を取得する。そして、時間デジタル変換器33bは、記憶しているタイミングt31とタイミングt33の時間差である時間差信号t5s(=t33−t31)を取得する。なお、時間差信号t5sは、半導体レーザ31aから出射されたパルス光の飛行時間(但し、補正前の飛行時間)に対応する。
一方、SPAD33aから出力されたSPAD出力信号s33は、積分回路/変換器33cにも入力される。積分回路/変換器33cは、SPAD出力信号s33を積分回路で積分して積分値を得、当該積分値に基づいて光子数PNを求める。そして、積分回路/変換器33cは、AD変換器を使用して光子数PNを示すデジタル形式の光子数信号PNs生成し、ルックアップテーブル参照回路33dに出力する。
ルックアップテーブル参照回路33dは、ルックアップテーブルを参照して光子数PNに対応するずれ量Mを取得する。ルックアップテーブル参照回路33dは、ずれ量Mを示す信号Msをタイミング補正回路33eに出力する。タイミング補正回路33eは、ずれ量Mに基づいて時間差信号t5sを補正する。例えば、タイミング補正回路33eは、時間差信号t5sからずれ量Mの分を減算することにより補正を行い、パルス光の正確な飛行時間に対応する時間差信号t6sを取得する。そして、タイミング補正回路33eは、時間差信号t6sを距離算出回路34に出力する。
距離算出回路34は、時間差信号t6sに光速を乗算し、その結果を2で除算することで測距対象物MTまでの距離を算出する。以上、説明したように、本開示の補正装置は、測距装置に適用することも可能である。さらに、第3の実施形態によれば、フォトダイオードおよび光分岐用のハーフミラーを省略できるので光学系を簡素化でき、測距装置を小型化することができる。なお、第1、第2の実施形態で説明した変形例は、第3の実施形態に適用することも可能である。
<第4の実施形態>
次に、第4の実施形態について説明する。なお、以下の説明において同一の名称、符号については、特に断らない限り同一もしくは同質の部材を示しており、重複する説明を適宜省略する。また、第1−3の実施形態で説明した事項は、特に断らない限り第4の実施形態に適用することができる。
第4の実施形態では、パルス光に対して複数の異なる閾値を設定して光子数を検出するようにしている。この点について図12および図13を参照して説明する。図12において、横軸は時間を示し、縦軸はパルス光(例えば、反射パルス光RP)の信号強度(電圧レベル)を示している。図12では、2つのパルス光の波形WA3、WA4が示されており、それぞれのパルス光のピーク電圧Vp1、Vp2(但し、Vp1>Vp2)である。すなわち、波形WA3により示されるパルス光の光強度が波形WA4により示されるパルス光の光強度より大きいことになる。
図12に示すように、電圧の閾値として2個の閾値Vth1、Vth2(但し、Vth2>Vth1)が設定されている。ここで、波形WA3の電圧レベルが閾値Vth1を上回るタイミングをタイミングt1aとし、閾値Vth2を上回るタイミングをタイミングt2aとし、両者の差(t2a−t1a)をΔt1とする。一方、波形WA4の電圧レベルが閾値Vth1を上回るタイミングをタイミングt1bとし、閾値Vth2を上回るタイミングをタイミングt2bとし、両者の差(t2b−t1b)をΔt2とする。なお、Δt1やΔt2を以下の説明において適宜、検出時間差と称する。パルス光の光強度が小さい場合には閾値Vth1、Vth2のそれぞれに達したタイミングの差が大きくなる。例えば、Δt2がΔt1より大きくなる。
この特徴を利用して、検出時間差に対応する検出光子数が記述されたルックアップテーブルを用意することで、検出時間差に応じてパルス光に含まれる光子数を取得することが可能となる。図13は、検出時間差に対応した光子数が記述されたルックアップテーブルの例を示している。図13に示されるように、ルックアップテーブルには、検出時間差が大きくなるほど、対応する光子数が小さくなる関係が記述されている。なお、実際の回路ではタイミングの計測値ノイズがのることもあるが、最近傍の理論値に丸めることにより整数単位の光子数を求めることができる。
「測距装置の構成例」
次に、第4の実施形態における、本開示における補正装置を適用した測距装置について説明する。図14は、第4の実施形態における測距装置40の構成例を示すブロック図である。測距装置40は、例えば、パルス光源41と、第4の実施形態における補正装置43と、距離算出回路44とを備えている。
パルス光源41は、例えば、半導体レーザ41aと、駆動回路41bとを備えている。例えば、所定の周期でもって駆動回路41bが動作することにより、半導体レーザ41aからレーザパルス光が間欠的に出射される。なお、半導体レーザ41aから出射されたパルス光は、測距対象物MTに照射、反射された後、反射パルス光RPとして補正装置43に入力されるように構成されている。
補正装置43は、例えば、(マルチピクセル型)SPAD43aと、第1の時間デジタル変換器43bと、第2の時間デジタル変換器43cと、ルックアップテーブル参照回路43dと、タイミング補正回路43eと、閾値設定回路43fとを備えている。
距離算出回路44は、測距対象物MTまでの距離を演算により算出する回路である。距離算出回路44は、例えば、タイミング補正回路43eから供給される時間差信号t8sに光速を乗算することで往復距離を得、往復距離を2で除算することにより測距対象物MTまでの距離を算出する。
補正装置43の構成例について説明する。SPAD43aは、測距対象物MTにより反射された反射パルス光RPを受光するように構成されている。反射パルス光RPの受光に伴ってSPAD43aからはSPAD出力信号s43が出力され、SPAD出力信号s43が時間デジタル変換器43b,43cのそれぞれに入力される。
時間デジタル変換器43bは、SPAD出力信号s43のレベルが閾値Vth1を上回るタイミングt43aを計測する。この時間デジタル変換器43bには、駆動回路41bの駆動タイミングに同期した参照パルスが入力される。
時間デジタル変換器43cは、SPAD出力信号s43のレベルが閾値Vth2を上回るタイミングt43bを計測する。
ルックアップテーブル参照回路43dは、ルックアップテーブルを参照し、タイミングt43aとタイミングt43bとの差分に基づいて光子数を得る回路である。ルックアップテーブル参照回路43dにより参照されるルックアップテーブルには、検出時間差に対応する光子数が記述されている。また、ルックアップテーブル参照回路43dは、光子数とずれ量が記述されたルックアップテーブルも記憶している。
タイミング補正回路43eは、光子数に基づいてタイミングを補正した後、補正後の時間差信号t8sを距離算出回路44に出力する回路である。
「測距装置の動作例」
次に、測距装置40の動作例について説明する。駆動回路41bの動作に伴ってパルス光源41からパルス光が出射される。駆動回路41bの駆動タイミングに同期して参照パルスが出力され、当該参照パルスが駆動回路41bから補正装置43の時間デジタル変換器43bに入力される。時間デジタル変換器43bは、参照パルスが入力されたタイミングt41を記憶する。
パルス光源41から出射されたパルス光が測距対象物MTにより反射され、反射パルス光RPとして補正装置43のSPAD43aに入力される。SPAD43aが反射パルス光RPを受光すると、SPAD43aからSPAD出力信号s43が出力される。SPAD出力信号s43が時間デジタル変換器43b,43cのそれぞれに入力される。なお、時間デジタル変換器43b,43cには、閾値設定回路43fから閾値Vth1、Vth2がそれぞれ入力される。
時間デジタル変換器43bは、SPAD出力信号s43が閾値Vth1を上回るタイミングt43aを取得する。そして、時間デジタル変換器43bは、タイミングt43aを示すデジタル形式のタイミング信号を生成し、当該タイミング信号をルックアップテーブル参照回路43dに出力する。さらに、時間デジタル変換器43bは、記憶しているタイミングt41とタイミングt43の時間差である時間差信号t7s(=t43−t41)を取得し、この時間差信号t7sをタイミング補正回路43eに供給する。
時間デジタル変換器43cは、SPAD出力信号s43が閾値Vth2を上回るタイミングt43bを取得する。そして、時間デジタル変換器43bは、タイミングt43bを示すデジタル形式のタイミング信号を生成し、当該タイミング信号をルックアップテーブル参照回路43dに出力する。
ルックアップテーブル参照回路43dは、タイミングt43aとタイミングt43bとの差分(t43b−t43a)である検出時間差を求め、ルックアップテーブルを参照して、検出時間差に対応する光子数PNを取得する。そして、ルックアップテーブル参照回路43dは、同一または異なるルックアップテーブルを参照して、第2の実施形態等と同様にして光子数PNに対応するずれ量Mを取得する。ルックアップテーブル参照回路43dは、ずれ量Mを示す信号Msをタイミング補正回路43eに出力する。タイミング補正回路43eは、ずれ量Mに基づいて時間差信号t7sを補正する。例えば、タイミング補正回路43eは、時間差信号t7sからずれ量Mの分を減算することにより補正を行い、パルス光の正確な飛行時間に対応する時間差信号t8sを取得する。そして、タイミング補正回路43eは、時間差信号t8sを距離算出回路44に出力する。
距離算出回路44は、時間差信号t8sに光速を乗算し、その結果を2で除算することで測距対象物MTまでの距離を算出する。第4の実施形態によれば、積分回路やピークホールド回路を使用することなくパルス光の光子数を取得することができる。
<第5の実施形態>
次に、第5の実施形態について説明する。なお、以下の説明において同一の名称、符号については、特に断らない限り同一もしくは同質の部材を示しており、重複する説明を適宜省略する。また、第1−4の実施形態で説明した事項は、特に断らない限り第5の実施形態に適用することができる。
上述した各実施形態では、光子数そのものを光子数に対応する情報の一例として説明した。第5の実施形態では、光子数に対応する情報の他の例として、SPAD12等の離散化出力型光検出器3から出力される信号のピーク電圧(ピーク値)を挙げて説明する。
「補正装置の構成例」
図15は、第5の実施形態における補正装置50の構成例を示すブロック図である。図4を用いて説明した補正装置10と異なる点は、補正装置50が、積分回路/変換器14に代えてピーク電圧検出回路51およびリセットパルス供給回路52を備えている点である。ピーク電圧検出回路51は、SPAD12から出力されるSPAD出力信号s11のピーク電圧を検出する回路であり、リセットパルス供給回路52は、ピーク電圧検出回路51に対するリセットパルスを与えるための回路である。リセットパルス供給回路52は、内蔵または外部のクロック発生器(図示を省略している)から供給される一定周期のクロックパルスに基づいてリセットパルスを出力する。なお、第5の実施形態におけるルックアップテーブル参照回路15が有するルックアップテーブルには、SPAD出力信号s11のピーク値に対応するずれ量が記述されているものとする。
「ピーク電圧検出回路の構成例」
図16、図17を参照して、ピーク電圧検出回路51の構成例について説明する。図16は、ピーク電圧検出回路51の構成例を説明するためのブロック図であり、図17は、ピーク電圧検出回路51のより詳細な構成例を説明するための図である。なお、図17では、説明に必要な箇所のみを図示している。
ピーク電圧検出回路51は、複数の比較器5111、5112・・511nと、複数のラッチ回路5121、5122・・512nと、エンコーダ513とを備えている。なお、nは任意の整数であり、個々の比較器を区別する必要がない場合は、単に比較器511と称し、個々のラッチ回路を区別する必要がない場合は、単にラッチ回路512と称する。なお、以下の説明では比較器511およびラッチ回路512の個数を5個として説明するが、エンコーダ513からnビットのデジタル信号が出力される場合には(2n−1)個の比較器511およびラッチ回路512が使用される。
比較器511のそれぞれに、異なる閾値が設定されている。例えば、図18に示すように、SPAD出力信号s11に対して閾値Vth10、Vth20・・Vth50(但し、Vth10<Vth20<・・<Vth50)が設定されている。これらの閾値は、図17に示すように、例えば基準電圧Vccを6個の抵抗R10、R20・・R60で分圧することにより得られる。なお、エンコーダ513からnビットのデジタル信号が出力される場合には2n個の抵抗が使用される。
抵抗分圧により得られた閾値が比較器511の一方の入力端子に入力され、他方の入力端子にSPAD出力信号s11が入力される。比較器511は、SPAD出力信号s11の電圧(レベル)と閾値とを比較し、比較結果を出力する。例えば、比較器5111は、SPAD出力信号s11の電圧が閾値Vth10以下の場合にはL(Low)レベルの信号を出力し、SPAD出力信号s11の電圧が閾値Vth10より大きい場合にはH(High)レベルの信号を出力する。他の比較器511についても同様である。比較器511による比較処理は、並列的に且つ高速に行われる。
ラッチ回路512は、比較器511による比較結果を保持するとともに比較結果をエンコーダ513に出力する。ラッチ回路512は、例えば、RSフリップフロップ回路により構成することができる。ラッチ回路512に対して、リセットパルス供給回路52からリセットパルスが供給されるように構成されている。
エンコーダ513は、各ラッチ回路512の出力に基づいてSPAD出力信号s11のピーク電圧PVを判断し、ピーク電圧PV示すデジタル形式のピーク電圧信号PVsを生成し、出力する。
「ピーク電圧検出回路等の動作例」
ピーク電圧検出回路51およびリセットパルス供給回路52の動作例について図19を参照して説明する。図19には、サンプリング周期と、ラッチ回路512がリセットするタイミングとが示されている。また、図19には、サンプリング周期等に対応するグラフが示されている。グラフの横軸は時間の経過を示し、縦軸はSPAD出力信号s11の信号強度(電圧)を示している。グラフの縦軸には比較器511の閾値が示されており、比較器511の出力が各閾値に対応付けられて示されている。さらに、グラフには、光強度の大きい反射光を受光した場合のSPAD12の出力信号(以下、SPAD出力信号s11aと称する)と、光強度の小さい反射光を受光した場合のSPAD12の出力信号(以下、SPAD出力信号s11bと称する)とが対比的に示されている。
例えば、所定の周期で発生するクロックパルスに応じてリセットパルス供給回路52がリセットパルスを出力する。例えば、クロックパルスCPL1に応じて、リセットパルス供給回路52がリセットパルスRPL1を出力する。このリセットパルスRPL1が各ラッチ回路512に供給され、ラッチ回路512がリセットされる(ラッチ回路512の出力がLレベルとなる)。
そして、SPAD出力信号s11aが各比較器511に入力され、比較処理が行われる。この例では、SPAD出力信号s11aの電圧が閾値Vth40より大きく閾値Vth50より小さいものとして説明する。SPAD出力信号s11aの電圧が閾値より大きい比較結果が得られた比較器511(この場合は、比較器5111、5112、5113、5114)は、Hレベルの信号を出力する。ラッチ回路5121、5122、5123、5124は、Hレベルを保持するとともにそのレベルの信号をエンコーダ513に出力する。SPAD出力信号s11aの電圧が閾値以下の比較結果が得られた比較器511(この場合は、比較器5115)は、信号のレベルが変わらないLレベルの信号を出力する。ラッチ回路5125は、Lレベルを保持するとともにそのレベルの信号をエンコーダ513に出力する。
エンコーダ513は、ラッチ回路512の出力に基づいて、SPAD出力信号s11aのピーク電圧PVを判断する。この例では、ラッチ回路5124までの出力がHレベルであることから、エンコーダ513は、SPAD出力信号s11aのピーク電圧PVが閾値Vth40であると判断する。そして、エンコーダ513は、ピーク電圧PVを示すデジタル形式のピーク電圧信号PVsを出力する。
次のクロックパルスCPL2に応じて、リセットパルス供給回路52がリセットパルスRPL2を出力する。このリセットパルスRPL2が各ラッチ回路512に供給され、ラッチ回路512がリセットされる(全てのラッチ回路512の出力がLレベルとなる)。
そして、SPAD出力信号s11bが各比較器511に入力され、比較処理が行われる。この例では、SPAD出力信号s11bの電圧が閾値Vth20より大きく閾値Vth30より小さいものとして説明する。SPAD出力信号s11bの電圧が閾値より大きい比較結果が得られた比較器511(この場合は、比較器5111、5112)は、Hレベルの信号を出力する。ラッチ回路5121、5122は、Hレベルを保持するとともにそのレベルの信号をエンコーダ513に出力する。SPAD出力信号s11bの電圧が閾値以下の比較結果が得られた比較器511(この場合は、比較器5113、5114、5115)は、信号のレベルが変わらないLレベルの信号を出力する。ラッチ回路5123、5124、5125は、Lレベルを保持するとともにそのレベルの信号をエンコーダ513に出力する。
エンコーダ513は、ラッチ回路512の出力に基づいて、SPAD出力信号s11bのピーク電圧PVを判断する。この例では、ラッチ回路5122までの出力がHレベルであることから、エンコーダ513は、SPAD出力信号s11bのピーク電圧PVが閾値Vth20であると判断する。そして、エンコーダ513は、ピーク電圧PVを示すデジタル形式のピーク電圧信号PVsを出力する。以上のようにして、ピーク電圧検出回路51からSPAD出力信号s11のピーク電圧PVを判断し、ピーク電圧PVを示すピーク電圧信号PVsを出力することができる。
「補正装置の動作例」
第5の実施形態における補正装置50の動作例について説明する。パルス光源11から出射されたパルス光が測距対象物により反射され、反射パルス光RPとしてSPAD12により入力される。反射パルス光RPを受光するのに伴ってSPAD12からSPAD出力信号s11が出力される。SPAD12から出力されたSPAD出力信号s11は分岐され、その一方がピーク電圧検出回路51に入力される。
ピーク電圧検出回路51は、リセットパルス供給回路52から供給されるリセットパルスに応じた動作をし、SPAD出力信号s11のピーク電圧PVを検出する。そして、ピーク電圧検出回路51は、ピーク電圧PVを示すデジタル形式のピーク電圧信号PVsをルックアップテーブル参照回路15に出力する。
ルックアップテーブル参照回路15は、ルックアップテーブルを参照してピーク電圧PVに対応するずれ量Mを取得する。なお冒頭で説明したように、反射光の光強度が大きい場合にはSPAD出力信号s11のレベルが一定以上になるまでの時間(遅延)が少ないため、ピーク電圧PVが大きい場合には、対応するずれ量Mは小さいものとなる。反対に反射光の光強度が小さい場合にはSPAD出力信号s11のレベルが一定以上になるまでの時間(遅延)が大きいため、ピーク電圧PVが小さい場合には、対応するずれ量Mは大きいのとなる。
ルックアップテーブル参照回路15は、ずれ量Mを示す信号Msをタイミング補正回路16に出力する。タイミング補正回路16は、ずれ量Mに基づいてタイミングt1を補正することで補正後のタイミングt2を取得し、当該タイミングt2を示すタイミング信号t2sを出力する。なお、時間デジタル変換器13の動作については、第1の実施形態と同様であるので重複した説明を省略する。
「第5の実施形態の変形例」
第5の実施形態にかかる構成は、測距装置に対しても適用することができる。図20は、第2の実施形態で説明した測距装置20に第5の実施形態にかかる構成を適用した測距装置(測距装置60)の構成例を示すブロック図である。測距装置60は、積分回路/変換器23cに代えてピーク電圧検出回路51を備え、また、リセットパルス供給回路52を備えている。リセットパルス供給回路52は、パルス光源21における駆動回路21bの動作タイミングに同期してリセットパルスを出力する。すなわち、リセットパルス供給回路52は、パルス光源21の発光タイミングに同期するリセットパルスを出力する。このリセットパルスがピーク電圧検出回路51のラッチ回路512に供給され、ラッチ回路512がリセットされる。
その他の点については、第2、第5の実施形態で説明した内容と同様であるので、概略的な説明に留める。パルス光源21からパルス光が出射され、測距対象物MTにより反射された光が反射パルス光RPとして補正装置23のSPAD23aに入力される。SPAD23aが反射パルス光RPを受光すると、SPAD23aからSPAD出力信号s23が出力される。SPAD出力信号s23がピーク電圧検出回路51に入力される。ピーク電圧検出回路51は、リセットパルス供給回路52から供給されるリセットパルスに基づいて動作し、SPAD出力信号s11のピーク電圧PVを検出する。そして、ピーク電圧検出回路51は、ピーク電圧PVを示すデジタル形式のピーク電圧信号PVsをルックアップテーブル参照回路23dに出力する。ルックアップテーブル参照回路23dは、ルックアップテーブルを参照してピーク電圧PVに対応するずれ量Mを取得する。そして、タイミング補正回路23eによりずれ量Mに応じた補正がなされた後、補正結果を使用して距離算出回路24により測距対象物MTまでの距離が算出される。
図21は、第3の実施形態で説明した測距装置30に第5の実施形態にかかる構成を適用した測距装置(測距装置70)の構成例を示すブロック図である。上述した変形例と同様に、測距装置70は、積分回路/変換器33cに代えてピーク電圧検出回路51を備え、また、リセットパルス供給回路52を備えている。動作等については上述した変形例と同様であるので、重複した説明は省略する。
なお、第5の実施形態において、ピーク電圧検出回路51が光子数を計数する機能を有していてもよく、ピーク電圧検出回路51がピーク値に対応する光子数PNを得るようにしてもよい。そして、第1の実施形態等で説明した動作と同様にして、得られた光子数PNに応じたずれ量Mを使用した補正がなされ、測距対象物までの距離が算出されるようにしてもよい。
<変形例>
以上、本開示の複数の実施形態について具体的に説明したが、本開示の内容は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。以下、変形例について説明する。
上述した実施形態では、離散化出力型光検出器3の一例としてSPADを使用したが、これに限定されるものではない。例えば、出力を離散化して把握できる他の素子を使用してもよいし、フォトダイオード等の連続的な出力特性を持つ素子を使用してもよい。このような素子を使用したシステムに本技術を適用することにより、高速パルス(短パルス幅)の信号のピーク値を簡便且つ高精度に計測することができ、高い補正精度を得ることができる。
なお、例えば第5の実施形態では、離散化出力型光検出器3としてフォトダイオード等の連続的な出力特性を持つ素子で構成してもよいものの、ピーク電圧を検出する精度を向上させるために比較器511の数を多く設ける必要がある。離散化出力型光検出器3として出力特性が離散化して把握できるSPAD等の素子を使用することにより、離散的な出力に合わせて閾値を設定すればよく、比較器511等の数を少なくすることができるという利点が得られる。
SPADの構成(受光素子122の接続態様や接続数等)は適宜、変更できる。クエンチング抵抗122bは、抵抗に限らずトランジスタ等の他の回路素子でもよい。
タイミング計測回路4は、時間デジタル変換器に限定されることはない。例えば、所定の波形の減衰波形と、当該所定の波形を遅延反転させた波形とを足し合わせてゼロクロス点を検出するCFD(Constant Fraction Discriminator)等を使用してもよい。
ずれ量算出回路6は、ルックアップテーブル参照回路に限定されることはなく、所定の演算処理により光子数からずれ量を求める回路等であってもよい。
上述した補正装置または測距装置は、説明した全ての構成を備える必要はなく、任意の構成を追加、削除してもよいし、ある構成要素の機能を他の構成要素の機能に統合することも可能である。例えば、補正装置は、パルス光源やSPADを備えない構成でもよく、距離算出回路を含む構成であってもよい。また、測距装置は、パルス光源やSPADを備えない構成でもよい。さらに、補正装置や測距装置がSPAD出力信号を増幅する増幅回路等を追加的に備える構成でもよい。
上述した第2の実施形態等では、ずれ量Mに基づいて反射パルス光RPの飛行時間を補正したが、ずれ量Mに基づいてSPAD12が反射パルス光RPを受光したタイミング(反射パルス光RPのレベルが閾値を上回るタイミング)を補正してもよい。そして、補正後のタイミングと発光タイミングとの差分を求めることにより反射パルス光RPの飛行時間を求めてもよい。
上述した第4の実施形態において、時間デジタル変換器43b、43cのそれぞれに閾値Vth1、Vth2が予め設定されていれば、閾値設定回路43fはなくてもよい。また、補正装置43は、必ずしも測距装置40に組み込まれて使用される必要はない。
上述した各実施形態において、構成間の電気的な接続関係は、ケーブル等を使用した有線による接続でもよく、所定の通信規格に基づく無線通信でもよい。
本開示の補正装置は、測距装置の他にも測距装置が組み込まれる機器(例えば、プロジェクタ装置、ゲーム機器、撮像装置等の各種の電子機器や、歩行者や障害物等までの距離を検知し、距離に応じてブレーキを作動させる安全装置、このような安全装置が使用され得る自動車、電車、飛行機、ヘリコプター、小型飛行体等の移動体、ロボット、防犯装置等)にも適用可能である。また、測距装置に限らず、正確な光子数の検出が必要とされる機器に対しても適用可能である。
本開示は、例えば、上述の実施形態において挙げた構成、方法、工程、形状、材料および数値などはあくまでも例に過ぎず、必要に応じてこれと異なる構成、方法、工程、形状、材料および数値などを用いてもよい。また、本開示は、装置、方法、複数の装置からなるシステム等により実現することができ、複数の実施形態および変形例で説明した事項は、技術的な矛盾が生じない限り相互に組み合わせることができる。
なお、本開示は、以下のような構成も取ることができる。
(1)
受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得する取得部と、
前記情報に対応する補正値を取得する補正値取得部と、
前記補正値に基づく補正を行う補正部と
を備える補正装置。
(2)
前記取得部は、前記出力信号に基づいて光子数を計数する光子数計数部であり、
前記補正値取得部は、前記光子数に対応する補正値を取得する
(1)に記載の補正装置。
(3)
前記光子数計数部は、前記出力信号を積分する積分回路を備え、
前記積分回路による積分値に応じて前記光子数を計数するように構成された
(2)に記載の補正装置。
(4)
前記光子数計数部は、前記出力信号のレベルが第1の閾値を上回る第1のタイミングと前記出力信号のレベルが第2の閾値を上回る第2のタイミングとの時間差に応じて前記光子数を計数するように構成された
(2)に記載の補正装置。
(5)
前記光子数計数部は、前記光子数を示すデジタル形式の光子数信号を前記補正値取得部に出力するように構成された
(2)乃至(4)のいずれかに記載の補正装置。
(6)
前記補正値取得部は、前記光子数に対応した補正値が記述されたルックアップテーブルを備え、前記ルックアップテーブルを参照して前記光子数に対応した補正値を取得するように構成された
(2)乃至(5)のいずれかに記載の補正装置。
(7)
前記取得部は、前記出力信号のピーク電圧を検出し、検出したピーク電圧を出力するピーク電圧検出部である
(1)に記載の補正装置。
(8)
前記ピーク電圧検出部は、前記出力信号を複数の閾値と比較することにより前記ピーク電圧を検出する
(7)に記載の補正装置。
(9)
前記ピーク電圧検出部は、前記出力信号と所定の閾値とを比較する比較器と、比較結果を保持する保持部とをそれぞれ複数、備える
(8)に記載の補正装置。
(10)
発光部の発光タイミングに同期するリセットパルスを前記複数の保持部のそれぞれに供給するリセットパルス供給部を備える
(9)に記載の補正装置。
(11)
前記ピーク電圧検出部は、前記ピーク電圧に対応する光子数を取得し、
前記補正値取得部は、前記光子数に対応する補正値を取得する
(7)乃至(10)のいずれかに記載の補正装置。
(12)
前記補正部は、前記補正値に基づいて、前記受光部が光を受光したタイミングまたは前記光の飛行時間を補正するように構成された
(1)乃至(11)のいずれかに記載の補正装置。
(13)
前記出力信号のレベルが所定の閾値を上回るタイミングを計測する計測部を備える
(1)乃至(12)のいずれかに記載の補正装置。
(14)
前記受光部が受光する光の出力タイミングが入力される計測部を備え、
前記計測部は、前記出力タイミングと前記出力信号のレベルが所定の閾値を上回るタイミングとの差を計測するように構成された
(1)乃至(12)のいずれかに記載の補正装置。
(15)
前記受光部は、光を受けて出力する前記出力信号のピーク値または積分値の度数分布が光子数に対応して複数の極大値を持つものである
(1)乃至(14)のいずれかに記載の補正装置。
(16)
前記受光部は、アバランシェフォトダイオードと前記アバランシェフォトダイオードに直列に接続される抵抗とを備える受光素子が複数接続されて成る
(15)に記載の補正装置。
(17)
前記受光部を備える
(1)乃至(16)のいずれかに記載の補正装置。
(18)
取得部が、受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得し、
補正値取得部が、前記情報に対応する補正値を取得し、
補正部が、前記補正値に基づく補正を行う
補正方法。
(19)
受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得する取得部と、
前記情報に対応する補正値を取得する補正値取得部と、
前記補正値に基づく補正を行う補正部と、
前記補正の結果を使用して、測距対象物までの距離を算出する距離算出部と
を備える測距装置。
(20)
前記補正部は、前記補正値に基づいて、前記受光部が光を受光したタイミングまたは前記光の飛行時間を補正するように構成された
(19)に記載の測距装置。
1,10,23,33,50・・・補正装置
3・・・離散化出力型光検出器
4・・・タイミング計測回路
5・・・光子数計数回路
6・・・ずれ量算出回路
7,16,23e,33e,43e・・・タイミング補正回路
12,23a,33a,43a・・・マルチピクセル型SPAD
13,23b,33b,43b,43c・・・時間デジタル変換器
14,23c,33c・・・積分回路/変換器
15,23d,33d,43d・・・ルックアップテーブル参照回路
20,30,40,60,70・・・測距装置
51・・・ピーク電圧検出回路
52・・・リセットパルス供給回路
RP・・・反射パルス光
MT・・・測距対象物

Claims (20)

  1. 受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得する取得部と、
    前記情報に対応する補正値を取得する補正値取得部と、
    前記補正値に基づく補正を行う補正部と
    を備える補正装置。
  2. 前記取得部は、前記出力信号に基づいて光子数を計数する光子数計数部であり、
    前記補正値取得部は、前記光子数に対応する補正値を取得する
    請求項1に記載の補正装置。
  3. 前記光子数計数部は、前記出力信号を積分する積分回路を備え、
    前記積分回路による積分値に応じて前記光子数を計数するように構成された
    請求項2に記載の補正装置。
  4. 前記光子数計数部は、前記出力信号のレベルが第1の閾値を上回る第1のタイミングと前記出力信号のレベルが第2の閾値を上回る第2のタイミングとの時間差に応じて前記光子数を計数するように構成された
    請求項2に記載の補正装置。
  5. 前記光子数計数部は、前記光子数を示すデジタル形式の光子数信号を前記補正値取得部に出力するように構成された
    請求項2に記載の補正装置。
  6. 前記補正値取得部は、前記光子数に対応した補正値が記述されたルックアップテーブルを備え、前記ルックアップテーブルを参照して前記光子数に対応した補正値を取得するように構成された
    請求項2に記載の補正装置。
  7. 前記取得部は、前記出力信号のピーク電圧を検出し、検出したピーク電圧を出力するピーク電圧検出部である
    請求項1に記載の補正装置。
  8. 前記ピーク電圧検出部は、前記出力信号を複数の閾値と比較することにより前記ピーク電圧を検出する
    請求項7に記載の補正装置。
  9. 前記ピーク電圧検出部は、前記出力信号と所定の閾値とを比較する比較器と、比較結果を保持する保持部とをそれぞれ複数、備える
    請求項8に記載の補正装置。
  10. 発光部の発光タイミングに同期するリセットパルスを前記複数の保持部のそれぞれに供給するリセットパルス供給部を備える
    請求項9に記載の補正装置。
  11. 前記ピーク電圧検出部は、前記ピーク電圧に対応する光子数を取得し、
    前記補正値取得部は、前記光子数に対応する補正値を取得する
    請求項7に記載の補正装置。
  12. 前記補正部は、前記補正値に基づいて、前記受光部が光を受光したタイミングまたは前記光の飛行時間を補正するように構成された
    請求項1に記載の補正装置。
  13. 前記出力信号のレベルが所定の閾値を上回るタイミングを計測する計測部を備える
    請求項1に記載の補正装置。
  14. 前記受光部が受光する光の出力タイミングが入力される計測部を備え、
    前記計測部は、前記出力タイミングと前記出力信号のレベルが所定の閾値を上回るタイミングとの差を計測するように構成された
    請求項1に記載の補正装置。
  15. 前記受光部は、光を受けて出力する前記出力信号のピーク値または積分値の度数分布が光子数に対応して複数の極大値を持つものである
    請求項1に記載の補正装置。
  16. 前記受光部は、アバランシェフォトダイオードと前記アバランシェフォトダイオードに直列に接続される抵抗とを備える受光素子が複数接続されて成る
    請求項15に記載の補正装置。
  17. 前記受光部を備える
    請求項1に記載の補正装置。
  18. 取得部が、受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得し、
    補正値取得部が、前記情報に対応する補正値を取得し、
    補正部が、前記補正値に基づく補正を行う
    補正方法。
  19. 受光部から出力される出力信号に基づいて光子数に対応した情報を取得する取得部と、
    前記情報に対応する補正値を取得する補正値取得部と、
    前記補正値に基づく補正を行う補正部と、
    前記補正の結果を使用して、測距対象物までの距離を算出する距離算出部と
    を備える測距装置。
  20. 前記補正部は、前記補正値に基づいて、前記受光部が光を受光したタイミングまたは前記光の飛行時間を補正するように構成された
    請求項19に記載の測距装置。
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Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018211831A1 (ja) * 2017-05-18 2018-11-22 シャープ株式会社 光検出器および携帯型電子機器
CN109115334A (zh) * 2017-06-22 2019-01-01 株式会社电装 光检测装置
WO2020153182A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 光検出装置及び光検出装置の駆動方法、並びに、測距装置
JP2021503085A (ja) * 2017-11-15 2021-02-04 オプシス テック リミテッド ノイズ適応ソリッドステートlidarシステム
WO2022044686A1 (ja) * 2020-08-27 2022-03-03 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 Apdセンサ及び測距システム
US11740331B2 (en) 2017-07-28 2023-08-29 OPSYS Tech Ltd. VCSEL array LIDAR transmitter with small angular divergence
US11762068B2 (en) 2016-04-22 2023-09-19 OPSYS Tech Ltd. Multi-wavelength LIDAR system
WO2023176226A1 (ja) * 2022-03-14 2023-09-21 ソニーグループ株式会社 測距装置及び車載装置
US11846728B2 (en) 2019-05-30 2023-12-19 OPSYS Tech Ltd. Eye-safe long-range LIDAR system using actuator
US11906663B2 (en) 2018-04-01 2024-02-20 OPSYS Tech Ltd. Noise adaptive solid-state LIDAR system
US11927694B2 (en) 2017-03-13 2024-03-12 OPSYS Tech Ltd. Eye-safe scanning LIDAR system
US11965964B2 (en) 2019-04-09 2024-04-23 OPSYS Tech Ltd. Solid-state LIDAR transmitter with laser control

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2019007950A (ja) * 2017-06-22 2019-01-17 株式会社デンソー 光測距装置
WO2018235944A1 (ja) * 2017-06-22 2018-12-27 株式会社デンソー 光測距装置
JP2019027843A (ja) * 2017-07-27 2019-02-21 セイコーエプソン株式会社 回路装置、物理量測定装置、電子機器及び移動体
JP6950558B2 (ja) * 2018-02-15 2021-10-13 株式会社デンソー 距離測定装置
DE102018124123B4 (de) 2018-09-28 2021-02-18 Leica Microsystems Cms Gmbh Verfahren zur Auswertung eines Einzelphotonen-Detektorsignals sowie Mikroskopsystem, Konfokalmikroskopsystem oder Raster-Konfokalmikroskopsystem
JPWO2020071465A1 (ja) * 2018-10-05 2021-09-02 日本電産株式会社 距離測定装置
JP2020112495A (ja) * 2019-01-15 2020-07-27 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 受光装置および測距装置
CN113424027B (zh) * 2019-03-07 2024-04-12 索尼半导体解决方案公司 光接收装置
JP6970703B2 (ja) * 2019-03-18 2021-11-24 株式会社東芝 電子装置および方法
JP2021047069A (ja) * 2019-09-18 2021-03-25 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 受光装置、並びに、測距装置及び測距装置の制御方法
JP2021076589A (ja) * 2019-11-12 2021-05-20 株式会社デンソー 距離測定装置
JP7086119B2 (ja) * 2020-01-17 2022-06-17 キヤノン株式会社 信号処理回路、信号処理方法及び放射線撮像装置
CN113433563B (zh) * 2020-03-06 2022-06-28 宁波飞芯电子科技有限公司 测距方法及测距装置
CN111679290B (zh) * 2020-06-04 2023-05-05 上海禾赛科技有限公司 光子计数校正方法、激光雷达以及计算机可读介质
CN112083436A (zh) * 2020-09-04 2020-12-15 深圳市迈测科技股份有限公司 修正蓄光测距误差的方法、装置、设备和激光测距仪
JP7425702B2 (ja) * 2020-09-17 2024-01-31 株式会社東芝 距離計測装置、及び距離計測方法
WO2022200340A1 (en) * 2021-03-23 2022-09-29 Osram Gmbh Detection system and method of performing a time measurement

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3846028A (en) * 1971-08-20 1974-11-05 Westinghouse Electric Corp Energy conversion apparatus
JPH08105971A (ja) 1994-10-05 1996-04-23 Hitachi Ltd マルチパルスによる測距方法とその装置
US6737642B2 (en) * 2002-03-18 2004-05-18 Syagen Technology High dynamic range analog-to-digital converter
US7301608B1 (en) * 2005-01-11 2007-11-27 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Photon-counting, non-imaging, direct-detect LADAR
JP4673197B2 (ja) 2005-11-24 2011-04-20 日立Geニュークリア・エナジー株式会社 液体試料のモニタリング方法及び液体試料分析装置
US8324588B2 (en) * 2007-09-11 2012-12-04 Kansas State University Research Foundation Remote substance detection
US8890077B2 (en) * 2009-08-04 2014-11-18 Georgia Tech Research Corporation Remote detection of radiation
JP5598905B2 (ja) * 2010-02-26 2014-10-01 独立行政法人日本原子力研究開発機構 中性子イメージ検出方法及びその方法を用いた中性子イメージ検出器
US8779367B2 (en) 2012-02-20 2014-07-15 General Electric Company System and method for correcting timing errors in a medical imaging system
US8989596B2 (en) * 2012-03-06 2015-03-24 Northrop Grumman Systems Corporation Multiple sensor optical communication systems and methods
US20140037135A1 (en) * 2012-07-31 2014-02-06 Omek Interactive, Ltd. Context-driven adjustment of camera parameters
JP6282435B2 (ja) 2013-10-04 2018-02-21 株式会社東芝 ミュオン軌跡検出器及びミュオン軌跡検出方法
US9625580B2 (en) * 2014-01-03 2017-04-18 Princeton Lightwave, Inc. LiDAR system comprising a single-photon detector
JP6615503B2 (ja) * 2014-06-16 2019-12-04 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 フォトンカウンティング型x線ct装置及びフォトンカウンティング型x線診断装置
EP3186661B1 (en) * 2014-08-26 2021-04-07 Massachusetts Institute of Technology Methods and apparatus for three-dimensional (3d) imaging

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11762068B2 (en) 2016-04-22 2023-09-19 OPSYS Tech Ltd. Multi-wavelength LIDAR system
US11927694B2 (en) 2017-03-13 2024-03-12 OPSYS Tech Ltd. Eye-safe scanning LIDAR system
JPWO2018211831A1 (ja) * 2017-05-18 2020-03-12 シャープ株式会社 光検出器および携帯型電子機器
WO2018211831A1 (ja) * 2017-05-18 2018-11-22 シャープ株式会社 光検出器および携帯型電子機器
CN109115334A (zh) * 2017-06-22 2019-01-01 株式会社电装 光检测装置
US10612973B2 (en) 2017-06-22 2020-04-07 Denso Corporation Light detection device
CN109115334B (zh) * 2017-06-22 2021-10-01 株式会社电装 光检测装置
US11740331B2 (en) 2017-07-28 2023-08-29 OPSYS Tech Ltd. VCSEL array LIDAR transmitter with small angular divergence
JP7388720B2 (ja) 2017-11-15 2023-11-29 オプシス テック リミテッド ノイズ適応ソリッドステートlidarシステム
US11802943B2 (en) 2017-11-15 2023-10-31 OPSYS Tech Ltd. Noise adaptive solid-state LIDAR system
JP2021503085A (ja) * 2017-11-15 2021-02-04 オプシス テック リミテッド ノイズ適応ソリッドステートlidarシステム
US11906663B2 (en) 2018-04-01 2024-02-20 OPSYS Tech Ltd. Noise adaptive solid-state LIDAR system
WO2020153182A1 (ja) * 2019-01-25 2020-07-30 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 光検出装置及び光検出装置の駆動方法、並びに、測距装置
US11965964B2 (en) 2019-04-09 2024-04-23 OPSYS Tech Ltd. Solid-state LIDAR transmitter with laser control
US11846728B2 (en) 2019-05-30 2023-12-19 OPSYS Tech Ltd. Eye-safe long-range LIDAR system using actuator
WO2022044686A1 (ja) * 2020-08-27 2022-03-03 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 Apdセンサ及び測距システム
WO2023176226A1 (ja) * 2022-03-14 2023-09-21 ソニーグループ株式会社 測距装置及び車載装置

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