JP2017052678A - ガラス板の製造方法及びその製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置の全体概略構成を説明する。図1は、その全体概略構成を示す縦断正面図である。なお、以下の説明に際しては、図1における紙面と直交する方向を幅方向という。同図に示すように、ガラス板の製造装置1は、搬入口2aからチャンバー2内に搬入したガラス板3を水平方向に搬送しつつ、チャンバー2内におけるガラス板3の搬送経路上に設けた処理エリア4で、処理ガス5としてのフッ化水素によりエッチング処理を施す構成とされている。そして、エッチング処理後のガラス板3は、搬出口2bからチャンバー2外に搬出される。また、このガラス板の製造装置1は、チャンバー2内外に配置された複数のローラー6によって、水平方向に一直線状に延びた搬送経路に沿ってガラス板3を搬送する構成とされている。なお、ローラー6は、搬送経路に沿う方向に複数配置されているだけでなく、幅方向にも複数配置されている(図3参照)。
次に、本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置(その製造方法)について説明する。なお、この第二実施形態の説明において、上記の第一実施形態で既に説明した構成要素については、参照図面に同一符号を付すことで重複する説明を省略し、ここでは第一実施形態との相違点についてのみ説明する。
3 ガラス板
3a ガラス板の下面
3b ガラス板の上面
3x ガラス板の搬送方向後端
5 処理ガス
9 上部構成体
10 下部構成体
12 処理空間
13 底板
14 給気構体
15 排気構体
20 給気口
24 排気口
27 天板
28 前側天板
29 後側天板
30 段差(高低差)
31 後側天板の下面
32 前側天板の下面
33 加熱部材
34 スペーサー
40 給気構体
42 第二の給気口
43 処理ガス
H 高低差寸法
Claims (11)
- 給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、前記対向する両面の相互間に形成される処理空間で、前記給気口から吹き出されて前記排気口に吸い込まれる処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、前記給気口と前記排気口とを、前記ガラス板の搬送方向に離隔して位置させたガラス板の製造方法において、
前記処理空間は、前記給気口が位置する領域の高さが、前記排気口が位置する領域の高さよりも高いことを特徴とするガラス板の製造方法。 - 前記給気口は、前記排気口よりも前記ガラス板の搬送方向後側に位置していることを特徴とする請求項1に記載のガラス板の製造方法。
- 前記上部構成体の下面は、前記給気口が位置する領域と前記排気口が位置する領域との間に高低差を有する二つの平面部を備え、これら二つの平面部の内、前者の領域に対応する平面部が、後者の領域に対応する平面部よりも高い位置に形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス板の製造方法。
- 前記下部構成体の上面は、前記給気口が位置する領域と前記排気口が位置する領域との間に高低差を有しない一つの平面部を備えていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記給気口が位置する領域の高さと、前記排気口が位置する領域の高さとの差が、5〜100mmであることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記上部構成体の下面に、前記水平方向に搬送されるガラス板の上面にエッチング処理を施すべく処理ガスを吹き出させる第二の給気口を形成したことを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記上部構成体は、天板を有し、前記天板の下面と前記下部構成体の上面との相互間に、前記処理空間を形成したことを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記天板は、前記ガラス板の搬送方向前側の前側天板と、搬送方向後側の後側天板とに分割されており、前記前側天板の下面と前記後側天板の下面との間に高低差が設けられていることを特徴とする請求項7に記載のガラス板の製造方法。
- 前記前側天板と前記後側天板との分割部に、前記水平方向に搬送されるガラス板の上面にエッチング処理を施すべく処理ガスを吹き出させる第二の給気口を位置させたことを特徴とする請求項8に記載のガラス板の製造方法。
- 前記第二の給気口を、前記ガラス板の搬送方向における前記給気口と前記排気口との間に位置させたことを特徴とする請求項6〜9の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 給気口及び排気口を有する下部構成体の上面と、上部構成体の下面とを対向させて配置し、前記対向する両面の相互間に形成される処理空間で、前記給気口から吹き出されて前記排気口に至る処理ガスによって、水平方向に搬送されるガラス板の下面にエッチング処理を施すと共に、前記給気口と前記排気口とを、前記ガラス板の搬送方向に離隔して位置させたガラス板の製造装置において、
前記処理空間は、前記給気口が位置する領域の高さが、前記排気口が位置する領域の高さよりも高いことを特徴とするガラス板の製造装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021080129A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置及びその製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009129997A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面処理装置 |
JP2009194014A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Sharp Corp | プロセス処理装置 |
WO2011105331A1 (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-01 | 積水化学工業株式会社 | エッチング方法及び装置 |
JP2014125414A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状ガラスの表面処理装置及び表面処理方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4857142A (en) * | 1988-09-22 | 1989-08-15 | Fsi International, Inc. | Method and apparatus for controlling simultaneous etching of front and back sides of wafers |
TWI680110B (zh) * | 2009-05-07 | 2019-12-21 | 日本電氣硝子股份有限公司 | 玻璃基板及其製造方法 |
CN203382660U (zh) * | 2013-06-27 | 2014-01-08 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 玻璃表面刻蚀装置 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009129997A (ja) * | 2007-11-20 | 2009-06-11 | Sekisui Chem Co Ltd | 表面処理装置 |
JP2009194014A (ja) * | 2008-02-12 | 2009-08-27 | Sharp Corp | プロセス処理装置 |
WO2011105331A1 (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-01 | 積水化学工業株式会社 | エッチング方法及び装置 |
JP2014125414A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 板状ガラスの表面処理装置及び表面処理方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021080129A (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置及びその製造方法 |
WO2021100392A1 (ja) * | 2019-11-19 | 2021-05-27 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造装置及びその製造方法 |
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