JP2017052174A - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】アクチュエータ基板と保持基板とが複数の配線を介して接合されている接合領域について少ない接着剤量で安定したシール性を確保する。【解決手段】保持基板５０の一部は、圧電素子１１に接続され、圧力発生素子である圧電素子１１の並び方向に配置された複数の個別配線１６を介して、アクチュエータ基板２０に接着剤２００で接合され、保持基板５０とアクチュエータ基板２０とが複数の個別配線１６を介して接合されている接合領域５５において、圧力発生素子（圧電素子１１）の並び方向で隣り合う個別配線１６間の間隔が広い部分１７ａと間隔が狭い部分１７ｂとがある。【選択図】図８

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体吐出ヘッドとして、例えば、複数の圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板上に、圧力発生素子を覆う保持基板（保護基板とも称される。）を接着剤で接合し、アクチュエータ基板上に駆動回路部である駆動ＩＣを実装したものがある。

従来、アクチュエータ基板と保持基板との接合領域のうち、複数の圧力発生素子と駆動ＩＣとを通じる複数の配線を介して接合された領域において、複数の配線間の一部に、平面視で、クランク形状部を有するものが知られている（特許文献１）。

特開２０１５−１０７６３４号公報

ところで、圧力発生素子を保持基板で覆うことで、駆動ＩＣと圧力発生素子とを通じる複数の配線はアクチュエータ基板と保持基板との間を通じて配置されることになる。そのため、配線を介してアクチュエータ基板と保持基板とを接合する領域では、圧力発生素子の並び方向において、配線間の領域と配線が存在する領域とで凹凸（段差）が発生する。

そこで、アクチュエータ基板と保持基板とを複数の配線を介して接着剤で接合する場合、圧力発生素子側への接着剤の流れ出しを抑制しつつ、アクチュエータ基板と保持基板との間を確実にシールできることが求められる。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、少ない接着剤量で安定したシール性を確保することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
複数の圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板と、
前記圧力発生素子を収容する凹部が形成された保持基板と、を有し、
前記保持基板の一部は、前記圧力発生素子に接続され、前記圧力発生素子の並び方向に配置された複数の配線を介して、前記アクチュエータ基板に接着剤で接合され、
前記保持基板と前記アクチュエータ基板とが前記複数の配線を介して接合されている接合領域において、前記圧力発生素子の並び方向で隣り合う前記配線間の間隔が広い部分と前記配線間の間隔が狭い部分とがある
構成とした。

本発明によれば、少ない接着剤量で安定したシール性を確保することができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の斜視説明図である。 同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。 図２の要部拡大断面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第１実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。 同じく図５の圧力発生素子並び方向に沿う接合隙間部分の断面説明図である。 同実施形態の作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する工程の説明に供する説明図である。 保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。 本発明の第２実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。 同実施形態の作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。 本発明の第３実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。 同実施形態の作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。 本発明の第４実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。 同実施形態の作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。 本発明の第５実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。 本発明の第６実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図３は図２の要部拡大断面説明図、図４は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、振動板３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、配線部材６０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。

ここで、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を、本発明における「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０と接合されることまで意味するものではない。

ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。

流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。

この液導入部８は振動板３の通路（供給口）９と保持基板５０の流路（開口部）５１を介してフレーム部材７０で形成される共通液室１０に通じている。

振動板３は、個別液室６の壁面の一部をなす変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。

圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。

複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン１２１に接続されている。なお、下部電極１３は、図４に示すように、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。

また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。

ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。

アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン１０１と接続されている。

配線部材６０に設けられた配線が、ドライバＩＣ５００と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は装置本体側の制御部に接続される。

そして、アクチュエータ基板２０上には、前述した流路５１、圧電素子１１を収容する凹部５２、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が形成された保持基板５０を設けている。

この保持基板５０は、接着剤によってアクチュエータ基板２０の振動板３側に接合されている。

フレーム部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０を形成する。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられる。また、外部からの液体供給口７１（図１）を介して共通液室１０に所要の色の液体が供給がされる。

フレーム部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。

フレーム部材７０はノズル板１の外周部と接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。

そして、ノズル板１の周縁部及びフレーム部材の７０の外周面の一部を覆うノズルカバー部材４５を設けている。

この液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。

このとき、下部電極１３側は振動領域３０で拘束されているため、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。

次に、本発明の第１実施形態について図５及び図６を参照して説明する。図５は同実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図、図６は同じく図５の圧力発生素子並び方向に沿う接合隙間部分の断面説明図である。

アクチュエータ基板２０上に配置された複数の圧電素子１１の上部電極１４とコンタクト部１６Ａで接続された個別配線１６がそれぞれ引き出されてドライバＩＣ５００（図２）に通じている。

したがって、保持基板５０は複数の個別配線１６を介してアクチュエータ基板２０に接着剤で接合される。

なお、図６に示すように、個別配線１６を含めてアクチュエータ基板２０の表面には絶縁膜２２が形成されているので、個別配線１６間の間隔は平面視における間隔である。図５のように平面図で個別配線１６として図示する部分には絶縁膜２２を含んでいるものとする。

ここで、複数の個別配線１６を介して保持基板５０とアクチュエータ基板２０が接合される領域を接合領域５５とする。

この接合領域５５において、アクチュエータ基板２０の表面では、圧力発生素子の並び方向（圧電素子１１の並び方向）において、個別配線１６が存在する領域と、個別配線１６間の領域（これを「隙間１７」という。）とで段差（凹凸）が生じている。

本実施形態では、接合領域５５内において、隙間１７には、圧力発生素子の並び方向で隣り合う個別配線１６間の間隔を幅Ｌａとする間隔が広い部分１７ａと、個別配線１６間の間隔を幅Ｌｂ（Ｌｂ＜Ｌａ）とする間隔が狭い部分１７ｂとがある。なお、ここで、間隔の幅は、隙間１７のアクチュエータ基板２０の面内方向における幅である。

そして、ここでは、接合領域５５において、間隔が狭い部分１７ｂは圧力発生素子（圧電素子１１）側に配置され、間隔が広い部分１７ａは圧力発生素子側とは反対側であるドライバＩＣ５００側に配置されている。

次に、本実施形態の作用について図７及び図８も参照して説明する。図７は同作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する工程の説明に供する説明図、図８は保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。

保持基板５０とアクチュエータ基板２０とを接合するときには、図７に示すように、保持基板５０に接着剤２００を塗布（印刷塗布）し、保持基板５０とアクチュエータ基板２０とをアライメントして弱い圧力で仮接合する。そして、再度、アライメントを行って、矢印で示すように、保持基板５０とアクチュエータ基板２０とを互いに加圧して本接合し、加圧状態を保持したまま加熱して、接着剤２００を熱硬化させて接合する。

ここで、複数の個別配線１６を介して保持基板５０とアクチュエータ基板２０が接合される接合領域５５において、シールが不完全な部分が発生すると、ドライバＩＣ５００を実装するときの封止剤（アンダーフィル剤）が圧電素子１１側に侵入することがある。圧電素子１１側に封止剤が侵入すると、振動領域３０の変位効率を低減させ、吐出特性の低下、吐出特性のノズル間でのばらつきが生じることになる。また、圧電素子１１側に液体が侵入した場合にも圧電素子１１の駆動不良が発生することがある。

そのため、複数の個別配線１６で段差が生じている接合領域５５において、ドライバＩＣ５００側と圧電素子１１側、すなわち、保持基板５０の凹部５２と開口部５３との間を確実にシールする必要がある。

この場合、シール性を確保するために接合に使用する接着剤２００の量を多くすると、接着剤２００が圧電素子１１側に流れ出し、上記封止剤が侵入した場合と同様に、振動領域３０の変位効率を低減させ、吐出特性の低下ないしばらつきが生じることになる。

そのため、個別配線１６間の隙間１７を完全に埋め尽くすだけの量の接着剤２００を供給することができず、保持基板５０に塗布する接着剤２００の膜厚は隙間１７の積層方向の高さよりも薄くする。

その結果、隙間１７内は接着剤２００と後述する気泡２０１が混在する状態となるため、気泡に２０１よって隙間１７の圧電素子１１側とドライバＩＣ５００側が通じないようにする必要がある。

そこで、本実施形態のように、接合領域５５において、隣り合う個別配線１６間の隙間１７に、配線間の間隔が広い部分１７ａと配線間の間隔が狭い部分１７ｂを設けることで、接合領域５５内における隙間１７内で毛細管力差が生じることになる。

これにより、接着剤２００で接合するとき、配線間の間隔が狭い部分１７ｂには、接着剤２００が積極的に流れ出すので、接着剤２００によって配線間の間隔が狭い部分１７ｂが確実に埋められる。また、配線間の間隔が広い部分１７ａがあることで、接着剤２００の量を多くしても隙間１７内に収容できて圧電素子側への流れ出しを抑制できる。

さらに、隙間１７の幅が変化する箇所で表面張力の作用によって気泡２０１が断絶するので、隙間１７が気泡２０１で通じることがなくなる。

これにより、保持基板５０側に接着剤２００の膜厚が隙間１７の高さ（段差）よりも薄い場合でも、隙間１７のシール性を向上させることができ、接着剤供給量ばらつきに対するマージンを確保することができる。

このようにして、少ない接着剤量で安定したシール性を確保することができる。

次に、本発明の第２実施形態について図９を参照して説明する。図９は同実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。

本実施形態では、接合領域５５において、配線間の間隔が広い部分１７ａを挟んで両側に配線間の間隔が狭い部分１７ｂ、１７ｂが配置されている領域がある。つまり、隣り合う個別配線１６間の間隔が、狭い部分、広い部分、狭い部分の順に変化している領域がある。

次に、本実施形態の作用について図１０も参照して説明する。図１０は同作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。

本実施形態のように、配線間の間隔が広い部分１７ａを挟んで両側に配線間の間隔が狭い部分１７ｂ、１７ｂを配置することで、毛細管力差により配線間の間隔が広い部分１７ａを境に、矢印２０２で示すように異なる方向に接着剤２００が流れようとする。そのため、配線間の間隔が狭い部分１７ｂ、１７ｂには接着剤２００が充填されやすくなる。

これにより、配線間の間隔が広い部分１７ａに気泡が残りやすくなり、気泡が断絶されるので、隙間１７のシール性が向上する。

次に、本発明の第３実施形態について図１１を参照して説明する。図１１は同実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。

本実施形態では、接合領域５５において、配線間の間隔が狭い部分１７ｂを挟んで両側に配線間の間隔が広い部分１７ａ、１７ａが配置された領域がある。つまり、隣り合う個別配線１６間の間隔が、広い部分、狭い部分、広い部分の順に変化している領域がある。

次に、本実施形態の作用について図１２も参照して説明する。図１２は同作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。

本実施形態のように、配線間の間隔が狭い部分１７ｂを挟んで両側に配線間の間隔が広い部分１７ａ、１７ａを配置することで、毛細管力差により、矢印２０２で示すように、両側の配線間の間隔が広い部分１７ａ側から配線間の間隔が狭い部分１７ｂに接着剤２００が流れる。

これにより、配線間の間隔が狭い部分１７ｂに接着剤２００が留まり易くなり、隙間１７のシール性が向上する。

次に、本発明の第４実施形態について図１３を参照して説明する。図１３は同実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。

本実施形態では、平面視形状で、隣り合う個別配線１６間の隙間１７は、２つのクランク形状部１８を含み、４つの曲がり角を有している。そして、クランク形状部１８の曲がり角を境にして間隔が変化し、配線間の間隔が広い部分１７ａと、配線間の間隔が狭い部分１７ｂ、１７ｂと、幅が広い部分１７ａと幅が狭い部分１７ｂとをつなぐ配線間の間隔が最も狭い部分１７ｃとが配置されている。

次に、本実施形態の作用について図１４を参照して説明する。図１４は同作用説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合した状態の要部平面説明図である。

隙間１７に曲がり角がある場合、表面張力の作用でクランク形状部１８の曲がり角をまたがって気泡２０１が通じる現象は起こりにくいため、クランク形状部１８の曲がり角を境に気泡２０１が断絶しやすくなる。

これにより、隙間１７のシール性が向上する。

次に、本発明の第５実施形態について図１５を参照して説明する。図１５は同実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。

本実施形態では、平飯形状で、隙間１７は、４つのクランク形状部１８を含み、８つの曲がり角を有している。そして、前記第４実施形態と同様に、クランク形状部１８の曲がり角を境にして間隔が変化し、配線間の間隔が広い部分１７ａと、配線間の間隔が狭い部分１７ｂ、１７ｂと、幅が広い部分１７ａと幅が狭い部分１７ｂとをつなぐ配線間の間隔が最も狭い部分１７ｃとが配置されている。

隙間１７に含まれる曲がり角の数が多くなるほど、表面張力の作用で曲がり角を跨って気泡が通じる現象はより起こりにくくなるため、前記第４実施形態よりも、気泡が断絶しやすくなり、シール性がより確実に向上する。

次に、本発明の第６実施形態について図１６を参照して説明する。図１６は同実施形態の説明に供する保持基板をアクチュエータ基板に接合する前の状態の要部平面説明図である。

本実施形態でも、平飯形状で、隙間１７は、４つのクランク形状部１８を含み、８つの曲がり角を有している。そして、前記第４実施形態と同様に、曲がり角を境にして間隔が変化し、配線間の間隔が広い部分１７ａと、配線間の間隔が狭い部分１７ｂ、１７ｂと、幅が広い部分１７ａと幅が狭い部分１７ｂとをつなぐ配線間の間隔が最も狭い部分１７ｃとが配置されている。

そして、本実施形態では、幅が広い部分１７ａと幅が狭い部分１７ｂとをつなぐ配線間の間隔が最も狭い部分１７ｃの長さを前記第５実施形態よりも長くしている。

これにより、前記第４実施形態よりも、さらに曲がり角を境に気泡が断絶しやすくなり、シール性がより確実に向上する。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１７及び図１８を参照して説明する。図１７は同装置の要部平面説明図、図１８は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１９を参照して説明する。図１９は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図２０を参照して説明する。図１９は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、液体を吐出させて媒体に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能もの」とは液体が一時的にでも付着可能なものを意味する。「液体が付着するもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液なども含まれる。

また、「液体を吐出する装置」には、特に限定しない限り、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置のいずれも含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液をノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、図１８で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図１９で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、図２０で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。

また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板
４ ノズル
６ 個別液室
１０ 共通液室
１１ 圧電素子
１４ 上部電極（個別電極）
１６ 個別配線
２０ アクチュエータ基板
５０ 保持基板
６０ 配線部材
７０ フレーム部材
２００ 接着剤
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット
５００ ドライバＩＣ（駆動回路部）

Claims (9)

1. 複数の圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板と、
   前記圧力発生素子を収容する凹部が形成された保持基板と、を有し、
   前記保持基板の一部は、前記圧力発生素子に接続され、前記圧力発生素子の並び方向に配置された複数の配線を介して、前記アクチュエータ基板に接着剤で接合され、
   前記保持基板と前記アクチュエータ基板とが前記複数の配線を介して接合されている接合領域において、前記圧力発生素子の並び方向で隣り合う前記配線間の間隔が広い部分と前記配線間の間隔が狭い部分とがある
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記配線間の間隔が狭い部分が前記圧力発生素子側に、前記配線間の間隔が広い部分が前記圧力発生素子側と反対側に配置されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記配線間の間隔が広い部分を挟んで両側に、前記配線間の間隔が狭い部分が配置されている領域がある
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記配線間の間隔が狭い部分を挟んで両側に、前記配線間の間隔が広い部分が配置されている領域がある
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
5. 平面視形状で、前記配線間にクランク形状部を含む
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記クランク形状部の曲がり角を境にして前記配線間の間隔が異なっている
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
8. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
   ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ユニット。
9. 請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項７若しくは８に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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