JP2017050341A - 酸化物半導体二次電池、及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかる酸化物半導体二次電池は、第1電極14と、第1電極14の上に形成されたn型金属酸化物半導体層16と、n型金属酸化物半導体層16の上に形成され、n型金属酸化物半導体と絶縁性物質を含む物質からなる充電層18と、充電層18の上に形成されたp型金属酸化物半導体層20と、p型金属酸化物半導体層20の上に形成された第2電極22と、を備え、n型金属酸化物半導体層16が、アナターゼ構造、又はアモルファス構造の二酸化チタンを含んでいることを特徴とするものである。
【選択図】図1
Description
図1は、本実施形態による酸化物半導体二次電池の断面構造を示す図である。
充電層18は、絶縁性物質とn型金属酸化物半導体とを混在している。以下、充電層18について詳細に説明する。充電層18は、絶縁性物質の材料として、シリコーンオイルを使用している。また、n型金属酸化物半導体の材料として、二酸化チタンを使用している。
下地がクロム膜、パラジウム膜、チタン膜である酸化物半導体二次電池のサンプルをそれぞれ作成したときの電池特性について説明する。
次に、図7を参照して、酸化物半導体二次電池10の製造方法について説明する。図7は、二次電池の製造方法を示すフローチャートである。また、下記の説明では、酸化物半導体二次電池10の構成については、図1、及び図2を適宜参照する。
12 基板
14 第1電極
16 n型金属酸化物半導体層
18 充電層
20 p型金属酸化物半導体層
22 第2電極
Claims (11)
- 第1電極と、
前記第1電極の上に形成されたn型金属酸化物半導体層と、
前記n型金属酸化物半導体層の上に形成され、n型金属酸化物半導体と絶縁性物質とを含む物質からなる充電層と、
前記充電層の上に形成されたp型金属酸化物半導体層と、
前記p型金属酸化物半導体層の上に形成された第2電極と、を備え、
前記n型金属酸化物半導体層が、アナターゼ構造、又はアモルファス構造の二酸化チタンを含んでいることを特徴とする酸化物半導体二次電池。 - 前記n型金属酸化物半導体層が前記アナターゼ構造の二酸化チタンであることを特徴とする請求項1に記載の酸化物半導体二次電池。
- 前記第1電極の最表層がクロム膜によって形成され、
前記n型金属酸化物半導体層が前記クロム膜と接している請求項2に記載の酸化物半導体二次電池。 - 前記第1電極の最表層がチタン膜によって形成され、
前記n型金属酸化物半導体層が前記チタン膜と接している請求項2に記載の酸化物半導体二次電池。 - 前記n型金属酸化物半導体層に対してθ―2θ法によるX線回折測定を行うことにより得られたX線回折パターンにおいて、アナターゼ(101)面の回折強度が、ルチル(110)面の回折強度よりも高くなっていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の酸化物半導体二次電池。
- 第1電極を形成する工程と、
前記第1電極の上に、二酸化チタンからなるn型金属酸化物半導体層を形成する工程と、
前記n型金属酸化物半導体層の上に、n型金属酸化物半導体と絶縁性物質とを含む物質からなる充電層を形成する工程と、
前記充電層の上にp型金属酸化物半導体層を形成する工程と、
前記p型金属酸化物半導体層の上に第2電極を形成する工程と、を備え、
前記n型金属酸化物半導体層が、アナターゼ構造、又はアモルファス構造の二酸化チタンを含んでいることを特徴とする酸化物半導体二次電池の製造方法。 - 前記n型金属酸化物半導体層が、前記アナターゼ構造の二酸化チタンであることを特徴とする請求項6に記載の酸化物半導体二次電池の製造方法。
- 前記第1電極の最表層がクロム膜によって形成され、
前記n型金属酸化物半導体層が前記クロム膜と接している請求項7に記載の酸化物半導体二次電池の製造方法。 - 前記第1電極の最表層がチタン膜によって形成され、
前記n型金属酸化物半導体層が前記チタン膜と接している請求項7に記載の酸化物半導体二次電池の製造方法。 - 前記n型金属酸化物半導体層を成膜した後、前記n型金属酸化物半導体層を加熱することで、前記アナターゼ構造の二酸化チタンを形成することを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の酸化物半導体二次電池の製造方法。
- 前記n型金属酸化物半導体層に対してθ―2θ法によるX線回折測定を行うことにより得られたX線回折パターンにおいて、アナターゼ(101)面の回折強度が、ルチル(110)面の回折強度よりも高くなっていることを特徴とする請求項7〜9のいずれか1項に記載の酸化物半導体二次電池の製造方法。
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