JP2017047669A

JP2017047669A - 液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッド

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Publication number: JP2017047669A
Application number: JP2015175231A
Authority: JP
Inventors: 村上　健太郎; Kentaro Murakami; 健太郎村上; 寛之萩原; Hiroyuki Hagiwara; 徳起菅原; Noriki Sugawara; 智雄木下; Tomoo Kinoshita; 八十島　健; Takeshi Yasojima; 健八十島; 慎一板屋; Shinichi Itaya; 健一郎窪田; Kenichiro Kubota; 伊東　淳; Atsushi Ito; 淳伊東
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2015-09-04
Filing date: 2015-09-04
Publication date: 2017-03-09

Abstract

【課題】水系組成物と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】水を主な溶媒成分とする水系組成物と、ノズルから吐出する非水系インクとを、洗浄液を流路に通水することで置換する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記非水系インクが、有機溶剤としてグリコールエーテル類を含み、前記グリコールエーテル類の含有量は、当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以下であり、前記洗浄液が、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下である。
【選択図】なし

Description

本発明は、液体として非水系インクを吐出させる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドに関する。

液体噴射ヘッドの代表例としては、例えば、インク滴を噴射するノズルと連通する複数の圧力発生室と、圧力発生室に連通するマニホールドとを具備し、マニホールドから圧力発生室に供給されたインクを圧電アクチュエーター等の圧力発生手段によって加圧して、ノズルからインク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。

このような構成のインクジェット式記録ヘッドにおいては、製造過程で振動板にクラックが生じてしまうことがある。このため、インクジェット式記録ヘッドの組み立て後に、流路内に検査液を通液して、振動板上の電極の導通状態を検出することで、振動板のクラックの有無を検査する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

また、非水系インクを吐出させるインクジェット式記録ヘッドの流路内を洗浄する非水系洗浄液が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１１−０３１５５９号公報特開２０１３−１１６６０３号公報

しかしながら、検査に用いた検査液は、導電性を有する水系組成物からなるため、インクジェット式記録ヘッドから噴射するインクとして非水系インクを用いた場合、水系組成物を直接非水系インクに置換すると、水系組成物と非水系インクとが混ざり、非水系インクに含まれる顔料の分散が壊れて異物化し、インク滴の噴射不良や飛翔方向のずれなどの印刷異常が発生するという問題がある。また、特許文献２のように、非水系インクを噴射するインクジェット式記録ヘッドの流路を洗浄する洗浄液として非水系洗浄液が用いられたとしても、水系顔料インクと非水系洗浄液とが混ざった場合にも、顔料の分散が壊れて異物化する。

このため、水系組成物から非水系インクに置換する場合、水系組成物を水系洗浄液で洗浄した後、水系洗浄液を水溶性の溶剤を含む非水系洗浄液で洗浄し、その後、非水系洗浄液から非水系インクに置換する必要があり、洗浄工程が煩雑であるという問題がある。

また、最終的に送品される際前の洗浄液として水系洗浄液を用いた場合には、水系洗浄液が乾燥すると、水系洗浄液に含まれるグリセリンが流路内に残り、非水系インクに相溶せずに印字異常が発生するという問題や、非水系インクを供給する前に、非水系洗浄液で洗浄する必要があり、洗浄工程が煩雑化するという問題がある。

なお、このような問題は、インクジェット式記録ヘッドの製造方法だけではなく、インク以外の液体噴射ヘッドの製造方法においても同様に存在する。

本発明はこのような事情に鑑み、水系組成物と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる液体噴射ヘッドの製造方法及び液体噴射ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、水を主な溶媒成分とする水系組成物と、ノズルから吐出する非水系インクとを、洗浄液を流路に通水することで置換する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記非水系インクが、前記有機溶剤としてグリコールエーテル類を含み、前記グリコールエーテル類の含有量は、当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以下であり、前記洗浄液が、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。

かかる態様では、洗浄液が水溶性を有するため、水系組成物との置換性がよい。また、洗浄液が有機溶媒であるので、非水系インクとの置換性がよい。したがって、水系組成物と非水系インクとの置換を水溶性の有機溶媒である洗浄液によって効率よく行うことができる。

ここで、前記有機溶剤のＳＰ値は、９以上であることが好ましい。これによれば、流路部材のＳＰ値と離れたＳＰ値とすることができ、流路部材へのアタック性を低減できる。

また、前記有機溶剤は、前記液体噴射ヘッドを構成する部材のうち、硫黄を含む部材のＳＰ値との差が１以上で、且つ前記非水系インクのＳＰ値との差が１．５以内であることが好ましい。これによれば、流路部材からの硫黄の溶出による針状異物の析出を抑制することができると共に、洗浄液の非水系インクへの溶融性を向上できる。

また、前記水系組成物は、保湿剤の含有量が２０質量％以下であることが好ましい。これによれば、水系組成物が乾燥した際に保湿剤による残渣が生じるのを抑制することができる。また、水系組成物の保湿剤の含有量が少なければ、クラック検査に用いても、微少なクラックに浸透する保湿剤を抑制して、保湿剤の置換困難性を改善することができる。

また、前記水系組成物は、界面活性剤の含有量が１質量％以下であることが好ましい。これによれば、水系組成物が乾燥した際に界面活性剤による残渣が生じるのを抑制することができる。また、水系組成物の界面活性剤の含有量が少なければ、クラック検査に用いても、微少なクラックに浸透する保湿剤を抑制して、界面活性剤の置換困難性を改善することができる。

また、前記洗浄液は、有機溶剤としてグリコールエーテル類を含むことが好ましい。これによれば、洗浄液の水系組成物との置換性及び非水系インクとの置換性を向上することができる。

また、前記洗浄液は、下記式（１）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種の有機溶剤を含有することが好ましい。

ＨＯ−（Ｒ^１−Ｏ）_ｎ−Ｒ^２・・・（１）
（上記一般式（１）において、Ｒ^１は、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ^２は、アリール基または炭素数１以上６以下のアルキル基を表し、ｎは、１以上９以下の整数を表す。）
これによれば、洗浄液の水系組成物との置換性及び非水系インクとの置換性を向上することができる。

また、前記有機溶剤は、標準沸点が１７０℃以上であることが好ましい。これによれば、洗浄液の揮発を抑制して、乾燥による不具合を抑制することができる。

また、前記水系組成物は、染料を含み、顔料を含まないものであることが好ましい。これによれば、水系組成物が完全に洗浄できずに残留したとしても非水系インクとの混合によって顔料による異物の発生を抑制することができる。

また、前記水系組成物は、導電性を有することが好ましい。これによれば、水系組成物を振動板のクラック検査等の液体の漏出検査に用いることができる。

また、前記水系組成物は、アルカリ性であることが好ましい。これによれば、流路を構成する流路部材の酸化を抑制することができる。

また、前記水系組成物のｐＨは、１２未満であることが好ましい。これによれば、流路を構成する流路部材の酸化を抑制することができる。

また、前記洗浄液が通水された流路の上下流をシールする工程を有することが好ましい。これによれば、新たな洗浄工程が不要となって、工程を簡略化することができる。また、流路をシールすることで流路内の乾燥を抑制した状態で送品することができる。また、洗浄液として水溶性の有機溶媒を用いることで、シール時の洗浄液の乾燥による残渣や異物の発生を抑制することができる。ちなみに、液体噴射ヘッドから置換後の非水系インクを吐出できるように、液体噴射ヘッドに非水系インクを充填するまでを広く「液体噴射ヘッドの製造方法」とする。

また、液体噴射装置に前記液体噴射ヘッドを接続する工程と、前記液体噴射装置の前記非水系インクが保持された供給手段と前記流路とを接続する工程と、を有することが好ましい。これによれば、新たな洗浄工程が不要となって、工程を簡略化することができる。ちなみに、液体噴射ヘッドから置換後の非水系インクを吐出できるように、液体噴射ヘッドに非水系インクを充填するまでを広く「液体噴射ヘッドの製造方法」とする。

さらに、本発明の他の態様は、グリコールエーテル類を含む有機溶剤を含む非水系インクであって、前記グリコールエーテル類の含有量が当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以下の前記非水系インクを噴射する液体噴射ヘッドであって、前記非水系インクの通水前に、流路の内面には、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下の洗浄液が存在することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

本発明の実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。本発明の実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。本発明の実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜視図である。

図１に示すように、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉは、複数のインクジェット式記録ヘッド１（以下、記録ヘッド１とも言う）を具備する。記録ヘッド１は、供給手段を構成するインクカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッド１からは印刷時には、非水系インクが吐出される。

なお、本実施形態では、供給手段であるインクカートリッジ２が、キャリッジ３に搭載された構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の供給手段を装置本体４に固定して、供給手段と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。

このようなインクジェット式記録装置Ｉでは、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８によりキャリッジ軸５の軸方向とは交差する方向に搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。本実施形態では、記録シートＳの搬送方向を第１の方向Ｘと称する。また、キャリッジ３のキャリッジ軸５に沿った移動方向を第２の方向Ｙと称する。ちなみに、キャリッジ３は、キャリッジ軸５の一端部側には、特に図示しないが、記録ヘッド１のインク滴が噴射される液体噴射面等をクリーニングするクリーニング手段等が設けられている。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｚと称する。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。

そして、記録ヘッド１をキャリッジ３の移動方向である第２の方向Ｙに往復移動させながら、記録シートＳを搬送ローラー８によって第１の方向Ｘに搬送することで、記録シートＳに印刷を実行することができる。

このようなインクジェット式記録装置Ｉに搭載される記録ヘッドの一例について図２及び図３を参照して説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図であり、図３は、記録ヘッドの液体噴射面側の平面図である。ちなみに、本実施形態では、記録ヘッド１の各方向について、インクジェット式記録装置Ｉに搭載された際の方向、すなわち、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。もちろん、記録ヘッド１のインクジェット式記録装置Ｉ内の配置は以下に示すものに限定されるものではない。

図示するように、記録ヘッド１は、ヘッドケース１３０と、ヘッド本体１４０と、カバーヘッド１５０と、を具備する。

ヘッドケース１３０は、インクカートリッジ２が直接又は他の流路部材を介して装着されて、インクカートリッジ２のインクをヘッド本体１４０に供給するためのものである。このようなヘッドケース１３０には、インクカートリッジ２のインクを各ヘッド本体１４０に供給する供給路１３１が設けられている。例えば、ヘッドケース１３０に直接インクカートリッジ２が装着される場合には、供給路１３１の一端には、インク供給針等が設けられる。なお、図２に示す例では、インク供給針に代わって、ヘッドケース１３０の第３の方向Ｚの一方面に内部に供給路１３１が設けられた円筒状の突起部を図示しているが、もちろんこれに限定されず、円錐状に先が尖ったインク供給針であってもよい。

このようなヘッドケース１３０は、例えば、樹脂材料を成型することにより安価で製造することができる。もちろん、ヘッドケース１３０は、金属材料で形成してもよい。

ここで、ヘッド本体１４０についてさらに図４及び図５を参照して詳細に説明する。なお、図４は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図５は、ヘッド本体の断面図である。

図示するように、本実施形態のヘッド本体１４０は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０及びケース部材等の複数の部材を備え、これら複数の部材が接着剤等によって接合されている。

流路形成基板１０は、ステンレス鋼やＮｉなどの金属、ＺｒＯ_２あるいはＡｌ_２Ｏ_３を代表とするセラミック材料、ガラスセラミック材料、ＭｇＯ、ＬａＡｌＯ_３のような酸化物などを用いることができる。本実施形態では、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなる。この流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２がインクを吐出する複数のノズル２１が並設される方向に沿って並設されている。本実施形態では、この方向を圧力発生室１２の並設方向とも称し、上述したインクジェット式記録装置Ｉの第１の方向Ｘと一致する。すなわち、記録ヘッド１は、圧力発生室１２（ノズル２１）の並設方向が、第１の方向Ｘとなるようにインクジェット式記録装置Ｉに搭載される。また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。この圧力発生室１２が第１の方向Ｘに沿って形成された圧力発生室１２の列が複数列設された列設方向は、インクジェット式記録装置Ｉの第２の方向Ｙと一致する。

また、流路形成基板１０には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部側に、当該圧力発生室１２よりも開口面積が狭く、圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を付与する供給路等が設けられていてもよい。

また、流路形成基板１０の一方面側（積層方向であって−Ｚ方向）には、連通板１５が接合されている。また、連通板１５には、各圧力発生室１２に連通する複数のノズル２１が穿設されたノズルプレート２０が接合されている。

連通板１５には、圧力発生室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このようにノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることでコストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、マニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通して設けられている。

また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力発生室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力発生室１２毎に独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力発生室１２とを連通する。

このような連通板１５としては、ステンレスやＮｉなどの金属、またはジルコニウムなどのセラミックなどを用いることができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と線膨張係数が同等の材料が好ましい。すなわち、連通板１５として流路形成基板１０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、流路形成基板１０と連通板１５との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。本実施形態では、連通板１５として流路形成基板１０と同じ材料、すなわち、シリコン単結晶基板を用いることで、熱による反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

また、ノズルプレート２０には、各圧力発生室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。すなわち、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。

このようなノズルプレート２０としては、例えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属、ポリイミド樹脂のような有機物、又はシリコン単結晶基板等を用いることができる。なお、ノズルプレート２０としてシリコン単結晶基板を用いることで、ノズルプレート２０と連通板１５との線膨張係数を同等として、加熱や冷却されることによる反りや熱によるクラック、剥離等の発生を抑制することができる。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力発生室１２等の液体流路は、流路形成基板１０をノズルプレート２０が接合された面側から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力発生室１２等の液体流路の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、振動板５０の絶縁体膜５２上には、第１電極６０と、圧電体層７０と、第２電極８０とが、本実施形態では、成膜及びリソグラフィー法によって積層形成されて圧電アクチュエーター３００を構成している。ここで、圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、第１電極６０が、複数の圧力発生室１２に亘って連続して設けられているため、第１電極６０が振動板の一部として機能するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、上述の弾性膜５１及び絶縁体膜５２の何れか一方又は両方を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。

また、流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護して収容するための空間である保持部３１を有する。また、保護基板３０には、厚さ方向である第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。リード電極９０の第２電極８０に接続された一端部とは反対側の他端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極９０と駆動ＩＣ等の駆動回路１２０を実装した配線基板１２１とが、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、このような構成のヘッド本体１４０には、複数の圧力発生室１２に連通するマニホールド１００をヘッド本体１４０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。この凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって封止されている。これにより、流路形成基板１０の外周部には、ケース部材４０とヘッド本体１４０とによって第３マニホールド部４２が画成されている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０とヘッド本体１４０とによって画成された第３マニホールド部４２と、によって本実施形態のマニホールド１００が構成されている。

なお、ケース部材４０の材料としては、例えば、樹脂や金属等を用いることができる。ちなみに、ケース部材４０として、樹脂材料を成形することにより、低コストで量産することができる。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口する面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の液体噴射面２０ａ側の開口を封止している。

このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、封止膜４６と、固定基板４７と、を具備する。封止膜４６は、可撓性を有する薄膜（例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）やステンレス鋼（ＳＵＳ）等により形成された厚さが２０μｍ以下の薄膜）からなり、固定基板４７は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定基板４７のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部となっている。

なお、ケース部材４０には、マニホールド１００に連通して各マニホールド１００にインクを供給するための導入路４４が設けられている。また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板１２１が挿通される接続口４３が設けられている。

このような構成のヘッド本体１４０では、インクを噴射する際に、インクカートリッジ２からヘッドケース１３０を介して導入路４４からインクを取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２０からの信号に従い、圧力発生室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力発生室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。

このようなヘッド本体１４０は、図２及び図３に示すように、上述したヘッドケース１３０にノズル列の並び方向、すなわち、第２の方向Ｙに所定の間隔で４つ固定されている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１には、ノズル２１が並設されたノズル列が８列設けられていることになる。このように複数のヘッド本体１４０を用いてノズル列の多列化を図ることで、１つのヘッド本体１４０にノズル列を多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列の多列化を図るために複数のヘッド本体１４０を用いることで、１枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体１４０の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。

また、ヘッドケース１３０に固定された４つのヘッド本体１４０の液体噴射面２０ａ側は、ノズル２１を露出した状態でカバーヘッド１５０によって覆われている。

このようなカバーヘッド１５０としては、例えば、ステンレス鋼などの金属材料や、セラミック材料、ガラスセラミック材料、酸化物などを用いることができる。

このような記録ヘッド１は、上述したように、第２の方向Ｙがキャリッジ３の移動方向となるように、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。

また、このような記録ヘッド１は、詳しくは後述する製造方法によって、当該記録ヘッド１の流路、本実施形態では、供給路１３１、導入路４４、マニホールド１００、供給連通路１９、圧力発生室１２、ノズル連通路１６及びノズル２１の内面には、非水系洗浄液又は非水系インクを通水することにより付着した非水系洗浄液又は非水系インクなどの非水系組成物１６０が存在する。なお、記録ヘッド１の流路の内面に非水系組成物１６０が存在するのは、記録ヘッド１をインクジェット式記録装置Ｉに搭載して、印刷に使用する非水系インクが記録ヘッド１の流路に通水される前の状態である。ちなみに、記録ヘッド１の流路内に非水系インクが通水されると、流路の内面に存在した非水系組成物１６０は、非水系インクに相溶するため存在しない。

このように、記録ヘッド１の流路の内面に非水系組成物１６０が存在することで、詳しくは後述するが、非水系インクを吐出するインクジェット式記録装置Ｉに記録ヘッド１を搭載した際に、記録ヘッド１の流路を洗浄する洗浄工程を行う必要がなく、工程を簡略化することができる。

ここで、本実施形態において「非水系インク」とは、有機溶剤を主な溶媒として、水を主な溶媒としないインクである。好ましくは、インク中の水の含有量が３質量％以下であり、より好ましくは１質量％以下であり、さらに好ましく０．０５質量％未満であり、一層好ましくは０．０１質量％未満、さらに一層好ましくは０．００５質量％未満、最も好ましくは０．００１質量％未満であることをいう。あるいは、実質的に水を含有しないインクとしてもよい。「実質的に含有しない」とは、意図的に含有させないことを指す。非水系インク中の有機溶剤の含有量は、色材や樹脂などの溶媒以外の他の成分を非水系インク組成物が含む場合は、当該他の成分を除く残りの量とすることができ、例えば、７０質量％以上、さらには８０質量％以上とすることができ、含有量の上限は、１００質量％以下、さらには、９９質量％以下とすることができる。

非水系インクは、有機溶剤として、グリコールエーテル類を含有することが好ましい。グリコールエーテル類は、記録シートＳに対する濡れ性や浸透速度を制御して、記録される画像のムラ等を抑制することができる。

グリコールエーテル類としては、例えば、アルキレングリコールモノエーテルや、アルキレングリコールジエーテル等が挙げられる。グリコールエーテル類は、１種単独か又は２種以上を混合して使用することができる。

アルキレングリコールモノエーテルとしては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチエレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、テトラエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙げられる。

アルキレングリコールジエーテルとしては、例えば、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジエチルエーテル、テトラエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等が挙げられる。

非水系インクに含まれるグリコールエーテル類の含有量は、非水系インクの全質量（１００質量％）に対して、その下限値が１０質量％以上であることが好ましく、２０質量％以上であることがより好ましく、３０質量％以上であることがさらにより好ましい。また、上限値は、９５質量％以下であることが好ましく、９０質量％以下であることがより好ましく、８５質量％以下であることがより一層好ましく、８０質量％以下であることがさらに好ましく、７５質量％以下であることが特に好ましい。含有量が２０質量％以上であることで、液滴の濡れ拡がり性が向上して、平滑性に優れた良好な画像を形成できる。また、グリコールエーテル系溶剤の含有量が９５質量％以下であることで、過剰な濡れ拡がりによる凝集ムラなどを抑制できる場合がある。

本実施形態に係る非水系インクは、有機溶剤として、ラクトンを含有することが好ましい。ラクトンは、記録面（好ましくは塩化ビニル系樹脂を含む記録面）の一部を溶解して記録媒体の内部に非水系インクを浸透させて、記録媒体に対する非水系インクの密着性を高めることができる。本発明において「ラクトン」とは、環内にエステル基（−ＣＯ−Ｏ−）を有する環状化合物の総称をいう。ラクトンとしては、上記定義に含まれるものであれば特に制限されないが、炭素数２以上９以下のラクトンであることが好ましい。このようなラクトンの具体例としては、α−エチルラクトン、α−アセトラクトン、β−プロピオラクトン、γ−ブチロラクトン、δ−バレロラクトン、ε−カプロラクトン、ζ−エナンチオラクトン、η−カプリロラクトン、γ−バレロラクトン、γ−ヘプタラクトン、γ−ノナラクトン、β−メチル−δ−バレロラクトン、２−ブチル−２−エチルプロピオラクトン、α，α−ジエチルプロピオラクトン等が挙げられるが、これらの中でもγ−ブチロラクトンが特に好ましい。上記例示したラクトンは、１種単独で用いてもよく、２種以上混合して用いてもよい。

ラクトンを含有する場合には、その含有量は、非水系インクの全質量に対して、５質量％以上であることが好ましく、１０質量％以上であることがより好ましい。ラクトンの含有量が５質量％以上であることで、画像の耐擦性が一層向上する傾向にある。その含有量は７５質量％以下が好ましく、４０質量％以下がより好ましく、３０質量％以下がさらに好ましい。７５質量％以下であることで、画像の光沢性が向上する傾向にある。

非水系インクは、上記以外のその他の有機溶剤として、エステル類、炭化水素類、アルコール類を上述の有機溶剤に加えてあるいは代えて含有してもよい。エステル類としては、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソペンチル、酢酸第二ブチル、酢酸アミル、酢酸メトキシブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、カプリル酸メチル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。

炭化水素類としては、脂肪族炭化水素（例えば、パラフィン、イソパラフィン）、脂環式炭化水素（例えば、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン等）、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン、テトラリン等）等が挙げられる。このような炭化水素類としては、市販品を用いてもよく、ＩＰソルベント１０１６、ＩＰソルベント１６２０、ＩＰクリーンＬＸ（以上全て出光興産株式会社製の商品名）、Ｉｓｏｐａｒ（アイソパー）Ｇ、ＩｓｏｐａｒＬ、ＩｓｏｐａｒＨ、ＩｓｏｐａｒＭ、ＥｘｘｓｏｌＤ４０、ＥｘｘｓｏｌＤ８０、ＥｘｘｓｏｌＤ１００、ＥｘｘｓｏｌＤ１３０、ＥｘｘｓｏｌＤ１４０（以上全て、Ｅｘｘｏｎ社製の商品名）、ＮＳクリーン１００、ＮＳクリーン１１０、ＮＳクリーン２００、ＮＳクリーン２２０（以上全て、ＪＸ日鉱日石エネルギー株式会社の商品名）、ナフテゾール１６０、ナフテゾール２００、ナフテゾール２２０（以上全て、ＪＸ日鉱日石エネルギー株式会社の商品名）等の脂肪族炭化水素系溶剤または脂環式炭化水素系溶剤や、ソルベッソ２００（Ｅｘｘｏｎ社製の商品名）等の芳香族炭化水素系溶剤が挙げられる。

アルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、１−プロパノール、１−ブタノール、２−ブタノール、３−ペンタノール、２−メチル−１−ブタノール、２−メチル−２−ブタノール、イソアミルアルコール、３−メチル−２−ブタノール、３−メトキシ−３−メチル−１−ブタノール、４−メチル−２ペンタノール、アリルアルコール、１−ヘキサノール、１−ヘプタノール、２−ヘプタノール、３−ヘプタノール等が挙げられる。上記のその他の有機溶剤は１つまたは２つ以上を用いもよく、それらの１つ以上の含有量は、非水系インクの全質量に対して、１０質量％以上が好ましく、３０質量％以上がより好ましく、５０質量％以上がさらに好ましく、９０質量％以下が好ましく、８０質量％以下がより好ましい。

本実施形態に用いる非水系インクは、樹脂を含有することが好ましい。樹脂は、皮膜を形成して非水系インクにより得られた画像を保護する樹脂、画像のインク塗膜の密着性を向上させるための樹脂、画像のインク塗膜の光沢度を調整するための樹脂、その他、画像のインク塗膜の品質を向上させるための樹脂が挙げられる。このうち、皮膜を形成して、非水系インクにより得られた画像を保護する機能を少なくとも有する樹脂が記録物の摩擦堅牢性などの点で好ましく、本発明の実施形態が特に有用である。当該樹脂は、定着用樹脂と呼ばれることがある。

樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル系樹脂（例えば、ポリ（メタ）アクリル酸、ポリ（メタ）アクリル酸メチル、ポリ（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸−（メタ）アクリル酸エステル共重合樹脂、スチレン−（メタ）アクリル共重合樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸共重合樹脂、エチレンアルキル（メタ）アクリレート樹脂、エチレン−（メタ）アクリル酸エステル共重合樹脂など）、塩化ビニル系樹脂（例えば、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合樹脂など）、脂肪族ポリエステル、芳香族ポリエステル、ポリウレタン、エポキシ樹脂、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂、ポリカーボネート、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、フェノキシ樹脂、エチルセルロース樹脂、セルロースアセテートプロピオネート樹脂、セルロースアセテートブチレート、ニトロセルロース樹脂、ポリスチレン、ビニルトルエン−α−メチルスチレン共重合体樹脂、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルホン系樹脂、石油樹脂、塩素化ポリプロピレン、ポリオレフィン、テルペン系樹脂、ロジン変性フェノール樹脂、ＮＢＲ・ＳＢＲ・ＭＢＲ等の各種合成ゴム、およびそれらの変性体等が挙げられる。これらの樹脂は、１種単独で用いてもよく、２種以上混合して用いてもよい。

上記の樹脂の中でも、画像の耐擦性を一層向上させるという観点から、(メタ)アクリル系樹脂および塩化ビニル系樹脂の少なくとも一方を使用することが好ましい。(メタ)アクリル系樹脂は樹脂の合成時に使用したモノマー成分として少なくとも（メタ）アクリレート、(メタ)アクリル酸の何れかを含むものであり、塩化ビニル系樹脂は樹脂の合成時に使用したモノマー成分として少なくとも塩化ビニルを含むものである。

上記の（メタ）アクリル系樹脂としては、市販品を用いてもよく、例えば、アクリペットＭＦ（商品名、三菱レイヨン社製、アクリル樹脂）、スミペックスＬＧ（商品名、住友化学社製、アクリル樹脂）、パラロイドＢシリーズ（商品名、ローム・アンド・ハース社製、アクリル樹脂）、パラペットＧ−１０００Ｐ（商品名、クラレ社製、アクリル樹脂）などが挙げられる。なお、本発明において、（メタ）アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味するものとし、（メタ）アクリレートとは、アクリレートおよびメタクリレートの両方を意味するものとする。

上記の塩化ビニル系樹脂としては、市販品を用いてもよく、例えば、カネビニールＳ−４００、ＨＭ５１５（商品名、株式会社カネカ製）、ソルバインＣ（商品名、日信化学株式会社）等が挙げられる。

非水系インクに含まれる樹脂には、固形状、溶液状、エマルジョン状態としたもの等、いずれのタイプの樹脂を用いてもよいが、インク中で溶解するもの（インクに溶解している樹脂）を用いることが好ましい。

樹脂の固形分換算における含有量は、非水系インクの全質量に対して、０．５質量％以上１０質量％以下であることが好ましく、０．５質量％以上６質量％以下であることがより好ましく、０．５質量％以上５質量％以下であることがさらに好ましい。樹脂の含有量を０．５質量％以上とすることで、画像の耐擦性が一層良好となる傾向にある。また、樹脂の含有量を１０質量％以下とすることで、非水系インクの粘度をインクジェット記録に適した範囲に容易に設定することができる。

本実施形態に係る非水系インクは、色材を含有してもよい。色材としては、染料を用いてもよく、無機顔料および有機顔料等の顔料を用いることもできるが、耐光性等の観点から顔料を用いることが好ましい。これらの色材は、１種単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

有機顔料としては、例えば、アゾ顔料（例えば、アゾレーキ、不溶性アゾ顔料、縮合アゾ顔料、キレートアゾ顔料等）、多環式顔料（フタロシアニン顔料、ペリレンおよびペリレン顔料、アントラキノン顔料、キナクリドン顔料、ジオキサンジン顔料、チオインジゴ顔料、イソインドリノン顔料、キノフタロニ顔料等）、染料レーキ（例えば、塩基性染料型レーキ、酸性染料型レーキ等）、ニトロ顔料、ニトロソ顔料、アニリンブラック、昼光蛍光顔料等が挙げられる。また、無機顔料としては、カーボンブラック、二酸化チタン、シリカ、アルミナ等が挙げられる。

色材の含有量は、所望に応じて適宜設定でき、特に限定されるものではないが、通常、非水系インクの全質量に対して、０．１質量％以上１０質量％以下である。

また、色材として顔料を使用する場合には、顔料分散剤を含有してもよく、例えば、ヒノアクトＫＦ１−Ｍ、Ｔ−６０００、Ｔ−７０００、Ｔ−８０００、Ｔ−８３５０Ｐ、Ｔ−８０００Ｅ（いずれも武生ファインケミカル株式会社製）等のポリエステル系高分子化合物、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ２００００、２４０００、３２０００、３２５００、３３５００、３４０００、３５２００、３７５００（いずれもＬＵＢＲＩＺＯＬ社製）、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、１６２、１６３、１６４、１６６、１８０、１９０、１９１、１９２、２０９１、２０９５（いずれもビックケミー・ジャパン社製）、フローレンＤＯＰＡ−１７、２２、３３、Ｇ−７００（いずれも共栄社化学株式会社製）、アジスパーＰＢ８２１、ＰＢ７１１（いずれも味の素株式会社製）、ＬＰ４０１０、ＬＰ４０５０、ＬＰ４０５５、ＰＯＬＹＭＥＲ４００、４０１、４０２、４０３、４５０、４５１、４５３（いずれもＥＦＫＡケミカルズ社製）等が挙げられる。顔料分散剤を使用する場合の含有量は、含有される顔料に応じて適宜選択することができるが、非水系インク中の顔料の含有量１００質量部に対して、好ましくは５質量部以上２００質量部以下、より好ましくは３０質量部以上１２０質量部以下である。

本実施形態に係る非水系インクは、界面活性剤（例えば、シリコン系界面活性、アセチレングリコール系界面活性剤、フッ素系界面活性剤など）、ｐＨ調整剤、エチレンジアミン四酢酸塩（ＥＤＴＡ）等のキレート化剤、防腐剤・防かび剤、及び防錆剤など、所定の性能を付与するための物質を含有することができる。

本実施形態に係る非水系インクは、前述した成分を任意な順序で混合し、必要に応じて濾過等をして不純物を除去することにより得られる。各成分の混合方法としては、メカニカルスターラー、マグネチックスターラー等の撹拌装置を備えた容器に順次材料を添加して撹拌混合する方法が好適に用いられる。濾過方法としては、遠心濾過、フィルター濾過等を必要に応じて行なうことができる。

本実施形態に係る非水系インクは、記録品質とインクジェット記録用のインクとしての信頼性とのバランスの観点から、２０℃における表面張力が２０ｍＮ／ｍ以上５０ｍＮ／ｍ以下であることが好ましく、２５ｍＮ／ｍ以上４０ｍＮ／ｍ以下であることがより好ましい。なお、表面張力の測定は、自動表面張力計ＣＢＶＰ−Ｚ（協和界面科学社製）を用いて、２０℃の環境下で白金プレートをインクで濡らしたときの表面張力を確認することにより測定することができる。

また、同様の観点から、非水系インクの２０℃における粘度は、２ｍＰａ・ｓ以上１５ｍＰａ・ｓ以下であることが好ましく、２ｍＰａ・ｓ以上１０ｍＰａ・ｓ以下であることがより好ましい。なお、粘度の測定は、粘弾性試験機ＭＣＲ−３００（Ｐｙｓｉｃａ社製）を用いて、２０℃の環境下で、ＳｈｅａｒＲａｔｅを１０〜１０００に上げていき、ＳｈｅａｒＲａｔｅ２００時の粘度を読み取ることにより測定することができる。

ここで、本実施形態の記録ヘッド１の製造方法について説明する。
まず、ヘッドケース１３０、ヘッド本体１４０及びカバーヘッド１５０を組み立てて記録ヘッド１を形成した後、記録ヘッド１の検査工程を行う。本実施形態では、検査工程として、振動板５０のクラック検査と、印字検査とを行うようにした。もちろん、検査工程は、振動板５０のクラック検査及び印字検査の何れか一方のみを行うようにしてもよい。また、本実施形態では、振動板５０のクラック検査を行った後、ノズル２１から印字検査液を吐出させて印字検査を行うようにした。これにより、クラック検査によって振動板５０にクラックを有する記録ヘッド１の印字検査を除外して、無駄な印字検査を行わずに済むため、検査工程を効率化することができる。もちろん、先に印字検査を行った後に振動板５０のクラック検査を行うようにしてもよい。

振動板５０のクラック検査は、例えば、特開２０１１−３１５５９号公報、特開２００８−２２１６５２号公報等に記載の方法で行うことができる。具体的には、記録ヘッド１の流路内にクラック検査液を充填する。このとき、振動板５０にクラックが生じていると、充填されたクラック検査液が振動板５０のクラックを介して振動板５０上に流出する。このため、記録ヘッド１にクラック検査液を充填した状態で、圧電アクチュエーター３００の電極間の導通や、ノズルプレート２０が導電性を有する場合にはノズルプレート２０と電極間の導通、また、特に図示していないが、特開２０１１−３１５５９号公報、特開２００８−２２１６５２号公報等に記載のようにマニホールド１００内に電極を設け、この電極と圧電アクチュエーター３００の電極との導通などを検出することで振動板５０のクラックの有無を判定する。このように、クラック検査液は、異なる電極に接触した際に電極間を導通させる必要があるため、導電性を有する水系組成物が用いられる。

このようなクラック検査液としては、例えば、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液等のアルカリ溶液や水系インクなどを用いることができる。ちなみに、水系インクとは、水を主な溶媒成分とするインクのことであり、例えば、顔料を含む水系顔料インクや、染料を含む水系染料インクなどが挙げられる。

また、クラック検査液は、振動板５０のクラックに浸透できるように高い濡れ性が求められる。しかしながら、クラック検査液は検査後に排出・洗浄されるが、振動板５０のクラックに浸透したクラック検査液を洗浄するには多少の困難さが伴うため、クラック検査液には保湿剤であるグリセリンや界面活性剤が含まれない方が好ましい。つまり、クラック検査液は、保湿剤であるグリセリンの含有量が２０質量％以下であるのが好ましい。また、クラック検査液は、界面活性剤の含有量が１質量％以下であるのが好ましい。あるいは、実質的に保湿剤及び界面活性剤を含有しないクラック検査液としてもよい。「実質的に含有しない」とは、意図的に含有させないことを指す。このように、クラック検査液の保湿剤及び界面活性剤のそれぞれの含有量を１質量％以下とすることで、記録ヘッド１の流路内でクラック検査液が乾燥した際に、保湿剤や界面活性剤が残渣となって、印刷時にノズル２１を詰まらせることや、インク滴の飛翔曲がりなどの吐出不良が発生する可能性を低減することができる。

また、クラック検査液は、アルカリ性（ｐＨ＞７）であるのが好ましく、より好ましくはｐＨが１２未満（ｐＨ＜１２）、さらに好ましくは７＜ｐＨ＜１０、一層好ましくは９＜ｐＨ＜１０である。

このようにアルカリ性のクラック検査液を用いることで、クラック検査液が流れる流路が形成された部材の酸化、特に、流路が金属部材で形成されている場合には金属部材の酸化や、ノズルプレート２０の液体噴射面２０ａに形成された図示しない撥液膜等の酸化、すなわち、ヘッドアタック性を抑制することができる。ただし、クラック検査液として強いアルカリ性を有するものを用いた場合、流路がシリコン部材で形成されている場合にはシリコン部材の浸食による劣化、すなわち、ヘッドアタック性がある（ヘッドアタック性）。

さらに、クラック検査液は、色材を含まない方が好ましく、特に色材として顔料を含まない方が好ましい。ちなみに色材を含む水系インクには、一般的に保湿剤や界面活性剤が含まれているため、上述のように保湿剤や界面活性剤が残渣となって吐出不良が発生してしまうからである。また、クラック検査液が色材を含む水系インクの場合には、色材として染料を含む水系染料インクを用いるのが好ましい。これによれば、クラック検査の後、クラック検査液が他の液体と置換された際に、クラック検査液に含まれる顔料の分散が壊れて、異物となるのを抑制することができる。すなわち、クラック検査液として顔料を含む水系顔料インクを用いた場合、水を主な溶媒とせず、水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液で洗浄すると、クラック検査液に含まれる顔料の分散が壊れて異物が発生する。このような異物は、ノズル２１の目詰まりや、ノズル２１に付着してインク滴の飛翔曲がりなどの吐出不良の原因となる。また、クラック検査液として水系顔料インクを用いた場合に、非水系洗浄液で洗浄したとしても、水系顔料インクを完全に排除できずに残留する虞がある。特に、流路の角部などの流れ難い部分で水系顔料インクが残留し易い。このため、残留した水系顔料インクと非水系インクとが混ざり、顔料の分散が壊れて異物となり、異物がノズル２１に付着してノズル２１の目詰まりやインク滴の飛翔曲がりなどの吐出不良が発生する。したがって、クラック検査液として顔料を含まないものを用いることで、クラック検査液が残留したとしても顔料による異物の発生を抑制して、吐出不良を抑制することができる。

以上のことから、クラック検査液としては、水酸化カリウム（ＫＯＨ）水溶液等のアルカリ溶液や水系染料インクを用いるのが好ましい。

ここで、水系組成物の一例を下記表１に示す。なお、表中で使用した材料は、下記の通りである。

なお、表中で使用した成分のうち、商品名または略称で記載した成分は以下の通りである。
・Ｃ．Ｉ．ダイレクトブラック９（ブラック染料）
・ＴＥＧｍＢＥ（トリエチレングリコールモノブチルエーテル、有機溶剤）
・ＴＥＧ（トリエチレングリコール、有機溶剤）
・オルフィンＥ１０１０（商品名、日信化学工業株式会社製、界面活性剤）
・カーボンブラック（ブラック顔料）
・ＴＥＡ（トリエタノールアミン、有機溶剤）
・サーフィノール４６５（商品名、日信化学工業株式会社製、界面活性剤）
・Ｃ．Ｉ．アシッドレッド５２（レッド顔料）

表１に示す水系組成物Ｓ１〜Ｓ７は、何れも導電性を有するため、振動板５０のクラック検査に用いることができる。ただし、水系組成物Ｓ６は、ｐＨが１４に近く、強いアルカリ性を有するため、クラック検査液としては、水系組成物Ｓ１〜Ｓ５及びＳ７を用いるのが好ましく、特に７＜ｐＨ＜１０の水系組成物Ｓ１〜Ｓ５及びＳ７を用いるのがより好ましく、さらに好ましくは９＜ｐＨ＜１０の水系組成物Ｓ２、Ｓ３、Ｓ７を用いるのが好適である。

また、水系組成物Ｓ３、Ｓ７は、顔料を含むため、上述のように水系組成物Ｓ３、Ｓ７が他の液体と置換される際に、水系組成物Ｓ３、Ｓ７に含まれる顔料の分散が壊れて、異物が発生する虞がある。このため、クラック検査液としては、水系組成物Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４、Ｓ５、Ｓ６を用いるのが好ましい。

さらに、クラック検査液に保湿剤及び界面活性剤が含まれると、乾燥した際に残渣となる虞があるため、保湿剤及び界面活性剤が含まれない水系組成物Ｓ１、Ｓ６を用いるのが好ましい。

そして、水系組成物Ｓ１〜Ｓ７のうち、上記の条件の全てを満たす水系組成物はＳ１となる。したがって、クラック検査液としては、水系組成物Ｓ１を用いるのがより好ましい。

次に、印字検査を行う。具体的には、記録ヘッド１の流路内からクラック検査液を排出し、流路内に印字検査液を充填する。印字検査では、圧電アクチュエーター３００を駆動して、流路内の印字検査液をノズル２１からインク滴として吐出させて検査を行うものである。このような印字検査に用いられる印字検査液としては、視認する必要があるため、色材を含有するインクを用いる必要がある。特に、印字検査液に用いられるインクとしては、色材としてブラック（Ｋ）を含むインクを用いるのが好ましい。これにより、印字検査の結果を識別し易くして、吐出不良等の印字検査の検出精度を向上することができる。なお、印字検査液に用いるインクは、水系インクや非水系インクを用いることができる。

ここで、印字検査液に用いる水系インクとしては、例えば、上述したクラック検査液と同様の水系インクを用いることができる。また、印字検査液に用いる非水系インクとしては、上述した非水系インクを用いることができる。

そして、印字検査液として、水系インクを用いる場合には、クラック検査と印字検査との間で洗浄工程が不要になる。これは、クラック検査では、クラック検査液として導電性を有する水系組成物を用いる必要があるため、水系組成物であるクラック検査液を排出した後、印字検査液として水系インクを直接通水してクラック検査液と印字検査液とが混ざったとしても特に問題は発生しないからである。

また、印字検査液として、水系インクを用いる場合には、顔料を含む水系顔料インク、染料を含む水系染料インクの何れを用いてもよい。ただし、印字検査液として水系顔料インクを用いた場合には、詳しくは後述するが、印字検査の後に行われる第２洗浄工程において、水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液で洗浄した際に、顔料の分散が壊れて異物化するため、第２洗浄工程では水系洗浄液による洗浄と非水系洗浄液による洗浄との２回の洗浄を行う必要が生じ、第２洗浄工程が煩雑になる。また、第２洗浄工程において水系洗浄液で洗浄したとしても、水系顔料インクを完全に除去することができずに流路内に水系顔料インクが残留する虞がある。そして、残留した水系顔料インクと非水系インクとが混ざることで、顔料の分散が壊れて異物が発生し、印刷時のインクの吐出不良が発生する虞がある。したがって、印字検査液として水系インクを用いる場合には、顔料を含まない水系染料インクを用いるのが好ましい。これにより、後の第２洗浄工程で記録ヘッドを洗浄する際に、印字検査液が顔料を含まないので、非水系洗浄液で洗浄しても顔料の分散が壊れて異物化するのを抑制することができる。また、第２洗浄工程では、非水系洗浄液による１回の洗浄のみを行えばよく、洗浄工程を簡略化することができる。さらに、水系染料インクが洗浄によって完全に排除されずに残留したとしても、残留した水系染料インクと非水系インクとが混ざっても異物の発生を抑制することができるため、インクの噴射不良を抑制することができる。ちなみに、印字検査に用いる水系インクは、クラック検査に用いる水系組成物に比べて微少なクラックに浸透する必要がなく、クラック検査に用いる水系組成物に比べて濡れ性は求められない。したがって、印字検査に用いる水系組成物は置換し易いので、保湿剤や界面活性剤が含まれていてもよい。

このように印字検査液として、水系インクを用いる場合には、例えば、上記表１に示す水系組成物Ｓ２、Ｓ３、Ｓ７を用いることができる。また、印字検査液は、上述のように水系染料インクを用いるのが好ましいため、水系組成物Ｓ２を用いるのが好ましい。さらに、印字検査液は、視認性を高くするために、色材としてブラック染料を含むものが好ましいため、水系組成物Ｓ２を用いるのがより好ましい。

これに対して、非水系インクを印字検査液として用いる場合には、クラック検査と印字検査との間で洗浄工程が必要になる。すなわち、クラック検査液である水系組成物と、非水系インクとが混ざると、非水系インクに含まれる顔料の分散が壊れて異物化してインクの吐出不良が生じる。したがって、印字検査液として非水系インクを用いる場合には、クラック検査液である水系組成物を排出後、記録ヘッド１の流路内を洗浄液で洗浄してから印字検査液を通水する必要がある。

クラック検査と、非水系インクを用いた印字検査との間の洗浄工程で用いられる洗浄液について説明する。なお、本実施形態では、クラック検査と印字検査との間の洗浄工程を第１洗浄工程と称する。

第１洗浄工程で用いる洗浄液は、水溶性の有機溶剤、すなわち、クラック検査に用いた水系組成物に対して水溶性を有すると共に、印字検査に用いる非水系インクに相溶する有機溶剤である。ここで、洗浄液が有機溶剤であるとは、洗浄液中の水の含有量が１０質量％以下のことである。なお、洗浄液中の水の含有量は、好ましくは５質量％以下であり、より好ましくは１質量％以下である。あるいは、実質的に水を含有しない洗浄液としてもよい。「実質的に含有しない」とは、意図的に含有させないことを指す。

洗浄液は、下記式（１）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種の有機溶剤を含有する。

ＨＯ−（Ｒ^１−Ｏ）_ｎ−Ｒ^２・・・（１）
上記一般式（１）において、Ｒ^１は、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ^２は、アリール基または炭素数１以上６以下のアルキル基を表し、ｎは、１以上９以下の整数を表す。「アリール基」としては、例えば、フェニル基、ベンジル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、メチルナフチル基、ベンジルフェニル基、ビフェニル基等が挙げられる。また、「炭素数１以上６以下のアルキル基」としては、直鎖状または分岐状のアルキル基であることができ、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉｓｏ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル、ペンチル基またはヘキシル基等が挙げられる。「炭素数２以上４以下のアルキレン基」としては、例えば、エチレン基、ｎ−プロピレン基、イソプロピレン基、またはブチレン基等が挙げられる。

上記一般式（１）中、親水性基（―ＯＨ基）が含まれているため、有機溶剤が水の分子と結合し易く、すなわち水溶性が高くなる。また、ＳＰ値が大きくなり、記録ヘッドを構成する硫黄を含む部材からの硫黄成分の溶出を抑制することができる。

また、上記一般式（１）中、Ｒ^２は、炭素数２以上４以下のアルキル基であることが好ましい。これにより、非水系インクを溶解（軟化）させる作用が向上して、置換が一層良好となる。

上記一般式（１）中、ｎは、３以上６以下の整数であることが好ましい。これにより、非水系インクを溶解（軟化）させる作用が向上して、置換が一層良好となる。

上記一般式（１）で表される化合物の具体例としては、アルキレングリコールモノエーテルや、アルキレングリコールジエーテル等のグリコールエーテル類が挙げられる。グリコールエーテル類は、１種単独か又は２種以上を混合して使用することができる。

アルキレングリコールモノエーテルとしては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノベンジルエーテル、トリエチエレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、テトラエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノメチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノエチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙げられる。

上記の特定の有機溶剤には、標準沸点が１７０℃以上であるものを用いることが好ましく、標準沸点が２５０℃以上であるものを用いることがより好ましい。これにより、洗浄液の乾燥に伴う異物の発生を低減できる。

上記の特定の有機溶剤には、２０℃における蒸気圧が１ｈＰａ以下であるものを用いることが好ましく、０．５ｈＰａ以下であるものを用いることがより好ましく、０．１ｈＰａ以下であるものを用いることがより一層好ましく、０．０１ｈＰａ以下であるものを用いることが特に好ましい。これにより、洗浄液の乾燥に伴う異物の発生を低減できる。

また、上記の特定の有機溶剤としては、２０℃における表面張力が２５ｍＮ／ｍ以上３５ｍＮ／ｍ以下であるものを用いることが好ましい。これにより、後述する非水系インクとの相溶性が向上するので、クリーニング性が一層向上する傾向にある。なお、表面張力の測定は、自動表面張力計ＣＢＶＰ−Ｚ（協和界面科学社製）を用いて、２０℃の環境下で白金プレートを有機溶剤で濡らしたときの表面張力を確認することにより測定することができる。

さらに、特定の有機溶剤の含有量は、洗浄液の全質量（１００質量％）に対して、その下限値が３０質量％以上であることが好ましく、５０質量％以上であることがより好ましい。特定の有機溶剤の含有量が５０質量％以上であることで、水系組成物と非水系インクとの相溶性が向上される。もちろん、特定の有機溶剤の洗浄液に対する含有量の上限は限られるものではなく１００質量％でもよい。

ここで、洗浄液の一例とその機能について下記表２に示す。なお、表中で使用した成分のうち、商品名または略称で記載した成分は以下の通りである。
・ＤＥＧＭＥＥ（ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、有機溶媒）
・ＤＥＧｄＥＥ（ジエチレングリコールジエチルエーテル、有機溶剤）
・顔料（カーボンブラック、ブラック顔料）
・ソルスパーズ３２０００（ＬＵＢＲＩＺＯＬ社製、分散剤）
・ＢＹＫ３３１（商品名、ビックケミー・ジャパン株式会社製、シリコン系界面活性剤）
・ＨＭ５１５（商品名、株式会社カネカ、塩化ビニルー酢酸ビニル共重合体）
・ＴＥＧｍＢＥ（トリエチレングリコールモノブチルエーテル、有機溶剤）

表２に示す洗浄液Ｗ１〜Ｗ３は水溶性を有する。また、洗浄液Ｗ５は、水を主な溶媒とする水系洗浄液であり、水溶性を有するものの、非水系インクとの相溶性は低い。さらに、洗浄液Ｗ６は、洗浄液Ｗ１と同じ水溶性の有機溶剤と水とを含有するものであり、既に水分含有量が１５質量％となっていため、水溶性が低く、非水系組成物との相溶性も低い。

また、洗浄液Ｗ１、Ｗ２は揮発し難く、保湿剤及び界面活性剤を含まないため、保湿剤や界面活性剤が記録ヘッド１の流路内の残渣となり難く、インクの噴射不良が発生し難い。さらに、洗浄液Ｗ３は、揮発するが、保湿剤及び界面活性剤を含まないため、保湿剤や界面活性剤が記録ヘッド１の流路内の残渣となり難い。

また、記録ヘッド１に用いられる硫黄を含む部材、例えば、ヘッドケース１３０やケース部材４０などの流路部材の材料として、変性ポリフェニレンエーテルのＤＧ２２０（商品名：ザイロン、旭化成ケミカルズ社製）が用いられている場合、ＤＧ２２０のＳＰ値は８．５であるため、洗浄液に用いられる有機溶剤は流路部材のＳＰ値から離れたＳＰ値を有するもの、好ましくはＳＰ値が９以上、より好ましくは流路部材のＳＰ値から１以上離れたＳＰ値、すなわち９．５以上のＳＰ値を有するものが好ましい。ちなみに、洗浄液に用いられる有機溶剤として硫黄を含む材料で形成された流路部材のＳＰ値と近いものを用いた場合、流路部材から硫黄成分が溶出し、洗浄液が乾燥することで針状異物として析出され易い。したがって、洗浄液に用いる有機溶剤としては、硫黄を含む材料で形成された流路部材のＳＰ値から離れたＳＰ値を有するものを用いることで、流路部材からの硫黄成分の溶出を抑制して、針状異物の発生によるインク噴射不良を抑制することができる。ただし、洗浄液に用いる有機溶剤のＳＰ値は、１１以下が好ましく、より好ましくは１０以下である。洗浄液に用いられる有機溶剤のＳＰ値が高すぎると、非水系インク（ＳＰ値８〜９）との相溶性が低下するためである。つまり、洗浄液に用いられる有機溶剤は、記録ヘッド１の硫黄を含む材料で形成された流路部材のＳＰ値から１以上離れ、且つ非水系インクのＳＰ値から１．５以内のＳＰ値を有するものが好適である。これにより、針状異物の析出を押さえて、非水系インクと相溶する。なお、「ＳＰ値」とは、溶解度パラメーターのことをいう。ＳＰ値の算出方法としては、蒸発潜熱方、蒸気圧法、溶解法、膨潤法、表面張力法、臨界圧力法、熱膨張係数法、分子引力定数法等が知られているが、本発明におけるＳＰ値は、「塗料の流動と顔料分散」（植木憲二監訳、共立出版株式会社刊）の第２７５頁，表１３−２に記された「Ｓｍａｌｌの分子結合定数」に基づいて算出されたものを指す。また、洗浄液が複数種類の有機溶剤を含む場合には、有機溶剤のＳＰ値とは、有機溶剤のＳＰ値を加重平均した値とすればよい。ここで、「有機溶剤のＳＰ値を加重平均した値」とは、洗浄液に含まれる有機溶剤の化合物毎のＳＰ値を、各化合物の含有量で重み付けして得られる加重平均のことをいう。

ちなみに、表２に示す洗浄液Ｗ１〜Ｗ６のうち、流路部材のＳＰ値（８．５）に近いＳＰ値、すなわち、ＳＰ値の差が１より小さいものは、洗浄液Ｗ３及びＷ４である。また、流路部材とのＳＰ値の差が１．５より大きい洗浄液は、洗浄液Ｗ５及びＷ６である。したがって、表２に示す洗浄液Ｗ１及びＷ２を用いることで、流路部材からの硫黄成分の溶出を抑制して針状異物が析出されるのを抑制することができると共に、非水系インクとの相溶性を高めることができる。また、洗浄液Ｗ１及びＷ２は、揮発性が低いため、たとえ流路部材から硫黄成分が溶出したとしても乾燥し難いことから針状異物が生じ難い。

そして、表２に示す洗浄液のうち、上記の条件の全てを満たす洗浄液はＷ１及びＷ２となる。したがって、第１洗浄工程で用いる洗浄液としては、洗浄液Ｗ１及びＷ２を用いるのがより好ましい。ちなみに、洗浄液Ｗ２は臭気が強いため、さらに好ましくは洗浄液Ｗ１を用いるのが好適である。

このように、印字検査において、非水系インクを用いた場合には、クラック検査と印字検査との間で、すなわち、水系組成物であるクラック検査液と、非水系インクである印字検査液とを置換する際に、第１洗浄工程として上述した表２に示す洗浄液Ｗ１〜Ｗ５、より好ましくは洗浄液Ｗ１及びＷ２、さらに好ましくは洗浄液Ｗ１を用いて洗浄する。これにより水系組成物と非水系インクとが混ざることで、非水系インクに含まれる顔料の分散が壊れて異物化するのを抑制することができる。また、印字検査を行う際に印字検査液として非水系インクを用いた場合には、印字検査の後に印字検査液を洗浄する第２洗浄工程が不要となる。

ちなみに、第１洗浄工程において、水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液を用いる場合、上述のように、クラック検査液として水系顔料インクを用いていると、水系顔料インクと洗浄液とが混ざることによって顔料の分散が壊れて異物が発生する。このため、特に印字検査において非水系インクを用いる場合には、クラック検査液として顔料を含まない水系組成物を用いるのが好適である。これにより、第１洗浄工程において顔料による異物の発生を抑制することができると共に工程を簡略化することができる。ちなみに、クラック検査として水系顔料インクを用いると共に、印字検査で非水系インクを用いる場合、顔料による異物の発生を抑制するためには、クラック検査液を水系洗浄液で洗浄した後、水系洗浄液を水溶性の有機溶剤である洗浄液で洗浄する２段階の洗浄が必要となり洗浄工程が煩雑となってしまう。

ここで、上述したように、印字検査液として水系インクを用いて印字検査を行った場合には、記録ヘッド１の流路を非水系インクで置換する前に、流路内を洗浄する第２洗浄工程を行う。

第２洗浄工程で用いる洗浄液は、上述した第１洗浄工程と同様の洗浄液を用いることができる。すなわち、第２洗浄工程で用いる洗浄液は、水溶性の有機溶剤である。

このように第２洗浄工程において、洗浄液として水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液を用いることで、非水系洗浄液によって洗浄した記録ヘッド１を直接インクジェット式記録装置Ｉに搭載して、記録ヘッド１に非水系インクを供給することが可能となる。

これに対して、例えば、印字検査液として水系インクを用いて印字検査を行った場合などでは、第２洗浄工程において水を主な溶媒とする水系洗浄液で洗浄することも考えられる。しかしながら、第２洗浄工程において、水系洗浄液を用いた場合、水系洗浄液によって洗浄した記録ヘッド１を直接インクジェット式記録装置Ｉに搭載して、記録ヘッド１に非水系インクを供給すると、記録ヘッド１の流路内で水系洗浄液と、非水系インクとが混ざり、非水系インクに含まれる顔料の分散が壊れて異物が発生してしまう。このため、第２洗浄工程水系洗浄液で洗浄した後、インクジェット式記録装置Ｉに搭載する前又は後で、記録ヘッド１の流路内の水系洗浄液を洗浄するために、水溶性の非水系洗浄液でさらに洗浄する工程（詳しくは後述する第４洗浄工程）が必要になり、洗浄工程が煩雑になってしまう。本実施形態では、第２洗浄工程において、洗浄液として水溶性の非水系洗浄液を用いることで、第４洗浄工程が不要になり洗浄工程を簡略化して、水系組成物と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

ちなみに、上述したように印字検査で水系染料インクを用いた場合、第２洗浄工程において水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液で洗浄しても異物が発生しない。したがって、印字検査で水系染料インクを用いるのが好ましい。これに対して、印字検査で水系顔料インクを用いた場合、第２洗浄工程で水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液を用いると、顔料の分散が壊れて異物が発生してしまう。しかしながら、第２洗浄工程で水溶性の非水系洗浄液で洗浄された記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載されて非水系インクが通水されるため、この非水系インクの通水によって、第２洗浄工程で生じた異物は排出され易い。したがって、印字検査を水系顔料インクで行ったとしても、吐出不良の影響は抑えられる。

このように第２洗浄工程又は印字検査を行うことで、図５に示す流路の内面に水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液又は非水系インクが存在した記録ヘッド１が製造される。

また、このように製造された記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。このとき、記録ヘッド１は流路の上流下流がシール、すなわち、流路の上流下流の開口がシールされて送品される場合と、流路の上流下流がシールされずにそのままインクジェット式記録装置Ｉに搭載される場合とがある。ここで、流路の上流下流がシールされて送品された記録ヘッド１は、例えば、新規のインクジェット式記録装置Ｉに搭載されることや、既存のインクジェット式記録装置Ｉの既存の記録ヘッド１と交換されることに使用される。

ここで、記録ヘッド１の流路を閉塞せずにインクジェット式記録装置Ｉに搭載する場合には、記録ヘッド１の最終履歴は、第２洗浄工程における水溶性の溶媒である非水系洗浄液、又は、印字検査における非水系インクなどの水を主な溶媒としない非水系組成物となっている。このため、記録ヘッド１は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載した後、洗浄することなく非水系インクを記録ヘッド１に供給することができる。

一方、記録ヘッド１の流路の上流下流をシールする場合には、当該流路の開口をキャップ等で塞いでもよく、また、記録ヘッド１全体を例えば、通気性の低い材料、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）やアルミでパッキン、すなわち、通気性の低い材料で形成された袋に梱包することで塞ぐようにしてもよい。ちなみに、ポリプロピレン製の袋に比べてアルミ製の袋の方が記録ヘッド１の流路内の乾燥及び外気からの吸湿を抑制することができる。

このように記録ヘッド１の流路の上流下流をシールすることで、最終履歴である第２洗浄工程における水溶性の有機溶媒である非水系洗浄液、又は、印字検査における非水系インクの乾燥を抑制することができると共に、非水系洗浄液又は非水系インクが外気から吸湿するのを抑制することができる。ちなみに、記録ヘッド１の流路内に有機溶媒である非水系洗浄液として、記録ヘッド１に用いられた硫黄を含む材料で形成された流路部材のＳＰ値と離れたＳＰ値を有する洗浄液Ｗ１及びＷ２が存在する場合には、洗浄液Ｗ１及びＷ２は乾燥しても針状異物が発生し難いため流路の上流下流をシールする必要はない。しかしながら、洗浄液Ｗ１及びＷ２が外気の湿気を吸湿してしまうため、洗浄液Ｗ１及びＷ２であっても流路の上流下流をシールする方が好ましい。また、非水系インクで印字検査を行った場合には、記録ヘッド１の最終履歴は、非水系インクとなるため、非水系インクが乾燥すると非水系インクに含まれるグリセリンなどの保湿剤や界面活性剤が残渣となってしまう。このため、記録ヘッド１の送品前の最終履歴が非水系インクの場合であっても、流路の上流下流をシールして非水系インクが乾燥して異物が発生するのを抑制するのが好ましい。

また、記録ヘッド１の流路の上流下流をシールする場合には、最終履歴である水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液又は非水系インクを充填した状態でシールしてもよい。特に、揮発し易い非水系洗浄液や非水系インクを用いる場合には、最終履歴である非水系洗浄液又は非水系インクを充填した状態でシールするのが好ましい。これにより、非水系洗浄液又は非水系インクの乾燥を抑制して針状異物や保湿剤及び界面活性剤の残渣を抑制することができる。

さらに、記録ヘッド１を梱包する前に、比較的揮発し難く、乾燥し難い送品液を通水してもよい。つまり、第２洗浄工程で使用した非水系洗浄液又は印字検査で使用した非水系インクとは異なる送品液を通水してもよい。ただし、新たな送品液を用いることで、工程が増大して煩雑になると共にコストが増大してしまう。このため、第２洗浄工程で使用した非水系洗浄液及び印字検査で使用した非水系インクを送品液として使用することで工程を簡略化してコストを低減することができる。

このように梱包された記録ヘッド１は、新規のインクジェット式記録装置Ｉに搭載されることや、既存のインクジェット式記録装置Ｉの既存の記録ヘッド１と交換されるのに用いられる。新規のインクジェット式記録装置Ｉに搭載される場合には、記録ヘッド１の流路の上流下流のシールを解除、すなわち開梱して、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。このとき上述した送品しない記録ヘッド１の場合と同様に第３洗浄工程及び第４洗浄工程が不要となるため、洗浄工程を簡略化することができ、結果として水系組成物と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

ここで、梱包された記録ヘッド１を既存のインクジェット式記録装置Ｉの既存の記録ヘッドと交換する工程について説明する。

例えば、記録ヘッド１を梱包前に流路に通水した液体が水系組成物の場合、流路の上流下流のシールを解除、すなわち開梱した記録ヘッド１をインクジェット式記録装置Ｉに搭載した後で、流路を非水系洗浄液で洗浄する第４洗浄工程が必要になる。これは、水系組成物が残留する記録ヘッド１に非水系インクを供給すると、水系組成物と非水系インクとが混ざり、非水系インクに含まれる顔料の分散が破壊されて異物が発生するからである。第４洗浄工程において、インクジェット式記録装置Ｉに搭載された記録ヘッド１を水溶性の非水系洗浄液で洗浄することで、水系組成物と非水系インクとが混ざることによる異物の発生を抑制する。

また、第４洗浄工程を行う場合、すなわち、水系組成物を通水した記録ヘッド１をインクジェット式記録装置Ｉに搭載する場合には、インクジェット式記録装置Ｉに搭載されていた既存の記録ヘッドを取り外す前に、既存の記録ヘッドの流路を水溶性の非水系洗浄液で洗浄する第３洗浄工程を行う必要がある。これは、既存の記録ヘッドの上流及び下流の流路内に非水系インクが残留していると、新たな記録ヘッド１を取り付けた際に新たな記録ヘッド１の流路内の水系組成物と混ざり、非水系インクに含まれる顔料によって異物が発生する虞があるからである。

これに対して、本実施形態では、記録ヘッド１の梱包前の最終履歴が、水溶性の非水系洗浄液又は非水系インクであるため、上述した第３洗浄工程及び第４洗浄工程が不要となる。つまり、既存の記録ヘッドの上流及び下流の流路に非水系インクが残っていたとしても、交換後の記録ヘッド１内の流路内には水溶性の有機溶剤である非水系洗浄液又は非水系インクが存在するだけなので、両者が混ざったとしても異物が発生するのを抑制することができる。

ここで、実施例１〜１２と比較例１〜３とにおいて、各工程の有無と、各工程に用いた溶液とについて下記表３及び４に基づいて行った。

また、実施例１〜１２と比較例１〜３とにおいて、異物の発生に関する評価を行った。異物の発生に関する評価は、非水系インク又は非水系洗浄液の非水系溶液と、水系インク又は水系組成物の水系溶液とを１：１で混合した混合液を調整し、得られた混合液を６０℃で１週間放置した。放置した後、混合液を１０μｍのオムニポアメンブレンフィルター（ミリポア社製）でろ過して、メンブレンフィルターを顕微鏡（倍率：５０倍）で観察し、異物の発生の有無を確認することにより、異物発生の評価を行った。この結果を表３及び４に示す。

さらに、実施例１〜１２と比較例１〜３との組み合わせにおいて、置換性の評価を行った。置換性の評価は、まず、チューブを介して、洗浄液の入ったボトルと記録ヘッドと下流チューブとをつなぐ。そして、下流側からロータリーポンプで引き、上流の洗浄液を持ってくる。具体的には、記録ヘッドに検査インクを充填した後、通液量の水準を振って洗浄液を下流から引くことで通液する。このとき、排出側のチューブ内の液の色を確認し透明になるかも確認しておく。その後、洗浄液を排出状態(空気置換)し、上流を洗浄液からシリンジへ組換えた後、上流側からシリンジで空気を送り、検査インク混じりの残液が排出されないかを確認する。検査インク混じりの残液が排出された場合には置換性バツ（×）、残液が排出されない場合には置換性マル（○）と評価した。これらの結果を表３及び４に示す。

また、洗浄液の流路部材に対する硫黄を溶出させて針状異物が析出されるヘッドアタック性については、上記のような洗浄置換後、６０℃５日の環境放置、取出し後はインクジェット式記録装置に取り付けて非水系インクを充填させて印字確認により行った。異常析出が生じると、印字結果として不良が生じると共に、ＩＲ顕微鏡等で異物が観察される。この結果も合わせて下記表３及び４に示す。

ここで、上記表３及び４で用いられる非水系インクについて説明する。
容器に、表２の洗浄液Ｗ４に記載の濃度に相当する量の溶剤をそれぞれ投入し、マグネチックスターラーを用いて３０分間混合撹拌して混合溶剤を得た。得られた混合溶剤の一部を取り分けて、そこにＳｏｌｓｐｅｒｓｅ３２０００（ＬＵＢＲＩＺＯＬ社製、商品名）および顔料を所定量添加して、ホモジナイザーを用いて粉砕処理した。その後、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズを充填したビーズミルで分散処理を行うことにより、顔料分散液を得た。得られた顔料分散液に、混合溶剤の残部およびＢＹＫ−３３１（ビックケミー・ジャパン株式会社製、シリコン系界面活性剤）を添加してさらに１時間混合撹拌してから、５μｍのＰＴＦＥ製メンブランフィルターを用いて濾過することで、表２の洗浄液Ｗ４に記載の各インク組成物を得た。

なお、表中で使用した材料は、下記の通りである。
・ＤＥＧＭＥＥ（ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、有機溶媒）
・ＤＥＧｄＥＥ（ジエチレングリコールジエチルエーテル、有機溶剤）
・顔料（カーボンブラック、ブラック顔料）
・ソルスパーズ３２０００（ＬＵＢＲＩＺＯＬ社製、分散剤）
・ＢＹＫ３３１（商品名、ビックケミー・ジャパン株式会社製、シリコン系界面活性剤）
・ＨＭ５１５（商品名、株式会社カネカ、塩化ビニルー酢酸ビニル共重合体）

（比較例１）
比較例１では表３に示すように、クラック検査を水系組成物Ｓ７で行った後、印字検査を水系組成物Ｓ３で行った。このため、第１洗浄工程が不要となる。

次いで、第２洗浄工程を水系組成物Ｗ５、すなわち、水系洗浄液で行った後、流路の上流下流のシール（梱包）をＰＰ袋で行った。

次いで、既存のインクジェット式記録装置に搭載されていた記録ヘッドを非水系洗浄液Ｗ３で洗浄する工程を行った後、梱包した記録ヘッド１を開梱してインクジェット式記録装置Ｉに取り付ける。

そして、取り付けた記録ヘッド１を水系の洗浄液Ｗ５で洗浄する第４洗浄工程を行う。

このように、比較例１では、第２洗浄工程で、水系の洗浄液Ｗ５を用いて洗浄することで、第３洗浄工程及び第４洗浄工程が必要になり、合計３回の洗浄工程が必要になって工程が煩雑化する。

また、水系の洗浄液Ｗ５は、ＳＰ値が上述した流路部材に用いたザイロン（ＳＰ値８．５）と近く、流路部材からの硫黄の成分の溶出し易く、針状異物が発生し易い（ヘッドアタック性）。

また、洗浄液として水系洗浄液Ｗ５を用いた場合、洗浄液Ｗ５には保湿剤としてグリセリンが含まれているため、流路の上流下流のシールが不十分だと乾燥して保湿剤が残渣となって残ってしまい、インク吐出不良が発生する（水系組成物の残渣なし、送品後の残渣なし）。

（比較例２）
比較例２では、表３に示すように、クラック検査を非水系インクで行った後、印字検査を非水系インクで行った。このため、第１洗浄工程が不要となる。ただし、非水系インクは、絶縁性を有するため、クラック検査を行うことができない。ちなみに、印字検査を非水系インクで行ったため、第２洗浄工程が不要となる。

次いで、記録ヘッドの流路の上流下流をシールすることなく、インクジェット式記録装置に取り付けた。記録ヘッドの最終履歴は、非水系インクであるため第３洗浄工程及び第４洗浄工程が不要となる。

比較例２では、クラック検査を行うことができず、記録ヘッドの信頼性が低下する。

また、比較例２では、送品時に記録ヘッドの流路の上流下流のシールを行っていないため、非水系インクが乾燥して、非水系インクに含まれる界面活性剤が残渣となり、インクと出不良が発生し易い。

（実施例１）
実施例１では、表３に示すように、クラック検査を水系組成物Ｓ１で行った後、印字検査を非水系組成物Ｓ２で行う。このため、第１洗浄工程が不要となる。

次いで、第２洗浄工程を洗浄液Ｗ１、すなわち、水溶性の有機溶剤である洗浄液Ｗ１で行った後、流路の上流下流のシールをアルミ製袋で行った。

次いで、既存のインクジェット式記録装置に搭載されていた既存の記録ヘッドを取り外し、新たな記録ヘッドの流路を開口させて、インクジェット式記録装置に取り付け、非水系インクを供給する。このとき、新たな記録ヘッドは、第２洗浄工程において洗浄液Ｗ１で洗浄されているため、第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行わなくても、顔料による異物の発生を抑えられる。したがって、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査で用いた水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、水系組成物Ｓ１及びＳ２は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ１は、流路部材に用いたザイロン（ＳＰ値８．５）と離れたＳＰ値であるため、流路部材からの硫黄の成分の溶出し難く、針状異物が発生し難い（ヘッドアタック性）。

さらに、印字検査で用いた水系組成物Ｓ２は、保湿剤及び界面活性剤を含むため、乾燥することによって残渣が発生しやすい（水系組成物の残渣なし）。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ１は、乾燥し難いものであるが、乾燥したとしても保湿剤及び界面活性剤を含まないため、これらが残渣となるのを抑制することができる（送品後の残渣なし）。

（実施例２）
実施例２では、表３に示すように、クラック検査を水系組成物Ｓ１で行った後、第１洗浄工程を洗浄液Ｗ１で行い、その後、印字検査を非水系インクで行う。すなわち、クラック検査を水系組成物で行い、印字検査を非水系インクで行うため、クラック検査の水系組成物を洗浄する第１洗浄工程が必要になる。

ただし、印字検査を非水系インクで行ったため、第２洗浄工程を行うことなく、記録ヘッドの流路の上流下流のシールを行う。本実施例では、流路の上流下流のシールをアルミ製袋で行った。

次いで、既存のインクジェット式記録装置に搭載されていた既存の記録ヘッドを取り外し、新たな記録ヘッドの流路を開口させて、インクジェット式記録装置に取り付け、非水系インクを供給する。このとき、新たな記録ヘッドは、印字検査において非水系インクが充填されていたものであるため、第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行わなくても、顔料による異物の発生を抑えられる。したがって、洗浄工程が第１洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、クラック検査における水系組成物Ｓ１と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、水系組成物Ｓ１は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。

また、流路の上流下流のシール前の工程である印字工程で用いた水系インクは、流路部材に用いたザイロン（ＳＰ値８．５）と離れたＳＰ値であるため、流路部材からの硫黄の成分の溶出し難く、針状異物が発生し難い（ヘッドアタック性）。

さらに、クラック検査で用いた水系組成物Ｓ１には、保湿剤及び界面活性剤を含まないため、乾燥することのよって残渣が発生し難く、インクと出不良が発生し難い（水系組成物の残渣なし）。

また、印字工程で用いた水系インクは、乾燥し易く、界面活性剤を含むものであるが、送品時に記録ヘッドの流路をアルミ製袋でシールすることで、界面活性剤が残渣となるのを抑制することができる（送品時の残渣なし）。

（実施例３）
実施例３では、表３に示すように、クラック検査を水系組成物Ｓ１で行った後、印字検査を非水系組成物Ｓ２で行う。このため、第１洗浄工程が不要となる。

次いで、第２洗浄工程を洗浄液Ｗ３、すなわち、水溶性の有機溶剤である洗浄液Ｗ３で行った後、流路の上流下流のシールをアルミ製袋で行った。

次いで、既存のインクジェット式記録装置に搭載されていた既存の記録ヘッドを取り外し、新たな記録ヘッドの流路を開口させて、インクジェット式記録装置に取り付け、非水系インクを供給する。このとき、新たな記録ヘッドは、第２洗浄工程において洗浄液Ｗ３で洗浄されているため、第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行わなくても、顔料による異物の発生を抑えられる。したがって、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査における水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ３は、流路部材に用いたザイロン（ＳＰ値８．５）と離れた近いＳＰ値であるため、流路部材からの硫黄の成分の溶出し易く、針状異物が発生し易い（ヘッドアタック性）。

さらに、印字検査で用いた水系組成物Ｓ２は、保湿剤及び界面活性剤を含むため、乾燥することのよって残渣が発生しやすい（水系組成物の残渣なし）。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ３は、乾燥し易いものであるが、送品時に記録ヘッドの流路をアルミ製袋でシールすることで乾燥を低減できる。また、洗浄液Ｗ３が乾燥したとしても、保湿剤、界面活性剤を含まないので、残渣が生じるのを抑制することができる（送品後の残渣なし）。

（実施例４）
実施例４では、表３に示すように、クラック検査を水系組成物Ｓ１で行った後、印字検査を非水系組成物Ｓ２で行う。このため、第１洗浄工程が不要となる。

次いで、第２洗浄工程を洗浄液Ｗ２、すなわち、水溶性の有機溶剤である洗浄液Ｗ２で行った後、流路の上流下流のシールをアルミ製袋で行った。

次いで、既存のインクジェット式記録装置に搭載されていた既存の記録ヘッドを取り外し、新たな記録ヘッドの流路を開口させて、インクジェット式記録装置に取り付け、非水系インクを供給する。このとき、新たな記録ヘッドは、第２洗浄工程において洗浄液Ｗ２で洗浄されているため、第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行わなくても、顔料による異物の発生を抑えられる。したがって、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査における水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ２は、流路部材に用いたザイロン（ＳＰ値８．５）と離れたＳＰ値であるため、流路部材からの硫黄の成分の溶出し難く、針状異物が発生し難い（ヘッドアタック性）。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ２は、乾燥し難いものであるが、乾燥したとしても保湿剤及び界面活性剤を含まないため、これらが残渣となるのを抑制することができる（送品後の残渣なし）。

（実施例５）
実施例５では、表３に示すように、第２洗浄工程の後、流路の上流下流のシールを行わなかった以外、実施例１と同様である。

本実施例の記録ヘッドは、第２洗浄工程において洗浄液Ｗ１で洗浄されているため、第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行わなくても、顔料による異物の発生を抑えられる。したがって、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査における水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、第２洗浄工程で用いる洗浄液Ｗ１は、乾燥し難いものであるため、流路の上流下流のシールを行わなくても特に影響がない。また、流路の上流下流のシールを行わないことで、たとえ洗浄液Ｗ１が乾燥したとしても、洗浄液Ｗ１は保湿剤及び界面活性剤を含まないため、これらが残渣となるのを抑制することができる（送品後の残渣なし）。

（実施例６）
実施例６では、表４に示すように、印字検査を水系顔料インクである水系組成物Ｓ３で行った以外は、実施例１と同様である。

すなわち、印字検査を顔料を含む水系組成物Ｓ３で行った後、第２洗浄工程で水溶性の有機溶剤である洗浄液Ｗ１で洗浄することで、顔料による異物が発生する。しかしながら、第４洗浄工程を行わなくても、記録ヘッドに非水系インクを通水することで、顔料による異物を排出することができる（顔料による異物なし）。つまり、非水系インクを通水する際に顔料の異物が発生すると、最も異物を排出するのが困難となりインク吐出不良が発生し易いが、非水系インクを通水する前に発生した異物は非水系インクを通水することで排出することができる。

また、本実施例の記録ヘッドは、第２洗浄工程において洗浄液Ｗ１で洗浄されているため、第３洗浄工程が不要となる。したがって、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査における水系組成物Ｓ３と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、第２洗浄工程で、水系の洗浄液で洗浄した後、洗浄液Ｗ１で洗浄したとしても、洗浄工程を合計２回で行うだけで済むので、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化することができる。

また、水系組成物Ｓ１及びＳ３は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。

（実施例７）
実施例７では、表４に示すように、クラック検査を水系染料インクである水系組成物Ｓ２で行った以外は、実施例１と同様である。

このように、クラック検査を水系染料インクで行ったとしても、クラック検査の後、クラック検査液が他の液体、例えば、洗浄液Ｗ１などと置換された際に、クラック検査液に含まれる顔料の分散が壊れて、異物となるのを抑制することができる。

また、本実施例の記録ヘッドは、第２洗浄工程において洗浄液Ｗ１で洗浄されているため、第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行わなくても、顔料による異物の発生を抑えられる。したがって、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済み、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査における水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

また、水系組成物Ｓ２は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。

（実施例８）
実施例８では、表４に示すように、クラック検査を保湿剤を含む水系組成物Ｓ４で行った以外は、実施例１と同様である。

このように、クラック検査を保湿剤を含む水系組成物Ｓ４で行ったとしても、クラック検査の後、クラック検査液が他の液体、例えば、洗浄液Ｗ１などと置換された際に、クラック検査液に含まれる顔料の分散が壊れて、異物となるのを抑制することができる。

また、水系組成物Ｓ４及びＳ２は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。

さらに、クラック検査で用いた水系組成物Ｓ４は、界面活性剤を含み、印字検査で用いた水系組成物Ｓ２は、保湿剤及び界面活性剤を含むため、乾燥することのよって残渣が発生しやすい（水系組成物の残渣なし）。

（実施例９）
実施例９では、表４に示すように、印字検査を行わなかった以外は、上述した実施例１と同様である。

このように実施例９では、印字検査を行っていないため、記録ヘッドの信頼性が低下する。

ただし、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済むため、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、クラック検査における水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

（実施例１０）
実施例１０では、表４に示すように、クラック検査を行わなかった以外は、上述した実施例１と同様である。

このように実施例１０では、クラック検査を行っていないため、記録ヘッドの信頼性が低下する。

ただし、洗浄工程が第２洗浄工程の合計１回だけで済むため、比較例１に比べて洗浄工程を簡略化して、印字検査における水系組成物Ｓ２と非水系インクとの置換を効率的に行うことができる。

（実施例１１）
実施例１１では、表４に示すように、クラック検査を界面活性剤を含む水系組成物Ｓ５で行った以外は、実施例１と同様である。

このように、クラック検査を界面活性剤を含む水系組成物Ｓ５で行ったとしても、クラック検査の後、クラック検査液が他の液体、例えば、洗浄液Ｗ１などと置換された際に、クラック検査液に含まれる顔料の分散が壊れて、異物となるのを抑制することができる。

また、水系組成物Ｓ５及びＳ２は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。

さらに、クラック検査で用いた水系組成物Ｓ５は、界面活性剤を含み、印字検査で用いた水系組成物Ｓ２は、保湿剤及び界面活性剤を含むため、乾燥することのよって残渣が発生しやすい（水系組成物の残渣なし）。

（実施例１２）
実施例１２では、表４に示すように、クラック検査を水系組成物Ｓ６で行った以外は、実施例１と同様である。

このように、クラック検査を水系組成物Ｓ６で行ったとしても、クラック検査の後、クラック検査液が他の液体、例えば、洗浄液Ｗ１などと置換された際に、クラック検査液に含まれる顔料の分散が壊れて、異物となるのを抑制することができる。

また、水系組成物Ｓ２は、アルカリ性を有するため、流路を酸化するのを抑制することができる（ヘッドアタック性）。ただし、水系組成物Ｓ６は、強いアルカリ性を有するため、流路がシリコン部材で形成されている場合にはシリコン部材の浸食による劣化、すなわち、ヘッドアタック性がある（ヘッドアタック性）。

（比較例３）
比較例３では、表３に示すように、第２洗浄工程を洗浄液Ｗ６で行った以外は、実施例１と同様である。

このように第２洗浄工程を水分含有量が高い洗浄液Ｗ６で行うと、印字検査で使用した水系組成物Ｓ２を十分に洗浄することができずに、水系組成物Ｓ２が残留し、非水系インクと残留した水系組成物Ｓ２と混ざり、顔料による異物が発生する虞がある。また、この顔料による異物の発生を低減するためには、比較例１のように第３洗浄工程及び第４洗浄工程を行う必要があり、工程が煩雑になってしまう。

以上説明したように、実施例１〜１２では、水系組成物から非水系インクに置換する際に顔料による異物の発生を抑制すると共に洗浄工程の回数を減少させて、水系組成物から非水系インクへの置換を効率的に行うことができる。

ちなみに、記録ヘッド（液体噴射ヘッド）から置換後の非水系インクを吐出できるように、記録ヘッド（液体噴射ヘッド）に非水系インクを充填するまでを広く「液体噴射ヘッドの製造方法」とする。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。

例えば、上述した実施形態１では、１つのヘッドケース１３０にヘッド本体１４０が４個設けられた構成を例示したが、ヘッド本体１４０の数及び配置は上述したものに限定されるものではなく、ヘッド本体１４０は、１つのヘッドケース１３０に対して１つであっても、また２つ以上の複数であってもよい。また、このような記録ヘッド１は、２以上がインクジェット式記録装置Ｉに搭載されていてもよい。さらに、２以上の複数の記録ヘッド１を共通の部材に固定して一体化してインクジェット式記録装置Ｉに搭載してもよい。このように１つのインクジェット式記録装置Ｉに２以上の記録ヘッド１を設ける場合には、上述した工程によって、単体の記録ヘッド１の交換を行うことも可能である。

また、上述した実施形態１では、圧力発生室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

また、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて第２の方向Ｙに移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを第１の方向Ｘに移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

さらに、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、供給手段であるインクカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の供給手段を装置本体４に固定して、供給手段と記録ヘッド１とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…インクカートリッジ（供給手段）、１０…流路形成基板、１２…圧力発生室、１５…連通板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２０ａ…液体噴射面、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４５…コンプライアンス基板、５０…振動板、５１…弾性膜、５２…絶縁体膜、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１００…マニホールド、１３０…ヘッドケース、１４０…ヘッド本体、１５０…カバーヘッド、１６０…非水系組成物、３００…圧電アクチュエーター

上記課題を解決する本発明の態様は、水を主な溶媒成分とする水系組成物と、ノズルから吐出する非水系インクとを、洗浄液を流路に通水することで置換する液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記非水系インクが、有機溶剤としてグリコールエーテル類を含み、前記グリコールエーテル類の含有量は、当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以上であり、前記洗浄液が、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。

さらに、本発明の他の態様は、グリコールエーテル類を含む有機溶剤を含む非水系インクであって、前記グリコールエーテル類の含有量が当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以上の前記非水系インクを噴射する液体噴射ヘッドであって、前記非水系インクの通水前に、流路の内面には、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下の洗浄液が存在することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

Claims

水を主な溶媒成分とする水系組成物と、ノズルから吐出する非水系インクとを、洗浄液を流路に通水することで置換する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記非水系インクが、有機溶剤としてグリコールエーテル類を含み、前記グリコールエーテル類の含有量は、当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以下であり、
前記洗浄液が、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下であることを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
前記有機溶剤のＳＰ値は、９以上であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記有機溶剤は、前記液体噴射ヘッドを構成する部材のうち、硫黄を含む部材のＳＰ値との差が１以上で、且つ前記非水系インクのＳＰ値との差が１．５以内であることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記水系組成物は、保湿剤の含有量が２０質量％以下であることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記水系組成物は、界面活性剤の含有量が１質量％以下であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記洗浄液は、前記有機溶剤としてグリコールエーテル類を含むことを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記洗浄液は、下記式（１）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも一種の有機溶剤を含有することを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
ＨＯ−（Ｒ^１−Ｏ）_ｎ−Ｒ^２・・・（１）
（上記一般式（１）において、Ｒ^１は、炭素数２以上４以下のアルキレン基を表し、Ｒ^２は、アリール基または炭素数１以上６以下のアルキル基を表し、ｎは、１以上９以下の整数を表す。）
前記有機溶剤は、標準沸点が１７０℃以上であることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記水系組成物は、染料を含み、顔料を含まないものであることを特徴とする請求項１〜８の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記水系組成物は、導電性を有することを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記水系組成物は、アルカリ性であることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記水系組成物のｐＨは、１２未満であることを特徴とする請求項１１記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
前記洗浄液が通水された流路の上流下流をシールする工程を有することを特徴とする請求項１〜１２の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
液体噴射装置に前記液体噴射ヘッドを接続する工程と、
前記液体噴射装置の前記非水系インクが保持された供給手段と前記流路とを接続する工程と、を有することを特徴とする請求項１〜１３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
グリコールエーテル類を含む有機溶剤を含む非水系インクであって、前記グリコールエーテル類の含有量が当該非水系インクの全質量に対して２０質量％以下の前記非水系インクを噴射する液体噴射ヘッドであって、
前記非水系インクの通水前に、流路の内面には、水溶性の有機溶剤であって、水の含有量が１０質量％以下の洗浄液が存在することを特徴とする液体噴射ヘッド。