JP2017043001A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】用途等が異なる液体吐出装置間で、構成部品の共通化を可能とする液体吐出装置を提供する。【解決手段】液体が吐出される複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室３３、及び、圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズルから液体を吐出させる圧電素子２１を有する記録ヘッドと、圧電素子と個別信号線４９を介して接続され、個別信号線を通じて圧電素子を駆動する駆動信号を供給するプリンターコントローラー９と、個別信号線が、圧力室の数のｎ倍（但し、ｎは２以上の自然数）以上の数だけ設けられている液体吐出装置。【選択図】図５

Description

本発明は、駆動信号の印加によって圧電素子が駆動することにより、ノズルから液体を吐出させる液体吐出装置に関するものである。

液体吐出装置は、液体吐出ヘッドのノズルから液体を吐出させて対象物（液体の着弾対象）における所定の位置に正確に着弾させることができる装置である。上記の液体吐出ヘッドは、圧電素子等のアクチュエーターを駆動することにより、液体が貯留された空間に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用してノズルから液体を吐出させるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。液体吐出装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを吐出し、ディスプレイ製造装置用の色材吐出ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を吐出する。また、電極形成装置用の電極材吐出ヘッドでは液状の電極材料を吐出し、チップ製造装置用の生体有機物吐出ヘッドでは生体有機物の溶液を吐出する。

特開平０７−８１０５５号公報

ところで、液体吐出装置の用途（例えば、記録紙や布帛等に画像等を記録する用途、または、上記した各種製造装置としての用途）や、吐出液体の種類（水系インク、光硬化型インク、もしくは電極材料等の各種機能性液体）・粘度等によって、ノズルから吐出される液体の量や飛翔速度等が異なるため、用途等が異なる液体吐出装置間では、ノズルやこれに連通する流路、およびアクチュエーターの形成密度あるいは配置密度が異なる。同様に、圧電素子等のアクチュエーターに印加する駆動信号を生成する回路や、当該回路からアクチュエーターに至るまでの信号経路も、用途等に応じて異なる。従来では、それぞれ専用の構造、部品を設計・製造していたため、コストが嵩む要因となっていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、用途等が異なる液体吐出装置間で、構成部品の共通化を可能とすることにある。

〔手段１〕
本発明の液体吐出装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体が吐出される複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、及び、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで前記ノズルから液体を吐出させるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
前記アクチュエーターと駆動信号線を介して接続され、当該駆動信号線を通じて前記アクチュエーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、
前記駆動信号線が、前記圧力室の数のｎ倍（但し、ｎは２以上の自然数）以上の数だけ設けられていることを特徴とする。

手段１の構成によれば、駆動信号線が、前記圧力室の数のｎ倍以上の数だけ設けられていることにより、ノズルや圧力室等の形成密度・配置密度の異なる液体吐出装置の間で、少なくとも駆動回路から駆動信号線の出力側の端までの構成を共通化することができる。

〔手段２〕
また、手段１の構成において、一の圧力室に対し、複数のアクチュエーターが一の組として設けられ、駆動信号線が各アクチュエーターにそれぞれ接続され、
同一の組の各アクチュエーターには、同一の駆動信号が印加される構成を採用することが望ましい。

手段２の構成によれば、一の圧力室に対して複数のアクチュエーターが組を成して設けられるので、圧力室と駆動信号線とが１対１で対応する液体吐出装置と、これよりも圧力室およびノズルの数が少ない液体吐出装置との間で、少なくとも駆動回路からアクチュエーターに至るまでの構成を共通化することができる。また、一の圧力室に対応する同一組の各アクチュエーターが、同一の駆動信号が印加されることにより同時に駆動されるので、より大きな駆動力が得られる。これにより、より高粘度の液体を吐出することが可能となる。

〔手段３〕
また、上記手段２の構成に関し、前記圧力室の一面を区画する駆動面は、前記アクチュエーターが接続された島部と、当該島部を囲み可撓性を有する可撓膜と、を有し、
前記島部は、前記同一の組の各アクチュエーターに共通の一体構造を呈する構成を採用することが望ましい。

手段３の構成によれば、島部が、同一の組の各アクチュエーターに共通の一体構造であるため、これらのアクチュエーターの駆動力をより効果的に圧力室内の液体に伝達することができ、吐出効率が向上する。

〔手段４〕
また、上記手段１の構成に関し、一の圧力室に対し、一のアクチュエーターが設けられ、
前記一のアクチュエーターに対して駆動信号線が複数接続され、
各駆動信号線の出力側の端が導通され、
各駆動信号線を通じてそれぞれ同一の駆動信号が前記アクチュエーターに印加される構成を採用することができる。

手段４の構成によれば、圧力室と駆動信号線とが１対１で対応する液体吐出装置と、これよりも圧力室およびノズルの数が少ない液体吐出装置との間で、少なくとも駆動回路から駆動信号線の出力側の端に至るまでの構成を共通化することができる。また、後者の液体吐出装置では、アクチュエーターをより大きくすることができる。これにより、アクチュエーターの剛性がより高められ、より大きな駆動力が得られる。これにより、より高粘度の液体を吐出することが可能となる。

プリンターの内部構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。 記録ヘッドのノズル列方向における要部断面図である。 プリンターの電気的な構成を説明するブロック図である。 プリンターコントローラーと圧電素子との間の信号経路について説明する模式図である。 比較例の記録ヘッドのノズル列方向における要部断面図である。 第２の実施形態における記録ヘッドのノズル列方向における要部断面図である。 第２の実施形態におけるプリンターコントローラーと圧電素子との間の信号経路について説明する模式図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を搭載した液体吐出装置の一種であるインクジェット式プリンター（以下、プリンター）を例に挙げて説明する。

プリンター１は、液体吐出ヘッドの一種である記録ヘッド２を搭載すると共にインクカートリッジ３（液体貯留部材の一種）が着脱可能に取り付けられるキャリッジ４、記録ヘッド２の下方に配設されたプラテン５、キャリッジ４を記録紙Ｓ（着弾対象物の一種）の紙幅方向、即ち主走査方向に移動させるキャリッジ移動機構７、ヘッド移動方向に直交する方向である副走査方向に記録紙Ｓを搬送する搬送機構６、および、各部を制御するためのプリンターコントローラー９（図４参照）等を備えている。プリンターコントローラー９からの駆動信号や各種の制御信号はフレキシブルフラットケーブル（ＦＦＣ）１０を通じて記録ヘッド２に伝送される。なお、インクカートリッジ３としては、キャリッジ４に装着するタイプでも、或いはプリンター１の筐体側に装着してインク供給チューブを介して記録ヘッド２に供給するタイプでもよい。

キャリッジ４は、主走査方向に架設されたガイドロッド１１に軸支された状態で取り付けられており、キャリッジ移動機構７の作動により、ガイドロッド１１に沿って主走査方向に移動するように構成されている。キャリッジ４の主走査方向の位置は、リニアエンコーダー１２によって検出され、検出信号が位置情報としてプリンターコントローラー９の制御部４３（図４参照）に送信される。これにより、制御部４３はこのリニアエンコーダー１２からの位置情報に基づいてキャリッジ４（記録ヘッド２）の走査位置を認識しながら、記録ヘッド２による記録動作（吐出動作）等を制御することができる。

図２は、上記記録ヘッド２の構成を説明する要部断面図である。また、図３は、記録ヘッド２のノズル列方向における要部断面図であり、圧電素子２１と流路ユニット１９における島部４１（後述）との接合部分の近傍の構成を示している。この記録ヘッド２は、ケース１７と、このケース１７内に収納されるアクチュエーターユニット１８と、ケース１７の底面（先端面）に接合される流路ユニット１９等を備えている。上記のケース１７は、例えば、エポキシ系樹脂により作製され、その内部にはアクチュエーターユニット１８を収納するための収容空部２０が形成されている。アクチュエーターユニット１８は、アクチュエーターの一種として機能する圧電素子２１と、この圧電素子２１が接合される固定板２２と、圧電素子２１に駆動信号等を供給するための配線部材２３とを備えている。

圧電素子２１は、圧電体層と電極層とを交互に積層した圧電板を櫛歯状に切り分けることで作製された積層型であって、積層方向に直交する方向に伸縮する縦振動モードの圧電素子である。配線部材２３は、ＴＣＰ（テープキャリアパッケージ）等のフィルム状の部材から構成されている。この配線部材２３は、固定板２２と対向する領域に、圧電素子２１に対して駆動信号の選択的な印加制御を行う駆動ＩＣ２４を実装している。この配線部材２３の先端側は、圧電素子２１の外部電極（個別電極および共通電極）と電気的に接続される。また、配線部材２３の後端側は、ＦＦＣ１０側からの駆動信号等を中継する図示しない中継基板と電気的に接続される。本実施形態におけるアクチュエーターユニット１８において、ノズル３５および圧力室３３の形成密度の２倍の形成密度で各圧電素子２１が並設されている。具体的には、ノズル３５および圧力室３３が１インチ中に９０個形成されているのに対し、圧電素子２１は１インチ中に１８０個形成されている。

流路ユニット１９は、流路形成基板２７の一方の面にノズルプレート２８が接合され、流路形成基板２７の他方の面に振動板２９がそれぞれ接合されて構成されている。この流路ユニット１９には、共通液室（リザーバー）３１と、インク供給口３２と、圧力室３３と、ノズル連通口３４と、ノズル３５とが設けられている。流路形成基板２７は、例えば、シリコンウェハーに異方性エッチング処理により圧力室３３等の空部が形成されて構成されている。上記の圧力室３３は、ノズル３５の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通液室３１は、ケース１７の高さ方向を貫通して形成されたケース流路１６等を介してインクカートリッジ３に貯留されたインクが導入される空間である。圧力室３３の長手方向における一端は、圧力室毎に個別に設けられたインク供給口３２を介して共通液室３１と連通されている。また、圧力室３３の長手方向における他端は、流路形成基板２７の厚さ方向に貫通したノズル連通口３４に連通し、当該ノズル連通口３４を介してノズル３５と連通している。

上記ノズルプレート２８は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル３５が列状に開設された金属製の薄いプレートである。本実施形態において、このノズルプレート２８は、ステンレス製あるいはシリコン製の板材によって作製され、ノズル３５の列（ノズル列）が複数設けられている。本実施形態においては、１つのノズル列は、例えば、１インチ中に９０個（９０ｄｐｉに相当する形成密度）のノズル３５が配設されて構成されている。このため、上記流路形成基板２７には、９０ｄｐｉに相当する形成密度で、ノズル連通口３４、圧力室３３、およびインク供給口３２が形成されている。

上記振動板２９は、比較的剛性の高い支持板３７の表面に、可撓性を有する可撓膜３８を積層した二重構造である。本実施形態では、金属板の一種であるステンレス板を支持板３７とし、この支持板３７の表面に樹脂フィルムを可撓膜３８としてラミネートした複合板材を用いて振動板２９を作製している。この振動板２９において、圧力室３３の上部開口に対応する位置には、当該圧力室３３の容積を変化させる駆動面としてダイヤフラム部３９が設けられている。また、この振動板２９には、共通液室３１の一部を封止するコンプライアンス部４０が設けられている。

上記のダイヤフラム部３９は、エッチング加工等によって支持板３７を部分的に除去することで作製される。即ち、このダイヤフラム部３９は、圧電素子２１の先端面が接続される部分が、支持板３７の他の部分から独立した島部４１として残された状態でその周囲の支持板３７がエッチング処理によって除去されることで構成されている。このため、島部４１の周囲は可撓膜３８によって囲まれている。この島部４１と周囲の可撓膜３８が、ダイヤフラム部３９として機能する。本実施形態においては、図３に示すように、１つの圧力室３３に対し１つの島部４１が形成され、当該島部４１には、合計２つの圧電素子２１の先端面が接合されている。換言すると、島部４１は、同一の組をなす圧電素子２１ａ，２１ｂに共通の一体構造を呈する。このため、この組をなす圧電素子２１ａ，２１ｂが、同時に共働して伸縮駆動されることで、島部４１を変位させる。なお、島部４１に関し、本実施形態のように、各圧電素子２１ａ，２１に共通の一体構造を呈するものに限られず、各圧電素子２１ａ，２１にそれぞれ個別の独立した島部が接続される構成とすることも可能である。

上記のコンプライアンス部４０は、共通液室３１の開口面に対向する領域の支持板３７を、ダイヤフラム部３９と同様にエッチング加工等によって除去することにより作製され、共通液室３１に貯留された液体の圧力変動を吸収するダンパーとして機能する。

そして、この記録ヘッド２において、プリンターコントローラー９の駆動信号発生回路４４からＦＦＣ１０、中継基板、及び配線部材２３からなる信号経路を通じて圧電素子２１に駆動信号が印加されると、この圧電素子２１が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４１がノズルプレート２８に近接する方向或いは離隔する方向に変位する。これにより、圧力室３３の容積が変化し、圧力室３３内のインクに圧力変動が生じる。上記のように、１つの圧力室３３において、組をなす圧電素子２１ａ，２１ｂが同時に共通の島部４１を変位させるので、これらの圧電素子２１ａ，２１ｂと同じ大きさの単一の圧電素子が一つの圧力室に設けられる構成と比較して、圧力室３３内のインクにより大きい圧力変動を生じさせることが可能となる。このため、上記プリンター１では、例えば紫外線等の光を照射することで硬化する光硬化型のインクのように、常温（２５℃）で８ｍＰａ・ｓ以上の、いわゆる高粘度領域の粘度を持つインクの吐出に適している。特に、本実施形態においては、同一の組をなす２つの圧電素子２１が、共通の一つの島部４１に接続されるので、これらの圧電素子２１の駆動力をより効果的に圧力室内のインクに伝達することができ、吐出効率が向上する。

図４は、プリンター１の電気的な構成を示すブロック図である。また、図５は、プリンターコントローラー９と圧電素子２１との間の信号経路について説明する模式図である。このプリンター１は、プリンターコントローラー９（本発明における駆動回路に相当）とプリントエンジン４０とで概略構成されている。プリンターコントローラー９は、ホストコンピュータ等の外部装置からの印刷データ等が入力される外部インターフェース（外部Ｉ／Ｆ）４１と、各種制御のための制御プログラムや各種データ等を記憶した記憶部４３と、記憶部４３に記憶されている制御プログラムに従って各部の統括的な制御を行う主制御回路４２と、記録ヘッド２へ供給する駆動信号を発生する駆動信号発生回路４４と、を備えている。一方、プリントエンジン４０は、記録ヘッド２と、キャリッジ移動機構７と、搬送機構６と、リニアエンコーダー１２とから構成されている。

主制御回路４２は、外部装置から送信された印刷データをドットパターンに対応した吐出データに展開して記録ヘッド２に送信する。この場合において、主制御回路４２は、受信バッファ内の印刷データを読み出して中間コードデータに変換し、この中間コードデータを中間バッファに記憶する。そして、主制御回路４２は、中間バッファから読み出した中間コードデータを解析し、記憶部４３内のフォントデータやグラフィック関数等を参照して中間コードデータをドット毎の吐出データ（ドットパターンデータ）に展開する。この展開された吐出データは出力バッファに一旦記憶され、一回の主走査に相当する１行分の吐出データが得られると、この１行分の吐出データはＦＦＣ１０を通じて記録ヘッド２にシリアル伝送される。出力バッファから１行分の吐出データが送信されると、中間バッファの内容が消去されて次の中間コードデータに対する変換が行われる。そして、記録ヘッド２では、配線部材２３に設けられた駆動ＩＣ２４のヘッドコントローラー５０（図５参照）により、上記吐出データに基づきスイッチ４８が制御されて、駆動信号が選択的に圧電素子２１に印加される。これにより圧電素子２１が駆動されてノズル３５からインク滴の吐出が行われる。

図５に示すように、駆動信号発生回路４４と圧電素子２１の個別電極４６とは、ＦＦＣ１０、配線部材２３、この配線部材２３に設けられている駆動ＩＣ２４、および個別信号線４９（本発明における駆動信号線に相当）を介して、電気的に接続されている。本実施形態においては、１つの圧力室３３に対して、組を成す２つの圧電素子２１および２本の個別信号線４９が対応している。つまり、駆動ＩＣ２４から延びる個別信号線４９が、圧力室３３の数の２倍の数だけ設けられている。また、圧電素子２１の共通電極４７は、共通電極線５１、配線部材２３、およびＦＦＣ１０を通じて接地電位または一定のバイアス電位に調整されている。

上記駆動ＩＣ２４は、ヘッドコントローラー５０およびスイッチ４８を備えている。ヘッドコントローラー５０は、主制御回路４２からの吐出データＳＩに基づき、各圧電素子２１にそれぞれ対応して設けられたスイッチ４８を制御するスイッチ制御信号を出力する。また、スイッチ４８には、駆動信号発生回路４４側からの駆動信号ＣＯＭが入力されている。このスイッチ４８は、ヘッドコントローラー４０からのスイッチ制御信号に基づき、各圧電素子１９の個別電極４６に対して駆動信号ＣＯＭの出力状態または非出力状態を切り替える。本実施形態におけるプリンター１は、上述したように、上記流路ユニット１９においては、高粘度インクの吐出に対応させるために、９０ｄｐｉに相当する形成密度で、ノズル３５、ノズル連通口３４、圧力室３３、およびインク供給口３２が形成されているのに対し、圧電素子２１は１８０ｄｐｉに相当する形成密度で形成されている。そして、１つの圧力室３３に対して２つの圧電素子２１が組をなしている。このため、本実施形態において、同一組の圧電素子２１には、必ず同じタイミングで同じ駆動信号が印加されるように、スイッチ４８が制御される。

このように、一の圧力室３３に対して複数の個別信号線４９が対応しているので、用途や吐出液体の種類等が異なる液体吐出装置の間で、少なくとも駆動回路（プリンターコントローラー９）から個別信号線４９の出力側の端までの構成部品を共通化することが可能となる。すなわち、例えば図６に示すようにノズル３５′等が１８０ｄｐｉに相当する形成密度で形成されている、比較的高解像度での記録に対応したプリンターと、本実施形態のようにノズル３５等が９０ｄｐｉに相当する形成密度で形成されている、比較的高粘度インクの吐出に対応したプリンター１との間で、プリンターコントローラー９から配線部材２３の個別信号線４９の端までの構成を共通化することができる。本実施形態においては、１つの圧力室３３に対して２つの圧電素子２１が設けられているので、プリンターコントローラー９から圧電素子２１までの構成を共通化することができる。つまり、流路ユニット１９についてのみ用途等に応じたものを採用すればよいことになる。ここで、図６に示される構成は、例えば、一般的な水系のインクの吐出を行うプリンターに採用される構成であり、１つの圧力室３３に対し、１つの圧電素子２１および１つの個別信号線４９が対応している。このように、ノズル形成密度の異なるプリンターの間で構成部品の共通化が可能となることで、生産コストの低減を図ることができる。また、本実施形態においては、一の圧力室３３に対応する各圧電素子２１ａ，２１ｂが、同一の駆動信号が印加されることにより同時に駆動されるので、より大きな駆動力が得られる。これにより、より高粘度のインクを吐出することが可能となる。

図７および図８は、本発明の第２の実施形態について説明する図であり、図７は、記録ヘッド２のノズル列方向における要部断面図、図８は、プリンターコントローラー９と圧電素子２１との間の信号経路について説明する模式図である。上記第１の実施形態では、９０ｄｐｉに相当する形成密度で流路ユニット１９におけるノズル３５等が形成される一方、プリンターコントローラー９から圧電素子２１までは１８０ｄｐｉに対応する構成であるプリンターを例示した。これに対し、本実施形態においては、流路ユニット１９におけるノズル３５等、および、圧電素子２１″が９０ｄｐｉに相当する形成密度で形成されている一方、プリンターコントローラー９から配線部材２３の個別信号線４９の端までが１８０ｄｐｉに対応する構成となっている点で第１の実施形態と異なっている。すなわち、１つの圧力室３３に対し、１つの圧電素子２１″および２つの個別信号線４９が対応している。

図８に示すように、１つの圧電素子２１″に対応する２本の個別信号線４９は、当該圧電素子２１″の同一の個別電極４６″に電気的に接続されている。つまり、これらの個別信号線４９の出力側の端は、互いに導通されており、これらの個別信号線４９を通じて同一の駆動信号が圧電素子２１″の個別電極４６″に印加されるように構成されている。このようにすることで、１つの圧電素子２１″に２本の個別信号線４９が接続される構成であっても、圧電素子２１″を支障なく駆動させることができる。なお、流路ユニット１９の構成は、第１の実施形態と同様の構成となっている。

本実施形態において、圧電素子２１″についてはノズル等の形成密度の異なる（用途等が異なる）液体吐出装置との間で共通化することはできないが、プリンターコントローラー９から配線部材２３の個別信号線４９の端までの構成については、上記第１の実施形態と同様に異なる液体吐出装置との間で共通化することができる。この第２の実施形態における圧電素子２１″は、１つの圧力室３３に対して１つの圧電素子２１″が設けられており、当該圧電素子２１″のノズル列方向における幅は、第１の実施形態における圧電素子２１の幅よりも大きい。このため、本実施形態においては、第１の実施形態と比較して圧電素子２１″の剛性が高くなり、コンプライアンスが小さくなる。これにより、より高粘度のインクの吐出に適した構成となる。すなわち、圧電素子のコンプライアンスが大きい（圧電素子の剛性が低く柔らかい）と、より高粘度のインクを吐出させる場合に、当該インクに対する圧電素子２１の駆動力の伝達効率が低下するので、より高い電圧で圧電素子を駆動させる必要がある。これに対し、本実施形態では、圧電素子２１″の剛性が高まり、コンプライアンスが小さくなることで、より高粘度のインクを効率よく吐出させることが可能となる。

なお、上記各実施形態では、個別信号線４９が、圧力室３３の数の２倍だけ設けられた構成を例示したが、これには限られず、例えば、１つの圧力室３３に対して、３つ以上（３倍以上）の駆動信号線が設けられていてもよい。これにより、より高解像度に対応した液体吐出装置との間で、駆動回路等の構成部品の共通化が可能となる。要は、個別信号線４９が、圧力室３３の数のｎ倍（但し、ｎは２以上の自然数）以上の数だけ設けられている構成を採用することができる。

また、上記各実施形態では、積層方向（電界方向）に直交する方向に伸縮するいわゆる縦振動型の圧電素子２１を採用した構成を例示したが、これには限られず、圧電素子としては、電界方向に撓み変形する所謂撓み振動型の圧電素子を採用する構成にも本発明を適用することができる。この構成においても、圧電素子の個別電極に接続される個別信号線（駆動信号線）が、圧力室の数のｎ倍以上の数だけ設けられている構成とすることにより、上記各実施形態と同様に、駆動回路から配線部材の個別信号線の端までの構成について用途等の異なる液体吐出装置との間で共通化することができる。

さらに、アクチュエーターとしては、圧電素子に限られず、例えば、静電気力によって圧力室の一部を変位させる所謂静電方式のアクチュエーターや、加熱により液体内に生じる気泡により圧力室内に圧力変動を生じさせる発熱素子等の他のアクチュエーターを採用する構成においても本発明を適用することが可能である。

そして、以上では、記録紙等にインクを吐出して画像等を記録する用途に用いられるプリンターを例示したが、これには限られず、インク以外の液体を吐出する用途のものにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材吐出ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物吐出ヘッド等を備える他の液体吐出装置にも本発明を適用することができる。

１…プリンター，２…記録ヘッド，９…プリンターコントローラー，１０…ＦＦＣ，１８…アクチュエーターユニット，１９…流路ユニット，２１…圧電素子，２３…配線部材，２４…駆動ＩＣ，２７…流路形成基板，２８…ノズルプレート，２９…振動板，３３…圧力室，３５…ノズル，４２…主制御回路，４４…駆動信号発生回路，４６…個別電極，４７…共通電極，４８…スイッチ，４９…個別信号線，５０…ヘッドコントローラー，５１…共通信号線

Claims (4)

1. 液体が吐出される複数のノズル、各ノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室、及び、前記圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることで前記ノズルから液体を吐出させるアクチュエーターを有する液体吐出ヘッドと、
   前記アクチュエーターと駆動信号線を介して接続され、当該駆動信号線を通じて前記アクチュエーターを駆動する駆動信号を供給する駆動回路と、
   前記駆動信号線が、前記圧力室の数のｎ倍（但し、ｎは２以上の自然数）以上の数だけ設けられていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 一の圧力室に対し、複数のアクチュエーターが一の組として設けられ、駆動信号線が各アクチュエーターにそれぞれ接続され、
   同一の組の各アクチュエーターには、同一の駆動信号が印加されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記圧力室の一面を区画する駆動面は、前記アクチュエーターが接続された島部と、当該島部を囲み可撓性を有する可撓膜と、を有し、
   前記島部は、前記同一の組の各アクチュエーターに共通の一体構造を呈することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 一の圧力室に対し、一のアクチュエーターが設けられ、
   前記一のアクチュエーターに対して駆動信号線が複数接続され、
   各駆動信号線の出力側の端が導通され、
   各駆動信号線を通じてそれぞれ同一の駆動信号が前記アクチュエーターに印加されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。

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