JP2017042903A5 - 表面被覆切削工具の製造方法 - Google Patents
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Claims (6)
- 基材と該基材上に形成された被膜とを備え、
前記被膜は、α−Ａｌ2Ｏ3層を含み、
前記α−Ａｌ2Ｏ3層は、複数のα−Ａｌ2Ｏ3の結晶粒と硫黄とを含み、かつ配向性指数ＴＣ（ｈｋｌ）においてＴＣ（００６）が５を超え、
前記硫黄は、前記α−Ａｌ2Ｏ3層の厚み方向において、前記基材側から遠ざかる方向にその濃度が減少する濃度分布を有する、表面被覆切削工具の製造方法であって、
前記基材上にＣＶＤ法で前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 層を含む前記被膜を形成する工程を含む、表面被覆切削工具の製造方法。 - 前記被膜を形成する工程は、
α−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶粒の核生成を行なう工程と、
前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 層を形成する工程と、を含み、
前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶粒の核生成を行なう工程および前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 層を形成する工程において導入する原料ガスに含まれるＨ 2 Ｓの配合量を、０．５〜５体積％とする、請求項１に記載の表面被覆切削工具の製造方法。 - 前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶粒の核生成を行なう工程は、前記原料ガスに含まれるＨ 2 Ｓの配合量を、瞬間的に１３０〜１６０％まで増加させる操作を含む、請求項２に記載の表面被覆切削工具の製造方法。
- 前記操作は、１回または２回以上である、請求項３に記載の表面被覆切削工具の製造方法。
- 前記原料ガスは、前記Ｈ 2 Ｓ以外にＡｌＣｌ 3 、ＨＣｌ、ＣＯ、ＣＯ 2 、Ｏ 2 およびＨ 2 を含み、
前記ＡｌＣｌ 3 は１．３〜２．５体積％含まれ、前記ＨＣｌは２．８〜６体積％含まれ、前記ＣＯは１〜５体積％含まれ、前記ＣＯ 2 は０．４〜３体積％含まれ、前記Ｏ 2 は０．００２〜０．００８体積％含まれ、残部がＨ 2 である、請求項２〜請求項４のいずれか１項に記載の表面被覆切削工具の製造方法。 - 前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 の結晶粒の核生成を行なう工程および前記α−Ａｌ 2 Ｏ 3 層を形成する工程は、炉内温度を９７０〜１０２０℃とし、炉内圧力を７０〜１１０ｈＰａとした条件により行なわれる、請求項２〜請求項５のいずれか１項に記載の表面被覆切削工具の製造方法。
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