JP2017041512A - 基板処理方法および基板処理装置 - Google Patents
基板処理方法および基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017041512A JP2017041512A JP2015161328A JP2015161328A JP2017041512A JP 2017041512 A JP2017041512 A JP 2017041512A JP 2015161328 A JP2015161328 A JP 2015161328A JP 2015161328 A JP2015161328 A JP 2015161328A JP 2017041512 A JP2017041512 A JP 2017041512A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid
- substrate
- mixed
- liquid film
- processing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 419
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 558
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 161
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 156
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 45
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 40
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 34
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 31
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 25
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 23
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 19
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 9
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 8
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 55
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 53
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 20
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 18
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 15
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 12
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 11
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 5
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003042 antagnostic effect Effects 0.000 description 1
- -1 as shown in FIG. 6D Substances 0.000 description 1
- SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N azane;hydrogen peroxide Chemical compound [NH4+].[O-]O SWXQKHHHCFXQJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N h2o hydrate Chemical compound O.O JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- DKAGJZJALZXOOV-UHFFFAOYSA-N hydrate;hydrochloride Chemical compound O.Cl DKAGJZJALZXOOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、スピンチャック5と、スピンチャック5に保持された基板Wの上面に水を供給する水供給ユニット7と、スピンチャック5に保持された基板Wの上面にEG(エチレングリコール)を供給するEG供給ユニット8と、基板Wの上面に形成された混合液の液膜を基板Wを介して下方から加熱するためのホットプレート9とを含む。基板Wの水の液膜にEGが供給されることにより、基板Wの上面において、混合液の液膜が形成される。そして、ホットプレート9によって混合液の液膜が加熱されることにより、その混合液の液膜中の水が蒸発し、混合液の液膜中の水がEGに完全置換する。
【選択図】図2
Description
典型的な基板処理工程では、スピンチャックに保持された基板に対して薬液が供給される。その後、水が基板に供給され、それによって、基板上の薬液が水に置換される。その後、基板上の水を排除するためのスピンドライ工程が行われる。スピンドライ工程では、基板が高速回転されることにより、基板に付着している水が振り切られて除去(乾燥)される。一般的な水は脱イオン水である。
特許文献1のように、リンス処理後スピンドライ工程の前に有機溶剤の液体(以下、単に「有機溶剤」という)を基板の表面に供給する場合には、有機溶剤がパターンの間に入り込む。有機溶剤の表面張力は、典型的な水である水よりも低い。そのため、表面張力に起因するパターン倒壊の問題が緩和される。
そこで、本発明の目的は、基板の表面上の処理液を、低表面張力液体に短時間で完全置換でき、これにより、パターンの倒壊を抑制しながら基板の表面を短時間で乾燥できる、基板処理方法および基板処理装置を提供することである。
低表面張力液体の供給により混合液を形成し、その混合液中に含まれる処理液を蒸発させて低表面張力液体のみを残存させるので、処理液の低表面張力液体への置換速度を速めることができる。これにより、基板の表面上の処理液を、短時間で、低表面張力液体に完全置換できる。ゆえに、パターンの倒壊を抑制しながら基板の表面を短時間で乾燥できる。
請求項2に記載の発明は、前記置換工程は、前記混合液に含まれる前記処理液を蒸発させるべく、前記混合液を加熱する混合液加熱工程を含む、請求項1に記載の基板処理方法である。
この方法によれば、水平姿勢に保持されている基板の上面に低表面張力液体を供給する。これにより、処理液と低表面張力液体とが混ざり合い、基板の表面において混合液の液膜が形成される。そして、混合液の液膜を加熱することにより、その混合液の液膜中に含まれる、沸点の低い処理液を蒸発させることができる。その結果、液膜中の処理液を低表面張力液体に完全置換できる。
この構成によれば、処理液の沸点よりも高くかつ低表面張力液体の沸点よりも低い温度で混合液を加熱すれば、混合液中の低表面張力液体はほとんど蒸発しない。その一方で、混合液中の処理液の蒸発は促進される。すなわち、混合液中の処理液だけを、効率良く蒸発させることができる。これにより、低表面張力液体による完全置換を、より短時間で実現できる。また、混合液加熱工程後に、基板の上面に所定の厚みを有する低表面張力液体の液膜を保持することもできる。
この方法によれば、混合液液膜形成工程に並行してパドル工程を実行するから、基板からの低表面張力液体の排出を抑制できる。これにより、低表面張力液体の使用量の低減を図ることができる。
この方法によれば、混合液の液膜に気体を吹き付けることにより、混合液の液膜に含まれる混合液が部分的に吹き飛ばされて除去される。これにより、液膜除去領域を簡単に形成できる。
この方法によれば、基板を高速回転させることにより発生する強い遠心力により、液膜除去領域を拡大させることができる。
この方法によれば、高温気体を基板の上面に供給することにより、混合液の液膜の気固液界面における処理液の蒸発を促進させることができる。これにより、混合液の液膜の界面付近部分の低表面張力液体の濃度勾配を急激とすることができ、ゆえに、気固液界面において、低表面張力液のみを存在させることが可能である。
この方法によれば、水が残留している基板の表面にエチレングリコール(以下、「EG」という)を供給する。これにより、水とEGとが混ざり合い、基板の表面において混合液が形成される。そして、その混合液中に含まれる、沸点の低い水が主として蒸発し、その結果、基板の表面上の水をEGに完全置換できる。
EGの供給により混合液を形成し、その混合液中に含まれる水を蒸発させてEGのみを残存させるので、水のEGへの置換速度を速めることができる。これにより、基板の表面上の水を、短時間で、EGに完全置換できる。ゆえに、パターンの倒壊を抑制しながら基板の表面を短時間で乾燥できる。
低表面張力液体の供給により混合液を形成し、その混合液中に含まれる処理液を蒸発させて低表面張力液体のみを残存させるので、処理液の低表面張力液体への置換速度を速めることができる。これにより、基板の表面上の処理液を、短時間で、低表面張力液体に完全置換できる。ゆえに、パターンの倒壊を抑制しながら基板の表面を短時間で乾燥できる。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の内部のレイアウトを説明するための図解的な平面図である。基板処理装置1は、シリコンウエハなどの基板Wを一枚ずつ処理する枚葉式の装置である。この実施形態では、基板Wは、円板状の基板である。基板処理装置1は、処理液で基板Wを処理する複数の処理ユニット2と、処理ユニット2で処理される複数枚の基板Wを収容するキャリヤCが載置されるロードポートLPと、ロードポートLPと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する搬送ロボットIRおよびCRと、基板処理装置1を制御する制御ユニット3とを含む。搬送ロボットIRは、キャリヤCと搬送ロボットCRとの間で基板Wを搬送する。搬送ロボットCRは、搬送ロボットIRと処理ユニット2との間で基板Wを搬送する。複数の処理ユニット2は、たとえば、同様の構成を有している。
処理ユニット2は、箱形の処理チャンバ4と、処理チャンバ4内で一枚の基板Wを水平な姿勢で保持して、基板Wの中心を通る鉛直な回転軸線A1まわりに基板Wを回転させるスピンチャック(基板保持ユニット)5と、スピンチャック5に保持されている基板Wの上面に薬液を供給するための薬液供給ユニット6と、スピンチャック5に保持されている基板Wの上面に、処理例の一例としての水を供給するための水供給ユニット(処理液供給ユニット)7と、基板Wの上面(表面)に、水(処理液)よりも沸点が高くかつ当該水(処理液)よりも低い表面張力を有する低表面張力液体の一例としてのエチレングリコール(以下、「EG」という)を供給するEG供給ユニット(低表面張力液体供給ユニット)8と、スピンチャック5に保持されている基板Wの下面に対向配置され、基板Wの上面に形成された水/EG混合液の液膜(以下、「混合液の液膜」という)50(図5B等参照)を、基板Wを介して下方から加熱するためのホットプレート(加熱ユニット)9と、スピンチャック5を取り囲む筒状の処理カップ10とを含む。
FFU12は隔壁11の上方に配置されており、隔壁11の天井に取り付けられている。FFU12は、隔壁11の天井から処理チャンバ4内に清浄空気を送る。排気装置は、処理カップ10内に接続された排気ダクト13を介して処理カップ10の底部に接続されており、処理カップ10の底部から処理カップ10の内部を吸引する。FFU12および排気装置により、処理チャンバ4内にダウンフロー(下降流)が形成される。
ホットプレート9は、たとえば水平平坦な表面を有する円板状に形成されており、基板Wの外径と同等の外径を有している。ホットプレート9は、円形を有する上面が、スピンチャック5に保持された基板Wの下面(裏面)に対向している。ホットプレート9は、スピンベース15の上面と、スピンチャック5に保持される基板Wの下面との間に水平姿勢で配置されている。ホットプレート9は、セラミックや炭化ケイ素(SiC)を用いて形成されており、その内部にヒータ18が埋設されている。ヒータ18の加熱によりホットプレート9全体が温められて、ホットプレート9が基板Wを加熱するように機能する。ホットプレート9の上面の全域において、ヒータ18のオン状態における当該上面の単位面積当たりの発熱量は均一に設定されている。ホットプレート9は、スピンベース15およびスピン軸14を上下方向に貫通する貫通穴19を回転軸線A1に沿って鉛直方向(スピンベース15の厚み方向)に挿通する支持ロッド20により支持されている。支持ロッド20の下端は、スピンチャック5の下方の周辺部材に固定されている。ホットプレート9がスピンモータ17に連結されていないので、基板Wの回転中であっても、ホットプレート9は回転せずに静止(非回転状態)している。
水供給ユニット7は、水ノズル26を含む。水ノズル26は、たとえば、連続流の状態で液を吐出するストレートノズルであり、スピンチャック5の上方で、その吐出口を基板Wの上面中央部に向けて固定的に配置されている。水ノズル26には、水供給源からの水が供給される水配管27が接続されている。水配管27の途中部には、水ノズル26からの水の供給/供給停止を切り換えるための水バルブ28が介装されている。水バルブ28が開かれると、水配管27から水ノズル26に供給された連続流の水が、水ノズル26の下端に設定された吐出口から吐出される。また、水バルブ28が閉じられると、水配管27から水ノズル26への水の供給が停止される。水は、たとえば脱イオン水(DIW)であるが、DIWに限らず、炭酸水、電解イオン水素水、オゾン水および希釈濃度(たとえば、10ppm〜100ppm程度)の塩酸水のいずれかであってもよい。水(DIW)の沸点および表面張力は、常温で、それぞれ100℃および72.75である。
制御ユニット3は、予め定められたプログラムに従って、スピンモータ17、ヒータ昇降ユニット21および第1のノズル移動ユニット31等の動作を制御する。また、制御ユニット3は、薬液バルブ25、水バルブ28、EGバルブ33、第1の流量調整バルブ34等の開閉動作等を制御する。さらに、制御ユニット3は、ヒータ18のオンオフを制御する。
また、制御ユニット3は、ヒータ18をオンにする。これにより、ヒータ18が発熱し、ホットプレート9の上面温度が予め定める所定の高温まで昇温させられる。なお、ヒータ18のオンによりホットプレート9の表面は高温状態になるのであるが、ホットプレート9が、下位置に配置されているので、ホットプレート9からの熱によって基板Wはほとんど温められない。
具体的には、基板Wの減速後予め定める期間が経過すると、制御ユニット3は、第1のノズル移動ユニット31を制御して、EGノズル29をホーム位置から基板Wの上方の処理位置に移動させる。その後、制御ユニット3は、EGバルブ33を開いて、EGノズル29から基板Wの上面に向けてEGを吐出させる。さらに、制御ユニット3は、基板Wの上面に対するEGの供給位置を中央部と周縁部との間で移動させる。これにより、水の供給位置が、基板Wの上面全域を走査し、基板Wの上面全域にEGが直接塗布される。EGの吐出開始後しばらくの間、EGは、液膜45の内部に十分に拡がらない。その結果、図6Bに示すように、液膜45の表層部分にEGが滞留し、かつ液膜45の基層部分に水が滞留する。この状態では、液膜45において、表層部分と基層部分との中間部分にのみ、水とEGとの混合液(以下「水/EG混合液」という)が形成される。その後、時間の経過に伴って、EGが液膜45の全域に行き渡り、水の液膜45の全域が水/EG混合液によって置換される。すなわち、基板Wの上面に、混合液の液膜50が形成される(図5Aおよび図6C参照)。
具体的には、制御ユニット3は、ヒータ昇降ユニット21を制御して、図5Bに示すように、ホットプレート9を下位置(図5A等参照)から上位置まで上昇させる。ホットプレート9が上位置に配置されることにより、上位置にあるホットプレート9の上面からの熱輻射により基板Wが加熱される。また、基板Wが高温に熱せられるから、基板Wの上面上の混合液の液膜50も、基板Wの温度と同程度の高温に昇温させられる。この混合液の液膜50に対する加熱温度は、水の沸点よりも高くかつEGの沸点よりも低い所定の高温(たとえば約150℃)に設定されている。
次いで、制御ユニット3は、スピンモータ17を制御して、図5Cに示すように、基板Wの回転速度を振り切り乾燥速度(たとえば1500rpm)まで加速させる。これにより、基板Wの上面のEGの液膜51が振り切られて基板Wが乾燥される(スピンドライ。図4のS6:乾燥工程)。この乾燥工程(S6)では、図6Fに示すように、パターンPの構造体P1の間からEGが除去される。EGは、水よりも低い表面張力を有しているので、乾燥工程(S6)におけるパターン倒れを抑制できる。
EGの供給により混合液の液膜50を形成し、この混合液の液膜50中に含まれる水を蒸発させてEGのみを残存させるので、水のEGへの置換速度を速めることができる。これにより、基板Wの上面上の水を、短時間でEGに完全置換できる。ゆえに、パターンPの倒壊を抑制しながら、基板Wの上面を短時間で乾燥できる。これにより、基板Wの乾燥時間の短縮化を図ることができ、かつEGの使用量の低減を図ることができる。
また、基板Wの上面にパドル状の水の液膜45を形成し、その水の液膜45にEGを供給することにより、混合液の液膜50を基板Wの上面に形成するので、基板WからのEGの排出を抑制できる。これにより、EGの使用量の更なる低減を図ることができる。
第2の実施形態において、前述の第1の実施形態に示された各部に対応する部分には、図1〜図6Fの場合と同一の参照符号を付して示し、説明を省略する。
処理ユニット202が、第1の実施形態に係る処理ユニット2と相違する主たる一の点は、スピンチャック5に代えてスピンチャック(基板保持ユニット)205を備えた点である。すなわち、処理ユニット2は、ホットプレート9を備えていない。
スピンチャック205として、基板Wを水平方向に挟んで基板Wを水平に保持する挟持式のチャックが採用されている。具体的には、スピンチャック205は、スピンモータ214と、このスピンモータ214の駆動軸と一体化されたスピン軸215と、スピン軸215の上端に略水平に取り付けられた円板状のスピンベース216とを含む。
制御ユニット3は、予め定められたプログラムに従って、スピンモータ214、第1および第2のノズル移動ユニット31,238等の動作を制御する。さらに、制御ユニット3は、薬液バルブ25、水バルブ28、EGバルブ33、気体バルブ240、第1および第2の流量調整バルブ34,241等の開閉動作等を制御する。
混合液形成工程(S14)の開始から予め定める期間が経過すると、制御ユニット3は、乾燥工程を実行する。乾燥工程では、液膜除去領域形成工程(S15)と、液膜除去領域拡大工程(S16)と、加速工程(S17)とがこの順で実行される。液膜除去領域形成工程(S15)は、混合液の液膜50の中央部に、混合液が除去された液膜除去領域55を形成する工程である。液膜除去領域拡大工程(S16)は、液膜除去領域55を基板Wの上面全域まで拡大させる工程である。
次いで、制御ユニット3は、加速工程(S17)を実行する。具体的には、制御ユニット3は、基板Wの回転速度を約1500rpmまで上昇させる。これにより、基板Wの上面への、より一層の乾燥が図られる。
液膜除去領域55の形成後において、気固液界面60では、沸点の低い水が主として蒸発させられ、その結果、EGの濃度が上昇する。このとき、混合液の液膜の内周部分70では、気固液界面60から離反するに従ってEGの濃度が低くなるような濃度勾配が形成される。この実施形態では、気固液界面60ではEGのみが存在するように、混合液の液膜50のEG濃度が定められている(すなわち、混合液形成工程(S14)におけるEGの供給量が定められている)。この場合、気固液界面60において、水をEGに完全置換できる。
そして、その混合液の液膜50に液膜除去領域55が形成され、さらに、その液膜除去領域55が基板W全域を覆うまで拡大される。基板Wの上面では、混合液の液膜50の気固液界面60で水/EG混合液が蒸発しながら、液膜除去領域55が拡大する。気固液界面60では、沸点の低い水が主として蒸発させられ、その結果、EGの濃度が上昇する。このとき、気固液界面60ではEGのみが存在し、混合液の液膜の内周部分70では、気固液界面60から離反するに従ってEGの濃度が低くなるような濃度勾配が形成される。すなわち、気固液界面60において、水をEGに完全置換できる。パターンP間から液体が完全に除去されるときに、パターンPに、当該液体の表面張力が作用すると考えられている。気固液界面60においてEGに完全置換することにより、パターンPから液体が完全に除去されるときのパターンPに作用する表面張力を低く抑えることができるから、パターンPの倒壊を抑制できる。
また、基板Wの上面にパドル状の水の液膜45を形成し、その水の液膜45にEGを供給することにより、混合液の液膜50を基板Wの上面に形成するので、基板WからのEGの排出を抑制できる。これにより、EGの使用量の更なる低減を図ることができる。
図12は、本発明の第3の実施形態に係る基板処理装置301の概略構成を説明するための模式図である。
基板処理装置301は、複数枚の基板Wを一括して処理するバッチ式の基板処理装置である。基板処理装置301は、薬液を貯留する薬液貯留槽302と、水を貯留する水貯留槽303と、EG混合液を貯留するEG貯留槽304と、EG貯留槽304に貯留されているEGに基板Wを浸漬させるリフタ305と、リフタ305を昇降させるためのリフタ昇降ユニット306とを含む。リフタ305は、複数枚の基板Wの各々を、鉛直な姿勢で支持する。リフタ昇降ユニット306は、リフタ305に保持されている基板WがEG貯留槽304内に位置する処理位置(図12に実線で示す位置)と、リフタ305に保持されている基板WがEG貯留槽304の上方に位置する退避位置(図12に二点鎖線で示す位置)との間でリフタ305を昇降させる。
また、第1の実施形態において、ホットプレート9を昇降により、基板Wの加熱/非加熱を切り換える構成を例に挙げて説明したが、ホットプレート9に内蔵されているヒータ18のオンオフによって基板Wの加熱/非加熱を切り換える構成が採用されていてもよい。
また、第1および第2の実施形態において、基板Wの上面にパドル状の水の液膜45を形成し、その水の液膜45にEGを供給することにより、混合液の液膜50を基板Wの上面に形成した。しかしながら、パドル速度よりも高速(たとえば液処理速度)で回転している基板Wの上面にEGを供給することにより、混合液の液膜50を形成するようにしてもよい。
また、第2の実施形態において、基板Wの上面に供給する気体として、不活性ガスを用いる場合を例に挙げて説明したが、気体として、水より低い表面張力を有する有機溶剤(たとえば、IPA(イソプロピルアルコール)やHFE(ハイドロフルオロエーテル))の蒸気を採用することもできる。
また、第2の実施形態において、基板Wの上面に供給する気体として、高温気体を用いるとして説明したが、常温気体を用いるようにしてもよい。
また、第2の実施形態において、基板Wの回転速度を上昇させ、かつ基板Wの上面に気体を供給することの双方により、混合液の液膜50に液膜除去領域55を形成した。しかしながら、基板Wの回転速度を上昇させることなく、基板Wの上面への気体の吹き付けのみにより液膜除去領域55を形成してもよいし、逆に、基板Wの回転速度を上昇させることのみによって液膜除去領域55を形成してもよい。
また、第2の実施形態の乾燥工程において、加速工程(S16)を省略してもよい。
また、前述の各実施形態では、処理液と、当該処理液よりも沸点が高くかつ当該処理液よりも低い表面張力を有する低表面張力液体との組合せとして、水とEGとの組合せを例示したが、その他の組合せとして、IPAとHFEとの組合せや、水とPGMEA(propyleneglycol monomethyl ether acetate)との組合せを例示することもできる。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能で
ある。
3 制御ユニット
5 スピンチャック(基板保持ユニット)
7 水供給ユニット(処理液供給ユニット)
8 EG供給ユニット(低表面張力液体供給ユニット)
9 ホットプレート(加熱ユニット)
201 基板処理装置
205 スピンチャック(基板保持ユニット)
301 基板処理装置
W 基板
Claims (12)
- 基板の表面を処理液を用いて処理する基板処理方法であって、
前記処理液が残留している前記基板の表面に、前記処理液よりも沸点が高くかつ当該処理液よりも低い表面張力を有する低表面張力液体を供給することにより、前記基板の表面に、前記残留処理液と前記低表面張力液体との混合液を形成する混合液形成工程と、
前記基板の表面に供給されている前記混合液から前記処理液を蒸発させて、前記混合液における少なくとも前記基板の表面との間の界面の前記混合液を前記低表面張力液体に置換する置換工程と、
前記低表面張力液体を前記基板の表面から除去して、当該基板の表面を乾燥させる乾燥工程とを含む、基板処理方法。 - 前記置換工程は、前記混合液に含まれる前記処理液を蒸発させるべく、前記混合液を加熱する混合液加熱工程を含む、請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記基板を水平に保持する基板保持工程をさらに含み、
前記混合液形成工程は、前記基板の上面を覆う前記混合液の液膜を形成する工程を含み、
前記混合液加熱工程は、前記混合液の液膜を加熱する工程を含む、請求項2に記載の基板処理方法。 - 前記混合液加熱工程は、前記処理液の沸点よりも高くかつ前記低表面張力液体の沸点よりも低い所定の高温で前記混合液を加熱する、請求項2または3に記載の基板処理方法。
- 前記基板を水平に保持する基板保持工程をさらに含み、
前記混合液形成工程は、前記基板の上面を覆う前記混合液の液膜を形成する工程を含み、
前記置換工程は、
前記混合液の前記液膜に液膜除去領域を形成する液膜除去領域形成工程と、
前記液膜除去領域を前記基板の外周に向けて拡大させる液膜除去領域拡大工程とを含む、請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記混合液液膜形成工程に並行して、前記基板を静止状態とさせまたは前記回転軸線回りにパドル速度で前記基板を回転させるパドル工程をさらに含む、請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記液膜除去領域形成工程は、前記基板の上面に気体を吹き付ける気体吹き付け工程を含む、請求項5または6に記載の基板処理方法。
- 前記液膜除去領域大工程は、前記基板を前記混合液液膜形成工程時よりも高速度で回転させる高速回転工程を含む、請求項5〜7のいずれか一項に記載の基板処理方法。
- 前記気体は、常温よりも高温の高温気体を含む、請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記処理液は水を含み、
前記低表面張力液体はエチレングリコールを含む、請求項1〜9のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 基板を水平に保持するための基板保持ユニットと、
前記基板の上面に処理液を供給するための処理液供給ユニットと、
前記基板の上面に、前記処理液よりも沸点が高くかつ前記処理液よりも低い表面張力を有する低表面張力液体を供給するための低表面張力液体供給ユニットと、
前記処理液供給ユニットおよび前記低表面張力液体供給ユニットを制御して、前記処理液が残留している前記基板の上面に、前記低表面張力液体を供給することにより、前記残留処理液と前記低表面張力液体との混合液の液膜を、当該基板の上面を覆うように形成する混合液液膜形成工程と、前記基板の上面に形成されている前記混合液の液膜から前記処理液を蒸発させて、前記混合液の液膜における前記基板の上面との間の界面の前記混合液を前記低表面張力液体に置換する置換工程と、前記低表面張力液体を前記基板の上面から除去して、当該基板の上面を乾燥させる乾燥工程とを実行する制御ユニットとを含む、基板処理装置。 - 前記上面に形成されている前記混合液の前記液膜を加熱するための加熱ユニットをさらに含み、
前記制御ユニットは、制御対象として前記加熱ユニットを含み、
前記制御ユニットは、前記加熱ユニットを制御して前記混合液の前記液膜を加熱することにより前記置換工程を実行する、請求項11に記載の基板処理装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015161328A JP6642868B2 (ja) | 2015-08-18 | 2015-08-18 | 基板処理方法および基板処理装置 |
US15/744,314 US20180204743A1 (en) | 2015-08-18 | 2016-06-07 | Substrate treatment method and substrate treatment device |
KR1020187002586A KR102101573B1 (ko) | 2015-08-18 | 2016-06-07 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
CN201680044269.7A CN107924832B (zh) | 2015-08-18 | 2016-06-07 | 基板处理方法及基板处理装置 |
PCT/JP2016/066955 WO2017029862A1 (ja) | 2015-08-18 | 2016-06-07 | 基板処理方法および基板処理装置 |
TW105120002A TWI636158B (zh) | 2015-08-18 | 2016-06-24 | Substrate processing method and substrate processing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015161328A JP6642868B2 (ja) | 2015-08-18 | 2015-08-18 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017041512A true JP2017041512A (ja) | 2017-02-23 |
JP6642868B2 JP6642868B2 (ja) | 2020-02-12 |
Family
ID=58206671
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015161328A Active JP6642868B2 (ja) | 2015-08-18 | 2015-08-18 | 基板処理方法および基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6642868B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018026402A (ja) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 |
JP2020035986A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
US11524314B2 (en) | 2019-07-29 | 2022-12-13 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing device |
JP7406404B2 (ja) | 2020-02-28 | 2023-12-27 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008235813A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2015233108A (ja) * | 2014-06-11 | 2015-12-24 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | 半導体パターン乾燥用置換液および半導体パターン乾燥方法 |
-
2015
- 2015-08-18 JP JP2015161328A patent/JP6642868B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008235813A (ja) * | 2007-03-23 | 2008-10-02 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2015233108A (ja) * | 2014-06-11 | 2015-12-24 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | 半導体パターン乾燥用置換液および半導体パターン乾燥方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018026402A (ja) * | 2016-08-08 | 2018-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 液処理方法、基板処理装置及び記憶媒体 |
JP2020035986A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
WO2020044885A1 (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
CN112640057A (zh) * | 2018-08-31 | 2021-04-09 | 株式会社斯库林集团 | 衬底处理方法及衬底处理装置 |
JP7122911B2 (ja) | 2018-08-31 | 2022-08-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
CN112640057B (zh) * | 2018-08-31 | 2024-04-12 | 株式会社斯库林集团 | 衬底处理方法及衬底处理装置 |
US11524314B2 (en) | 2019-07-29 | 2022-12-13 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Substrate processing method and substrate processing device |
JP7406404B2 (ja) | 2020-02-28 | 2023-12-27 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6642868B2 (ja) | 2020-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6588819B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP6131162B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6728009B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
US10935825B2 (en) | Substrate processing method | |
KR20180029914A (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP7034634B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6653608B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
WO2017029862A1 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
CN108604546B (zh) | 基板处理方法和基板处理装置 | |
KR101866640B1 (ko) | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 | |
JP2018163913A (ja) | 基板処理装置 | |
JP6642868B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2019134073A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2020035986A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
US20190043708A1 (en) | Substrate processing method and substrate processing device | |
JP6489524B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2018142678A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP6593920B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6317837B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP7064302B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2017041511A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2016143873A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2021108348A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP2012204483A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180626 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190307 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191120 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191220 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6642868 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |