JP2017039098A - 異物検出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出ヘッドに付着した異物を検出する異物検出方法を提供すること。【解決手段】本発明の異物検出方法は、表面に液状体が第１の配置状態で配置されている基体８０を準備する工程と、基体８０の液状体が配置されている面と、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７と、を第１の間隔ｈ４で対向させて、キャリッジ１０９と基体８０とを、第１方向へ相対的に移動させる第１走査を行う工程と、第１走査を行った後の液状体の第２の配置状態を観察する工程と、を有し、第１の配置状態と、第２の配置状態と、の差異により吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９に付着した異物を検出する。【選択図】図７

Description

本発明は、異物検出方法に関する。

従来から、インクジェット印刷装置では、複数のノズルを有するインクジェットヘッド
（以降、単にヘッドという）と被印刷物とを相対的に移動させる走査を行いながら液滴を
吐出することで描画を行い、例えば、ヘッドのノズル面をワイピングするワイプ材や捺染
印刷する布帛などから発生するゴミなどがヘッドに付着すると、付着したゴミが被印刷物
に印刷されたインクに接触してすじ状の汚れが発生し、被印刷物の品質を低下させてしま
うことが知られていた。
このような被印刷物のすじ状の汚れを防ぐには、描画を行う前に、ヘッドにゴミが付着
しているか否かを検出し、ゴミを除去する必要があった。
そのため、例えば、特許文献１では、ヘッド下面に照射した光ビームをワタゴミが遮る
ことによって、ヘッドに付着しているワタゴミを検出するインクジェット印刷装置が提案
されている。

特開平１１−１７９９３４号公報

近年、印刷画質の高精細化に伴って、ミクロン単位の微細なゴミがヘッドに付着した際
に、描画時の走査において、不具合が発生する可能性が高くなっている。
しかしながら、上記特許文献１に示されている光ビームや観察用カメラでヘッドに付着
したミクロン単位の微細なゴミを直接観察しようとしても検知されないおそれがある。
その結果、ゴミがヘッドに残留したまま描画を行った際に、ゴミが被印刷物や被印刷物
上に描画されたインクに接触し、混色などの不具合を引き起こす可能性があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の
形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る異物検出方法は、ノズルを有する吐出ヘッドを搭載するキ
ャリッジと被吐出物とを相対的に移動させる走査を行う間に、前記被吐出物に対して前記
ノズルから機能液を液滴として吐出する液滴吐出装置において、前記キャリッジ、または
前記吐出ヘッドに付着している異物を検出する異物検出方法であって、表面に液状体が第
１の配置状態で配置されている基体を準備する工程と、前記基体の前記液状体が配置され
ている面と前記吐出ヘッドとを第１の間隔で対向させて、前記キャリッジと前記基体とを
、第１方向へ相対的に移動させる第１走査を行う工程と、前記第１走査を行った後の前記
液状体の第２の配置状態を観察する工程と、を有し、前記第１の配置状態と、前記第２の
配置状態と、の差異により前記異物を検出することを特徴とする。

この方法によれば、異物が液状体に触れると、液状体の配置状態が変化する。従って、
液状体の第１の配置状態と第２の配置状態とを比較して、差が生じていれば、描画を行う
際に不具合を引き起こす可能性がある異物が、キャリッジあるいは吐出ヘッドに付着して
いるか否かが分かる。

その結果、描画を行う際に、不具合を引き起こす可能性がある異物が、キャリッジある
いは吐出ヘッドに付着したまま描画が行われることを抑制できる。従って、この異物検出
方法を描画する前に行えば、描画時に異物によって生じる不具合を低減することができる
。

［適用例２］上記適用例に係る検出方法は、前記液状体において、前記第２の配置状態
が前記第１の配置状態から変化している部分の位置により、前記キャリッジ、または前記
吐出ヘッドにおける前記異物の位置を特定することを特徴とする。

この方法によれば、キャリッジあるいは吐出ヘッドにおいて、描画を行う際に不具合を
引き起こす可能性がある異物が付着している位置を、第１方向と交差する方向において、
特定することができる。

［適用例３］上記適用例に係る異物検出方法は、前記基体を準備する工程より後、かつ
前記第１走査を行う工程より前に、前記第１の配置状態を観察する工程を有することを特
徴とする。

この方法によれば、液状体の第１の配置状態に初期不良が有る場合に生じる異物の誤検
出を抑制することができ、より確実に異物を検出することができる。

［適用例４］上記適用例に係る異物検出方法は、検出した前記異物を除去する工程を有
することを特徴とする。

この方法によれば、描画を行う際に不具合を引き起こす可能性がある異物を除去するこ
とで、描画において生じる混色などの不具合を低減することができる。

［適用例５］上記適用例に係る異物検出方法は、前記基体を準備する工程において、前
記液状体は所定のパターンで配置されていることを特徴とする。

この方法によれば、走査前後における所定のパターンを観察すれば、液状体の配置状態
の差異を容易に確認することができる。

［適用例６］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、前記第
１方向と交差する方向において少なくとも１つの検出領域に配置され、前記第１走査を行
う工程において、前記キャリッジ、または前記吐出ヘッドの少なくとも一部が前記検出領
域を通過するように前記第１走査を行うことを特徴とする。

この方法によれば、キャリッジあるいは吐出ヘッドに付着した異物が、液状体が配置さ
れていない領域を通過することにより生じる異物の検出ミスを抑制することができ、より
確実に描画を行う際に不具合を引き起こす可能性がある異物を検出することができる。

［適用例７］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、前記第
１方向から見て前記検出領域において隙間なく形成されていることを特徴とする。

この方法によれば、異物の検出ミスを抑制することができ、描画を行う際に不具合を引
き起こす可能性がある異物を確実に検出することができる。

［適用例８］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、前記第
１方向と交差する方向に沿って少なくとも１列であることを特徴とする。

この方法によれば、液状体の消費量を低減して、異物を検出することができる。

［適用例９］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、千鳥状
であることを特徴とする。

この方法によれば、異物が液状体に接触して、千鳥状に形成された液状体の配置状態が
乱れた位置を確認することによって、キャリッジあるいは吐出ヘッドにおいて付着してい
る異物を確実に検出することができる。

［適用例１０］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、線状
であることを特徴とする。

この方法によれば、異物が液状体に接触して、線状に形成された液状体の配置状態の乱
れた位置を確認することによって、キャリッジあるいは吐出ヘッドにおいて付着している
異物を確実に検出することができる。

［適用例１１］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、複数
の液滴により形成されていることを特徴とする。

この方法によれば、異物が液状体に接触して、複数の液滴により形成された液状体の配
置状態の乱れた位置を確認することによって、キャリッジあるいは吐出ヘッドにおいて付
着している異物を確実に検出することができる。

［適用例１２］上記適用例に係る異物検出方法は、前記液状体の第２の配置状態を観察
する工程において、前記第２の配置状態の、前記第１の配置状態からの変化は、前記複数
の液滴のうち少なくとも一つの前記液滴の大きさの変化であることを特徴とする。

この方法によれば、液滴の大きさを確認することによって、異物を検出することができ
る。

［適用例１３］上記適用例に係る異物検出方法において、前記所定のパターンは、前記
第１方向に沿って配置されているパターンを含み、前記基体の前記液状体が配置されてい
る面と、前記吐出ヘッドと、を対向させて、前記キャリッジと前記基体とを前記第１方向
と交差する方向へ相対的に移動させる第２走査を行う工程をさらに含むことを特徴とする
。

この方法によれば、キャリッジあるいは吐出ヘッドに付着した異物の第１方向における
位置を特定することができる。

［適用例１４］上記適用例に係る異物検出方法は、前記液状体の前記第２の配置状態を
観察する工程より後に、前記吐出ヘッドと前記被吐出物とを第２の間隔をおいて対向配置
させて前記走査を行いながら、前記被吐出物に対して描画を行う工程を有し、前記第１の
間隔は、前記第２の間隔以下であることを特徴とする。

この方法によれば、実際に描画を行う場合を想定して、キャリッジあるいは吐出ヘッド
に付着した異物の有無や位置を精度よく検出することができる。

［適用例１５］上記適用例に係る異物検出方法は、前記第１走査を行う工程を、前記吐
出ヘッドのワイピングを実施した後に行うことを特徴とする。

この方法によれば、ワイピング時、あるいはワイピング後に吐出ヘッドに付着した異物
の有無や位置を検出することができる。

［適用例１６］上記適用例に係る異物検出方法において、前記液状体は、有色であるこ
とを特徴とする。

この方法によれば、基体上の液状体の第２の配置状態を観察する際に、配置状態の乱れ
の有無を容易に検出することができる。

［適用例１７］上記適用例に係る異物検出方法は、前記基体を準備する工程において、
前記液状体は、前記吐出ヘッドを用いて配置されていることを特徴とする。

この方法によれば、液状体を配置するための専用ヘッドを準備することなく液状体を配
置することができる。

［適用例１８］上記適用例に係る異物検出方法は、前記基体を準備する工程において、
前記液状体は、前記吐出ヘッド以外の吐出機構を用いて配置されていることを特徴とする
。

この方法によれば、吐出機構を用いて、予め液状体を配置しておくことによって、吐出
ヘッドに異物が付着しているか否かを確認できる。

［適用例１９］上記適用例に係る異物検出方法において、前記キャリッジには、複数の
前記吐出ヘッドが搭載されていることを特徴とする。

この方法によれば、キャリッジの複数の吐出ヘッドにおける異物が付着した吐出ヘッド
の有無や付着した異物の位置を特定することができる。

［適用例２０］上記適用例に係る異物検出方法において、前記キャリッジは、前記基体
側に向いた凸部を備えていることを特徴とする。

この方法によれば、吐出ヘッドだけでなく、凸部に異物が付着しているか否かが分かる
。また、凸部において、異物が付着している位置を特定できる。

［適用例２１］上記適用例に係る異物検出方法において、前記基体は、撥液性を有する
ことを特徴とする。

この方法によれば、基体上に配置された液状体が、広がり難く、かつ乾燥し難く残留し
やすくなるため、基体上の液状体の配置状態を観察する際に、多少の時間が経過しても配
置状態の乱れの有無や位置を確実に検出できる。

［適用例２２］上記適用例に係る異物検出方法は、前記基体が受容層を有し、前記基体
に配置されている前記液状体の単位面積当たりの量は、前記受容層が受容する単位面積当
たりの量より多いことを特徴とする。

この方法によれば、液状体が、基体上に確実に配置される。そのため、基体上の液状体
の配置状態を観察する際に、配置状態の乱れの有無や位置を確実に検出できる。

［適用例２３］上記適用例に係る異物検出方法は、前記第１走査を行う工程と前記液状
体の第２の配置状態を観察する工程とを、この順で繰り返し行うことを特徴とする。

この方法によれば、第１走査を行う工程と液状体の第２の配置状態を観察する工程とを
繰り返すことで、異物により生じる液状体の変化を強調することができ、より確実に異物
を検出できる。

［適用例２４］上記適用例に係る異物検出方法は、前記第１走査を行う工程において、
前記第１走査を繰り返し行うことを特徴とする。

この方法によれば、第１走査を繰り返すことで、異物により生じる液状体の変化を強調
することができ、より確実に異物を検出できる。

［適用例２５］上記適用例に係る異物検出方法は、前記吐出ヘッドの前記第１方向と交
差する方向における位置、または前記第１の間隔を、前記第１走査ごとに変更することを
特徴とする。

この方法によれば、異物のサイズや、異物の位置に関する情報をより詳細に得ることが
でき、より確実に異物の位置を特定することができる。

［適用例２６］上記適用例に係る異物検出方法は、前記吐出ヘッドと前記基体とを前記
第１方向へ相対的に往復移動させることを特徴とする。

この方法によれば、吐出ヘッドの走査方向における前方や後方に付着した異物について
確実に検出することができる。

本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図。 キャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドの配置を示す平面図。 吐出ヘッドおよびアライメント部の構造を示す要部側面図。 有機ＥＬ素子の発光層を形成する工程を説明する断面図。 ヘッドユニットに付着した異物を示す側面図。 ヘッドユニットに付着した異物を示す側面図。 基体上に配置されている検出パターンの配置を示す平面図。 ヘッドユニットと基体と異物とを示す側面図。 検出パターンの配列を示す平面図。 変形例１に係る検出パターンの配列を示す平面図。 変形例２に係る検出パターンの配列を示す平面図。 変形例３に係る検出パターンの配列を示す平面図。 変形例４に係る異物検出方法を示す側面図。 変形例５に係る異物検出方法を示す側面図。

以下に本発明を具体化した実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の
各図においては、各構成要素を図面上で認識可能な程度の大きさにして、説明を分かりや
すくするため、各構成要素の尺度を実際とは異なる尺度で記載している場合がある。

＜液滴吐出装置＞
（装置概要）
本実施形態の液滴吐出装置について、図１を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置の概略構成を示す外観斜視図である。図１に示
すように、本実施形態の液滴吐出装置１００は、ノズルを有する吐出ヘッドと被吐出物１
０５とを対向配置させ、相対的に移動させる主走査を行う間に、被吐出物１０５に対して
吐出ヘッドのノズルから機能液を液滴として吐出する装置である。

液滴吐出装置１００は、主走査ガイドレール１０１と、副走査ガイドレール１０２と、
主走査テーブル１０３と、副走査テーブル１０４と、ステージ１０６と、第１回転機構１
０７と、第２回転機構１０８と、ヘッドユニット１０を含むキャリッジ１０９と、を備え
ている。

主走査ガイドレール１０１は、第１方向（以下、Ｘ軸方向という）に沿って、直線的に
一対に設けられており、内部にエアスライダー（図示せず）およびリニアモーター（図示
せず）を備えている。

副走査ガイドレール１０２は、第１方向と直交する第２方向（以下、Ｙ軸方向という）
に沿って、直線的に一対に設けられており、内部にエアスライダー（図示せず）およびリ
ニアモーター（図示せず）を備えている。なお、以下の説明においては、Ｘ軸方向および
Ｙ軸方向に直交する方向をＺ軸方向とする。

主走査テーブル１０３は、主走査ガイドレール１０１の内部に備えられているエアスラ
イダーおよびリニアモーターによって、Ｘ軸方向に沿って移動することができる。

副走査テーブル１０４は、副走査ガイドレール１０２の内部に備えられているエアスラ
イダーおよびリニアモーターによって、Ｙ軸方向に沿って移動することができる。

ステージ１０６は、主走査テーブル１０３上に設けられ、被吐出物１０５を載置する台
であり、被吐出物１０５を吸着して固定するように孔（図示せず）が開いている。

第１回転機構１０７は、主走査テーブル１０３とステージ１０６との間に設けられてお
り、ステージ１０６を回転軸Ｃ１を中心に回転させて、ステージ１０６上に配置された基
板状の被吐出物１０５を回転させることによって、被吐出物１０５と主走査テーブル１０
３との相対位置を合わせることが可能となっている。

第２回転機構１０８は、副走査テーブル１０４とキャリッジ１０９との間に設けられて
いる。第２回転機構１０８を介して、副走査テーブル１０４に吊り下げ式に取り付けられ
ているキャリッジ１０９を回転軸Ｃ２を中心に回転させて、キャリッジ１０９に配置され
たヘッドユニット１０を回転させることによって、ヘッドユニット１０と副走査テーブル
１０４との相対位置を合わせることが可能となっている。

（吐出ヘッドの配置構成）
図２は、キャリッジに搭載された複数の吐出ヘッドの配置を示す平面図である。図２に
示すように、キャリッジ１０９は、第１ヘッド群１１および第２ヘッド群２１を含むヘッ
ドユニット１０と、凸部としてのアライメント部３０と、各吐出ヘッドの駆動を制御する
制御回路基板（図示せず）と、各吐出ヘッドに機能液を供給する機能液供給機構（図示せ
ず）と、を備えている。

第１ヘッド群１１は、吐出ヘッド１２〜１７を備えており、第２ヘッド群２１は、吐出
ヘッド２２〜２７を備えている。各吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７は、機能液を吐出
する複数のノズル１８を有している。

本実施形態では、有機ＥＬパネルの発光層を形成する場合を例示する。例えば、第１ヘ
ッド群１１の６個の吐出ヘッドのうちの３個は、各色発光層を形成するための機能液を吐
出する吐出ヘッドである。第２ヘッド群２１も同様である。

具体的には、吐出ヘッド１２，２２は赤（Ｒ）、吐出ヘッド１３，２３は緑（Ｇ）、吐
出ヘッド１４，２４は青（Ｂ）の各色発光層に対応する有機ＥＬ発光材料を含む機能液を
吐出する。

第１ヘッド群１１と第２ヘッド群２１とは、互いにＹ軸方向に間隔を空けて配置されて
おり、互いに吐出可能範囲を補完する関係にある。

また、吐出ヘッド１２〜１７は、それぞれ吐出ヘッド１２から吐出ヘッド１７に向かっ
てＹ軸方向に位置を若干ずらして配置されており、同様に、吐出ヘッド２２〜２７は、そ
れぞれ吐出ヘッド２２から吐出ヘッド２７に向かってＹ軸方向に位置を若干ずらして配置
されており、互いに吐出可能範囲を補完する関係にある。

第１ヘッド群１１、第２ヘッド群２１（以下、まとめてヘッドユニット１０という）の
各吐出ヘッドにおける複数（図２では１８個）のノズル１８は、所定のピッチ（例えば、
１８０ｄｐｉ）でライン状に配列されたノズルアレイ１１Ａ，１１Ｂを備えている。

ノズルアレイ１１Ａ，１１Ｂは、Ｙ軸方向に沿って並んでいる。また、ノズルアレイ１
１Ａ，１１Ｂは、互いにジグザグに、いわゆる千鳥状に配列されていてもよい。

各吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７には、各ノズル１８にそれぞれ連通する液室とし
てのキャビティ（図示せず）が設けられている。各キャビティには、その可動壁を駆動し
て容積を可変するための駆動素子としての圧電素子（図示せず）が設けられている。

各吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７では、圧電素子に駆動信号（駆動電圧）を供給し
てキャビティ内の液圧を制御することによって、ノズル１８から液滴（機能液）を吐出さ
せることが可能となっている。

アライメント部３０は、ヘッドユニット１０と干渉しない位置、例えば、Ｙ軸方向に関
して、第１ヘッド群１１および第２ヘッド群２１の間に２個配置されており、キャリッジ
１０９における複数の吐出ヘッドの相対位置を調整（アライメント）することができるよ
うになっている。
また、液滴吐出装置１００が複数のキャリッジ１０９を備えている場合には、複数のキ
ャリッジ１０９の相対位置を調整（アライメント）することができるようになっている。

図３は、吐出ヘッドおよびアライメント部の構造を示す要部側面図である。図３に示す
ように、アライメント部３０は、キャリッジ本体１０９ａから被吐出物１０５側に突出し
ており、被吐出物１０５の＋Ｚ軸方向の面と第１ヘッド群１１（第２ヘッド群２１）のノ
ズル面１８ａとの間隔ｄ１が、被吐出物１０５の＋Ｚ軸方向の面とアライメント部３０の
被吐出物１０５側のアライメント面３０ａとの間隔ｄ２と略同じになっている。

また、キャリッジ１０９における吐出ヘッドの数やその配置構成なども適宜変更するこ
とができる。また、吐出ヘッドの駆動方式としては、例えば、キャビティに加熱素子を備
えた、いわゆるサーマル方式などを採用することもできる。

＜発光層の製造方法＞
図４は、有機ＥＬ素子の発光層を形成する工程を説明する断面図である。図４に示すよ
うに、まず、被吐出物１０５上にバンク層５１〜５４（以下、まとめてバンク層５０とい
う）を形成する。バンク層５０は、例えば、感光性樹脂材料を用い、フォトリソグラフィ
技術などを用いてパターニングすることにより形成される。

バンク層５０が形成されると、各バンク層５０間には、被吐出物１０５に対して上方、
つまり、＋Ｚ軸方向に開口した開口部５５〜５７が形成される。開口部５５〜５７は、画
素領域を規定する。

開口部５５〜５７のうち、開口部５５内に、ヘッドユニット１０をＸ軸方向に走査しな
がら、例えば、青色（Ｂ）に対応する発光層形成材料を含有する所定量の機能液６１を吐
出する。このとき、被吐出物１０５の＋Ｚ軸方向の面と第１ヘッド群１１（第２ヘッド群
２１）のノズル面１８ａとの間隔（第２の間隔）ｄ１は、例えば、３００μｍ程度である
。
以後、このように、例えば、各開口部の所定の位置に、所定量の液（例えば、機能液６
１）を吐出することを描画という。

開口部５５内に描画された機能液６１は、開口部５５内に広がって満たされる。
その後、乾燥工程などを行い、機能液６１に含まれる溶媒を蒸発させると、開口部５５
に青色（Ｂ）に対応する発光層が形成される。

次に、上述した青色（Ｂ）に対応する機能液６１の場合と同様の工程を順次行い、緑色
（Ｇ）、および赤色（Ｒ）に対応する発光層を形成する。

具体的には、開口部５６内に、緑色（Ｇ）に対応する発光層形成材料を含有する機能液
６２を描画して、緑色（Ｇ）に対応する発光層を形成し、開口部５７内に、赤色（Ｒ）に
対応する発光層形成材料を含有する機能液６３を描画して、赤色（Ｒ）に対応する発光層
を形成する。

このとき、機能液６１，６２，６３のＺ軸方向の長さ（高さ）ｈ１を、例えば、２０μ
ｍ程度とすると、ノズル面１８ａと被吐出物１０５の最上部との間隔ｈ２は、２８０μｍ
程度となる。

機能液６１，６２，６３を形成する順番は、例示した順番に限られるものではなく、ど
のような順番で形成してもよい。例えば、発光層を形成する材料に応じて形成する順番を
決めることも可能である。また、青色、緑色、赤色の３色の配列パターンとしては、スト
ライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列などがある。

＜異物に関わる不具合の例＞
次に、ヘッドユニット１０に異物７０が付着した際に発生する不具合の例について説明
する。図５および図６は、ヘッドユニットに付着した異物を示す側面図である。図５に示
すように、ヘッドユニット１０には、ヘッドユニット１０をＸ軸方向に主走査したときに
、機能液６１，６２，６３のいずれにも接触する大きさの異物７０が付着している。

機能液６１，６２，６３を描画する際には、ヘッドユニット１０を、バンク層５１側か
らバンク層５２、バンク層５３、バンク層５４の順に−Ｘ軸方向から＋Ｘ軸方向に向かっ
て相対的に移動（主走査）させる。それに伴って、図６に示すように、ヘッドユニット１
０に付着した異物７０は、機能液６１と接触しながら通過した後、機能液６１の隣に配置
されている機能液６２と接触しながら通過する。

また、ヘッドユニット１０に付着した異物７０は、機能液６２と接触しながら通過した
後、さらに、機能液６２の隣に配置されている機能液６３と接触しながら通過する。

その結果、青色に対応する機能液６１が、異物７０によって引きずられて、緑色に対応
する機能液６２に混ざってしまう。また、緑色に対応する機能液６２が、異物７０によっ
て引きずられて、赤色に対応する機能液６３に混ざってしまう不具合が発生するおそれが
ある。

図５では、機能液６１，６２，６３のいずれにも接触する大きさの異物７０を例示して
いるが、少なくとも１つの機能液と接触する大きさの異物がヘッドユニット１０に付着し
ている場合には、同様の不具合が発生する。

＜異物検出方法＞
上記で説明した不具合の発生を未然に防止するための異物検出方法について、図７を参
照して説明する。
図７は、基体上に配置されている検出パターンの配置を示す平面図である。図７に示す
ように、本実施形態の異物検出方法は、基体８０の表面に検出パターン４０が第１の配置
状態で配置されている基体８０を準備する工程と、検出パターン４０の第１の配置状態を
観察する工程と、基体８０の検出パターン４０が配置されている面と吐出ヘッド１２〜１
７および吐出ヘッド２２〜２７とを第１の間隔で対向させて、キャリッジ１０９と基体８
０とをＸ軸方向へ相対的に移動させる第１走査を行う工程と、第１走査を行った後の検出
パターン４０の第２の配置状態を観察する工程と、を有している。

（１）ステップＳ１ 基体を準備する工程
＋Ｚ軸方向の表面に、液状体としての検出パターン４０が所定のパターンで配置されて
いる基体８０を準備する。本実施形態において、検出パターン４０は、描画時に用いられ
る機能液と同様のものや、機能液と物理的、化学的に物性が近い液体、または、機能液と
同様の溶媒組成を持つ液体を用いることが好ましい。

基体８０は、表面に配置された検出パターン４０が乾燥し難く、広がらずに残留しやす
い撥液性を有する材料を選択することが好ましい。また、基体８０が受容層（図示せず）
を含んでいる場合には、基体８０に配置される検出パターン４０の単位面積当たりの量を
、受容層が受容する単位面積当たりの量より多くすることが好ましい。これによれば、液
状体が、基体８０上に確実に配置される。そのため、基体８０上の液状体の配置状態を観
察する際に、配置状態の乱れの有無や位置を確実に検出できる。

描画の際に行われる走査においては、第１ヘッド群１１の吐出ヘッド１２〜１７、第２
ヘッド群２１の吐出ヘッド２２〜２７のノズル面１８ａ（図３参照）およびアライメント
部３０のアライメント面３０ａ（図３参照）が、被吐出物１０５との間隔が最も小さい部
分であり、これらの部分に付着する異物７０が、不具合を引き起こす可能性が高い。

従って、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７およびアライメント部３０に付着した異物
７０を検出できるように、検出パターン４０を配置する。この場合、検出パターン４０は
、Ｙ軸方向において、異物７０を検出したい領域（検出領域）に配置されている必要があ
る。

そのため、検出パターン４０は、第１ヘッド群１１の吐出ヘッド１２〜１７に付着した
ゴミを検出する第１検出パターン４１と、第２ヘッド群２１の吐出ヘッド２２〜２７に付
着したゴミを検出する第２検出パターン４２と、アライメント部３０に付着したゴミを検
出する第３検出パターン４３と、を有するように配置されている。

第１検出パターン４１は、第１ヘッド群１１がＹ軸方向に配置されている範囲ｋ１を含
む範囲に亘って、Ｙ軸方向に沿って配置されている。

第２検出パターン４２は、第２ヘッド群２１がＹ軸方向に配置されている範囲ｋ２を含
む範囲に亘って、Ｙ軸方向に沿って配置されている。

第３検出パターン４３は、Ｙ軸方向において、２つのアライメント部３０がキャリッジ
１０９に設けられているＹ軸方向の範囲ｋ３を含む範囲に亘って、Ｙ軸方向に沿って配置
されている。
つまり、本実施形態の検出領域とは、Ｙ軸方向における範囲ｋ１〜ｋ３を含む領域であ
る。

第１検出パターン４１、第２検出パターン４２、および第３検出パターン４３は、吐出
ヘッド以外の吐出機構（図示せず）を用いて複数の液滴で、それぞれＸ軸方向から見て隙
間なく、Ｙ軸方向に沿って１列に形成されている。なお、本発明はこれに限らず、２列以
上で検出パターン４０が形成されていてもよい。

（２）ステップＳ２ 検出パターンの第１の配置状態を観察する工程
準備した基体８０に配置されている検出パターン４０の配置状態を観察する。後述する
ステップＳ４（検出パターン４０の第２の配置状態を観察する工程）において、検出パタ
ーン４０の配置状態の変化を調べるため、この工程で、走査により変化する前の検出パタ
ーン４０の配置状態（第１の配置状態）を取得する。
なお、本実施形態では、配置状態とは、例えば、基体８０上に配置された検出パターン
４０の大きさ、形状、位置、パターンの乱れ具合などのことをいう。
（３）ステップＳ３ 第１走査を行う工程
図８は、ヘッドユニットと基体と異物とを示す側面図であり、図９は、検出パターンの
配列を示す平面図である。図８に示すように、ヘッドユニット１０のノズル面１８ａと検
出パターン４０が配置されている基体８０の表面とを第１の間隔ｈ４で対向させて、Ｘ軸
方向へ相対的に移動させる走査を行う。この走査を第１走査という。

第１走査は、キャリッジ１０９、または吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７（以下、ヘ
ッドユニット１０という）の少なくとも一部が、検出パターン４０を通過するように行う
。

そのとき、ヘッドユニット１０に、機能液６１，６２，６３のいずれかに接触する大き
さの異物７０が付着していれば、異物７０が検出パターン４０と接触する。

その後、図９に示すように、異物７０が検出パターン４０と接触した部分に、引出し部
７１が形成され、基体８０の表面の検出パターン４０の配置状態が変化する。引出し部７
１は、検出パターン４０に対する異物７０の走査跡を示すものである。

第１の間隔ｈ４は、描画時におけるヘッドユニット１０のノズル面１８ａと被吐出物１
０５との第２の間隔ｄ１（図４参照）以下であることが好ましい。具体的には、第２の間
隔ｄ１は３００μｍ程度であるから、第１の間隔ｈ４は、２５０μｍ程度にすることが好
ましい。

このようにすると、実際に被吐出物１０５に液滴を吐出する場合を想定して、ヘッドユ
ニット１０に付着した異物７０の有無やその位置を精度よく検出することができる。
また、ヘッドユニット１０と検出パターン４０とをさらに近づけて、第１の間隔ｈ４を
５０〜１００μｍ程度としてもよい。これにより、将来的に不具合を引き起こす可能性が
ある微細な異物７０の検出も可能となる。

（４）ステップＳ４ 検出パターンの第２の配置状態を観察する工程
ステップＳ３を行った後、基体８０上の検出パターン４０を再度観察する。つまり、第
１走査を行った後の検出パターン４０の配置状態（第２の配置状態）を観察し、ステップ
Ｓ２にて取得した検出パターン４０の配置状態（第１の配置状態）との差異を検出する。

これにより、第１走査によって検出パターン４０の配置状態に変化が生じているか否か
、すなわち、検出パターン４０に引出し部７１が形成されているか否かを確認できる。

異物７０が検出パターン４０に触れると、検出パターン４０の配置状態に変化が生じ、
引出し部７１が形成されるので、検出パターン４０に引出し部７１が形成されていること
が確認されれば、ヘッドユニット１０、キャリッジ１０９、またはアライメント部３０に
、描画を行う際に不具合を引き起こす可能性がある異物７０が付着していることが分かる
。

一方、引出し部７１が形成されていないことが確認されれば、ヘッドユニット１０、キ
ャリッジ１０９、またはアライメント部３０に、描画を行う際に不具合を引き起こす可能
性がある異物７０が付着していないことが分かる。

つまり、ステップＳ３を行った後、基体８０上の検出パターン４０を観察して、引出し
部７１が形成されているか否かを確認することによって、描画を行う際に不具合を引き起
こす可能性がある異物７０が、ヘッドユニット１０、キャリッジ１０９、またはアライメ
ント部３０に付着しているか否かを判断することができる。このようにして、異物７０を
検出することができる。

また、ステップＳ４における観察により、引出し部７１が形成されている場合には、引
出し部７１が形成されている位置を特定することで、各ヘッドユニット１０、キャリッジ
１０９、またはアライメント部３０において、異物７０が付着しているＹ軸方向における
位置を特定することができる。

また、図９に示すように、例えば、検出パターン４０が略同じ大きさの液滴で配置され
ている場合には、異物７０が通過した位置に配置されていた液滴は、異物７０と接触する
ことで、液滴の大きさが変化する。
図９では、＋Ｙ軸方向から−Ｙ軸方向に向かって数えて７個目の液滴Ｓの大きさが、他
の液滴と比較して大きくなっている。その結果、液滴Ｓの位置を通過する吐出ヘッドに異
物７０が付着していると判断することができる。

なお、吐出ヘッドのノズル面１８ａをワイピングする時、あるいはワイピングした後に
、ヘッドユニット１０に異物７０が付着する可能性が高いことから、異物７０を検出する
タイミングは、ヘッドユニット１０のワイピングを実施した後に行うことが好ましい。

（５）ステップＳ５ 異物を除去する工程
ステップＳ４における観察により、異物７０が付着していると分かった場合、特定した
異物７０の位置を基に、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９、または
アライメント部３０における異物７０が付着している箇所を詳細に調べ、例えば、ワイピ
ングを再度行って異物７０を除去する、あるいはピンセット、マニピュレーターなどを用
いて異物７０を除去してもよい。

その後、吐出ヘッド１２〜１７および吐出ヘッド２２〜２７と被吐出物１０５とを第２
の間隔ｄ１をおいて、対向配置させて走査を行いながら、被吐出物１０５に対して描画を
行う。

以上のことから、本実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）異物７０が検出パターン４０に触れると、検出パターン４０の配置状態が変化す
る。従って、第１走査を行う前に取得した検出パターン４０の配置状態（第１の配置状態
）と、第１走査を行った後の検出パターン４０の配置状態（第２の配置状態）と、を観察
し比較することによって、配置状態の差異（乱れ）を検出し、描画を行う際に不具合を引
き起こす可能性がある異物７０が、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０
９、またはアライメント部３０に付着しているか否かを判断することができる。
その結果、描画を行う際に、不具合を引き起こす可能性がある異物７０が、吐出ヘッド
１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９、またはアライメント部３０に付着したまま
描画が行われることを抑制できる。従って、この異物検出方法を描画する前に行えば、描
画時に異物７０によって生じる不具合を低減することができる。

（２）吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９、またはアライメント部
３０において、描画を行う際に不具合を引き起こす可能性がある異物７０が付着している
位置を、Ｙ軸方向において、特定することができる。

（３）検出パターン４０の第１の配置状態を観察する工程（ステップＳ２）を有するこ
とから、検出パターン４０の配置状態に初期不良が有る場合に生じる異物７０の誤検出を
抑制することができ、より確実に異物を検出することができる。

（４）異物７０を除去する工程（ステップＳ５）を有することから、検出パターン４０
の第２の配置状態を観察する工程（ステップＳ４）で検出した、描画を行う際に不具合を
引き起こす可能性がある異物７０を除去することによって、描画において生じる混色など
の不具合を低減することができる。

（５）検出パターン４０は、Ｙ軸方向において、３つの検出領域（ｋ１〜ｋ３）に配置
され、第１走査を行う工程（ステップＳ３）において、キャリッジ１０９、吐出ヘッド１
２〜１７，２２〜２７、アライメント部３０が、検出パターン４０を通過するように、第
１走査が行われる。
そのため、キャリッジ１０９、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、アライメント部３
０に付着した異物７０が、検出パターン４０が配置されていない領域を通過することによ
り生じる異物７０の検出ミスを抑制することができ、より確実に描画を行う際に不具合を
引き起こす可能性がある異物７０を検出することができる。

（６）第１検出パターン４１、第２検出パターン４２、第３検出パターン４３は、それ
ぞれがＸ軸方向から見て隙間なく形成されていることから、吐出ヘッド１２〜１７，２２
〜２７、キャリッジ１０９、およびアライメント部３０に付着している異物７０を逃すこ
となく検出することができる。

（７）検出パターン４０は、少なくとも１列であることから、検出パターン４０の消費
量を低減して、異物７０が付着しているか否か、また、その位置を特定することができる
。

（８）検出パターン４０は、複数の液滴により形成されていることから、第１走査の前
後で、液滴の配置状態の差異を観察することによって、ヘッドユニット１０に異物７０が
付着しているか否か、また、その位置を特定することができる。

（９）検出パターン４０の第２の配置状態を観察する工程（ステップＳ４）より後に、
吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７と被吐出物１０５とを第２の間隔ｄ１をおいて対向配
置させて走査を行いながら、被吐出物１０５に対して描画を行う工程を有しており、第１
の間隔ｈ４は、第２の間隔ｄ１以下である。

そのため、実際に描画を行う場合を想定して、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キ
ャリッジ１０９、およびアライメント部３０に付着した異物７０の有無や位置を精度よく
検出することができる。

（１０）検出パターン４０は、吐出ヘッド以外の吐出機構を用いて配置されることから
、吐出機構によって、予め検出パターン４０を基体８０に配置しておくことによって、吐
出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９、およびアライメント部３０に異物
７０が付着しているか否かを確認できる。

（１１）液滴吐出装置１００は、複数の吐出ヘッドが搭載されたキャリッジ１０９を有
し、ステップＳ３では、基体８０に対してキャリッジ１０９を走査することから、複数の
吐出ヘッドのうち、いずれかに付着している異物７０の有無が分かる。また、異物７０が
有る場合には、キャリッジ１０９内での異物のＹ軸方向における位置を特定することがで
きる。

本発明は、上記した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲および明細書全体か
ら読み取れる発明の要旨あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような
変更を伴う異物検出方法もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。上記実施形態
以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）
図１０は、変形例１に係る検出パターンの配列を示す平面図である。図１０に示すよう
に、本変形例に係る検出パターン１４０は、液滴Ｒによって形成されている。液滴Ｒは、
Ｙ軸方向に沿ってジグザグに、いわゆる千鳥状にＸ軸方向から見て隙間なく配置されてい
る。

こうすることによって、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９、およ
びアライメント部３０に付着した異物７０が検出パターン１４０に接触して、千鳥状に形
成された検出パターン１４０の配置状態の乱れた位置を確認することによって、異物７０
が付着している吐出ヘッドの有無やその位置が確実に分かる。

（変形例２）
図１１は、変形例２に係る検出パターンの配列を示す平面図である。図１１に示すよう
に、本変形例に係る検出パターン２４０は、線状に配置されている。

こうすることによって、吐出ヘッド１２〜１７，２２〜２７、キャリッジ１０９、およ
びアライメント部３０に付着した異物７０が検出パターン２４０に接触して、線状に形成
された検出パターン２４０の配置状態の乱れた位置を確認することによって、異物７０が
付着しているか否か、また、その位置が確実に分かる。

（変形例３）
図１２は、変形例３に係る検出パターンの配列を示す平面図である。図１２に示すよう
に、本変形例に係る検出パターン３４０は、複数の液滴Ｒで形成されている。液滴Ｒは、
Ｙ軸方向に沿って配列されているだけでなく、Ｘ軸方向に沿っても配列されている。また
、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向ともに複数の検出パターンが配置されており、格子状になっている
。

具体的には、検出パターン３４０は、Ｙ軸方向に一定の間隔を空けて、Ｘ軸方向に沿っ
て配置されている検出パターン３４１，３４２，３４３と、Ｘ軸方向に一定の間隔を空け
て、Ｙ軸方向に沿って配置されている検出パターン３４４，３４５，３４６と、を備えて
いる。

このような検出パターン３４０が配置されている場合には、ヘッドユニット１０と基体
８０とをＸ軸方向だけでなく、Ｙ軸方向へも相対的に移動させる走査を行うことによって
、吐出ヘッドに付着した異物７０について、Ｙ軸方向の位置だけでなく、Ｘ軸方向の位置
についても特定することができる。この走査を第２走査という。

また、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に、複数の検出パターン３４０が配置されていることか
ら、ヘッドユニット１０を検出パターン３４０に対して、Ｘ軸方向へ相対的に僅かに移動
しただけで、ヘッドユニット１０に付着した異物７０を検出できることから、ヘッドユニ
ット１０を走査する距離を短くすることができる。

そのため、キャリッジ１０９が複数の吐出ヘッドを有する場合に有効である。複数の吐
出ヘッドを有するキャリッジ１０９において、吐出ヘッドあるいはアライメント部３０に
付着した異物７０のＸ軸方向、およびＹ軸方向における位置を特定することができる。

（変形例４）
図１３は、変形例４に係る異物検出方法を示す側面図である。図１３に示すように、液
滴吐出装置１００は、基体８０上の検出パターン４０における配置状態の差異（乱れ）を
確認するための観察装置、例えば、観察カメラ９０などを備えていてもよい。

こうすることによって、引出し部７１が形成されているか否か、また、引出し部７１が
形成されていた場合には、その位置を撮像して記録することができる。その結果、ヘッド
ユニット１０に異物７０が付着しているか否かを、位置を含めてさらに確実に検出するこ
とができる。

（変形例５）
図１４は、変形例５に係る異物検出方法を示す側面図である。図１４に示すように、本
変形例に係る検出パターン４４０は、ステージ１０６に載置されている被吐出物１０５上
の領域Ｗにおいて、液滴または液体で配置されている。こうすることによって、新たに基
体８０を準備しなくてもよい。

（変形例６）
本変形例に係る異物検出方法は、ヘッドユニット１０から液滴を吐出することによって
検出パターン４０が形成されてもよい。

こうすることによって、検出パターン４０を配置するための専用ヘッド、あるいは専用
の装置を準備することなく検出パターン４０を配置することができる。
また、ヘッドユニット１０のＹ軸方向における吐出幅領域に付着した異物７０を検出す
る場合には、検出パターン４０の配置と、異物の検出を同じ走査で行うことができる。

この場合、異物７０が吐出ヘッドの＋Ｘ軸方向側に付着しているときには、Ｘ軸方向に
１回の走査では、異物７０が検出できない可能性がある。そのため、このような場合には
、吐出ヘッドと基体８０とをＸ軸方向へ相対的に往復移動させることによって、吐出ヘッ
ドの＋Ｘ軸方向に付着した異物７０を検出することが可能となる。
なお、ヘッドユニット１０から液滴を吐出することによって検出パターン４０を形成す
る際の、基体８０とノズル面１８ａとの間隔は、第１の間隔ｈ４、あるいは第２の間隔ｄ
１と同じでもよいし、違っていてもよい。

（変形例７）
本変形例に係る検出パターン４０は、有色の液滴で形成されている。検出パターン４０
が有色であることから、検出パターン４０の第２の配置状態を観察する際に、引出し部７
１の有無およびその位置を容易に検出できる。

（変形例８）
本変形例に係る異物検出方法は、走査（第１走査、あるいは第２走査）を複数回行って
いる。この場合、走査を行う工程と検出パターン４０の第２の配置状態を観察する工程と
をこの順で繰り返し行ってもよいし、走査を行う工程において、走査を繰り返し行っても
よい。

また、走査ごとに、第１の間隔ｈ４、または、キャリッジ１０９のＹ軸方向における位
置を変更してもよい。これによって、異物７０の検出精度を向上させることができる。

１０…ヘッドユニット、１２〜１７…吐出ヘッド、１８…ノズル、２２〜２７…吐出ヘ
ッド、３０…アライメント部、４０…検出パターン、４１…第１検出パターン、４２…第
２検出パターン、４３…第３検出パターン、６１，６２，６３…機能液、７０…異物、７
１…引出し部、８０…基体、１００…液滴吐出装置、１０５…被吐出物、１０９…キャリ
ッジ、１４０…検出パターン、２４０…検出パターン、３４０…検出パターン、３４１，
３４２，３４３…検出パターン、３４４，３４５，３４６…検出パターン、４４０…検出
パターン。

Claims (26)

1. ノズルを有する吐出ヘッドを搭載するキャリッジと被吐出物とを相対的に移動させる走
   査を行う間に、前記被吐出物に対して前記ノズルから機能液を液滴として吐出する液滴吐
   出装置において、前記キャリッジ、または前記吐出ヘッドに付着している異物を検出する
   異物検出方法であって、
   表面に液状体が第１の配置状態で配置されている基体を準備する工程と、
   前記基体の前記液状体が配置されている面と前記吐出ヘッドとを第１の間隔で対向させ
   て、前記キャリッジと前記基体とを、第１方向へ相対的に移動させる第１走査を行う工程
   と、
   前記第１走査を行った後の前記液状体の第２の配置状態を観察する工程と、を有し、
   前記第１の配置状態と、前記第２の配置状態と、の差異により前記異物を検出すること
   を特徴とする異物検出方法。
2. 前記液状体において、前記第２の配置状態が前記第１の配置状態から変化している部分
   の位置により、前記キャリッジ、または前記吐出ヘッドにおける前記異物の位置を特定す
   ることを特徴とする請求項１に記載の異物検出方法。
3. 前記基体を準備する工程より後、かつ前記第１走査を行う工程より前に、前記第１の配
   置状態を観察する工程を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の異物検
   出方法。
4. 検出した前記異物を除去する工程を有することを特徴とする請求項１から請求項３まで
   のいずれか一項に記載の異物検出方法。
5. 前記基体を準備する工程において、前記液状体は所定のパターンで配置されていること
   を特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
6. 前記所定のパターンは、前記第１方向と交差する方向において少なくとも１つの検出領
   域に配置され、
   前記第１走査を行う工程において、前記キャリッジ、または前記吐出ヘッドの少なくと
   も一部が前記検出領域を通過するように前記第１走査を行うことを特徴とする請求項５に
   記載の異物検出方法。
7. 前記所定のパターンは、前記第１方向から見て前記検出領域において隙間なく形成され
   ていることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の異物検出方法。
8. 前記所定のパターンは、前記第１方向と交差する方向に沿って少なくとも１列であるこ
   とを特徴とする請求項５から請求項７までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
9. 前記所定のパターンは、千鳥状であることを特徴とする請求項５から請求項８までのい
   ずれか一項に記載の異物検出方法。
10. 前記所定のパターンは、線状であることを特徴とする請求項５から請求項８までのいず
    れか一項に記載の異物検出方法。
11. 前記所定のパターンは、複数の液滴により形成されていることを特徴とする請求項５か
    ら請求項１０までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
12. 前記液状体の前記第２の配置状態を観察する工程において、前記第２の配置状態の、前
    記第１の配置状態からの変化は、前記複数の液滴のうち少なくとも一つの前記液滴の大き
    さの変化であることを特徴とする請求項１１に記載の異物検出方法。
13. 前記所定のパターンは、前記第１方向に沿って配置されているパターンを含み、
    前記基体の前記液状体が配置されている面と、前記吐出ヘッドと、を対向させて、前記
    キャリッジと前記基体とを前記第１方向と交差する方向へ相対的に移動させる第２走査を
    行う工程をさらに含むことを特徴とする請求項５から請求項１２までのいずれか一項に記
    載の異物検出方法。
14. 前記液状体の前記第２の配置状態を観察する工程より後に、前記吐出ヘッドと前記被吐
    出物とを第２の間隔をおいて対向配置させて前記走査を行いながら、前記被吐出物に対し
    て描画を行う工程を有し、
    前記第１の間隔は、前記第２の間隔以下であることを特徴とする請求項１から請求項１
    ３までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
15. 前記第１走査を行う工程を、前記吐出ヘッドのワイピングを実施した後に行うことを特
    徴とする請求項１から請求項１４までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
16. 前記液状体は、有色であることを特徴とする請求項１から請求項１５までのいずれか一
    項に記載の異物検出方法。
17. 前記基体を準備する工程において、前記液状体は、前記吐出ヘッドを用いて配置されて
    いることを特徴とする請求項１から請求項１６までのいずれか一項に記載の異物検出方法
    。
18. 前記基体を準備する工程において、前記液状体は、前記吐出ヘッド以外の吐出機構を用
    いて配置されていることを特徴とする請求項１から請求項１７までのいずれか一項に記載
    の異物検出方法。
19. 前記キャリッジには、複数の前記吐出ヘッドが搭載されていることを特徴とする請求項
    １から請求項１８までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
20. 前記キャリッジは、前記基体側に向いた凸部を備えていることを特徴とする請求項１か
    ら請求項１９までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
21. 前記基体は、撥液性を有することを特徴とする請求項１から請求項２０までのいずれか
    一項に記載の異物検出方法。
22. 前記基体が受容層を有し、前記基体に配置されている前記液状体の単位面積当たりの量
    は、前記受容層が受容する単位面積当たりの量より多いことを特徴とする請求項１から請
    求項２１までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
23. 前記第１走査を行う工程と前記液状体の前記第２の配置状態を観察する工程とを、この
    順で繰り返し行うことを特徴とする請求項１から請求項２２までのいずれか一項に記載の
    異物検出方法。
24. 前記第１走査を行う工程において、前記第１走査を繰り返し行うことを特徴とする請求
    項１から請求項２３までのいずれか一項に記載の異物検出方法。
25. 前記吐出ヘッドの前記第１方向と交差する方向における位置、または前記第１の間隔を
    、前記第１走査ごとに変更することを特徴とする請求項２３または請求項２４に記載の異
    物検出方法。
26. 前記吐出ヘッドと前記基体とを前記第１方向へ相対的に往復移動させることを特徴とす
    る請求項２３から請求項２５までのいずれか一項に記載の異物検出方法。

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