JP2017031024A - 孔を有するガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】表面にキズが生じ難く、また生産性を高めることが可能な、孔を有するガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】孔を有するガラス基板の製造方法であって、(1)相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程と、(2)前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程と、(3)前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程と、(4)前記ガラス基板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程と、(5)前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程と、を有する製造方法。【選択図】図1
Description
本発明は、孔を有するガラス基板の製造方法に関する。
従来より、レーザ光源から生じたレーザ光をガラス基板に照射することにより、ガラス基板に1または2以上の貫通孔を形成する技術が知られている(例えば特許文献1)。
通常、貫通孔を有するガラス基板を製造する場合、
(1)大寸法のガラス板から、第1および第2の表面を有する所定の寸法のガラス基板が切断、採取され、
(2)ガラス基板の第1の表面に第1の保護膜が設置され、ガラス基板の第2の表面に第2の保護膜が設置され、
(3)ガラス基板の第2の保護膜の側(以下、「照射面」という)から、レーザ光照射が行われ、貫通孔が形成される。
(1)大寸法のガラス板から、第1および第2の表面を有する所定の寸法のガラス基板が切断、採取され、
(2)ガラス基板の第1の表面に第1の保護膜が設置され、ガラス基板の第2の表面に第2の保護膜が設置され、
(3)ガラス基板の第2の保護膜の側(以下、「照射面」という)から、レーザ光照射が行われ、貫通孔が形成される。
ここで、(2)の工程は、(3)の工程中に、ガラス基板に加工屑(デブリ)が付着することを抑制するために実施される。
しかしながら、このような製造方法では、(1)の工程中に、ガラス基板にキズが生じるという問題が生じ得る。また、レーザ加工の前には、被加工対象となる各ガラス基板において、両表面に保護膜を設置する必要があるため、生産性を高めることが難しいという問題がある。
本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、ガラス基板にキズが生じ難く、また生産性を高めることが可能な、孔を有するガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
本発明では、孔を有するガラス基板の製造方法であって、
(1)相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程と、
(2)前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程と、
(3)前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程と、
(4)前記ガラス基板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程と、
(5)前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程と、
を有する製造方法が提供される。
(1)相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程と、
(2)前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程と、
(3)前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程と、
(4)前記ガラス基板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程と、
(5)前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程と、
を有する製造方法が提供される。
本明細書において、「孔」とは貫通した孔および所定の深さを有する非貫通の孔の両方を含むものとする。
本発明では、ガラス基板にキズが生じ難く、また生産性を高めることが可能な、孔を有するガラス基板の製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。
図1には、本発明の一実施形態による孔を有するガラス基板の製造方法のフローを模式的に示す。
図1に示すように、本発明の一実施形態による孔を有するガラス基板の製造方法(以下、「第1の製造方法」と称する)は、
相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程(ステップS110)と、
前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程(ステップS120)と、
前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程(ステップS130)と、
前記ガラス基板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程(ステップS140)と、
前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程(ステップS150)と、
前記ガラス基板から、前記第1および第2の保護膜を取り除く工程(ステップS160)と、
を有する。
相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程(ステップS110)と、
前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程(ステップS120)と、
前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程(ステップS130)と、
前記ガラス基板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程(ステップS140)と、
前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程(ステップS150)と、
前記ガラス基板から、前記第1および第2の保護膜を取り除く工程(ステップS160)と、
を有する。
なお、ステップS160は、任意に実施される工程であって、省略されても良い。
以下、図2〜図6を参照して、各工程について説明する。なお、図2〜図6は、第1の製造方法の一工程における態様を模式的に示した図である。
(ステップS110)
まず、図2に示すように、ガラス板110が準備される。ガラス板110は、相互に対向する第1の表面112と、第2の表面114とを有する。
まず、図2に示すように、ガラス板110が準備される。ガラス板110は、相互に対向する第1の表面112と、第2の表面114とを有する。
ガラス板110の寸法は、特に限られないが、この段階では、ガラス板は、最終的に得られる孔を有するガラス基板よりも大きな寸法を有することに留意する必要がある。ガラス板の厚さは、例えば、0.05mm〜0.7mmの範囲であっても良い。
また、図2に示す例では、ガラス板110は、第1の寸法(例えば縦の長さ)L1および第2の寸法(例えば横の長さ)L2を有する矩形状である。しかしながら、これは単なる一例であって、ガラス板110は、矩形以外の形状(例えばディスク状など)を有しても良い。
ガラス板110の組成は、特に限られず、ガラス板110は、ソーダライムガラスおよび無アルカリガラス等であっても良い。ガラス板110は、ガラス板110の第1の表面112とおよび/または第2の表面114に、クロムなどの金属膜等が成膜されたガラスであっても良い。
次に、図3に示すように、ガラス板110の第1の表面112に、硬化性樹脂120が塗布される。
硬化性樹脂120の種類は、特に限られず、硬化性樹脂120は、紫外線硬化性樹脂または熱硬化性樹脂等であっても良い。また、硬化性樹脂120の材質は、ガラス板を切断するステップS120において切断可能な材質であればよく、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂等が挙げられる。
硬化性樹脂120は、いかなる方法で、ガラス板110の第1の表面112に設置されても良い。例えば、硬化性樹脂120は、塗布法(刷毛塗り、スプレー塗布、スピンコート、バーコート)等により、ガラス板110の第1の表面112に設置しても良い。
硬化性樹脂120は、必要に応じて乾燥処理されても良い。
(ステップS120)
次に、ステップS110において、ガラス板110上に設置された硬化性樹脂120が硬化処理され、第1の保護膜130が形成される。例えば、硬化性樹脂120が紫外線硬化性樹脂の場合、硬化性樹脂120に紫外線を照射することにより、硬化性樹脂120が硬化される。また、硬化性樹脂120が熱硬化性樹脂の場合、硬化性樹脂120を加熱することにより、硬化性樹脂120が硬化される。
次に、ステップS110において、ガラス板110上に設置された硬化性樹脂120が硬化処理され、第1の保護膜130が形成される。例えば、硬化性樹脂120が紫外線硬化性樹脂の場合、硬化性樹脂120に紫外線を照射することにより、硬化性樹脂120が硬化される。また、硬化性樹脂120が熱硬化性樹脂の場合、硬化性樹脂120を加熱することにより、硬化性樹脂120が硬化される。
得られる第1の保護膜130の厚さは、例えば、20μm〜50μmの範囲であることが好ましい。
第1の保護膜130のガラス板110に対する接着強度は、例えば、10N/m〜50N/mの範囲であることが好ましい。接着強度が10N/mを下回ると、以降の工程で、第1の保護膜130が剥離するおそれがある。また、接着強度が50N/mを超えると、以降の工程(ステップS160)において、第1の保護膜130を手で剥がすことが難しくなるおそれがある。接着強度は、12N/m〜30N/mの範囲がより好ましく、15N/m〜20N/mの範囲がさらに好ましい。
なお、第1の保護膜130は、必ずしもガラス板110の第1の表面112全体に形成される必要はない。すなわち、第1の保護膜130は、ガラス板110の第1の表面112のうち、少なくとも、以降の工程(ステップS130)において、ガラス板110からガラス基板が採取される領域に、形成されていれば良い。
(ステップS130)
次に、図4に示すように、ガラス板110から、所定の寸法を有するガラス基板140が切断、採取される。ガラス基板140は、第1の保護膜130を有する。以降、明確化のため、ガラス基板140の第1の保護膜130が設置された側(ガラス板110の第1の表面112の一部に対応する)を第1の表面142と称し、反対側の表面(ガラス板110の第2の表面114の一部に対応する)を第2の表面144と称する。
次に、図4に示すように、ガラス板110から、所定の寸法を有するガラス基板140が切断、採取される。ガラス基板140は、第1の保護膜130を有する。以降、明確化のため、ガラス基板140の第1の保護膜130が設置された側(ガラス板110の第1の表面112の一部に対応する)を第1の表面142と称し、反対側の表面(ガラス板110の第2の表面114の一部に対応する)を第2の表面144と称する。
ここで、ガラス基板140を採取する際には、ガラス板110は、第1の保護膜130の側から切断が開始される。これは、ガラス板110を第2の表面114の側から切断し始めた場合、第1の保護膜130を完全に切断するまで、すなわち、ガラス基板140がガラス板110から完全に分離されるまで、切断操作を完了することができなくなるからである。これに対して、ガラス板110を第1の保護膜130の側から切断した場合、ガラス板110の第1の表面112にある程度切り込みが導入された段階で、切断操作を中断することができる。その後は、ガラス板110に導入された切り込みを利用して、ガラス板110を割ることにより、ガラス基板140を分離することができる。従って、この場合、生産効率が向上する。
また、第1の製造方法では、ガラス板110の第1の表面112には、予め第1の保護膜130が設置されている。このため、ガラス基板140を採取するためのガラス板110の切断作業の際に、ガラス板110の第1の表面112にキズが生じるという問題を有意に抑制することができる。
(ステップS140)
次に、図5に示すように、採取された各ガラス基板140の第2の表面144に、第2の保護膜150が設置される。
次に、図5に示すように、採取された各ガラス基板140の第2の表面144に、第2の保護膜150が設置される。
第2の保護膜150は、例えば、樹脂フィルムまたはプラスチックフィルムのような、フィルム材料で構成される。そのようなフィルム材料をガラス基板140の第2の表面144に貼付することにより、第2の保護膜150が設置される。
第2の保護膜150の厚さは、特に限られないが、第1の保護膜130よりも厚いことが好ましい。第2の保護膜150の厚さは、例えば、50μm〜150μmの範囲であることが好ましい。薄い第2の保護膜150を使用した場合、以降の孔加工の工程(ステップS150)において、ガラス基板140にクラックが生じやすくなる。
ここで、第1の製造方法では、前工程(ステップS130)においてガラス基板140が採取された段階で、既に、ガラス基板140の第1の表面142に、第1の保護膜130が設置されている。このため、このステップS140では、ガラス基板140の第2の表面144にのみ保護膜を設置すれば良い。従って、第1の製造方法では、従来のような、各ガラス基板の第1および第2の表面の両方に保護膜を設置する必要がなくなり、生産効率を高めることができる。
なお、第1の保護膜130および第2の保護膜150が設置されたガラス基板140は、端面の面取り処理を行ってもよい。面取り処理は特に限定されないが、例えばガラス基板140の切断面とガラス基板140に設置された第1の保護膜130および/または第2の保護膜150の主平面との角部を除去すれば良い。
(ステップS150)
次に、図6に示すように、レーザ光照射により、ステップS140で準備されたガラス基板140に孔160が形成される。孔160としては、所望の深さを有する孔が形成される。孔160は、貫通孔であっても良く、所定の深さを有する非貫通孔であっても良い。
次に、図6に示すように、レーザ光照射により、ステップS140で準備されたガラス基板140に孔160が形成される。孔160としては、所望の深さを有する孔が形成される。孔160は、貫通孔であっても良く、所定の深さを有する非貫通孔であっても良い。
なお、レーザ光155は、第2の保護膜150の側から照射される。従って、ガラス基板140の第2の表面144の側が、レーザ光155の照射面となる。これは、第1の保護膜130の側をレーザ光155の照射面すると、ガラス基板140にクラックが生じやすくなるためである。
レーザ光155の種類は、特に限られない。レーザ光155は、例えばCO2レーザ、およびYAGレーザ等であっても良い。
これにより、ガラス基板140に1または2以上の孔160が形成される。孔160の延伸方向に垂直な断面の最大寸法(通常、第2の表面144での開口直径)は、例えば、60μm〜100μmの範囲である。
(ステップS160)
次に、必要な場合、ガラス基板140に設置された第1の保護膜130および/または第2の保護膜150が取り除かれる。
次に、必要な場合、ガラス基板140に設置された第1の保護膜130および/または第2の保護膜150が取り除かれる。
第1の保護膜130および/または第2の保護膜150の除去は、手作業または溶剤により実施されても良い。特に、前述の工程(ステップS120)において、前述のように、第1の保護膜130とガラス基板140の間の接着強度が10N/m〜50N/mの範囲となるようにして、第1の保護膜130を形成した場合、第1の保護膜130を手で剥がすことが容易となる。
なお、第1の保護膜130および/または第2の保護膜150は、ガラス基板140の搬送やハンドリングの際にキズが生じることを防ぐため、このまま残しておいても良い。例えば、第1の保護膜130および/または第2の保護膜150は、ガラス基板140を使用する直前に、除去されても良い。
また、レーザ光照射により、ガラス基板140に孔160を形成した後、ガラス基板140に対して湿式エッチングを行っても良い。例えば、孔160を有するガラス基板140を薬液に浸漬することにより、ガラス基板140の表面全体の湿式エッチングを行っても良い。薬液としては、例えばフッ酸水溶液が用いられる。湿式エッチングは、ステップS160の後、またはステップS160が実施されない場合はステップS150の後に行えば良い。
以上の工程により、孔を有するガラス基板を製造することができる。
このような第1の製造方法では、ガラス板からガラス基板を切断、採取する工程で、ガラス基板にキズが生じる可能性を軽減することができる。また、採取されたガラス基板の一方の表面には、既に保護膜が設置されているため、保護膜の設置工程を簡略化することができる(例えば、保護膜の設置に必要な作業時間は、おおよそ半分に短縮される)。
従って、第1の製造方法では、表面にキズが生じ難く、また生産性を高めることが可能な、孔160を有するガラス基板140の製造方法を提供することができる。
次に、本発明の別の実施形態による孔を有するガラス基板の製造方法(以下、「第2の製造方法」とも称する)について説明する。なお、第2の製造方法において、上述の「第1の製造方法」と重複する説明は省略する。
第2の製造方法は、
相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程(ステップS210)と、
前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程(ステップS220)と、
前記ガラス板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程であって、前記第2の保護膜は、以降の工程で前記ガラス板が切断される際の切断部分を避けて設置される、工程(ステップS230)と、
前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程であって、前記ガラス板の前記第2の表面は、前記第2の保護膜が設置された位置では切断されない、工程(ステップS240)と、
前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程(ステップS250)と、
前記ガラス基板から、前記第1および第2の保護膜を取り除く工程(ステップS260)と、
を有する。
相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程(ステップS210)と、
前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程(ステップS220)と、
前記ガラス板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程であって、前記第2の保護膜は、以降の工程で前記ガラス板が切断される際の切断部分を避けて設置される、工程(ステップS230)と、
前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程であって、前記ガラス板の前記第2の表面は、前記第2の保護膜が設置された位置では切断されない、工程(ステップS240)と、
前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程(ステップS250)と、
前記ガラス基板から、前記第1および第2の保護膜を取り除く工程(ステップS260)と、
を有する。
第2の製造方法では、ステップS230において、第2保護膜は、次の工程(ステップS240)でガラス板を切断して得られる所定の寸法のガラス基板に合わせて、ガラス板の切断部分を避けて設置される。ガラス板から複数のガラス基板が切り出される場合は、切り出されるガラス基板に合わせて複数の第2の保護膜が設置される。第2の保護膜は、例えば印刷等により切断部分を避けて塗工することにより、ガラス板の第2の表面に設置される。
その後、ステップS240において、ガラス板から、所定の寸法を有するガラス基板が切断、採取される。ガラス板は、第1の保護膜側から切断する。第2の保護膜は、予めガラス板の切断部分を避けて設置されている。このため、ガラス基板を採取するためのガラス板の切断操作は、第1の保護膜およびガラス板を分離すれば完了する。
第2の製造方法においても、第1の製造方法と同様に、表面にキズが生じ難く、また生産性を高めることが可能な、孔を有するガラス基板の製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施例について説明する。
以下の方法で、孔を有するガラス基板を製造した。
(第1の保護膜の形成)
縦670mm×横550nm×厚さ0.3mmのガラス板(無アルカリガラス)を準備した。このガラス板の一方の表面(第1の表面)に、スプレー法により、熱硬化性樹脂を塗布した。その後、ガラス板を130℃に加熱し、10分間保持することで、熱硬化性樹脂を硬化させた。
縦670mm×横550nm×厚さ0.3mmのガラス板(無アルカリガラス)を準備した。このガラス板の一方の表面(第1の表面)に、スプレー法により、熱硬化性樹脂を塗布した。その後、ガラス板を130℃に加熱し、10分間保持することで、熱硬化性樹脂を硬化させた。
これにより、ガラス板の第1の表面に、厚さ25μmの第1の保護膜が形成された。
(孔加工用ガラス基板の調製)
次に、スクライブカッターを用いて、ガラス板を第1の保護膜の側から、厚さの半分程度まで切断した。その後、切り込み部分に沿って応力を加えることより、ガラス板からガラス基板を分離した。ガラス基板は、直径200mmφの寸法を有するディスク状とした。
次に、スクライブカッターを用いて、ガラス板を第1の保護膜の側から、厚さの半分程度まで切断した。その後、切り込み部分に沿って応力を加えることより、ガラス板からガラス基板を分離した。ガラス基板は、直径200mmφの寸法を有するディスク状とした。
次に、ガラス基板の第1の保護膜が設置されていない表面(第2の表面)に、保護フィルムを貼り付けて、第2の保護膜を設置した。保護フィルムには、厚さ75μmのPETフィルムを使用した。
(孔加工)
次に、両面に保護膜を有するガラス基板にレーザ光を照射して、孔を形成した。ここでは、孔として貫通孔を形成した。レーザ光は、ガラス基板の第2の保護膜が設置された側から照射した。
次に、両面に保護膜を有するガラス基板にレーザ光を照射して、孔を形成した。ここでは、孔として貫通孔を形成した。レーザ光は、ガラス基板の第2の保護膜が設置された側から照射した。
レーザ光はCO2レーザとし、スポット径は50μmφとした。
孔形成後に、第1および第2の保護膜を除去し、ガラス基板を観察した。その結果、ガラス基板には、傷やクラックは生じておらず、ガラス基板は健全な状態であった。
本発明は、例えば、ガラス基板に孔を形成する技術に利用することができる。
110 ガラス板
112 第1の表面
114 第2の表面
120 硬化性樹脂
130 第1の保護膜
140 ガラス基板
142 第1の表面
144 第2の表面
150 第2の保護膜
155 レーザ光
160 孔
112 第1の表面
114 第2の表面
120 硬化性樹脂
130 第1の保護膜
140 ガラス基板
142 第1の表面
144 第2の表面
150 第2の保護膜
155 レーザ光
160 孔
Claims (6)
- 孔を有するガラス基板の製造方法であって、
(1)相互に対向する第1および第2の表面を有するガラス板の前記第1の表面に、硬化性樹脂を塗布する工程と、
(2)前記硬化性樹脂を硬化して、第1の保護膜を形成する工程と、
(3)前記ガラス板を前記第1の保護膜の側から切断して、所定の寸法のガラス基板を得る工程と、
(4)前記ガラス基板の前記第2の表面に、第2の保護膜を設置する工程と、
(5)前記ガラス基板の前記第2の表面の側からレーザ光を照射することにより、前記ガラス基板に1または2以上の孔を形成する工程と、
を有する製造方法。 - さらに、
(6)前記ガラス基板から、前記第1および第2の保護膜を取り除く工程
を有する、請求項1に記載の製造方法。 - 前記ガラス基板の前記第1の表面と前記第1の保護膜の間の接着強度は、10N/m〜50N/mの範囲である、請求項1または2に記載の製造方法。
- 前記第2の保護膜は、樹脂製のフィルムである、請求項1乃至3のいずれか一つに記載の製造方法。
- 前記第1の保護膜は、前記第2の保護膜よりも薄い、請求項1乃至4のいずれか一つに記載の製造方法。
- 前記孔は、貫通孔である、請求項1乃至5のいずれか一つに記載の製造方法。
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JP2015154586A Pending JP2017031024A (ja) | 2015-08-04 | 2015-08-04 | 孔を有するガラス基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2017031024A (ja) |
-
2015
- 2015-08-04 JP JP2015154586A patent/JP2017031024A/ja active Pending
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