JP2017030252A - 積層レンズ構造体及びその製造方法、電子機器、型及びその製造方法、並びに、基板 - Google Patents
積層レンズ構造体及びその製造方法、電子機器、型及びその製造方法、並びに、基板 Download PDFInfo
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Abstract
Description
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程とを含む。
1.カメラモジュールの第1の実施の形態
2.カメラモジュールの第2の実施の形態
3.カメラモジュールの第3の実施の形態
4.カメラモジュールの第4の実施の形態
5.カメラモジュールの第5の実施の形態
6.第4の実施の形態のカメラモジュールの詳細構成
7.カメラモジュールの第6の実施の形態
8.カメラモジュールの第7の実施の形態
9.レンズ付き基板の詳細構成
10.レンズ付き基板の製造方法
11.レンズ付き基板どうしの接合
12.カメラモジュールの第8及び第9の実施の形態
13.カメラモジュールの第10の実施の形態
14.カメラモジュールの第11の実施の形態
15.他の構造と比較した本構造の効果
16.各種の変形例
17.電子機器への適用例
18.イメージセンサの使用例
図1は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第1の実施の形態を示す図である。
図9は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第2の実施の形態を示す図である。
図10は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第3の実施の形態を示す図である。
図11は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第4の実施の形態を示す図である。
図12は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第5の実施の形態を示す図である。
次に、図13を参照して、図11に示した第4の実施の形態に係るカメラモジュール1Dの詳細構成について説明する。
次に、レンズ付き基板41aのレンズ樹脂部82aを例に、レンズ樹脂部82の形状について説明する。
(1) 担体基板81の厚さが、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で異なる。例えば、担体基板81の厚さが、下層のレンズ付き基板41の方が厚い。
(2) レンズ付き基板41に備わる貫通孔83の開口幅が、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で異なる。例えば、貫通孔83の開口幅が、下層のレンズ付き基板41の方が大きい。
(3) レンズ付き基板41に備わるレンズ部91の直径が、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で異なる。例えば、レンズ部91の直径が、下層のレンズ付き基板41のレンズ部91の方が大きい。
(4) レンズ付き基板41に備わるレンズ部91の厚さが、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で異なる。例えば、レンズ部91の厚さが、下層のレンズ付き基板41のレンズ部91の方が厚い。
(5) レンズ付き基板41に備わるレンズ間の距離が、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で異なる。
(6) レンズ付き基板41に備わるレンズ樹脂部82の体積が、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で、異なる。例えば、レンズ樹脂部82の体積が、下層のレンズ付き基板41のレンズ樹脂部82の方が大きい。
(7) レンズ付き基板41に備わるレンズ樹脂部82の材料が、積層レンズ構造体11を構成する少なくとも複数枚のレンズ付き基板41の間で異なる。
図16は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第6の実施の形態を示す図である。
図17は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第7の実施の形態を示す図である。
次に、レンズ付き基板41の詳細構成について説明する。
次に、図19乃至図29を参照して、レンズ付き基板41の製造方法を説明する。
担体基板81Wの貫通孔83は、担体基板81Wをウェットエッチングにより、エッチングすることによって形成することができる。具体的には、担体基板81Wをエッチングする前に、担体基板81Wの非開口領域がエッチングされることを防ぐためのエッチングマスクが、担体基板81Wの表面に形成される。エッチングマスクの材料には、例えばシリコン酸化膜あるいはシリコン窒化膜などの絶縁膜が用いられる。エッチングマスクは、エッチングマスク材料の層を担体基板81Wの表面に形成し、この層に貫通孔83の平面形状となるパターンを開口することで、形成される。エッチングマスクが形成された後、担体基板81Wをエッチングすることにより、担体基板81Wに貫通孔83が形成される。
また、貫通孔83形成のエッチングには、上述したウェットエッチングではなく、ドライエッチングを用いることも可能である。
次に、図23を参照して、基板状態のレンズ付き基板41Wの製造方法について説明する。
図19のBに示したように、貫通孔83の平面形状は、例えば四角形などの多角形であっても良い。
(1)レンズ部91の外周に配置した腕部101の長さは、四角形の辺方向と対角線方向とで同じである。
(2)腕部101の外側に配置し、貫通孔83a側壁まで延在する脚部102の長さは、四角形の辺方向の脚部102の長さよりも対角線方向の脚部102の長さの方を、長くしている。
(1)レンズ部91の外周に配置した脚部102の長さを、貫通孔83aの四角形の4つの辺に沿って、一定にしている。
(2)上記(1)の構造を実現するために、腕部101の長さは、四角形の辺方向の腕部の長さよりも対角線方向の腕部の長さの方を、長くしている。
(1)貫通孔83の側壁は、段付き部221を備える段付き形状である。
(2)レンズ樹脂部82の担持部92の脚部102が、貫通孔83の側壁上方に配置されるだけでなく、貫通孔83に備わる段付き部221の上にも、レンズ付き基板41の平面方向に延在している。
(1)レンズ部91の外周に配置した腕部101の長さは、四角形の辺方向と対角線方向とで同じである。
(2)腕部101の外側に配置し、貫通孔83aの側壁まで延在する脚部102の長さは、四角形の辺方向の脚部102の長さよりも、対角線方向の脚部102の長さが長い。
次に、複数のレンズ付き基板41が形成された基板状態のレンズ付き基板41Wどうしの直接接合について説明する。
図34は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第8の実施の形態を示す図である。
図36は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第10の実施の形態を示す図である。
図37は、本技術を適用した積層レンズ構造体を用いたカメラモジュールの第11の実施の形態を示す図である。
積層レンズ構造体11は、レンズ付き基板41どうしを直接接合により固着させた構造(以下、本構造という。)である。本構造の作用及び効果について、レンズが形成されたレンズ付き基板のその他の構造と比較して説明する。
図38は、本構造と比較するための第1の基板構造(以下、比較構造例1という。)であって、特開2011−138089号公報(以下、比較文献1という。)において図14(b)として開示されたウエハレベル積層構造の断面図である。
図39は、本構造と比較するための第2の基板構造(以下、比較構造例2という。)であって、特開2009−279790号公報(以下、比較文献2という。)において図5(a)として開示されたレンズアレイ基板の断面図である。
比較構造例2である図39のレンズアレイ基板1041が開示されている比較文献2では、レンズ1053となる樹脂1054の作用として、以下のことが開示されている。
図41は、本構造と比較するための第3の基板構造(以下、比較構造例3という。)であって、特開2010−256563号公報(以下、比較文献3という。)において図1として開示されたレンズアレイ基板の断面図である。
比較構造例3である図41のレンズアレイ基板1081が開示されている比較文献3では、レンズ1093となる樹脂1094の作用として、以下のことが開示されている。
図43は、本構造と比較するための第4の基板構造(以下、比較構造例4という。)であって、上述した比較文献2において図6として開示されたレンズアレイ基板の断面図である。
比較構造例4である図43のレンズアレイ基板1121が開示されている比較文献2では、レンズ1143となる樹脂1144の作用として、以下のことが開示されている。
図45は、本構造と比較するための第5の基板構造(以下、比較構造例5という。)であって、上述した比較文献2において図9として開示されたレンズアレイ基板の断面図である。
比較構造例5である図45のレンズアレイ基板1161が開示されている比較文献2では、レンズ1173となる樹脂1174の作用として、以下のことが開示されている。
比較構造例2乃至5において樹脂がもたらす作用についてまとめると、次のようになる。
(1)当該レンズアレイ基板の上面において当該レンズアレイ基板に作用する力の方向および大きさと、
(2)当該レンズアレイ基板の下面において当該レンズアレイ基板に作用する力の方向および大きさと、
の相対関係の影響を受ける。
そこで、例えば、図48のAに示されるように、レンズアレイ基板1211の上面に配置する光硬化性樹脂1212の層及び面積と、レンズアレイ基板1211の下面に配置する光硬化性樹脂1212の層及び面積とを、同一にするレンズアレイ基板構造が考えられる。このレンズアレイ基板構造を、本構造と比較するための第6の基板構造(以下、比較構造例6という。)と呼ぶ。
ところで、実際には、カメラモジュールに組み込まれる積層レンズ構造体を構成するレンズ付き基板の形状は全て同じではない。より具体的には、積層レンズ構造体を構成する複数のレンズ付き基板どうしは、例えば、レンズ付き基板の厚さや貫通孔の大きさが異なっていたり、貫通孔に形成されるレンズの厚みや形状、体積などが異なる場合がある。さらに言えば、レンズ付き基板の上面及び下面に形成される光硬化性樹脂の膜厚なども、各レンズ付き基板で異なる場合もある。
図51は、第8の基板構造(以下、比較構造例8という。)としての、3枚のレンズ付き基板の積層で構成される積層レンズ構造体の断面図である。この積層レンズ構造体では、図48で示した比較構造例6と同様に、各レンズ付き基板の上面及び下面に配置された光硬化性樹脂の層及び面積が同一に形成されているものとする。
図53は、本構造を採用した3枚のレンズ付き基板1361乃至1363からなる積層レンズ構造体1371を示す図である。
上述した各実施の形態のその他の変形例について、以下説明する。
まず、積層レンズ構造体のレンズ付き基板のレンズ樹脂部(レンズ部)の位置ズレの対策方法について説明する。
まず、図55乃至図70を参照して、レンズ樹脂部の位置ズレの第1の対策方法について説明する。
次に、図71乃至図78を参照して、レンズ樹脂部の位置ズレの第2の対策方法について説明する。この第2の対策方法では、基板状態のレンズ付き基板を接合する回数及び順番が最適化される。
次に、図79乃至図92を参照して、図23の下型181及び上型201を構成するマスタウエハの製造方法の例について説明する。
上述したカメラモジュール1は、デジタルスチルカメラやビデオカメラ等の撮像装置や、撮像機能を有する携帯端末装置や、画像読取部に固体撮像装置を用いる複写機など、画像取込部(光電変換部)に固体撮像装置を用いる電子機器に組み込んだ形で使用することが可能である。
図94は、カメラモジュール1として構成されたイメージセンサを使用する使用例を示す図である。
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
(1)
それぞれ内側にレンズが配置される複数の貫通孔を、製造プロセスにおいて発生する各前記貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の所定の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成する第1の工程と、
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、
前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、
積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程と
を含む積層レンズ構造体の製造方法。
(2)
各前記貫通孔を前記第1の目標位置からずらす第1の補正量は、各前記貫通孔の前記第1のズレに応じて前記貫通孔毎に設定され、
各前記第1の転写面を前記第2の目標位置からずらす第2の補正量は、各前記レンズの前記第2のズレに応じて前記第1の転写面毎に設定され、
各前記第2の転写面を前記第3の目標位置からずらす第3の補正量は、各前記レンズの前記第3のズレに応じて前記第2の転写面毎に設定される
前記(1)に記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(3)
各前記貫通孔の前記第1の補正量は、各前記貫通孔の前記第1のズレを表す第1のベクトルの逆ベクトルに基づいて設定され、
各前第1の転写面の前記第2の補正量は、対応する前記レンズの前記第1の面の前記第2のズレを表す第2のベクトルの逆ベクトルに基づいて設定され、
各前第2の転写面の前記第3の補正量は、対応する前記レンズの前記第2の面の前記第3のズレを表す第3のベクトルの逆ベクトルに基づいて設定される
前記(2)に記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(4)
各前記貫通孔に対する前記第1のベクトルは、前記第1乃至第3の工程において発生する各前記貫通孔の位置のズレの前記貫通孔毎の平均に基づいて設定され、
各前記レンズの前記第1の面に対する前記第2のベクトルは、前記第1の型の製造時、前記第2の工程、及び、前記第3の工程において発生する各前記レンズの前記第1の面の位置のズレの前記レンズ毎の平均に基づいて設定され、
各前記レンズの前記第2の面に対する前記第3のベクトルは、前記第2の型の製造時、前記第2の工程、及び、前記第3の工程において発生する各前記レンズの前記第2の面の位置のズレの前記レンズ毎の平均に基づいて設定される
前記(3)に記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(5)
前記直接接合は、プラズマ接合である
前記(1)乃至(4)のいずれかに記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(6)
前記第2の工程において、前記第1の型及び前記第2の型を用いたインプリントにより各前記レンズを形成する
前記(1)乃至(5)のいずれかに記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(7)
それぞれ内側にレンズが配置される複数の貫通孔を、製造プロセスにおいて発生する各前記貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の所定の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成する第1の工程と、
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、
前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、
積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体。
(8)
それぞれ内側にレンズが配置される複数の貫通孔を、製造プロセスにおいて発生する各前記貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の所定の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成する第1の工程と、
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、
前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、
積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体を
備える電子機器。
(9)
それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成された複数の基板を直接接合により積層し個片化することにより製造される積層レンズ構造体の製造に用いる前記基板の各前記レンズの一方の面の形成に用いられ、
各前記レンズの前記一方の面の形成に用いる複数の転写面が、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの前記一方の面の位置のズレに応じて所定の目標位置からずらした位置に配置されている
型。
(10)
それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成されている基板であるレンズ付き基板どうしの直接接合、並びに、複数のレンズ付き基板の積層基板であるレンズ付き積層基板であって、同じ回数の直接接合により作製されたレンズ付き積層基板どうしの直接接合を組み合わせることにより、所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する第1の工程と、
前記第1の工程で作製された前記レンズ付き積層基板を個片化する第2の工程と
を含む積層レンズ構造体の製造方法。
(11)
前記第1の工程において、前記レンズ付き基板と前記貫通孔及び前記レンズが形成されていない基板である仮基板との直接接合、前記レンズ付き積層基板と前記仮基板との直接接合、前記レンズ付き積層基板と前記レンズ付き基板及び前記仮基板を含む積層基板である仮積層基板との直接接合であって、同じ回数の直接接合により作製された前記レンズ付き積層基板と前記仮積層基板との直接接合、並びに、前記仮積層基板からの前記仮基板の剥離をさらに組み合わせることにより、前記所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する
前記(10)に記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(12)
前記第1の工程において、第1乃至第3のレンズ付き基板を積層する場合、前記第1のレンズ付き基板と前記第2のレンズ付き基板とを直接接合することにより前記レンズ付き積層基板を作製し、前記第3のレンズ付き基板と前記仮基板とを直接接合することにより第1の仮積層基板を作製し、前記レンズ付き積層基板と前記第1の仮積層基板とを直接接合することにより第2の仮積層基板を作製し、前記第2の仮積層基板から前記仮基板を剥離する
前記(11)に記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(13)
前記第1の工程において、第1乃至第4のレンズ付き基板を積層する場合、前記第1のレンズ付き基板と前記第2のレンズ付き基板とを直接接合することにより第1のレンズ付き積層基板を作製し、前記第3のレンズ付き基板と前記第4のレンズ付き基板とを直接接合することにより第2のレンズ付き積層基板を作製し、前記第1のレンズ付き積層基板と前記第2のレンズ付き積層基板とを直接接合する
前記(10)に記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(14)
前記直接接合は、プラズマ接合である
前記(10)乃至(13)のいずれかに記載の積層レンズ構造体の製造方法。
(15)
それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成されている基板であるレンズ付き基板どうしの直接接合、並びに、複数のレンズ付き基板の積層基板であるレンズ付き積層基板であって、同じ回数の直接接合により作製されたレンズ付き積層基板どうしの直接接合を組み合わせることにより、所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する第1の工程と、
前記第1の工程で作製された前記レンズ付き積層基板を個片化する第2の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体。
(16)
それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成されている基板であるレンズ付き基板どうしの直接接合、並びに、複数のレンズ付き基板の積層基板であるレンズ付き積層基板であって、同じ回数の直接接合により作製されたレンズ付き積層基板どうしの直接接合を組み合わせることにより、所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する第1の工程と、
前記第1の工程で作製された前記レンズ付き積層基板を個片化する第2の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体を
備える電子機器。
(17)
他の型の先端の第1の嵌合部に嵌合する第2の嵌合部を第1の基板の所定の複数の位置に形成する第1の工程と、
前記他の型の前記第1の嵌合部を各前記第2の嵌合部に嵌合することにより前記他の型の位置合わせを行い、前記他の型を用いて前記第1の基板の前記複数の位置のそれぞれに転写面を形成する第2の工程と
を含む型の製造方法。
(18)
前記第1の嵌合部及び前記第2の嵌合部のうちの一方がテーパ状の突起部を備え、他方が前記突起部に嵌合する溝部を備える
前記(17)に記載の型の製造方法。
(19)
前記第1の工程において、前記第1の基板の前記転写面を形成する位置の周囲に前記第2の嵌合部を形成する
前記(17)又は(18)に記載の型の製造方法。
(20)
各前記転写面は、第2の基板に形成されている複数の貫通孔の内側にそれぞれ配置されるレンズの一方の面の形成に用いられる
前記(17)乃至(19)のいずれかに記載の型の製造方法。
(21)
複数の転写面を形成する位置に、前記転写面の形成に用いる型の先端の第1の嵌合部に嵌合する第2の嵌合部がそれぞれ形成されている
基板。
(22)
基板の所定の複数の位置に転写面を形成するために用いられ、前記基板の前記複数の位置にそれぞれ形成されている第1の嵌合部と嵌合する第2の嵌合部が先端に形成されている
型。
Claims (22)
- それぞれ内側にレンズが配置される複数の貫通孔を、製造プロセスにおいて発生する各前記貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の所定の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成する第1の工程と、
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、
前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、
積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程と
を含む積層レンズ構造体の製造方法。 - 各前記貫通孔を前記第1の目標位置からずらす第1の補正量は、各前記貫通孔の前記第1のズレに応じて前記貫通孔毎に設定され、
各前記第1の転写面を前記第2の目標位置からずらす第2の補正量は、各前記レンズの前記第2のズレに応じて前記第1の転写面毎に設定され、
各前記第2の転写面を前記第3の目標位置からずらす第3の補正量は、各前記レンズの前記第3のズレに応じて前記第2の転写面毎に設定される
請求項1に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 各前記貫通孔の前記第1の補正量は、各前記貫通孔の前記第1のズレを表す第1のベクトルの逆ベクトルに基づいて設定され、
各前第1の転写面の前記第2の補正量は、対応する前記レンズの前記第1の面の前記第2のズレを表す第2のベクトルの逆ベクトルに基づいて設定され、
各前第2の転写面の前記第3の補正量は、対応する前記レンズの前記第2の面の前記第3のズレを表す第3のベクトルの逆ベクトルに基づいて設定される
請求項2に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 各前記貫通孔に対する前記第1のベクトルは、前記第1乃至第3の工程において発生する各前記貫通孔の位置のズレの前記貫通孔毎の平均に基づいて設定され、
各前記レンズの前記第1の面に対する前記第2のベクトルは、前記第1の型の製造時、前記第2の工程、及び、前記第3の工程において発生する各前記レンズの前記第1の面の位置のズレの前記レンズ毎の平均に基づいて設定され、
各前記レンズの前記第2の面に対する前記第3のベクトルは、前記第2の型の製造時、前記第2の工程、及び、前記第3の工程において発生する各前記レンズの前記第2の面の位置のズレの前記レンズ毎の平均に基づいて設定される
請求項3に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 前記直接接合は、プラズマ接合である
請求項1に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 前記第2の工程において、前記第1の型及び前記第2の型を用いたインプリントにより各前記レンズを形成する
請求項1に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - それぞれ内側にレンズが配置される複数の貫通孔を、製造プロセスにおいて発生する各前記貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の所定の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成する第1の工程と、
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、
前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、
積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体。 - それぞれ内側にレンズが配置される複数の貫通孔を、製造プロセスにおいて発生する各前記貫通孔の位置のズレである第1のズレに応じて基板上の所定の第1の目標位置からずらした位置にそれぞれ形成する第1の工程と、
製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第1の面の位置のズレである第2のズレに応じて所定の第2の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第1の面の形成に用いる複数の第1の転写面がそれぞれ配置されている第1の型、及び、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの第2の面の位置のズレである第3のズレに応じて所定の第3の目標位置からずらした位置に各前記レンズの前記第2の面の形成に用いる複数の第2の転写面がそれぞれ配置されている第2の型を用いて、各前記貫通孔の内側に前記レンズを形成する第2の工程と、
前記レンズが形成された複数の前記基板を直接接合により積層する第3の工程と、
積層された複数の前記基板を個片化する第4の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体を
備える電子機器。 - それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成された複数の基板を直接接合により積層し個片化することにより製造される積層レンズ構造体の製造に用いる前記基板の各前記レンズの一方の面の形成に用いられ、
各前記レンズの前記一方の面の形成に用いる複数の転写面が、製造プロセスにおいて発生する各前記レンズの前記一方の面の位置のズレに応じて所定の目標位置からずらした位置に配置されている
型。 - それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成されている基板であるレンズ付き基板どうしの直接接合、並びに、複数のレンズ付き基板の積層基板であるレンズ付き積層基板であって、同じ回数の直接接合により作製されたレンズ付き積層基板どうしの直接接合を組み合わせることにより、所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する第1の工程と、
前記第1の工程で作製された前記レンズ付き積層基板を個片化する第2の工程と
を含む積層レンズ構造体の製造方法。 - 前記第1の工程において、前記レンズ付き基板と前記貫通孔及び前記レンズが形成されていない基板である仮基板との直接接合、前記レンズ付き積層基板と前記仮基板との直接接合、前記レンズ付き積層基板と前記レンズ付き基板及び前記仮基板を含む積層基板である仮積層基板との直接接合であって、同じ回数の直接接合により作製された前記レンズ付き積層基板と前記仮積層基板との直接接合、並びに、前記仮積層基板からの前記仮基板の剥離をさらに組み合わせることにより、前記所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する
請求項10に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 前記第1の工程において、第1乃至第3のレンズ付き基板を積層する場合、前記第1のレンズ付き基板と前記第2のレンズ付き基板とを直接接合することにより前記レンズ付き積層基板を作製し、前記第3のレンズ付き基板と前記仮基板とを直接接合することにより第1の仮積層基板を作製し、前記レンズ付き積層基板と前記第1の仮積層基板とを直接接合することにより第2の仮積層基板を作製し、前記第2の仮積層基板から前記仮基板を剥離する
請求項11に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 前記第1の工程において、第1乃至第4のレンズ付き基板を積層する場合、前記第1のレンズ付き基板と前記第2のレンズ付き基板とを直接接合することにより第1のレンズ付き積層基板を作製し、前記第3のレンズ付き基板と前記第4のレンズ付き基板とを直接接合することにより第2のレンズ付き積層基板を作製し、前記第1のレンズ付き積層基板と前記第2のレンズ付き積層基板とを直接接合する
請求項10に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - 前記直接接合は、プラズマ接合である
請求項10に記載の積層レンズ構造体の製造方法。 - それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成されている基板であるレンズ付き基板どうしの直接接合、並びに、複数のレンズ付き基板の積層基板であるレンズ付き積層基板であって、同じ回数の直接接合により作製されたレンズ付き積層基板どうしの直接接合を組み合わせることにより、所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する第1の工程と、
前記第1の工程で作製された前記レンズ付き積層基板を個片化する第2の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体。 - それぞれ内側にレンズが配置された複数の貫通孔が形成されている基板であるレンズ付き基板どうしの直接接合、並びに、複数のレンズ付き基板の積層基板であるレンズ付き積層基板であって、同じ回数の直接接合により作製されたレンズ付き積層基板どうしの直接接合を組み合わせることにより、所定の層数の前記レンズ付き積層基板を作製する第1の工程と、
前記第1の工程で作製された前記レンズ付き積層基板を個片化する第2の工程と
を含む工程により製造される積層レンズ構造体を
備える電子機器。 - 他の型の先端の第1の嵌合部に嵌合する第2の嵌合部を第1の基板の所定の複数の位置に形成する第1の工程と、
前記他の型の前記第1の嵌合部を各前記第2の嵌合部に嵌合することにより前記他の型の位置合わせを行い、前記他の型を用いて前記第1の基板の前記複数の位置のそれぞれに転写面を形成する第2の工程と
を含む型の製造方法。 - 前記第1の嵌合部及び前記第2の嵌合部のうちの一方がテーパ状の突起部を備え、他方が前記突起部に嵌合する溝部を備える
請求項17に記載の型の製造方法。 - 前記第1の工程において、前記第1の基板の前記転写面を形成する位置の周囲に前記第2の嵌合部を形成する
請求項17に記載の型の製造方法。 - 各前記転写面は、第2の基板に形成されている複数の貫通孔の内側にそれぞれ配置されるレンズの一方の面の形成に用いられる
請求項17に記載の型の製造方法。 - 複数の転写面を形成する位置に、前記転写面の形成に用いる型の先端の第1の嵌合部に嵌合する第2の嵌合部がそれぞれ形成されている
基板。 - 基板の所定の複数の位置に転写面を形成するために用いられ、前記基板の前記複数の位置にそれぞれ形成されている第1の嵌合部と嵌合する第2の嵌合部が先端に形成されている
型。
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