JP2017026607A - 時計用振動子の歩度を設定するための機構 - Google Patents

Abstract

【課題】時計ケースを開ける必要なく、機械式時計の機能の設定や微調整を可能とする。
【解決手段】マイクロシステム１０の基板に対して回転するように構成された歯車／慣性ブロック２０を備え、これは、偏心アンバランス部２２および歯部２１を有し、マイクロシステムは、歯部２１を駆動するように構成された第１の能動コハゼ３８を駆動するアクチュエータを備えるとともに、歯部２１を所定位置に留めるための手段を備え、アクチュエータは、熱機械アクチュエータ３０であって、光エネルギーの流れを、熱機械アクチュエータ３０の遠位端の変位に変換するように構成されており、遠位端は、第１の能動コハゼ３８を保持しているか、または第１の能動コハゼ３８の動きを直接制御する。このマイクロシステム１０は、所定の波長範囲に対して透明なガラスを有する時計に組み込むことが可能であり、ガラスは、マイクロシステム１０の調整のための光線を通過させる。
【選択図】図３

Description

本発明は、時計用振動子の歩度を設定するためのマイクロシステムに関するものであり、マイクロシステムは、該マイクロシステムに含まれる基板に対して回転するように構成された少なくとも１つの歯車／慣性ブロックを備え、歯車／慣性ブロックは、偏心アンバランス部を有するとともに、歯部を有し、マイクロシステムは、制御車、レバー、またはコハゼ車を駆動するように構成された少なくとも１つのアクチュエータを備え、その能動コハゼは、歯部を駆動するように構成されており、マイクロシステムは、歯部を所定位置に留めるための少なくとも１つの手段を備える。

本発明は、さらに、少なくとも１つのかかるマイクロシステムを有する時計用振動子に関する。

本発明は、さらに、少なくとも１つのかかる振動子を有する時計ムーブメントに関する。

本発明は、さらに、少なくとも１つのかかるマイクロシステム、または１つのかかる振動子を備えた、時計に関する。

本発明は、さらに、時計用振動子の歩度を設定するための装置であって、少なくとも１つのかかる時計を含む装置に関する。

本発明は、時計用振動子の調整の分野に関し、より具体的には、機械式ムーブメントのための時計用振動子の調整の分野に関する。

機械式時計の歩度を調整することは、専門家の仕事であり、緻密かつ精密かつ慎重な作業が要求される。

機械式時計の歩度を調整するには、一般的に、ケースを開けて、ムーブメントを取り出すことが必要であり、これにより、歩度の調整を可能とする部品へのアクセスが得られ、特に、その振動周波数がテン輪の慣性およびヒゲゼンマイの剛性に依存するテンプアセンブリを備える通常の振動子の場合には、これら２つのパラメータに、以下のものによって作用することを可能とする部品へのアクセスが得られる。
− テン輪のアームまたはリムに装備されたチラネジであって、装備したテン輪の慣性を変化させるように回転調整可能なチラネジ、
− ヒゲゼンマイの剛性を変化させるように構成された、回転動可能な緩急針、
− または、類似の要素。

従って、この作業では、余分に時間を要する作業が要求される。さらに、密封シールを再検査することも必要である。多くの場合、ムーブメントをケース内に戻す作業によって、歩度の新たなずれが生じ、これは、調整を繰り返さなければならないことを意味する。

ＮＩＶＡＲＯＸ−ＦＡＲ ＳＡ名義の特許文献１は、テン輪の慣性および／またはバランスおよび／または振動周波数を設定するための慣性調整手段を備えた、時計用の装備付きテン輪について開示しており、テン輪は、連結面によってハブと接続されたリムの凹部に配置されたインサートを有している。このテン輪またはインサートは、弾性保持手段を備え、これにより、インサートは、圧力を受けて、そのハウジングに挿入されることが可能であるとともに、各インサートの完全な挿入後に解放されると、インサートはいずれもそのハウジングから外れないように保持される。これらの弾性保持手段は、テン輪のリムに直接形成することができる。

欧州特許出願公開第２４１０３８６号明細書

本発明は、時計ケースを開ける必要なく、機械式時計の機能の細かい設定または粗い設定を可能とすること、より具体的には、機械式時計のムーブメントの歩度の微調整を可能とすることを提案する。

本発明は、振動子の一部の領域を可逆変形させるために、時計ケース内部への光線またはレーザなどによるエネルギー輸送特性を利用することを提案する。

この目的のため、本発明は、請求項１に記載の、時計用振動子の歩度を設定するための機構に関するものである。

本発明は、さらに、請求項２０に記載の、少なくとも１つのかかるマイクロシステムを有する時計用振動子に関する。

本発明は、さらに、請求項２２に記載の、少なくとも１つのかかる振動子を有する時計ムーブメントに関する。

本発明は、さらに、請求項２３に記載の、少なくとも１つのかかるマイクロシステム、または少なくとも１つのかかる振動子を備えた、時計に関する。

本発明は、さらに、請求項２６に記載の、時計用振動子の歩度を設定するための装置であって、少なくとも１つのかかる時計を含む装置に関する。

本発明の他の特徴および効果は、添付の図面を参照して以下の詳細な説明を読解することで、明らかになるであろう。

図１は、時計用振動子機構のための装備付きテン輪の概略正面図を示していり、これは、テン輪のリムに保持された本発明による２つのマイクロシステムを有し、これらは、光エネルギーの流れを、少なくとも１つの加熱領域に集中させて、テン輪を構成している重量の空間分布を変化させることにより、装備付きテン輪の慣性の変化に変換するように構成されている。 図２は、透明裏蓋によって閉じられたケースを備える時計の部分概略断面図を示しており、そのケースは、機械振動子を有するムーブメントを収容しており、機械振動子は、それの図１の装備付きテン輪のみを図示しており、その表面の一部は、外部光源からレンズで集光されてケースの透明裏蓋を通過する光線による照射領域内に位置している。 図３は、本発明によるマイクロシステムの概略正面図を示しており、これは、基板上に固定された熱機械アクチュエータを備え、熱機械アクチュエータは、変形可能な十字型可動部品によって形成されており、これは、交互に連なるネック部と錘によって互いに接続された２つの長手アームを有し、これらは互いに対して横断方向にわずかにオフセットしており、この可動部品は、基板上で支持体を形成して、第１のいわゆる能動コハゼを保持するサオと呼ばれる横アームを有しており、これは、基板に対して回転するように取り付けられて偏心アンバランス部を備えた歯車／慣性ブロックの歯部を駆動するように構成されており、さらには、釣合い錘を形成する別の自由片持ち横アームを有している。 図４は、図３のマイクロシステムのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図５は、図３の熱機械アクチュエータの変形例を示しており、これは、Ｔ字型であって、サオの延長線上に釣合い錘を有しておらず、また、長手アームが図３とは異なる構成で横断方向にわずかにオフセットしている。 図６は、図５のアクチュエータの温度分布図であり、これは、長手アームの遠位端部およびサオの遠位端部は、周囲温度に維持される一方、ネック部を含む中央領域は、１５０℃〜３００℃の間の高温の加熱領域内に配置されたときのものである。 図７は、その高温にさらされた図５の熱機械アクチュエータにおける変形の概略正面図を示している。 図８は、そのときのネック部を示す詳細図である。 図９は、サオの遠位端の準線形動程を示す曲線であり、加熱領域と基板との間の温度差の関数としての、第１の能動コハゼの移動量に相当するものである。 図１０は、温度の関数として、ネック部における応力の準線形変化を示す同様の曲線である。 図１１は、図３のアクチュエータの場合の、図９に相当するものである。 図１２は、歯車／慣性ブロックの詳細図である。 図１３は、歯車／慣性ブロックの回転角度の正弦関数である歩度の変化を示す曲線である。 図１４は、時計用振動子の歩度を設定するための装置を示すブロック図であり、これは、本発明によるマイクロシステムを備えた振動子を有するムーブメントを有する時計を含み、この装置は、時計ケースに近接して配置された歩度監視手段および温度監視手段とインタフェースしている制御手段を備える。

本発明は、時計１のケース９０を開ける必要なく、時計機能の調整または設定を可能とすること、特に、機械式時計のムーブメントの歩度の調整を可能とすることを提案する。

本発明による機構の構成および寸法に応じて、そして所要の用途に応じて、微調整または粗調整を実施することが可能である。本発明は、実際のところ、より正確には、そのムーブメントがその最終構成に収容された時計の歩度の調整を精密に変更する目的のマイクロ調整用に考案されており、以下で提示する寸法例は、そのような微調整に適したものである。より大きな調整振幅が要求される調整を実施するための本発明の構成をいかにして推定するかは、当業者であれば分かるであろう。

この目的のため、本発明は、時計機能を設定するための装置１０００に関し、特に、具体的には機械式ムーブメント２００の場合の、時計用振動子１００の歩度を設定するための装置１０００に関するものである。

ムーブメント２００は、図面に詳細には示していない。

振動子１００は、完全には図示していない。振動子は、具体的かつ非限定的な例では、テンプアセンブリによって形成されており、図面では、装備付きテン輪７０のみを示している。この具体的な応用で例示される本発明は、時計のテン輪の慣性の変更、または慣性中心位置の変更（アンバランスの修正）に関するものである。

実際に、図面に示す好ましい実施形態では、以下で分かるように、本発明は、光制御型マイクロシステム１０の内部で、テン輪に間接的に装着された偏心部を有する１つ以上の歯車／慣性ブロックの回転を利用し、それぞれのマイクロシステムは、裸テン輪７に固定された基板６０、または裸テン輪７と一体の基板６０を備える。本発明により、各々の歯車／慣性ブロックの角度位置を変更することが可能であり、これにより、テン輪７の真軸Ｄに対して、歯車／慣性ブロックに固有の慣性中心の位置を変更することが可能である。

従って、結果的に慣性中心の位置が変更され得るときでも、場合によっては、歯車／慣性ブロックの慣性中心がテン輪の真軸Ｄに対して同じ半径に維持されれば、裸テン輪とマイクロシステムまたはいくつかのマイクロシステム１０とを含む装備付きテン輪７０の全体の慣性は、変わらないままである場合がある。いくつかのマイクロシステムが導入される場合は、それらの配置に応じて、それらは全体の慣性中心の位置を変更させない対称的な操作を受けるか、それらは全体の慣性中心の位置を変更させる互いに独立な制御を受けるか、いずれかが可能であるものと理解され、全体の慣性中心の位置の変更によって、裸テン輪に固有のアンバランスがある場合の修正も可能となる。「慣性の変更」という表現は、軸に対する慣性値の変更と、そのような軸に対する可動部の慣性中心の結果的な位置の変更と、その両方を指して、以下で使用される。

本発明は、振動子１００の一部の領域を可逆変形させるために、時計ケース９０内部への光線またはレーザなどによるエネルギー輸送特性を利用することを提案する。

テンプアセンブリを有する振動子またはそれよりも非常にまれであるテン輪／トーションワイヤ・アセンブリを有する振動子の技術に精通したものであれば、そのような弾性復帰手段の固定またはテンション付与のための手段に、直接的または間接的に作用を及ぼすことにより、ヒゲゼンマイの剛性またはトーションワイヤのテンションを変更するように制御された微動を生じさせるために、本発明の教示をいかにして拡張すべきか、分かるであろう。

本発明について、テン輪で形成される振動子の一部における慣性の変更を用いて例示する。以下で詳細に記載されるもののような、光制御型マイクロシステム１０の使用を、そのような固定手段もしくはテンション付与手段、ヒゲゼンマイの剛性を変更もしくはヒゲゼンマイの有効長を調整するための手段、または他の手段を調整するために、振動子の他の部品に作用を及ぼすように、いかにして拡張すべきかは、当業者であれば分かるであろう。

本発明は、まず第一に、時計の機能を設定するためのマイクロシステム１０に関し、より具体的に図面に例示する応用では、特に機械式ムーブメントの場合の、時計用振動子の歩度を設定するためのマイクロシステムに関する。

本発明は、機械的調整部品の動きを生じさせるために、光学手段によるエネルギー輸送を利用する。

本発明は、好ましくはハイエンドの時計に関し、これは、光線３または他の任意の光学ビームを通過させるように、いくつかの所望の波長範囲に対して透明であるように構成された透明裏蓋２を有する。当然のことながら、特にスケルトンのムーブメントの場合は、ガラスを有してユーザによる読み取りが可能なケースの上側からも、またはケース９０の側縁部もしくは周縁部を通しても、光の通過が生じ得る。図示していない変形例では、光ファイバまたは光導波路に沿って、時計１の中に光路を形成することも可能であり、この場合、非直線光路が可能である。

そこで、本発明について、具体的かつ非限定的な実施形態で例示し、この場合、光線３は、選択された波長に対して透明なケース裏ガラス２を通過することができ、これにより、好ましくは装備付きテン輪７０における少なくとも１つの周辺セクタ上の、照射領域５に照射する。

この装備付きテン輪７０は、ヒゲゼンマイもしくはトーションワイヤのような弾性復帰手段に接続される裸テン輪７、または吸引および／もしくは反発磁場もしくは静電場環境で動く裸テン輪７を含み、裸テン輪７は、少なくとも１つのマイクロシステム１０を保持しており、これは、光エネルギーの流れを、集中させて、装備付きテン輪の慣性およびそれを構成している重量の空間分布を変化させることにより、装備付きテン輪７０の慣性の変化に変換するように構成されている。

より具体的には、照射領域５で、そのようなマイクロシステム１０の全面をカバーできる場合に、集光手段４によって得られる集中光線は、ケース裏ガラス２を通過した後に、そのようなマイクロシステム１０に含まれるアクチュエータにおける少なくとも１つの加熱領域６に向けられる。以下で分かるように、このアクチュエータは、効果的には、熱機械アクチュエータ３０である。

集光手段４について、詳細は記載しないが、レンズのように時計１に一体のものであるか、または図２にあるように時計１の外部のものであるか、いずれかであり、図２には、光線３からの熱エネルギーを加熱領域６に向けて集中させるように構成されたレンズを示している。

装備付きテン輪７０への本発明の好ましい応用では、図面で分かるように、テン輪の慣性を変化させることを可能とする少なくとも１つのマイクロシステム１０を追加することによって、好ましくは複数のそのようなマイクロシステム１０を追加することによって、テン輪の慣性を変化させる。

本発明について、効果的な実施形態によって図面に例示しており、これは、裸テン輪７のリムに、そのテン真軸Ｄに関して直径方向に対称的に配置された２つの同一の回転マイクロシステム１０を備え、これにより、一方の回転マイクロシステム１０のアンバランス効果によって、他方を相殺している。

図面に例示される効果的な実施形態では、特に時計用振動子の歩度を設定するためのマイクロシステム１０は、マイクロシステム１０に含まれる基板６０に対して回転するように構成された少なくとも１つの歯車／慣性ブロック２０を備える。歯車／慣性ブロック２０は、偏心アンバランス部２２を有するとともに、コハゼ歯部２１を有する。本発明によれば、マイクロシステム１０は、歯部２１を回転駆動するように構成された少なくとも第１のいわゆる能動コハゼ３８を駆動する少なくとも１つのアクチュエータを備え、さらに、歯部２１を所定位置に留めるための少なくとも１つの手段を備える。

図面に例示する具体的かつ非限定的な実施形態では、マイクロシステム１０は、基板６０と、第１のいわゆる能動コハゼ３８を備えた熱機械アクチュエータ３０であるアクチュエータと、偏心アンバランス部を有するコハゼを備えるとともに副軸Ｄ２０の周りに回転する歯車／慣性ブロック２０と、を備える。

当然のことながら、本発明は、例えば、溝などの中で動く錘の形態をとるものなど、図示した歯車／慣性ブロック２０とは異なる形態の補助可動部品を用いて実現してもよい。

熱機械アクチュエータ３０は、選択される種々の実施形態に応じて、基板６０に取り付けられるか、または基板６０と一体とすることができる。

歯車／慣性ブロック２０は、選択される種々の実施形態に応じて、基板６０内で案内されるものであるか、または基板６０と一体とすることができる。第１の実施形態では、少なくとも１つの歯車／慣性ブロック２０は、基板６０に固定された固定軸２４または基板６０と一体の固定軸２４の周りに回転するように取り付けられて、副軸Ｄ２０の周りに回転する。図４に示す歯車／慣性ブロック２０は、基板６０の孔６１で駆動または結合される固定案内軸２４の周りに回転する。図面で示していない第２の実施形態では、少なくとも１つの歯車／慣性ブロック２０は、基板６０に組み込まれて、一体連接構造または特に弾性薄帯型の可撓性ベアリングによって保持され、基板６０に対して回転する。

図面に示す実施形態では、歯部２１を所定位置に留めるための手段は、基板６０上に配置された第２のいわゆる受動コハゼ２５であり、歯部２１を押さえるために弾性復帰手段を有する。

図面に示す非限定的な実施形態では、第１の能動コハゼ３８は、歯部２１に対して接線方向に取り付けられたコハゼであり、これに含まれる弾性復帰手段によって歯部２１に向けて戻される少なくとも１つの歯または１つの櫛状部を有する。利用できるスペースに応じて、他の実施形態を想定することができ、第１の能動コハゼは、制御車、レバー、コハゼ車、または他の要素とすることもできる。

本発明によれば、効果的には、マイクロシステム１０における少なくとも１つのアクチュエータは、光エネルギーの流れを機械的制御部材の変位に変換するように構成された熱機械アクチュエータ３０である。熱機械アクチュエータ３０は、集中させた光エネルギーを変位ＣＣに変換するように、特に直線変位と同様であり得る変位に変換するように、考案されている。具体的には、図面で示す実施形態では、変位ＣＣは、熱機械アクチュエータ３０の遠位端３８０に関するものである。この遠位端３８０は、第１の能動コハゼ３８を保持しているか、またはそのような第１の能動コハゼ３８の動きを、輪列、摩擦車、ロッド機構などによって直接制御する。

このような熱機械アクチュエータ３０は、同じ形態で、時計調整装置を制御するための他の用途に用いることもできる。

熱機械アクチュエータ３０は、可動部品３００を有し、これは、特に光線の熱の作用によって、より具体的にはネック部またはボールジョイント型部分３４、３５、３６に作用することによって、変形可能である。

好ましくは、図面に示すように、熱機械アクチュエータ３０は、略第１の長手方向Ｘに、以下の順序で、交互に連なる硬質錘３１１、４５、４６、３１２と可撓性ネック部３４、３５、３６で構成された長手ラインを有し、これは、基板６０上のアンカ要素３２１、３２２の間に保持されており、アームと呼ばれる両外側の硬質錘３１１、３１２は、これらのアンカ要素３２１、３２２の上に載置されているか、またはアンカ要素３２１、３２２と一体である。

図示の具体的かつ非限定的な実施形態では、変形可能な可動部品３００は、２つのアーム３１（３１１および３１２）を有し、これらは、同じ略長手方向Ｘに延在して、その両側の遠位端３２０で、アンカ要素３２（３２１，３２２）に定着されており、アンカ要素は、シリコンによる実施形態の効果的な例では、例えば酸化物層５０によって、基板６０と一体に形成されている。

これら２つのアーム３１１、３１２は、第１の硬質部４５と第２の硬質部４６を含む中央部を囲んでいる。

第１の硬質部４５は、第１のネック部３４によって第１のアーム３１１に接続されており、中央ネック部と呼ばれる第２のネック部３５によって第２の硬質部４６に接続されている。第２の硬質部４６は、第３のネック部３６によって第２のアーム３１２に接続されている。

アーム３１１、３１２と、ネック部３４、３５、３６と、第１の硬質部４５および第２の硬質部４６は、レスト状態では、長手方向Ｘに沿って略直線状に整列している。

少なくともネック部３４、３５、３６を含む、熱機械アクチュエータ３０の中央領域は、加熱領域６に重なるように配置されて、そこで、中央領域は、光エネルギーの照射を受けることができる。高温の中心領域と、その低温の支持体との間の、ほんの短時間の温度差によって、中央領域の膨張が生じ、これには、アンカ要素３２１、３２２の間で長手ラインを圧縮する効果があり、さらにはネック部（３４，３５，３６）の少なくとも１つを屈曲させる効果がある。この圧縮によって、ネック部は屈曲力を受ける傾向があり、略平面変形を維持するために、基板６０の平面に垂直な方向におけるアクチュエータの全厚は、この平面におけるネック部の厚さに対して相当に大きく、例えば３０倍大きい。従って、圧縮の効果は、すべてのネック部３４、３５、３６の変形となる。例えば、このようなマイクロシステム１０を備える時計が日光にさらされて、マイクロシステム１０の全体が温度変化を受けたときには、熱機械アクチュエータ３０は、これが基板６０と同じ材料で構成されているのであれば、動かない。これは、バイメタル貼り合わせシステムに対して、明らかな利点となる。

可撓性ネック部３４、３５、３６の少なくとも１つは、他のネック部３４、３５、３６に対して、長手方向Ｘに直交する横断方向Ｙにおいて横オフセット量ｄｙでオフセットしており、ネック部３４、３５、３６の少なくとも１つの屈曲動は、アンカ要素３２１、３２２のいずれかに直接接続されていない少なくとも１つの中間錘４５、４６の、基板６０に平行な平面回転動に変換される。

図示の実施形態では、回転駆動可能な中間錘４５または４６は、略横断方向Ｙに延出するサオ３７を保持しており、サオは、機械的制御手段を保持するように構成された遠位端３８０を有する。好ましくは、サオ３７の回転移動量は、これを囲むサオストッパ３９によって制限される。

前述のように装備された時計１に対して、装備付きテン輪７０を備えた振動子１００の歩度を調整する用途で、本発明による調整装置１０００を使用するときには、まず最初に、両方のマイクロシステム１０またはそれぞれのマイクロシステムが順次、光線３からのエネルギーの照射を受けると視認できる位置に、テン輪を固定する。一実施形態では、装置１０００は、その中に含まれるマイクロシステムであって、その振動中の振動子１００の構成部品に支持された、特にその振動中の装備付きテン輪７０に支持された、少なくとも１つのマイクロシステム１０またはそれぞれのマイクロシステムの動きに追従して、それを標的とするように光線３を制御するために、同期手段を備える。

このシステムを運用するには、光線３を、透明裏蓋２を通して投射し、加熱領域６において、熱機械アクチュエータ３０の中央領域で形成される特定の加熱対象部分に集中させる。熱機械アクチュエータは変形し、熱機械アクチュエータ３０の可動部品と一体である、より具体的にはサオ３７と一体である第１の能動コハゼ３８は、歯車／慣性ブロック２０の歯部２１を１つ以上の歯にわたって駆動する。これにより、歯車／慣性ブロック２０の重心２３（または慣性中心）の変位によって、装備付きテン輪７０の慣性の変化が生じる。

第１の能動コハゼ３８による駆動は、図２の場合には時計回り方向である一方向のみに生じ、その後、中央領域が冷えたときの第１の能動コハゼ３８の復帰時に、反時計回り方向の回転は、第２の受動コハゼ２５によって阻止されるものと理解される。

様々な使用モードを想定することができ、以下で例として記載するものは、限定するものではない。

第１のモードでは、加熱領域の照射の継続時間は、可能な限り短く、アクチュエータ３０の所望の変形を得ることに制限され、好ましくは、歯部２１の１つの歯のみの通過に相当する。いくつかの歯の通過が要求される場合には、アクチュエータを、より迅速に周囲温度に戻して中立位置とし、そして再び１つの歯の通過のためにアクチュエータに照射し、この操作を必要に応じて何度も繰り返す、ということが可能である。これは、いくつかの歯の同時通過のために維持される照射を用いた操作を排除するものではない。第１の能動コハゼ３８は、図面に示すような単歯に代えて、櫛状部または類似の要素を有するものであってもよい。

当然のことながら、第１の能動コハゼ３８の単歯によって複数段に作用することもでき、これには、ジャミングを防ぐという利点がある。第１の能動コハゼ３８の１回の復帰移動に対して、受動コハゼ２５により実施されるいくつかのクリックすなわちジャンプを実現するには、ストッパ３９の中心間の距離に基づいて、ストッパに至る前に例えば多くて２または３クリックが得られるように、そしてストッパに当たるのではなく、照射時間を操作することによって、１または２クリックが得られるようにすることが可能である。

第２のモードでは、第１のモードにおけるよりも、顕著に長い時間が経過するまで照射が維持されて、基板に向かう熱流が安定し、中央領域と基板６０のそれぞれの温度が互いに近くなって、これにより、アクチュエータは再び作用位置に設定される。

上記の加熱モードの両方を用いる別の実施形態では、間接加熱を実施し、この場合、集中させた光線で、例えばリングであるバッファ部材を加熱し、このバッファ部材の前方を、テン輪の振動時にアクチュエータ３の中央領域が通過する。

他の実施形態では、加熱対象の中央領域に固定して接続されたオンボードリングを使用し、これによれば、加熱スポットを動かないまま維持することが可能となる。

また、可動加熱を、より大きな表面積を有する中央領域に挿入および一体化されたターゲットバッファと組み合わせて用いることも可能であり、光スポットとの、より効率的な熱結合が可能となる。

加熱領域６は、好ましくは、ネック部３４、３５、３６と、第１の硬質部４５および第２の硬質部４６と、アーム３１１、３１２の内側端部と、を含む中央部を少なくともカバーするように構成される。熱の作用によって、温度が上昇すると、アーム３１１、３１２は伸長し、圧縮応力を受ける。３つのネック部３４、３５、３６によって、このシステムは、ハイパースタティックではなく、コンプライアンスを有する。

ネック部３４、３５、３６の少なくとも１つの、他のネック部に対するわずかな横オフセット量「ｄｙ」は、少なくとも第１の硬質部４５または第２の硬質部４６を基板６０の平面に対して平行に回転動させるために十分なものである。回転動を開始させるには、ほんのわずかな差で十分であり、このときの回転動と、加熱領域６における加熱および温度との相関によって、図９に示すように、サオ３７の回転角度θおよび第１の能動コハゼ３８の変位ＣＣの準線形的な調整が可能である。図１０は、ネック部における応力Ｓは、温度の関数としての略線形曲線と略同じ規則に従うことを示している。

図９は、加熱領域６を、図５の実施形態に対応する図示の例では２６０℃に近い温度にすることで、２３μｍの変位ＣＣの振幅が得られることを示しており、これは、効果的には同じくシリコンで構成される歯車／慣性ブロック２０の歯部２１を駆動するのに十分である。図９のプロファイルの顕著な傾きにより、必要に応じて、図１０の応力度を監視しつつ、第１の能動コハゼ３８の移動量を増加させることができるものと理解される。

図３および５は、細部の実現が異なる同じ実施形態を示している。これら２つの実施形態は、共通の特徴を有し、それは、ほとんど即時に第２の硬質部４６を回転させることにあり、第２の硬質部は、略横断方向Ｙに延出するサオ３７を保持しており、その遠位端３８０に、第１の能動コハゼ３８を保持している。

図３の実施形態は、第１の能動コハゼ３８の移動量を、歯車／慣性ブロック２０の歯部２１の歯の１．５本分に制限するように構成されたサオストッパ３９を備える。

この図３の実施形態では、熱機械アクチュエータ３０は、衝撃を受けたときのサオ３７の動きを防ぐとともに、振動周波数および歩度調整の変化を防ぐ目的で、少なくとも１つの釣合い錘４０を、サオ３７の略延長線上、かつアンカ要素３２１、３２２で規定されるラインに関して反対側に、保持している。

図３および５の２つの実施形態では、中央領域は、２つのアーム３１１、３１２の内側端部を含み、２つのアームは、その外側端部でアンカ要素３２１、３２２に直接接続されており、それらの内側端部は、中央領域がエネルギーの流れを受けるときの高温領域からアームの基部３２０およびアンカ要素３２１、３２２を絶縁するように構成された凹部３３によって、隔離されている。中央領域は、さらにサオ３７の内側端部を含み、この内側端部は、中央領域がエネルギーの流れを受けるときの高温領域から遠位端３８０を絶縁するように構成されたキャビティによって、遠位端３８０から隔離されている。

中央領域は、さらに釣合い錘４０の内側端部を含むことがあり、この内側端部は、その遠位端を高温領域から絶縁するように構成されたキャビティによって、遠位端から隔離されている。

図３に示すように、基板６０は、効果的には、少なくとも１つのキャビティ４１を有し、これは、縁部４２によって画定されて、中央領域がエネルギーの流れを受けるときの高温領域からアンカ要素３２１、３２２および歯車／慣性ブロック２０をそれぞれ絶縁するように構成されている。

図１は、約１０ｍｍの直径を有する装備付きテン輪７０の概観であり、これは、２つのマイクロシステム１０を保持しており、それぞれのマイクロシステムは、約１．６ｍｍの長さの辺を有するＳＯＩチップを基に構成されて、約０．７ｍｍの直径すなわち約４ｍｍの作用半径Ｒｍを有する歯車／慣性ブロック２０を保持しており、加熱領域６は、それぞれ約０．８ｍｍの直径を有する円板状である。

図１１〜図１３は、単結晶シリコンＭＥＭＳ技術で構成された図３のＳ字型設計のマイクロシステム１０の実施形態に関するものであり、非限定的な数値例では、長さＬが１．０ｍｍ、２つの連続するネック部の湾曲領域間の距離を特徴付けるロッド長ｗが０．１００ｍｍ、膨張係数が２．１０^-6／℃、コハゼの回転半径Ｒが０．８ｍｍである。図１１は、ノミナルポイントｄＴ＝２５０℃辺りで、移動量５７μｍが１クリックに相当することを示している。この簡単な数値例では、ネック部３４、３５、３６の剛性は、非常に低く、基板６０の剛性と比較して、少なくとも百倍低い。

マイクロシステム１０の寸法は、好ましくは、以下の原則に従って設定される。
− オフセット量ｄｙは、歯車／慣性ブロック２０の摩擦によって決まる動き始めるときの十分な力を与えるためには、十分に大きくなければならないが、一方、オフセット量ｄｙは、可能な限り小さくなければならない。
− 可撓性要素がボールジョイントとして機能するためには、第１の硬質部４５および第２の硬質部４６の横断方向Ｙの高さｈは、ネック部３４、３５、３６によって形成される可撓性要素の横断方向Ｙの高さｅに対して、十分に大きくなければならない。
− ボールジョイントを形成するネック部３４、３５、３６の比ｌｒ／ｅは、過剰な材料応力を発生させないためには、十分に高くなければならないが、一方、特に衝撃を受けた場合に横断方向Ｙに沿った不安定平衡を生じさせないためには、十分に低くなければならない。
− 比Ｌ／ｗが高ければ、所与の温度差に対して、サオ３７の回転量、ひいては移動量ＣＣは大きくなる。
− 距離Ｒが大きければ、それに応じて、所与の回転角度に対する移動量は増加し、遠位端３８０における力は、それに応じて減少する。
− アクチュエータの厚さｔは、長さＬのいずれの部分も垂直方向に座屈しないためには、十分に大きくなければならない。ボールジョイントとして機能するネック部３４、３５、３６が、基板６０に平行な平面における効果的なコンプライアンスを有するとともに、その平面以外では剛性に維持されるためには、比ｔ／ｅの値は、少なくとも３であるべきである。

従って、具体的かつ非限定的な例では、図５に示すように、ネック部３４、３５、３６は、その長さ「ｌｒ」がネック部の厚さ「ｅ」の約４倍である直線部を有し、サオ３７の回転を開始させるために設けられるオフセット量「ｄｙ」は、ネック部の厚さ「ｅ」の約２倍である。第１の硬質部４５および第２の硬質部４６の高さ「ｈ」は、好ましくは、スイベル長「ｌｒ」の２倍〜３倍の間であって、ロッド長「ｗ」の半分に近い。

アクチュエータ３０の３つの端部は、約２０℃の周囲温度に維持される。加熱領域６は、１００〜４００℃の間の温度にすることができ、上限値は、いずれの構成部品も損傷させることがないように、時計１の材料に応じて、特にケース９０の材料に応じて選択される。この予防策は、加熱領域６を最小限の表面積に制限する理由の説明にもなる。

図６〜図８は、図５に示すようなアクチュエータにおける変形を示しており、図９および図１０は、加熱領域６の温度の関数として、サオ３７の遠位端３８０の変位ＣＣ、およびネック部３４、３５、３６における応力Ｓの分布を、それぞれ示している。

図１２および図１３は、単結晶シリコンで構成された歯車／慣性ブロック２０によって実施される歩度調整の計算に関するものであり、その非限定的な数値例を以下で提示する。外径は０．７ｍｍであり、中心から偏心アンバランス部のフラットまでの距離ｘ１＝０．１ｍｍ、厚さ１５０μｍ、（Ｓｉ）の密度２３３０ｋｇ／ｍ³、錘の作用半径Ｒｍ＝４ｍｍ、コハゼ車２１の歯数Ｚ＝５０である。

従って、この具体例では、１段＝４４μｍ、歯車の１回転＝１３．６秒／日、１５段階＝アクチュエータのクリック数に相当する１つの線形調整領域＝１１秒／日、１クリック＝０．７４秒／日、が得られる。

図１３は、秒／日で表す歩度の変化を、線形範囲の上限と下限である＋５．５２秒／日と−５．５２秒／日の間で、歯車／慣性ブロック２０の回転角度αの関数として示している。

このマイクロシステムには、ＭＥＭＳ製造技術または類似の技術がよく適しているが、ただし限定するものではなく、例えば、レーザ切断、ウォータジェット切断、放電加工、または他の方法を用いるなど、当業者に周知の他の任意の適切な技術および／または材料が、製造のために想定できる。

本発明について、この場合、同じ方向に作用する２つのマイクロシステム１０を用いて記載しているが、装備付きテン輪７０は、必要に応じて、互いに反対方向に慣性補正を実施するマイクロシステム１０を装備することが可能であることは明らかである。

本発明によるシステムは、慣性の変更について可逆的であり、それは、歯車／慣性ブロック２０を中断なく回転させると、慣性は、図１３に示すような正弦関数に従って変化するからであり、これにより、双方向であることを回避している。この場合の唯一の欠点は、コハゼの駆動方向において慣性増加フェーズにあるときに、より低い慣性を実現するためには、完全な１回転弱にわたる回転が、正しい値を実現するのに必要となることである。

具体的な実施形態では、マイクロシステム１０は、断熱キャビティ４１の周囲に基板６０によって形成される第１のレベルと、第２のレベルと、を有し、第２のレベルは、少なくとも１つの歯車／慣性ブロック２０、少なくとも１つのアクチュエータ３０、少なくとも１つの第１の能動コハゼ３８、および歯部２１を所定位置に留めるための少なくとも１つの手段２５（または第２の受動コハゼ）、を含んでいる。

効果的な実施形態では、時計の使用者が移動している外部環境によって、基板６０と熱機械アクチュエータ３０が、時計の内部で同じ温度変化を受けたときに、調整が狂うことがないように、基板６０と熱機械アクチュエータ３０は、同じ材料で構成される。

具体的な実施形態では、マイクロシステム１０は、一体に形成されて、その中に含まれる可動部材の下方にキャビティを備える。

具体的な実施形態では、マイクロシステム１０は、全体がシリコンおよび／または酸化シリコンで構成される。また、ＤＬＣまたは他のマイクロメカニカル材料で構成することもできる。

具体的な実施形態では、第１のレベルは「ハンドル」層であり、第２のレベルは「デバイス」層である。

様々に異なる実施形態を構成することができ、具体的には、全体がシリコンのマイクロシステム１０は、特に、コハゼ２５および３８の下方にキャビティを有して、これらをＭＥＭＳ技術で形成することが可能であり、効果的には、フレキシブルピボット上に歯車／慣性ブロック２０を有し、この後者の場合の角度移動量は明らかに制限される。

図３および図５の実施形態では、２つのシリコン層を有するシリコン・オン・インシュレータ（ＳＯＩ）ウェーハを使用し、例えば、基板６０を形成するハンドル基板の厚さは５００μｍ、デバイス層（アクチュエータ３０、歯車２０、コハゼ２５および３８、ストッパ３９）の厚さは１５０μｍである。

一実施形態では、例えば３００μｍの厚さの単層機構を構成することができ、これは、慣性要素のフレキシブルピボットと、断熱のために慎重に位置決めされた凹部と、を備える。この実施形態では、角度移動量が制限されるので、最大値に達したときのゼロ復帰機構を追加する必要がある。

また、着用時の、最大で５００ｇまでの衝撃で生じる力、応力、および／またはトルクについても、これによってシステムの調整が狂ってはならず、考慮されるべきであり、その場合、ランダムな加速度に起因する誤調整を防ぐためにアクチュエータ３０によって提供される力が最小限であることが要求される。

本発明は、さらに、少なくとも１つのかかるマイクロシステム１０を有する時計用振動子１００に関する。少なくとも１つのマイクロシステム１０の基板６０は、振動子の構成部品に対して、振動子の歩度を補正する目的で、その慣性を調整するために、装着される。

より具体的には、振動子１００は、装備付きテン輪７０を有し、これは、弾性復帰手段に接続される裸テン輪７、または反発場および／もしくは吸引場の少なくとも１つにさらされる裸テン輪７によって形成されて、裸テン輪７は、少なくとも１つのかかるマイクロシステム１０を保持しているか、または少なくとも１つのかかるマイクロシステム１０と一体である。

本発明は、さらに、少なくとも１つのかかる振動子１００を有する時計ムーブメント２００に関する。ムーブメント２００は、いくつかの所定の波長範囲に対して透明な少なくとも１つのガラス２を有し、これは、少なくとも１つのかかるマイクロシステム１０の調整のための光線３を通過させる。

本発明は、さらに、少なくとも１つのかかるマイクロシステム１０、または１つのかかる振動子１００を備えた、時計１に関する。この時計１は、いくつかの所定の波長範囲に対して透明な少なくとも１つのガラス２を有し、これは、かかるマイクロシステム１０の調整のための光線３を通過させ、これにより、時刻、日付、タイムゾーンなどのような、時計の機能を設定するための機械的部品を制御する。時計１に含まれる少なくとも１つのマイクロシステム１０における制御部材は、マイクロシステム１０が適切な光照射を受けたときに、時計１の時間関連機能を設定するための機械的部品を制御するように構成されている。

具体的な応用では、時計１を設定するための唯一の手段が、これらのマイクロシステム１０であり、調整は、時計を磁場または静電場にさらすことなく、単に少なくとも１つの光線からのエネルギーを照射することによって、非接触で実現される。

本発明は、さらに、時計用振動子の歩度を設定するための装置１０００であって、少なくとも１つのかかる時計１を含む装置に関する。この装置１０００は、集光器４に向けた光線３の放射を制御するように構成された制御手段３００を備え、集光器は、光線を時計１の照射領域５へとガラス２を通して誘導し、その照射領域５内で、加熱領域６を、熱機械アクチュエータ３０の中央領域に重ねることが可能であり、これによって、集中させた光エネルギーが加熱領域６に照射されると、少なくとも１つの歯車／慣性ブロック２０の動きが開始する。

より具体的には、この装置１０００は、時計１のケース９０上またはそれに近接して配置されるように構成された歩度監視手段４００と、同ケース９０上またはそれに近接して配置されるように構成された熱監視手段５００と、を備え、制御手段３００は、歩度の変化が基準値と異なる間は、必要に応じて何度も、ケース９０の温度が基準値よりも低いときにのみ光線３を発生させるように構成されるとともに、加熱領域６が熱機械アクチュエータ３０の中央領域に重ねられているときにのみ光線３を発生させるように構成されている。実際には、このシステムは、インパルシブシステムであり、ケース９０内部の温度を制限するために、光線の生成は連続的ではないものと理解される。

要するに、本発明は、ケースを開ける必要なく、極めて高精度で歩度の調整を可能とするものである。また、この調整は、深く考えられたものであり、従って再現性がある。

本発明の好ましい用途は、振動子を設定するためのものであるが、他の時計用途にも適用可能であり、密閉さらには完全密封された時計において調整を実施することが可能であるため、ダイバーズウォッチなどのような場合に特に効果的であり、従って、その場合、ケースを突き抜けるプッシュボタンまたは制御手段を用いることなく、時刻または日付を設定するための調整が簡単に実現できる。

１ 時計
２ 透明裏蓋（ケース裏ガラス）
３ 光線
４ 集光手段（集光器）
５ 照射領域
６ 加熱領域
７ 裸テン輪
１０ マイクロシステム
２０ 歯車／慣性ブロック
２１ 歯部（コハゼ歯部）
２２ 偏心アンバランス部
２３ 重心（慣性中心）
２４ 固定軸
２５ 第２の受動コハゼ
３０ 熱機械アクチュエータ
３１ 長手アーム
３３ 凹部
３４ 第１のネック部（ボールジョイント型部分）
３５ 第２のネック部（ボールジョイント型部分）
３６ 第３のネック部（ボールジョイント型部分）
３７ サオ
３８ 第１の能動コハゼ
３９ サオストッパ
４０ 釣合い錘
４１ 断熱キャビティ
４２ キャビティの縁部
４５ 第１の硬質部（中間錘）
４６ 第２の硬質部（中間錘）
５０ 酸化物層
６０ 基板
６１ 基板の孔
７０ 装備付きテン輪
９０ 時計ケース
１００ 時計用振動子
２００ 時計ムーブメント（機械式ムーブメント）
３００ 可動部品
３００ 制御手段
３１１ 第１のアーム（硬質錘）
３１２ 第２のアーム（硬質錘）
３２０ アームの遠位端（アームの基部）
３２１ アンカ要素
３２２ アンカ要素
３８０ 熱機械アクチュエータ（サオ）の遠位端
４００ 歩度監視手段
５００ 熱監視手段
１０００ 調整装置
ｄＴ ノミナルポイント
ｄｙ 横オフセット量
ＣＣ 熱機械アクチュエータ（サオ）の遠位端の変位
Ｄ テン真軸
Ｄ２０ 副軸
ｅ ネック部の横断方向Ｙの厚さ
ｈ 硬質部の横断方向Ｙの高さ
ｌｒ ネック部の直線部の長さ（スイベル長）
Ｌ マイクロシステムの長さ
Ｒ コハゼの回転半径
Ｒｍ 錘の作用半径
Ｓ ネック部における応力
ｔ アクチュエータの厚さ
ｗ ロッド長
ｘ１ 歯車／慣性ブロックの中心から偏心アンバランス部のフラットまでの距離
Ｘ 熱機械アクチュエータの第１の長手方向
Ｙ 熱機械アクチュエータの横断方向
α 歯車／慣性ブロックの回転角度
θ サオの回転角度

Claims (28)

1. 時計用振動子の歩度を設定するためのマイクロシステム（１０）であって、当該マイクロシステムは、当該マイクロシステム（１０）に含まれる基板（６０）に対して回転するように構成された少なくとも１つの歯車／慣性ブロック（２０）を備え、前記歯車／慣性ブロック（２０）は、偏心アンバランス部（２２）を有するとともに、歯部（２１）を有し、当該マイクロシステム（１０）は、制御車、レバー、またはコハゼ車を駆動するように構成されたコハゼによって形成される少なくとも第１の能動コハゼ（３８）を駆動するように構成された少なくとも１つのアクチュエータを備え、前記能動コハゼ（３８）は、前記歯部（２１）を駆動するように構成されており、当該マイクロシステム（１０）は、前記歯部（２１）を所定位置に留めるための少なくとも１つの手段を備える、マイクロシステムにおいて、
   少なくとも１つの前記アクチュエータは、光学的に制御される熱機械アクチュエータ（３０）であって、光エネルギーの流れを、該熱機械アクチュエータ（３０）に含まれる制御部材の変位に変換するように構成されており、前記制御部材は、前記第１の能動コハゼ（３８）を保持しているか、または前記第１の能動コハゼ（３８）の動きを直接制御する、ことを特徴とするマイクロシステム。
2. 前記歯部（２１）を所定位置に留めるための前記少なくとも１つの手段は、これに含まれる弾性復帰手段によって前記歯部（２１）に向けて戻されるように構成された第２のコハゼ（２５）であることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
3. 前記少なくとも１つの第１の能動コハゼ（３８）は、前記歯部（２１）に対して接線方向に取り付けられたコハゼであって、これに含まれる弾性復帰手段によって前記歯部（２１）に向けて戻される少なくとも１つの歯を有する、ことを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
4. 前記熱機械アクチュエータ（３０）は、実質的に第１の長手方向（Ｘ）に、交互に連なる硬質錘（３１１，４５，４６，３１２）と可撓性ネック部（３４，３５，３６）で構成された長手ラインを有し、これは、前記基板（６０）上のアンカ要素（３２１，３２２）の間に保持されていることと、
   前記ネック部（３４，３５，３６）を少なくとも含む前記熱機械アクチュエータ（３０）の中央領域は、加熱領域（６）に重なるように配置されて、そこで、前記中央領域は、光エネルギーの照射を受けることが可能であり、該照射により、前記アンカ要素（３２１，３２２）の間で前記長手ラインを圧縮すること、および、前記ネック部（３４，３５，３６）の少なくとも１つを屈曲させることが可能であること、を特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
5. 前記可撓性ネック部（３４，３５，３６）の少なくとも１つは、他の前記ネック部（３４，３５，３６）に対して、前記長手方向（Ｘ）に直交する横断方向（Ｙ）において横オフセット量（ｄｙ）でオフセットしており、前記ネック部（３４，３５，３６）の少なくとも１つの屈曲動は、前記アンカ要素（３２１，３２２）のいずれかに直接接続されていない少なくとも１つの中間錘（４５，４６）の、前記基板（６０）に平行な平面回転動に変換される、ことを特徴とする、請求項４に記載のマイクロシステム（１０）。
6. 回転駆動可能な前記中間錘（４５，４６）は、実質的に前記横断方向（Ｙ）に延出するサオ（３７）を保持しており、これは前記制御部材を形成する遠位端（３８０）を有する、ことを特徴とする、請求項５に記載のマイクロシステム（１０）。
7. 前記サオ（３７）の回転移動量は、該サオを囲むサオストッパ（３９）によって制限されることを特徴とする、請求項６に記載のマイクロシステム（１０）。
8. 前記熱機械アクチュエータ（３０）は、衝撃を受けたときの前記サオ（３７）の動きを防ぐ目的で、少なくとも１つの釣合い錘（４０）を、前記サオ（３７）の実質的に延長線上、かつ前記アンカ要素（３２１，３２２）で規定されるラインに関して反対側に、保持していることを特徴とする、請求項６に記載のマイクロシステム（１０）。
9. 前記中央領域は、２つのアーム（３１１，３１２）の内側端部を含み、該２つのアームは、その外側端部で前記アンカ要素（３２１，３２２）に直接接続されており、前記内側端部は、前記中央領域が光エネルギーの流れを受けるときの高温領域から前記アンカ要素（３２１，３２２）を絶縁するように構成された凹部（３３）によって、隔離されている、ことを特徴とする、請求項４に記載のマイクロシステム（１０）。
10. 前記中央領域は、前記サオ（３７）の内側端部を含み、該内側端部は、前記中央領域が光エネルギーの流れを受けるときの高温領域から前記遠位端（３８０）を絶縁するように構成されたキャビティによって、前記遠位端（３８０）から隔離されている、ことを特徴とする、請求項６に記載のマイクロシステム（１０）。
11. 前記中央領域は、前記釣合い錘の内側端部を含み、該内側端部は、前記中央領域が光エネルギーの流れを受けるときの高温領域から前記釣合い錘の遠位端を絶縁するように構成されたキャビティによって、前記遠位端から隔離されている、ことを特徴とする、請求項８に記載のマイクロシステム（１０）。
12. 前記基板（６０）は、少なくとも１つのキャビティ（４１）を有し、これは、前記中央領域が光エネルギーの流れを受けるときに、前記基板および前記少なくとも１つの歯車／慣性ブロック（２０）から高温領域を絶縁するように構成されている、ことを特徴とする、請求項４に記載のマイクロシステム（１０）。
13. 前記基板（６０）と前記熱機械アクチュエータ（３０）は、前記基板（６０）と前記熱機械アクチュエータ（３０）が時計の内部で同じ温度変化を受けたときに調整が狂うことがないように、同じ材料で構成されることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
14. 少なくとも１つの前記歯車／慣性ブロック（２０）は、前記基板（６０）に固定された固定軸（２４）または前記基板（６０）に組み込まれた固定軸（２４）の周りに回転するように取り付けられていることを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
15. 少なくとも１つの前記歯車／慣性ブロック（２０）は、前記基板（６０）に組み込まれて、前記歯車／慣性ブロックは、一体連接構造または可撓性ベアリングによって保持され、前記基板（６０）に対して回転する、ことを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
16. 当該マイクロシステム（１０）は、前記基板（６０）によって形成される第１のレベルと、第２のレベルと、を有し、前記第２のレベルは、少なくとも１つの前記歯車／慣性ブロック（２０）、少なくとも１つの前記アクチュエータ、少なくとも１つの前記第１の能動コハゼ（３８）、前記歯部（２１）を所定位置に留めるための少なくとも１つの前記手段、を含む、ことを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
17. 当該マイクロシステム（１０）は、一体に形成されて、その中に含まれる可動部材の下方にキャビティを備える、ことを特徴とする、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）。
18. 当該マイクロシステムは、全体がシリコンおよび／または酸化シリコンで構成されることを特徴とする、請求項１７に記載のマイクロシステム（１０）。
19. 前記第１のレベルはハンドル層であり、前記第２のレベルはデバイス層である、ことを特徴とする、請求項１６に記載のマイクロシステム（１０）。
20. 請求項１に記載の少なくとも１つのマイクロシステム（１０）を有する時計用振動子（１００）であって、
    前記少なくとも１つのマイクロシステム（１０）の前記基板（６０）は、当該振動子の構成部品に対して、当該振動子の歩度を補正する目的で、その慣性を調整するために、装着されている、ことを特徴とする振動子。
21. 当該振動子は、装備付きテン輪（７０）を有し、これは、弾性復帰手段に接続される裸テン輪（７）、または反発場および／もしくは吸引場の少なくとも１つにさらされる裸テン輪（７）によって形成されており、前記裸テン輪（７）は、少なくとも１つの前記マイクロシステム（１０）を保持しているか、または少なくとも１つの前記マイクロシステム（１０）と一体である、ことを特徴とする、請求項２０に記載の振動子（１００）。
22. 請求項２０に記載の少なくとも１つの振動子（１００）を有する時計ムーブメント（２００）であって、
    当該ムーブメント（２００）は、所定の波長範囲に対して透明な少なくとも１つのガラス（２）を有し、これは、前記マイクロシステム（１０）の設定のための光線（３）を通過させる、ことを特徴とする時計ムーブメント。
23. 請求項１に記載の少なくとも１つのマイクロシステム（１０）、または請求項２０に記載の少なくとも１つの振動子（１００）を備えた、時計（１）であって、
    当該時計（１）は、所定の波長範囲に対して透明な少なくとも１つのガラス（２）を有し、これは、少なくとも１つの前記マイクロシステム（１０）の設定のための光線（３）を通過させる、ことを特徴とする時計。
24. 当該時計（１）に含まれる少なくとも１つの前記マイクロシステム（１０）において、前記制御部材は、前記マイクロシステム（１０）が適切な光照射を受けたときに、当該時計（１）の時間関連機能を設定するための機械的部品を制御するように構成されていることを特徴とする、請求項２３に記載の時計（１）。
25. 当該時計に含まれる時間関連機能を設定するための唯一の手段は、少なくとも１つの前記マイクロシステム（１０）によって形成されており、これの前記制御部材は、前記マイクロシステム（１０）が適切な光照射を受けたときに、当該時計（１）の時間関連機能を設定するための機械的部品を制御するように構成されている、ことを特徴とする、請求項２３に記載の時計（１）。
26. 時計用振動子の歩度を設定するための装置（１０００）であって、請求項１に記載のマイクロシステム（１０）を備えた請求項２３に記載の少なくとも１つの時計（１）を含む装置において、
    当該装置（１０００）は、集光器（４）に向けた光線（３）の放射を制御するように構成された制御手段（３００）を備え、前記集光器は、光線を前記時計（１）の照射領域（５）へと前記ガラス（２）を通して誘導し、前記照射領域（５）内で、加熱領域（６）を、前記熱機械アクチュエータ（３０）の中央領域に重ねることが可能であり、これによって、集中させた光エネルギーが前記加熱領域（６）に照射されると、少なくとも１つの前記歯車／慣性ブロック（２０）の動きが開始する、ことを特徴とする装置。
27. 当該装置（１０００）は、前記時計（１）に含まれるケース（９０）上またはそれに近接して配置されるように構成された歩度監視手段（４００）と、前記ケース（９０）上またはそれに近接して配置されるように構成された熱監視手段（５００）と、を備えることと、
    前記制御手段（３００）は、歩度の変化が基準値よりも低くなるまで、必要に応じて何度も、前記ケース（９０）の温度が基準値よりも低いときにのみ前記光線（３）を発生させるように構成されるとともに、前記加熱領域（６）が前記熱機械アクチュエータ（３０）の前記中央領域に重ねられているときにのみ前記光線（３）を発生させるように構成されていること、を特徴とする、請求項２６に記載の装置（１０００）。
28. 当該装置（１０００）は、その振動中の前記振動子（１００）の構成部品に支持された少なくとも１つの前記マイクロシステム（１０）の動きに追従して、それを標的とするように前記光線（３）を制御するために、同期手段を備えることを特徴とする、請求項２６または２７に記載の装置（１０００）。

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