JP2017019203A

JP2017019203A - 研磨パッド用の材料精製システム

Info

Publication number: JP2017019203A
Application number: JP2015138946A
Authority: JP
Inventors: 克己川瀬; Katsumi Kawase; 好胤繁田; Yoshitane Shigeta; 雅仁山越; Masahito Yamakoshi
Original assignee: Nitta Haas Inc
Current assignee: Nitta DuPont Inc
Priority date: 2015-07-10
Filing date: 2015-07-10
Publication date: 2017-01-26
Also published as: US20190077049A1; WO2017010428A1; KR20180026672A; TW201707915A

Abstract

【課題】本発明は、均質性の高い材料を精製する研磨パッド用の材料精製システムを提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムは、投入された固形の材料を溶融する溶融装置と、該溶融装置で溶融した材料を均質化する均質化装置とを備え、該均質化装置は、均質化可能な材料の処理量が前記溶融装置における溶融可能な材料の処理量よりも多く構成され、且つ前記溶融装置で溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される。【選択図】図１

Description

本発明は、研磨パッドを製造するための材料を精製する研磨パッド用の材料精製システムに関する。

従来から、研磨パッドは、固形の材料を溶融することによって精製した液体の材料を用いて製造されている（例えば、特許文献１参照）。そのため、研磨パッドを製造するには、固形の材料から液体の材料を精製する研磨パッド用の材料精製システム（以下、材料精製システムという）が用いられている。

材料精製システムは、例えば、固形の材料が投入される投入部と、該投入部に投入された固形の材料を溶融する溶融部と、該溶融部で溶融した材料を吐出する吐出部と、を備える。

そのため、材料精製システムでは、溶融部によって固体から液体に変化させた材料が、研磨パッドを製造するための材料として吐出部から吐出される。

ところで、投入部に投入される固形の材料は、例えば、大きさや、成分の分布等の性質が個々に異なるため、投入された固形の材料に応じて、吐出部から吐出される材料の溶け具合や混ざり具合が変化する。従って、従来の材料精製システムで精製した材料を用いて研磨パッドを製造すると、製造した研磨パッドの性質がばらつくことがあった。

特開２００８−１３７３５５号公報

そこで、本発明は、斯かる実情に鑑み、均質性の高い材料を精製する研磨パッド用の材料精製システムを提供することを課題とする。

本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムは、
投入された固形の材料を溶融する溶融装置と、
該溶融装置で溶融した材料を均質化する均質化装置とを備え、
該均質化装置は、均質化可能な材料の処理量が前記溶融装置における溶融可能な材料の処理量よりも多く構成され、且つ前記溶融装置で溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される。

かかる構成によれば、投入された固形の材料を溶融する溶融装置と、該溶融装置で溶融した材料を均質化する均質化装置とを備えるため、溶融装置で固体から液体に変化させた材料が均質化装置で撹拌されることによって均質化される。

さらに、均質化装置における均質化可能な材料の処理量が溶融装置における溶融可能な材料の処理量よりも多いため、先に溶融させた材料を均質化装置で撹拌しつつ、後に溶融させた材料を均質化装置に供給することによって、双方の材料を均質化装置で撹拌して混ぜ合わすことができる。このように、前記材料精製システムは、先に溶融させた材料の質と、後に溶融させた材料の質とを均質化することによって、より均質性の高い材料を精製することができる。

本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムの一態様として、
前記溶融装置は、溶融した材料を撹拌して均質化するように構成してもよい。

このようにすれば、溶融装置において、溶融した材料全体が撹拌されて均質化される。そのため、先に溶融させた材料と、後に溶融させた材料とは、それぞれが溶融装置で均質化された状態において、均質化装置で撹拌されて混ぜ合わされる。従って、前記研磨パッド用の材料精製システムは、より均質性の高い材料を精製することができる。

本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムの他態様として、
前記溶融装置及び前記均質化装置の少なくとも何れか一方は、溶融した材料を循環させて撹拌する循環路を有するようにしてもよい。

このようにすれば、溶融装置及び均質化装置の少なくとも何れか一方の循環路において、溶融した材料が循環するため、循環路内の材料全体が撹拌されることによって均質化される。従って、前記研磨パッド用の材料精製システムは、より均質性の高い材料を精製することができる。

本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムの別の態様として、
前記溶融装置及び前記均質化装置の少なくとも何れか一方は、溶融した材料を濾過する濾過装置を備えていてもよい。

このようにすれば、溶融した材料が濾過装置によって濾過されるため、純度の高い材料が精製される。

本発明に係る研磨パッド用の材料精製システムのさらに別の態様として、
前記溶融装置は、前記均質化装置に流体的に接続される供給管を備えていてもよい。

このようにすれば、溶融した材料は、外気に晒されることなく溶融装置から均質化装置に供給できるため、溶融した材料への異物の混入が防止される。従って、前記研磨パッド用の材料精製システムは、より純度の高い材料を精製できる。

以上のように、本発明の研磨パッド用の材料精製システムによれば、均質性の高い材料を精製できるという優れた効果を奏し得る。

図１は、本発明の一実施形態に係る研磨パッド用の材料精製システムの概要図である。図２は、同実施形態に係る研磨パッド用の材料精製システムの説明図であって、溶融装置に投入した材料を溶融している状態の説明図である。図３は、同実施形態に係る研磨パッド用の材料精製システムの説明図であって、溶融装置で溶融した材料を均質化装置によって均質化している状態の説明図である。図４は、同実施形態に係る研磨パッド用の材料精製システムの説明図であって、吐出装置から液体の材料を吐出している状態の説明図である。

以下、本発明の一実施形態にかかる研磨パッド用の材料精製システム（以下、単に材料精製システムという）について、添付図面を参照して説明する。

材料精製システムは、研磨パッドを製造するための材料を精製する。本実施形態に係る材料精製システムは、固形の材料を溶融することによって液体の材料を精製する。

より具体的に説明する。図１に示すように、材料精製システム１は、投入された固形の材料を溶融する溶融装置２と、該溶融装置２で溶融した材料を均質化する均質化装置３とを備える。また、材料精製システム１は、均質化装置３によって均質化された液体の材料を吐出する吐出装置４を備える。そして、材料精製システム１は、溶融装置２に固形の材料を投入するための投入装置５をさらに備える。なお、本実施形態では、固形の材料を固形材料とし、溶融して固体から液体に変化した材料を液体材料として以下の説明を行う場合がある。

まず、投入装置５について説明する。投入装置５は、固形材料を供給するための供給口、及び供給された固形材料を溶融装置２（溶融装置２の後述する投入部２０）に排出する排出口を有するホッパー５０を有する。また、投入装置５は、ホッパー５０の排出口と、溶融装置２との間に配置される開閉弁５１を有する。そして、投入装置５は、固形材料が貯蔵される貯蔵タンク５２であって、管部材５３を介してホッパー５０の供給口に接続される貯蔵タンク５２を有する。

投入装置５では、上述のように、開閉弁５１がホッパー５０の排出口と投入部２０との間に配置される。そのため、投入装置５では、開閉弁５１が開かれると、ホッパー５０から溶融装置２への固形材料の投入が許容され、開閉弁５１が閉じられると、ホッパー５０から溶融装置２への固形材料の投入が規制される。

溶融装置２は、固形材料が投入される投入部２０と、該投入部２０に投入された固形材料を溶融する溶融部２１とを備える。また、溶融装置２は、溶融部２１によって溶融させた材料を貯留する貯留部２２を有する。そして、溶融装置２は、溶融部２１によって溶融した材料を流通させる流通系２３を有する。さらに、溶融装置２は、貯留部２２及び流通系２３が内部に配置される筐体２４と、該筺体２４の内部の温度を所定の温度（溶融した材料を液体の状態で維持できる温度）で保つための保温部２５とを備える。

投入部２０は、円筒状である。投入部２０の一方の開口端には、溶融部２１に接続される。そのため、本実施形態に係る投入部２０では、開閉弁５１を介してホッパー５０内から排出された固形材料が該投入部２０の他方の開口端から投入される。

投入部２０には、熱溶融性を有する材料が投入される。例えば、本実施形態に係る投入部２０には、４，４’−メチレンビス（ｏ−クロロアニリン）（いわゆる、ＭＯＣＡ）が材料として投入される。なお、投入部２０には、ＭＯＣＡを含む材料や、４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ｍ−フェニレンジアミン、ジエチレントルエンジアミン（いわゆるＤＥＴＤＡ）、トリメチロールプロパン等の材料が投入されてもよい。

溶融部２１は、投入部２０に投入された固形材料を加熱することによって、該材料を固体から液体に変化させる。そして、貯留部２２には、溶融部２１によって固体から液体に変化させた材料が貯留される。

流通系２３は、貯留部２２に対して流体的に接続される流通路２３０を有する。また、流通系２３は、流通路２３０に接続され且つ流通路２３０を流通する材料を濾過する濾過装置２３１を有する。さらに、流通系２３は、該流通路２３０に接続されるストレーナ２３２と、該流通路２３０に接続され且つストレーナ２３２よりも下流に配置される送出ポンプ２３３と、を有する。

流通路２３０は、貯留部２２内の液体材料が流入する送出管２３０ａと、該送出管２３０ａ及び貯留部２２のそれぞれに流体的に接続される接続管２３０ｂと、を有する。また、流通路２３０は、送出管２３０ａと均質化装置３（均質化装置３の後述する貯留槽３０）とに流体的に接続される供給管２３０ｃを有する。

本実施形態に係る流通系２３は、送出管２３０ａと接続管２３０ｂとを連通させた状態と、送出管２３０ａと供給管２３０ｃとを連通させた状態とに切替可能な供給弁２３４をさらに有する。

そのため、供給弁２３４が送出管２３０ａと接続管２３０ｂとを連通させた状態に切り替えられると、送出管２３０ａと、接続管２３０ｂと、貯留部２２と、が互いに連通することによって、溶融装置２内で液体材料を循環させる循環路としての溶融路が形成される。そして、送出管２３０ａから供給管２３０ｃへの液体材料の流通（すなわち、均質化装置３に対する液体材料の供給）が規制される。

一方、供給弁２３４が送出管２３０ａと供給管２３０ｃとを連通させた状態に切り替えられると、送出管２３０ａから供給管２３０ｃへの液体材料の流通（均質化装置３に対する液体材料の供給）が許容される。そして、送出管２３０ａから接続管２３０ｂへの液体材料の流通が規制される。

濾過装置２３１は、内部に液体材料を流通させるホルダ２３１ａと、該ホルダ２３１ａ内に配置される濾材２３１ｂとを有する。この濾過装置２３１は、流通路２３０（送出管２３０ａ）における送出ポンプ２３３よりも下流に配置される。

ホルダ２３１ａは、流通路２３０内の液体材料が流入する流入口と、内部の液体材料を流通路２３０に送り出す流出口と、を有する。

濾材２３１ｂは、流入口と、流出口との間に配置される。濾材２３１ｂの目は、ストレーナ２３２の目よりも細かい。なお、濾過装置２３１では、濾材２３１ｂとして、不織布や、濾紙等が採用される。

ストレーナ２３２は、例えば、金属製のメッシュや、パンチングメタル等によって構成される。

本実施形態に係る流通系２３では、送出ポンプ２３３として、ギヤポンプが採用される。なお、送出ポンプ２３３は、貯留部２２内の材料を流通系２３に流通させることができれば、ギヤポンプに限定されない。

筺体２４は、内外に亘って貫通する排気口２４０を有する。筺体２４には、内外に亘って連通する接続口２４１であって、保温部２５が接続される接続口２４１を有する。筺体２４は、排気口２４０を通じて内部の空気を外部に排出することができる。

保温部２５は、接続口２４１を介して筺体２４内に熱風を送るように構成される。従って、溶融装置２は、接続口２４１を介して保温部２５から筺体２４内に送り込まれた熱風によって該筺体２４内の温度を所定の温度に維持することができる。これにより、溶融装置２は、溶融した材料を液体の状態で維持しつつ溶融路に循環させることができる。

均質化装置３は、溶融装置２から送り出された液体材料を貯留する貯留槽３０と、該貯留槽３０内の液体材料を流通させる移送系３１とを有する。

貯留槽３０には、溶融装置２の供給管２３０ｃが流体的に接続される。

移送系３１は、貯留槽３０に対して流体的に接続される移送路３１０を有する。また、移送系３１は、貯留槽３０内の液体材料を移送路３１０内に送り込むための吸引ポンプ３１１を有する。

移送路３１０は、貯留槽３０内の液体材料が流入する流入管３１０ａと、該流入管３１０ａ及び貯留槽３０のそれぞれに流体的に接続される連結管３１０ｂとを有する。また、移送路３１０は、該送出管２３０ａと吐出装置４とのそれぞれに流体的に接続される吐出管３１０ｃを有する。

本実施形態に係る移送系３１は、流入管３１０ａと連結管３１０ｂとを連通させた状態と、流入管３１０ａと吐出管３１０ｃとを連通させた状態とに切替可能な吐出弁３１２を有する。

そのため、吐出弁３１２が流入管３１０ａと連結管３１０ｂとを連通させた状態に切り替えられると、流入管３１０ａと、連結管３１０ｂと、貯留槽３０と、が互いに連通することによって、均質化装置３内で液体材料を循環させる循環路としての均質路が形成される。そして、流入管３１０ａから吐出管３１０ｃへの液体材料の流通（すなわち、吐出装置４に対する液体材料の供給）が規制される。

一方、吐出弁３１２が流入管３１０ａと吐出管３１０ｃとを連通させた状態に切り替えられると、流入管３１０ａから吐出管３１０ｃへの液体材料の流通（吐出装置４に対する液体材料の供給）が許容される。そして、流入管３１０ａから連結管３１０ｂへの液体材料の流通が規制される。

本実施形態において、均質化装置３が均質化可能な材料の処理量は、溶融装置２が溶融可能な材料の処理量よりも多い。より具体的に説明する。均質化装置３の均質路を循環する液体材料の量は、溶融装置２の溶融路を循環する液体材料の量よりも多い。

吐出装置４は、均質化装置３における移送系３１から液体材料が供給される本体部４０と、該本体部４０内の液体材料を吐出する吐出部４１とを備える。

本体部４０には、移送路３１０の吐出管３１０ｃが流体的に接続される。そのため、吐出装置４では、吐出管３１０ｃを介して均質化装置３から本体部４０に供給された液体材料が吐出部４１から吐出される。なお、本体部４０には、均質化装置３から供給される材料とは別の材料が供給されてもよい。すなわち、本体部４０には、異なる種類の材料が供給されてもよい。

本実施形態に係る材料精製システム１は、以上の通りである。続いて、本実施形態に係る材料精製システム１の動作について、添付図面を参照して説明を行う。

図２に示すように、本実施形態に係る材料精製システム１によって、研磨パッドを製造するための材料を精製するにあたり、投入装置５によって、溶融装置２に固形材料を投入する。

より具体的に説明する。まず、開閉弁５１を閉じた後に、管部材５３を介して貯蔵タンク５２からホッパー５０に固形材料を供給する。そして、開閉弁５１を開いてホッパー５０内の固形材料を投入部２０に投入した後に、開閉弁５１を閉じる。

このように、本実施形態では、ホッパー５０から投入部２０に固形材料を間欠的に投入するにあたり、固形材料をホッパー５０に一旦貯留する。これにより、本実施形態では、ホッパー５０から投入部２０への固形材料の投入量を均一化している。

そして、投入部２０に投入された固形材料を溶融部２１によって溶融する。これにより、投入部２０に投入された固形材料が固体から液体に変化し、液体材料が溶融部２１から貯留部２２に流れ込む。そして、貯留部２２内の液体材料は、送出ポンプ２３３の動力によって送出管２３０ａに送り出され、ストレーナ２３２を通過した後に、濾過装置２３１を通過する。

このとき、濾過装置２３１を通過する液体材料に固形物（異物や、溶融部で溶かしきれなかった材料等）が含まれていると、濾材２３１ｂによって該固形物が液体材料から分離される。

そして、本実施形態では、溶融部２１によって固形材料を溶融するにあたり、供給弁２３４の状態を切り替えて送出管２３０ａと、接続管２３０ｂとを連通させる。すなわち、送出管２３０ａと、接続管２３０ｂと、貯留部２２と、によって溶融路を形成した状態において、溶融部２１によって固形材料を溶融する。

そのため、送出ポンプ２３３の動力によって貯留部２２から送出管２３０ａに送り出された液体材料は、濾過装置２３１を通過した後に、接続管２３０ｂを介して貯留部２２に送り出される。

従って、溶融装置２では、送出ポンプ２３３の動力によって液体材料が溶融路を循環し、これにより、溶融装置２内で該液体材料が撹拌される。そのため、溶融装置２では、液体材料全体の溶け具合や、混ざり具合の偏りが抑えられ、該液体材料全体が均質化される。

また、本実施形態に係る溶融装置２は、保温部２５によって筺体２４内の温度を所定の温度で維持しつつ、液体材料を溶融路に循環させるため、溶融路内の液体材料全体をより確実に溶かすことができる。

そして、供給弁２３４の状態を切り替えることによって、送出管２３０ａと供給管２３０ｃとを連通させると、送出ポンプ２３３の動力によって貯留部２２から送出管２３０ａに送り出された液体材料が、供給管２３０ｃを通過した後に均質化装置３の貯留槽３０に送り出される。これにより、液体材料が溶融装置２から均質化装置３に供給される。

本実施形態では、液体材料を溶融装置２から均質化装置３に供給するにあたり、吐出弁３１２の状態を切り替えて流入管３１０ａと、連結管３１０ｂとを連通させる。すなわち、流入管３１０ａと、連結管３１０ｂと、貯留槽３０とによって均質路を形成する。

そのため、供給管２３０ｃから貯留槽３０に流入した液体材料は、吸引ポンプ３１１によって流入管３１０ａに送り出された後に、連結管３１０ｂを通じて貯留槽３０に送り出される。このように、均質化装置３では、吸引ポンプ３１１の動力によって液体材料が均質路を循環し、これにより、均質化装置３内で該液体材料が撹拌される。従って、溶融装置２内の液体材料全体の溶け具合や、混ざり具合の偏りがさらに抑えられ、該液体材料が均質化される。

さらに、溶融装置２から均質化装置３に液体材料を供給した後に、管部材５３を介して貯蔵タンク５２からホッパー５０内に新たに固形材料を供給する。そして、開閉弁５１を再び開くことによって、ホッパー５０内の固形材料を投入部２０に投入した後に、開閉弁５１を閉じる。

投入部２０に新たに投入された固形材料も、溶融部２１で溶融されることによって固体から液体に変化し、貯留部２２に貯留される。そして、貯留部２２内の液体材料は、送出ポンプ２３３の動力によって送出管２３０ａに送り出され、ストレーナ２３２を通過した後に、濾過装置２３１を通過する。

本実施形態では、投入部２０に新たに投入された固形材料を溶融部２１で溶融するにあたり、供給弁２３４の状態を切り替えて送出管２３０ａと接続管２３０ｂとを再び連通させる。すなわち、送出管２３０ａと、接続管２３０ｂと、貯留部２２とによって、再び溶融路を形成する。そのため、送出ポンプ２３３の動力によって貯留部２２から送出管２３０ａに送り出された液体材料は、ストレーナ２３２及び濾過装置２３１を通過した後に、接続管２３０ｂを通じて貯留部２２に送り出される。

そして、図３に示すように、供給弁２３４の状態を切り替えることによって、送出管２３０ａと供給管２３０ｃとを連通させると、送出ポンプ２３３の動力によって送り出された液体材料は、供給管２３０ｃを通過した後に均質化装置３の貯留槽３０に送り出される。

上述のように、均質化装置３が均質化可能な材料の処理量は、溶融装置２が溶融可能な材料の処理量よりも多いため、後に溶融させた材料は、均質化装置３の貯留槽３０に送り出されると、先に均質化装置３に供給された液体材料（先に溶融させた材料）とともに均質路を循環する。これにより、均質化装置３において、先に溶融させた材料と、後に溶融させた材料とが撹拌されて混ぜ合わされる。このように、本実施形態に係る材料精製システム１は、先に溶融した材料と、後に溶融した材料とのそれぞれを均質化装置３に貯めて混ぜ合わすことによって、均質化された材料を精製することができる。

そして、図４に示すように、吐出弁３１２の状態を切り替えることによって、流入管３１０ａと、吐出管３１０ｃとを連通させると、均質化された液体材料が研磨パッド用の材料として吐出部４１から吐出される。

以上のように、本実施形態に係る材料精製システム１では、投入された固形の材料を溶融する溶融装置２と、該溶融装置２で溶融した材料を均質化する均質化装置３とを備えるため、溶融装置２で固体から液体に変化させた材料が均質化装置３で撹拌されることによって均質化される。

また、均質化装置３における均質化可能な材料の処理量が溶融装置２における溶融可能な材料の処理量よりも多いため、先に溶融させた材料を均質化装置３で撹拌しつつ、後に溶融させた材料を均質化装置３に供給することによって、双方の材料を均質化装置３で撹拌して混ぜ合わすことができる。このように、材料精製システム１は、先に溶融させた材料の質と、後に溶融させた材料の質とを均質化することによって、より均質性の高い材料を精製することができる。

さらに、材料精製システム１は、均質化装置３が液体材料を循環させる均質路を有するため、溶融装置２によって新たに溶融した材料と、先に溶融装置２から均質化装置３に供給された液体材料とを混ぜ合わせたうえで、均質路に循環させて撹拌できる。従って、材料精製システム１は、精製された材料の均質性がより高まる。

そして、溶融装置２は、溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される。そのため、溶融装置２において、溶融した材料全体を撹拌して均質化することができる。従って、先に溶融させた材料と、後に溶融させた材料とは、それぞれが溶融装置２で均質化された状態において、均質化装置３で撹拌されて混ぜ合わされる。これにより、材料精製システム１は、より均質性の高い材料を精製することができる。

さらに、溶融装置２は、溶融した材料を循環させて撹拌する溶融路を有するため、融解した材料を溶融路に循環させることができる。これにより、溶融装置２において、溶融した材料全体が撹拌されて均質化される。従って、材料精製システム１は、より均質性の高い材料を精製することができる。

また、溶融装置２は、保温部２５によって筺体２４内の温度を所定の温度で維持しつつ、液体材料を溶融路に循環させるため、溶融路内の液体材料全体をより確実に溶かすことができる。

さらに、溶融装置２は、供給弁２３４によって、溶融路に液体材料を循環させる状態と、液体材料を均質化装置３に供給する状態とに切り替えることができるため、液体材料を確実に撹拌して均質化したうえで均質化装置３に供給することができる。

そして、溶融装置２（溶融装置２の流通系２３）は、溶融部２１によって溶融した材料が濾過装置２３１で濾過されるため、純度の高い材料が精製される。

さらに、溶融装置２（溶融装置２の流通系２３）は、均質化装置３に流体的に接続される供給管２３０ｃを備えるため、溶融部２１によって溶融した材料が外気に晒されることなく溶融装置２から均質化装置３に送り出される。従って、材料精製システム１では、溶融した材料への異物の混入が防止されるため、より純度の高い材料を精製できる。

なお、本発明に係る材料精製システム１は、上記一実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を行うことは勿論である。

上記実施形態において、流通路２３０は、貯留部２２内の材料が流入する送出管２３０ａと、該送出管２３０ａ及び貯留部２２のそれぞれに流体的に接続される接続管２３０ｂと、送出管２３０ａと均質化装置３（均質化装置３の後述する貯留槽３０）とに流体的に接続される供給管２３０ｃとを有するが、この構成に限定されない。例えば、流通路２３０は、接続管２３０ｂを備えていなくてもよい。

また、上記実施形態では、貯留槽３０に対して間欠的に液体材料を供給していたが、貯留槽３０に対して連続的に液体材料を供給してもよい。なお、溶融装置２は、流通路２３０が接続管２３０ｂを備えていなくても、貯留部２２内において液体材料を掻き混ぜるように構成されていれば、液体材料を撹拌できる。

上記実施形態では、投入部２０に固形材料を間欠的に投入する場合について説明したが、この構成に限定されない。例えば、投入部２０に固形材料を連続的に投入しつつ、溶融部２１で固形材料を溶融してもよい。

上記実施形態において、移送路３１０は、貯留槽３０内の液体材料が流入する流入管３１０ａと、該流入管３１０ａ及び貯留槽３０のそれぞれに流体的に接続される連結管３１０ｂと、該送出管２３０ａと吐出装置４とのそれぞれに流体的に接続される吐出管３１０ｃとを有するが、この構成に限定されない。例えば、均質化装置３は、移送路３１０が接続管２３０ｂを備えていなくても、貯留槽３０内において液体材料を掻き混ぜて撹拌するように構成されていればよい。

また、上記実施形態では、吐出装置４の本体部４０に対して液体材料を間欠的に供給していたが、移送路３１０が連結管３１０ｂを備えていない場合、吐出装置４の本体部４０に対して液体材料を連続的に供給してもよい。但し、吐出装置４の本体部４０に対して液体材料を連続的に供給する場合、溶融部２１で新たに溶融した材料と、溶融部２１で先に溶融した材料と、を貯留槽３０内で混ぜ合わすべく、常に、貯留槽３０内に液体材料が残るように吐出装置４の本体部４０に対する液体材料の供給量（吐出装置４による液体材料の吐出量）が調整されていることが好ましい。

以上のように、均質化装置３は、溶融部２１で新たに溶融した材料と、溶融部２１で先に溶融した材料とを混ぜ合わすことができれば、吐出装置４に対する液体材料の供給の仕方が限定されるものではない。

上記実施形態において、流通路２３０の供給管２３０ｃは、貯留槽３０に流体的に接続されていたが、この構成に限定されない。例えば、流通路２３０の供給管２３０ｃは、移送路３１０の流入管３１０ａや、連結管３１０ｂに流体的に接続されていてもよい。

上記実施形態において、特に限定しなかったが、均質化装置３の移送系３１は、移送路３１０に接続され且つ移送路３１０を流通する材料を濾過する濾過装置を有するようにしてもよい。この場合、濾過装置は、移送路３１０の流入管３１０ａや、連結管３１０ｂに流体的に接続されていればよい。

このようにすれば、貯留槽３０と流入管３１０ａと連結管３１０ｂとによって液体材料を循環させると、該液体材料が濾過装置によって濾過されるため、精製した材料の純度が高まる。なお、上記実施形態に係る材料精製システム１は、均質化装置３の移送系３１のみが濾過装置２３１を有するようにしてもよい。

１…材料精製システム、２…溶融装置、３…均質化装置、４…吐出装置、５…投入装置、２０…投入部、２１…溶融部、２２…貯留部、２３…流通系、２４…筐体、２５…保温部、３０…貯留槽、３１…移送系、４０…本体部、４１…吐出部、５０…ホッパー、５１…開閉弁、５２…貯蔵タンク、５３…管部材、２３０…流通路、２３０ａ…送出管、２３０ｂ…接続管、２３０ｃ…供給管、２３１…濾過装置、２３１ａ…ホルダ、２３１ｂ…濾材、２３２…ストレーナ、２３３…送出ポンプ、２３４…供給弁、２４０…排気口、２４１…接続口、３１０…移送路、３１０ａ…流入管、３１０ｂ…連結管、３１０ｃ…吐出管、３１１…吸引ポンプ、３１２…吐出弁

Claims

投入された固形の材料を溶融する溶融装置と、
該溶融装置で溶融した材料を均質化する均質化装置とを備え、
該均質化装置は、均質化可能な材料の処理量が前記溶融装置における溶融可能な材料の処理量よりも多く構成され、且つ前記溶融装置で溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される研磨パッド用の材料精製システム。
前記溶融装置は、溶融した材料を撹拌して均質化するように構成される請求項１に記載の研磨パッド用の材料精製システム。
前記溶融装置及び前記均質化装置の少なくとも何れか一方は、溶融した材料を循環させて撹拌する循環路を有する請求項２に記載の研磨パッド用の材料精製システム。
前記溶融装置及び前記均質化装置の少なくとも何れか一方は、溶融した材料を濾過する濾過装置を備える請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の研磨パッド用の材料精製システム。
前記溶融装置は、前記均質化装置に流体的に接続される供給管を備える請求項１乃至請求項４の何れか１項に記載の研磨パッド用の材料精製システム。