KR20180026672A - 연마 패드용 재료 정제 시스템 - Google Patents

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KR20180026672A
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melted
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homogenizing
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KR1020177037921A
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가쓰미 가와세
요시타네 시게타
야마코시　마사히토
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니타 하스 인코포레이티드
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Abstract

투입된 고형의 재료를 용융하는 용융 장치와, 상기 용융 장치에서 용융한 재료를 균질화하는 균질화 장치를 구비하고, 상기 균질화 장치는, 균질화하는 재료의 처리 가능량이 상기 용융 장치가 용융하는 재료의 처리 가능량보다 많게 구성되며, 또한 상기 용융 장치에서 용융한 재료를 교반하여 균질화하도록 구성되는 연마 패드용 재료 정제 시스템.

Description

연마 패드용 재료 정제 시스템
본 발명은, 연마 패드를 제조하기 위한 재료를 정제하는 연마 패드용 재료 정제 시스템에 관한 것이다.
종래부터, 연마 패드는, 고형의 재료를 용융함으로써 정제한 액체의 재료를 사용하여 제조되고 있다 (예를 들면, 특허문헌 1 참조). 이 때문에, 연마 패드를 제조하기 위해서는, 고형의 재료로부터 액체의 재료를 정제하는 연마 패드용 재료 정제 시스템(이하, 재료 정제 시스템이라고 함)이 사용되고 있다.
재료 정제 시스템은, 예를 들면, 고형의 재료가 투입되는 투입부와, 상기 투입부에 투입된 고형의 재료를 용융하는 용융부와, 상기 용융부에서 용융한 재료를 토출(吐出)하는 토출부을 구비한다.
그러므로, 재료 정제 시스템에서는, 용융부에 의해 고체로부터 액체로 변화시킨 재료가, 연마 패드를 제조하기 위한 재료로서 토출부로부터 토출된다.
그런데, 투입부에 투입되는 고형의 재료는, 예를 들면, 크기나, 성분의 분포 등의 성질이 각각 상이하므로, 투입된 고형의 재료에 따라, 토출부로부터 토출되는 재료의 녹아 있는 상태나 혼합 상태가 변화된다. 따라서, 종래의 재료 정제 시스템에서 정제한 재료를 사용하여 연마 패드를 제조하면, 제조한 연마 패드의 성질이 불균일한 경우가 있었다.
일본공개특허 제2008-137355호 공보
이에, 본 발명은, 이러한 실정을 감안하여, 균질성이 높은 재료를 정제하는 연마 패드용 재료 정제 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템은,
고형의 재료를 용융하는 용융 장치와,
상기 용융 장치에서 용융한 재료를 균질화하는 균질화 장치를 구비하고,
상기 균질화 장치는, 균질화하는 재료의 처리 가능량이 상기 용융 장치가 용융하는 재료의 처리 가능량보다 많아지도록 구성되며, 또한 상기 용융 장치에서 용융한 재료를 교반하여 균질화하도록 구성된다.
본 발명에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템에 일태양으로서,
상기 용융 장치는, 용융한 재료를 교반하여 균질화하도록 구성할 수도 있다.
본 발명에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템의 다른 태양으로서,
상기 용융 장치 및 상기 균질화 장치 중 적어도 어느 한쪽은, 용융한 재료를 순환시켜 교반하는 순환로를 가지도록 할 수도 있다.
본 발명에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템이 다른 태양으로서,
상기 용융 장치 및 상기 균질화 장치 중 적어도 어느 한쪽은, 용융한 재료를 여과하는 여과 장치를 구비할 수도 있다.
본 발명에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템의 또 다른 태양으로서,
상기 용융 장치는, 상기 균질화 장치에 유체적으로 접속되는 공급관을 구비할 수도 있다.
도 1은, 본 발명의 일실시형태에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템의 개요도이다.
도 2는, 상기 실시형태에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템의 설명도이며, 용융 장치에 투입한 재료를 용융하고 있는 상태의 설명도이다.
도 3은, 상기 실시형태에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템의 설명도이며, 용융 장치에서 용융한 재료를 균질화 장치에 의해 균질화하고 있는 상태의 설명도이다.
도 4는, 상기 실시형태에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템의 설명도이며, 토출(吐出) 장치로부터 액체의 재료를 토출하고 있는 상태의 설명도이다.
이하, 본 발명의 일실시형태에 따른 연마 패드용 재료 정제 시스템(이하, 간단하게 재료 정제 시스템이라고 함)에 대하여, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.
재료 정제 시스템은, 연마 패드를 제조하기 위한 재료를 정제한다. 본 실시형태에 따른 재료 정제 시스템은, 고형의 재료를 용융함으로써 액체의 재료를 정제한다.
보다 구체적으로 설명한다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 재료 정제 시스템(1)은, 투입된 고형의 재료를 용융하는 용융 장치(2)와, 상기 용융 장치(2)에서 용융한 재료를 균질화하는 균질화 장치(3)를 구비한다. 또한, 재료 정제 시스템(1)은, 균질화 장치(3)에 의해 균질화된 액체의 재료를 토출하는 토출 장치(4)를 구비한다. 그리고, 재료 정제 시스템(1)은, 용융 장치(2)에 고형의 재료를 투입하기 위한 투입 장치(5)를 더 구비한다. 그리고, 본 실시형태에서는, 고형의 재료를 고형 재료라고 하고, 용융되어 고체로부터 액체로 변화된 재료를 액체 재료라고 칭하여 이하의 설명을 행하는 경우가 있다.
먼저, 투입 장치(5)에 대하여 설명한다. 투입 장치(5)는, 고형 재료를 공급하기 위한 공급구, 및 공급된 고형 재료를 용융 장치(2)(용융 장치(2)의 후술하는 투입부(20))에 배출하는 배출구를 가지는 호퍼(50)를 가진다. 또한, 투입 장치(5)는, 호퍼(50)의 배출구와 용융 장치(2)의 사이에 배치되는 개폐 밸브(51)를 가진다. 그리고, 투입 장치(5)는, 고형 재료가 저장되는 저장 탱크(52)이며, 관 부재(53)를 통하여 호퍼(50)의 공급구에 접속되는 저장 탱크(52)를 가진다.
투입 장치(5)에서는, 전술한 바와 같이, 개폐 밸브(51)가 호퍼(50)의 배출구와 투입부(20)의 사이에 배치된다. 이에 따라, 투입 장치(5)에서는, 개폐 밸브(51)가 열리면, 호퍼(50)로부터 용융 장치(2)로의 고형 재료의 투입이 허용되고, 개폐 밸브(51)가 폐쇄되면, 호퍼(50)로부터 용융 장치(2)로의 고형 재료의 투입이 규제된다.
용융 장치(2)는, 고형 재료가 투입되는 투입부(20)와, 상기 투입부(20)에 투입된 고형 재료를 용융하는 용융부(21)를 구비한다. 또한, 용융 장치(2)는, 용융부(21)에 의해 용융시킨 재료를 저류(貯留)하는 저류부(22)를 가진다. 그리고, 용융 장치(2)는, 용융부(21)에 의해 용융한 재료를 유통시키는 유통계(流通系)(23)를 가진다. 또한, 용융 장치(2)는, 저류부(22) 및 유통계(23)가 내부에 배치되는 하우징(24)과, 상기 하우징(24)의 내부 온도를 소정의 온도(용융한 재료를 액체의 상태로 유지할 수 있는 온도)로 유지하기 위한 보온부(25)를 구비한다.
투입부(20)는, 원통형이다. 투입부(20)의 한쪽의 개구단(開口端)에는, 용융부(21)에 접속된다. 이에 따라, 본 실시형태에 따른 투입부(20)에서는, 개폐 밸브(51)를 통하여 호퍼(50) 내로부터 배출된 고형 재료가 상기 투입부(20)의 다른 쪽의 개구단으로부터 투입된다.
투입부(20)에는, 열용융성을 가지는 재료가 투입된다. 예를 들면, 본 실시형태에 따른 투입부(20)에는, 4,4'-메틸렌비스(o-클로로아닐린)(소위, MOCA)가 재료로서 투입된다. 그리고, 투입부(20)에는, MOCA를 포함하는 재료나, 4,4'-디아미노디페닐메탄, m-페닐렌디아민, 디에틸렌톨루엔디아민(소위 DETDA), 트리메틸올프로판 등의 재료가 투입될 수도 있다.
용융부(21)는, 투입부(20)에 투입된 고형 재료를 가열함으로써, 상기 재료를 고체로부터 액체로 변화시킨다. 그리고, 저류부(22)에는, 용융부(21)에 의해 고체로부터 액체로 변화시킨 재료가 저류된다.
유통계(23)는, 저류부(22)에 대하여 유체적으로 접속되는 유통로(230)를 가진다. 또한, 유통계(23)는, 유통로(230)에 접속되고 또한 유통로(230)를 유통하는 재료를 여과하는 여과 장치(231)를 가진다. 또한, 유통계(23)는, 상기 유통로(230)에 접속되는 스트레이너(strainer)(232)와, 상기 유통로(230)에 접속되고 또한 스트레이너(232)보다 하류에 배치되는 송출 펌프(233)를 가진다.
유통로(230)는, 저류부(22) 내의 액체 재료가 유입되는 송출관(230a)과, 상기 송출관(230a) 및 저류부(22)의 각각에 유체적으로 접속되는 접속관(230b)을 가진다. 또한, 유통로(230)는, 송출관(230a)과 균질화 장치(3)(균질화 장치(3)의 후술하는 저류조(30))에 유체적으로 접속되는 공급관(230c)을 가진다.
본 실시형태에 따른 유통계(23)는, 송출관(230a)과 접속관(230b)을 연통시킨 상태와, 송출관(230a)과 공급관(230c)을 연통시킨 상태로 전환 가능한 공급 밸브(234)를 추가로 구비한다.
이에 따라, 공급 밸브(234)가 송출관(230a)과 접속관(230b)을 연통시킨 상태로 전환되면, 송출관(230a)과, 접속관(230b)과, 저류부(22)가 서로 연통함으로써, 용융 장치(2) 내에서 액체 재료를 순환시키는 순환로로서의 용융로가 형성된다. 그리고, 송출관(230a)으로부터 공급관(230c)으로의 액체 재료의 유통(즉, 균질화 장치(3)에 대한 액체 재료의 공급)이 규제된다.
한편, 공급 밸브(234)가 송출관(230a)과 공급관(230c)을 연통시킨 상태로 전환되면, 송출관(230a)으로부터 공급관(230c)으로의 액체 재료의 유통(균질화 장치(3)에 대한 액체 재료의 공급)이 허용된다. 그리고, 송출관(230a)으로부터 접속관(230b)으로의 액체 재료의 유통이 규제된다.
여과 장치(231)는, 내부에 액체 재료를 유통시키는 홀더(231a)와, 상기 홀더(231a) 내에 배치되는 여과재(231b)를 가진다. 이 여과 장치(231)는, 유통로(230)(송출관(230a))에서의 송출 펌프(233)보다 하류에 배치된다.
홀더(231a)는, 유통로(230) 내의 액체 재료가 유입되는 유입구와, 내부의 액체 재료를 유통로(230)로 송출하는 유출구를 가진다.
여과재(231b)는, 유입구와 유출구의 사이에 배치된다. 여과재(231b)의 메쉬(공경(孔徑))는, 스트레이너(232)의 메쉬보다 가늘다. 그리고, 여과 장치(231)에서는, 여과재(231b)로서, 부직포나, 여과지 등이 채용된다.
스트레이너(232)는, 예를 들면, 금속제의 메쉬나, 펀칭 메탈 등에 의해 구성된다.
본 실시형태에 따른 유통계(23)에서는, 송출 펌프(233)로서, 기어 펌프가 채용된다. 그리고, 송출 펌프(233)는, 저류부(22) 내의 재료를 유통계(23)에 유통시킬 수 있으면, 기어 펌프로 한정되지 않는다.
하우징(24)은, 내외에 걸쳐 관통하는 배기구(240)를 가진다. 하우징(24)에는, 내외에 걸쳐 연통하는 접속구(241)로서, 보온부(25)가 접속되는 접속구(241)를 가진다. 하우징(24)은, 배기구(240)를 통하여 내부의 공기를 외부에 배출할 수 있다.
보온부(25)는, 접속구(241)를 통하여 하우징(24) 내에 열풍을 보내도록 구성된다. 따라서, 용융 장치(2)는, 접속구(241)를 통하여 보온부(25)로부터 하우징(24) 내에 보내진 열풍에 의해 상기 하우징(24) 내의 온도를 소정의 온도로 유지할 수 있다. 이로써, 용융 장치(2)는, 용융한 재료를 액체의 상태로 유지하면서 용융로에 순환시킬 수 있다.
균질화 장치(3)는, 용융 장치(2)로부터 송출된 액체 재료를 저류하는 저류조(30)와, 상기 저류조(30) 내의 액체 재료를 유통시키는 이송계(移送系)(31)를 가진다.
저류조(30)에는, 용융 장치(2)의 공급관(230c)이 유체적으로 접속된다.
이송계(31)는, 저류조(30)에 대하여 유체적으로 접속되는 이송로(310)를 가진다. 또한, 이송계(31)는, 저류조(30) 내의 액체 재료를 이송로(310) 내로 보내기 위한 흡인 펌프(311)를 가진다.
이송로(310)는, 저류조(30) 내의 액체 재료가 유입되는 유입관(310a)과, 상기 유입관(310a) 및 저류조(30)의 각각에 유체적으로 접속되는 연결관(310b)을 가진다. 또한, 이송로(310)는, 상기 송출관(230a)과 토출 장치(4)의 각각에 유체적으로 접속되는 토출관(310c)을 가진다.
본 실시형태에 따른 이송계(31)는, 유입관(310a)과 연결관(310b)을 연통시킨 상태와, 유입관(310a)과 토출관(310c)을 연통시킨 상태로 전환 가능한 토출 밸브(312)를 가진다.
이에 따라, 토출 밸브(312)가 유입관(310a)과 연결관(310b)을 연통시킨 상태로 전환되면, 유입관(310a)과, 연결관(310b)과, 저류조(30)가 서로 연통함으로써, 균질화 장치(3) 내에서 액체 재료를 순환시키는 순환로로서의 균질로가 형성된다. 그리고, 유입관(310a)으로부터 토출관(310c)으로의 액체 재료의 유통(즉, 토출 장치(4)에 대한 액체 재료의 공급)이 규제된다.
한편, 토출 밸브(312)가 유입관(310a)과 토출관(310c)을 연통시킨 상태로 전환되면, 유입관(310a)으로부터 토출관(310c)으로의 액체 재료의 유통(토출 장치(4)에 대한 액체 재료의 공급)이 허용된다. 그리고, 유입관(310a)으로부터 연결관(310b)으로의 액체 재료의 유통이 규제된다.
본 실시형태에 있어서, 균질화 장치(3)가 균질화할 수 있는 재료의 처리량(처리 가능량)은, 용융 장치(2)가 용융할 수 있는 재료의 처리량(처리 가능량)보다 많다. 보다 구체적으로 설명한다. 균질화 장치(3)의 균질로를 순환하는 액체 재료의 양은, 용융 장치(2)의 용융로를 순환하는 액체 재료의 양보다 많다.
토출 장치(4)는, 균질화 장치(3)에서의 이송계(31)로부터 액체 재료가 공급되는 본체부(40)과, 상기 본체부(40) 내의 액체 재료를 토출하는 토출부(41)를 구비한다.
본체부(40)에는, 이송로(310)의 토출관(310c)이 유체적으로 접속된다. 이에 따라, 토출 장치(4)에서는, 토출관(310c)을 통하여 균질화 장치(3)로부터 본체부(40)에 공급된 액체 재료가 토출부(41)로부터 토출된다. 그리고, 본체부(40)에는, 균질화 장치(3)로부터 공급되는 재료와는 상이한 재료가 공급될 수도 있다. 즉, 본체부(40)에는, 상이한 종류의 재료가 공급될 수도 있다.
본 실시형태에 따른 재료 정제 시스템(1)은, 이상과 같다. 이어서, 본 실시형태에 따른 재료 정제 시스템(1)의 동작에 대하여, 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에 따른 재료 정제 시스템(1)에 의해, 연마 패드를 제조하기 위한 재료를 정제하는 데 있어서, 투입 장치(5)에 의해, 용융 장치(2)에 고형 재료를 투입한다.
보다 구체적으로 설명한다. 먼저, 개폐 밸브(51)를 닫은 후, 관 부재(53)를 통하여 저장 탱크(52)로부터 호퍼(50)에 고형 재료를 공급한다. 그리고, 개폐 밸브(51)를 열어서 호퍼(50) 내의 고형 재료를 투입부(20)에 투입한 후, 개폐 밸브(51)를 닫는다.
이와 같이, 본 실시형태에서는, 호퍼(50)로부터 투입부(20)에 고형 재료를 간헐적으로 투입하는 데 있어서, 고형 재료를 호퍼(50)에 일단 저류한다. 이로써, 본 실시형태에서는, 호퍼(50)로부터 투입부(20)로의 고형 재료의 투입량을 균일화하고 있다.
그리고, 투입부(20)에 투입된 고형 재료를 용융부(21)에 의해 용융한다. 이로써, 투입부(20)에 투입된 고형 재료가 고체로부터 액체로 변화되어, 액체 재료가 용융부(21)로부터 저류부(22)에 흘러든다. 그리고, 저류부(22) 내의 액체 재료는, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 송출관(230a)에 송출되고, 스트레이너(232)를 통과한 후, 여과 장치(231)를 통과한다.
이 때, 여과 장치(231)를 통과하는 액체 재료에 고형물(이물질이나, 용융부에서 녹지않고 잔존하는 재료 등)이 포함되어 있으면, 여과재(231b)에 의해 상기 고형물이 액체 재료로부터 분리된다.
그리고, 본 실시형태에서는, 용융부(21)에 의해 고형 재료를 용융하는 데 있어서, 공급 밸브(234)의 상태를 전환하여 송출관(230a)과, 접속관(230b)을 연통시킨다. 즉, 송출관(230a)과, 접속관(230b)과, 저류부(22)에 의해 용융로를 형성한 상태에 있어서, 용융부(21)에 의해 고형 재료를 용융한다.
이에 따라, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 저류부(22)로부터 송출관(230a)에 송출된 액체 재료는, 여과 장치(231)를 통과한 후, 접속관(230b)을 통하여 저류부(22)에 송출된다.
따라서, 용융 장치(2)에서는, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 액체 재료가 용융로를 순환하고, 이로써, 용융 장치(2) 내에서 상기 액체 재료가 교반된다. 이에 따라, 용융 장치(2)에서는, 액체 재료 전체의 녹은 상태나, 혼합 상태의 치우침이 억제되어, 상기 액체 재료 전체가 균질화된다.
또한, 본 실시형태에 따른 용융 장치(2)는, 보온부(25)에 의해 하우징(24) 내의 온도를 소정의 온도로 유지하면서, 액체 재료를 용융로에 순환시키므로, 용융로 내의 액체 재료 전체를 더욱 확실하게 녹일 수 있다.
그리고, 공급 밸브(234)의 상태를 전환하는 것에 의해, 송출관(230a)과 공급관(230c)을 연통시키면, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 저류부(22)로부터 송출관(230a)에 송출된 액체 재료가, 공급관(230c)을 통과한 후에 균질화 장치(3)의 저류조(30)에 송출된다. 이로써, 액체 재료가 용융 장치(2)로부터 균질화 장치(3)에 공급된다.
본 실시형태에서는, 액체 재료를 용융 장치(2)로부터 균질화 장치(3)에 공급하는 데 있어서, 토출 밸브(312)의 상태를 전환하여 유입관(310a)과 연결관(310b)을 연통시킨다. 즉, 유입관(310a)과, 연결관(310b)과, 저류조(30)에 의해 균질로를 형성한다.
이에 따라, 공급관(230c)으로부터 저류조(30)에 유입된 액체 재료는, 흡인 펌프(311)에 의해 유입관(310a)에 송출된 후에, 연결관(310b)을 통하여 저류조(30)에 송출된다. 이와 같이, 균질화 장치(3)에서는, 흡인 펌프(311)의 동력에 의해 액체 재료가 균질로를 순환하고, 이로써, 균질화 장치(3) 내에서 상기 액체 재료가 교반된다. 따라서, 용융 장치(2) 내의 액체 재료 전체의 녹은 상태나, 혼합 상태의 치우침이 더욱 억제되어, 상기 액체 재료가 균질화된다.
또한, 용융 장치(2)로부터 균질화 장치(3)에 액체 재료를 공급한 후, 관 부재(53)를 통하여 저장 탱크(52)로부터 호퍼(50) 내에 새롭게 고형 재료를 공급한다. 그리고, 개폐 밸브(51)를 다시 여는 것에 의해, 호퍼(50) 내의 고형 재료를 투입부(20)에 투입한 후, 개폐 밸브(51)를 닫는다.
투입부(20)에 새롭게 투입된 고형 재료도, 용융부(21)에서 용융되는 것에 의해 고체로부터 액체로 변화되고, 저류부(22)에 저류된다. 그리고, 저류부(22) 내의 액체 재료는, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 송출관(230a)에 송출되고, 스트레이너(232)를 통과한 후, 여과 장치(231)를 통과한다.
본 실시형태에서는, 투입부(20)에 새롭게 투입된 고형 재료를 용융부(21)에서 용융하는 데 있어서, 공급 밸브(234)의 상태를 전환하여 송출관(230a)과 접속관(230b)을 다시 연통시킨다. 즉, 송출관(230a)과, 접속관(230b)과, 저류부(22)에 의해, 다시 용융로를 형성한다. 이에 따라, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 저류부(22)로부터 송출관(230a)에 송출된 액체 재료는, 스트레이너(232) 및 여과 장치(231)를 통과한 후, 접속관(230b)을 통하여 저류부(22)에 송출된다.
그리고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 공급 밸브(234)의 상태를 전환하는 것에 의해, 송출관(230a)과 공급관(230c)을 연통시키면, 송출 펌프(233)의 동력에 의해 송출된 액체 재료는, 공급관(230c)을 통과한 후 균질화 장치(3)의 저류조(30)에 송출된다.
전술한 바와 같이, 균질화 장치(3)가 균질화 가능한 재료 처리량은, 용융 장치(2)가 용융 가능한 재료의 처리량보다 많기 때문에, 나중에 용융시킨 재료는, 균질화 장치(3)의 저류조(30)에 송출되면, 먼저 균질화 장치(3)에 공급된 액체 재료 (먼저 용융시킨 재료)와 함께 균질로를 순환한다. 이로써, 균질화 장치(3)에 있어서, 먼저 용융시킨 재료와, 나중에 용융시킨 재료가 교반되어 혼합된다. 이와 같이, 본 실시형태에 따른 재료 정제 시스템(1)은, 먼저 용융한 재료와, 나중에 용융한 재료의 각각을 균질화 장치(3)에 모아서 혼합하는 것에 의해, 균질화된 재료를 정제할 수 있다.
그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 토출 밸브(312)의 상태를 전환하는 것에 의해, 유입관(310a)과, 토출관(310c)을 연통시키면, 균질화된 액체 재료가 연마 패드용 재료로서 토출부(41)로부터 토출된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 따른 재료 정제 시스템(1)에서는, 투입된 고형의 재료를 용융하는 용융 장치(2)와, 상기 용융 장치(2)에서 용융한 재료를 균질화하는 균질화 장치(3)를 구비하므로, 용융 장치(2)에서 고체로부터 액체로 변화시킨 재료가 균질화 장치(3)에서 교반되는 것에 의해 균질화된다.
또한, 균질화 장치(3)에서의 균질화 가능한 재료의 처리량이 용융 장치(2)에서의 용융 가능한 재료의 처리량보다 많기 때문에, 먼저 용융시킨 재료를 균질화 장치(3)로 교반하면서, 나중에 용융시킨 재료를 균질화 장치(3)에 공급함으로써, 양쪽의 재료를 균질화 장치(3)에서 교반해서 혼합할 수 있다. 이와 같이, 재료 정제 시스템(1)은, 먼저 용융시킨 재료의 질과, 나중에 용융시킨 재료의 질을 균질화 함으로써, 보다 균질성이 높은 재료를 정제할 수 있다.
또한, 재료 정제 시스템(1)은, 균질화 장치(3)가 액체 재료를 순환시키는 균질로를 가지므로, 용융 장치(2)에 의해 새롭게 용융한 재료와, 먼저 용융 장치(2)로부터 균질화 장치(3)에 공급된 액체 재료를 혼합한 후에, 균질로에 순환시켜 교반할 수 있다. 따라서, 재료 정제 시스템(1)은, 정제된 재료의 균질성이 더욱 높아진다.
그리고, 용융 장치(2)는, 용융한 재료를 교반하여 균질화하도록 구성된다. 이에 따라, 용융 장치(2)에 있어서, 용융한 재료 전체를 교반하여 균질화할 수 있다. 따라서, 먼저 용융시킨 재료와, 나중에 용융시킨 재료는, 각각이 용융 장치(2)에서 균질화된 상태에 있어서, 균질화 장치(3)에서 교반되어 혼합된다. 이로써, 재료 정제 시스템(1)은, 보다 균질성이 높은 재료를 정제할 수 있다.
또한, 용융 장치(2)는, 용융한 재료를 순환시켜 교반하는 용융로를 가지므로, 융해한 재료를 용융로에 순환시킬 수 있다. 이로써, 용융 장치(2)에 있어서, 용융한 재료 전체가 교반되어 균질화된다. 따라서, 재료 정제 시스템(1)은, 보다 균질성이 높은 재료를 정제할 수 있다.
또한, 용융 장치(2)는, 보온부(25)에 의해 하우징(24) 내의 온도를 소정의 온도로 유지하면서, 액체 재료를 용융로에 순환시키기 때문에, 용융로 내의 액체 재료 전체를 더욱 확실하게 녹일 수 있다.
또한, 용융 장치(2)는, 공급 밸브(234)에 의해, 용융로에 액체 재료를 순환시키는 상태와, 액체 재료를 균질화 장치(3)에 공급하는 상태로 전환할 수 있으므로, 액체 재료를 확실하게 교반하여 균질화한 후에 균질화 장치(3)에 공급할 수 있다.
그리고, 용융 장치(2)(용융 장치(2)의 유통계(23))는, 용융부(21)에 의해 용융한 재료가 여과 장치(231)에서 여과되기 때문에, 순도가 높은 재료가 정제된다.
또한, 용융 장치(2)(용융 장치(2)의 유통계(23))는, 균질화 장치(3)에 유체적으로 접속되는 공급관(230c)을 구비하므로, 용융부(21)에 의해 용융한 재료가 외기에 노출되지 않고 용융 장치(2)로부터 균질화 장치(3)에 송출된다. 따라서, 재료 정제 시스템(1)에서는, 용융한 재료로의 이물질의 혼입이 방지되기 때문에, 보다 순도가 높은 재료를 정제할 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 재료 정제 시스템(1)은, 상기 일실시형태로 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에 있어서 다양하게 변경을 행하는 것은 물론이다.
상기 실시형태에 있어서, 유통로(230)는, 저류부(22) 내의 재료가 유입되는 송출관(230a)과, 상기 송출관(230a) 및 저류부(22)의 각각에 유체적으로 접속되는 접속관(230b)과, 송출관(230a)과 균질화 장치(3)(균질화 장치(3)의 후술하는 저류조(30))에 유체적으로 접속되는 공급관(230c)을 가지지만, 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 유통로(230)는, 접속관(230b)을 구비하고 있지 않아도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 저류조(30)에 대하여 간헐적으로 액체 재료를 공급하고 있지만, 저류조(30)에 대하여 연속적으로 액체 재료를 공급해도 된다. 그리고, 용융 장치(2)는, 유통로(230)가 접속관(230b)을 구비하고 있지 않아도, 저류부(22) 내에 있어서, 먼저 용융된 저류부(22) 내의 액체 재료와 새롭게 용융되어 저류부(22) 내에 송출된 액체 재료가 혼합됨으로써 교반되도록 구성되어 있으면 된다. 이 경우에, 용융 장치(2)는, 예를 들면, 저류부(22) 내에서 액체 재료를 저어서 혼합되도록 구성되어 있거나, 먼저 용융된 액체 재료와 새롭게 용융된 액체 재료가 혼합되게 하는 흐름을 저류부(22) 내에 발생시키도록 구성되어 있어도 된다.
상기 실시형태에서는, 투입부(20)에 고형 재료를 간헐적으로 투입하는 경우에 대하여 설명하였으나, 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 투입부(20)에 고형 재료를 연속적으로 투입하면서, 용융부(21)에서 고형 재료를 용융해도 된다.
상기 실시형태에 있어서, 이송로(310)는, 저류조(30) 내의 액체 재료가 유입되는 유입관(310a)과, 상기 유입관(310a) 및 저류조(30)의 각각에 유체적으로 접속되는 연결관(310b)과, 상기 송출관(230a)과 토출 장치(4)의 각각에 유체적으로 접속되는 토출관(310c)을 가지지만, 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 균질화 장치(3)는, 이송로(310)가 접속관(230b)을 구비하고 있지 않아도, 저류조(30) 내에 있어서 액체 재료를 저어서 혼합하여 교반하도록 구성되어 있으면 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 토출 장치(4)의 본체부(40)에 대하여 액체 재료를 간헐적으로 공급하고 있지만, 이송로(310)가 연결관(310b)을 구비하지 않고 있는 경우, 토출 장치(4)의 본체부(40)에 대하여 액체 재료를 연속적으로 공급해도 된다. 다만, 토출 장치(4)의 본체부(40)에 대하여 액체 재료를 연속적으로 공급할 경우, 용융부(21)에서 새롭게 용융한 재료와, 용융부(21)에서 먼저 용융한 재료을 저류조(30) 내에서 혼합하기 위하여, 항상, 저류조(30) 내에 액체 재료가 잔존하도록 토출 장치(4)의 본체부(40)에 대한 액체 재료의 공급량(토출 장치(4)에 의한 액체 재료의 토출량)이 조정되고 있는 것이 바람직하다.
이상과 같이, 균질화 장치(3)는, 용융부(21)에서 새롭게 용융한 재료와, 용융부(21)에서 먼저 용융한 재료를 혼합할 수 있으면, 토출 장치(4)에 대한 액체 재료의 공급 방법이 한정되는 것은 아니다.
상기 실시형태에 있어서, 유통로(230)의 공급관(230c)은, 저류조(30)에 유체적으로 접속되고 있지만, 이러한 구성으로 한정되지 않는다. 예를 들면, 유통로(230)의 공급관(230c)은, 이송로(310)의 유입관(310a)이나, 연결관(310b)에 유체적으로 접속되고 있어도 된다.
상기 실시형태에 있어서, 특별히 한정하지 않지만, 균질화 장치(3)의 이송계(31)는, 이송로(310)에 접속되고 또한 이송로(310)를 유통하는 재료를 여과하는 여과 장치를 가지도록 할 수도 있다. 이 경우에, 여과 장치는, 이송로(310)의 유입관(310a)나, 연결관(310b)에 유체적으로 접속되어 있으면 된다.
이와 같이 하면, 저류조(30)와 유입관(310a)과 연결관(310b)에 의해 액체 재료를 순환시키면, 상기 액체 재료가 여과 장치에 의해 여과되기 때문에, 정제한 재료의 순도가 높아진다. 그리고, 상기 실시형태에 따른 재료 정제 시스템(1)은, 균질화 장치(3)의 이송계(31)만이 여과 장치(231)를 가지도록 해도 된다.
본원은, 일본특원 2015-138946호에 따른 우선권을 주장하고, 인용에 의해 본원 명세서의 기재에 포함된다.
1: 재료 정제 시스템, 2: 용융 장치, 3: 균질화 장치, 4: 토출 장치, 5: 투입 장치, 20: 투입부, 21: 용융부, 22: 저류부, 23: 유통계, 24: 하우징, 25: 보온부, 30: 저류조, 31: 이송계, 40: 본체부, 41: 토출부, 50: 호퍼, 51: 개폐 밸브, 52: 저장 탱크, 53: 관 부재, 230: 유통로, 230a: 송출관, 230b: 접속관, 230c: 공급관, 231: 여과 장치, 231a: 홀더, 231b: 여과재, 232: 스트레이너, 233: 송출 펌프, 234: 공급 밸브, 240: 배기구, 241: 접속구, 310: 이송로, 310a: 유입관, 310b: 연결관, 310c: 토출관, 311: 흡인 펌프, 312: 토출 밸브

Claims (5)

  1. 고형의 재료를 용융하는 용융 장치와,
    상기 용융 장치에서 용융한 재료를 균질화하는 균질화 장치를 포함하고,
    상기 균질화 장치는, 균질화하는 재료의 처리 가능량이 상기 용융 장치가 용융하는 재료의 처리 가능량보다 많아지도록 구성되며, 또한 상기 용융 장치에서 용융한 재료를 교반하여 균질화하도록 구성되는, 연마 패드용 재료 정제 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 용융 장치는 용융한 재료를 교반하여 균질화하도록 구성되는, 연마 패드용 재료 정제 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 용융 장치 및 상기 균질화 장치 중 적어도 어느 한쪽은, 용융한 재료를 순환시켜 교반하는 순환로를 포함하는, 연마 패드용 재료 정제 시스템.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용융 장치 및 상기 균질화 장치 중 적어도 어느 한쪽은, 용융한 재료를 여과하는 여과 장치를 포함하는, 연마 패드용 재료 정제 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용융 장치는 상기 균질화 장치에 유체적으로 접속되는 공급관을 포함하는, 연마 패드용 재료 정제 시스템.
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