JP2017016967A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性との両立を目的とする。【解決手段】円筒状の真空容器２と、固定接点３ａを備え、前記真空容器の内部に配置された固定電極３と、固定接点３ａと接触および離間する可動接点４ａを備え、真空容器の軸方向と平行な駆動軸方向に駆動される可動電極４と、真空容器の内面側に引出し端子１０ａを備えた引出し電極１０と、真空容器の中心軸からずれた位置に可動電極端子１１ａを備え、可動電極に接続された取付け電極１１と、引出し端子１０ａと可動電極端子１１ｂとを電気的に接続する可とう導体１２とを備えた真空バルブ１であって、引出し端子１０ａの位置を真空バルブ１の断面において可動電極端子１１ａと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置にしたものである。【選択図】図２

Description

この発明は、電力系統の受配電設備で用いられる開閉器に適用される真空バルブに関する。

一般に真空バルブは、真空容器と、この真空容器の内部で固定された固定接点と、この固定接点に対向し、電路を開閉するために移動する可動接点と、この可動接点に接続され、可動接点とともに真空容器の軸線方向に沿って往復移動する可動通電軸と、ベローズを介して真空容器の外部まで導出された可動通電軸と外部導体とを電気的に接続する接続導体（以下、可とう導体）とを備えている。

真空バルブを開極あるいは閉極させるためには可動通電軸を駆動する駆動装置が必要となる。駆動装置は、通常真空バルブの外、すなわち大気中に設置されている。駆動装置は、高電圧となる真空バルブの可動通電軸と絶縁されている必要があるため、一般に駆動装置と可動通電軸とは絶縁ロッドを介して接続されている。この絶縁ロッドは大気中あるいは絶縁ガス中に設置されるが、大気中に設置された場合、大気中の水分や塩分などにより長期的に絶縁性能の低下が懸念されるため、絶縁ロッドの長さを必要以上に長くする必要があった。そのため、開閉器の全長が大きくなるという問題があった。

絶縁ロッドの長さを必要以上に長くする必要がない開閉器を実現するひとつの方法として、絶縁ロッドを真空バルブの中に設置した真空バルブが考案されている。このような真空バルブでは、真空バルブ中に可動通電軸と電気的に接続される可とう導体が真空バルブの内部に設置されることになる。

可とう導体が真空バルブの内部に設置される真空バルブとしては、可動通電軸と引出し電極との間で可とう導体が約１８０°折り曲げられたものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。また、別の真空バルブとしては、可とう導体の可動通電軸側の取り付け位置から真空容器の内壁面に対して垂直に対向する位置に引出し電極が設けられ、可動通電軸と引出し電極との間の最短距離を可とう導体で接続したものが開示されている（例えば、特許文献２、３参照）。

特開２００１−３５１４３８号公報（６頁、図４） 特開２００２−３１３１９７号公報（５頁、図１） 特開２００３−１６８８５号公報（５頁、図２）

一般に可とう導体は、数十枚の金属箔が積み重ねられたものや、金属製の平編組線で構成されたものであり、導電性を有すると共に可とう性（曲げ性や伸縮性）を備えたものである。良好な導電性および可とう性の長期信頼性を確保するためには、金属箔の枚数を多くすること、あるいは平編組線の緻密性を上げることなどが必要であるが、そのように構成された可とう導体は、曲げ性や伸縮性が低下する。そのため、良好な導電性および可とう性の長期信頼性を備えた可とう導体を用いる場合、可とう性を発揮する部分の長さ、つまり両端の固定部分間の距離をある程度確保する必要がある。

可とう導体が１８０°折り曲げられた従来の真空バルブにおいては、折り曲げる部分の曲率半径をある程度確保しなければならず、可動通電軸と真空容器の内壁面との間の距離を大きくする必要があった。また、１８０°折り曲げられる部分の曲率半径を大きくするためには、真空容器の軸方向の長さを長くする必要があった。

さらに、可動通電軸と引出し電極との間の最短距離を可とう導体で接続した従来の真空バルブにおいては、両端の固定部分間の距離をある程度確保しなければならず、やはり可動通電軸と真空容器の内壁面との間の距離を大きくする必要があった。そのため、真空容器の内径を大きくする必要があった。

可とう導体の曲率半径を小さくする、あるいは可とう導体の両端の固定部分間の距離を小さくするためには、金属箔の枚数を少なくすること、あるいは平編組線の緻密性を下げることなどが考えられるが、その場合は可とう導体の導電性および可とう性の長期信頼性が損なわれる。

つまり、従来の真空バルブにおいては、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性との両立が困難であり、可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性を確保するためには真空容器が大型化するという課題があった。

この発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性との両立を目的とする。

この発明に係る真空バルブにおいては、円筒状の真空容器と、固定接点を備え、前記真空容器の内部に配置された固定電極と、固定接点と接触および離間する可動接点を備え、真空容器の軸方向と平行な駆動軸方向に駆動される可動電極と、真空容器の内面側に引出し端子を備えた引出し電極と、真空容器の中心軸からずれた位置に可動電極端子を備え、可動電極に接続された取付け電極と、引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体とを備えた真空バルブであって、引出し端子の位置を真空バルブの断面において、可動電極端子と真空容器の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置にしたものである。

また、この発明に係る別の真空バルブにおいては、円筒状の真空容器と、固定接点を備え、真空容器の内部に配置された固定電極と、固定接点と接触および離間する可動接点を備え、真空容器の軸方向と平行な駆動軸方向に駆動される可動電極と、真空容器の内面側に引出し端子を備えた引出し電極と、可動電極端子を備え、可動電極に接続された取付け電極と、引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体とを備えた真空バルブであって、可とう導体を真空容器の軸中心を中心軸として周回する螺旋形状としたものである。

この発明は、引出し端子の位置を真空バルブの断面において可動電極端子と真空容器の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置にしたので、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできる。その結果、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性とを両立させることができる。

また、この発明は、可とう導体を真空容器の軸中心を中心軸として周回する螺旋形状としたので、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできる。その結果、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性とを両立させることができる。

この発明の実施の形態１を示す真空バルブの縦断面図である。 この発明の実施の形態１を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態１を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態２を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態２を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態２を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態３を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態４を示す真空バルブの横断面図である。 この発明の実施の形態４を示す真空バルブの縦断面図である。

実施の形態１．
図１は、この発明を実施するための実施の形態１に係る真空バルブの縦断面図である。図１に示すように、本実施の形態における真空バルブ１は、真空容器２と、この真空容器２の内部に固定された固定電極３と、この固定電極３に対向配置された可動電極４と、この可動電極４と絶縁ロッド５を介して支持する作動軸６と、この作動軸６を支持するベローズ７とを備えている。

真空容器２は、筒型絶縁部材で構成された絶縁筒２ａ、２ｂと、この絶縁筒２ａ、２ｂを接続する取付け板８と、この取付け板８とは逆側で絶縁筒２ａ、２ｂを閉塞する端板９ａ、９ｂとで構成されている。固定電極３は端板９ａに、ベローズ７は端板９ｂにそれぞれ固定されている。作動軸６は、真空容器２の外部に備えられた駆動装置（図示せず）によって上下方向（真空容器２の軸方向）に駆動される。作動軸６の上下方向の駆動によって、固定電極３の端部に固定された固定接点３ａと可動電極４の端部に固定された可動接点４ａとが接触および離間することで、電路の開閉が行われる。

真空容器２は円筒状の形状であり、この真空容器２の軸方向と作動軸６の駆動軸方向とは一致するように構成されている。なお、真空容器２の軸方向と作動軸６の駆動軸方向とは完全に一致している必要はなく、ほぼ平行な方向であればよい。

取付け板８には引出し電極１０が備えられている。また、可動電極４には取付け電極１１が備えられている。引出し電極１０と取付け電極１１との間には、引出し電極１０と取付け電極１１とを電気的に接続する可とう導体１２が接続されている。本実施の形態の可とう導体１２は、数十枚の金属箔が積み重ねられたものや、金属製の平編組線で構成されたもので構成されている。

なお、引出し電極１０は、真空容器２の外部に備えられた外部導体など（図示せず）に電気的に接続されている。また、固定電極３も、真空容器２の外部に備えられた別の外部導体など（図示せず）に電気的に接続されている。

図２は、本実施の形態における真空バルブの横断面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａの断面を示したものである。図２に示すように、引出し電極１０には真空容器の内面側に引出し端子１０ａが備えられており、可動電極４に接続された取付け電極１１には可動電極端子１１ａが備えられている。可とう導体１２の両端は、これらの引出し端子１０ａと可動電極端子１１ａとで固定されている。可動電極端子１１ａは、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されており、引出し端子１０ａは、可動電極端子１１ａと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上（図２に示す直線Ｂ）とは異なる位置に設定されている。

このように構成された真空バルブにおいては、引出し端子１０ａが可動電極端子１１ａと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されているので、引出し端子１０ａと真空容器の内壁との最短距離よりも可とう導体１２の長さを長くすることができる。したがって、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできる。その結果、本実施の形態の真空バルブにおいては、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性とを両立させることができる。

図３は、本実施の形態における真空バルブの横断面図である。図３に示す真空バルブにおいては、図２に示した真空バルブと同様に、引出し端子１０ａを可動電極端子１１ａと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上（図３に示す直線Ｂ）とは異なる位置に設定しているが、引出し端子１０ａと可動電極端子１１ａとの間の距離が最大となるように引出し端子１０ａの位置を設定したものである。可とう導体１２と可動電極４とが接触しない位置で可とう導体１２の両端の固定位置が最長となるので、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできる。

なお、本実施の形態の真空バルブにおいては、取付け板８とは別に引出し電極１０を備えた例を示したが、取付け板８が引出し電極１０を兼ねてもよい。その場合、取付け板８が引出し端子１０ａを備える構成となる。

実施の形態２．
実施の形態１の真空バルブにおいて、可とう導体を流れる通電電流が大きくなるにしたがって、可とう導体の発熱量が大きくなる。可とう導体の温度が上昇すると、可とう導体からの熱伝導で真空バルブ全体の温度が上昇する。真空バルブの温度が上昇すると、接点間の抵抗が上昇し、さらに発熱量が大きくなり加速度的に真空バルブの温度が上昇して様々な不具合を招く恐れがある。

可とう導体の電気抵抗を小さくすれば発熱量を低減できる。上述のとおり、可とう導体は、数十枚の金属箔が積み重ねられたものや、金属製の平編組線で構成されたもので構成されており、電気抵抗を小さくするためには、金属箔の積層枚数を増やす、あるいは平編組線の緻密性を上げることが必要になる。しかしながら、そのような可とう導体では可とう性（曲げ性や伸縮性）が低下する。その結果、可とう導体の可とう性を発揮する部分の長さ、つまり両端の固定部分間の距離を長くする必要があり、真空バルブを大型にする必要が生じる。実施の形態２においては、可とう導体を複数備えることにより、真空バルブを大型にすることなく真空バルブの発熱量を抑制したものである。

図４は、この発明を実施するための実施の形態２に係る真空バルブの横断面図である。本実施の形態の真空バルブの構成は、実施の形態１と同様であるが、本実施の形態においては、引出し端子および可動電極端子をそれぞれ２箇所備えたものである。

図４に示すように、本実施の形態の真空バルブは、２つの引出し端子１０ａ、１０ｂおよび２つの可動電極端子１１ａ、１１ｂ、並びに引出し端子１０ａと可動電極端子１１ａとを接続する可とう導体１２ａおよび引出し端子１０ｂと可動電極端子１１ｂとを接続する可とう導体１２ｂを備えたものである。可動電極端子１１ａは、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されており、引出し端子１０ａは、可動電極端子１１ａと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されている。また、可動電極端子１１ｂも、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されており、引出し端子１０ｂも、可動電極端子１１ｂと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されている。つまり、実施の形態１で説明した引出し端子および可動電極端子、並びに引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体を２組備えたものである。

このように構成された真空バルブにおいては、引出し端子１０ａ、１０ｂがそれぞれ可動電極端子１１ａ、１１ｂと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されているので、引出し端子１０ａ、１０ｂと真空容器の内壁との最短距離よりも可とう導体１２ａ、１２ｂの長さを長くすることができる。また、可とう導体を２本備えているので、１本の可とう導体を流れる通電電流を半分にすることができるので、可とう導体の発熱量を低減することができる。したがって、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできると共に、真空バルブを大型にすることなく真空バルブの発熱量を抑制することができる。

なお、引出し端子１０ａ、可動電極端子１１ａおよび可とう導体１２ａの１組の構成と、引出し端子１０ｂ、可動電極端子１１ｂおよび可とう導体１２ｂの１組の構成とは真空容器の中心軸に対して１８０°回転対称の位置に配置されていることが好ましい。お互いが１８０°回転対称の位置に配置されることで、可とう導体１２ａ、１２ｂを同じ長さの可とう導体で構成できるので、各可とう導体を流れる電流値を等しくできるという効果がある。

以上のように、本実施の形態の真空バルブにおいては、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性とを両立させることができる。

なお、本実施の形態において、可とう導体を流れる通電電流が大きく可とう導体での発熱が問題となる場合に発熱抑制効果があると説明したが、通電電流があまり大きくなく、可とう導体での発熱が問題とならない場合には、次のような効果もある。

例えば、可とう導体を流れる通電電流が小さく可とう導体での発熱が問題とならない場合、可とう導体の電気抵抗に余裕があるため、２本の可とう導体それぞれの金属箔の積層枚数を減らす、あるいは平編組線の緻密性を下げることができる。そのような可とう導体では可とう性（曲げ性や伸縮性）が向上する。その結果、可とう導体の可とう性を発揮する部分の長さ、つまり両端の固定部分間の距離を短くすることができる。

本実施の形態のように、可とう性の向上した可とう導体を２本備えることにより、引出し端子１０ａと可動電極端子１１ａとの間の距離、および引出し端子１０ｂと可動電極端子１１ｂとの間の距離を短くすることができるので、小型の真空容器を用いることができる。その結果、可とう導体での発熱が問題とならない場合、１本の可とう導体で構成された真空バルブより真空バルブを小型にすることができる。

以上のように、本実施の形態の真空バルブにおいては、真空バルブの小型化と可とう導体の良好な導電性および可とう性の長期信頼性とを両立させることができる。

なお、本実施の形態においては、引出し端子および可動電極端子、並びに引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体を２組備えた構成を説明したが、２組の引出し端子あるいは可動電極端子の一方は他の組の端子を兼用することも可能である。図５および図６は、本実施の形態に係る別の構成の真空バルブの横断面図である。図５は、図４に示した真空バルブにおいて、引出し端子１０ａが引出し端子１０ｂを兼用した構成の真空バルブを示したものである。また、図６は、図４に示した真空バルブにおいて、可動電極端子１１ａが可動電極端子１１ｂを兼用した構成の真空バルブを示したものである。このように構成された真空バルブにおいては、部品点数が少なくなる効果もある。

実施の形態３．
実施の形態２においては、引出し端子および可動電極端子、並びに引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体を２組備えた真空バルブを説明したが、実施の形態３においては、それらを３組備えたものである。

図７は、この発明を実施するための実施の形態３に係る真空バルブの横断面図である。本実施の形態の真空バルブの構成は、実施の形態１と同様であるが、本実施の形態においては、引出し端子および可動電極端子をそれぞれ３箇所備えたものである。

図７に示すように、本実施の形態の真空バルブは、３つの引出し端子１０ａ、１０ｂ、１０ｃおよび３つの可動電極端子１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、並びに引出し端子１０ａと可動電極端子１１ａとを接続する可とう導体１２ａ、引出し端子１０ｂと可動電極端子１１ｂとを接続する可とう導体１２ｂ、および引出し端子１０ｃと可動電極端子１１ｃとを接続する可とう導体１２ｃを備えたものである。可動電極端子１１ａは、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されており、引出し端子１０ａは、可動電極端子１１ａと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されている。また、可動電極端子１１ｂも、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されており、引出し端子１０ｂも、可動電極端子１１ｂと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されている。さらに、可動電極端子１１ｃも、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されており、引出し端子１０ｃも、可動電極端子１１ｃと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されている。つまり、実施の形態１で説明した引出し端子および可動電極端子、並びに引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体を３組備えたものである。

このように構成された真空バルブにおいては、引出し端子１０ａ、１０ｂ、１０ｃがそれぞれ可動電極端子１１ａ、１１ｂ、１１ｃと真空容器２の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置に設定されているので、引出し端子１０ａ、１０ｂ、１０ｃと真空容器の内壁との最短距離よりも可とう導体１２ａ、１２ｂ、１２ｃの長さを長くすることができる。また、可とう導体を３本備えているので、１本の可とう導体を流れる通電電流を３分の１にすることができるので、可とう導体の発熱量を低減することができる。したがって、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできると共に、真空バルブを大型にすることなく真空バルブの発熱量を抑制することができる。

なお、引出し端子１０ａ、可動電極端子１１ａおよび可とう導体１２ａの１組の構成と、引出し端子１０ｂ、可動電極端子１１ｂおよび可とう導体１２ｂの１組の構成と、引出し端子１０ｃ、可動電極端子１１ｃおよび可とう導体１２ｃの１組の構成とは互いに真空容器の中心軸に対して１２０°回転対称の位置に配置されていることが好ましい。お互いが１２０°回転対称の位置に配置されることで、可とう導体１２ａ、１２ｂ、１２ｃを同じ長さの可とう導体で構成できるので、各可とう導体を流れる電流値を等しくできるという効果がある。

また、実施の形態２と同様に、可とう導体での発熱が問題とならない場合、可とう性の向上した３本の可とう導体で構成することにより、真空バルブを小型にすることができる。

なお、本実施の形態では、引出し端子および可動電極端子、並びに引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体を３組備えた真空バルブを説明したが、３組以上備えていてもよい。

実施の形態４．
実施の形態１〜３においては、直線形状の可とう導体を用いた真空バルブを説明したが、実施の形態４においては、螺旋形状の可とう導体を用いた真空バルブを説明する。

図８は、この発明を実施するための実施の形態４に係る真空バルブの横断面図である。また、図９は、本実施の形態に係る真空バルブの縦断面図である。本実施の形態の真空バルブの構成は、実施の形態１と同様であるが、可とう導体１２は、真空容器の軸中心を中心軸として周回する螺旋形状である。

図８に示すように、取付け板８には引出し電極１０が備えられている。また、可動電極４には取付け電極１１が備えられている。取付け電極１１は、可動電極４が固定電極３と離間した位置において、真空容器の周方向で引出し電極１０に対向する位置に取り付けられている。引出し電極１０と取付け電極１１との間には、引出し電極１０と取付け電極１１とを電気的に接続する螺旋形状の可とう導体１２が接続されている。取付け板８に接続された引出し電極１０には真空容器の内面側に引出し端子１０ａが備えられており、可動電極４に接続された取付け電極１１には可動電極端子１１ａが備えられている。

図９に示すように、可とう導体１２は可動電極４を周回する螺旋形状であり、その両端はそれぞれ引出し端子１０ａおよび可動電極端子１１ａに接続されている。

このように構成された真空バルブにおいては、可とう導体１２ａが螺旋形状であるので、引出し端子１０ａと真空容器の内壁との最短距離よりも可とう導体１２の長さを長くすることができる。したがって、真空バルブを大型にすることなく可とう導体の両端の固定部分間の距離を長くできる。

なお、本実施の形態においては、螺旋形状の可とう導体を１本備えた真空バルブを説明したが、２本以上備えていてもよい。つまり、本実施の形態で説明した引出し端子および可動電極端子、並びに引出し端子と可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体を２組以上備えていてもよい。螺旋形状の可とう導体を２本以上備えることにより、１本の可とう導体を流れる通電電流を半分以下にすることができるので、可とう導体の発熱量を低減することができる。

また、本実施の形態においては、可動電極端子１１ａは、真空容器２の中心軸からずれた位置に設定されているが、必ずしも真空容器２の中心軸からずれた位置である必要はない。例えば、可動電極４と絶縁ロッド５との接続部に取付け電極１１を配置して可動電極端子１１ａを真空容器２の中心軸と同じ位置であってもよい。また、取付け電極１１は必ずしも可動電極４と別に備える必要はなく、可動電極４が取付け電極１１を兼ねて可動電極４に可動電極端子１１ａが備えられていてもよい。

１ 真空バルブ、 ２ 真空容器、 ３ 固定電極、 ４ 可動電極
３ａ 固定接点、 ４ａ 可動電極４、 ５ 絶縁ロッド、 ６ 作動軸
７ ベローズ７、 ８ 取付け板、 ９ａ、９ｂ 端板
１０ 引出し電極、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ 引出し端子
１１ 取付け電極、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ 可動電極端子
１２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ 可とう導体

Claims (3)

1. 円筒状の真空容器と、
   固定接点を備え、前記真空容器の内部に配置された固定電極と、
   前記固定接点と接触および離間する可動接点を備え、前記真空容器の軸方向と平行な駆動軸方向に駆動される可動電極と、
   前記真空容器の内面側に引出し端子を備えた引出し電極と、
   前記真空容器の中心軸からずれた位置に可動電極端子を備え、前記可動電極に接続された取付け電極と、
   前記引出し端子と前記可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体と
   を備えた真空バルブであって、
   前記引出し端子の位置は前記真空バルブの断面において、前記可動電極端子と前記真空容器の軸中心とを結ぶ線上とは異なる位置にある
   ことを特徴とする真空バルブ。
2. 円筒状の真空容器と、
   固定接点を備え、前記真空容器の内部に配置された固定電極と、
   前記固定接点と接触および離間する可動接点を備え、前記真空容器の軸方向と平行な駆動軸方向に駆動される可動電極と、
   前記真空容器の内面側に引出し端子を備えた引出し電極と、
   可動電極端子を備え、前記可動電極に接続された取付け電極と、
   前記引出し端子と前記可動電極端子とを電気的に接続する可とう導体と
   を備えた真空バルブであって、
   前記可とう導体は前記真空容器の軸中心を中心軸として周回する螺旋形状である
   ことを特徴とする真空バルブ。
3. 前記引出し端子および前記可動電極端子、並びに前記引出し端子と前記可動電極端子とを電気的に接続する前記可とう導体を２組以上備えた
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の真空バルブ。

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