JP2017016096A - 保持ユニット及び貼合方法 - Google Patents

Abstract

【課題】パネルをより確実に保持しつつ気泡の混入を防止すること。
【解決手段】互いに貼り合わされるパネルのうちの一方のパネルを保持する保持ユニットであって、複数の給排気路を備えた支持部材と、前記支持部材に支持され、パネルに接触する接触部と、を含み、前記接触部は、複数の開口部と、パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、前記複数の給排気路は、前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、前記中間領域に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、前記中間領域は、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって前記支持部材から膨出可能である。
【選択図】 図２

Description

本発明はパネルの貼り合わせ技術に関する。

液晶パネルとカバーガラスのようなパネル同士を貼り合わせて積層体を製造する装置では、貼り合わせ面に気泡が混入すると、積層体の品質に影響を与える場合がある。気泡の混入を低減するために、特許文献１及び特許文献２には一方のパネルを反らせて、他方のパネルに接触させる装置が開示されている。これらの装置では、パネル間の気泡を周囲に押し出すことができ、気泡の混入の防止に一定の効果がある。

特開２０１２−１２４４４４号公報 特開２００９−１８０９１１号公報

パネルを反らせる場合、パネルの保持部分周辺には曲げが生じるため、パネルが保持機構から脱落する可能性がある。

本発明の目的は、パネルをより確実に保持しつつ気泡の混入を防止することにある。

本発明によれば、互いに貼り合わされるパネルのうちの一方のパネルを保持する保持ユニットであって、複数の給排気路を備えた支持部材と、前記支持部材に支持され、パネルに接触する接触部と、を含み、前記接触部は、複数の開口部と、パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、前記複数の給排気路は、前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、前記中間領域に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、前記中間領域は、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって前記支持部材から膨出可能である、ことを特徴とする保持ユニットが提供される。

また、本発明によれば、互いに貼り合わされるパネルのうちの一方のパネルを保持する保持ユニットであって、複数の給排気路を備えた支持部材と、前記支持部材に支持され、パネルに接触するシート部材と、前記支持部材と前記シート部材との間に配置された可動部材と、を含み、前記シート部材は、複数の開口部と、パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、前記可動部材は、前記中間領域に配置され、前記複数の給排気路は、前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、前記可動部材に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、前記可動部材は、前記第二の給排気路内と前記シート部材の周囲雰囲気との差圧によって前記シート部材側に変位可能であり、前記可動部材が前記シート部材側へ変位することにより、前記シート部材の前記中間領域が膨出する、ことを特徴とする保持ユニットが提供される。

また、本発明によれば、第一のパネルを保持ユニットで保持し、第二のパネルと貼り合わせる貼合方法であって、前記保持ユニットであって、複数の給排気路を備えた支持部材と、前記支持部材に支持され、パネルに接触する接触部と、を含み、前記接触部は、複数の開口部と、パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、前記複数の給排気路は、前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、前記中間領域に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、前記貼合方法は、前記第一のパネルにおける貼合面と反対側の面と、前記接触部とを当接させる工程と、前記第一のパネルを、前記第一の給排気路の排気によって前記接触部に吸着する工程と、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって、前記支持部材から前記中間領域を前記第二のパネルに向かって凸状に膨出させる膨出工程と、凸状に膨出された前記中間領域により、前記第一のパネルの中央部を凸状に湾曲させる工程と、凸状に湾曲した前記第一のパネルの中央部を前記第二のパネルに当接させる工程と、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの少なくともいずれか一方を互いに近接する方向に移動させ、前記第一のパネルと前記第二のパネルとが当接する領域を、これらのパネルの各周縁部に向かって拡げる工程と、前記第一のパネルの吸着を解除する解除工程と、を含む、ことを特徴とする貼合方法が提供される。

また、本発明によれば、第一のパネルを保持ユニットで保持し、第二のパネルと貼り合わせる貼合方法であって、前記保持ユニットは、複数の給排気路を備えた支持部材と、前記支持部材に支持され、パネルに接触するシート部材と、前記支持部材と前記シート部材との間に配置された可動部材と、を含み、前記シート部材は、複数の開口部と、パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、前記複数の給排気路は、前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、前記可動部材に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、前記貼合方法は、前記第一のパネルにおける貼合面と反対側の面と、前記シート部材とを当接させる工程と、前記第一のパネルを、前記第一の給排気路の排気によって前記シート部材に吸着する工程と、前記第二の給排気路内と前記シート部材の周囲雰囲気との差圧によって、前記可動部材を変位させ、前記支持部材から前記中間領域を前記第二のパネルに向かって凸状に膨出させる膨出工程と、凸状に膨出された前記中間領域により、前記第一のパネルの中央部を凸状に湾曲させる工程と、凸状に湾曲した前記第一のパネルの中央部を前記第二のパネルに当接させる工程と、前記第一のパネル及び前記第二のパネルの少なくともいずれか一方を互いに近接する方向に移動させ、前記第一のパネルと前記第二のパネルとが当接する領域を、これらのパネルの各周縁部に向かって拡げる工程と、前記第一のパネルの吸着を解除する解除工程と、を含む、ことを特徴とする貼合方法が提供される。

本発明によれば、パネルをより確実に保持しつつ気泡の混入を防止することができる。

本発明の一実施形態に係る貼合装置の説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は保持ユニットの説明図。 （Ａ）は接触部の接触面の説明図、（Ｂ）は支持部材の支持面の説明図、（Ｃ）はシート部材の説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）はシートの説明図。 制御ユニットのブロック図。 図１の貼合装置の動作説明図。 図１の貼合装置の動作説明図。 図１の貼合装置の動作説明図。 図１の貼合装置の動作説明図。 図１の貼合装置の動作説明図。 図１の貼合装置の動作説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）は保持ユニットの別例の説明図。 （Ａ）は接触部の接触面の説明図、（Ｂ）は支持部材の支持面の説明図。 （Ａ）及び（Ｂ）はシートの説明図。

＜第一実施形態＞
＜装置の概要＞
図１は本発明の一実施形態に係る貼合装置Ａの説明図である。貼合装置Ａは、２枚のパネルを貼り合わせて積層体を製造する装置である。本実施形態の場合、方形のパネルと方形のパネルとを貼り合わせた積層体を製造する。一方のパネルは例えば画像表示パネルであり、他方のパネルは例えばカバーパネルであり、その積層体は画像表示装置を構成する。画像表示パネルとしては例えば液晶表示パネル（例えば、ＬＣＤ）であり、その表示面側（貼り合わせ過程では上面となる）にカバーパネル（例えば、カバーガラス）が貼り付けられる。カバーパネルは光透過性を有するパネルであり、例えばガラス板や樹脂板である。

貼り合わされる２枚のパネルの少なくとも一方には、接着層を事前形成しておき、この接着層により２枚のパネルを貼り合せることができる。接着層は、接着剤の塗布等による被覆層、接着シート、接着フィルム等により形成することができる。

貼合装置Ａは、保持ユニット１と、昇降テーブル２と、チャンバユニット３と、ベーステーブル４と、チャンバユニット５と、移載ユニット６と、複数の昇降機構７と、給排気ユニット８Ａ〜８Ｃとを含む。

＜保持ユニット＞
図１、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３（Ａ）〜図３（Ｃ）及び図４（Ａ）〜図４（Ｃ）を参照して保持ユニット１を説明する。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は保持ユニット１の説明図であり、その中央での断面図を示している。図２（Ａ）は接触部１２の中間領域ＲＭが膨出していない状態を示し、図２（Ｂ）は中間領域ＲＭが膨出した状態を示す。図３（Ａ）は接触部１２の接触面ＣＳの説明図であり、保持ユニット１の底面図である。図３（Ｂ）は支持部材１１の支持面１１１の説明図、図３（Ｃ）はシート部材１３の説明図である。図４（Ａ）はシート部材１４を構成するシート１４１の説明図であり、その下面（シート１４２と貼り合される面）を示す。図４（Ｂ）はシート部材１４を構成するシート１４２の説明図であり、その下面（接触面ＣＳ）を示す。図４（Ｃ）はシート部材１４を構成するシート１４１の別例の説明図であり、その上面（シート部材１３側の面）を示す。

保持ユニット１は、互いに貼り合わされるパネルのうちの一方のパネルを保持する。保持ユニット１は、支持部材１１と、接触部１２とを備える。支持部材１１は保持ユニット１の本体を構成する。接触部１２は、保持されるパネルに接触する部分であり、支持部材１１に支持されている。

支持部材１１には複数の給排気路ＰＳ１〜ＰＳ３が形成されている。複数の給排気路ＰＳ１〜ＰＳ３は、いずれも、支持面１１１に開口している。支持面１１１は、その長手方向両端部に位置する水平な一対の支持面１１１ａと、一対の支持面１１１ａの間に位置する支持面１１１ｂとを備える。一対の支持面１１１ａと支持面１１１ｂとは、高さ方向にずれた位置に段違いに形成されており、支持面１１１ｂは、一対の支持面１１１ａよりも上方にくぼんだ位置に位置している。つまり、支持面１１１には凹部（支持面１１１ｂ）が形成されており、この凹部には後述するシート部材１３が固定される。

本実施形態の場合、支持面１１１は支持部材１１の下面である。支持面１１１の輪郭形状（平面視形状）は、例えば、保持されるパネルと同形か相似形とすることができる。本実施形態の場合、支持面１１１は方形である。

給排気路ＰＳ１は、支持面１１１の一辺側（ここでは一方（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）では左側）の支持面１１１ａ）において開口している。本実施形態では、給排気路ＰＳ１の開口個所を一か所としているが、給排気路ＰＳ１を分岐させて複数個所としてもよい。開口個所を複数とする場合、支持面１１１の一辺に沿って開口させてもよい。

給排気路ＰＳ２は、支持面１１１の他辺側（ここでは他方（図２（Ａ）及び図２（Ｂ）では右側）の支持面１１１ａ）において開口している。本実施形態では、給排気路ＰＳ２の開口個所を一か所としているが、給排気路ＰＳ２を分岐させて複数個所としてもよい。開口個所を複数とする場合、支持面１１１の他辺に沿って開口させてもよい。

給排気路ＰＳ１と給排気路ＰＳ２は互いに連通し、かつ、給排気ユニット８Ａに連通している。給排気路ＰＳ１及びＰＳ２は、主として、パネルの吸着保持のために利用される。支持面１１１に形成される給排気路ＰＳ１及びＰＳ２の開口部の数や配置態様は、保持するパネルの形状等に応じて適宜設計可能である。

給排気路ＰＳ３は、支持面１１１（ここでは支持面１１１ｂ）において複数個所（ここでは四か所）で開口している。支持面１１１における給排気路ＰＳ３の開口部は一か所であってもよい。本実施形態の場合、給排気路ＰＳ３の開口部は、支持面１１１の中央部（支持面１１１ｂの中央部）に形成されている。本実施形態の場合、支持面１１１の中央部は、保持されるパネルの中央部に対向する位置である。給排気路ＰＳ３は給排気ユニット８Ｂに連通している。

本実施形態の場合、支持面１１１ｂには環状の溝１１２が形成されている。また、本実施形態の場合、支持面１１１ｂには複数の溝１１３が形成されている。複数の溝１１３は給排気路ＰＳ３の開口部に連続させて分岐形成されており、本実施形態の場合、網目状に延び、溝１１２に連続している。溝１１２や、溝１１３の機能については後述する。

一対の支持面１１１ａには、複数の取付孔１１４が形成されている。複数の取付孔１１４は本実施形態の場合ねじ孔であり、接触部１２を構成するシート部材１４がねじ１２ｂで一対の支持面１１１ａに固定される。

本実施形態の場合、接触部１２は、大別すると、シート部材１３とシート部材１４とを備えており、これらのシート部材を積層させて形成されている。シート部材１３はシート部材１４と支持部材１１との間に位置している。換言すると、シート部材１３は支持部材１１側に位置し、シート部材１４は反対側（パネル側）に位置している。シート部材１４は、更に、シート１４１及びシート１４２の積層体である。シート部材１４の下面は接触面ＣＳを構成する。接触面ＣＳは、保持されるパネルに接触する面である。

接触部１２は、図３（Ａ）に示すように端部領域ＥＡ１及びＥＡ２と、中間領域ＲＭとを含む。端部領域ＥＡ１及びＥＡ２は接触部１２の両端部に位置し、中間領域ＲＭは端部領域ＥＡ１と端部領域ＥＡ２との間に位置している。中間領域ＲＭは支持部材１１に固定されず、パネル側へ膨出可能な領域であり、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２は支持部材１１にねじ１２ｂで固定された固定領域であり、パネル側へ膨出不能な領域である。本実施形態の場合、中間領域ＲＭはシート部材１３及びシート部材１４により構成され、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２はシート部材１４のみにより構成されている。

接触面ＣＳのうち、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２はパネルの粘着保持が可能な粘着性を有していてもよい。これによりパネルの保持力を向上できる。パネルを保持する際、端部領域ＥＡ１がパネルの一方端部を、端部領域ＥＡ２がパネルの他方端部を、それぞれ粘着するように端部領域ＥＡ１及びＥＡ２の位置が設計されてもよい。中間領域ＲＭは、パネルの粘着が不能な非粘着性を有していてもよいし、パネルの粘着保持が可能な粘着性を有していてもよい。中間領域ＲＭの粘着性は、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２の粘着性と同じであるか、または端部領域ＥＡ１及びＥＡ２の粘着性よりも低いかのいずれであってもよい。

パネルの保持力向上の点で、接触面ＣＳの全面、すなわち端部領域ＥＡ１、ＥＡ２及び中間領域ＲＭが粘着性を有していることが好ましい。本実施形態では、接触面ＣＳの全面が粘着性を有している構成を想定する。

次に、図３（Ａ）に示すように接触面ＣＳには、複数の開口部１２ａが形成されている。複数の開口部１２ａは、給排気路ＰＳ１及び給排気路ＰＳ２と連通しており、給排気ユニット８Ａの稼働により、開口部１２ａの近傍における接触部１２の下方の空気が給排気路ＰＳ１及び給排気路ＰＳ２内に吸引される。本実施形態の場合、複数の開口部１２ａは中間領域ＲＭにマトリックス状に分布しているが、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２にも開口部１２ａを設けてもよい。

シート部材１３は、可撓性を有するシートにより形成されている。シート部材１３は支持面１１１ｂと同じ面積を有し、中央部１３１を除くその周囲部分が支持面１１１ｂに全体的に固着されている。シート部材１３の厚さは、本実施形態の場合、一対の支持面１１１ａと支持面１１１ｂとの高さの差と同じであり、シート部材１３の下面（シート部材１４側の面）は、一対の支持面１１１ａと面一である。

中央部１３１は、その輪郭が環状の溝１１２と重なる仮想的な領域であり、本実施形態の場合、円形の領域である。中央部１３１は支持面１１１ｂからパネル側へ膨出可能な膨出部を構成している。中央部１３１のことを膨出部１３１と呼ぶ場合がある。

支持面１１１上の給排気路ＰＳ３の開口部は、中間領域ＲＭ、特に、シート部材１３の膨出部１３１に臨んで開口している。膨出部１３１は、給排気路ＰＳ３内と接触部１２の周囲雰囲気との差圧によって支持部材１１から膨出可能である。支持面１１１ｂに形成した溝１１２と溝１１３により、膨出部１３１内の気圧が均等になることが促進され、膨出部１３１を凸面状に膨出させることが可能である。

溝１１２はまた、シート部材１３と支持面１１１ｂとの固着領域及び非固着領域を画定する境界溝でもある。シート部材１３を接着剤により支持面１１１ｂに固着する場合、接着剤が溝１１２で囲まれる領域内にはみ出ると、膨出部１３１が支持面１１１ｂに部分的に固着され、膨出が妨げられるおそれがある。溝１１２を形成したことで、溝１１２で囲まれる領域内にはみ出そうとする接着剤が溝１１２に入り込み、該領域内にはみ出ることが防止される。

次に、シート部材１４について説明する。シート部材１４は、外形が同じシート１４１とシート１４２とを積層し、互いに全体に渡って接着剤等で固着して形成されている。シート１４１及びシート１４２はいずれも可撓性を有している。

シート１４１には、シート１４１を厚み方向に貫通する開口部１４１ａ、１４１ｂが形成されている。開口部１４１ａは、支持部材１１の一方の支持面１１１ａに開口した給排気路ＰＳ１の開口部と重なる位置に形成されており、給排気路ＰＳ１と連通する。また、開口部１４１ｂは、支持部材１１の他方の支持面１１１ａに開口した給排気路ＰＳ２の開口部と重なる位置に形成されており、給排気路ＰＳ２と連通する。

シート１４１には、また、複数の溝１４１ｃが形成されている。複数の溝１４１ｃは、シート１４１の下面（シート１４２側の面）に形成されている。本実施形態の場合、複数の溝１４１ｃは、シート１４１の長手方向に延びる一つの溝と、この溝と交差する複数の溝とから構成されており、開口部１４１ａ及び１４１ｂに連通している。溝１４１ｃの構成はこれに限られず、開口部１４１ａ又は開口部１４１ｂと連通していればよい。

シート１４１の長手方向の両端部には、複数の取付孔１４１ｄが形成されている。複数の取付孔１４１ｄは、支持部材１１の支持面１１１ａに形成された複数の取付孔１１４と重なる位置に形成され、シート１４１を厚み方向に貫通する。

シート１４２には、シート１４２を厚み方向に貫通する複数の開口部１２ａが形成されている。上述した複数の溝１４１ｃは、複数の開口部１２ａと重なるように配置されている。シート１４１の下面にシート１４２を重ねることで、シート１４１の下面側において複数の溝１４１ｃは閉空間となり、連通路が形成される。この連通路は、開口部１４１ａ及び１４１ｂを介して給排気路ＰＳ１及びＰＳ２と複数の開口部１２ａとを連通させる。

シート１４２の長手方向の両端部には、複数の取付孔１４２ａが形成されている。複数の取付孔１４２ａは、支持部材１１の支持面１１１ａに形成された複数の取付孔１１４と重なる位置に形成され、シート１４２を厚み方向に貫通する。

シート部材１４は、図３（Ａ）に示すように、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２において複数のねじ１２ｂで支持部材１１に固定される。シート部材１４の中央部である中央領域ＲＭは支持部材１１に固定されず、パネル側へ膨出可能となっている。また、シート部材１３とシート部材１４との接触面は互いに固着されず、単に重なっているだけである。

図２（Ｂ）は中間領域ＲＭの膨出例を示している。同図の例では、給排気路ＰＳ３に給気している。これにより膨出部１３１と支持面１１１ｂとの隙間に加圧された空気が供給され、接触部１２の周囲雰囲気（外部雰囲気）よりもこの隙間内の気圧が高くなる。この結果、膨出部１３１が下向きに凸状に膨出し、シート部材１４が膨出部１３１により下方へ押圧され、シート部材１４の中間領域ＲＭが下向きに凸状に膨出している。膨出部１３１により、中間領域ＲＭの中心部において押圧力を強めることで、シート部材１４の中間領域ＲＭを、その周縁部から中央部にかけて比較的なだらかに膨出させることができる。シート部材１３及び１４はこのような膨出が可能な範囲での可撓性あるいは伸縮性を有する材料及び膜厚のシート材で構成することができる。

接触面ＣＳが粘着性を有する構成の場合、シート１４２は例えば粘着性を有するように表面が加工されたシリコーンゴムシート等であり、洗浄によって繰り返し粘着性が復元するものであってもよい。シート１４１は例えばプラスチックである。

中間領域ＲＭをより円滑に膨出させるために、シート１４１に複数の溝を形成してもよい。図４（Ｃ）はその一例を示す。同図の例は、シート１４１の上側の面（支持部材１１側の面）を示しており、線状の溝１４１ｅが複数本形成されている。各溝１４１ｅはシート１４１の長手方向と交差する方向（ここでは直交方向）に延設され、かつ、長手方向に配列されている。膨出部１３１を膨出させたときに、シート１４１が各溝１４１ｅを起点にして撓み易く、すなわち折り曲がり易くなり、シート１４１を可撓性が低い材料で構成しても、シート部材１４の中間領域ＲＭを膨出させやすくなる。

＜貼合装置の他の構成＞
図１を参照して、貼合装置Ａの他の構成について説明する。昇降テーブル２は水平姿勢で配設された板状の部材であり、複数の昇降機構７により上下に平行移動される。昇降機構７はベーステーブル４に支持された支柱７１と、駆動機構７２とを備える。昇降機構７は例えばボールねじ機構であり、支柱７１の一部に形成されたボールねじ上を、駆動機構７２が移動する。駆動機構７２はボールナットと、ボールナットを回転させるモータ等の駆動源と、歯車装置等の動力伝達機構とを備える。駆動機構７２は昇降テーブル２に搭載されており、複数の昇降機構７を同期させて駆動することで、昇降テーブル２を水平姿勢で昇降させることができる。

保持ユニット１は昇降機構２１を介して昇降テーブル２に支持されている。昇降機構２１は昇降軸２１２と、昇降軸２１２を昇降する駆動機構２１１とを備える。昇降機構２１は例えばボールねじ機構やラック−ピニオン機構である。昇降軸２１２の下端部には保持ユニット１が固定されている。したがって、昇降機構２１の駆動により保持ユニット１を昇降できる。

昇降テーブル２の下面には、チャンバユニット３が固定されている。チャンバユニット３は、下方が開放した箱体であり、その内部空間３１に保持ユニット１が進退可能に収容される。チャンバユニット３の天部には昇降軸２１２が挿通される貫通孔３２が形成されており、昇降軸２１２及び貫通孔３２を囲繞して筒状のベローズ３３が固定されている。ベローズ３３は、その上端がチャンバユニット３における内部空間３１を臨む下面に、その下端が保持ユニット１に接続される。このベローズ３３により、内部空間３１が貫通孔３２、すなわちチャンバユニット３の上方空間と連通することが防止され、内部空間３１の気密性を保持することができる。これによって、内部空間３１の気密性を保持したまま、保持ユニット１を昇降させることができる。チャンバユニット３の内部空間３１は給排気ユニット８Ｃと連通している。

ベーステーブル４上には、複数の支柱４１を介して、チャンバユニット５が支持されている。チャンバユニット５の上面には、パネルが載置される載置台５１が固定されている。載置台５１は保持ユニット１に対向するように配置されている。

チャンバユニット５の上面周縁部には、その全周に渡ってシール５２が設けられている。昇降機構７により昇降テーブル２を下降させるとチャンバユニット３が下降され、チャンバユニット３の下面とチャンバユニット５の上面とが当接する。より正確には、チャンバユニット３の下面とシール５２とが当接し、シール５２が圧縮される。これによりチャンバユニット３とチャンバユニット５とに囲まれた内部空間３１は気密な状態となる。

ベーステーブル４には、移載ユニット６が搭載されている。移載ユニット６は、外部と、載置台５１との間で、パネルの受け渡しを行う。移載ユニット６は、複数のピン６１と、複数のピン６１を支持する支持テーブル６２と、支持テーブル６２を支持する昇降機構６３とを備える。各ピン６１はチャンバユニット５を貫通形成されたピン孔５ａに挿通させて設けられており、支持テーブル６２の昇降により載置台５１上に突出、退避が可能である。図１は各ピン６１が載置台５１上に突出した状態を示している。昇降機構６３は、例えば、エアシリンダや電動シリンダ等であり、支持テーブル６２を水平姿勢で昇降する。支持テーブル６２とチャンバユニット５の下面との間には、筒状のベローズ５３が固定されている。具体的には、ベローズ５３の上端がチャンバユニット５の下面に接続され、ベローズ５３の下端が支持テーブル６２の上面に接続される。このベローズ５３により、チャンバユニット５の上方空間が、ピン孔５ａを介してチャンバユニット５の下方空間と連通することが防止される。その結果、チャンバユニット５の上方空間の気密性を保持したまま、ピン６１を昇降させることができる。

給排気ユニット８Ａ〜８Ｃは例えばポンプと、電磁制御弁とから構成される。給排気ユニット８Ａは給排気路ＰＳ１、ＰＳ２の給気、排気、閉塞、開放が可能である。給排気ユニット８Ｂは給排気路ＰＳ３の給気、排気、閉塞、開放が可能である。給排気ユニット８Ａは昇降機構２１の昇降軸２１２内に形成した給排気路を介して給排気路ＰＳ１及びＰＳ２と連通している。同様に、給排気ユニット８Ｂは昇降機構２１の昇降軸２１２内に形成した給排気路を介して給排気路ＰＳ３と連通している。給排気ユニット８Ｃは内部空間３１の給気、排気、閉塞、開放が可能である。

＜制御ユニット＞
図５は貼合装置Ａの制御を行う制御ユニット９のブロック図である。制御ユニット９は、ＣＰＵ等の処理部９１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ等の記憶部９２と、外部デバイスと処理部９１とをインターフェースするインターフェース部９３と、を含む。インターフェース部９３には、ホストコンピュータとの通信を行う通信インターフェースも含まれる。ホストコンピュータは、例えば、貼合装置Ａが配置された製造設備全体を制御するコンピュータである。

処理部９１は記憶部９２に記憶されたプログラムを実行し、各種のセンサ９５の検出結果や上位のコンピュータ等の指示に基づいて、各種のアクチュエータ９４を制御する。各種のセンサ９５には、例えば、昇降機構２１により昇降される保持ユニット１の位置を検出するセンサ、複数の昇降機構７により昇降される昇降テーブル２の位置を検出するセンサ、移載ユニット６により昇降される支持テーブル６２の位置を検出するセンサ等、各種のセンサが含まれる。各種のアクチュエータ９４には、例えば、給排気ユニット８Ａ〜８Ｃの駆動源、電磁制御弁、昇降機構２１の駆動源、昇降機構７の駆動源、駆動機構６３の駆動源が含まれる。

＜制御例＞
処理部９１の制御例について図６〜図１１を参照して説明する。ここでは、内部空間３１を真空とし、内部空間３１内でパネル同士を貼り合せる例を説明する。真空中でパネル同士を貼り合せることでパネル間に気泡が混入することを防止し易くなる。

図６の状態ＳＴ１は、貼合装置Ａに、貼り合わせ対象となるパネルＰ１とパネルＰ２とが搬入される状態を示している。パネルＰ１は例えばカバーパネルであり、パネルＰ２は例えば画像表示パネルである。パネルＰ２の上面には別工程により未硬化の接着層が事前形成されている。

チャンバユニット３とチャンバユニット５とは上下に離間した状態にある。複数のピン６１は載置台５１から突出した状態にあり、保持ユニット１の接触部１２がチャンバユニット３の下面よりも僅かに下方に位置している。

パネルＰ２は不図示の移載ロボットによって貼合装置Ａに搬入され、複数のピン６１上に載置される。パネルＰ１は不図示の移載ロボットによって接触部１２の直下に搬入され、後述する手順で保持ユニット１に保持される。

状態ＳＴ２で、複数のピン６１を下降させ、パネルＰ２が複数のピン６１から載置台５１上に移載される。パネルＰ１を保持した保持ユニット１を昇降機構２１により上昇させ、内部空間３１内に位置させる。

図７の状態ＳＴ３でチャンバユニット３を下降させ、チャンバユニット３の下面をチャンバユニット５の上面に当接させて内部空間３１を気密にする。このとき、パネルＰ１とパネルＰ２とは上下に離間している。給排気ユニット８Ｃの駆動により内部空間３１内の空気を排気し、内部空間３１を真空状態にする。

内部空間３１を真空状態に維持したまま、状態ＳＴ４でパネルＰ１を保持した保持ユニット１を昇降機構２１によりパネルＰ２側へ下降させ、パネルＰ１とパネルＰ２とを貼り合わせる。パネルの貼り合わせを真空下で行うので、パネル間に気泡が混入するのを防止できる。その後、給排気ユニット８Ｃにより内部空間３１を大気開放する。

図８の状態ＳＴ５で保持ユニット１を昇降機構２１により上昇させ、パネルＰ１から保持ユニット１を分離させる。載置台５１上には貼り合わされたパネルＰ１とパネルＰ２の積層体Ｐ３が載置された状態となる。状態ＳＴ６でチャンバユニット３を上昇させ、内部空間３１が密閉状態から開放される。また、複数のピン６１を上昇させて載置台５１から積層体Ｐ３を持ち上げる。不図示の移載ロボットが積層体Ｐ３を貼合装置Ａ外へ搬出して一単位の処理を終了する。

図９〜図１１を参照して保持ユニット１の動作について説明する。まず、図６の状態ＳＴ１において保持ユニット１がパネルＰ１を保持する動作を説明する。図９の状態ＳＴ１０１は保持ユニット１の直下にパネルＰ１が搬入された状態を示す。パネルＰ１は移載ロボットのハンドＨ上に載置されている。

状態ＳＴ１０２で昇降機構２１により保持ユニット１をパネルＰ１上に下降させる。膨出部１３１は、パネルＰ１の中央部に対向する位置に位置している。接触部１２をパネルＰ１の上面に接触させることで、接触部１２がパネルＰ１に粘着する。この粘着と共に給排気ユニット８Ａを駆動して、給排気路ＰＳ１及びＰＳ２内の空気を排気し、吸引を行う。これによって、開口部１２ａから空気が吸引され、接触部１２にパネルＰ１が吸着される。状態ＳＴ１０３で昇降機構２１により保持ユニット１を上昇させ、図６の状態ＳＴ２になる。

なお、接触部１２によってパネルＰ１を粘着させると同時に保持ユニット１を上昇させ、この上昇を行いつつ給排気ユニット８ＡによってパネルＰ１を吸引、吸着させるようにしても良い。これによって、パネルＰ１の吸着及び上昇に伴うタクトタイムの短縮を図ることができる。

図１０の状態ＳＴ１０４は、図７の状態ＳＴ３に対応しており、内部空間３１が真空状態になった状態である。パネルＰ１は保持ユニット１の接触部１２に吸着された状態を継続している。状態ＳＴ１０５で、給排気路ＰＳ３内と接触部１２の周囲雰囲気（内部空間３１内の雰囲気。ここでは真空。）とに差圧を生じさせ、膨出部１３１を支持部材１１から凸状に膨出させる。これにより、シート部材１４の中間領域ＲＭが支持部材１１から凸状に膨出する。差圧の発生は、給排気ユニット８Ｂによる給排気路ＰＳ３の大気開放、または、給排気路ＰＳ３への加圧された空気ＡＵＰの給気により行う。図１０の例では、わかり易いように給排気路ＰＳ３に加圧された空気ＡＵＰを給気している矢印を示している。ここで、状態ＳＴ１０５の膨出の前に、給排気ユニット８Ｂにより給排気路ＰＳ３内の空気を排気し、膨出部１１３を支持部材１１の支持面１１１ｂに吸着させておいてもよい。これにより、不意に中間領域ＲＭが膨出することを防止できる。

加圧された空気ＡＵＰの給気により、シート部材１４の中間領域ＲＭがパネルＰ２側へ凸状に膨出し、シート部材１４の中間領域ＲＭの膨出に倣ってパネルＰ１が弾性的に湾曲され、パネルＰ２側へ凸状に膨出する。ここで言う” 凸状に膨出”とは、シート部材１４の中間領域ＲＭがパネルＰ２側へ凸面状に湾曲するということである。

このとき、支持部材１１とパネルＰ１との間に接触部１２が介在しているので、接触部１２が緩衝部材となって、パネルＰ１の湾曲は比較的緩やかなものとなる。つまり、パネルＰ１に直接給気して湾曲させる場合よりも、接触部１２が介在していることで、極端な曲げが発生することを防止し易くなる。また、パネルＰ１への加圧は、気圧差を利用したものであるので、加圧力がパネルＰ１の特定の部分に極端に集中するということはなく、広範囲に加圧力を分散させることができる。したがって、パネルＰ１の損傷を抑制することができると共にパネルＰ１の脱落を防止できる。更にパネルＰ１の湾曲を制御し易くなる。

更に本実施形態の場合、膨出部１３１により、シート部材１４の中間領域ＲＭの中心部において押圧力を強めることで、シート部材１４の中間領域ＲＭを、その周縁部から中央部にかけて比較的なだらかに膨出させることができる。このため、パネルＰ１もその周縁部から中央部にかけて比較的なだらかに湾曲させることができ、パネルＰ１の損傷を更に抑制すると共にパネルＰ１の脱落を防止できる。

また、シート部材１４をシート１４１とシート１４２との二層構造とし、その内部に溝１４１ｃによる開口部１２ａの流通路を形成したので、開口部１２ａを任意の位置に形成でき、シート部材１４の中間領域ＲＭの膨出中において、パネルＰ１の中央部を含む複数の位置での吸着を維持することができる。

更に、接触面ＣＳの全面が粘着性を有するので、接触面ＣＳの全面でパネルＰ１が粘着されるため、真空下でも保持力の確保が容易であり、また、保持ユニット１に対するパネルＰ１の位置ずれが防止される。位置ずれの防止は、パネルＰ１とパネルＰ２との貼合位置の精度向上に寄与する。

パネルＰ１がパネルＰ２側へ凸状に膨出することにより、パネルＰ１の中央部が最初にパネルＰ２に接触する。続く状態ＳＴ１０６で昇降機構２１により保持ユニット１を下降させ、パネルＰ１とパネルＰ２とを全面的に接触させる。これにより、貼り合わせが完了し、積層体Ｐ３が得られる。ここで、パネルＰ１の中央部をパネルＰ２に接触させた後に保持ユニット１を下降させていくことにより、パネルＰ１の中央部における凸状の膨出は押し戻される。その結果、パネルＰ１とパネルＰ２の接触は、中央部のみの面接触から全面での面接触へと放射状に広がっていく。これにより、パネルＰ１とパネルＰ２との間に気泡が混入していたとしても、気泡はパネルＰ１及びパネルＰ２の周辺部へ押し出されながら、パネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせが行われてゆく。本実施形態の場合、パネルＰ１、Ｐ２の貼り合わせを真空下で行うので、空気はほぼ存在しないが、気泡の混入を完全に無くすことは困難である。しかしながら、仮にパネルＰ１とパネルＰ２との間に気泡が混入したとしても、空気を周辺部へ押し出すようにパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせを行うことで、気泡は完全にパネルＰ１、Ｐ２の外側に押し出され、気泡の混入が無い積層体Ｐ３を得ることができる。

パネルＰ１、Ｐ２の貼り合わせが完了した後、上記のとおり、内部空間３１が大気開放される。図１１の状態ＳＴ１０７に示すように、給排気路ＰＳ１及びＰＳ２の排気を終了して吸着を解除する。給排気路ＰＳ１及びＰＳ２は大気開放してもよい。また、給排気路ＰＳ３内への加圧された空気ＡＵＰの供給が停止される。このとき、給排気路ＰＳ３を大気開放するようにしてもよく、又は給排気路ＰＳ３内への加圧された空気ＡＵＰの給気を継続してもよい。

次に、保持ユニット１とパネルＰ１とを分離する動作に移る。状態ＳＴ１０８では、給排気ユニット８Ａを駆動して、給排気路ＰＳ１及びＰＳ２に加圧された空気ＡＵＰを給気する。開口部１２ａから加圧された空気ＡＵＰを噴出させ、接触面ＣＳからパネルＰ１を積極的に分離させる。このように給排気路ＰＳ１、ＰＳ２はパネルＰ１の吸着だけでなく、分離促進にも利用できる。給排気路ＰＳ３を大気開放させ（又は加圧された空気ＡＵＰを給気し）、さらに昇降機構２１により保持ユニット１を上昇させると共に、膨出部１１３の膨出によって中間領域ＲＭを凸状に膨出させる。これも接触部１２とパネルＰ１との分離を促進し、パネルＰ１とパネルＰ２の積層体を載置台５１に抑えておくことができる。状態ＳＴ１０９では、給排気路ＰＳ１及びＰＳ２への加圧された空気ＡＵＰの給気停止と、給排気路ＰＳ３の大気開放（又は加圧された空気ＡＵＰの給気）を停止した状態を示す。

以上によりパネルＰ１、Ｐ２の貼り合わせが完了する。なお、本実施形態では、真空下でパネルＰ１とパネルＰ２との貼り合わせを行ったが、大気雰囲気下で行ってもよい。この場合、内部空間３１の形成及び内部空間３１を真空にするための構成は不要である。大気雰囲気下で貼り合わせを行う場合も、給排気路ＰＳ１、ＰＳ２の給排気は真空下で行う場合と同様であるが、膨出部１１３を膨出させる際は、給排気路ＰＳ３を大気開放させるだけでは膨出させることができない。このため、このときは給排気路ＰＳ３内に加圧された空気ＡＵＰを給気し、給排気路ＰＳ３内を大気圧よりも高くする必要がある。

＜第二実施形態＞
第一実施形態では、シート部材１３の弾性変形により中間領域ＲＭを膨出させたが、可動部材の変位により中間領域ＲＭを膨出させる構成も採用可能である。以下、その構成例を説明する。

図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）は、第一実施形態の保持ユニット１に代わる保持ユニット１Ａの説明図である。以下の説明ならびに図面では、保持ユニット１Ａの構成のうち、保持ユニット１と同じ構成または同様の構成については同じ符号を付している。よって、以下の説明では、保持ユニット１と保持ユニット１Ａの相違点を中心に説明するが、概説すると、保持ユニット１Ａはシート部材１３に代えて可動部材１５が設けられている。

図１２（Ａ）および図１２（Ｂ）は、保持ユニット１Ａの中央ならびに可動部材１５を通る折れ線上の切断面における断面図を示しており、図１２（Ａ）は接触部１２の中間領域ＲＭが膨出していない状態を示し、図１２（Ｂ）は中間領域ＲＭが膨出した状態を示す。図１３（Ａ）は接触部１２の接触面ＣＳの説明図であり、保持ユニット１Ａの底面図である。図１３（Ｂ）は支持部材１１の支持面１１１の説明図である。図１３（Ｃ）および（Ｄ）は、可動部材１５の斜視図であり、図１３（Ｃ）は上側（昇降軸２１２側）から見た斜視図であり、図１３（Ｄ）は下側（シート部材１４側）から見た斜視図である。図１４（Ａ）はシート部材１４を構成するシート１４１の説明図であり、その下面（シート１４２と貼り合される面）を示す。図１４（Ｂ）はシート部材１４を構成するシート１４２の説明図であり、その下面（接触面ＣＳ）を示す。

保持ユニット１Ａは、支持部材１１と接触部１２とを備える。支持部材１１には複数の給排気路ＰＳ１〜ＰＳ３が形成されている。複数の給排気路ＰＳ１〜ＰＳ３は、いずれも、支持面１１１に開口している。支持面１１１は、その長手方向両端部に位置する水平な一対の支持面１１１ａと、一対の支持面１１１ａの間に位置する支持面１１１ｂとを備える。本実施形態の場合、一対の支持面１１１ａと支持面１１１ｂとは、段差なく連続している。

支持面１１１ｂには中間領域ＲＭに対応する位置において開口した凹部１１１ｃが形成されており、この凹部１１１ｃには可動部材１５が挿入される。凹部１１１ｃと可動部材１５の組は一組みでもよいが、本実施形態では複数組（ここでは１６組）設けられている。１６組の凹部１１１ｃおよび可動部材１５は、中間領域ＲＭ内においてマトリックス状に配置されており、支持面１１１ｂの長手方向に例えば四行、短手方向に例えば四列配置されている。

凹部１１１ｃは、可動部材１５の変位を案内する案内穴を構成している。本実施形態の場合、可動部材１５は、シート部材１４側へ支持面１１１ｂから突出した突出位置（図１２（Ｂ））と、支持面１１１ｂよりも上方に引っ込ませた非突出位置（図１２（Ａ））との間で変位可能である。凹部１１１ｃの形状は、可動部材１５の形状に合わせて形成されており、本実施形態の場合、円形断面の筒状に形成されている。凹部１１１ｃは、その上側の壁部に形成された凹部１１１ｄを介して給排気路ＰＳ３と連通している。

可動部材１５は、全体として円柱形状をなしており、例えば、アルミニウムなどの金属材料から構成される。可動部材１５の上面には凹部１５ａが形成され、可動部材１５の下面には押圧面１５ｃを形成している。押圧面１５ｃは凸面状に形成されている。可動部材１５の側周面には、全周に渡って溝１５ｂが形成されており、この環状の溝１５ｂにはＯリング等のシール部材１６が嵌めこまれる。シール部材１６は、凹部１１１ｃの内周面と可動部材１５の側周面との間に介在して、給排気通路ＰＳ３側の空間と、シート部材１４側の空間とをシールし、エア漏れを防いでいる。

本実施形態の場合、接触部１２は、上述した可動部材１５とシート部材１４とを備えている。可動部材１５はシート部材１４と支持部材１１との間に位置しており、可動部材１５がシート部材１４側へ変位する（突出する）ことでシート部材１４を膨出させることができる。

接触部１２は、図１３（Ａ）に示すように端部領域ＥＡ１及びＥＡ２と、中間領域ＲＭとを含む。中間領域ＲＭは支持部材１１に固定されず、パネル側へ膨出可能な領域であり、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２は支持部材１１にねじ１２ｂで固定された固定領域であり、パネル側へ膨出不能な領域である。本実施形態の場合、中間領域ＲＭには可動部材１５が配置され、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２はシート部材１４のみにより構成されている。

接触面ＣＳのうち、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２はパネルの粘着保持が可能な粘着性を有していてもよい。これによりパネルの保持力を向上できる。パネルを保持する際、端部領域ＥＡ１がパネルの一方端部を、端部領域ＥＡ２がパネルの他方端部を、それぞれ粘着するように端部領域ＥＡ１及びＥＡ２が構成され、所定の位置に配置される。中間領域ＲＭは、パネルの粘着が不能な非粘着性を有していてもよいし、パネルの粘着保持が可能な粘着性を有していてもよい。中間領域ＲＭの粘着性は、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２の粘着性と同じであるか、または端部領域ＥＡ１及びＥＡ２の粘着性よりも低いかのいずれであってもよい。

パネルの保持力向上の点で、接触面ＣＳの全面、すなわち端部領域ＥＡ１、ＥＡ２及び中間領域ＲＭが粘着性を有していることが好ましい。本実施形態では、接触面ＣＳの全面が粘着性を有している構成を想定する。

図１３（Ａ）に示すように接触面ＣＳには、複数の開口部１２ａが形成されている。複数の開口部１２ａは、後述する連通路（溝１４１ｃ及び開口部１４１ａ、１４１ｂ）を介して給排気路ＰＳ１及び給排気路ＰＳ２と連通されている。よって、給排気ユニット８Ａの稼働により、開口部１２ａの近傍における接触部１２の下方の空気が開口部１２ａを介して給排気路ＰＳ１及び給排気路ＰＳ２内に吸引される。本実施形態の場合、複数の開口部１２ａは中間領域ＲＭにマトリックス状に分布しているが、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２にも開口部１２ａを設けてもよい。

次に、シート部材１４について説明する。シート部材１４は、第一実施形態と同様であり、外形が同じシート１４１とシート１４２とを積層し、互いに全体に渡って接着剤等で固着して形成されている。シート１４１及びシート１４２はいずれも可撓性を有している。

シート１４１には、シート１４１を厚み方向に貫通する開口部１４１ａ、１４１ｂが形成されており、開口部１４１ａは、給排気路ＰＳ１と連通する。また、開口部１４１ｂは、支持部材１１の他方の支持面１１１ａに開口した給排気路ＰＳ２の開口部と重なる位置に形成されており、給排気路ＰＳ２と連通する。

シート１４１には、また、シート１４１の下面（シート１４２側の面）に複数の溝１４１ｃが形成されている。本実施形態の場合、複数の溝１４１ｃは、シート１４１の短手方向に延びる一つの溝と、この溝と交差する複数の溝とから構成されたフィッシュボーン状の集合溝であり、開口部１４１ａ及び１４１ｂに連通している。

シート１４１の長手方向の両端部には、支持面１１１ａに形成された複数の取付孔１１４と重なる位置に、複数の取付孔１４１ｄが形成されている。

シート１４２には、シート１４２を厚み方向に貫通する複数の開口部１２ａが形成されており、上述した複数の溝１４１ｃと複数の開口部１２ａとが重なるように配置されている。すなわち、前述した「複数の開口部１２ａは中間領域ＲＭにマトリックス状に分布」というのは、これら複数の溝１４１ｃに沿って、かつ、溝１４１ｃに臨んで複数の開口部１２ａが開口形成されるということである。ここで、複数の開口部１２ａが、「複数の溝１４１ｃに沿って、かつ、溝１４１ｃに臨んで」開口形成されているというのは、直線的や千鳥状の規則的な配置や、ランダムで不規則な配置の両方を含む。シート１４１の下面にシート１４２を重ねることで、シート１４１の下面側において複数の溝１４１ｃは閉空間となり、連通路が形成される。この連通路を介して、開口部１４１ａ及び１４１ｂと複数の開口部１２ａとが連通される。

シート１４２の長手方向の両端部には、支持面１１１ａに形成された複数の取付孔１１４と重なる位置に、複数の取付孔１４２ａが形成されている。

シート部材１４は、図１３（Ａ）に示すように、端部領域ＥＡ１及びＥＡ２において複数のねじ１２ｂで支持部材１１に固定される。シート部材１４の中央部である中央領域ＲＭは支持部材１１に固定されず、パネル側へ膨出可能となっている。

図１２（Ｂ）は中間領域ＲＭの膨出例を示している。同図の例では、加圧された空気が給排気路ＰＳ３に給気される。これにより凹部１１１ｃへ加圧された空気が供給され、接触部１２の周囲雰囲気（外部雰囲気）よりも凹部１１１ｄ内や凹部１１１ｃ内の凹部１５ａ内の気圧が高くなる。この結果、可動部材１５が凹部１１１ｃから押し出されるようにしてシート部材１４側へ突出する。シート部材１４が可動部材１５により下方へ押圧され、シート部材１４の中間領域ＲＭが下向きに凸状に膨出される。可動部材１５を複数設けたことで、シート部材１４の中間領域ＲＭを、その周縁部から中央部にかけて比較的なだらかに膨出させることができる。シート部材１４はこのような膨出が可能な範囲での可撓性あるいは伸縮性を有する材料及び膜厚のシート材で構成することができる。可動部材１５の押圧面は凸面状をなしているので、膨出によりシート部材１４が変形したとしても、押圧面の少なくとも一部が必ずシート部材１４に接触されるため、接触状態を維持することができる。また、可動部材１５の押圧面とシート部材１４とが接触する際に、一部に過度な圧力がかかってシート部材１４が破損したりするおそれがない。その結果、繰り返し応力付与時におけるシート部材１４の耐久寿命が向上する。なお、図４（Ｃ）に例示したように中間領域ＲＭをより円滑に膨出させるために、シート１４１に複数の溝を形成してもよい。

本実施形態の場合、各凹部１１１ｃは、共通の給排気路ＰＳ３に連通しているため、気圧は同じである。しかし、凹部１１１ｃによって異なる給排気路ＰＳ３に連通するようにし、凹部１１１ｃによって気圧が異なるようにしてもよい。この場合、例えば、中間領域ＲＭの中央側に位置する凹部１１１ｃ内の気圧が、中間領域ＲＭの周縁側に位置する凹部１１１ｃ内の気圧よりも高くなるように、異なる給排気路ＰＳ３に気圧差を持たせて給気するようにしてもよい。

中間領域ＲＭの膨出を終了させ、図１２（Ａ）の状態に戻す場合、凹部１１１ｃ内の気圧を接触部１２の周囲雰囲気（外部雰囲気）と同圧とすればよい。シート部材１４が元の形状に復帰する弾性力によって可動部材１５が押圧され、非突出位置に引っ込む。凹部１１１ｃ内の気圧を接触部１２の周囲雰囲気（外部雰囲気）よりも減圧してもよく、その場合、可動部材１５が非突出位置に戻り易くなる。

保持ユニット１Ａを用いた制御例（パネル同士の貼合例）は、図６〜図１１を参照して説明した保持ユニット１の場合と同じである。すなわち、第一実施形態における膨出部１１３の膨出が、可動部材１５のシート部材１４側への突出に置き換えられるだけである。本実施形態の場合、可動部材１５の突出を利用して中間領域ＲＭの膨出を行うので、シート部材１３の変形を利用した保持ユニット１よりも、耐久性の面で有利な場合がある。

Ａ 貼合装置、Ｐ１ パネル、Ｐ２ パネル、１ 保持ユニット、１１ 支持部材、１２ 接触部、ＲＭ 中間領域、ＰＳ１〜ＰＳ３ 給排気路

Claims (23)

1. 互いに貼り合わされるパネルのうちの一方のパネルを保持する保持ユニットであって、
   複数の給排気路を備えた支持部材と、
   前記支持部材に支持され、パネルに接触する接触部と、を含み、
   前記接触部は、
   複数の開口部と、
   パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、
   前記複数の給排気路は、
   前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、
   前記中間領域に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、
   前記中間領域は、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって前記支持部材から膨出可能である、
   ことを特徴とする保持ユニット。
2. 請求項１に記載の保持ユニットであって、
   前記支持部材は、前記接触部を支持する支持面を含み、
   前記第一の給排気路及び前記第二の給排気路は、前記支持面に開口している、
   ことを特徴とする保持ユニット。
3. 請求項１に記載の保持ユニットであって、
   前記接触部は、
   パネルを吸着する第一のシート部材と、
   前記第一のシート部材と前記支持部材との間に配置された第二のシート部材と、を備え、
   前記第一のシート部材は、
   前記複数の開口部と、
   前記複数の開口部と前記第一の給排気路とを連通させる連通路と、を有し、
   前記第二のシート部材は、前記中間領域に配置され、パネル側へ膨出可能な膨出部を有し、
   前記第二の給排気通路は、前記膨出部に臨んで開口している、
   ことを特徴とする保持ユニット。
4. 請求項３に記載の保持ユニットであって、
   前記第一のシート部材は、パネルの中央部に対応する位置に形成され、前記連通路を介して前記第一の給排気路と連通する複数の開口部を備える、
   ことを特徴とする保持ユニット。
5. 請求項３に記載の保持ユニットであって、
   前記第一のシート部材は、
   前記複数の開口部が形成された第一のシートと、
   前記第一のシートに積層された第二のシートと、を含み、
   前記第二のシートは、前記第一のシート側の面に、前記連通路を形成する溝が形成されている、
   ことを特徴とする保持ユニット。
6. 請求項３に記載の保持ユニットであって、
   前記第一のシート部材は、
   第一の端部と、
   第二の端部と、
   前記第一の端部と前記第二の端部との間で、パネルの中央部に対応する中央部と、を含み、
   前記第一のシート部材は、前記第一の端部と前記第二の端部とにおいて前記支持部材に固定される、
   ことを特徴とする保持ユニット。
7. 請求項１に記載の保持ユニットであって、
   前記接触部は、
   パネルを吸着するシート部材と、
   前記中間領域において、前記シート部材と前記支持部材との間に配置された可動部材と、を備え、
   前記可動部材は、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって前記シート部材側へ変位可能であり、
   前記可動部材が前記シート部材側へ変位することにより、前記シート部材の前記中間領域が膨出する、
   ことを特徴とする保持ユニット。
8. 請求項１に記載の保持ユニットであって、
   前記支持部材は、前記接触部を支持する支持面を含み、
   前記支持面は、前記中間領域に対応する位置において開口し、かつ、前記第二の給排気路と連通した凹部を含み、
   前記接触部は、
   パネルを吸着するシート部材と、
   前記シート部材と前記支持部材との間に配置され、前記凹部に挿入された可動部材と、を含み、
   前記可動部材は、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって前記シート部材側へ変位可能であり、
   前記可動部材が前記シート部材側へ変位することにより、前記シート部材の前記中間領域が膨出する、
   ことを特徴とする保持ユニット。
9. 請求項８に記載の保持ユニットであって、
   前記可動部材は、前記支持面から突出した突出位置と、非突出位置との間で、前記凹部の深さ方向に変位自在に前記凹部に設けられている、
   ことを特徴とする保持ユニット。
10. 請求項８に記載の保持ユニットであって、
    前記凹部と前記可動部材とを、複数組備え、
    各々の前記凹部に、前記第二の給排気通路が連通している、
    ことを特徴とする保持ユニット。
11. 互いに貼り合わされるパネルのうちの一方のパネルを保持する保持ユニットであって、
    複数の給排気路を備えた支持部材と、
    前記支持部材に支持され、パネルに接触するシート部材と、
    前記支持部材と前記シート部材との間に配置された可動部材と、を含み、
    前記シート部材は、
    複数の開口部と、
    パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、
    前記可動部材は、前記中間領域に配置され、
    前記複数の給排気路は、
    前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、
    前記可動部材に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、
    前記可動部材は、前記第二の給排気路内と前記シート部材の周囲雰囲気との差圧によって前記シート部材側に変位可能であり、
    前記可動部材が前記シート部材側へ変位することにより、前記シート部材の前記中間領域が膨出する、
    ことを特徴とする保持ユニット。
12. 請求項１１に記載の保持ユニットであって、
    前記シート部材は、
    前記複数の開口部が形成された第一のシートと、
    前記第一のシートに積層された第二のシートと、を含み、
    前記第二のシートは、前記第一のシート側の面に、前記第一の給排気路と前記複数の開口部とを連通させる連通路を形成する溝が形成されている、
    ことを特徴とする保持ユニット。
13. 請求項１１に記載の保持ユニットであって、
    前記シート部材は、
    第一の端部と、
    第二の端部と、
    前記第一の端部と前記第二の端部との間で、パネルの中央部に対応する中央部と、を含み、
    前記シート部材は、前記第一の端部と前記第二の端部とにおいて前記支持部材に固定される、
    ことを特徴とする保持ユニット。
14. 請求項１１に記載の保持ユニットであって、
    前記支持部材は、前記シート部材を支持する支持面を含み、
    前記支持面は、前記中間領域に対応する位置において開口し、かつ、前記第二の給排気通路と連通した凹部を含み、
    前記可動部材は、前記凹部に挿入されている、
    ことを特徴とする保持ユニット。
15. 請求項１４に記載の保持ユニットであって、
    前記可動部材は、前記支持面から突出した突出位置と、非突出位置との間で、前記凹部の深さ方向に変位自在に前記凹部に設けられている、
    ことを特徴とする保持ユニット。
16. 請求項１４に記載の保持ユニットであって、
    前記凹部と前記可動部材とを、複数組備え、
    各々の前記凹部に、前記第二の給排気通路が連通している、
    ことを特徴とする保持ユニット。
17. 第一のパネルを保持ユニットで保持し、第二のパネルと貼り合わせる貼合方法であって、
    前記保持ユニットは、
    複数の給排気路を備えた支持部材と、
    前記支持部材に支持され、パネルに接触する接触部と、を含み、
    前記接触部は、
    複数の開口部と、
    パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、
    前記複数の給排気路は、
    前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、
    前記中間領域に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、
    前記貼合方法は、
    前記第一のパネルにおける貼合面と反対側の面と、前記接触部とを当接させる工程と、
    前記第一のパネルを、前記第一の給排気路の排気によって前記接触部に吸着する工程と、
    前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって、前記支持部材から前記中間領域を前記第二のパネルに向かって凸状に膨出させる膨出工程と、
    凸状に膨出された前記中間領域により、前記第一のパネルの中央部を凸状に湾曲させる工程と、
    凸状に湾曲した前記第一のパネルの中央部を前記第二のパネルに当接させる工程と、
    前記第一のパネル及び前記第二のパネルの少なくともいずれか一方を互いに近接する方向に移動させ、前記第一のパネルと前記第二のパネルとが当接する領域を、これらのパネルの各周縁部に向かって拡げる工程と、
    前記第一のパネルの吸着を解除する解除工程と、を含む、
    ことを特徴とする貼合方法。
18. 請求項１７に記載の貼合方法であって、
    前記解除工程の後、前記第一の給排気路及び前記第二の給排気路に給気する、
    ことを特徴とする貼合方法。
19. 請求項１７に記載の貼合方法であって、
    前記解除工程の後、前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって、前記支持部材から前記中間領域を、貼り合わせ後の前記第一のパネル及び前記第二のパネルに向かって凸状に膨出させる工程を更に含む、
    ことを特徴とする貼合方法。
20. 請求項１７に記載の貼合方法であって、
    前記接触部は、
    パネルを吸着するシート部材と、
    前記中間領域において、前記シート部材と前記支持部材との間に配置された可動部材と、を備え、
    前記膨出工程では、前記可動部材を前記第二の給排気路内と前記接触部の周囲雰囲気との差圧によって前記シート部材側へ変位させ、前記シート部材の前記中間領域を凸状に膨出させる、
    ことを特徴とする貼合方法。
21. 第一のパネルを保持ユニットで保持し、第二のパネルと貼り合わせる貼合方法であって、
    前記保持ユニットは、
    複数の給排気路を備えた支持部材と、
    前記支持部材に支持され、パネルに接触するシート部材と、
    前記支持部材と前記シート部材との間に配置された可動部材と、を含み、
    前記シート部材は、
    複数の開口部と、
    パネルの中央部に対応する位置においてパネル側へ膨出可能な中間領域と、を含み、
    前記複数の給排気路は、
    前記複数の開口部に連通した第一の給排気路と、
    前記可動部材に臨んで開口する第二の給排気路と、を含み、
    前記貼合方法は、
    前記第一のパネルにおける貼合面と反対側の面と、前記シート部材とを当接させる工程と、
    前記第一のパネルを、前記第一の給排気路の排気によって前記シート部材に吸着する工程と、
    前記第二の給排気路内と前記シート部材の周囲雰囲気との差圧によって、前記可動部材を変位させ、前記支持部材から前記中間領域を前記第二のパネルに向かって凸状に膨出させる膨出工程と、
    凸状に膨出された前記中間領域により、前記第一のパネルの中央部を凸状に湾曲させる工程と、
    凸状に湾曲した前記第一のパネルの中央部を前記第二のパネルに当接させる工程と、
    前記第一のパネル及び前記第二のパネルの少なくともいずれか一方を互いに近接する方向に移動させ、前記第一のパネルと前記第二のパネルとが当接する領域を、これらのパネルの各周縁部に向かって拡げる工程と、
    前記第一のパネルの吸着を解除する解除工程と、を含む、
    ことを特徴とする貼合方法。
22. 請求項２１に記載の貼合方法であって、
    前記解除工程の後、前記第一の給排気路及び前記第二の給排気路に給気する、
    ことを特徴とする貼合方法。
23. 請求項２１に記載の貼合方法であって、
    前記解除工程の後、前記第二の給排気路内と前記シート部材の周囲雰囲気との差圧によって、前記可動部材を変位させ、前記支持部材から前記中間領域を、貼り合せ後の前記第一のパネル及び前記第二のパネルに向かって凸状に膨出させる工程を更に含む、
    ことを特徴とする貼合方法。

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