JP2017011246A - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 46
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 abstract description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 3
- 230000005494 condensation Effects 0.000 abstract 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 abstract 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 15
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 15
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 9
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000011946 reduction process Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- -1 quality Substances 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
【解決手段】光照射装置10は、被照射体に光を照射する装置であって、所定の波長の光を発する発光手段20と、発光手段20が発した光を反射させて所定の集光位置FPに集光させ、第1延出方向に延出した線状のライン光LLを形成する集光手段30と、第2延出方向に延設され、発光手段20と集光位置FPとの間に位置して当該発光手段20が発した光を透過可能な透過手段40とを備え、透過手段40は、当該透過手段40における第2延出方向の中央部で透過させる光量を低減する。
【選択図】図1
Description
本発明の光照射装置において、前記透過手段は、当該透過手段における前記第2延出方向の両端部から中央部に向かうに従って、透過させる光量を徐々に低減するように設けられていることが好ましい。
さらに、透過手段が第2延出方向の両端部から中央部に向かうに従って、透過させる光量を徐々に低減するように設けられれば、第1延出方向において位置的に光量がばらつくことを防止し、分布をより均一にした光を照射することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な矢印AR方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
先ず、起動スイッチや操作盤等の図示しない操作手段によって起動信号が入力されると、発光手段20が光源21を駆動し、当該光源21が発した光が反射板31で反射された後透過部材41を透過してライン光LLが形成される。次いで、人手またはベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が被照射体WKを支持し、ライン光LLが形成された位置(集光位置FP)を接着シートASの接着剤層ADが通過するように、当該被照射体WKをX軸方向に移動させる。このとき、ライン光LLは、Y軸方向における分布が極力均一になっているので、接着シートASの接着剤層AD全面にわたって光を均一に照射することができ、当該接着シートASの接着剤層ADを万遍なく硬化させることができる。これにより、接着シートASにおける部分的な接着の強弱すなわち、当該接着シートASの接着剤層ADの硬化斑が解消されるので、後に当該接着シートASを被照射体WKから剥離するときに、当該接着シートASを難なく剥離することができるようになる。
発光手段20の形状は、円柱形状、角柱形状、楕円柱形状、楕円球形状およびそれらが組み合わされた形状等どんな形状でもよく、その延出方向は、X軸方、Y軸方向、Z軸方向およびそれら方向の合成方向等何れの方向でもよい。
光源21は、LED(Light Emitting Diode、発光ダイオード)ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよい。
第1延出方向は、X軸方、Y軸方向、Z軸方向およびそれら方向の合成方向等何れの方向でもよい。
集光手段30は、集光位置FPにライン光LLを形成可能なものであればどんな形状でもよく、例えば、Y軸方向から見た側面視でV字形状としてもよいし、多面体によって略U字や略V字形状としてもよいし、反射面31AのみをU字やV字形状等としてもよい。
集光手段30は、例えば、X軸方向から見た正面視で中央部が下方に湾曲または折曲した形状とし、その左側領域によって反射した光でライン光LLの右半分を形成するとともに、その右側領域によって反射した光でライン光LLの左半分を形成してもよい。
集光手段30が形成するライン光LLは、線状または、一定幅を有する線状であってもよいし、一直線状、折線状、曲線状、それらが組み合わされた線状等どんな線状でもよい。
集光手段30は、光源21に対して下方、上方、前方、後方、右方、左方および、それら方向の合成方向等何れの方向に配置されてもよいし、発光手段20が発する光を集光する位置も、光源21に対して下方、上方、前方、後方、右方、左方および、それら方向の合成方向等何れの位置でもよい。
集光手段30の反射面31Aは、銀メッキや鏡等、光を反射できるものであればどんなもので構成してもよい。
透過手段40は、透過部材42を透過部材41に重ね合わせてもよく、この場合、透過部材41および透過部材42の少なくとも一方に透過低減加工が施されていればよく、重ね合わせは、透過部材41の一方の面(上面)および他方(下面)の面の少なくとも一方に透過部材42を位置させればよい。
第2延出方向は、X軸方、Y軸方向、Z軸方向およびそれら方向の合成方向等何れの方向でもよい。
透過手段40は、透過低減加工が施されたシートやガラス等を、透過低減加工が施されていないまたは、透過低減加工が施されている透過部材41、42に重ね合わせてもよく、重ね合わせる位置は、透過部材41、42の一方の面(上面)および他方(下面)の面の少なくとも一方であればよい。
透過手段40は、透過部材41、42そのものが第2延出方向の両端部から中央部に向かうに従って、光を透過する量が徐々に少なくなるもので構成されたものを採用してもよい。
透過手段40は、透過低減加工の代わりに、液晶パネルを用いたいわゆる液晶シャッターを採用し、第2延出方向の位置に応じて光の透過率を調整する構成としてもよい。
透過低減加工は、透過部材41の一方の面、他方の面および、その内部の少なくとも1箇所に施されていればよい。
透過低減加工は、黒色、灰色、赤色、青色、黄色、白色等の塗料を塗布したり、表面を粗らす加工を施したりすることで実現してもよいし、それらを組み合せてもよく、塗料を塗布する場合、単色の塗布でもよいし、多色の塗布でもよい。
透過低減加工は、透過部材41、42における延出方向の両端部から中央部に向かうに従って、光を透過する量が段階的に少なくなるようにしてもよく、その段階数は1でもよいし2以上でもよい。
透過手段40は、透過低減加工の際に施した彩色を有するシートをその表面に貼付してもよい。
透過手段40は、光を全くまたは殆ど透過させない部材や、外周面にそのような加工が施された部材からなる部材を採用し、その表面に複数の貫通孔を設け、当該透過手段40における第2延出方向の中央部で透過させる光量を低減するようにしてもよいし、そのような部材で網状に形成されたもので当該透過手段40における第2延出方向の中央部で透過させる光量を低減するようにしてもよい。
透過手段40は、樹脂や紙等、光を透過可能なものであればどんなもので形成してもよい。
光照射装置10は、被照射体WKを移動させずに自ら移動してもよいし、光照射装置10と被照射体WKとの両方を移動させてもよい。
光によって反応するとは、被照射体WKの一部または全体が光によって、軟化、昇温、降温、乾燥、物質生成、状態変化、組成変化、物性変化等、どのような反応でもよい。
被照射体WKは、その一部または全体が光によって反応するものであればどんなものでもよい。
第1延出方向、第2延出方向、発光手段20の延出方向および集光手段30の延出方向は、全てが同じ方向であってもよいし、全てが異なる方向でもよいし、何れか2方向または3方向が同じ方向であってもよい。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、発光手段は、所定の波長の光を発することが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
20 発光手段
30 集光手段
40 透過手段
FP 集光位置
LL ライン光
PL 平行光
WK 被照射体
Claims (4)
- 被照射体に光を照射する光照射装置であって、
所定の波長の光を発する発光手段と、
前記発光手段が発した光を反射させて所定の集光位置に集光させ、第1延出方向に延出した線状のライン光を形成する集光手段と、
第2延出方向に延設され、前記発光手段と集光位置との間に位置して当該発光手段が発した光を透過可能な透過手段とを備え、
前記透過手段は、当該透過手段における前記第2延出方向の中央部で透過させる光量を低減することを特徴とする光照射装置。 - 前記透過手段は、前記集光手段で集光中の光を平行光に変換可能に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。
- 前記透過手段は、当該透過手段における前記第2延出方向の両端部から中央部に向かうに従って、透過させる光量を徐々に低減するように設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。
- 被照射体に光を照射する光照射方法であって、
所定の波長の光を発光手段から発する工程と、
前記発光手段が発した光を反射させて所定の集光位置に集光させ、第1延出方向に延出した線状のライン光を形成する工程と、
第2延出方向に延設され、前記発光手段と集光位置との間に位置して当該発光手段が発した光を透過させる透過手段で、前記第2延出方向の中央部で透過させる光量を低減する工程とを備えていることを特徴とする光照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015128575A JP2017011246A (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | 光照射装置および光照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015128575A JP2017011246A (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | 光照射装置および光照射方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017011246A true JP2017011246A (ja) | 2017-01-12 |
Family
ID=57761808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015128575A Pending JP2017011246A (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | 光照射装置および光照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017011246A (ja) |
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- 2015-06-26 JP JP2015128575A patent/JP2017011246A/ja active Pending
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A621 | Written request for application examination |
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