JP2017008361A - 電気めっき装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】構造の複雑化を回避できるバレル装置の提供。【解決手段】めっき液を収容する外カップ15と、外カップ15内に収容され、かつ、めっき液が進入する内カップ16と、内カップ16内に配置されるアノード電極67と、内カップ16に取り付けられ、かつ、アノード電極67との間でめっき液を介して電気的に導通するカソード電極34,35と、外カップ15に設けられ、かつ、カソード電極34,35に接続する第2端子25と、内カップ16及び外カップ15を一体回転させる電動モータ41と、を有する電気めっき装置。内カップを外カップへ入れた状態で、第2電極と給電金具とが接続され、第1電極と第2電極との間で、めっき液を介して電流を流すことが可能となる。したがって、内カップを外カップ内で移動させる搬送手段を設けずに済み、めっき装置の構造の複雑化を回避できる。【選択図】図14

Description

本発明は、被処理物の表面にめっき層を形成する電気めっき装置に関する。
電気めっきは、めっき用物質をアノード電極とし、被処理物をカソード電極としてめっき液に浸漬し、直流電流によって被処理物の表面に金属膜を電解析出させる表面処理技術である。一度のめっき処理により大量の被処理物をめっき処理するために、バレルめっき装置が用いられており、そのバレルめっき装置の例が特許文献1に記載されている。
特許文献1に記載されたバレルめっき装置は、めっき液を溜めためっき槽と、めっき槽内に設けられるバレル筒体と、バレル筒体を支持するバレルユニットと、を有する。めっき槽の外部に電源ユニットが設けられており、めっき槽内にアノード電極としての第1電極が設けられている。第1電極は、電源ユニットの正極に接続されている。
バレル筒体はメッシュであり、バレル筒体に被処理物が収容される。バレル筒体は支持軸を中心として回転可能である。支持軸にはスプロケットが取り付けられており、スプロケットに伝達される動力で、バレル筒体が回転する。バレル筒体の底部には、回転方向に沿ってカソード電極としての複数の第2電極が固定されている。
バレルユニットは、バレル筒体を支持するユニット側板と、複数の第2電極に接続される集電器と、を有する。また、ユニット側板にユニット座が設けられている。めっき槽の底部に搬送手段が設けられている。搬送手段は、ユニット座を支え、搬送手段によってバレルユニットがめっき槽内で搬送されることで、電源ユニットから集電器へ通電可能な所定位置に、バレルユニットが停止する。
そして、バレル筒体が回転すると被処理物が撹拌されるとともに、電源ユニットの電流は、正極から第1電極、めっき液、被処理物、第2電極を経て電源ユニットの負極に至る経路で流れ、めっき液中に溶解している金属イオンが元の金属に還元、析出し、被処理物の表面にめっき層が形成される。
特開2004−250716号公報
しかしながら、特許文献1に記載された電気めっき装置は、電源ユニットから集電器への給電が可能となる位置へ、バレルユニットをめっき槽内で搬送する搬送手段を設けなければならず、めっき装置の構造が複雑化する問題があった。
本発明の目的は、構造の複雑化を回避できる電気めっき装置を提供することにある。
本発明は、めっき液に浸漬された被処理物にめっき層を形成する電気めっき装置であって、前記めっき液を収容する外カップと、前記外カップ内に収容され、かつ、前記めっき液が進入する内カップと、前記内カップ内に配置される第1電極と、前記内カップに取り付けられ、かつ、前記第1電極との間で前記めっき液を介して電気的に導通する第2電極と、前記外カップに設けられ、かつ、前記第2電極に接続する給電金具と、前記内カップ及び前記外カップを一体回転させる駆動機構と、を有する。
本発明における前記第2電極は、前記内カップの回転方向に複数配置され、前記給電金具は、前記外カップの回転方向に複数配置され、前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めする位置決め機構が設けられ、前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めすると、前記第2電極と前記給電金具とが接続される。
本発明における前記位置決め機構は、前記第2電極と前記給電金具とが接続される前に、前記外カップを前記内カップに対して回転させて、前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めするモータを含む。
本発明における前記位置決め機構は、前記外カップに設けた第1係合部と、前記内カップに設けられ、かつ、前記第1係合部と係合して、前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めする第2係合部と、を含む。
本発明は、前記第1電極を前記内カップ及び前記外カップの回転中心線に沿った方向に移動して、前記第1電極を前記内カップへ出入りさせる移動機構を有する。
本発明は、前記内カップ及び前記外カップの回転中心線と鉛直線との間に形成される角度を調整する角度調整機構を有する。
本発明によれば、内カップを外カップへ入れた状態で、第2電極と給電金具とが接続され、第1電極と第2電極との間で、めっき液を介して電流を流すことが可能となる。したがって、内カップを外カップ内で移動させる搬送手段を設けずに済み、めっき装置の構造の複雑化を回避できる。
被処理物を処理する複数の工程を示す模式的な平面図である。 本発明の電気めっき装置を示す左側面断面図である。 本発明の電気めっき装置を示す正面図である。 本発明の電気めっき装置を示す正面図である。 本発明の電気めっき装置を示す右側面図である 図2に示す内カップと外カップとが分離されている断面図である。 図2に示す内カップと外カップ内との位置決め構造を示す断面図である。 図2に示す内カップ及び外カップ内の平面図である。 図2に示す内カップ及び外カップ内の要部を拡大した断面図である。 図2に示す外カップの底面図である。 図2に示すめっき装置の部分的な断面図である。 図2に示すカップユニットの平面図である。 図11に示す支持ブロックの平面図である。 図3に示すカップユニット及び昇降機構及びアノードユニットの右側面図である。 図3に示すカップユニットの平面図である。 電気めっき装置に設けたカップユニット及び供給ポンプの正面断面図である。 図16のD−D線における側面断面図である。 電気めっき装置に設けたタンク及び供給ポンプ及び排出ポンプの平面図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
めっき処理を含む処理工程の概略を、図1を参照して説明する。第1前処理工程A1、第1水洗い工程A2、第2前処理工程A3、第2水洗い工程A4、めっき工程A5、湯洗い工程A6、後処理工程A7が、順次行われる。第1前処理工程A1は、苛性ソーダ等の脱脂液を用いて、被処理物の脱脂処理を行う。第1水洗い工程A2では、被処理物に付着している異物を洗い落とす。第2前処理工程A3では、被処理物の表面が研磨される。第2水洗い工程A4では、被処理物に付着している異物を洗い落とす。めっき工程A5では、被処理物にハンダ、例えば、錫合金、銅めっき、ニッケルめっき、銀めっき、金めっき等を処理する。湯洗い工程A6では、被処理物に付着している異物を洗い落とす。後処理工程A7では、乾燥機またはヒータにより、被処理物に付着している水分を除去する。
図1のように、各工程に沿って往復移動可能な搬送ロボットR1が設けられている。搬送ロボットR1はレール100によって水平方向への移動がガイドされる。また、搬送ロボットR1にチャックが設けられており、チャックは、上昇及び下降が可能である。さらに、チャックは、被処理物を入れる容器を把持及び解放する動作を行う。搬送ロボットR1及びチャックは、電動モータ、油圧シリンダ、空気圧シリンダ等のアクチュエータにより動作が制御される。搬送ロボットR1は複数設けられており、1つの工程の処理が終わると、搬送ロボットR1は、容器を把持して次工程へ搬送する。容器の有無及び容器の位置を検出するセンサが設けられている。センサの信号を処理してアクチュエータを制御し、搬送ロボットR1の水平方向及び上下方向の移動・停止を制御し、チャックによる容器の把持・解放を制御するコントローラが設けられている。
めっき工程A5に設けられる電気めっき装置10を、図2〜図5を参照して説明する。電気めっき装置10は、基台11と、基台11に支持されたカップユニット12と、カップユニット12を中心線B1を中心として回転させる駆動ユニット13と、基台11に設けられたタンク14と、を備えている。
カップユニット12は、図6のように、めっき液を収容する外カップ15と、外カップ15内へ出入り可能な内カップ16と、を有する。外カップ15及び内カップ16は、中心線B1を中心として同心状に配置されている。外カップ15は、円筒部17と、円筒部17の一方の開口端に固定した円板状の底部18と、を有する。外カップ15は、絶縁性の材料、例えば、硬質プラスチックで製造されている。外カップ15の内面に、ブラケット19がねじ部材20により固定されている。ブラケット19は、中心線B1方向で円筒部17の開口端に近い位置に設けられている。図7のように、ブラケット19にピン21がそれぞれ固定されている。ブラケット19は、図8のように、円筒部17の回転方向で異なる複数箇所に配置されている。図8は、ブラケット19を2箇所に配置した例を示す。
図9に示すように、円筒部17の外に第1端子22が設けられている。第1端子22は、円筒部17の外内面にねじ部材23で固定されている。第1端子22は、図10のように、外カップ15の回転方向に間隔をおいて複数取り付けられている。各第1端子22は、径方向で内側に向けて延ばされた接触部24を、それぞれ有する。
図9のように、円筒部17の内面に第2端子25が固定されている。第2端子25は、図12のように、外カップ15の回転方向に間隔をおいて複数取り付けられている。本実施形態では、第1端子22の数と第2端子25の数とが同じであり、外カップ15の回転方向で同じ位置に配置された第1端子22と第2端子25とが、同一のねじ部材23で固定されている。第2端子25は、径方向で内側に向けて延ばされた接触部26を、それぞれ有する。外カップ15の底部18は、中心線B1方向で接触部24と接触部26との間に配置されている。
底部18は、円筒部17の一端を液密に閉じており、底部18の内面に凹部27が設けられている。凹部27は中心線を中心として円形に設けられ、凹部27の内側に、環状の傾斜面28が形成されている。傾斜面28は、円筒部17の開口端に近づくことに伴い、中心線B1との距離が長くなる向きで傾斜している。
内カップ16は、筒部29と、中心線B1方向で筒部29の一方の端部にねじ部材30で固定されたリング31と、中心線B1方向で筒部29の他方の端部に固定された底部32と、を有する。内カップ16は、絶縁性の材料で製造されている。リング31の外径は、筒部29の外径よりも大きく、リング31の外径は、外カップ15の円筒部17の内径よりも小さい。筒部29は、絶縁性のフレームにメッシュを固定したものである。つまり、内カップ16は液体が径方向に出入り可能である。リング31の外周に、筒部29の回転方向で間隔をおいて切り欠き31Aが設けられている。切り欠き31Aは、複数、例えば、図8のように、2つ設けられている。
図9のように、筒部29の外面から底部32の外面に亘ってL字形に屈曲された第3端子33が固定されている。第3端子33は、図12のように、内カップ16の回転方向に間隔をおいて複数個配置されている。各第3端子33を内カップ16に固定するカソード電極34,35が設けられている。カソード電極34は、第3端子33を筒部29の外面に固定するボルト及びナットであり、カソード電極35は、第3端子33を底部32の外面に固定するボルト及びナットである。カソード電極34,35は、導電性の金属で製造されている。カソード電極34,35は、内カップ16の回転方向に複数個配置されている。各第3端子33は、径方向に延ばされた接触部36をそれぞれ有する。内カップ16と外カップ15とが同心状に配置されると、第3端子33の接触部36の配置範囲と、第2端子25の接触部26の配置範囲とが、径方向で重なる。
底部32は、底部18に向けて中心線B1方向に突出された突出部37を有する。突出部37は中心線B1を中心として設けられており、突出部37の外周面に、環状の傾斜面38が設けられている。傾斜面38は、中心線B1に対して、傾斜面28と同じ向きで傾斜している。傾斜面38と中心線B1との間に形成される鋭角側の角度は、傾斜面28と中心線B1との間に形成される鋭角側の角度と同じである。傾斜面38の外径の最大値は、傾斜面28の外径の最大値と同じである。内カップ16が外カップ15に対して中心線B1方向に移動すると、突出部37の先端は凹部27へ出入りする。さらに、底部32を中心線B1方向に貫通する孔39が設けられている。孔39は、中心線B1を中心として設けられている。
駆動ユニット13は、図11に示すように、フレーム40に取り付けられた電動モータ41と、電動モータ41のロータ42に連結された回転軸43と、フレーム40に固定された支持ブロック44と、支持ブロック44と回転軸43との間に介在され、かつ、回転軸43を回転可能に支持する軸受45と、を有する。また、回転軸43の先端にボス部46が固定され、ボス部46はねじ部材47により底部18へ固定されている。つまり、外カップ15及び回転軸43は、中心線B1を中心として同心状に回転可能に連結されている。
第1端子22に接続される給電端子48が設けられている。給電端子48は、ねじ部材49により支持ブロック44に固定されている。給電端子48は、図13のように中心線B1の周囲に2個配置されている。2個の給電端子48は、回転軸43の回転方向に沿った円弧形状を有する。ねじ部材49を緩めることにより、支持ブロック44に対する固定位置を回転方向で変更することができる。回転軸43の径方向で、2個の給電端子48の配置位置は、第1端子22の接触部24の配置範囲内にあり、2個の給電端子48は、少なくとも1個の第1端子22にそれぞれ接触する。外カップ15の回転方向で、2個の給電端子48が接触する第1端子22は、支持ブロック44に対する2個の給電端子48の固定位置で決まる。
図4のように、カップユニット12の中心線B1と鉛直線E1との間に形成される角度を調整可能な角度調整機構50が設けられている。角度調整機構50は、フレーム40に固定された軸受51と、軸受51により回転可能に支持された支持軸52と、支持軸52の一端に固定したカラー53と、カラー53に取り付けたレバー54と、カラー53と軸受51との間に介在されたブラケット55と、を有する。軸受51はブラケット55に固定され、ブラケット55は基台11に固定されている。また、ブラケット55が軸受51とカラー53との間に介在され、かつ、ブラケット55が基台11に固定されて、支持軸52を中心線B2方向に位置決めしている。さらに、支持軸52においてカラー53が固定された端部とは反対の端部に、支持ブロック44が固定されている。このため、レバー54を操作すると、支持軸52及び支持ブロック44は、図3及び図4のように、中心線B2を中心として回転する。
さらに、支持軸52の回転を防止するストッパが設けられている。図11のように、支持軸52の中心線B2と、カップユニット12の中心線B1とは直角であり、支持軸52が回転すると、鉛直線E1とカップユニット12の中心線B1との間に形成される角度を、任意に調整可能である。
図3、図4、図14のように、フレーム40にアノードユニット56及び昇降機構57が設けられている。昇降機構57は、フレーム40に固定されたガイドレール58と、ガイドレール58に沿って直線状に移動可能なスライダ59と、スライダ59に固定されたブラケット60と、ガイドレール58に設けたサーボモータ61と、サーボモータ61に連結されたシャフト62と、を有する。スライダ59に雌ねじが設けられ、シャフト62の外面に雄ねじが形成されている。サーボモータ61は正逆回転可能である。
アノードユニット56は、ブラケット60に取り付けた電動モータ63と、電動モータ63のロータに連結された回転軸64と、回転軸64に取り付けたアーム65と、アーム65に取り付けたシャフト66と、シャフト66の先端に固定したアノード電極67と、を有する。アノード電極67は、導電性の金属であるニッケル等を用いることができる。アノード電極67として用いる金属は、被処理物に形成する被膜となる物質であればよい。アノード電極67とカソード電極34,35とが、めっき液を介して電気的に導通可能である。
電動モータ63のロータは正逆回転可能であり、図15のように、アーム65は回転軸64を支点として所定角度の範囲内で揺動可能である。シャフト66は、アーム65において回転軸64に連結された箇所とは反対の端部に取り付けられており、シャフト66はシャフト62と平行に配置されている。サーボモータ61の回転力でシャフト62が回転すると、スライダ59がガイドレール58に沿って移動するとともに、アノード電極67が中心線B1方向に移動する。このため、内カップ16が外カップ15内へ配置されていると、アノード電極67は、内カップ16内へ出入り可能である。
カップユニット12へめっき液を供給し、かつ、カップユニット12からめっき液を排出する機構、図2、図16、図17、図18を参照して説明する。基台11に支持台68が設けられている。支持台68は、フレーム40よりも下方に配置されている。支持台68にタンク14が設置され、タンク14内にめっき液(薬液)が溜められている。支持台68に供給ポンプ69及び排出ポンプ70が設けられている。供給ポンプ69及び排出ポンプ70としては、ベローズポンプを用いることができる。供給ポンプ69は、タンク14内のめっき液を吸入し、吸入しためっき液をカップユニット12へ送る機能を有する。
供給ポンプ69は電動モータ71の動力でベローズ72を伸縮させて、めっき液を吸入及び吐出する。タンク14内にヒータ73が設けられており、ヒータ73はタンク14内のめっき液を温める。供給ポンプ69の吸込口とタンク14内とをつなぐ樹脂チューブ74が設けられている。供給ポンプ69の吐出口に樹脂チューブ75が接続され、樹脂チューブ75に接続具76を介して樹脂チューブ77が接続されている。その樹脂チューブ77は接続具78を介して樹脂チューブ79に接続されている。接続具78はアーム65に取り付けられている。アノードユニット56が中心線B1方向に移動すると、樹脂チューブ79は内カップ16内へ出入り可能である。
排出ポンプ70は、カップユニット12内のめっき液を吸入し、吸入しためっき液をタンク14へ戻す機能を有する。排出ポンプ70は電動モータ80の動力でベローズ81を伸縮させて、めっき液を吸入及び吐出する。排出ポンプ70の吐出口とタンク14内とをつなぐ樹脂チューブ82が設けられている。排出ポンプ70の吸入口に樹脂チューブ83が接続され、樹脂チューブ83に接続具84を介して樹脂チューブ85が接続されている。その樹脂チューブ85は接続具86を介して樹脂チューブ87に接続されている。樹脂チューブ87は接続具88を介して樹脂チューブ89に接続されている。樹脂チューブ89は、中心線B1方向の長さが、樹脂チューブ79の長さよりも大きい。接続具88はアーム65に取り付けられている。アノードユニット56が中心線B1方向に移動すると、樹脂チューブ89は内カップ16内へ出入りする。
タンク14内のめっき液の温度を検出する温度センサ90が設けられている。温度センサ90としては、熱電対を用いることができる。樹脂チューブ75,85は、ブラケット60に沿って取り回されており、ブラケット60の移動に伴い移動する。また、樹脂チューブ75,85を覆うカバー91が設けられている。
さらに、電動モータ41,63,71,80、サーボモータ61、ヒータ73をそれぞれ別々に制御するコントローラが設けられている。コントローラは、中心線B1方向におけるアノードユニット56の位置を検出するセンサ、温度センサ90の信号を処理する。
次に、めっき工程A5で行われる処理を説明する。第2水洗い工程A4から、被処理物を入れた容器がめっき工程A5へ搬送されると、作業者は、被処理物を手作業で容器から内カップ16へ入れ替える。一方、内カップ16を外カップ15内へ入れる前の段階で、外カップ15は、図3のように、中心線B1と鉛直線E1とが一致した状態に保持されている。また、コントローラは、電動モータ41を停止している。具体的に説明すると、ピン21が外カップ15の回転方向でどの位置で停止しているかを、センサの信号を処理して検出している。さらに、電気めっき装置10の平面視で、アノードユニット56は、外カップ15の配置範囲から外れた位置で停止している。また、アノード電極67の下端及び樹脂チューブ89の下端は、カップユニット12の上端よりも上方に位置している。
搬送ロボットR1は、内カップ16を第2水洗い工程A4からめっき工程A5へ搬送し、搬送ロボットR1は、内カップ16を外カップ15の上方へ搬送する。そして、搬送ロボットR1は、図6のように内カップ16と外カップ15とが同心状になると停止する。搬送ロボットR1が、内カップ16を外カップ15の上方で停止する時点で、内カップ16の回転方向の位置が予め決められている。つまり、リング31に設けた2つの切り欠き31Aが、中心線B1を中止とする回転方向で、常に同じ位置に来る状態で、搬送ロボットR1のチャックが内カップ16を保持している。
次いで、搬送ロボットR1が下降し、内カップ16を外カップ15内へ進入させ、リング31がピン21に接触する前に、搬送ロボットR1が中間位置で停止する。搬送ロボットR1が中間位置で停止した状態において、第3端子33は第2端子25に接触していない。そして、コントローラは、電動モータ41を回転させて外カップ15を回転して、中心線B1を中心とする回転方向で、ピン21の位置を切り欠き31Aの位置に一致させ、電動モータ41を停止する。
さらに、コントローラが搬送ロボットR1を下降させると、外カップ15のピン21が、リング31の切り欠き31Aへ進入する。そして、コントローラは、図9のように突出部37の傾斜面38が傾斜面28に接触した時点で搬送ロボットR1を停止する。搬送ロボットR1が停止した状態で、内カップ16に固定された複数の第3端子33は、図9及び図12のように第2端子25へ別々に接続される。
その後、第3端子33と第2端子25とが接続された後、搬送ロボットR1のチャックが内カップ16を解放する。さらに、搬送ロボットR1が上昇して停止し、電気めっき装置10は図2に示す状態となる。次いで、電動モータ63を駆動してアーム65を回転軸64を支点として回転させ、図14のように、アノード電極67を内カップ16の上方に位置させて停止する。具体的には、シャフト66の中心と中心線B1とを一致させる。
そして、サーボモータ61が駆動してアノードユニット56を下降させ、図14のように、アノード電極67及び樹脂チューブ79,89を内カップ16内へ進入させ、サーボモータ61が停止する。サーボモータ61が停止すると、供給ポンプ69が駆動され、タンク14内のめっき液が、樹脂チューブ75,77,79を経由してカップユニット12内へ供給される。コントローラは、カップユニット12に対するめっき液の供給を開始した時点から所定時間が経過すると、供給ポンプ69を停止し、カップユニット12に対するめっき液の供給を停止する。内カップ16内へ供給されためっき液は、内カップ16のメッシュを通り外カップ15内へ満たされる。内カップ16内の被処理物は、めっき液に浸漬される。
また、カップユニット12へめっき液を供給中、または、めっき液の供給が終わった後に、作業者がレバー54を操作して、支持軸52を所定角度回転して停止し、ストッパにより支持軸52を固定する。支持軸52の回転に伴い、支持ブロック44及びカップユニット12が、中心線B2を中心として回転する。作業者は、図4のように、カップユニット12の中心線B1が鉛直線E1に対して所定角度傾斜した状態で、支持軸52を停止する。
カップユニット12を傾斜した後、電動モータ41が駆動して外カップ15及び内カップ16が一体回転される。カップユニット12が傾斜した状態において、給電端子48は、中心線B1を中心とする回転方向の所定角度の範囲内で、円弧状に配置されている。このため、カップユニット12の回転中、給電端子48に接触する第1端子22は、全ての第1端子22のうち、相対的に低い位置を移動する複数個の第1端子22であり、その他の第1端子22は、給電端子48に接触しない。このように、カップユニット12の回転中、給電端子48が第1端子22を介して電気的に接続される第3端子33は、カップユニット12の回転に伴い切り替わる。
カップユニット12の回転中に、電源ユニットの正極から流れた電流は、アノード電極67、めっき液、被処理物、第3端子33、第2端子25、第1端子22、給電端子48を経由して、負極に流れる。カップユニット12の回転により、被処理物はめっき液中で撹拌され、被処理物へめっき処理が行われる。即ち、めっき液中に溶解している金属イオンは、元の金属に還元、析出し、被処理物の表面にめっき層(皮膜)が形成される。
また、めっき処理中、供給ポンプ69を駆動してタンク14内のめっき液をカップユニット12内へ供給することに加え、排出ポンプ70を駆動して、カップユニット12内のめっき液を、樹脂チューブ89,87,85,83、を経由してタンク14内へ排出する処理を実行する。つまり、めっき液は、カップユニット12、タンク14、樹脂チューブを循環する。
本実施形態の電気めっき装置10は、内カップ16を外カップ15内へ入れた状態で、カソード電極34,35と第2端子25とが接続され、アノード電極67とカソード電極34,35との間で、めっき液を介して電流を流すことが可能となる。したがって、カソード電極34,35と第2端子25とを接続することを目的として、内カップ16を外カップ15内で移動させる搬送手段を設けずに済み、電気めっき装置10の構造の複雑化を回避できる。さらに、内カップ16及び外カップ15と回転させる電動モータ41は、外カップ15の外に配置されている。このため、外カップ15が大型化することを抑制できる。
さらに、めっき処理中、電気めっき装置10では、カップユニット12の回転中に、多数の被処理物は、内カップ16で下方に位置する複数個のカソード電極34,35を覆う。したがって、電流が流れているカソード電極34,35の表面に、めっき層が形成されることを抑制できる。内カップ16内で被処理物が接触していないカソード電極34,35、つまり、相対的に上方に位置するカソード電極34,35には電流が流れないから、被処理物への給電に寄与していないカソード電極34,35に、不要なめっき層が形成されることを抑制できる。また、電気めっき装置10は、内カップ16と外カップ15とが一体回転するため、第2端子25と第3端子33とがめっき液中で擦れることが無く、異物の発生を防止できる。
上記のめっき処理が終了後、電動モータ41を停止してカップユニット12を停止する。さらに、作業者がレバー54を操作して支持軸52及び支持ブロック44を回転させ、カップユニット12の中心線B1を垂直状態にし、支持軸52を停止する。さらに、サーボモータ61が駆動してアノードユニット56を上昇させ、アノード電極67及び樹脂チューブ79,89をカップユニット12の外へ移動させ、サーボモータ61が停止する。さらに、電動モータ63が駆動してアーム65を回転し、電気めっき装置10の平面視で、アノードユニット56をカップユニット12の配置範囲の外へ移動させ、電動モータ63が停止する。
搬送ロボットR1が下降して、チャックが内カップ16を掴み、搬送ロボットR1が上昇して内カップ16を外カップ15から取り出す。さらに、搬送ロボットR1は水平移動して、内カップ16を次工程へ搬送する。次工程で被処理物は内カップ16から取り出され、内カップ16は次工程で使用しない。
本実施形態で説明した事項と、本発明の構成との対応関係は以下の通りである。電気めっき装置10が、本発明のめっき装置であり、アノード電極67が、本発明の第1電極であり、カソード電極34,35が、本発明の第2電極であり、電動モータ41、回転軸43、コントローラが、本発明の駆動機構であり、第2端子25が、本発明の給電金具である。ピン21、ブラケット19、切り欠き31A、電動モータ41及びコントローラが、本発明の位置決め機構であり、電動モータ41が、本発明のモータである。また、ピン21及びブラケット19が、本発明の第1係合部であり、切り欠き31Aが、本発明の第2係合部である。昇降機構57が、本発明の移動機構であり、中心線B1が、本発明の回転中心線である。
本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、アノードユニット56を昇降させる昇降機構57として、サーボモータ61に代えて油圧シリンダを用いることも可能である。また、角度調整機構50は、作業者が手動で支持軸52を回転させる構成に代えて、電動モータで支持軸52を回転及び停止する構成としてもよい。内カップは、メッシュ構造、または、筒体に貫通孔を形成した構造の何れでもよい。
10…電気めっき装置、19…ブラケット、21…ピン、25…第2端子、31A…切り欠き、34,35…カソード電極、41…電動モータ、43…回転軸、57…昇降機構、67…アノード電極、B1…中心線。

Claims (6)

  1. めっき液に浸漬された被処理物にめっき層を形成する電気めっき装置であって、
    前記めっき液を収容する外カップと、
    前記外カップ内に収容され、かつ、前記めっき液が進入する内カップと、
    前記内カップ内に配置される第1電極と、
    前記内カップに取り付けられ、かつ、前記第1電極との間で前記めっき液を介して電気的に導通する第2電極と、
    前記外カップに設けられ、かつ、前記第2電極に接続する給電金具と、
    前記内カップ及び前記外カップを一体回転させる駆動機構と、
    を有する、電気めっき装置。
  2. 請求項1記載の電気めっき装置において、
    前記第2電極は、前記内カップの回転方向に複数配置され、
    前記給電金具は、前記外カップの回転方向に複数配置され、
    前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めする位置決め機構が設けられ、
    前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めすると、前記第2電極と前記給電金具とが接続される、電気めっき装置。
  3. 請求項2記載の電気めっき装置において、
    前記位置決め機構は、前記第2電極と前記給電金具とが接続される前に、前記外カップを前記内カップに対して回転させて、前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めするモータを含む、電気めっき装置。
  4. 請求項2または3記載の電気めっき装置において、
    前記位置決め機構は、
    前記外カップに設けた第1係合部と、
    前記内カップに設けられ、かつ、前記第1係合部と係合して、前記内カップと前記外カップとを回転方向に位置決めする第2係合部と、
    を含む、電気めっき装置。
  5. 請求項1〜4のいずれか1項記載の電気めっき装置において、
    前記第1電極を前記内カップ及び前記外カップの回転中心線に沿った方向に移動して、前記第1電極を前記内カップへ出入りさせる移動機構が設けられている、電気めっき装置。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項記載の電気めっき装置において、
    前記内カップ及び前記外カップの回転中心線と鉛直線との間に形成される角度を調整する角度調整機構が設けられている、電気めっき装置。
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