JP2017002898A - 真空装置の遠隔診断 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、上述した問題が解決されている真空装置と遠隔診断方法を完成することを課題とする。その際、遠隔診断に必要な診断データができる限り簡単な方法で完全かつ歪曲されずに提供可能であり、しかもこれが、高いデータ安全性が要求される環境においても可能であるべきである。【解決手段】真空装置、特に真空ポンプであって、離れた分析場所において実施される分析に適した、真空装置（２２）の診断データの全体の生成の為の装置を有し、呼び出し装置を有し、この呼び出し装置を使って診断データの全体の提供が要求によって開始可能であり、および、提供装置を有し、この提供装置が、離れた分析場所への全体としての伝達の為に、診断データの全体を全体として提供するよう形成されていることを特徴とする真空装置。【選択図】図１

Description

本発明は真空装置及び真空装置の為の遠隔診断方法に関する。

特に真空ポンプ等のような真空装置は、異なる技術領域で使用され、各プロセスに必要な真空を作り上げる。

真空装置は、現場の通常ユーザーの為に意図される、比較的簡単なインターフェース、及び／又はユーザーインターフェースを有する。これは、ユーザーによる制限されたデータ交換の為だけに設けられている。よって、そのようなインターフェース又はユーザーインターフェースは、多くの場合、例えばオン／オフの状態の為のデータ、回転数、エラー状態等のような、現在の要求のため、又は通常の運転の為にオンサイトで必要とされるデータをを呼び出す為のみに使用される。

更に、同じインターフェース、又は少なくとも一つの別のインターフェースにおいて、大規模な運転データ及び／又はヒストリーを真空装置から呼び出すという可能性がしばしば存在する。よって例えば、拡張されたモード、サービスモード又は開発者モードが存在することが可能である。拡張されたデータ呼び出しの、そのような、オンサイトでの通常の要求を越える可能性は、しかし通常、複雑で特別な電子的な、及び／又はプログラムされた読み出しシステム又はこの為に設けられるＰＣプログラムを有する読み出しアダプターを使ってのみ完全に利用されることが可能である。これらは、使用者又はユーザーにオンサイトで通常提供されない。この為に重要であるのは、安全思想の他に、特に発生するコスト、ユーザーの必要な教育、装置メーカーに課せられる秘密保持、そして何よりも、発生するエラーの場合の散在的のみの要求である。

個々のエラーメッセージをディスプレイ（このディスプレイは真空装置に統合されているか、真空装置に接続されており、しかしオンサイトで存在している）に表示することも既に公知である。その際、診断データは、通常コード化されて表示され、そして個々にかつ連続して照会される必要がある。データの調達は、よってステップバイステップで、手間がかかり、かつエラーが発生しやすいマンマシンダイアログの形式で行われる。診断データは、視覚的にディスプレイから読み取り、そして記録されるか、又は画像撮影されるか又は動画撮影され、これによってこれらは、引き続いて、離れて位置するアナリストとメモに基づいて、又は撮影に基づいて相談されることが可能である。

よって、これまでの通常の真空装置においては、公知の方法では、離れて位置するアナリストがしばしば、もっともな分析に必要な全てのエラーメッセージと診断データが提供されないという問題が生じる。更に、アナリストに最終的に提供される診断データが、読取エラー等の為に、少なくとも部分的に歪曲されている危険性が存在する。

ドイツ連邦共和国実用新案第２０２０１４５４８１Ｕ１号 米国特許出願公開第６０２２１９５Ａ号 欧州特許出願公開第１９３６１９８Ａ２号

本発明は、上述した問題が解決されている真空装置と遠隔診断方法を完成することを課題とする。その際、遠隔診断に必要な診断データができる限り簡単な方法で完全かつ歪曲されずに提供可能であり、しかもこれが、高いデータ安全性が要求される環境においても可能であるべきである。

課題は、発明に従い、請求項１に記載の特徴を有する真空装置によって、及び請求項１３に記載の特徴を有する方法によって解決される。本発明の好ましい実施形は、下位の請求項、明細書及び図面から生ずる。

発明に係る真空装置は、離れた分析場所に適した真空装置の診断データの全体の生成の為の装置、呼び出し装置（これによって診断データの全体の提供が開始可能である）、及び提供装置（これは、診断データの全体を、離れた分析場所への全体としての伝達の為に全体として提供する）を有する。

発明に係る形成に基づいて、真空装置は、遠隔での分析の為に必要な診断データを一度に提供する能力を有する。その際、更に、診断データは離れた分析場所に歪曲されずに提供されることが保証される。データの「調達者」としてのオンサイトでの人物、及び／又は、データを離れたアナリストに「伝達する者」としての人物はもはや必要でない。いずれにせよ、診断データの提供は、オンサイトで人間によって指示されることが可能である。しかし、専門知識、専門設備、又は過剰な注意深さは、この為に必要とされない。よって本発明によって離れた分析場所において信頼できる包括的なエラー分析が可能である。

本発明の一つの実施形において、診断データの全体が、複数の個々のユニット（例えば光学的にコード化された表示がの場合、伝達すべき複数の画像に、又は複数の部分データストリームでの出力又は伝達）に分割されるべきときであっても、これは、未だ、其々分析の為に適した全ての診断データの、本発明の意味における「一度での」又は「一気の」又は「いっぺんの」提供及び伝達を意味する。特に、診断データの提供及び伝達は、複数の個々のユニットへのそのような分割の場合、手間がかかり、かつエラーの起きやすい「ステップバイステップ」や先行技術におけるように「マンマシン」ダイアログの形式でで行われない。

特に、診断データは、通常の運転の為にオンサイトで意図される真空装置の運転データと異なっている。例えば、診断データは、通常の運転データに対して、各診断目的を考慮して減少された又は拡張された、内容的及び／又はデータ量的な規模を有する。しかし原理的にはこれは必須ではない。診断データは、通常の運転データと同じであることも可能である。

診断データの全体の提供は、特に一度のみの、要求によって、又は自動的に開始可能であることが可能である。よって、例えば、呼び出し装置は、提供を、例えばユーザーによってキー押圧や、他の装置からの制御パラメーターによって、相応する指令が与えられるときのみ開始する、ということが意図されていることが可能である。提供は、例えば真空装置のスイッチオンごとに、例えば自動的に引き起こされることも可能である。よって例えば、真空装置のスイッチオンの後、診断データが、所定の期間が経過するまで、ユーザーによって所定のキーまたは任意のキーが押されるまで、又はどうであれ、そのような所定の方法で真空装置の通常の運転が始まるまでディスプレイに表示されることが意図されていることが可能である。診断データの自動的な提供は、真空装置のスイッチオンまたはスイッチオフの後、又は通常の運転の間に発生するエラーによって、又は所定のエラー状態によって引き起こされることも可能である。つまり、呼び出し装置が、このバリエーションでは診断データの提供を自動的に開始するのは、エラーによって診断が必要となるであろうときである。

つまり一般的に、発明に係る実施形、つまり当該実施形においては、診断データの提供の開始が、つまり、いわば診断スタートの開始行為が、真空装置のスイッチオンまたはスイッチオフ又はその電源供給又はいわゆる正しい瞬間の到来（例えばエラーの発生の場合）に限定されているという実施形が可能である。例えば、命令の引き起こし（作動）、又はパラメーターのセットは、もはや必要ない。特に、真空装置との相互作用がまったく必要とされない実施形が可能である。本発明は、キーまたは他の入力手段を有さない、又はその構造状況に基づいてアクセス不可能である真空装置にも使用可能である。よって、例えば、汚染された領域、又は密閉保護された領域（よって容易にはアクセス不可能な領域）に配置された発明に係る真空装置は、しかし診断データの伝達が問題無く可能であることが可能である。これは例えば、真空装置の診断データを表示するディスプレイを窓ガラスを通して画像撮影することによって容易に可能である。

特に、ディスプレイ上の表示による診断データの提供の場合、しかしまた、他の場合においても、診断データが、（少なくとも所定の期間、又は予め定めることが可能な期間）、持続的に、又は交互に提供されることが可能である。診断データは、つまり例えば、ユーザーがキー押圧や制御指令によって表示を終了するまで表示されることが可能である。代替として、診断データは、通常の運転データと交替に表示されることが可能である。その際、そのような交互の表示は、個々でもまた、診断データの伝達が終了されるとき終了されることが可能である。

一つの実施例においては、真空装置が、エラーの発生の際に、所定の期間、通常表示モードから診断データ表示モードへと「ジャンプ」し、ユーザーに、真空装置との他の相互作用無しに、診断データを「適時に」伝達するために記録する機会を与える。

好ましくは、診断データの全体はコード化された形式で提供可能である。診断データの全体が圧縮された形式で提供可能であるときも、特に有利である。

好ましくは、診断データの全体は、診断データの全体が、通常の運転の為にオンサイトで意図されるローカルの機能性と無関係に、特に、真空装置のローカルの文字セットと無関係に離れた分析場所に伝達可能であるようなコード化された形式で提供可能である。

簡易な場合では、真空装置は、例えば既に電子的なインターフェース又はユーザーインターフェースを介してユーザーの他の装置と接続されているので、ユーザーは、定義された手動での読み出し指令によって、拡張されたデータストリームを得る可能性を有する。このデータストリームは、例えば、短い応答又は確認を指令に対して与えるのみならず、何倍もの大きさ（例えば「ストリーム」、「ダンプ」）を有するデータストリームを提供し、そして診断データの全体を含んでいる。

発明に係る真空装置の別の有利な実施形に従い、診断データの全体は、よって、データストリームの形式で出力可能である。

ユーザーが、例えば、ユーザーの他の装置と接続された、真空装置に接続されているインターフェース又はユーザーインターフェースを介して得られる拡張されたデータストリームを記録し、そしてこれが通信接続部を介して例えば電気的に離れた分析場所へ伝達されると、データストリームは離れた分析場所に、場合によっては、相応するデコーディング及び／又は解凍の後に処理されることが可能である。

出力可能な診断データのコーディングの為に、特に、例えばＢａｓｅ６４コーディング、ＣＲＣ−チェックサムの携行、及び／又はヘッダーによる又はかっこでくくる（独語：ｅｉｎｋｌａｍｍｅｒｎｄｅｎ）先頭符号及び末尾符号及び／又は先頭特徴及び末尾特徴によるデータのグループ化が考え得る。その際、「ベース６４」は、文字列における８ビットバイナリデータのコーディングの為の方法を意味する。これは、読むことのできるコードページ依存しないＡＳＣＩＩ文字のみからなる。特に、ＯｐｅｎＰＧＰと関連して、チェックサム（ＣＲ−２４）が付着させられることが可能である。その際、この少し変更された方法は、Ｒａｄｉｘ−６４の名を関する。しかしまた、基本的に、他のコーディングも考え得る。

発明に係る真空装置の別の好ましい実施形に従い、診断データの全体は光学的にコード化された形式で提供可能である。

提供装置が、ディスプレイを有し、このディスプレイ上に診断データが表示可能であるとき特に有利である。

その際、例えば光学的にコード化された診断データが、離れた分析場所への伝達の為に、ディスプレイから画像撮影されるか、または動画撮影されることが可能である。

表示の画像撮影又は動画撮影によって、全体の診断データ量は、典型的にはユーザーの下に存在する装置によって捕捉され、そして通信接続部を介して離れた分析場所へと伝達されることが可能である。

その際、診断データの再生の為に設けられるディスプレイが、真空装置内に統合されているか、または真空装置から離れて配置され、かつローカルのデータ接続部を介して真空装置に接続されていることが可能である。

診断データの再生の為に設けられるディスプレイは、例えば複数の真空装置に付設されていることも可能である。この場合、例えば複数の切替手段が設けられていることが可能である。これらを介してディスプレイが選択的に異なる真空装置と接続可能である。各接続は、特に其々ケーブル接続されていることが可能であり、及び／又は無線接続されることが可能である。

診断データの全体は、ディスプレイ上で、唯一の画像中に表示可能であることが可能であり、又は複数の画像中に連続して表示可能であることが可能である。後者においては、診断データの全体の個々の画像に相応する部分が、其々、離れた分析場所への伝達の為に供給される診断データの全体の整合的な部分集合であるとき、有利である。特に、診断データの全体の各部分は、コード化されている、及び／又は暗号化されている
、及び／又は圧縮されている。診断データの当該全体は、よって、連続する複数のステップ中に、データ部分、例えばデータストリーム又は複数画像の形式で、当該通信接続部を介して離れた分析場所へと伝達されることが可能である。

その際、診断データの全体はデータの規模とディスプレイの大きさに応じて、例えばより多くの又はより少なくの画像に分割されることが可能である。これらは、例えば手動で画像撮影されるか、又は自動的に連続してディスプレイから動画撮影される。そのような描写は、例えば、インターフェース又はユーザーインターフェースの内部の相応する制御パラメーターによって生じることが可能である。それに続いて、データ部分量又は診断データの描写の期間の為に表示は相応して置換され、そして通常の機能と異なり、相応する診断データを、読み出すため及び／又は画像形成するため及び／又は出力するために描写する。

ユーザーの取扱いをできる限り簡単に保つために、例えば、予め定めることが可能である時間の後、電源電圧の一度のスイッチオフ及びスイッチオンの後、又はキー押圧及び／又は信号付勢のような任意のユーザー入力の後、通常の運転モード又はユーザーモードへ表示が自動的に逆戻りすることが行われる、といった真空装置の形成が考え得る。

診断データの各個々のユニットに応じて、又は各描写ステップに応じて提供されるデータの量は、例えば、描写される情報ユニット（例えばピクセル、グレースケール、及び／又はカラー等のようなもの）によって制限される。光学的なコーディングの場合、特にコントラスト豊かな明暗ビットマスターが使用されることが可能である。これは、公知のアルゴリズムでもって確実にコード化されることが可能である。その際、例えばデータマトリックスコードとＰＤＦ４１７コードが挙げられる。これらは其々、光電子的に読み出し可能な２Ｄコードであり、異なる幅のバーまたはポイントとその間に位置し、可能な限り高いコントラストを有する空白から成っている。その際、データは、一次元のバーコードと反対に、方向においてのみ、又は一次元のみならず、平面の形式で、又は二次元にわたって設けられている。

コーディングが複雑に形成されているほど又は描写可能なデータ量が多いほど（例えばピクセルごとのカラーが倍化されることによって）、確実かつ可能な限りエラーの無い画像形成、記録又は保管および離れた分析場所への画像データの伝達に対する要求もより高くなる。これには、既に上述した、データ量の複数段のステップ式の描写及び、例えばデータ部分流又は個々個画像への分割による大きな労力（高いコスト）なく対応されることが可能である。これらは、その際、確実に当該通信接続部を介して離れた分析場所へ伝達されることが可能である。

その際、通信接続部を介して離れた他分析場所へ伝達されるべきデータ部分量が、其々、全体として伝達されるべき診断データの全体の整合的な（内部整合性のある、独語：ｉｎ ｓｉｃｈ ｋｏｎｓｉｓｔｅｎｔｅ）部分集合であるとき、特に有利である。これによって、特に、診断データの全体の少しずつの伝達、例えばデータ部分流の形式における伝達の際にも、離れた分析場所において受信されるデータの、各部分取扱い、例えば部分ビューが可能である。データ部分量への診断データの全体の分割の際、一方で、冗長性と伝達安全性の間での妥協、そして他方で、個々の部分におけるデータの量との間での妥協が必要である。

通信接続部を介して伝達されるべき診断データのデコーディングをサポートするために、離れた分析場所において、例えば、相応する画像認識ロジックを有するプログラムを有する分析ユニットを設けられていることが可能である。適当な画像認識システムによって、ユーザーによって引き起こされる描写エラーと描写の歪曲が補償され、そしてコード化されたデータが少なくとも基本的に自動的に展開されることが可能である。

光学的なコーディングとも関連して、データストリームの相応する暗号化及び／又は圧縮が可能である。これ、またはこれらは、離れた分析場所もうけられる分析ユニットの相応するプログラムによって、反対にされることが可能である。

例えば二次元バーコード又はポイントコードの形式の、特に光学的なコーディングは、システム安全性とデータ一貫性における最大の規模を可能する。というのは、データの伝達のために、もはや真空装置への直接のデータ接続部が全く必要なく、そしてバックチャネル（これを介して悪性の攻撃が行われる可能性がある）もまた存在しないからである。

本発明によって、各真空装置の無事が、従来公知の真空装置（これらは、ケーブルによる、又は無線に接続を介して、例えばデータキャリア（例えばＵＳＢスティックのようなもの）、分析システム（ハンドヘルド装置）、又は任意のユーザー装置（例えばタブレット、携帯電話、又はＰＣのようなもの）と接続される必要がある）におけるようりも明らかに高い程度で認められる。

その結果、本発明は、極めてデータ感度が高くかつ安全性感度の高い適用分野（これらは、システムを安全に保証し、そして外的影響無く運転することを強いられる）においても使用されることが可能である。

本発明は、また、真空装置、特に真空ポンプの遠隔診断の為の方法にも関する。真空装置は、離れた分析場所で実施すれべき分析の為に適した、真空装置の診断データの全体の生成の為の装置、これを介して診断データの全体の提供が開始可能である呼び出し装置、及び、診断データの全体を、全体として離れた分析場所に全体として伝達するよう構成されている提供装置を有する。本方法においては、呼び出し装置から診断データの提供が開始される、それに続いて、診断データが提供され、そして離れた分析場所に全体として伝達されることによって診断データが、真空装置から呼び出されることが意図され、診断データが離れた分析場所において分析されることが意図され、そして診断は真空装置に関して行われることが意図されている。

特に、本方法においては、診断データは、オンサイトでの通常の運転の為に意図される真空装置の運転データと、内容的に及び／又は規模に関して異なっている。

更に、本方法においては、診断データの全体の提供が、要求によって又は自動的に開始されることが意図され得る。

これに関して、及び本方法の他の可能な形態に関して、本発明に係る真空装置の相応する上述した説明が参照される。これは、本発明に係る方法についても同様である。

本発明に係る方法によって、今や、極めてデータ感度が高く、安全性感度が高い適用分野又は使用分野においてもデータ捕捉も可能である。これらは、システムを安全に保証し、そして外部の影響無く運転することに通じる。

本発明を以下に図面を参照しつつ実施例に基づいて詳細に説明する。

先行技術に従う従来の真空装置の簡略図。 発明に係る真空装置の例示的な実施形の一部の簡略図。この真空装置において診断データの全体は、診断データの全体は、光学的にコード化された形式で出力可能かつディスプレイに表示可能である。 発明に係る真空装置の別の例示的な実施形の簡略図。この真空装置において、診断データの全体は、光学的にコード化されたデータ部分の形式で出力可能であり、光学的にコード化されたデータ部分は連続してディスプレイに表示可能である。

図１は、先行技術に従う真空ポンプの形式の従来の真空装置の簡略図を示す。この真空ポンプは電源供給部１２に接続されており、そしてインターフェース１４を有する。このインターフェースにはディスプレイ１６が接続されており、そしてオンサイトでのデータの分析の為、又はオンサイトでの真空装置１０の診断の為、サービスアダプター１８、サービスユニット２０（ここではポータブルコンピュータの形式である）を介して接続可能である。

この形式の従来の真空装置１０においては（冒頭に記載したように）、診断データはアンコードされて表示されており、そして個々にかつ連続して照会される必要がある。診断データは、オンサイトでユーザーによって、例えば視覚的に目視で読まれ、画像撮像され、又は動画撮影され、そしてその後、通常、ペーパー等に書きとめられる必要がある。これによって、こられは引き続いて、遠隔に位置しているアナリストと話し合われ、又はアナリストにメモに基づいて伝えられることが可能である。

ここで実践で問題であるのは、例えば、ユーザーは、当該状況によって過剰に要求されている、つまり例えば、例えばユーザーは、通常の運転の為にオンサイトで意図されているもの以外の真空装置のデータ又は機能性、または、各状況において必要なデータの入手について知らないから、ユーザーがオンサイトで診断データを不完全にのみ入手したときに、離れて位置するアナリストに、もっともなエラー分析の為に必要な全ての診断データが提出されない点である。

更に、アナリストに提示された診断データが、読取エラー等によって少なくとも部分的に歪曲されているという危険性が存在する。

図２および３は、発明に係る真空装置２２の例示的な実施形の簡略部分図を示す。この真空装置は、例えば真空ポンプであることが可能である。

発明に係る真空装置２２は、真空装置２２の診断データの全体の生成の為の各一つの装置を有している。これは、遠隔分析場所において実施される分析に適しており、そして通常の運転の為にオンサイトで意図される真空装置２２の運転データと異なっている。更に真空装置２２は、各一つの呼び出し装置（この呼び出し装置によって、診断データの全体の提供が、一度の要求で開始される）と、提供装置（この提供装置は、診断データの全体を離れた分析場所への伝達の為に提供する）を有している。

診断データの提供は、例えば、ユーザーがオンサイトで、真空装置２２において意図されている、ここでは純粋に例示的に、全体で四つの操作キーの一列中に統合された呼び出しキー３４を操作する、又は真空装置２２がユーザーインターフェースを介して呼び出し信号を付勢される（これは例えば、真空装置２２が統合されている、ローカルのシステム制御部又は機械制御部を介して行われることが可能である）ことによって開始されることが可能である。上述したキー３４又はインターフェースは、その際、発明に係る真空装置２２の呼び出し装置、又は呼び出し装置の少なくとも一部を意味する。

呼び出しキー３４の代わりに、相応する、ユーザーによって走査されるべき呼び出しシンボルも、真空装置２２のこの場合は、タッチスクリーンとして形成されているディスプレイ上に設けられていることが可能である。

発明に係る各真空装置２２から提供される診断データは、通信接続部２４を介して離れた分析場所へと伝達可能である。この分析場所においては、これらは例えば分析ユニット２６によって評価されることが可能である（図３参照）。

図２および３において示された本発明の実施形においては、診断データの全体は、其々、光学的にコード化された形式で提供される。その際、提供装置は、各一つのディスプレイ２８を有する。このディスプレイ上に診断データが二次元ポイントコードの形式で表示される。

ディスプレイ２８は、例えば真空装置２２内に統合され、又は離れて配置されていることが可能であり、そしてローカルのデータ接続部を介して真空装置２２に接続されている。真空装置２２は、例えば真空ポンプであるので、真空ポンプ内にいずれにせよ設けられるディスプレイが診断データの表示の為に使用されることが可能である。

ディスプレイ２８に表示される光学的にコード化された診断データは、光電子的なユニット３０（図３）を使って、ディスプレイ２８から画像撮影され、又は動画撮影され、そして引き続いて通信接続部２４を介して離れた分析場所、又は、そこに設けられる分析ユニット２６へと伝達されることが可能である。光電子的なユニット３０として、例えば携帯式の電話に統合されたデジタルカメラのような従来のカメラが使用されることが可能である。これによって撮影された画像、又はこれによって撮影された動画は、その後、従来の方法で、例えば簡単に電子的な方法でインターネットを介して分析場所へ送信されることが可能である。

よって、例えば離れて位置するアナリストはＥメールを介して一または複数の画像を受信する。これは、其々真空装置２２のディスプレイ２８を示すか、又はディスプレイ２８上に表示されるコード化された診断データを示す。その際、一または複数の画像の暗号化された伝達は必要ない。というのは診断データの画像は既にコード化され、よって任意の確実に暗号化可能な形式で得られるからである。

その際、診断データの全体は、唯一の画像３２（図２参照）中に、又は、複数の画像３２１−３２ｎ（図３参照）中に連続してディスプレイ２８上に表示可能であることが可能である。診断データの全体が、図３に表されているように、複数の画像３２１−３２ｎ中に連続してディスプレイ２８上に表示可能であるとき、個々の画像３２１−３２ｎに相応する、診断データの全体の部分は、離れた分析場所への伝達の為に提供される診断データの全体の整合的部分集合を意味することが可能である。

診断データの全体が例えば複数の画像（図３）（一般的かつ、光学的な描写又はコーディングに無関係：複数の個々のユニット）に分配されているときですら、これは未だに、本発明の意味での分析に適した全ての診断データの「一度の」又は「一気の」又は「いっぺんの」提供及び伝達を意味する。特に診断データの提供及び伝達は、面倒でなく、エラーの起きにくいよう「ステップバイステップ」に行われる、又は先行技術におけるように「マンマシン」ダイアログの形式で行われる。

離れた分析場所に設けられる分析ユニット２６は、真空装置２２から提供され、通信接続部２４を介して伝達された診断データのデコード又は解凍の為の相応するデコード手段及び／又は解凍手段を設けられている。

ディスプレイ２８が複数の真空装置２２に付設されているとき、切替手段が設けられていることが可能である。これを介してディスプレイ２８は選択的に各所望の真空装置２２と接続可能である。

連続する複数の画像３２１−３２ｎがディスプレイ２８上に表示され、そして個々の画像３２１−３２ｎが例えば手動で画像撮影されるか、又は自動的に連続して動画撮影されるとき、例えば、インターフェース又はユーザーインターフェースの相応する制御パラメーターによって、個々の画像３２１−３２ｎの相応する連続した描写が生じ、そして引き続いて再び、通常の再生機能への転換が行われることが可能である。

その際、例えば、一つの実施形が考え得る。この実施形においてディスプレイ２８は、所定の時間の後自動的に、又は例えばキー押圧等のような任意のユーザー入力の後、簡易なユーザーモードまたは通常運転モードに戻る。

少なくとも一つの真空装置２２と離れた分析場所又は分析ユニット２６の間の通信接続部２４は、例えばワイヤレス式の接続、特に無線接続及び／又は電気的な配線を有することが可能である。

発明に係る真空装置２２によって、特に一度の表球で、分析に必要な全ての診断データが一度に提供され、そして例えばディスプレイ上に表示される、又はデータストリームとして出力されることが可能である。その際、特に診断データが離れた分析場所に完全かつエラーなく提供されることも保証される。よって離れた分析場所において、信頼のある、広範囲のエラー分析と装置診断が可能である。オンサイトでの専門知識、又は専門装備は、この為必要とされない。本発明は、特にデータの敏感なかつ安全性に敏感な使用者にとって興味深い。

１０ 真空装置
１２ 電源供給部
１４ インターフェース
１６ ディスプレイ
１８ サービスアダプター
２０ サービスユニット
２２ 真空装置
２４ 通信接続部
２６ 分析ユニット
２８ ディスプレイ
３０ 光電子的なユニット
３２ 画像
３２１−３２ｎ 画像
３４ 呼び出しキー

Claims (15)

1. 真空装置、特に真空ポンプであって、
   離れた分析場所において実施される分析に適した、真空装置（２２）の診断データの全体の生成の為の装置を有し、
   呼び出し装置を有し、この呼び出し装置を使って診断データの全体の提供が要求によって開始可能であり、
   および、
   提供装置を有し、この提供装置が、離れた分析場所への全体としての伝達の為に、診断データの全体を全体として提供するよう形成されていることを特徴とする真空装置。
2. 診断データが、オンサイトでの通常の運転の為に意図されている真空装置（２２）の運転データと、内容的に、及び／又は規模に関して異なっていることを特徴とする請求項１に記載の真空装置。
3. 診断データの全体の提供が、要求に応じて、又は自動的に開始可能であることを特徴とする請求項１または２に記載の真空装置。
4. 診断データの全体が、コード化された形式で、及び／又は圧縮された形式で提供可能であることを特徴とする請求項１から３の少なくとも一項に記載の真空装置。
5. 診断データの全体が、ローカルでの通常の運転の為にオンサイトで意図されている機能性と無関係に、特に真空装置（２２）のローカルでの文字セットと無関係に、離れた分析場所へ伝達可能であるよう、診断データの全体がコード化された形式で提供可能ことを特徴とする請求項１から４の少なくとも一項に記載の真空装置。
6. 診断データの全体が、データストリームの形式で出力可能であることを特徴とする請求項１から５の少なくとも一項に記載の真空装置。
7. 提供装置が、提供された、離れた分析場所に伝達される診断データの中間保管の為の保管手段を有することを特徴とする請求項１から６の少なくとも一項に記載の真空装置。
8. 診断データの全体が、光学的にコード化された形式で提供可能であることを特徴とする請求項１から７の少なくとも一項に記載の真空装置。
9. 提供装置が、ディスプレイ（２８）を有し、このディスプレイ上に診断データが表示可能であり、その際特に、ディスプレイ（２８）が真空装置（２２）内に統合されているか、又はディスプレイ（２８）が真空装置（２２）から離れて配置されており、そしてローカルのデータ接続部を介して、真空装置（２２）に接続されていることを特徴とする請求項１から８の少なくとも一項に記載の真空装置。
10. 診断データの全体または一部が、唯一の画像（３２）中に、真空装置（２２）のディスプレイ（２８）上に表示可能であることを特徴とする請求項１から９の少なくとも一項に記載の真空装置。
11. 診断データの全体が、複数の画像（３２１−３２ｎ）中に連続して、真空装置のディスプレイ（２８）上に表示可能であり、その際特に、個々の画像（３２１−３２ｎ）に相当する診断データの全体の部分が、離れた分析場所への伝達の為に提供される診断データの全体の、各一つの整合的な部分集合を意味することを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載の真空装置。
12. 呼び出し装置が、ユーザーによって手動式に操作されるべき、真空装置（２２）の操作装置を有し、及び／又は、外部の装置によって駆動可能である、又は付勢可能である、真空装置（２２）のインターフェースの少なくとも一部を有することを特徴とする請求項１から１１の少なくとも一項に記載の真空装置。
13. 真空装置（２２）、特に真空ポンプの遠隔診断の為の方法であって、その際、真空装置（２２）が、
    離れた分析場所において実施される分析に適した、真空装置（２２）の診断データの全体の生成の為の装置を有し、
    呼び出し装置を有し、この呼び出し装置を使って診断データの全体の提供が開始可能であり、そして、
    提供装置を有し、この提供装置が、診断データの全体を、離れた分析場所への全体としての伝達の為、全体として提供するよう形成されており、
    その際、本方法において、
    呼び出し装置を使って診断データの提供が開始され、それに続いて、診断データが提供され、そして離れた分析場所に全体として伝達されることによって診断データが、真空装置（２２）から呼び出され、
    診断データが、離れた分析場所において分析され、そして、
    診断が、真空装置に関して行われることを特徴とする方法。
14. 診断データが、通常の運転の為にオンサイトで意図される真空装置（２２）の運転データと、内容的に、及び／又は規模に関して異なっていることを特徴とする請求項１３に記載の方法。
15. 診断データの全体の提供が要求により、又は自動的に開始されることを特徴とする請求項１３または１４に記載の方法。

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