JP2017002385A - 成膜装置、成膜方法および基板載置台 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は本発明の一実施形態に係る成膜装置を示す断面図、図2は図1の成膜装置の温調機構を模式的に示す平面図である。
2;上部カバー
3;基体
4;載置部
5;外周リング
6;隙間
7;断熱材
8;空間
9;シャワープレート
10;処理室
13;処理ガス供給機構
16;排気機構
17,18,19;温調媒体流路
20;温調媒体供給ユニット
25;制御部
100;成膜装置
G;基板
Claims (15)
- 基板が載置される基板載置台と、
前記基板載置台に載置された基板に成膜処理を施す処理室と、
前記処理室に成膜処理のための処理ガスを供給する処理ガス供給手段と
を有し、
前記基板載置台上の基板に成膜処理を施す成膜装置であって、
前記基板載置台は、
その上面が基板を載置する載置面となる載置部と、
前記載置部の外周を囲むように設けられた外周リングと、
前記載置部を、前記処理ガスにより成膜可能な第1の温度に温調する第1の温調部と、
前記外周リングを、前記処理ガスにより成膜されない第2の温度に温調する第2の温調部と
を有し、
前記載置部と前記外周リングとの間には、全周に亘ってこれらの間の熱交換を抑制する断熱部として機能する隙間が設けられており、
前記載置部の前記載置面は、前記基板よりも小さく形成され、前記隙間は、前記載置面に前記基板が載置された際に、前記基板の前記載置面からのはみ出し部分が全周に亘って前記外周リングにかかるように形成されていることを特徴とする成膜装置。 - 前記基板載置台は、基体を有し、前記載置部は、前記基体の中央部から上方に突出して設けられ、前記外周リングは、前記基体に断熱材を介して設けられていることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記載置面に前記基板が載置された際の前記基板のはみ出し部分の幅は、製品として使用されない領域の幅以下であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の成膜装置。
- 前記はみ出し部分の幅が10mm未満であり、前記隙間の幅が1〜9mmであることを特徴とする請求項3に記載の成膜装置。
- 前記はみ出し部分の幅が5mm以上10mm未満であり、前記隙間の幅が3〜5mmであることを特徴とする請求項4に記載の成膜装置。
- 前記基板載置台を覆うように設けられ、前記処理室を画成する上部カバーと、前記上部カバーを前記処理ガスにより成膜されない第3の温度に温調する第3の温調部とをさらに有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記基板載置面と対向するように設けられたシャワー部材をさらに有し、前記処理ガス供給手段から供給された処理ガスを前記シャワー部材から吐出することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記処理ガスとして有機系ガスを用い、前記基板上に蒸着重合により有機膜を成膜することを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記有機膜はポリウレア膜であり、前記第1の温調部により、前記載置部の前記第1の温度が100℃以下になるように温調され、前記第2の温調部により、前記外周リングの前記第2の温度が150℃以上になるように温調されることを特徴とする請求項8に記載の成膜装置。
- 処理ガスを供給して基板に成膜処理を施す成膜装置に用いられる基板載置台であって、
その上面が基板を載置する載置面となる載置部と、
前記載置部の外周を囲むように設けられた外周リングと、
前記載置部を、前記処理ガスにより成膜可能な第1の温度に温調する第1の温調部と、
前記外周リングを、前記処理ガスにより成膜されない第2の温度に温調する第2の温調部と
を有し、
前記載置部と前記外周リングとの間には、全周に亘ってこれらの間の熱交換を抑制する断熱部として機能する隙間が設けられており、
前記載置部の前記載置面は、前記基板よりも小さく形成され、前記隙間は、前記載置面に前記基板が載置された際に、前記基板の前記載置面からのはみ出し部分が全周に亘って前記外周リングにかかるように形成されていることを特徴とする基板載置台。 - さらに基体を有し、前記載置部は、前記基体の中央部から上方に突出して設けられ、前記外周リングは、前記基体に断熱材を介して設けられていることを特徴とする請求項10に記載の基板載置台。
- 前記載置面に前記基板が載置された際の前記基板のはみ出し部分の幅は、製品として使用されない領域の幅以下であることを特徴とする請求項10または請求項11に記載の基板載置台。
- 前記はみ出し部分の幅が10mm未満であり、前記隙間の幅が1〜9mmであることを特徴とする請求項12に記載の基板載置台。
- 前記はみ出し部分の幅が5mm以上10mm未満であり、前記隙間の幅が3〜5mmであることを特徴とする請求項13に記載の基板載置台。
- その上面が基板を載置する載置面となる載置部と、全周に亘って前記載置部との間の熱交換を抑制する断熱部として機能する隙間を介して、前記載置部の外周を囲むように設けられた外周リングとを有する基板載置台を処理室内に配置した成膜装置を用い、前記載置部に基板を載置した状態で前記処理室に処理ガスを供給して基板に成膜処理を施す成膜方法であって、
前記基板を、全周に亘って前記隙間を遮蔽し前記外周リングにかかるように前記載置面に載置する工程と、
前記載置部を、前記処理ガスにより成膜可能な第1の温度に温調する工程と、
前記外周リングを、前記処理ガスにより成膜されない第2の温度に温調する工程と
を有することを特徴とする成膜方法。
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