JP2016538591A - 電気回路パターンを備える基板、それを提供するための方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
Description
− 光源:キセノンフラッシュランプ。最適結果のために好ましい高エネルギーおよび短パルス(<<1ms)。
− マスク:ガラス上のフォトリソグラフィ処理された(photolithographed)金属。光吸収およびアブレーションの機会を低減するためのアルミニウムまたはクロム。透過に基づくマスクの代わりに、また反射に基づくマスクが、使用されてもよい。
− 基板:放射光について透明。ポリマーフィルムまたはガラス(ガラス基板を使用するときはポリマー付着層が好ましい)。
− ポリマー付着層:基板から蒸着/スパッタ金属への付着を向上させる。剥離ライナを用いて残留金属を除去するとき、アブレーションされない金属は、引き剥がされないこともある。
− 金属:薄い金属層が、例えば基板上に蒸着されるまたはスパッタされる。銅は、多くの放射光を吸収するので、良好な候補である。より反射する金属は、高いピーク温度を生成するために追加の吸収層(例えば炭素)から恩恵を受けることもある。
− 剥離ライナ:アブレーション後に残留金属を除去するポリマーフィルム。
− ランプ装置:Xenon Sinteron(登録商標)2000。
− パルス:1.5ms、約12J/cm2、1パルス。
− マスク:ホウケイ酸ガラス(0.7mm)上のクロム(100nm)。
− 基板:PET、80μm。
− 金属:蒸着銅、200nm。
− 剥離ライナ:青色粘着テープ。
2 中間付着層
3 連続材料層
3p パターン
3r 相反パターン
4 剥離層
5 光源
6 光
6t 光パターン
7 マスク
10 スタック
10a 一方の側
10b 他方の側
11 手段、基板運搬装置
12 手段、付着堆積手段
13 手段、材料堆積手段
14 手段
14a 剥離層付与装置
14b 剥離層分離装置
15 コントローラ
20 基板
30 システム
A 場所
A’ 場所
F パルス周波数
R 場所
V 基板の移動量
X 距離
Claims (19)
- 一方の側(10a)の剥離層(4)と他方の側(10b)の透明層(1)との間に付着される連続材料層(3)を備えるスタック(10)を準備するステップであって、前記連続材料層(3)は、連続金属層または半導体材料の連続層である、ステップと、
前記透明層(1)の前記側(10b)から前記スタック(10)上に光(6)を投影する光源(5)を準備するステップと、
前記スタック(10)上への前記投影光(6)をパターン化するために前記光源(5)と前記スタック(10)との間にマスク(7)を準備するステップであって、光パターン(6t)は、前記透明層(1)を通って投影されて、前記投影光パターン(6t)に合致する場所(R)において前記連続材料層(3)と前記透明層(1)との間の付着のパターン化剥離を引き起こす、ステップとを含む、基板上に電気回路パターンを形成するための方法。 - 前記透明層(1)から前記剥離層(4)を分離するステップをさらに含み、
前記連続材料層(3)に形成されるパターン(3p)は、前記連続材料層と前記透明層との間の付着が、前記投影光パターン(6t)によって剥離されなかった場所(A)において前記透明層(1)に付着し、
前記連続材料層(3)に形成される相反パターン(3r)は、前記連続材料層(3)と前記透明層(1)との間の付着が、前記投影光パターン(6t)によって剥離(R)された場所(A’)において前記剥離層(4)に付着する、請求項1に記載の方法。 - 前記回路パターンは、前記透明層(1)に付着(A)されて残っている前記パターン化された連続材料層(3p)によって形成される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記パターン化された連続材料層(3p)は、前記回路パターンの導電性トラックを形成する、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記マスク(7)は、前記回路パターンの像を備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記スタックは、前記透明層(1)と前記連続材料層(3)との間に中間付着層(2)を備える、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 前記付着は、前記透明層(1)と前記連続材料層(3)との間の材料の選択的反応によって剥離(R)される、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記連続材料層(3)は、前記投影光に対して反応しない、請求項6または7に記載の方法。
- 前記光パターン(6t)は、前記連続材料層(3)上に前記スタック(10)の透明材料を通って投影され、それによって隣接透明層(1、2)を間接的に加熱し、前記隣接透明層の前記間接加熱は、付着の剥離を引き起こす、請求項1から8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記光源(5)は、フラッシュランプを備える、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 一方の側(10a)の剥離層(4)と他方の側(10b)の透明層(1)との間に付着される連続材料層(3)を備えるスタック(10)を提供するための手段(11〜14)であって、前記連続材料層(3)は、連続金属層または半導体材料の連続層である、手段(11〜14)と、
前記透明層(1)の前記側(10b)から前記スタック(10)上に光(6)を投影するために配置される光源(5)と、
前記スタック(10)上への前記投影光(6)をパターン化するための前記光源(5)と前記スタック(10)との間のマスク(7)であって、光パターン(6t)は、前記透明層(1)を通って投影されて、前記投影光パターン(6t)に合致する場所(R)において前記連続材料層(3)と前記透明層(1)との間の付着のパターン化剥離を引き起こす、マスク(7)とを備える、基板上に電気回路パターンを形成するためのシステム(30)。 - 前記透明層(1)から前記剥離層(4)を分離するために処理順序において前記光源(5)の後に配置される剥離層分離装置(14b)をさらに備え、
前記連続材料層(3)に形成されるパターン(3p)は、前記連続材料層と前記透明層との間の付着が、前記投影光パターン(6t)によって剥離されなかった場所(A)において前記透明層(1)に付着し、
前記連続材料層(3)に形成される相反パターン(3r)は、前記連続材料層(3)と前記透明層(1)との間の付着が、前記投影光パターン(6t)によって剥離(R)された場所(A’)において前記剥離層(4)に付着する、請求項11に記載のシステム。 - 前記スタック(10)を提供するための前記手段は、
処理順序を規定する経路に沿って前記透明層(1)を備える基板を運ぶために配置される基板運搬装置(11)と、
前記光源(5)によって照射されるべき前記基板の他方の側(10b)と反対側の前記基板の一方の側(10a)に前記連続材料層(3)を堆積するために配置される材料堆積手段(13)と、
前記連続材料層(3)上に前記剥離層(4)を積層するために順番に前記堆積手段(13)と前記光源(5)との間に配置される剥離層付与装置(14a)とを備える、請求項11または12に記載のシステム。 - 前記連続材料層(3)として堆積されるべき金属または半導体材料を備える材料供給手段と、
前記基板上に前記連続材料層(3)を堆積するために配置される材料堆積手段(13)とを備える、請求項11から13のいずれか一項に記載のシステム。 - 前記光源(5)は、フラッシュランプを備える、請求項11から14のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記光源(5)のパルス周波数(F)および前記光源(11)の前記投影光パターン(6t)を通る前記基板運搬装置(11)による前記基板の移動量(V)を制御するために配置されるコントローラ(15)をさらに備え、前記コントローラ(15)は、単一光パルスによる付着のパターン化剥離を引き起こすために前記投影光パターン(6t)よりも大きい距離(X)にわたって光パルスの間に前記基板を移動させるようにプログラムされる、請求項11から15のいずれか一項に記載のシステム。
- 前記中間付着層(2)を堆積するために順番に前記材料堆積手段(13)の前にかつ前記材料堆積手段(13)と同じ側(10a)に配置される付着堆積手段(12)をさらに備える、請求項11から16のいずれか一項に記載のシステム。
- 請求項1から17のいずれか一項に記載の方法またはシステムによって得ることができる電気回路パターンを備える基板(20)であって、前記基板(20)は、透明層(1)を備え、前記回路パターンを形成するパターン化された金属または半導体材料(3p)は、その間の付着層(2)を用いて前記透明層(1)に付着され、前記付着層(2)の一部分(2r)は、前記パターン化された材料(3p)が除去されている場所(R)において分解されかつ/または溶融される、基板(20)。
- 前記パターン化された材料(3p)は、前記透明層(1)に選択的に付着される連続材料層(3)から剥離層(4)を引き剥がすことによって前記場所(R)における材料の除去(3r)から結果として生じる引き剥がしエッジを備える、請求項18に記載の基板(20)。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3287291A1 (en) * | 2016-08-26 | 2018-02-28 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Method and system for applying a patterned structure on a surface |
US10531568B1 (en) * | 2019-01-22 | 2020-01-07 | Honeywell Federal Manufacturing & Technologies, Llc | Circuit board interconnect decals |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52126220A (en) * | 1976-04-14 | 1977-10-22 | Kimoto Kk | Dry image forming material and method of forming image |
JPS533215A (en) * | 1976-06-28 | 1978-01-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photosensitive material developable by stripping and image formation method using this |
JPS5365733A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | Stripping development apparatus |
JPS5511280A (en) * | 1978-05-11 | 1980-01-26 | Polychrome Corp | One pair exposure image forming system and product useful therefor |
JPS5729042A (en) * | 1980-06-20 | 1982-02-16 | Agfa Gevaert Nv | Recording material and method of producing metallic image |
JPS6265046A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 長尺基材用露光現像装置 |
US5527660A (en) * | 1994-11-30 | 1996-06-18 | Polaroid Corporation | Laminar imaging medium utilizing hydrophobic cycloaliphatic polyepoxide in the fracturable layers |
JPH1039519A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-02-13 | Konica Corp | 画像形成装置及び画像形成方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4247619A (en) | 1979-12-20 | 1981-01-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Negative-working multilayer photosensitive tonable element |
US4458003A (en) | 1982-06-07 | 1984-07-03 | Esselte Pendaflex Corp. | Photosensitive materials for use in making dry transfers |
US5693447A (en) * | 1995-02-17 | 1997-12-02 | Konica Corporation | Image forming material, method of preparing the same and image forming method employing the same |
US5691103A (en) * | 1995-02-17 | 1997-11-25 | Konica Corporation | Image forming material, method of preparing the same and image forming method employing the same |
US5691098A (en) * | 1996-04-03 | 1997-11-25 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Laser-Induced mass transfer imaging materials utilizing diazo compounds |
TW353762B (en) | 1996-10-21 | 1999-03-01 | Dainippon Printing Co Ltd | Transfer sheet, and pattern-forming method |
US6203952B1 (en) * | 1999-01-14 | 2001-03-20 | 3M Innovative Properties Company | Imaged article on polymeric substrate |
US6855384B1 (en) * | 2000-09-15 | 2005-02-15 | 3M Innovative Properties Company | Selective thermal transfer of light emitting polymer blends |
CN100416307C (zh) * | 2001-12-11 | 2008-09-03 | 富士胶片株式会社 | 滤色片的形成方法 |
US7998540B2 (en) * | 2003-07-10 | 2011-08-16 | Merck Patent Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung | Substituted anthracenes |
JP5632146B2 (ja) * | 2009-09-02 | 2014-11-26 | 太陽ホールディングス株式会社 | 硬化性樹脂組成物 |
JP5581864B2 (ja) * | 2010-07-14 | 2014-09-03 | ソニー株式会社 | 情報処理装置、情報処理方法、及びプログラム |
-
2014
- 2014-10-29 CN CN201480070395.0A patent/CN105829970B/zh active Active
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- 2014-10-29 JP JP2016527231A patent/JP6744213B2/ja active Active
- 2014-10-29 KR KR1020167013210A patent/KR102307014B1/ko active IP Right Grant
- 2014-10-29 EP EP14796303.7A patent/EP3063593B1/en active Active
- 2014-10-29 WO PCT/NL2014/050747 patent/WO2015065181A1/en active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52126220A (en) * | 1976-04-14 | 1977-10-22 | Kimoto Kk | Dry image forming material and method of forming image |
JPS533215A (en) * | 1976-06-28 | 1978-01-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | Photosensitive material developable by stripping and image formation method using this |
JPS5365733A (en) * | 1976-11-22 | 1978-06-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | Stripping development apparatus |
JPS5511280A (en) * | 1978-05-11 | 1980-01-26 | Polychrome Corp | One pair exposure image forming system and product useful therefor |
JPS5729042A (en) * | 1980-06-20 | 1982-02-16 | Agfa Gevaert Nv | Recording material and method of producing metallic image |
JPS6265046A (ja) * | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Nitto Electric Ind Co Ltd | 長尺基材用露光現像装置 |
US5527660A (en) * | 1994-11-30 | 1996-06-18 | Polaroid Corporation | Laminar imaging medium utilizing hydrophobic cycloaliphatic polyepoxide in the fracturable layers |
JPH1039519A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-02-13 | Konica Corp | 画像形成装置及び画像形成方法 |
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