JP2016530699A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 第１の専用高周波ジェネレータに結合された第１の閉ループアンテナアレイを備える第１の電磁波アプリケータと、
   前記第１の閉ループアンテナアレイに隣接して配置され、第２の専用高周波ジェネレータに結合された第２の閉ループアンテナアレイを備える第２の電磁波アプリケータと
   を備え、前記第１の閉ループアンテナアレイと前記第２の閉ループアンテナアレイはそれぞれ、一対の直線プラズマ管を備える、堆積システム。
2. 前記一対の直線プラズマ管はそれぞれ、一端においては同軸導管によって、他端においては横部材によって電気的に結合されている、請求項１に記載の堆積システム。
3. 前記横部材は電気アイソレータを含む、請求項２に記載の堆積システム。
4. 前記直線プラズマ管の内の一つと前記同軸導管の内の一方又は両方は、チューナー装置を含む、請求項２又は３に記載の堆積システム。
5. 前記チューナー装置はリフレクタを備える、請求項４に記載の堆積システム。
6. 前記同軸導管は、前記直線プラズマ管の内の一つと交差している、請求項２から５のいずれか一項に記載の堆積システム。
7. 前記直線プラズマ管の内の一つと前記同軸導管の内の一つは、屈曲部を含む、請求項６に記載の堆積システム。
8. 化学気相堆積プロセスのための堆積システムであって、
   一又は複数のガス分配導管を備えるガス分配システムと、
   第１の専用高周波ジェネレータに結合された第１の閉ループアンテナアレイと、
   第２の専用高周波ジェネレータに結合された第２の閉ループアンテナアレイとを備え、前記第２の閉ループアンテナアレイは、前記第１の閉ループアンテナアレイに隣接して配置されている、システム。
9. 前記第１の閉ループアンテナアレイと、前記第２の閉ループアンテナアレイは同一平面上にある、請求項１から８のいずれか一項に記載の堆積システム。
10. 前記第１の閉ループアンテナアレイと、前記第２の閉ループアンテナアレイは嵌合している、請求項８又は９に記載の堆積システム。
11. 前記第１の閉ループアンテナアレイと、前記第２の閉ループアンテナアレイはそれぞれ、一対の直線プラズマ管を備える、請求項８から１０のいずれか一項に記載の堆積システム。
12. 前記一対の直線プラズマ管はそれぞれ、一端において同軸導管によって、他端において横部材によって電気的に結合されている、請求項１１に記載の堆積システム。
13. 前記横部材は電気アイソレータを含む、請求項１２に記載の堆積システム。
14. 前記同軸導管はチューナー装置を含む、請求項１２又は１３に記載の堆積システム。
15. 前記チューナー装置はリフレクタを備える、請求項１４に記載の堆積システム。