JP2016530541A - 改良された直交位相補正を有するジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、微小電気機械デバイス、および、特に独立請求項の前文に規定する、ジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープに関する。
微小電気機械システム(マイクロエレクトロメカニカルシステム;Micro−Electro−Mechanical System)、つまり、MEMSは、小型化された機械的および電気機械的システムであって、少なくともいくつかの要素が機械的機能性を有するもの、と定義できる。MEMSデバイスは、集積回路の作成に使用する道具と同じものを使って作られるので、複数のマイクロマシンとマイクロエレクトロニクス要素を同じシリコンピース上に組み立てることで、知能的なマシンが可能となる。
本発明の目的は、面外(out−of−plane)方向に励起される1以上の平面質量体(planar masses)を有するジャイロスコープ構造体について効率の良い直交位相補正を可能にするジャイロスコープ構造体を設計することである。本発明の目的は、独立請求項の特徴部分に従うジャイロスコープ構造体を用いて実現される。
以下に、好ましい実施態様に関連して、添付の図面を参照して、本発明をより詳細に説明する。
下記の各実施態様は例示である。明細書中において「或る」、「1つの」または「いくつかの」実施態様ということがあるが、これは、必ずしもこれらの語による言及が同じ実施態様を意味したり、特徴が1つの実施態様にのみ適用されることを意味したりするものではない。異なる実施態様の特徴を1つずつ組み合わせて更なる実施態様を提供してもよい。
Claims (19)
- 微小電気機械のジャイロスコープ構造体であって、前記構造体が、
振動質量体と、
本体要素と、
ばね構造体であって、前記ばね構造体は、前記振動質量体を前記本体要素に懸架して、前記振動質量体の少なくとも一部が第1の方向に振動するように励起されている一次振動、および前記振動質量体の少なくとも一部が前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に動く二次振動を可能にするものであり、かつ前記振動質量体が前記第2の方向および第3の方向に平面的に伸びる表面平面を有しており、前記第3の方向が前記第1の方向および前記第2の方向に対して垂直である、前記ばね構造体と、
第1の導体であって、前記第1の導体は、前記振動質量体とともに動くように配置されており、前記第1の導体は、前記振動質量体上を前記第1の方向および前記第3の方向に伸びる第1の表面を含むものである、前記第1の導体と、
第2の導体であって、前記第2の導体は、前記本体要素に取り付けられており、かつ前記第1の方向および前記第3の方向に伸び、かつ前記第1の表面に隣接する第2の表面を含むものである、前記第2の導体と、
電圧要素であって、前記電圧要素は、前記第1の表面と前記第2の表面との間に電位差を作り出し、これにより前記第2の方向に静電力を誘導するように配置されているものであって、前記静電力は、前記振動質量体の前記一次振動によって変調されるものである、前記電圧要素と
を有する微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の表面が、前記第1の方向において第1の高さまで平面的に伸びており、
前記第2の表面が、前記第1の方向において第2の高さまで平面的に伸びており、
前記第1の高さと前記第2の高さとが互いに異なる
ことを特徴とする請求項1に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記電圧要素が、前記第2の導体に接続された直流バイアス電圧源を有する
ことを特徴とする請求項1または2に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記ばね構造体が、前記第1の方向における前記振動質量体の前記一次振動について最大振幅を可能にするように構成されており、
前記第1の高さと前記第2の高さとの間の差が、前記最大振幅と等しいまたはこれより大きい
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第2の表面が、前記第1の表面よりも高い
ことを特徴とする前記請求項1〜4のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の表面が、前記第2の表面よりも高い
ことを特徴とする前記請求項1〜4のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記一次振動が、前記表面平面に平行な軸の周りの前記振動質量体の回転振動である
ことを特徴とする前記請求項1〜6のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記一次振動が、前記本体部分から離れたり前記本体部分に向かったりする前記振動質量体の線形振動である
ことを特徴とする前記請求項1〜6のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記一次振動が、2つの平行軸の間の前記振動質量体の座屈振動である
ことを特徴とする前記請求項1〜6のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記表面平面が、前記第2の方向および前記第3の方向に直線的に伸びており、
前記振動質量体が、前記第1の方向および前記第3の方向に平面的に伸びる2つの第1の側面の平面を有し、
前記振動質量体が、前記第1の方向および前記第2の方向に平面的に伸びる2つの第2の側面の平面を有し、
前記一次振動が、前記第2の側面の平面に平行であって、前記振動質量体を2つの部分に分割する、回転軸の周りの前記振動質量体の回転振動であり、
前記第2の導体が、前記第1の側面の平面に隣接し、かつ前記第2の導体から前記回転軸までの距離が、前記振動質量体の同じ部分における前記第1の側面の平面までの距離よりも大きい
ことを特徴とする前記請求項1〜9のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第2の導体が、少なくとも1つの細長いビームを有し、かつ前記第2の導体の前記細長いビームの表面が、前記振動質量体における前記第1の導体の前記第1の表面に位置合わせされている
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の導体が、少なくとも1つの細長いビームを有し、かつ前記第2の導体が、少なくとも1つの細長いビームを有し、前記第1の導体の前記細長いビームの表面が、前記第2の導体の前記細長いビームの表面に位置合わせされている
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第2の導体が、2つの細長いビームを有し、前記2つの細長いビームが、互いに位置合わせされており、かつ互いから距離を置いて取り付けられており、それらの間に前記第1の導体の前記細長いビームを収容する
ことを特徴とする請求項12に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の導体と前記第2の導体とが、複数の細長いビームを有し、
前記第1の導体の細長いビームが、互いに位置合わせされて第1の櫛形構造体を形成しており、かつ前記第2の導体の細長いビームが、互いに位置合わせされて第2の櫛形構造体を形成しており、
前記第1の櫛形構造体と前記第2の櫛形構造体とが連結され、平行な面内電極の周期的パターンを形成している
ことを特徴とする請求項12または13に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の櫛形構造体の前記細長いビームと前記第2の櫛形構造体の前記細長いビームとが、前記第3の方向に平行に伸びている
ことを特徴とする請求項14に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の櫛形構造体の前記細長いビームと前記第2の櫛形構造体の前記細長いビームとが、前記第2の方向に平行に伸びている
ことを特徴とする請求項14に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記微小電気機械のジャイロスコープ構造体が、
第1の振動質量体と第2の振動質量体と、
前記ばね構造体であって、前記振動質量体を前記本体要素に懸架し、かつ前記第2の方向に平行な共通の主軸の周りで前記第1の振動質量体の回転振動と前記第2の振動質量体の回転振動とを可能にする、前記ばね構造体とを有し、
前記ばね構造体が、前記第1の方向に平行な第1の検出軸の周りで前記第1の振動質量体の回転振動もできるようにしており、
前記第2のばねアセンブリが、前記第1の方向に平行な第2の検出軸の周りで前記第2の振動質量体の回転振動もできるようにしており、
前記第1の検出軸と前記第2の検出軸とが、ゼロでない距離で隔てられている
ことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 前記第1の振動質量体と前記第2の振動質量体の各々が、第1の導体と、第2の導体と、制御要素とから形成されている少なくとも1つの補正要素を備えている
ことを特徴とする請求項17に記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体。 - 請求項1〜18のいずれかに記載の微小電気機械のジャイロスコープ構造体を有する
ジャイロスコープ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20135916 | 2013-09-11 | ||
FI20135916A FI125696B (en) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | Gyroscope structure and gyroscope with improved quadrature compensation |
PCT/IB2014/064375 WO2015036923A1 (en) | 2013-09-11 | 2014-09-10 | Gyroscope structure and gyroscope with improved quadrature compensation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016530541A true JP2016530541A (ja) | 2016-09-29 |
JP6260706B2 JP6260706B2 (ja) | 2018-01-17 |
Family
ID=51626106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016542417A Active JP6260706B2 (ja) | 2013-09-11 | 2014-09-10 | 改良された直交位相補正を有するジャイロスコープ構造体およびジャイロスコープ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9631928B2 (ja) |
EP (1) | EP3044541B1 (ja) |
JP (1) | JP6260706B2 (ja) |
KR (1) | KR101828771B1 (ja) |
CN (1) | CN105556242B (ja) |
FI (1) | FI125696B (ja) |
TW (1) | TWI638142B (ja) |
WO (1) | WO2015036923A1 (ja) |
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- 2013-09-11 FI FI20135916A patent/FI125696B/en active IP Right Grant
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2014
- 2014-09-10 WO PCT/IB2014/064375 patent/WO2015036923A1/en active Application Filing
- 2014-09-10 CN CN201480050415.8A patent/CN105556242B/zh active Active
- 2014-09-10 EP EP14776734.7A patent/EP3044541B1/en active Active
- 2014-09-10 US US14/481,969 patent/US9631928B2/en active Active
- 2014-09-10 JP JP2016542417A patent/JP6260706B2/ja active Active
- 2014-09-10 KR KR1020167009487A patent/KR101828771B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Publication date |
---|---|
FI125696B (en) | 2016-01-15 |
KR101828771B1 (ko) | 2018-02-13 |
EP3044541B1 (en) | 2018-02-28 |
FI20135916A (fi) | 2015-03-12 |
TW201518686A (zh) | 2015-05-16 |
EP3044541A1 (en) | 2016-07-20 |
CN105556242A (zh) | 2016-05-04 |
US9631928B2 (en) | 2017-04-25 |
CN105556242B (zh) | 2018-09-04 |
TWI638142B (zh) | 2018-10-11 |
US20150082885A1 (en) | 2015-03-26 |
KR20160052732A (ko) | 2016-05-12 |
WO2015036923A1 (en) | 2015-03-19 |
JP6260706B2 (ja) | 2018-01-17 |
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Date | Code | Title | Description |
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