JP2016526253A - イオン注入均一性を制御するための装置及び技術 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 第1の周波数でイオンビームの複数のビーム電流測定を検出するための検出器システムと、
前記複数のビーム電流測定に基づいて、前記第1の周波数と異なる第2の周波数の前記イオンビームのビーム電流変動に対応する、前記イオンビームの変動を決定する分析部と、
前記分析部の出力に応じて前記イオンビームを調整して前記変動を低減する調整部と、を備え、
前記分析部及び前記調整部は、前記イオンビームがイオン注入機で発生する間、前記イオンビームの前記変動を閾値より下に動的に低減する、
イオン注入機のイオンビームを制御するシステム。 - 前記分析部は、
前記複数のビーム電流測定の離散フーリエ変換に基づいて周波数領域パワースペクトルを生成し、
前記周波数領域パワースペクトルで特定される周波数領域ピークに基づいて前記イオンビームの前記変動を決定する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記分析部は、
前記周波数領域パワースペクトルの全パワーに対する、前記周波数領域ピークに含まれるパワーの比率に等しい、前記周波数領域ピークの性能指数(figure of merit (FOM))を計算し、
前記周波数領域ピークの前記FOMを閾値と比較し、
前記周波数領域ピークの前記FOMが前記閾値を超える場合、前記イオン注入機の調整用のパラメータにフラグを立てる、
請求項2に記載のシステム。 - 前記検出器システムは、
前記イオン注入機内の第1の位置に配置され、ビーム電流を検出して前記複数のビーム電流測定を実行する電流検出器と、
前記電流検出器の上流に配置されるブロック部と、を備え、
前記ブロック部は、
前記イオンビームのサイズ及び前記イオンビームのビーム位置が、それぞれのビームサイズ限度及びビーム位置限度内にある場合、全ての前記イオンビームを伝達し、
前記イオンビームの前記サイズがビームサイズ限度を超える場合、又は前記イオンビームの前記位置が、ビーム位置限度を超える場合、前記イオンビームの一部を遮る、
請求項1に記載のシステム。 - 前記ブロック部に前記イオンビームを向けるように構成されるビームステアリングコントローラをさらに備える、
請求項4に記載のシステム。 - 前記第1の周波数は、16Hzよりも大きい、
請求項1に記載のシステム。 - サンプリング実行、前記イオンビームの前記変動の前記決定、及びビーム調整は、一体となってビーム調整ループを構成し、
前記システムは、前記イオンビームの前記変動が閾値よりも小さくなるまでビーム調整ループを実行する、
請求項1に記載のシステム。 - 前記分析部は、所定数のビーム調整ループ後に、前記イオンビームの前記変動が閾値を超える場合、イオン注入過程を終了する、
請求項7に記載のシステム。 - イオンビームを発生するイオン源と、
第1の周波数で前記イオンビームの複数のビーム電流測定を検出するための検出器システムと、
命令を備える少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体を有するコントローラと、を備え、
前記命令が実行された場合、前記コントローラは、
前記複数のビーム電流測定に基づいて、前記第1の周波数と異なる第2の周波数の前記イオンビームのビーム電流変動に対応する、前記イオンビームの前記イオンビームの変動を決定し、
前記イオンビーム変動が閾値を上回る場合、イオン注入機のパラメータの調整を実行するための信号を生成する、
イオン注入機。 - 前記少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体は命令を備え、前記命令が実行された場合、前記コントローラは、
前記複数のビーム電流測定から、イオン電流強度の離散フーリエ変換に基づいて周波数領域パワースペクトルを生成し、
前記周波数領域パワースペクトルで特定される周波数領域ピークに基づいて前記イオンビーム変動を決定する、
請求項9に記載のイオン注入機。 - 前記少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体は命令を備え、前記命令が実行された場合、前記コントローラは、
前記周波数領域ピークのパワーに基づいて、前記周波数領域ピークの性能指数(figure of merit (FOM))を計算し、
特定された前記周波数領域ピークの前記性能指数を閾値と比較し、
検出された前記周波数領域ピークの前記性能指数が前記閾値を超える場合、ビーム調整部に命令して前記調整を実行する、
請求項10に記載のイオン注入機。 - 前記少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体は命令を備え、前記命令が実行された場合、前記コントローラは、前記検出器システムのブロック部に前記イオンビームを向け、前記イオンビームを向け、
前記ブロック部は、
前記検出器システムの電流検出器の上流に配置され、
ビームサイズ及びビーム位置が、それぞれのビームサイズ限度及びビーム位置限度内にある場合、全ての前記イオンビームを伝達し、
ビームサイズ及び/又はビーム位置が、それぞれの前記ビームサイズ限度及び/又はビーム位置限度を超える場合、前記イオンビームの一部を遮る、
請求項10に記載のイオン注入機。 - 前記第1の周波数は、16Hzよりも大きい、
請求項10に記載のイオン注入機。 - サンプリング実行を実行すること及び前記パラメータの前記調整を実行することは、ビーム調整ループを構成し、前記少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体は命令を備え、前記命令が実行された場合、前記コントローラは、前記ビーム変動が閾値よりも小さくなるまで付加的なビーム調整ループを指示する、
請求項10に記載のイオン注入機。 - 前記少なくとも1つのコンピュータ可読記憶媒体は命令を備え、前記命令が実行された場合、前記コントローラは、所定数のビーム調整ループ後に、前記ビーム変動が閾値を超える場合に、イオン注入過程を終了するための信号を送信する、
請求項9に記載のイオン注入機。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020198197A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | 株式会社アルバック | イオン注入装置 |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6517520B2 (ja) * | 2015-01-27 | 2019-05-22 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 監視装置、イオン注入装置、及び監視方法 |
US9396903B1 (en) * | 2015-02-06 | 2016-07-19 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method to control ion beam current |
US9738968B2 (en) * | 2015-04-23 | 2017-08-22 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for controlling implant process |
US20170005013A1 (en) | 2015-06-30 | 2017-01-05 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Workpiece Processing Technique |
US10395889B2 (en) * | 2016-09-07 | 2019-08-27 | Axcelis Technologies, Inc. | In situ beam current monitoring and control in scanned ion implantation systems |
US10431421B2 (en) * | 2017-11-03 | 2019-10-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc | Apparatus and techniques for beam mapping in ion beam system |
US10651011B2 (en) * | 2018-08-21 | 2020-05-12 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and techniques for generating bunched ion beam |
CN111830553B (zh) * | 2019-04-16 | 2022-10-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 离子束均匀度检测装置及检测方法 |
US11264205B2 (en) | 2019-12-06 | 2022-03-01 | Applied Materials, Inc. | Techniques for determining and correcting for expected dose variation during implantation of photoresist-coated substrates |
JP7106698B2 (ja) * | 2020-04-07 | 2022-07-26 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | バンチ化されたイオンビームを生成するための装置及び技術 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040079895A1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-04-29 | International Business Machines Corporation | Method and structure for detection and measurement of electrical and mechanical resonance associated with an E-beam lithography tool |
JP2005502174A (ja) * | 2001-08-30 | 2005-01-20 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | イオン注入器を調整する方法および装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0492351A (ja) * | 1990-08-07 | 1992-03-25 | Tel Varian Ltd | イオン注入装置 |
US6323497B1 (en) | 2000-06-02 | 2001-11-27 | Varian Semiconductor Equipment Assoc. | Method and apparatus for controlling ion implantation during vacuum fluctuation |
US6908836B2 (en) | 2002-09-23 | 2005-06-21 | Applied Materials, Inc. | Method of implanting a substrate and an ion implanter for performing the method |
GB2427508B (en) | 2004-01-06 | 2008-06-25 | Applied Materials Inc | Ion beam monitoring arrangement |
US7442944B2 (en) * | 2004-10-07 | 2008-10-28 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion beam implant current, spot width and position tuning |
US7423277B2 (en) | 2006-03-14 | 2008-09-09 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam monitoring in an ion implanter using an imaging device |
US7550751B2 (en) * | 2006-04-10 | 2009-06-23 | Axcelis Technologies, Inc. | Ion beam scanning control methods and systems for ion implantation uniformity |
US7663125B2 (en) | 2006-06-09 | 2010-02-16 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Ion beam current uniformity monitor, ion implanter and related method |
CN101467227A (zh) * | 2006-06-09 | 2009-06-24 | 瓦里安半导体设备公司 | 离子束电流均匀度监控器、离子注入机以及其方法 |
US7453070B2 (en) * | 2006-06-29 | 2008-11-18 | Varian Semiconductor Associates, Inc. | Methods and apparatus for beam density measurement in two dimensions |
US7755066B2 (en) | 2008-03-28 | 2010-07-13 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Techniques for improved uniformity tuning in an ion implanter system |
US8071964B2 (en) * | 2008-05-01 | 2011-12-06 | Axcelis Technologies, Inc. | System and method of performing uniform dose implantation under adverse conditions |
US8237135B2 (en) * | 2009-01-22 | 2012-08-07 | Axcelis Technologies, Inc. | Enhanced low energy ion beam transport in ion implantation |
JP2011086643A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Panasonic Corp | 不純物注入方法及びイオン注入装置 |
JP5373702B2 (ja) * | 2010-06-07 | 2013-12-18 | 株式会社Sen | イオンビームスキャン処理装置及びイオンビームスキャン処理方法 |
-
2013
- 2013-09-25 US US14/037,207 patent/US8853653B1/en active Active
- 2013-09-25 US US14/037,218 patent/US9006692B2/en active Active
-
2014
- 2014-05-02 CN CN201480032406.6A patent/CN105264634B/zh active Active
- 2014-05-02 KR KR1020157034315A patent/KR101677225B1/ko active IP Right Grant
- 2014-05-02 KR KR1020157034316A patent/KR101677226B1/ko active IP Right Grant
- 2014-05-02 TW TW103115811A patent/TWI563533B/zh active
- 2014-05-02 WO PCT/US2014/036551 patent/WO2014179674A1/en active Application Filing
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- 2014-05-02 WO PCT/US2014/036549 patent/WO2014179672A1/en active Application Filing
- 2014-05-02 TW TW103115794A patent/TWI564927B/zh active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005502174A (ja) * | 2001-08-30 | 2005-01-20 | バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド | イオン注入器を調整する方法および装置 |
US20040079895A1 (en) * | 2002-10-29 | 2004-04-29 | International Business Machines Corporation | Method and structure for detection and measurement of electrical and mechanical resonance associated with an E-beam lithography tool |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020198197A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | 株式会社アルバック | イオン注入装置 |
JP7286420B2 (ja) | 2019-05-31 | 2023-06-05 | 株式会社アルバック | イオン注入装置 |
Also Published As
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