JP2016517962A - 表面増強ラマン散乱(sers)センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
その後溶解した材料が入射レーザパルスと相互作用し、そして自己組織化されたストキャスティックナノ構造を形成する。殆どの場合、SERSセンサの活性領域の形成に適した、必要なパターンにナノ構造体が変形するのには、表面の単一の点に対して僅かに数個のレーザパルスで十分である。
I)レーザビームで基板(1)をスキャンするステップ;
II)加工済み基板(1)を洗浄するステップ;
III)金属被膜を適用するステップ;
短パルスレーザによりテクスチャを付けられた基板は異なる金属被膜でコーティングされてもよい。その中で、最適なのは金、銀、銅、プラチナ被膜である。また、場合によっては、アルミニウムが使用されてもよい。
シリカガラス基板の表面がフェムト秒レーザ照射で加工される。パルス持続時間は300fs、波長515nm、そして単一パルスでの照射の間に基板表面で平均0.032J/cm2のエネルギー密度が達成される。基板表面は、制作の方向と、移動方向と垂直な方向の両方においてレーザパルスが基板表面の平面において約70%だけ重複するように基板表面を移動させることにより、処理される。
Claims (12)
- プラズモニックセンサであって、少なくとも基板と、前記基板上のレーザ加工表面領域と、そして金属被膜とを有し、
ここにおいて前記基板の加工に使用されるレーザはフェムト秒またはピコ秒レーザのような短パルスレーザであり、そして前記基板はアモルファス材料から作られる、プラズモニックセンサにおいて、
レーザ加工表面領域は、前記材料の粘性が浅い表面層において減少され、そして、粘性を減少させるのに使用されたパルスと同じパルス、または連続して入射する1つ以上のパルスの影響下で、自己組織化されたストキャスティックナノ構造が形成され、前記ナノ構造は1ミクロンより小さいフィーチャからなり、そして前記基板の前記表面領域のそれぞれのスポットを形成すために100個未満、より好適には10個未満のレーザパルスが使用される、ように形成される、
ことを特徴とするプラズモニックセンサ。 - レーザパルスは、前記基板を収束レーザビームに対して移動させることにより前記基板の前記表面上で重複し、そして前記重複は、前記基板の移動方向と前記基板の移動方向に垂直な方向の両方向において、20%−80%、好適には50%−70%の範囲である、ことを特徴とする請求項1に記載のセンサ。
- 前記センサ基板の材料は、前記材料の軟化が始まる遷移温度を有し、前記遷移温度は1000℃未満、好適には600℃未満である、ことを特徴とする請求項1または2に記載のセンサ。
- 前記センサ基板の材料はガラス、好適にはソーダ石灰シリカガラスである、ことを特徴とする請求項1−3のいずれか1項に記載のセンサ。
- 前記センサ基板の材料は、シリカガラスまたは鉛ガラスまたはホウケイ酸ガラスまたはカルコゲン化物ガラスである、ことを特徴とする請求項4に記載のセンサ。
- 前記基板は、顕微鏡で使用されるスライドまたはカバースリップである、ことを特徴とする請求項1−5のいずれか1項に記載のセンサ。
- 短レーザパルスを使用して絶縁性基板を加工するステップと、
前記レーザパルスにより加工された前記基板の表面に金属被膜を施すステップと、
の内の少なくとも1つのステップを有するプラズモニックセンサを作る方法であって、
前記レーザパルスを使用して加工するステップは、それぞれのスポットにおいて100個未満、好適には10個未満のレーザパルスで前記基板を照射するステップを有し、
ここにおいてレーザパルスの持続時間およびエネルギーは、基板材料の表面に入射する1つまたはそれ以上のレーザパルスが前記材料の浅い層を溶解させ、そして、溶解した前記材料と少なくとも1個のレーザパルスとの間の相互作用の下で、自己組織化された1ミクロン未満のストキャスティックナノ構造が形成される、ように選択される、
ことを特徴とするプラズモニックセンサを作る方法。 - 前記レーザパルスの持続時間は100fs−100psの範囲にある、ことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記レーザパルスのエネルギーは、前記基板の表面上のレーザエネルギー密度が表面アブレーション閾値を少なくとも100%未満、好適には20%未満だけ超過する、ように選択される、ことを特徴とする請求項7または8に記載の方法。
- 前記加工された基板の表面は平均0.01−0.05J/cm2のエネルギー密度を単一のレーザパルスから受け取る、ことを特徴とする請求項9に記載の方法。
- 前記ナノ構造のフィーチャ寸法は、前記短レーザパルスの波長を選択することにより、および/または異なる周囲媒体の中で前記基板を加工することにより制御され、より短い波長のレーザの照射および/またはより大きな屈折率の加工環境内媒体が、より小さな寸法のフィーチャの形成に使用され、そしてより長い波長のレーザの照射および/またはより小さな屈折率の加工環境内媒体がより大きな寸法のフィーチャの形成に使用される、ことを特徴とする請求項7−10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記金属被膜はレーザ誘発スパッタリングの手段により被覆され、ここで蒸着は、前記基板(1)表面上にナノ構造を形成するために使用されたレーザと同じレーザの照射を使用して遂行される、ことを特徴とする請求項7−11のいずれか1項に記載の方法。
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