JP2016513355A - マイクロエレクトロニクスアセンブリ形成用熱分解性ポリマー組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2012年12月17日に出願された米国仮特許出願第61/737,954号に基づく利益を主張し、その出願の全内容は参照により本明細書に援用されている。
本発明は、一般に、マイクロエレクトロニクスアセンブリの形成に有用なポリマー組成物に関し、より具体的には、熱分解性ポリマーを含み、粘着性とはんだフラックス性の両方を提供する組成物に関する。
例1
適切なサイズおよび装備、例えば熱電対、加熱マントル、撹拌機、窒素掃引機(nitrogen sweep)および真空ポンプを備えた多口フラスコに、次のもの:cis−exo−2,3−ノルボルナンジメタノール22.5グラム(144ミリモル(mmol));cis−endo−2,3−ノルボルナンジメタノール15.0グラム(96mmol);ジフェニルカーボネート51.3グラム(240mmol);水素化リチウム12ミリグラム(mg)(1.5mmol);を添加した。窒素掃引下においてフラスコの内容物を120℃に加熱し、該内容物を液体に変化するのに十分な時間だけ同温度に保持した。次いで、フラスコの内容物を窒素掃引下で攪拌しながら、120℃に2時間保持した。次いで、フラスコの内容物を約10kPaの減圧に供し、120℃で1時間撹拌した。次いで、フラスコ内の圧力を0.5kPa未満までさらに減圧し、内容物を攪拌しながら120℃に1.5時間、続いて180℃に1.5時間保持した。
本発明の実施形態に係るポリカーボネート共重合体を、例1に記載の手順により、次のものから調製した。1,3−シクロヘキサンジオール20.5グラム(176mmol);cis−exo−2,3−ノルボルナンジメタノール15.5グラム(99mmol);ジフェニルカーボネート56.6グラム(264mmol);水素化リチウム13.2mg(1.7mmol)。約28.1グラムのポリカーボネート共重合体を、約69%の収率で得た。このポリカーボネート共重合体は、Mwが47,000、PDIが1.75であることが、GPCにより決定された。
本発明の実施形態に係るポリカーボネート共重合体を、例1に記載の手順により、次のものから調製した。1,3−シクロヘキサンジオール19.2グラム(165mmol);cis−endo−2,3−ノルボルナンジメタノール14.5グラム(93mmol);ジフェニルカーボネート53グラム(248mmol);水素化リチウム10.1mg(1.3mmol)。約28.7グラムのポリカーボネート共重合体を、約76%の収率で得た。このポリカーボネート共重合体は、Mwが38,000、PDIが1.61であることが、GPCにより決定された。
撹拌子を備えた適切なサイズの反応容器に、5−exo−フェニル−cis−exo−2,3−ノルボルナンジメタノール10.0g(43mmol)、ジフェニルカーボネート9.2g(43mmol)および水素化リチウム1.3mg(0.16mmol)を仕込んだ。凝縮アーム(condensing arm)を組み立てて反応容器に取り付け、該容器および凝縮器を真空排気して窒素を再充填する操作を3回行った。反応フラスコを撹拌しつつ、窒素下において120℃の油浴温度で2時間加熱した。窒素源を取り除き、反応物を120℃で75Torrの部分真空に1時間供し、室温に冷却した。塩化メチレンとテトラヒドロフランとの混合物中のポリマー溶液を、純メタノールに滴下して沈殿させた。濾過し、動的真空乾燥機で乾燥した後、白色ポリマー9.1gを得た。ポリマーの特性は次のようにまとめられる:Mw=49k、PDI=2.0、Tg=115℃、Td50=284℃。
例4と同様の装置および処理法を用い、この実験に使用するモノマーは5−exo−フェニル−cis−endo−2,3−ノルボルナンジメタノール5.0g(22mmol)およびジフェニルカーボネート4.6g(22mmol)である。使用する触媒、水素化リチウムは0.9mg(0.11mmol)である。塩化メチレンとテトラヒドロフランとの混合物にポリマーを溶解した溶液を、沈殿中に純粋なメタノールに滴下した。濾過し、動的真空乾燥機で乾燥した後、白色ポリマー4.7gを得た。ポリマー特性は次のようにまとめられる:Mw=38k、PDI=2.1、Tg=111℃、Td50=314℃。
2−(3−ベンゾイルフェニル)プロピオン酸(ケトプロフェン、8.00g、31.5mmol)を、室温においてマグネチックスターラーで撹拌してTHF(100mL)に溶解した。1,5,7−トリアザビシクロ[4.4.0]デカ−5−エン(TBD、4.38g、31.5mmol)を乾燥粉末として、透明なTHF溶液にゆっくりと添加した。この添加中の温度上昇は、この時点での希釈レベルでは最小限である。この不均質な混合物を室温で12時間激しく撹拌した。その間に濁度は徐々に低下した。この反応混合物を、ガラスフリット上のCelite(登録商標)濾過助剤に通して濾過し、濾液をロータリーエバポレートにより濃縮して粘性油状物を得た。この油状物にジエチルエーテル(15mL)を添加し、30分間撹拌して未反応のケトプロフェンおよびTBDを除去した。上層をパスツールピペットで除去し、エーテル洗浄を2回繰り返した。最後の洗浄における上清を室温において密閉バイアル内で一晩保存したところ、mgスケールの白色結晶が生成した。この白色結晶は粗混合物と同様の1H NMRを示した。この白色結晶を、後のバルク結晶化用の種晶として回収した。洗浄したバルク材料にTHF(30mL)を加え、均質になるまで撹拌した。このTHF溶液にジエチルエーテルを、追加の1滴のエーテルによって撹拌後にも溶液の濁りが解消しなくなる終点まで添加した。この終点において、透明なTHF/エーテル混合物に数個の種晶を加えた。室温で4時間後、小さい白色結晶の層が底部ガラス表面に形成された。この混合物を冷蔵庫に18時間保存した。白色結晶性物質をガラスフリットで濾過することにより回収し、2×5mLのジエチルエーテルで洗浄した。白色固体をオイルポンプ減圧(≦0.1Torr)下で12時間以上乾燥して痕跡量の残留溶媒を除去し、8.5g(69%)の白色固体を得た。これは目的物のPT−393であることが1H NMRにより確認されている。
exo−,exo−2,3−ノルボルネンジカルボン酸無水物(94.4%、634.23g、3.87mol)を各約210gの部分に分割し、それぞれを音波処理と加熱により1.5〜1.7Lの酢酸エチルに溶解した。各部分を19LのParr反応器に加えた後、3×400mLの酢酸エチルですすいだ。使用した酢酸エチルの総量は5.9Lであった。Parr反応器は、上記酸無水物の再結晶を防ぐために30℃に予熱しておいた。5%Pd/C(50%湿潤品、21.48g)を加えた。反応器を密封した後、窒素で3回加圧した。次いで、水素で3回加圧およびフラッシュした。最後に、反応器を108psi水素まで加圧し、230rpmで撹拌した。19分後、上記混合物を17〜105psiに再充填した。4分後、反応は100psi水素で安定化した。混合物を100〜86psiおよび26〜31℃で一晩撹拌した。NMR分析により、もはやオレフィンが残存していないことが判明した。ジクロロメタン4リットルを反応混合物に加えた。反応器を排液した後、3×2000ml分量のジクロロメタンですすいだ。反応混合物および洗浄液をCeliteに通して濾過し、Pd/Cを含まない透明な濾液を得た。濾液を20〜70℃でロータリーエバポレートして、硬質の固体639g(収率99.5%)を得た。GC分析により、99.6%の全異性体純度について、exo型異性体98.7%、endo型異性体0.9%であることが判明した。
撹拌機、滴下漏斗、窒素導入管付き凝縮器およびサーモウェルを備えた12Lの四口フラスコ内の無水エーテル4000mlに、水素化リチウムアルミニウムペレット(192.7g、5.08mol)を添加した。この混合物を一晩撹拌した。exo,exo−2,3−ノルボルナンジカルボン酸無水物(330.3g)をDrySolve THF850mlに溶解し、LAHスラリーに滴下して加えた。添加速度は、穏やかな還流(35℃以下)が維持されるように調節した。添加が完了したら、exo−,exo−2,3−ノルボルナンジカルボン酸無水物303.3gをDrySolve THF1000mlに溶解したものを、滴下漏斗に再充填した。この新しい溶液を、穏やかな還流(40.1℃)が維持されるように滴下して加えた。添加したexo,exo−2,3−ノルボルネンジカルボン酸無水物の総量は633.6g(3.81mol)であった。総添加時間は11時間であった。GC分析により転化率が95%であることが判明し、未反応の出発原料は検出されなかった。上記混合物を室温で一晩撹拌した。GC分析により、転化率が95.9%であることが示された。上記反応混合物を−12.4℃に冷却した後、835mlの水を滴下して加えた。80mlの水を添加した後、発熱が弱まったので、残りの水は素早く添加した。添加は、−12.4℃〜+12.4℃の温度範囲で、2時間20分後に完了した。MTBE(メチル−tert−ブチルエーテル)1.25Lを添加した。次いで、10%H2SO4水溶液1.05Lを添加して、リチウムとアルミニウムの塩を凝集分離した。エーテル−THF−MTBE相をデカントし、2×1Lの飽和食塩水で洗浄してキャリーオーバーの固体を除去し、pHを7にした。このエーテル溶液を硫酸ナトリウムで乾燥し、濾過し、ロータリーエバポレートして油状物355.4(収率60%)を得た。GC分析により、ジメタノール(保持時間8.490分)97.0%および保持時間6.16分の未知成分2.3%であることがわかった。
この一連の手順は、一般に、ポリマー溶媒を、アセトンから、ポリ(プロピレンカーボネート)と混和可能な任意のより高沸点の溶媒に交換するのに適用することができる。市販のポリ(プロピレンカーボネート)(PPC、ゲル浸透クロマトグラフィー測定に基づくMw=40k)を、ポリマーのアセトン溶液の形態で得た。γ−ブチロラクトン(GBL)(451g)を、Mw=40kの市販のポリ(プロピレンカーボネート)のアセトン溶液(500g、36重量%)に加えた。溶媒の第1画分(221g)を、54℃の減圧(25mmHg)下でロータリーエバポレートにより留去した。溶媒の第2画分(281g)を、75℃の減圧(29mmHg)下でロータリーエバポレートにより留去した。残りのポリマー溶液のアセトン含有率は、ガスクロマトグラフィーにより報告可能な限界(0.05重量%)未満であることが判明した(アセトン含有率が報告可能な限界より高い場合には、ポリマー溶液中のアセトン含有率が報告可能な限界未満になるまで、溶媒の添加および気化のサイクルを繰り返した)。クリーンルーム環境内において最終ポリマー溶液を1μmカプセルに通して濾過し、パーティクルフリーの容器に入れた。容器に蓋をし、保存用の伸縮テープで密封した。樹脂含有率は、初期重量を測定したポリマー溶液試料から、Fisher Isotemp真空乾燥機を105℃で5時間使用して溶媒をすべて除去することにより求めた。最終的な固体ポリマーの重量を溶液の初期重量と比較して樹脂含有率を求めたところ、57重量%であることがわかった。粘度は、ブルックフィールド粘度計(Model DV I Prime)により測定し、20,000cPsであることがわかった。
配合例1に記載のように溶媒交換した試料より低粘度の配合物は、一般に、粘性ポリマー試料を、典型的には添加剤が加えられたキャリア溶媒で希釈することにより調製される。一例として、熱活性化塩基発生剤であるPT−393(0.28g)をGBLに溶解した溶液(全溶液重量12.0g)を、例1に従って調製した試料溶液(19g、49重量%)に添加し、樹脂100部当たり3部(pphr)の熱活性化塩基発生剤を含む30重量%の配合物を得る。この配合物をローラーミキサーで12時間混合し、クリーンルーム環境内において0.2μmのカプセルに通して濾過し、パーティクルフリーの容器に入れる。容器に蓋をし、伸縮テープで密封する。
ギ酸(FA)を含む配合物は、ギ酸を添加したこと以外は配合例2の手順と同様の手順で調製した。一例として、未希釈のFA(0.96g)を配合例2からのポリマー溶液に添加した。この溶液をローラーミキサーで12時間混合し、クリーンルーム環境内で0.2μmのカプセルに通して濾過してパーティクルフリーの容器に入れ、樹脂含有率が29重量%であって3pphrのPT−393と3重量%のFAとを含む配合物を得た。
これらの例に係る配合物の調製方法は、配合例2の方法に類似している。この一連の例のすべてについて、収集したデータを下記の表3および3aに要約する。
この一連の実施形態に係る配合物およびウエハフィルムの調製は、厚さ2μmのフィルムではスピンコートにおける回転速度を3000rpmに上げた他は、配合例3に記載のものに類似している。初期フィルム厚は形状計測(profilometry)により測定する。各試料をオーブン内で加熱することにより、ウエハフィルムを熱分解する。例番号の隣に記載されている文字は、その例に使用した加熱サイクルを示す。すなわち、「a」は2分以内に230℃に加熱した後、プレートをその温度でさらに2分間保持することを示し;「b」は240℃に加熱し、10分間保持することを示し;「c」は200℃に加熱し、10分間保持することを示す。各例について、ウエハをオーブンから取り出し、室温まで放冷した。その後、ウエハ上の残渣の厚み(残渣厚み)を測定し、残渣厚みとソフトベークした試料の初期フィルム厚との比から材料の分解%を算出した。初期フィルム厚にかかわらず、すべての例が90%超の分解を示した。これは、使用した分解サイクルは十分であり、微調整のための実験を少し行うだけでよいことを示唆している。
熱活性化塩基発生剤含有配合物を含むγ−ブチロラクトン中の配合物は、該配合物を、部分的に酸化した表面を有する銅基板(1.7cm×3.4cm)上に、27ゲージのニードルで別個のスポットとしてディスペンサー塗布したこと以外、配合例2の手順に従って調製した。銅基板上の各スポットの頂部に、はんだボール(Sn(99.3)Cu(0.7);直径610μm)を慎重に移した。その後、プレート全体をデバイスに載せ、加熱してはんだリフローの量を測定した。本発明のポリマー組成物の実施形態は、隣接する基板間のはんだによる相互接続を可能にするフラックス性の提供を目的としているので、前述の方法ではんだリフロー量を測定することにより、種々のTABG剤およびそれらの配合量を評価することができる。各例について、銅基板を2分以内に230℃に加熱し、その温度でさらに2分間保持した後、プレートを室温に戻した。慎重に配置されたはんだボールを有するプレートを移動させる間、ポリマー組成物の各スポットは、その上に配置されたはんだボールを所定の位置に保持していたことが観測された。したがって、上記組成物は粘着付与剤として有用であることが示された。リフロー後にはんだ材料の直径を測定した。対照としての例68および78は、実質的にはんだの広がりを示さなかった。また、TABGであるEt4N OAc・4H2Oに関して、TABG配合量の少ない例66および69と、より配合量の多い例67および70との比較から、Et4N OAc・4H2Oは、十分なはんだの広がりを達成するために比較的高いTABG濃度を要するものと思われる。また、表5から、ギ酸およびEt4N OAc・4H2Oはいずれも、PT−393の添加剤としては、かかる添加剤を含まない類似の試料と比較して、それらの試料で観測されたはんだの広がりに対し、たとえ影響するとしても僅かであることがわかる。
アニソール中にMw40Kと160Kの両方のPPC Novomerポリマーを様々なTABGとともに含む配合物を、例2の方法で調製した。一例として、γ−ブチロラクトン中に添加剤として3pphrのPT−393を含むMw=40kのポリ(プロピレンカーボネート)の配合物を調製し、そのMw(貯蔵前)をGPCで測定する。この配合物を25℃で2週間保存し、Mw(貯蔵後)を測定する。表6に示すMw比は、Mw(貯蔵後)/Mw(貯蔵前)により、0.99と決定されたものである。Mw比が0.95〜1.05の範囲内にあることは、貯蔵期間中、当該配合物が実験誤差の範囲内で安定であることを示す。表に示されるように、例95〜102の組成物の安定性は、TABGとしてPT−393を組み込んだ組成物の安定性に比べて、該組成物がギ酸を含むか否か(92、93)、またはEt4N OAc・4H2Oの添加(80a、82a、113、116)にかかわらず、著しく低いことが判明した。貯蔵安定性データのリストを表6にまとめる。
固体のcis−exo−2,3−ポリノルボルナンジメチルカーボネートポリマー(3.0g)をアニソールに溶解し、樹脂含有率30重量%のベースポリマー溶液10.0gを得る。表示のTABGを3.0pphrの配合量で含む表示のカーボネート配合物は、溶媒としてアニソールを用いた他は配合例2の手順に従って調製した。表に示されるように、配合例127〜129はそれぞれはんだリフローを示し、使用したTABGにフラックス作用があることがわかる。はんだフラックス性のデータのリストを表7にまとめる。
配合例128および129のポリカーボネートの熱分解を評価した。この一連の実施形態におけるウエハフィルムの調製および熱分解測定は、厚さ3.9μmのフィルムを形成し、分解サイクル「a」のみを使用した他は、配合例31〜53について前述したように行った。熱分解データを表8にまとめる。
添加剤を含むアニソール中の配合物は、配合例127〜129の方法に従って調製する。調製後、ポリマーのMw(貯蔵前)をGPCで測定した。各配合物を65℃で1週間保存し、ポリマーのMw(貯蔵後)を測定した。表9に示すMw比は、Mw(貯蔵後)/Mw(貯蔵前)により、0.95と決定されたものである。Mw比が0.95〜1.05の範囲内にあることは、貯蔵期間中、当該配合物が実験誤差の範囲内で安定であることを示すものと考えられる。
熱酸発生剤(TAG)、具体的には、DANFABA(ジメチルアニリニウムテトラキス(ペンタフルオロフェニル)ボレート)を3.9pphrの配合量で含む、PPC(Mw=160,000)の配合物を調製した。DANFABAの式量は800である(一方、PT−393の式量は393である)ため、上記の配合量は、1.7pphrのPT−393を含むPPC配合物より約10%高い配合量である。このTAG含有配合物は、TGA分析においてTd50206℃を示した。一方、配合例20のTABG配合物(表3に示す)のTd50は188℃であった。
適切なサイズおよび装備を備えた反応容器内において、無水THF(220mL)中にcis−p−メンタン−1,8−ジオール(15.47g、90mmol)およびピリジン(15.63g、198mmol)を含む溶液を0℃で激しく攪拌しつつ、ここに無水THF(80mL)中に塩化オキサリル(11.40g、90mmol)を含む溶液を滴下して加えた。塩化オキサリルの添加終了後、反応混合物を0℃でさらに60分間撹拌した。次いで、混合物の温度を室温まで上げ、続いて70℃で16時間還流した。懸濁した塩を濾過により除去し、濾液をメタノール−水混合物(MeOH:H2O=1:5(体積比))に滴下した。沈殿したポリマーをメタノールで洗浄し、減圧乾燥して、Mw=33000、PDI=1.6、Td50=160℃の乾燥した白色ポリオキサレートポリマーを得た。このポリオキサレートポリマーの構造を下記に示す。
ポリオキサレート(1.5g)をシンチレーションバイアルに入れて秤量した。市販の溶媒であるγ−ブチロラクトン(GBL)を、混合物の最終正味重量が5.0gになるようにポリマーに添加して、全固形分30%の溶液を得た。この溶液を、ローラーミキサーにより室温で12時間以上混合した。最終溶液は、使用する前に、0.2μmのフィルターディスクを通過させてパーティクルフリーの瓶に入れた。
γ−ブチロラクトン(GBL)中に熱活性化塩基発生剤を含む配合物を、配合例N1の手順に従い、ただしローラーミキサーによる混合前に各例につき表X1に示す熱活性化塩基発生剤を添加して調製した。配合例54〜78の手順に従って、27ゲージのニードルを用いた配合物のディスペンサー塗布、および塗布されたスポット上へのはんだボールの移動を行った。この一連の例のすべてについて収集したデータを下記X1にまとめる。
配合例N2〜N5の熱分解を評価した。この一連の例に係るウエハフィルムの調製および熱分解測定は、分解サイクル「a」のみを使用した他は、配合例32〜53について前述したように行った。熱分解データを表X2にまとめる。
GBL中に添加剤を含む配合物は、ポリオキサレートポリマーの溶液を用いた他は配合例N2の方法に従って調製した。調製後、ポリマーのMw(初期)をGPCで測定した。各配合物を25℃で4週間保存した後、該ポリマーのMw(最終)を測定した。表X3にまとめたMw比のデータは、Mw(最終)/Mw(初期)により決定したものである。Mw比が0.95〜1.05の範囲内にあることは、貯蔵期間中、当該配合物が実験誤差の範囲内で安定であることを示すものと考えられる。
無水THF(220mL)中にcis−p−メンタン−1,8−ジオール(24.80g、144mmol)およびピリジン(24.60g、311mmol)を含む溶液を0℃で激しく撹拌しつつ、ここに無水THF(80mL)中に塩化ジグリコリル(25.36g、148mmol)を含む溶液を滴下して加えた。すべて添加した後、反応混合物を0℃でさらに60分間撹拌した。次いで、温度を室温まで上げ、続いて70℃で72時間還流した。懸濁した塩を濾過により除去し、濾液をメタノール−水混合物(MeOH:H2O=3:2 wt:wt)に滴下した。沈殿したポリマーをメタノールで洗浄し、40℃で18時間減圧乾燥して、Mw=6800、Td50=198℃の乾燥した白色ジグリコール酸ポリエステルを得た。このジグリコール酸ポリエステルの構造を下記に示す。
γ−ブチロラクトン(GBL)中のポリマー配合物を、ジグリコール酸ポリエステル(0.45g)を用いて全固形分45%の溶液1.0gを得た他は配合例N1と同様にして調製した。この配合例N15では、他の添加剤は使用しなかった。配合例54〜78の手順に従って、32ゲージのニードルを用いた配合物のディスペンサー塗布、および塗布されたスポット上へのはんだボールの移動を行った。熱リフロー後、広がったはんだの直径は、1171μmであった。
ジグリコール酸ポリエステルの熱分解を評価した。ウエハフィルムおよび熱分解測定は、ソフトベーク温度を90℃とし、分解サイクル「a」のみを使用した他は、配合例32〜53について前述したように行った。初期フィルム厚2.3μmでは、熱分解(>99.8%分解)後、実質的に残渣は認められなかった。
Claims (23)
- マイクロエレクトロニクスデバイスを基板に接合する方法であって、以下を含む方法:
第1表面を備える基板を用意すること、ここで前記第1表面は複数の第1の金属バンプを備える;
活性表面を備えるマイクロエレクトロニクスデバイスを用意すること;ここで前記活性表面は複数の第2の金属バンプを備え;前記複数の第1の金属バンプと前記複数の第2の金属バンプのうち少なくとも1つははんだを含む;
前記はんだの上に重ねて犠牲ポリマー組成物を配置すること、ここで前記ポリマー組成物はジグリコール酸エステルまたはジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーから選択され、前記ポリマー組成物は任意選択により熱活性化塩基発生剤を含み、前記熱活性化塩基発生剤は、式1、2または3から選択されるカチオンを含む
前記マイクロエレクトロニクスデバイスを前記基板に、前記第1の複数の金属バンプがそれぞれ第2の複数の金属バンプに位置合わせされるように提供すること;ここで前記ポリマー組成物は前記位置合わせを維持する;
前記第1の複数の金属バンプおよび前記第2の複数のバンプを、前記マイクロエレクトロニクスデバイスと前記基板とが電気的にかつ固定的に接合するように、前記はんだを溶融するのに十分な第1温度に加熱すること;ここで前記第1のポリマー組成物または前記第2のポリマー組成物はフラックス作用を提供する;および
前記ポリマー組成物を、前記犠牲ポリマーの熱分解を引き起こすのに十分な第2温度に加熱すること;
を含む、方法。 - 前記犠牲ポリマー組成物が、ジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ジグリコール酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、請求項2に記載の方法。
- 前記犠牲ポリマー組成物が、ジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記ジカルボン酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、請求項6に記載の方法。
- 前記犠牲ポリマー組成物が、他の添加剤を含まない、請求項2に記載の方法。
- ジグリコール酸エステルまたはジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーと;
任意選択により、式1、2または3から選択されるカチオンを含む熱活性化塩基発生剤と
アセトフェノン、α−アンゲリカラクトン、γ−ブチロラクトン、酢酸n−ブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、2−ヘプタノン、メチルイソブチルケトン、γ−オクタノラクトンおよびこれらの組み合わせから選択されるキャリア溶媒と;
を含む、犠牲ポリマー組成物。 - 前記犠牲ポリマー組成物が、ジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む、請求項12に記載の組成物。
- 前記ジグリコール酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、請求項13に記載の組成物。
- 前記犠牲ポリマー組成物が、ジカルボン酸エステルに由来する繰返し単位を含む、請求項12に記載の組成物。
- 前記ジカルボン酸エステルが、二官能第三級アルコールに由来する繰返し単位を含む、請求項17に記載の組成物。
- ジグリコール酸エステルに由来する繰返し単位を含む熱分解性ポリマーと;
アセトフェノン、α−アンゲリカラクトン、γ−ブチロラクトン、酢酸n−ブチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、3−エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチル、2−ヘプタノン、メチルイソブチルケトン、γ−オクタノラクトンおよびこれらの組み合わせから選択されるキャリア溶媒と;
を含む、犠牲ポリマー組成物。
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