JP2016511825A

JP2016511825A - フレキシブル磁界センサー

Info

Publication number: JP2016511825A
Application number: JP2015555275A
Authority: JP
Inventors: スティルマン，アーノルド
Original assignee: ポエムテクノロジー，エルエルシー
Priority date: 2013-01-25
Filing date: 2014-01-23
Publication date: 2016-04-21
Also published as: WO2014116848A1; EP2948779A1; EP2948779B1

Abstract

【課題】フレキシブルなセンサー素子を含むフレキシブルな磁気センサーの提供。【解決手段】フレキシブルなセンサー素子は、フレキシブルな磁気的遮蔽によって部分的に取り囲まれている。そのフレキシブルな磁気的遮蔽は、複数の薄板によって構成されており、それらの薄板は磁気的に透磁性があり、平らで互いに重ねられ、互いが電気的に絶縁されている。それら薄板は、第１端が固定され、所定形状に形作るとき、互いにスライド可能である。薄板は長さが異なり、第１端が垂直に整列され、フレキシブルな磁気センサーを周囲にギャップをもつ円筒に形作るとき、薄板の第２端が互いに整列するようになっている。コネクタは、各特定の薄板の第１端をギャップを横切って対応する各特定の薄板の第２端に接続し、その特定の薄板の磁気回路を完成させる。【選択図】図３

Description

優先権の主張

この出願は、２０１３年１月２５日出願の米国仮出願第６１／７５６，５２５に基づく優先権の主張を伴う。

背景

１．技術分野
この発明の開示内容は、フレキシブルな磁界センサーに関する。特には、その素子に流れる電流を検出するための電流通電素子の周りに形成することができる磁界センサーに関する。

２．関連技術の説明
監視すべき導体の周り、あるいはごく近接した位置にあるコイルで発生磁界を測定することによって、導体に流れる電流を測定することが知られている。そのようなコイルは、ロゴスキーコイルとして知られる。監視する導体に電流が流れることによって磁界が生じ、それが、コイルセンサー導体の端部間に、監視する導体に流れる電流に比例した電圧を誘導する。誘導電圧、すなわち、ロゴスキーコイルの出力信号は、信号処理回路に読み取られ、たとえば、マイクロプロセッサあるいは分圧器回路などでさらに処理される。

フレキシブルな電流センサーは、フレキシブルな誘導コイルに基づいており、その誘導コイルは、調整された電流通電導体の周りに閉径路を作り出すように形成されている。フレキシブルな電流センサーは、一般に、機械的な結合システムを備えた検知ケーブルの形態である。その結合システムは、検知ケーブルの端部を互いに閉位置に固定するか、あるいは、閉位置から離すかのいずれかにする。検知ケーブルは、円筒形のフレキシブルコア上に巻いた検知コイルから構成されており、その検知コイルおよび外側の絶縁被覆上に、電気遮蔽を設けるという選択もできる。コイル電圧を電流に比例した出力信号に変換するため、電子積分回路が、フレキシブル電流センサーの部分に通例ある。

電流計やホール効果磁界センサーのような電流メータは、剛的な装置である。電流計は、それを通して流れる電流を測る、直列接続の装置である。そのような電流計は、測定回路にブレークを必要とする。ホール効果装置は、回路素子上にクランプし、電流により生じる磁界を測る剛的なアセンブリである。そのようなホール効果装置は、ホール効果センサー上の迷走磁界の効果を除去する遮蔽が必要である。ホール効果装置に用いるクランプは、一時的なスポット測定のための蝶つがい式の剛的なプライヤー型であるか、電流通電素子を取り囲むようにクランプあるいはファスナーで取り付けた永続的な装置であるか、のいずれかである。両方のタイプの装置について、据え付ける上で少なくとも数分の熟練の労力が必要である。

一つの実施例において、この発明のフレキシブルな磁気センサーは、フレキシブルな遮蔽によって部分的に取り囲まれた、フレキシブルなセンサー素子を含む。フレキシブルなセンサー素子は、複数の薄板から構成されており、それらの薄板は磁気的に透磁性であり、実質的に平らであり、互いに重なり合い、しかも、互いが電気的に絶縁されている。このフレキシブルな磁気センサーを形作る際、第１端で共に固定し、しかも、互いに自由にスライドするようにする。

一つの形態において、複数の薄板の中のいくつかのものは、異なる長さであり、第１端で垂直に整列される。特定の形態において、フレキシブルな磁気センサーを周辺にギャップをもつ円筒形に形成する際、薄板の長さを選択することによって、複数の薄板の第２端が実質的に互いに整列するようにする。

フレキシブルな磁気センサーは、各特定の薄板の第１端を、ギャップを横切って各特定の薄板の対応する第２端に接続し、その特定の薄板の磁気回路を完全なものにするコネクタを含むことができる。ある形態において、コネクタは、第１端および第２端上、複数の薄板を共に固定する。

別の実施例において、この発明によるフレキシブルな磁気センサーは、第１のスタック内に配置した第１の複数の薄板であって、第１の各薄板は磁気的に透磁性であり、しかも、互いに電気的に絶縁された、第１の複数の薄板と、第２のスタック内に配置した第２の複数の薄板であって、第２の各薄板は磁気的に透磁性であり、しかも、互いに電気的に絶縁された、第２の複数の薄板と、第３のスタック内に配置した第３の複数の薄板であって、第３の各薄板は磁気的に透磁性であり、しかも、互いに電気的に絶縁された、第３の複数の薄板とを備える。第２のスタックおよび第３のスタックは、第１のスタック上に配置され、それをもってＵ形状のチャネルを形成する。そのＵ形状のチャネル内にセンサー素子を配置する。このフレキシブルな磁気センサーを形作る際、第１のスタックの第１端、第２のスタックの第１端、および第３のスタックの第１端は、垂直に整列して共に固定し、そしてまた、第１のスタックの第２端、第２のスタックの第２端、および第３のスタックの第２端は、互いに自由にスライドするようにする。

一つの形態において、第１のスタック内の薄板の幅は、第２のスタックおよび第３のスタック内の薄板の幅よりも大きい。

別の形態において、フレキシブルな磁気センサーは電気的な絶縁用の薄板を複数備え、その一つが、第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタックと引き続く薄板の間に配置されている。

また、別の形態において、第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタックにおける薄板は、異なる長さをもつ。特定の実施例において、フレキシブルな磁気センサーを周辺にギャップをもつ円筒形に形成する際、第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタックのそれぞれにおける薄板の長さは、それら複数の薄板の第２端が互いに実質的に整列されるように選ぶ。

さらにまた、別の形態において、フレキシブルな磁気センサーは、第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタック上の各特定の薄板の第１端を、ギャップを横切って各特定の薄板の対応する第２端に接続し、その特定の薄板の磁気回路を完全なものにするコネクタを含む。第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタックにおける透磁性の複数の薄板は、コネクタによって第１端で共に固定する。フレキシブルな磁気センサーを円筒形に形成した後で、第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタックにおける薄板の第２端をコネクタは共に固定する。

別の形態において、第１のスタック、第２のスタック、および第３のスタックにおける薄板は、異なる長さをもち、しかも、第２端が傾斜している。

この発明のフレキシブルな磁気センサーは、今までのセンサーよりもさらに経済的に組み立てることができるテープコンポジット構造を形作るという利点を生む。そしてまた、この発明のセンサーは、機械的に簡単なことから、今までの磁気センサーよりも経済的に製造することができる。

この発明によるフレキシブル磁界センサーの機能的な図解である。トランスジューサと共に用いる、この発明のフレキシブル磁界センサーを示す。トランスジューサと共に用いる、この発明のフレキシブル磁界センサーを示す。この発明によるフレキシブルな電流センサーのアセンブリを示し、埋め込み電流センサー装置と共に磁気絶縁の薄板を含む。この発明によるフレキシブルな電流センサーの断面図である。所定の形にする前における、この発明によるフレキシブルセンサーの一実施例の斜視図である。

開示するものは、フレキシブルなコンポジット構造であり、電流通電素子を取り巻く厚いテープに似ている。それは、取付けおよび取外しを何回でも容易に行うことができる。このタイプのそのような他の装置は、機械的に強固であり、多少複雑であり、そのために、製造する上で高価になっている。この発明の装置は、たとえば、スマートグリッドシステムの入力装置として用いるための安価なセンサーである。

開示する装置は、電流通電素子の周りに巻くことができるという限りにおいて機械的にフレキシブルである一方、ドーナツ型あるいはリング形状の電流センサーを迷走磁界から遮蔽することができる。開示する装置は、透磁性の材料の層から構成されるフレキシブルなテープであり、その透磁性の材料は埋め込み磁界検知素子に対して遮蔽の役目を果たす。その遮蔽は、埋め込み磁界検知素子の動作に悪影響を及ぼす妨害あるいは迷走の磁界強度を減じる上で有効である。電流通電素子が金属ワイヤあるいは平らな半導体に限定されないことに注意されたい。ビーム形態の電流を測定することも考えられる。すなわち、取り巻くセンサーに磁界によって電圧を生じる電流を取り巻くように、フレキシブルな磁気センサーを形成することができる。

ロゴスキーコイルとは異なって、開示するセンサーは、コイルに生じる電圧に依存しない。その電圧は、導電素子中の変化電流によって結果的に生じる磁束の変化率−微分係数−に比例する。したがって、ロゴスキーコイルは、交流（ＡＣ）への適用にのみ用いることができ、そのロゴスキーコイルの出力は、通例、積分回路に接続され、電流に比例する出力信号を与えるようになっている。この発明のフレキシブルなセンサーは、ＡＣおよび直流（ＤＣ）両方の通電素子の電流を測定するのに用いることができる。なぜなら、その検知素子は電流通電素子中の電流の変化率に依存しないからである。この発明のフレキシブルなセンサーは、また、ロゴスキーコイルにおいて必須の電圧−検知ループの精密なアセンブリ技術を必要としない。なぜなら、この発明のセンサーはそのようなループを何ももたないからである。また、ロゴスキーコイルは、この発明のフレキシブルなセンサーにおける遮蔽方法の利点をもつことができない。なぜなら、そうすると、ロゴスキーコイルの出力電圧にひずみを生じてしまうからである。

図１は、この発明によるフレキシブル磁気センサーの一実施例の機能的な適用であり、フレキシブルな電流センサー１０によって電流通電素子中の電流を検出する例を示す。フレキシブルな電流センサー１０は、透磁性の材料からなる複数の層を備える。透磁性の材料は、埋め込み磁界検知素子に対して磁気的な遮蔽を提供する。センサー１０は、たとえば電線などの電流通電素子１２を実質的に取り囲むように形成される。フレキシブルな電流センサー１０の端部（両端）は互いに離れている。それは、以下に詳しく述べるように、両端間のギャップ（空所）にトランスジューサ（図示しない）を収容するためからである。トランスジューサは、フレキシブルな電流センサー１０が検出した電流に基づく出力を提供する。その出力は、それから電子プロセッサ１６に供給される。電子プロセッサ１６は、電流通電素子１２中に流れる電流量を決定し、それをディスプレイ１８上に表示することができ、また、遠方の場所に伝送することができ、さらにまた、無線周波数識別（ＲＦＩＤ）タグ、あるいは他のそのような用法によって検出することができる。磁気回路コネクタ１４は、ギャップを横切って透磁性材料の各層のそれぞれの端を互いに連結する。

図２Ａは、リングあるいはドーナツ形状に形成したフレキシブルな磁気センサーの一実施例を示す部分的な図である。検知素子２０４は、電流通電素子に流れる電流によって結果として生じる磁界を検出するため、そしてまた、電流の大きさ及び方向に比例する出力を応答するために用いる。検知素子２０４は、磁気的な遮蔽（シールド）２１０によって磁気的に絶縁されている。磁気的な遮蔽２１０は、検知素子２０４が供給する出力に不正確さを引き起こす迷走磁界を磁気的に絶縁する。磁気的な遮蔽２１０は、積み重ねた磁気的に透磁性の複数の薄板から構成され、Ｕ形状のチャネルを形成している。そのチャネルには検知素子２０４が配置される。すなわち、磁気的な遮蔽２１０は、検知素子２０４を部分的に取り囲む。

磁気的に透磁性の薄板に用いる材料は、大きな透磁率をもつものから選択する。他の材料も使用できるが、ミューメタルおよび／または金属スピングラスがある。薄板２００は磁気遮蔽材料から構成するが、その材料は少なくとも１０，０００ガウス／エルステッドの透磁率をもち、それらのバルクに磁界を集中させる。そうすることにより、薄板は、磁界のほとんどがそれらを通るのを妨げる。そのような薄板の数個の層は、測定すべき電流を通電する導体の周りに巻くことができるフレキシブルなテープを形成する。薄板２００は、電流通電素子の周りにフレキシブルな磁気センサーを形成することができるような薄さである。薄板２００の厚さは、０．００２〜０．０１０インチ（つまり、０．００５〜０．０２５ｃｍ）の範囲である。この厚さの範囲によって、薄板が薄すぎる場合の遮蔽２１０の脆弱性を避けることができるし、厚すぎた場合の弾性限を越えてしまう事態を避けることができる。

複数の薄板２００は、絶縁層２０２によって、互いに電気的に絶縁されている。絶縁層２０２としては、たとえば、カプトン（商品名）テープあるいは各薄板２００上の絶縁被覆の層を用いることができる。絶縁層２０２の厚さは、磁気的に透磁性の層間に電気的な抵抗を提供できるだけのものを必要とするだけであり、約０．００２インチ（すなわち、０．００５ｃｍ）である。実施において、絶縁層２０２をそれぞれの薄板に接着する。

図２Ｂを参照すると、絶縁層２０２を伴う薄板２００の第１端２１２は、共に固定されている。しかし、薄板２００の残部および絶縁層２０２は、互いに自由にスライド可能であり、フレキシブルな磁気センサーを所定の形に形作ることができる。図に示すように、形作るとき、薄板の第１端と第２端２１６との間にギャップ２０６を与え、そのギャップにトランスジューサ２０８を配置できるようにする。トランスジューサとしては、巨大磁気抵抗効果センサー、ホール効果トランスジューサ、あるいは、センサー素子２０４の変化に応答して検知および出力をすることができる他の素子を用いることができる。形に形作った後、薄板２００の第２端および絶縁層２０２を共に固定する。コネクタ（図示しない）を用いることにより、各遮蔽薄板２００のそれぞれの端をギャップ２０６を横切って互いに結合し、薄板の遮蔽回路を仕上げることができる。電子プロセッサ１６をフレキシブルなセンサーの固定端２１２に取り付けることができ、それにはクリップ、クランプ、あるいはテープの自由端を電子アセンブリに取り付ける他の手段を含ませる。

薄板２００は、その長さがフレキシブルな磁気センサーの周辺の長さに等しいテープを形作る。テープは、電流測定エレクトロニクスを挿入するためのギャップを引いた、中空な円筒形（中心２１４をもつ）に形成される。テープの一方の端には、薄板セットの第１端２１２を固定する固定具がある。テープの他方の端は、自由であり、テープを測定すべき電流通電素子野間輪に巻くとき、薄板がスライドするようになっている。

それゆえに、薄板２００は、必ずしもすべてが同じ長さをもたない。すなわち、薄板テープを作るとき、個々の薄板は、他の物の上に平らに置く。中空の円筒形に形作るとき、たとえば、最も外部の薄板２１８は、最も内側の薄板２２０よりも長くすることができる。薄板の長さに違いがあると、実質的に平行な端２１２，２１６にギャップが形成される。たとえば、フレキシブルなセンサーを円筒形に形作るとき、第１の薄板は半径ｒ_１の円筒を形成し、第２の薄板は半径ｒ_２の円筒を形成する。そのように、第１の薄板と第２の薄板の長さの違いは２π（ｒ_２−ｒ_１）である。さらに、フレキシブルなセンサーを所定距離のギャップ２０６をもつ円に形作るとき、各薄板の端２１２，２１６を、それらの端が直線を形成するように傾斜させることができる。

図３および断面の図４は、薄板２００および絶縁体２０２によって作られるフレキシブルなセンサーのＵ形状のチャネル３０２を示す。センサー素子２０４は、Ｕ形状のチャネル３０２内に配置されている。遮蔽薄板２００は、各薄板上に配列され、複数の薄板の全体を電流通電素子の周りに巻いたとき、電流検知素子が外部の干渉磁界から解放される区
域内部に埋め込まれる。磁界は、「Ｕ」字を逆さにした形態であり、半径方向内側に向いた配置の開放端３０６と半径方向外側の閉鎖端３０８を伴う。Ｕ形状のチャネルの垂直部分３１０，３１２は、Ｕ形状の幅の部分の遮蔽材料を含む複数の薄板で構成されることによってフレキシブルになっている。遮蔽をするために互いに積み重ねる充分な大きさは、厚さの約１／４の大きさである。Ｕ形状の遮蔽の横になった部分４０２，４０４は、薄板２００ａおよび絶縁体２０２ａの小さなセットから構成される。そのセットは、センサー素子を収容するため、Ｕ形状のチャネルの閉鎖端上の薄板よりも狭い。ある実施において、Ｕ形状のチャネルの深さは、せいぜいそのチャネルの最大幅の約１／４である。特定の実施において、２枚あるいは３枚の薄板２００によって、充分に遮蔽をすることができる。アセンブリを被うようにカバー材３０４を設けることにより、遮蔽および絶縁体の摩耗および破損を防ぐことができる。

図３に示すように、フレキシブルな磁気センサーを組み立てる場合、透磁性の材料からなる第１の複数の薄板を互いに積み重ねるようにする。それらの薄板は、互いに電気的に絶縁されている。その第１の複数の薄板上に、２つの付加的な複数の薄板（第１の複数のものと実質的に同じであるが、幅は狭いもの）を積み重ねる。第１の複数の薄板上の２つの付加的な複数の薄板の配置によって、Ｕ形状のチャネルを形成する。Ｕ形状のセンサーテープを形作るＵ形状のチャネル内に、センサー素子を配置する。そのＵ形状のセンサーテープを、フレキシブルな保護被覆によってカバーする。フレキシブルなセンサーを円形状に形成する。

図５は、たとえば上述した中空な円筒などの所定形状に形成する前における、フレキシブルなセンサーの一実施例を示す。図に示すように、薄板の長さは円筒形状の周囲長さを意味し、その幅は薄板を横切って長さに直角である。図５は、また、薄板２００が異なる長さをもつフレキシブルなセンサーの実施例を示している。共に固定した第１端５０２の厚さ方向が垂直に整列し、そして、共に固定されない第２端５０４が傾斜した薄板であって、所定形状に形成する前のものが示されている。

開示するフレキシブルなセンサーは、住宅のメーターシステム、パワーモニタ用のスマートグリッドシステム、ベンチテスト機器、ならびに、工場およびプラントのフロア設置機器のパワーモニタに用いることができる。フレキシブルなセンサーは、測定すべき電流を通電する導電体の周りに形成することができる。テープの自由端は、上述したクランプあるいはクリップで電子アセンブリに接続する。

オンオフスイッチを結合させるか、あるいは、電子アセンブリのパワーを遠隔方式でコントロールすることができる。バッテリを用いて電子プロセッサに電力供給することができ、電子プロセッサは、測定電流の大きさをディスプレイに視覚的に表示し、あるいは、データとしてモニタシステムに電子的に送ることができる。伝送方法として、限定されるわけではないが、ブルートゥース、イーサネット、ワイヤレス８０２．１１データ、ＲＦＩＤあるいは光学リンクなどがある。フレキシブルな磁気センサーの他の用途があり、限定されるわけではないが、たとえば、加速器におけるビーム強度のモニタ（ロゴスキーコイルでは、ビーム強度の測定能力に制限がある）、光起電ソーラーセル出力あるいはバッテリおよびバッテリパックのＤＣ測定（電圧がＤＣであり、ロゴスキーコイルでは、測定できない）などに適用することができる。

クレームに記載される考え方の範囲で他の実施をすることができる。

Claims

次の構成および条件を備える、フレキシブルな磁気センサー。
・フレキシブルなセンサー素子。
・前記フレキシブルなセンサー素子を部分的に取り囲むフレキシブルな遮蔽であって、磁気的に透磁性があり、平らであり、互いに重なり、互いに電気的に絶縁された複数の薄板から構成される遮蔽。
・前記複数の薄板は、第１の端が共に固定され、前記フレキシブルな磁気センサーを所定の形状に形作るとき、互いの上をスライド可能であること。
前記複数の薄板の複数のものは、長さが異なり、第１の端で垂直に整列される、請求項１のフレキシブルな磁気センサー。
前記薄板の長さは、前記フレキシブルな磁気センサーを周囲にギャップをもつ円筒に形成するとき、前記複数の薄板の第２の端が互いに整列されるように選択される、請求項２のフレキシブルな磁気センサー。
下記の構成および条件をさらに備える、請求項３のフレキシブルな磁気センサー。
・前記ギャップを横切って、各特定の薄板の前記第１の端と各特定の薄板の対応する第２の端とを接続し、前記特定の薄板の磁気回路を完全にするコネクタ。
・前記コネクタは、前記第１の端および前記第２の端上、前記複数の薄板を共に固定すること。
次の構成および条件を備える、フレキシブルな磁気センサー。
・第１のスタック内に配置した第１の複数の薄板であって、それら第１の複数の各薄板は磁気的に透磁性であり、しかも、互いに電気的に絶縁された、第１の複数の薄板。
・第２のスタック内に配置した第２の複数の薄板であって、それら第２の複数の各薄板は磁気的に透磁性であり、しかも、互いに電気的に絶縁された、第２の複数の薄板。
・第３のスタック内に配置した第３の複数の薄板であって、それら第３の複数の各薄板は磁気的に透磁性であり、しかも、互いに電気的に絶縁された、第３の複数の薄板。
・前記第２のスタックおよび前記第３のスタックは、前記第１のスタック上に配置され、それをもってＵ形状のチャネルを形成すること。
・そのＵ形状のチャネル内に配置したセンサー素子。
・前記第１のスタックの第１端、前記第２のスタックの第１端、および前記第３のスタックの第１端は、垂直に整列して共に固定されていること。
・前記フレキシブルな磁気センサーを所定形状に形作るとき、前記第１のスタックの第２端、前記第２のスタックの第２端、および前記第３のスタックの第２端は、互いに自由にスライドするようになっていること。
前記第１のスタック内の薄板の幅は、前記第２のスタックおよび前記第３のスタック内の薄板の幅よりも大きい、請求項５のフレキシブルな磁気センサー。
次の構成をさらに備える、請求項６のフレキシブルな磁気センサー。
・電気的絶縁用の複数の薄板であって、その一つが、前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタックと引き続く薄板の間に配置されている薄板。
前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタックにおける薄板は、異なる長さをもつ、請求項５のフレキシブルな磁気センサー。
前記フレキシブルな磁気センサーを周辺にギャップをもつ円筒形に形成するとき、前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタックのそれぞれにおける薄板の長さは、それら複数の薄板の第２端が互いに整列されるように選ばれている、請求項８のフレキシブルな磁気センサー。
次の構成および条件をさらに備える、請求項９のフレキシブルな磁気センサー。
・前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタック上の各特定の薄板の第１端を、前記ギャップを横切って各特定の薄板の対応する第２端に接続し、その特定の薄板の磁気回路を完全なものにするコネクタ。
・前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタックにおける磁気的に透磁性の複数の薄板は、前記コネクタによって前記第１端で共に固定されること。
・前記フレキシブルな磁気センサーを円筒形に形成した後で、前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタックにおける薄板の前記第２端を前記コネクタは共に固定すること。
前記第１のスタック、前記内の第２のスタック、および前記第３のスタックの薄板の厚さは、０．００２〜０．０１０インチ（つまり、０．００５〜０．０２５ｃｍ）の範囲である、請求項７のフレキシブルな磁気センサー。
前記電気的絶縁用の複数の各薄板の厚さは、０．００２インチ（つまり、０．００５ｃｍ）である、請求項１１のフレキシブルな磁気センサー。
前記第１のスタック、前記第２のスタック、および前記第３のスタックにおける薄板は、異なる長さをもち、しかも、第２端が傾斜している、請求項６のフレキシブルな磁気センサー。
次の工程および条件を備える、フレキシブルな磁気センサーを形成する方法。
・前記フレキシブルなセンサーに対する迷走磁界の影響を低減するため、フレキシブルなセンサー素子をフレキシブルな遮蔽で部分的に取り囲む工程。
・前記フレキシブルな遮蔽は、磁気的に透磁性があり、平らであり、互いに重なり、互いに電気的に絶縁された複数の薄板から構成されること。
・前記複数の薄板は、第１の端が共に固定され、前記フレキシブルな磁気センサーを所定の形状に形作るとき、互いの上をスライド可能であること。
次の各工程を備える、フレキシブルな磁気センサーを形成する方法。
・第１の複数の薄板を互いに重ね合わせる工程。ここで、前記薄板は、磁気的に透磁性の材料から構成され、しかも、互いに電気的に絶縁されている。
・前記第１の複数の薄板上に２つの追加の複数の薄板を重ね合わせる工程。ここで、それらの２つの追加の複数の薄板は、幅が狭いことを除いて、前記第１の複数のものと同じである。
・前記２つの追加の複数の薄板を前記第１の複数の薄板上に配置することにより、Ｕ形状のチャネルを形成する工程。
・前記Ｕ形状のチャネル内にセンサー素子を配置することにより、フレキシブルなセンサーテープを形成する工程。
・前記フレキシブルなセンサーテープをフレキシブルな保護被膜でカバーする工程。
前記フレキシブルな保護被膜およびフレキシブルなセンサーテープを円筒形に形作る工程をさらに備える、請求項１３の方法。