JP2016500202A - 基板から物質を除去するための方法 - Google Patents
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Abstract
例えば電子デバイスなどの基板から物質を除去するための方法が記述されている。一実施形態において、方法には、第1の側と第2の側とを含み、第1の側の少なくとも一部分の上に物質が配置されている基板を提供するステップが含まれていてよい。方法には同様に、基板と溶液とを接触させて、基板の第1の側が溶液でコーティングされ、第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まず、かつ物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップも含まれていてよい。さらに、方法には、基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するために基板を洗い流すステップが含まれていてよい。方法は、ポジ型およびネガ型のフォトレジストを除去し、一部の場合においてそれを完全に溶解させるために好適であってよい。
Description
本開示は、共に参照により本明細書に開示されている2012年11月21日出願の米国特許出願第13/682,974号および2013年3月15日出願の米国特許出願第13/834,752号に対する優先権を主張するものである。
共同開発の陳述
本発明の実施形態は、Eastman Chemical Co.とEV Group間の共同開発契約にしたがって作成されたものである。上述の共同開発契約は、本発明の実施形態が作成された日付以前に発効しており、本発明の実施形態は、共同開発契約の範囲内で着手された活動の結果として作成されたものである。
本発明の実施形態は、Eastman Chemical Co.とEV Group間の共同開発契約にしたがって作成されたものである。上述の共同開発契約は、本発明の実施形態が作成された日付以前に発効しており、本発明の実施形態は、共同開発契約の範囲内で着手された活動の結果として作成されたものである。
コンピュータチップ、メモリーデバイス、発光ダイオード(LED)などの電子デバイスの製造においては、ポリマーなどのさまざまな物質が使用されてよい。一部の場合において、これらの物質は、電子デバイス内に含まれる基板(例えば半導体デバイスの基板)の表面上にフィーチャを形成するために使用されてよい。基板を加工するにあたっては、これらの物質を基板の表面から除去してよい。1つの例において、物質の一層が基板の表面の少なくとも一部分の上に配置されてよく、層の少なくとも一部分が基板の後続する加工中に除去されてよい。別の例においては、物質は、基板上で特殊なプロセスが実施される場合に生成される残渣であることができる。いずれの場合でも、基板からの物質の除去の有効性は、半導体デバイスの動作の質に影響する可能性がある。
例証的状況においては、フォトレジストおよび有機系誘導体を、電子デバイス内に含まれる半導体デバイスの製造で使用してもよい。例えば、フォトレジストは、フォトリソグラフィー作業における半導体デバイスの製造全体を通して使用される可能性がある。例えば、ポリマーフォトレジストをマスクとして基板に適用して、基板上へのはんだの配置を画定することができる。はんだが基板上に被着された後、プロセス中の次のステップが実施可能になるまでに、フォトレジストを除去しなければならない。別の例では、エッチプロセスにおいて作り出される基板上の構造を画定するために使用されるエッチマスクとして、基板に対し、ポリマーフォトレジストを適用することができる。エッチプロセスの後、典型的には、基板上にポリマー残渣が残っており、プロセス中の次のステップが実施可能となるまでこれを除去しなければならない。
一部の場合においては、ポジ型フォトレジストが使用されてよい。化学線に対するポジ型フォトレジストの曝露は、化学反応をひき起こし、その結果水性アルカリ中での溶解度が増大し、これによりポジ型フォトレジストを溶解させ現像液で洗い流すことが可能になることができる。他の場合においては、ネガ型フォトレジストが使用されてよい。ネガ型フォトレジストが化学線に曝露されると、曝露された領域内でポリマーの架橋が発生する一方で、未曝露領域は変化がないまま残されてよい。未曝露領域は、好適な現像液の化学的性質によって、溶液および洗い流しを受ける場合がある。現像後、レジストマスクが後に残される場合がある。レジストマスクの設計および幾何形状は、レジストのポジ型またはネガ型トーンに左右され得る。ポジ型トーンのレジストは、フォトマスクの設計に一致してよく、一方ネガ型トーンのレジストは、フォトマスクの設計と反対のパターンを提供してよい。
フォトレジストはマイクロ電子デバイスのパッケージングにおいて広範に使用される。ウエハーレベルのパッケージングにおいては、マイクロ電子デバイスの製造を完了しているものの個別のチップ状にダイスカットされていないウエハーに対して、直接はんだが適用される。フォトレジストが、ウエハー上のはんだの配置を画定するためのマスクとして使用される。はんだがウエハー上に被着された後、フォトレジストは、パッケージングプロセス内の次のステップが行われる前に除去されなければならない。典型的には、ウエハーレベルのパッケージングにおいて、フォトレジストは非常に厚く、50マイクロメートルを上回り、120マイクロメートルもの厚みを有する場合もある。フォトレジストは、ポジ型またはネガ型であり得、液体またはドライフィルムのいずれかとして使用可能である。ウエハーレベルのパッケージングでは、厚いドライフィルムのネガ型フォトレジストの使用が一般的である。
厚いドライフィルムのネガ型フォトレジストの厚みおよび架橋性に起因して、はんだ被着後のこの材料の除去は困難である可能性がある。ウエハーレベルのパッケージング利用分野において厚いドライフィルムネガ型フォトレジストを除去するための典型的なプロセスは、1時間を超えることの多い長時間にわたり、調合された有機溶媒系混合物中にウエハーを浸漬することである。典型的には、調合された溶媒系混合物の入ったタンク内に25個のウエハーが、フォトレジストフィルムを完全に除去するのに充分な時間浸漬される。充分な時間の後、ウエハーは洗い流し用の追加のタンクに移され、ここで洗い流し用媒質は、水またはイソプロパノールを含んでいてよい。
次に、同じ調合混合物を用いて同じタンク内で追加のウエハーが加工され、このプロセスは、調合混合物がウエハーからフォトレジストを完全に除去する能力を充分に有するかぎり、反復される。ウエハーがタンク内で加工されるにつれて、調合混合物は、ウエハーから除去されるにつれてのフォトレジストの取込みおよび混合物内の構成成分の劣化に起因して、常に変化している。ひとたび混合物がレジストをウエハーからもはや充分に除去できなくなった時点で、タンクはドレンされ、清浄され、タンクに新鮮な調合物が追加される。
厚いドライフィルムネガ型フォトレジストの浸漬に基づく清浄が有するデメリットとしては、加工時間が長いこと、フォトレジストを充分に除去するためにウエハー1個あたりに求められる化学物質の体積が大きいこと、そして、混合物の組成が常時変化しているために清浄性能にばらつきがあること、が含まれる。
さらに、一部の場合において、フォトレジストまたは残渣の除去を、単一ウエハー噴霧プロセスを用いて実施することもできる。このようなプロセスでは、ウエハーからレジストまたは残渣が完全に除去されてしまうまで、充分な時間、加熱された化学調合物が単一のウエハーに噴霧される。任意には、化学調合物は、何度も再循環かつ再利用されて多数のウエハーを加工する。調合物は、ウエハー上に噴霧される前に加熱され、設備の内部で連続して加工温度に維持される。
他の場合においては、フォトレジストまたは残渣の除去を、2段階プロセスで行なわれる浸漬と噴霧の組合せシステム内で行なうことができる。このようなプロセスにおいては、個別のウエハーを、加熱された浸漬タンク内に一定の間隔で浸漬させる。間隔は、第2の噴霧ステップを通してウエハーを加工するのに必要とされる時間によって規定される。多くの形態が存在するが、各ウエハーについて最大浸漬時間が達成された時点で、少なくとも1つの噴霧ステーションが利用可能でなければならない。ウエハーは、フォトレジストの少なくとも大部分を除去するため一定の時間、浸漬タンク内にとどまる。ウエハーはその後噴霧ステーションまで移動させられ、そこで任意には、加熱された化学調合物がそれに噴霧されて、レジストまたは残渣の除去を完了させ、その後剥離用化学物質を除去するためにリンス溶液が噴霧され得る。
レジストまたは残渣を除去するための従来の単一ウエハー噴霧プロセスには、いくつかの制限条件がある。例えば、ウエハーから物質を除去するために使用される調合物は、常時加工温度に維持され、このために化学組成物の分解が導かれ、調合物の耐用期間が短縮される可能性がある。調合物の再循環は、交差汚染の問題および調合物の組成が変化することに起因する清浄性能の一貫性の欠如を導く可能性がある。さらに、設備は、典型的には、所与の時間に単一の調合物しか使用できないように構成されており、このため、異なるウエハータイプを加工する柔軟性が制限される可能性がある。
第1の実施形態によると、本発明は、基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで接触させるステップと;
c.基板、剥離用組成物またはその両方を、基板の少なくとも一部分から物質を放出するのに充分な温度まで充分な時間にわたり加熱するステップと;
d.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法に関する。
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで接触させるステップと;
c.基板、剥離用組成物またはその両方を、基板の少なくとも一部分から物質を放出するのに充分な温度まで充分な時間にわたり加熱するステップと;
d.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法に関する。
別の実施形態は、基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法に関する。
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法に関する。
さらに別の実施形態は、基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記塩基水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と、基板の第1の側とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が塩基水溶液組成物に曝露されていない、方法に関する。
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記塩基水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と、基板の第1の側とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が塩基水溶液組成物に曝露されていない、方法に関する。
さらに別の実施形態は、基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.酸水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記酸水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が酸水溶液組成物に曝露されていない、プロセスに関する。
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.酸水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記酸水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が酸水溶液組成物に曝露されていない、プロセスに関する。
さらなる実施形態において、基板を洗い流すための方法は、
− 物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
a.基板から物質を除去するステップと;
b.塩基水溶液と基板とを接触させるステップと;
c.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
d.酸水溶液と基板とを接触させるステップと;
e.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
f.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、少なくともb.〜f.は単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分は、塩基水溶液または酸水溶液組成物に曝露されていない。
− 物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
a.基板から物質を除去するステップと;
b.塩基水溶液と基板とを接触させるステップと;
c.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
d.酸水溶液と基板とを接触させるステップと;
e.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
f.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、少なくともb.〜f.は単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分は、塩基水溶液または酸水溶液組成物に曝露されていない。
一実施形態において、開示は、第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップを含み得る方法に向けられている。物質は、基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されてよい。方法は同様に、物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が一定の厚みまで溶液でコーティングされ、第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップも含んでいてよい。溶液は有機塩基を含んでいてよい。1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含むこともできる。さらに、方法は、基板上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップを含むことができる。
別の実施形態において、プロセスは、第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップを含んでいてよい。物質は基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されていてよい。この方法は、物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が第2の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まず、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップも含んでいてよい。第2の厚みは1mmより大きく、第2の厚みと第1の厚みの比率は6:1超であってよい。さらに、方法は、基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップを含んでいてよい。
追加の実施形態において、方法は、プロセスボウルを含む器具内に基板を設置するステップを含んでいてよい。基板は第1の側と第1の側に対して実質的に平行な第2の側、そして基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されている物質を含むことができる。方法は同様に、基板を器具内に設置した後プロセスボウル内に溶液を分配することにより基板と溶液を接触させて、基板の第1の側が溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップも含んでいる。さらに方法は、プロセスボウル内に溶液を分配した後に溶液、基板またはその両方を20秒〜20分間の範囲内の持続時間にわたり加熱して、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップを含む。さらに、方法は、基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップを含む。
さらなる実施形態において、方法は、第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップを含む。方法は同様に、物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が一定の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップも含むことができる。一実施形態において溶液は、極性溶媒を含む。溶液は同様に、1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含むことができる。基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な温度まで充分な時間にわたり基板と溶液を接触させた後、溶液、基板またはその両方を加熱するステップも含むことができる。さらにプロセスは、溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップを含むことができる。
詳細な説明は、添付図面を参照しながら、記載されている。図中、参照番号の最も左側の数字(単複)は、その参照番号が最初に現われる図の番号を示している。異なる図の中における同じ参照番号の使用は、類似のまたは同一の品目または特徴を表わす。
本開示は、基板から物質を除去するためのプロセスの実施形態について記述する。一実施形態においては、剥離用溶液などの溶液と物質を接触させることにより基板から物質を除去してよい。物質が剥離用溶液と接触状態にある場合、物質は、基板の表面から放出され得る。特定の一実施形態において、基板を剥離用溶液と接触させ、こうして基板の第1の側が剥離用溶液でコーティングされ、その一方で第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにしてよい。したがって、物質は、基板を剥離用溶液内に浸漬させることなく基板から除去され得る。結果的に、フォトレジストなどの物質の除去のための浸漬に基づく技術に付随する長い加工時間および性能のばらつきは、本明細書中の実施形態にしたがって記述されているプロセスを使用することによって回避される。さらに、基板から物質を除去するために使用される剥離用溶液の体積は、浸漬に基づくプロセスにおいてウエハーから物質を除去するために使用される溶液の体積に比べて削減され、こうして基板から物質を除去するためのコストが削減される。
さまざまな実施形態において、剥離用溶液は、1mm超などの特定の厚みまで、物質を含む基板の側をコーティングしてよい。他の実施形態では、剥離用溶液は、物質を含む基板の側を1mm以下の厚みまでコーティングしてよい。さらに、剥離用溶液は、剥離用溶液の厚みと基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みとの比率が6:1超となるような厚みまで、物質を含む基板の側をコーティングしてよい。一部の場合においては、基板の表面からの物質の放出は、基板、溶液またはその両方を加熱することによって促進されてよい。他の状況下では、物質は、基板および/または溶液を加熱することなく基板から放出されてよい。さらに、物質は、最小限の撹拌で、または撹拌なく、基板から除去されてよい。
さらに、本明細書中に記載の実施形態は、基板からフォトレジスト(例えば有機物質)を除去するため、例えばウエハーなどの無機基板からポリマー有機物質を除去するため、およびウエハーレベルパッケージングの利用分野のために有用な方法に関する。方法は、例えば厚いドライフィルムネガ型フォトレジストをウエハーから除去するために浸漬に基づく清浄を用いることに伴うデメリットに対処するものである。
一実施形態によると、本明細書中に記載の方法の実施形態には、基板を提供するステップ、基板と剥離用組成物とを接触させるステップ、基板の少なくとも一部分から物質を放出するのに充分な時間、充分な温度まで、基板、剥離用組成物またはその両方を加熱するステップ、機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップなどの1つ以上のプロセスステップを含むことができるプロセスステップのさまざまな組合せが含まれる。方法には同様に、基板と塩基水溶液とを接触させるステップ、基板とリンス剤とを接触させるステップ、基板と酸水溶液とを接触させるステップ、基板とリンス剤とを接触させるステップおよび基板を乾燥させるステップなどのステップの組合せも含むことのできる一連の洗い流しステップを介するかあるいはリンス剤を用いる洗い流しステップ、そして基板を乾燥剤と接触させるステップも含まれ得る。一実施形態によると、剥離用組成物は新鮮で、以前に使用されておらず、再循環された構成成分を全く含まない。しかしながら、一部の実施形態によると、剥離用組成物を再利用してもよい。その上、一部の実施形態によると、プロセスステップの全てのまたはいずれかの組合せを、単一のボウル内で実施してよい。
本明細書中に記載のプロセスの実施形態は、半導体ウエハー、RFデバイス、ハードドライブ、メモリーデバイス、MEMS、太陽光発電、ディスプレイ、LED、ウエハーレベルパッケージング、はんだバンプ製造およびメモリーレジスタ製造を含めた(ただしこれに限定されない)さまざまなデバイスの製造において利用されてよい。開示されている清浄方法が同様に有用であることができる他の利用分野としては、非限定的に、フォトレジスト(BEOL、FEOL)、ポストメタラクゼーション、ポストエッチ残渣、ポスト注入残渣、リフトオフ(制御型腐食)、不動態化層の再加工およびフォトレジスト再加工の除去が含まれる。これらは、マイクロ電子ウエハー、フラットパネルディスプレイ、LEDなど基板から物質を除去するために利用されてよい。特定の実施形態においては、本明細書中に記載の技術を使用して、電子デバイスの基板からフォトレジストを除去することができる。一部の場合において、フォトレジストを、ウエハーレベルパッケージング作業と併せて除去してもよい。
「コーティング」という用語は、噴霧コーティング、パドルコーティングまたはスリットコーティングなど、基板に対しフィルムを塗布する方法として定義される。「放出する(releaseまたはreleasing)」という用語は、基板からの物質の除去に関するものであり、物質の溶解を含むものとして定義される。「残渣」という用語には、残渣のタイプに対する具体的言及が別段なされているのでない限り、エッチング前のフォトレジスト残渣、およびエッチングプロセスのフォトレジスト副作物、はんだキャップ上の被着物および他の有機金属残渣を含むエッチ残渣が含まれる。「剥離する」、「除去する」および「清浄する」という用語は、本明細書全体を通して互換的に使用される。同様にして、「剥離用組成物」、「剥離用溶液」および「清浄用組成物」という用語は、互換的に使用される。不定冠詞「a」および「an」は、単数および複数の両方を含むように意図されている。全ての範囲は包括的であり、このような数値的範囲が合計して100%になるという制約があることが明らかである場合を除いて、いかなる順序ででも組合せ可能であり、各々の範囲は、その範囲内の全ての整数を含む。「重量百分率」または「wt%」という用語は、別段の指示の無いかぎり、組成物の総重量に基づく重量百分率を意味する。
図1は、基板から物質を除去するための例示的プロセス100の一実施形態の流れ図である。102において、プロセス100は、第1の側および第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップを含む。基板は、ケイ素含有基板などの無機基板を含んでいてよい。例えば一実施形態において、基板は二酸化ケイ素を含んでいてよい。一部の場合において、ケイ素含有基板は、1つ以上の材料、例えばB、Ga、As、Pまたはそれらの組合せを用いてドープされていてよい。基板は同様に、1つ以上の金属も含んでいてよい。他の実施形態においては、基板は、有機材料、例えば1つ以上のポリマー材料を含んでいてよい。1つの例において、基板はポリイミドを含んでいてよい。
一実施形態において、基板の表面は、形状が円形であってよく、一方他の実施形態では、基板の表面は矩形または方形形状など、平面の形状をとっていてよい。さらに、基板は、半径、直径、長さ、幅またはそれらの組合せなど、基板の表面積を定義づける1つ以上の寸法を有していてよい。基板は同様に、厚みを有し得る。特定の一実施形態において、基板の厚みは、基板の1つ以上の層の厚みを含む。
さまざまな実施形態において、物質は、基板上に配置されてよい。一部の場合において、物質は、基板の一方の側に設置されてよい。一つの実施例において、物質は、基板の特定の側の実質的に全てを被覆する層として配置されてよい。別の実施例において、物質は、基板の特定の側の複数の部分の上に配置され得、一方、基板の特定の側の他の部分は物質を含まない。一実施形態において、物質は、1つのパターンにしたがって、基板の特定の側に配置されてよい。
さらに、他の状況下では、基板上に配置された物質の厚みが変動するのに対して、一部の場合において、基板上に配置された物質の厚みは実質的に均一であってよい。一実施形態において、基板上に配置された物質の厚みは、400マイクロメートル以下、250マイクロメートル以下、100マイクロメートル以下、50マイクロメートル以下、10マイクロメートル以下、または2マイクロメートル以下であってよい。一つの例証的実施形態において、基板上の物質の厚みは、0.1マイクロメートル〜500マイクロメートルの範囲内に含まれていてよい。別の例証的実施形態において、基板上の物質の厚みは、40マイクロメートル〜150マイクロメートルの範囲内に含まれていてよい。さらなる例証的実施形態において、基板中に配置された物質の厚みは、0.5マイクロメートル〜5マイクロメートルの範囲内に含まれていてよい。
特定の一実施形態においては、フォトレジストが基板の一方の側に配置されていてよい。一部の場合において、フォトレジストは、ネガ型フォトレジストであってよく、他の場合には、フォトレジストは、ポジ型フォトレジストであってよい。1つの例証的実施形態において、フォトレジストは、厚いドライフィルムネガ型フォトレジストを含むことができる。一実施形態において、基板の一方の側に配置されたフォトレジストは、紫外線などの化学線に曝露されてよい。さらに、一実施形態において、フォトレジストは、内側にはんだがメッキされているホールを伴ってパターン化される。はんだは任意の公知のはんだであってよく、例えばはんだは、PbとSn、SnとAgの合金、またははんだキャップを伴うCuピラーを含み得るが、これに限定されない。
基板の一方の側上に配置されたフォトレジストの厚みは、0.3マイクロメートル〜約150の範囲内にあり得る。一部の場合において、フォトレジストは、基板上に特定のフィーチャを形成するのと同時に基板に適用されてよい。一部の場合において、基板の特定のフィーチャーの形成後に基板の複数の部分上にフォトレジストが残ってよい。さらに、一部の状況においては、フィーチャの形成に続いて基板からフォトレジストを除去するためのエッチプロセスの後、ビアおよび/またはトレンチなどの基板上に形成されたフィーチャ内にフォトレジスト残渣が配置される可能性がある。これらの状況において、フォトレジスト残渣の厚みは、5ミクロン以下、2ミクロン以下または1ミクロン以下であってよい。さまざまな実施形態において、フォトレジスト残渣の厚みはさらに小さく、例えばおよそ数十ナノメートルまたはおよそ数百ナノメートルといったものでさえあり得る。
一つの例証的実施例において、基板上に形成されるフィーチャは、多くのビアを含んでいてよい。別の例証的実施例においては、基板上に形成されるフィーチャは、コンピュータチップのためのパッケージ基板に関係するものであり得る。例えば、基板は、パッケージ基板の複数の部分をコンピュータチップの複数の部分と電気的に接続しかつ/またはパッケージ基板の複数の部分をコンピュータチップが付着されている回路板と接続するために使用される金属ピラーまたはボールを含んでいてよい。金属ピラーは、Cu、Al、Auまたははんだを含んでいてよい。一部のシナリオにおいては、はんだはPbとSnの合金、SnとAgの合金またはその両方を含んでいてよい。非限定的な例証的実施形態においては、金属ピラーは、はんだキャップを伴うCuを含んでいてよい。
別の特定の実施形態において、基板上に形成された物質は、基板に適用された1つ以上のプロセス由来の残渣を含んでよい。例えば、基板上にフィーチャーを形成するためにプラズマエッチプロセスが使用されてよく、プラズマエッチプロセスは、基板の一方の側に残渣を形成してよい。一部の状況下では、残渣は、1つ以上のポリマー、1つ以上の金属(例えば銅、チタン)、1つ以上のケイ素含有材料またはそれらの組合せを含んでよい。これらの場合においては、基板上の残渣の厚みは、基板の表面を横断して変動してよい。さらに、特定の場合において、基板上の残渣の厚みは、10マイクロメートル以下、5マイクロメートル以下、2マイクロメートル以下または1マイクロメートル以下であってよい。一部の場合において、基板上の残渣の厚みは、さらに小さく、およそ数十ナノメートルまたは数百ナノメートルでさえあってよい。
さらに一実施形態においては、基板に対して1つ以上の作業を実施できる器具に基板を備えてよい。特定の実施形態において、器具は、基板を保持するように構成されたプロセスボウル(本明細書においては「チャック」とも呼ばれる)を含んでいてよい。一部の場合において、チャックは回転するように構成されてよい。基板はプロセスボウルによって保持されている間に、多くの物質と接触してよい。一部の場合においては、プロセスボウルは、単一の基板を保持するように構成されてよく、一方他の状況下では、プロセスボウルは、多数の基板を保持するように構成されてよい。
一実施形態によると、プロセス100は、垂直部材により連結された少なくとも2つの全く異なる平面を有する主に円形のリングを有するチャックを利用することができる。第1の平面上に基板を設置することができ、基板の円周方向縁部のみが接触する。基板内に存在する可能性のある刻み目または平らな部分のまわりの裏側縁部が、縁部とみなされ、同様にこの平面と接触すると考えられる。基板の外周縁部は、垂直部材と接触してもしなくてもよい。第2の平面は、基板の表面の上側と同一平面上にあるかまたはこれを超えて延在していてよい。第1および第2の平面を所定の位置に保持する手段も存在し、これは、器具を回転させる能力を有するデバイスに器具を連結するのに役立つ。チャックは、第1および第2の平面間の離隔距離が、チャックにより格納され得る剥離用組成物の体積に正比例するような形で、設計されていてよい。チャックは、基板の回転速度が本明細書中に記載の実施形態の回転速度と一致するような形で基板を回転的に拘束するのに役立ち得る垂直部材内の突出部分を含むことができる。
104では、プロセス100は、基板と溶液を接触させて、基板の第1の側が溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップを含む。一部の場合においては、基板の第2の側の少なくとも一部分が空気に曝露され、一方他の場合においては、基板の第2の側の少なくとも一部分が、基板を保持する器具に接触してよい。追加の状況においては、基板の第2の側の少なくとも一部分が、絶縁層と接触状態にあってよい。一実施形態において、絶縁層は、ポリマーを含んでいてよい。例えば、絶縁層はポリエーテルエーテルケトン(PEEK)を含んでいてよい。別の例において、絶縁層は、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を含んでいてよい。
一実施形態において、基板は、基板の一方の側に配置された物質の少なくとも一部分が放出されるような形で、溶液と接触させられてよい。一部の場合において、基板は、新鮮で以前に使用されたことがなく、再循環された構成成分を全く含まない一定体積の溶液と接触させられてよい。他の状況においては、基板は基板から物質を放出するために以前に使用された一定体積の溶液と接触させられてよい。
一実施形態においては、溶液には目標物質(例えばフォトレジスト)を溶解させるかまたは目標物質を基板から放出させる溶媒系組成物が含まれていてよい。一部の実施形態において、溶液は、ヒドロトロープを含んでいてよい。溶液の非限定的例としては、極性溶媒、有機塩基またはそれらの組合せを含む組成物が含まれていてよいが、これに限定されない。1つの例証的実施形態において、極性溶媒は、ジメチルスルホキシド;ジメチルホルムアミド;ジメチルアセトアミド;1−ホルミルピペリジン;ジメチルスルホン;n−メチルピロリドン(NMP);N−シクロヘキシル−2−ピロリドンまたはそれらの混合物などの極性非プロトン性溶媒を含んでいてよい。さまざまな実施形態において、溶液は、溶液の総重量の少なくとも10wt%の極性溶媒、溶液の総重量の少なくとも18wt%の極性溶媒、溶液の総重量の少なくとも30wt%の極性溶媒、溶液の総重量の少なくとも50wt%の極性溶媒、または溶液の総重量の少なくとも65wt%の極性溶媒を含んでいてよい。他の実施形態において、溶液は、溶液の総重量の90wt%以下の極性溶媒、溶液の総重量の85wt%以下の極性溶媒、溶液の総重量の80wt%以下の極性溶媒、または溶液の総重量の75wt%以下の極性溶媒を含んでいてよい。1つの例証的実施形態において、溶液中に含まれる極性溶媒の量は、溶液の総重量の10wt%〜99wt%の範囲内にあってよい。別の例証的実施形態において、溶液中に含まれる極性溶媒の量は、溶液の総重量の25wt%〜80wt%の範囲内にあってよい。追加の例証的実施形態において、溶液中に含まれる極性溶媒の量は、59wt%〜72wt%の範囲内にあってよい。さらに、溶液の実質的に全てが、さらなる例証的実施形態においては、極性溶媒を含み得る。
別の例証的実施形態において、有機塩基は、水酸化アルキルアンモニウム、アルカノールアミン、アミンまたはそれらの組合せを含むことができる。特定の1つの例証的実施形態において、アルカノールアミンは、エタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、アミノエチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、N−メチルエタノールアミン、N−エチルエタノールアミン、N−プロピルエタノールアミン、N−ブチルエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、イソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、N−メチルイソプロパノールアミン、N−エチルイソプロパノールアミン、N−プロピルイソプロパノールアミン、2−アミノプロパン−1−オール、N−メチル−2−アミノプロパン−1−オール、N−エチル−2−アミノプロパン−1−オール、1−アミノプロパン−3−オール、N−メチル−1−アミノプロパン−3−オール、N−エチル−1−アミノプロパン−3−オール、1−アミノブタン−2−オール、N−メチル−1−アミノブタン−2−オール、N−エチル−1−アミノブタン−2−オール、2−アミノブタン−1−オール、N−メチル−2−アミノブタン−1−オール、N−エチル−2−アミノブタン−1−オール、3−アミノブタン−1−オール、N−メチル−3−アミノブタン−1−オール、N−エチル−3−アミノブタン−1−オール、1−アミノブタン−4−オール、N−メチル−1−アミノブタン−4−オール、N−エチル−1−アミノブタン−4−オール、1−アミノ−2−メチルプロパン−2−オール、2−アミノ−2−メチルプロパン−1−オール、1−アミノペンタン−4−オール、2−アミノ−4−メチルペンタン−1−オール、2−アミノヘキサン−1−オール、3−アミノヘプタン−4−オール、1−アミノオクタン−2−オール、5−アミノオクタン−4−オール、1−アミノプロパン−2,3−ジオール、2−アミノプロパン−1,3−ジオール、トリス(オキシメチル)アミノメタン、1,2−ジアミノプロパン−3−オール、1,3−ジアミノプロパン−2−オールおよび2−(2−アミノエトキシ)エタノールまたはその混合物を含んでいる。別の特定の例証的実施形態において、アミンは、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ジメチルベンジルアミン、マロンアミドまたはそれらの混合物を含んでいてよい。一部の実施形態において、溶液は、溶液の総重量の少なくとも0.5wt%の有機塩基、溶液の総重量の少なくとも2wt%の有機塩基、溶液の総重量の少なくとも10wt%の有機塩基、溶液の総重量の少なくとも25wt%の有機塩基、または溶液の総重量の少なくとも35wt%の有機塩基を含んでいてよい。さらに、溶液は、溶液の総重量の70wt%以下の有機塩基、溶液の総重量の60wt%以下の有機塩基、溶液の総重量の50wt%以下の有機塩基、または溶液の総重量40wt%以下の有機塩基を含んでいてよい。1つの例証的実施形態において、溶液中に含まれる有機塩基の量は、溶液の総重量の0.5wt%〜99wt%の範囲内にあってよい。別の例証的実施形態において、溶液中に含まれる有機塩基の量は、溶液の総重量の10wt%〜75wt%の範囲内にあってよい。追加の例証的実施形態において、溶液中に含まれる有機塩基の量は、溶液の総重量の23wt%〜40wt%の範囲内にあってよい。さらなる例証的実施形態においては、溶液の実質的に全てが有機塩基を含むことができる。
さらなる例証的実施形態において、水酸化第4級アンモニウムは、水酸化テトラメチルアンモニウム;水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物;水酸化テトラブチルアンモニウム;水酸化ベンジルトリメチルアンモニウム;水酸化テトラプロピルアンモニウム;水酸化ジメチルジプロピルアンモニウム;水酸化テトラエチルアンモニウム;水酸化ジメチルジエチルアンモニウムまたはそれらの混合物を含んでいてよい。例証的実施形態において、溶液中に含まれている水酸化第4級アンモニウムの量は、溶液の総重量の0.5wt%〜10wt%の範囲内にあってよい。別の例証的実施形態において、溶液中に含まれる水酸化第4級アンモニウムの量は、溶液の総重量の2wt%〜6wt%の範囲内にあってよい。一部の状況下では、溶液は、水酸化第4級アンモニウムを含んでいなくてよい。
溶液は同様に、添加物、例えば金属腐食防止剤、界面活性剤、酸、塩基、追加の溶媒、アルコールまたはそれらの混合物も含んでいてよい。詳細な一実施形態において、溶液は、エチレンジアミンテトラ酢酸(EDTA)、ジヒドロキシベンゼン、プロピレングリコール、3−メトキシ−3−メチルブタノール、水またはそれらの組合せを含むことができる。一実施形態において、腐食防止剤は、ドデカン二酸、ウンデカン二酸、セバシン酸またはそれらの混合物を含むことができる。1つの例証的実施形態においては、溶液中の添加物の量は、溶液の総重量の1ppm〜12wt%の範囲内にあってよい。
さらに、一部の場合において、溶液は、一定量のポリマー材料を含んでいてよい。例えば、溶液は、溶液の総重量の10wt%以下のポリマー材料、溶液の総重量の6wt%以下のポリマー材料、溶液の総重量の2wt%以下のポリマー材料を含んでいてよい。別の実施例において、溶液は、1000パートパーミリオン(ppm)以下のポリマー材料、500ppm以下のポリマー材料、または100ppm以下のポリマー材料を含んでいてよい。他の状況下では、溶液はポリマー材料を含まなくてもよい。一つの例証的実施形態において、溶液は、溶液の総重量の50ppm〜5wt%のポリマー材料を含むことができる。別の例証的実施形態において、溶液は、100ppm〜1000ppmのポリマー材料を含むことができる。一実施形態において、ポリマー材料は、スルホン化ポリマー、スルホン化モノマー、またはそれらの組合せを含むことができる。特定の実施形態において、ポリマー材料は、スルホポリエステルを含むことができる。
一実施形態において、基板と溶液を接触させるステップは、フォトレジストまたはプラズマエッチ残渣などの物質を含む基板の特定の側に対して一定体積の溶液を提供するステップを含むことができる。一部の場合において、基板に一定体積の溶液を提供するステップには、基板の特定の側に溶液をコーティングするステップが含まれていてよい。さまざまな実施形態において、溶液は、基板を保持しているプロセスボウル内に分配され得る。1つの実施形態によると、基板には、スピンコーティング、噴霧コーティング、パドルコーティングまたはスリットコーティングにより溶液がコーティングされてよい。一部のシナリオにおいて、基板に溶液をスピンコーティングするステップは、基板の中心に材料を分配するステップと、低い円運動速度(すなわち毎分100回転(rpm)以下)で設備を動作させるステップとを含むことができる。特定の一実施形態においては、撹拌なく溶液を基板にコーティングしてよい。一つの実施例において、溶液は、表面上に溶液を「パドル」させ得る静的方法により送出されてよい。
基板がすでに運動している時に材料が分配される動的方法を使用してもよい。新しいプロセスのセットアップのための早期段階の間、無駄を最小限におさえるか全く無くしながら基板の所望される被覆率を確保するような形で、正確なrpmおよび時間の条件を確立する必要がある場合がある。1つの実施形態によると、基板の上側に分配される液体体積の実質的な画分を格納するための手段を含む例えばチャックなどの基板支持用器具を使用してよく、これにより、そうでなければ基板の上側から流出する液体により不利な影響を受ける可能性のある基板加工性能の改善が可能になる。例えば、基板がチャック上に設置された場合に、チャックのリムが基板より上にあり、こうしてボウルを形成するような形で持ち上ったリムを有するチャックを使用してよい。このようなチャックを使用する場合には、基板の上部表面を被覆しオーバーフローしそれでもなお例えばフォトレジストなどのウエハー上の目標物質を除去するのに充分な深さまたは厚みで基板との接触を保つような形で、一定体積の剥離用溶液が適用されてよい。その上、このようなチャックが利用される場合には、剥離用組成物の一部分が、例えば毛管作用を介して、基板の第2のつまり裏側(つまり除去すべき物質が被着されている側とは反対の側)の一部分と接触してよい。チャックは同様に、液体の温度の空間的均一性の改善に加えて、チャックと接触状態にあるウエハーの上側に対して適用される液体の加熱速度の上昇を可能にするような形で設計されることもできる。
溶液の体積は、除去すべき物質を含む基板の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分なものであってよい。他の実施形態によると、溶液の体積は、基板の物質を含む側全体をコーティングするのに充分なものであってよい。さらに、溶液の体積は、基板から物質を除去または放出するのに充分なものであってよい。特定の実施形態において、基板は、少なくとも10mLの溶液、少なくとも40mLの溶液、少なくとも100mLの溶液、少なくとも150mLの溶液、少なくとも175mLの溶液、少なくとも190mLの溶液、または少なくとも205mLの溶液でコーティングされてよい。別の特定の実施形態において、基板は、500mL以下、400mL以下の溶液、350mL以下の溶液、300mL以下の溶液、250mL以下の溶液、235mL以下の溶液、または220mL以下の溶液でコーティングされてよい。他の実施形態において、基板は、200mL以下の溶液、150mL以下の溶液、100mL以下の溶液、または75mL以下の溶液でコーティングされ得る。1つの例証的実施形態において、300mmのウエハーをコーティングするために使用される溶液の量は、50mL〜300mLの範囲内または70mL〜220mLの範囲内であってよい。別の例証的実施形態において、200mmのウエハーをコーティングするために使用される溶液の量は、30mL〜100mLの範囲内または40mL〜75mLの範囲内にあってよい。追加の例証的実施形態において、150mmのウエハーをコーティングするために使用される溶液の量は、8mL〜25mLの範囲内または12mL〜18mLの範囲内であってよい。
一部の場合において、基板の一方の側に塗布された溶液の体積は、基板上にコーティングを形成してよく、ここでコーティングは特定の厚みを有する。一実施形態において、コーティングの厚みは実質的に均一であってよい。特定の1つの実施形態において、コーティングの厚みは、少なくとも0.2mm、少なくとも0.5mm、少なくとも1mm、少なくとも1.5mm、少なくとも2mm、少なくとも2.5mm、少なくとも3mmまたは少なくとも3.5mmであってよい。別の詳細な実施形態において、コーティングの厚みは、5mm以下、4.5mm以下、4mm以下、4mm以下、3.5mm以下、3mm以下、2.5mm以下または2mm以下であってよい。さまざまな実施形態において、コーティングの厚みは、1mm超であり得、一方他の実施形態では、コーティングの厚みは1mm未満であり得る。1つの例証的実施形態において、コーティングの厚みは0.4mm〜8mmの範囲内であってよい。別の例証的実施形態においては、コーティングの厚みは1mm〜5mmの範囲内であってよい。追加の例証的実施形態において、コーティングの厚みは、0.4の範囲内にあってよい。さらなる例証的実施形態において、コーティングの厚みは、1.5mm〜3mmの範囲内にあってよい。
さらに基板の一方の側の溶液の厚みと基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みの比率は、少なくとも6:1、少なくとも8:1、少なくとも12:1、または少なくとも15:1であってよい。さらに、基板の一方の側の上の溶液の厚みと、基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みの比率は、35:1以下、30:1以下、25:1以下または20:1以下であってよい。1つの例証的実施形態において、基板の一方の側上の溶液の厚みと基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みの比率は、6:1〜25:1の範囲内であってよい。基板から除去すべき物質が1ミクロン未満の厚みを有する残渣である状況下では、基板の一方の側上の溶液の厚みと基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みの比は、35:1超であってよい。例えば、他の例証的実施形態では、基板の一方の側上の溶液の厚みと基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みの比率は少なくとも50:1、少なくとも100:1、少なくとも250:1、少なくとも750:1、少なくとも2000:1、少なくとも5000:1または少なくとも10,000:1であってよい。さらに、これらの場合において、基板の一方の側上の溶液の厚みと基板の少なくとも一部分の上の物質の厚みの比率は、6:1〜25,000:1、8:1〜1000:1、15:1〜250:1、または20:1〜100:1の範囲内に含まれ得る。
特定の一実施形態において、コーティングの厚みは、少なくとも部分的には物質の組成に応じて、異なる物質について異なるものであり得る。例えば、基板からネガ型フォトレジストなどの第1の物質を除去する場合には、コーティングの第1の厚みが適用されてよい。別の実施例においては、ポストエッチ残渣などの第2の物質を基板から除去する場合には、コーティングの第2の厚みが適用されてよい。さらに、コーティングの厚みは、少なくとも部分的に、基板上に配置された物質の厚みにより左右されてよい。
一実施形態において、基板上の物質と溶液を接触させるステップには、規定の時間内に物質の除去を提供する温度まで、溶液、基板またはその両方を加熱するステップも含まれていてよい。さらに、基板を保持する器具を加熱してもよい。一実施形態においては、液体の表面から特定の距離内に熱源を配置することによって対流加熱により溶液を加熱してよい。1つの例証的実施形態において、熱源は、液体、例えば溶液、リンス剤、それらの組合せなどを含まない。別の実施形態においては、溶液を赤外線での照射を通して加熱してもよい。さらなる実施形態において、溶液は、熱源とウエハーの裏側とを接触させるかまたは溶液を直接熱源と接触させることを通して、伝導加熱により加熱されてよい。一実施形態において、溶液、基板またはその両方を目標温度まで加熱してよい。他の実施形態においては、赤外線での照射を介して、溶液、基板、基板を保持する器具またはその組合せを加熱することができる。特定の実施形態において、溶液は、充分短かい時間内での物質(例えばフォトレジストフィルム)の完全な除去を可能にする温度まで加熱される。一部の場合において、溶液は、その引火点を超えるまで加熱され得る。
一つの例証的実施形態において、熱源は、目標温度よりも高い温度を有することができる。例えば熱源は、目標温度よりも10℃〜300℃高い、目標温度よりも50℃〜200℃高い、または目標温度よりも75℃〜125℃高い温度を有することができる。特定の例証的実施形態において、熱源は、目標温度よりも少なくとも50℃高い、目標温度よりも少なくとも100℃高い、目標温度よりも少なくとも150℃高い、または目標温度よりも少なくとも200℃高い温度を有することができる。このようにして、溶液の加熱をより急速に行なうことができる。一部の場合においては、溶液と基板の接触の前に溶液を加熱してよい。他の状況においては、基板と溶液を接触させた後に溶液を加熱してもよい。詳細には、溶液が基板を保持するプロセスボウル内に分配された後に、溶液を加熱することができる。基板と溶液を接触させた後に溶液を加熱することにより、高温に対する溶液の曝露が減少するため、溶液の分解を最小限におさえることができる。
一実施形態においては、溶液を、少なくとも15℃、少なくとも20℃、少なくとも30℃、少なくとも40℃、少なくとも50℃、少なくとも60℃、少なくとも65℃、少なくとも70℃、少なくとも80℃、少なくとも90℃、少なくとも95℃、または少なくとも100℃の温度まで加熱してよい。追加の実施形態においては、溶液を150℃以下、140℃以下、130℃以下、120℃以下、115℃以下、110℃以下、100℃以下、90℃以下、80℃以下、70℃以下、60℃以下、50℃以下、40℃以下、30℃以下、25℃以下または20℃以下の温度まで加熱してよい。1つの例証的実施形態において、溶液は、15℃〜150℃の範囲内の温度を有していてよい。別の例証的実施形態において、溶液は、50℃〜125℃の範囲内の温度を有していてよい。追加の実施形態において、溶液は、90℃〜110℃の範囲内の温度を有することができる。一実施形態において、基板を横断する温度変動は、10℃未満、7.5℃未満または5℃未満である。一部の実施形態によると、剥離用組成物は予熱されており、ここで周囲温度に対する曝露以外の熱エネルギーが、基板のコーティングに使用される前の剥離用組成物に適用される。他の実施形態によると、基板または基板と剥離用組成物の両方共が予熱される。
さまざまな実施形態において、溶液、基板またはその両方を、出発温度から目標温度まで加熱することができる。一実施形態において、出発温度と目標温度の間の差は、少なくとも10℃、少なくとも20℃、少なくとも50℃、少なくとも100℃または少なくとも150℃であり得る。一部のシナリオでは、溶液の温度を一定の時間目標温度に維持することができ、溶液の温度は、目標温度から±5℃、±3℃、または±2℃以下の温度変動を有していてよい。溶液の目標温度は、基板および/または溶液と熱源との間の距離を操作することによって維持されてよい。一実施形態においては、約200℃〜約300℃の範囲内の温度の熱源を溶液の表面から約0.5mm〜約2.5mmの範囲内の距離内に設置してよい。一部の場合において、基板および/または溶液の温度を規定の温度範囲内に維持するために、熱源を基板および/または溶液からより大きい距離まで移動させることもできる。これらの状況下では、基板および/または溶液の温度を規定の温度範囲内に維持するために、基板および/または溶液を加熱するための1つの距離範囲の内部で熱源の位置を変動させることもできる。
一変形実施形態においては、溶液を加熱に付さなくてもよく、周囲温度または室温で基板上に維持してよい。例えば、溶液の温度は、約15℃〜約30℃の範囲内にあってよい。物質の溶解または基板からの物質の放出を可能にするのに充分な時間、周囲温度で溶液で基板をコーティングしてよい。換言すると、一部の実施形態では、例えば物質、基板および剥離用組成物の性質に応じて、基板および/または剥離用組成物は加熱されず、周囲温度に維持される。
1つの特定の実施形態においては、加熱中、ウエハーは、角度的温度均一性を改善するために、例えば20rpm未満の遅いrpmで回転し続けることができる。液体に対し熱を加えるための充分に短かい加熱時間は、10分未満、または8分未満、6分未満、5分未満、4分未満、3分未満または2分未満であり得る。充分な時間加熱した後、熱源は除去される。
一部の場合において、基板は、少なくとも20秒、少なくとも2分、少なくとも3分、少なくとも4分、または少なくとも5分の時間、溶液と接触させられてよい。さらに、基板は、20分以下、8分以下、または6分以下の時間、溶液と接触させられてよい。特定の実施形態において、基板から除去すべき物質の組成に応じて、20分超の時間、溶液と基板を接触させることができる。1つの例証的実施形態においては、約0.5分〜約9.5分の範囲内の時間、基板を溶液と接触させてよい。別の例証的実施形態は、約2分〜6分の範囲内の時間、基板を溶液と接触させてよい。
一実施形態によると、溶液および/または基板は、溶液が基板上の物質と接触させられている間、撹拌され得る。さまざまな実施形態において、溶液、基板またはその両方は、基板を保持するプロセスボウル内に溶液が分配された後に撹拌され得る。撹拌は、例えば機械的力、音波力または電気力などの任意の手段によるものであり得る。一実施形態において、ウエハーは、ウエハーのスピニングを介して機械的に撹拌される。一部の場合において、ウエハーは、剥離用組成物および放出された物質(溶解した物質を含む)を振り落とすかまたは実質的に除去するのに充分な速度で撹拌される。一部の実施形態によると、250〜2000rpm;100〜1000rpm;または150〜500rpmの速度でウエハーをスピンさせることができる。別の実施形態では、ウエハーを前後および/または左右に揺動させることによって、ウエハーを機械的に撹拌させることができる。特定の実施形態においては、撹拌には、溶液を基板に噴霧するステップは含まれない。基板および/または溶液の撹拌は、溶液のより均一な温度分布を提供でき、同様に、基板から物質を放出する一助となることもできる。
さらに、一実施形態においては、基板を特定の時間溶液と接触させた後に、基板を機械的力、音波力および/または電気力を介して撹拌してよい。特定の実施形態においては、基板は、溶液および放出されかつ/または溶解した物質を振り落とすかまたは他の形で実質的に除去するのに充分である目標速度で基板を回転させることによって、機械的に撹拌される。一部の実施形態によると、基板は、50rpm〜2000rpmの範囲内、100rpm〜1000rpmの範囲内あるいは150rpm〜500rpmの範囲内の速度で回転されてよい。1つの例証的実施形態においては、目標速度を達成するために、基板を200rpm/秒で加速してよい。さらに、さまざまな実施形態においては、特定の時間溶液と基板を接触させた後に基板を保持する器具から溶液をドレンすることができる。
106では、プロセス100は、基板を洗い流して、洗い流し済み基板を生産するステップを含んでいてよい。洗い流し済み基板は同様に、基板の一方の側に予め配置された物質を実質的に含まなくてもよい。基板を洗い流すための条件は、基板の部域が洗い流しプロセス中に乾燥状態になるのを防ぐように選択されてよい。1つの実施形態において、基板は、1つ以上のリンス剤で洗い流されてよい。本明細書中で使用する「リンス剤」という用語には、剥離用溶液、他の溶液および/または剥離すべき放出された物質を除去する任意の溶媒が含まれる。
一実施形態によると、プロセスサイクルが先行する撹拌を含んでいない場合、プロセス100には、ウエハーを洗い流して、剥離用組成物および剥離用組成物中に溶解した物質および未溶解の粒子を含み得る放出された物質(例えばフォトレジスト)をウエハーの表面から除去するステップが含まれる。プロセス100が洗い流しに先行する撹拌を含む場合、プロセス100には、ウエハーを洗い流して、残留する剥離用組成物および残留する放出された物質を除去するステップが含まれる。例えば洗い流しステップには、ウエハーがスピン状態または静止状態にある間にウエハー上に溶媒または溶媒系混合物を分配するステップ、ウエハーがスピン状態または静止状態にある間にウエハー上に水を分配するステップ、または、他の液体媒質(酸性または塩基性水性混合物、溶媒混合物、半水性混合物を含む)を分配して、剥離用組成物、物質残渣の除去または基板表面の処理を可能にするステップのうちの1つ以上が含まれていてよい。
一実施形態によると、洗い流しが完了する前にウエハーの部域が乾燥するのを防ぐように、洗い流しを行なわなければならない。ウエハーが、洗い流し中または異なるリンス媒質間の遷移中に過度に高いrpmでまたは高いrpmで過度に長時間回転させられた場合には、ウエハー上の液体厚みは、薄くなりすぎて、ウエハー上に乾燥したスポットが発生したり、またはウエハー上に残渣が被着する結果となる可能性がある。これらの残渣は、有機残渣、溶解したフォトレジストまたはリンス媒質中に溶解したSnなどの金属であり得る。これらの場合において、残渣は、さらなる洗い流しによって除去するのが非常に困難であるかまたは不可能になる場合がある。したがって、表面上に有機残渣またはSnが被着するのを防ぐため、洗い流しステップ中および複数の洗い流しステップ間の遷移中にスピン速度およびスピン時間を制御するよう注意を払わなければならない。さらに、液体が基板の表面との間に高い界面エネルギーを有して高い液体−表面接触角をもたらす場合、薄いスポットまたは乾燥スポットが発生する可能性がある。これらの場合において、高い接触角は脱湿潤を導く可能性があり、ここで液体はウエハーの部域から後退して、究極的に表面上に有機残渣または溶解した金属が被着することになる可能性がある。脱湿潤は、例えば、濡れ性を改善するか、接触角を削減するかまたはリンス媒体内への界面エネルギーを削減して液体−表面界面エネルギーおよび接触角を削減する界面活性剤または他の化合物を添加することによって、克服されてよい。これらの洗い流しステップが適用される順序は、変動してよく、洗い流しステップは多数回反復されてよい。
リンス剤の例としては、水、pH調整された水、脱イオン水、アセトン、アルコール、例えばイソプロピルアルコールおよびメタノール、ジメチルスルホキシド(DMSO)およびN−メチルピロリドン(NMP)が含まれるが、これに限定されない。リンス剤は同様に、例えばパルミチン酸グリコール、ポリソルベート80、ポリソルベート60、ポリソルベート20、ラウリル硫酸ナトリウム、ココグルコシド、ラウリル−7サルフェート、ラウリルグルコースカルボン酸ナトリウム、ラウリルグルコシド、ココイルグルタミン酸二ナトリウム、ラウレス−7シトレート、ココアンホジ酢酸二ナトリウム、例えばENVIROGEM360という商標名の下で販売されているものを含む非イオン系双性界面活性剤、例えばZonyl FSOという商標名の下で販売されているものを含む非イオン系フルオロ界面活性剤、例えば、Capstone FS−10という商標名の下で販売されているものを含むイオン系フッ素化界面活性剤、例えばSURFYNOL2502という商標名の下で販売されているものを含むオキシランポリマー界面活性剤、および例えばTETRONIC 701という商標名の下で販売されているものを含むポロキサミン界面活性剤、およびそれらの混合物などの界面活性剤を含めた混合物を含むことができる。さらに、リンス剤は、1%未満からスルホン化モノマーまたはポリマーの水中溶解度の限界までの範囲内の量でスルホン化モノマーまたはポリマーを含む水であり得る。1つの特定の例証的実施形態では、リンス剤は、剥離用溶液を含んでいてよい。剥離用組成物および有機物質を含むリンス剤は、洗い流し段階の終りで捕捉されてよく、適宜廃棄、処理、再使用および/または再循環され得る。
一部の実施形態によると、基板の洗い流しステップには、多くの洗い流し作業が含まれる可能性がある。一実施形態において、洗い流しプロセスは、剥離用溶液および放出された物質または残留剥離用組成物および残留放出済み物質を除去するのに有効なリンス剤と基板とを接触させる任意の数の組合せを含むことができる。一部の場合において、基板は、脱イオン水で1回以上洗い流されてよい。さらなる状況下では、基板の洗い流しステップには、基板と塩基水溶液とを接触させるステップ、基板と酸水溶液とを接触させるステップあるいはその両方が含まれていてよい。さまざまな実施形態において、基板、リンス剤またはその両方を、1つ以上の洗い流し作業中に撹拌することができる。他の実施形態においては、基板、リンス剤またはその両方を、1つ以上の洗い流し作業中に撹拌しなくてよい。一部の実施形態によると、さまざまな洗い流しステップを単一のボウル内で行なうことができる。その上、同じボウル内のまたは他のプロセスを介した清浄を受けた基板に対して、洗い流しプロセスを適用することが可能である。
1つの例証的実施形態において、基板の洗い流しステップには、基板と脱イオン水とを接触させ、それに続いて基板と塩基水溶液を接触させ、次に基板を脱イオン水を用いた追加の洗い流しに付すステップが含まれていてよい。脱イオン水は、ファンスプレーノズルを介して基板に適用されてよい。さらに、脱イオン水での洗い流し中、基板を、脱イオン水と接触させながら少なくとも50rpm、少なくとも200rpm、または少なくとも400rpmの速度で回転させてよい。さらに、脱イオン水と接触させながら、基板を2000rpm以下、1500rpm以下、1000rpm以下、または500rpm以下の速度で回転させてよい。特定の例証的実施形態においては、基板を、脱イオン水と接触させながら、約300rpm〜約700rpmの範囲内の速度で回転させてよい。さらに、基板を、約2秒〜約60秒の範囲内の時間、脱イオン水と接触させてよい。別の実施形態においては、基板を、約5秒〜約30秒の範囲内の時間、脱イオン水と接触させてよい。
特定の実施形態においては、洗い流し後に基板を乾燥させてよい。乾燥作業には、加熱乾燥、スピン乾燥、および/またはガス接触、例えば加熱されかつ/または加圧された環境内で不活性ガスと基板を接触させること(例えばエアナイフ)が含まれていてよい。一実施形態においては、約500rpm〜約2500rpmの範囲内または約1250rpm〜約1750rpmの範囲内の速度で基板を回転させることにより基板を乾燥されてよい。さらなる実施形態においては、約5秒〜約45秒の範囲内または約15秒〜約25秒の範囲内の時間基板を回転させることによって基板を乾燥させてよい。
乾燥作業は同様に、イソプロピルアルコール(IPA)またはアセトンなどの適切な乾燥剤の適用を介した化学的乾燥も含んでいてよい。化学的および物理的乾燥技術を適宜組合わせてもよい。一実施形態において、基板は、IPAまたはアセトンを単独で適用することによって化学的に乾燥される。別の実施形態においては、基板は、化学的にそしてそれに続いて物理的乾燥によって乾燥される。さらに別の実施形態においては、基板は、物理的乾燥の後IPAまたはアセトンなどを用いて化学的に乾燥される。一実施形態においては、基板を、IPAと接触させながら回転させてよい。例えば、基板をIPAと接触させながら、約10秒〜約25秒の範囲内の時間、約50rpm〜約2000rpmの範囲内の速度で回転させてよい。例えばCuを含むデバイスアーキテクチャなどの水に感応する構成成分を含む基板を清浄する場合は、残留水を除去しなければならない。
一実施形態によると、基板は、物質の所望の除去レベルが達成されるまで、作業104および/または106の多数のサイクルに付されてよい。その上、必要に応じて後続するサイクル中、いずれかの作業を削除してもよい。一実施形態によると、同一の溶液組成物およびリンス剤による多数のサイクルを適用してよい。別の実施形態によると、多数のサイクルが、異なる溶液組成物を1つ以上のサイクルで、かつ/または異なるリンス剤を1つ以上のサイクルで使用してよい。さらに別の実施形態においては、異なるサイクル内で加熱プロファイルを変更してもよい。異なる化学的サイクルが使用される場合には、サイクル間で例えば、水を用いた洗い流しを介して、基板を保持する器具を清浄してよい。さらに、チャンバおよびホルダーは、異なる基板またはバッチの加工の間で、例えば水洗いによって清浄され得る。
一実施形態においては、ブロック104および/または106に関して作業を実施した後、基板の表面の少なくとも80%が物質を含まないことができ、基板の表面の少なくとも84%が物質を含まないことができ、基板の表面の少なくとも約88%が物質を含まないことができ、あるいは基板の表面の少なくとも約93%が物質を含まないことができる。別の実施形態においては、ブロック104および/または106に関する作業を実施した後、基板の実質的に全表面が物質を含まないことができ、基板の表面の99%以下が物質を含まないことができ、あるいは基板の表面の97%以下が物質を含まないことができる。例証的実施形態においては、ブロック104および106に関して記述されている作業の後、基板の表面の約94%以内乃至は基板の表面の約100%以内が、物質を含まないことができる。
一実施形態において、基板から物質を除去するためのプロセス100の持続時間は、30分以下、20分以下、15分以下、12分以下、10分以下、8分以下、7分以下、6分以下、5分以下または4分以下であってよい。例証的実施形態において、基板から物質を除去するプロセス100の持続時間は、1分〜30分の範囲内にあってよい。別の例証的実施形態においては、基板から物質を除去するためのプロセス100の持続時間は、2分〜15分の範囲内にあってよい。
プロセス100の一部のステップは反復されてよく、ステップの実施順序は、全ての基板について同じシーケンスをたどらなくてもよい。例えば、基板剥離用組成物でコーティングし、次に加熱し、その後洗い流し、次に乾燥させ、次に2度目に剥離用組成物でコーティングし、その後2度目に加熱し、次に2度目に洗い流し、最後に2度目に乾燥させてよい。プロセス100全体を、2、3、4回以上反復してもよい。代替的には、プロセスフローは異なるものであってもよい。例えば、基板を剥離用組成物でコーティングし、次に加熱し、次にスピンして剥離用組成物を除去するものの洗い流しはせず、その後2度目に新鮮な剥離用組成物でコーティングし、次に2度目に加熱し、その後洗い流し、乾燥させてよい。代替的には、2回目または3回目または4回目のコーティングステップのために、異なる剥離用組成物を用いて物質をコーティングしてもよい。剥離用組成物に関する組成的差異とは、剥離用組成物が異なるモル比で同じ成分を有すること、あるいは、一方の組成では少なくとも1つの成分が存在するものの他方の組成では存在しないことを意味し得る。代替的には、基板を洗い流すかまたは乾燥前に基板を処理するために、多数の液体を使用してよく、これらの異なる液体は、反復的にまたは変動する順序で使用されてよい。
図2は、基板202を保持する器具200の一実施形態の断面図を示す。一部の場合においては、器具200のオペレータが基板202を器具200内に設置してよく、一方他の状況においては、基板202を機械的に器具200内に設置してもよい。特定の一実施形態においては、器具200は、基板202を回転させるように構成されてよい。基板202は第1の側204と第2の側206を含んでいてよい。図2の例証的実施例では基板202は単一層を有するものとして示されているが、基板202は、1つ以上の層を含んでいてもよい。例えば基板202は、1つ以上のコア層、1つ以上の補強層、1つ以上の絶縁層、1つ以上の金属層、またはそれらの組合せを含んでいてよい。
一部の実施形態において、物質208は、本明細書中に記載の実施形態にしたがって除去すべき第1の側204の上に配置されていてよい。物質208は、図2の例証的実施形態では第1の側204の上に配置された層として示されているが、第1の側の一部分に物質208を配置してもよい。特定の実施形態において、物質208は、第1の側204に、一定のパターンで配置されてよい。さらに、図2の例証的実施形態は物質208の単一層を含んでいるものの、一部の状況においては、物質208を、フォトレジストの多重層などの多重層の形で、基板202の第1の側204の上に配置してよい。一部の場合において、各々の層は、基板202から除去すべき異なる物質を含み得る。さらに、図2の例証的実施例では示されていないものの、第1の側204に他の材料を配置してもよい。例えば、物質208に追加して第1の側204に、回路パターンのフィーチャ、ボンディング物品(例えばはんだボール)、それらの組合せなどを配置してよい。一実施形態において、第2の側206は空気と接触していてよい。別の実施形態において、第2の側206は、絶縁用ポリマー、例えばポリエーテルエーテルケトン(PEEK)またはポリテトラフルオロエチレン(PTFE)と接触していてよい。
一実施形態において、器具200は、液体210が物質208、基板202の第1の側204またはその両方を接触するような形で、一定体積の液体210を保持してよい。一実施形態において、液体210は、剥離用溶液、リンス剤またはそれらの組合せなど、プロセス100に関して本明細書中で記載した液体の1つ以上を含んでいてよい。1つの例証的実施形態においては、器具200内に一定体積の液体210を分配することによって、基板202を液体210と接触させることができる。その上、このような器具200が使用される場合、液体200の一部分が、例えば毛管作用を介して基板202の第2の側206の一部分と接触する場合がある。特定の一実施形態においては、第2の側206の表面の少なくとも50%が液体210を含まず、第2の側206の表面の少なくとも75%が液体210を含まず、第2の側206の表面の少なくとも95%が液体210を含まず、あるいは、第2の側206の実質的に全表面が、液体210を含まない。
基板202は、厚み212および幅214を含んでいてよい。特定の実施形態において、基板202は、円形ウエハーを含んでいてよく、幅214は直径であってよい。一実施形態において、基板202の厚み212は、250マイクロメートル〜950マイクロメートルの範囲内、500マイクロメートル〜800マイクロメートルの範囲内、または700マイクロメートル〜780マイクロメートルの範囲内にある。さらに、基板202の幅214は、50mm〜450mmの範囲内、100mm〜350mmの範囲内、または200mm〜300mmの範囲内にあってよい。
物質208は、厚み216を有することができる。一部の場合において、厚み216は基板202の第1の側上に配置された物質208の平均厚みであってよい。他の場合において、厚み216は、基板202の第1の側204の上に配置された物質208の最大厚みを表わしてよい。さらに追加の状況において、厚み216は、基板202の第1の側204の上に配置された物質208の一部分の厚みであってよい。1つの例証的実施形態において、厚み216は、0.2マイクロメートル〜150マイクロメートルの範囲にあってよい。別の例証的実施形態において、厚み216は40マイクロメートル〜120マイクロメートルの範囲内にあってよい。追加の例証的実施形態において、厚み216は、50マイクロメートル〜80マイクロメートルの範囲内にあってよい。
液体210は、厚み218を有することができる。厚み218は、器具200内の液体210の体積に正比例していてよい。1つの実施形態において、厚み218は、約0.2mm〜約7mmの範囲内、約1mm〜約4mmの範囲内、または約2mm〜約3.5mmの範囲内にあってよい。一部の場合において、厚み218は、物質208を基板202から除去するのに充分なものであってよい。
特定の実施形態において、器具200内に入れられた一定体積の液体210が、液体210の厚み218と物質208の厚み216の間の規定の比率を生み出してよい。例えば、厚み218と厚み216の比率は、6:1〜25:1の範囲内にあってよい。別の実施例において、厚み218と厚み216の比率は、12:1〜20:1の範囲内にあってよい。物質208の厚み216が数ミクロン未満、例えば、およそ数十ナノメートルまたは数百ナノメートルである一部の状況において、液体210の厚み218と物質208の厚み216の間の比率は、50:1超、100:1超または250:1超、さらにはそれ以上であり得る。
その上、器具200内に保持された液体210の体積は、基板202の寸法が変わるにつれて変化してよい。例えば、基板202が、直径300mmの円形ウエハーである場合、器具200内に格納された液体210の体積は、本明細書中に記載されているいくつかの作業について50mL〜500mLの範囲内にあり得る。別の例では、基板202が直径200mmの円形ウエハーである場合、液体210の体積は、本明細書中に記載のいくつかの作業について20mL〜250mLの範囲内にあり得る。さらなる例においては、基板202が直径150mmの円形ウエハーである場合、液体210の体積は、本明細書中に記載のいくつかの作業について10mL〜50mLの範囲内にあってよい。
一実施形態において、器具200は、持上ったリムを含んでいてよく、このため、基板202が器具200上に設置された時点でリムは基板より上にあり、こうしてプロセスボウルを形成するようになっている。一実施形態によると、器具200は、少なくとも2つの全く異なる平面が垂直部材によって連結されている状態で、主に円形のリングを有していてよい。第1の平面の上に、基板202を設置することができ、基板202の円周方向縁部だけが接触する。基板202上に存在する場合がある刻み目または平らな部分のまわりの裏側縁部が縁部とみなされ、同様にこの平面と接触していてよい。基板202の外周縁部は、器具200の垂直部材と接触していてもいなくてもよい。第2の平面は、基板202の第1の側204の上側と同一平面上にあるかまたはそれを超えて延在していてよい。器具200は同様に、器具200を回転させる能力を有するデバイスに器具200を連結するのに役立つ、第1および第2の平面を所定の位置に保持するための手段をも含んでいてよい。器具200は、第1および第2の平面の間の離隔距離が、器具200により格納され得る液体208の体積に正比例するような形で設計されていてよい。器具200は、基板200の回転速度がプロセス100に関して本明細書中に記述された回転速度と一致するような形で基板200を回転的に拘束するのに役立つことのできる突出部分を垂直部材内に含むことができる。さらに、一実施形態において、器具200は、基板がプロセスボウル内に保持され、プロセス100に関して先に記述した作業などの作業が基板200上で実施される一方で、液体(例えば剥離用溶液、リンス剤など)が基板202の第1の側204から出てゆくのを防ぐ上で一助となる格納機構を含むことができる。
一部の実施形態においては、プロセス100に関して記述された作業のうちの1つ以上は、基板202が器具200内に保持されている間に実施されてよく、このため、プロセス100は単段プロセスとして実施される。本明細書中で使用される「単段プロセス」とは、プロセス全体を通して基板202が単一の基板ホルダーと接触した状態にとどまっているプロセスを意味する。一実施形態によると、ホルダーは、プロセス全体を通して単一の清浄用チャンバまたは「単一ボウル」内にとどまってよく、あるいは、清浄用チャンバ、洗い流し用チャンバおよび乾燥用チャンバのうちの1つ以上まで回転または移動してもよい。全ての単位作業(コーティング、加熱、洗い流し、乾燥、および他の作業、例えば裏側洗い流しなど)は、基板202がプロセスボウルから除去される前に基板202上で実施されてよい。基板202は、ひとたび基板202が器具200内に納まった時点で、全プロセスが完了するまで全ての作業が実施され、その後器具200から基板202が除去されるような形で加工されてよい。代替的には、プロセスは、ひとたび基板202が器具200内に収納された時点で開始してよく、基板202は、特定の単位作業のために容器200から外され再度収納されてよいが、全プロセスが完了するまでは、単一のプロセスモジュールまたは単一ボウル内にとどまってよい。追加の代替的実施形態においては、プロセス100の作業の第1の部分を器具200内で実施することができ、一方プロセス100の作業の第2の部分は、1つ以上の追加の装置内で実施することができる。したがって、一部の実施形態において、プロセス100は多段プロセスであり得る。
一部の状況においては、器具200から基板202を除去した後、器具200内に追加の基板を設置してよい。特定の実施形態において、追加の基板は、基板202が付される作業のうちの1つ以上を受けてよい。他の実施形態においては、追加の基板は、基板202上で実施されるものとは異なる1つ以上の作業を受けてよい。さまざまな場合においては、追加の基板を、基板202と接触させるために使用されるものとは異なる1つ以上の溶液と接触させることができる。さらに、特定の実施形態においては、基板202から除去される物質208とは異なる物質を、追加の基板から除去してよい。一実施形態においては、追加の基板を、基板202と接触させるために用いられる溶液と同じ溶液または実質的に同じ溶液の新鮮な体積と接触させることができる。このようにして、器具200に対し提供される各々の基板と接触させるために使用される溶液の有効性は、溶液の分解および汚染が最小限であることを理由として、最大になり得る。
基板から物質(例えばフォトレジスト)を除去するための本明細書中に記載のプロセスの実施形態は、物質の浸漬に基づく除去と比べて利点を有する。例えば、基板毎の清浄性能は、より一貫したものである。各基板は、新鮮で未使用の剥離用組成物で処理されてよい。したがって、剥離用組成物の組成は、溶解したフォトレジストの取込みや構成成分の分解に起因して浸漬タンク内で発生する変動無く、全ての基板について同じであり得る。同様に、基板清浄一回あたりに使用される剥離用組成物の体積は、浸漬プロセスにおいて基板清浄一回あたりに使用されるものよりも小さく、これによりコストを削減することができる。
本明細書中に記載のプロセスの実施形態の別の潜在的利点は、ウエハーレベルパッケージングにおいて使用されるプロセス統合に関係するものである。フォトレジストフィルムの除去後、はんだピラーのまわりのCu電界金属を除去するためにウエハーを加工することができる。多くの場合、フォトレジストの浸漬に基づく除去の結果として、Cu電界金属の上面にSnまたはSn酸化物の薄いフィルムが被着することになるが、ここでSnははんだから抽出されCu上を覆う。このSnまたはSn酸化物の薄いフィルムは、典型的にはプラズマに基づくエッチプロセスによって除去される。このSnまたはSn酸化物のフィルムが除去されない場合、Cu電界金属を除去することはできない。本明細書中に記載の実施形態では、ウエハーからフォトレジストを除去しても、SnまたはSn酸化物の薄いフィルムが結果として被着することはない。したがって、このSnまたはSn酸化物フィルムの除去ステップを削除するようにプロセス統合を簡素化することができ、こうしてより費用効果性の高い統合が導かれる。
フォトレジストおよび残渣の除去に加えて、本明細書中に記載のプロセスの実施形態は、潜在的に、半導体および他のマイクロ電子デバイスの製造において使用される他のウエハープロセスのために使用可能である。これらのプロセスには、例えば湿式エッチプロセス、例えばCu電界金属エッチ、フォトレジストコーティングおよびベーキング、水性系清浄ステップ、例えば過酸化/硫黄混合物(SPM)清浄などが含まれるが、これらに限定されない。
主題について、構造的特徴および/または方法論的行為に特異な言語で記述してきたが、添付のクレーム中で定義されている主題が必ずしも記述された具体的な特徴または行為に限定されるものではないことを理解すべきである。むしろ、具体的特徴および行為は、クレームを実施する例示的形態として開示されている。
実施形態は、以下で列挙する項目のうちのいずれか1つ以上に係るものであってよい。
項目1.
基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.基板の少なくとも一部分から物質を放出するのに充分な時間、充分な温度まで、基板、剥離用組成物またはその両方を加熱するステップと;
d.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法。
基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.基板の少なくとも一部分から物質を放出するのに充分な時間、充分な温度まで、基板、剥離用組成物またはその両方を加熱するステップと;
d.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法。
項目2.
e.基板を洗い流すステップ;
をさらに含む、項目1に記載の方法。
e.基板を洗い流すステップ;
をさらに含む、項目1に記載の方法。
項目3.
f.基板を乾燥させるステップ;
をさらに含む、項目2に記載の方法。
f.基板を乾燥させるステップ;
をさらに含む、項目2に記載の方法。
項目4.
任意の場所における剥離用組成物の厚みが約0.5mm〜約5.0mmである、項目1に記載の方法。
任意の場所における剥離用組成物の厚みが約0.5mm〜約5.0mmである、項目1に記載の方法。
項目5.
単一ボウル内で実施される、項目1に記載の方法。
単一ボウル内で実施される、項目1に記載の方法。
項目6.
基板が剥離用組成物でのコーティング前に予熱される、項目1に記載の方法。
基板が剥離用組成物でのコーティング前に予熱される、項目1に記載の方法。
項目7.
剥離用組成物が、物質上にコーティングされる前に予熱される、項目1に記載の方法。
剥離用組成物が、物質上にコーティングされる前に予熱される、項目1に記載の方法。
項目8.
基板が、a.〜d.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目1に記載の方法。
基板が、a.〜d.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目1に記載の方法。
項目9.
新鮮な剥離用組成物が、少なくとも1つの追加サイクル内で使用される、項目8に記載の方法。
新鮮な剥離用組成物が、少なくとも1つの追加サイクル内で使用される、項目8に記載の方法。
項目10.
少なくとも1つの追加サイクル内で使用される剥離用組成物の組成が、先行サイクル内で使用された剥離用組成物の組成と異なる、項目8に記載の方法。
少なくとも1つの追加サイクル内で使用される剥離用組成物の組成が、先行サイクル内で使用された剥離用組成物の組成と異なる、項目8に記載の方法。
項目11.
基板がa.〜e.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目2に記載の方法。
基板がa.〜e.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目2に記載の方法。
項目12.
基板がa.〜f.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目3に記載の方法。
基板がa.〜f.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目3に記載の方法。
項目13.
撹拌がスピニングを介したものである、項目1に記載の方法。
撹拌がスピニングを介したものである、項目1に記載の方法。
項目14.
基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法。
基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法。
項目15.
d.基板を洗い流すステップ;
をさらに含む、項目14に記載の方法。
d.基板を洗い流すステップ;
をさらに含む、項目14に記載の方法。
項目16.
e.基板を乾燥させるステップ;
をさらに含む、項目15に記載の方法。
e.基板を乾燥させるステップ;
をさらに含む、項目15に記載の方法。
項目17.
剥離用組成物の厚みが約0.5mm〜約5.0mmである、項目14に記載の方法。
剥離用組成物の厚みが約0.5mm〜約5.0mmである、項目14に記載の方法。
項目18.
基板がa.〜c.の少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目14に記載の方法。
基板がa.〜c.の少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目14に記載の方法。
項目19.
新鮮な剥離用組成物が、少なくとも1つの追加サイクル内で使用される、項目18に記載の方法。
新鮮な剥離用組成物が、少なくとも1つの追加サイクル内で使用される、項目18に記載の方法。
項目20.
追加サイクル内で使用される剥離用組成物の組成が、先行サイクル内で使用された剥離用組成物の組成と異なる、項目18に記載の方法。
追加サイクル内で使用される剥離用組成物の組成が、先行サイクル内で使用された剥離用組成物の組成と異なる、項目18に記載の方法。
項目21.
基板がa.〜d.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目15に記載の方法。
基板がa.〜d.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目15に記載の方法。
項目22.
基板がa.〜e.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目16に記載の方法。
基板がa.〜e.のうちの少なくとも1つの追加サイクルに付される、項目16に記載の方法。
項目23.
前記撹拌がスピニングを介したものである、項目14に記載の方法。
前記撹拌がスピニングを介したものである、項目14に記載の方法。
項目24.
基板が剥離用組成物でのコーティングの前に予熱される、項目14に記載の方法。
基板が剥離用組成物でのコーティングの前に予熱される、項目14に記載の方法。
項目25.
剥離用組成物が、基板内にコーティングされる前に予熱される、項目14に記載の方法。
剥離用組成物が、基板内にコーティングされる前に予熱される、項目14に記載の方法。
項目26.
基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記塩基水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板の第1の側とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が塩基水溶液組成物に曝露されていない、方法。
基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記塩基水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板の第1の側とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が塩基水溶液組成物に曝露されていない、方法。
項目27.
基板が、a.〜d.の少なくとも1つの間に、機械的力、音波力または電気力を通して撹拌される、項目26に記載の方法。
基板が、a.〜d.の少なくとも1つの間に、機械的力、音波力または電気力を通して撹拌される、項目26に記載の方法。
項目28.
前記撹拌がスピニングを介したものである項目27に記載の方法。
前記撹拌がスピニングを介したものである項目27に記載の方法。
項目29.
基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.酸水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記酸水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が酸水溶液組成物に曝露されていない、方法。
基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.酸水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記酸水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が酸水溶液組成物に曝露されていない、方法。
項目30.
基板が、a.〜d.の少なくとも1つの間に、機械的力、音波力または電気力を通して撹拌される、項目29に記載の方法。
基板が、a.〜d.の少なくとも1つの間に、機械的力、音波力または電気力を通して撹拌される、項目29に記載の方法。
項目31.
前記撹拌がスピニングを介したものである項目30に記載の方法。
前記撹拌がスピニングを介したものである項目30に記載の方法。
項目32.
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板とを接触させるステップと;
d.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.酸水溶液と基板とを接触させるステップと;
f.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
g.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、少なくともc.〜g.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が、塩基水溶液または酸水溶液組成物に曝露されていない、方法。
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板とを接触させるステップと;
d.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.酸水溶液と基板とを接触させるステップと;
f.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
g.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、少なくともc.〜g.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が、塩基水溶液または酸水溶液組成物に曝露されていない、方法。
項目33.
基板が、a.〜g.の少なくとも1つの間に、機械的力、音波力または電気力を通して撹拌される、項目32に記載の方法。
基板が、a.〜g.の少なくとも1つの間に、機械的力、音波力または電気力を通して撹拌される、項目32に記載の方法。
項目34.
前記撹拌がスピニングを介したものである項目33に記載の方法。
前記撹拌がスピニングを介したものである項目33に記載の方法。
項目35
少なくともa.〜g.が単一のボウル内で行われる、項目32に記載の方法。
少なくともa.〜g.が単一のボウル内で行われる、項目32に記載の方法。
項目36.
− 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が一定の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップであって、溶液が有機塩基および1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含んでいるステップと;
− 基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。
− 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が一定の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップであって、溶液が有機塩基および1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含んでいるステップと;
− 基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。
項目37.
物質の少なくとも一部分が撹拌無く基板から放出される、項目36に記載の方法。
物質の少なくとも一部分が撹拌無く基板から放出される、項目36に記載の方法。
項目38.
溶液が極性溶媒を含む、項目36に記載の方法。
溶液が極性溶媒を含む、項目36に記載の方法。
項目39.
溶液が、スルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含まない項目36に記載の方法。
溶液が、スルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含まない項目36に記載の方法。
項目40.
溶液が無機塩基を含まない、項目36に記載の方法。
溶液が無機塩基を含まない、項目36に記載の方法。
項目41.
溶液が、その総重量に対して、0.5wt%〜99wt%の有機塩基を含む、項目36に記載の方法。
溶液が、その総重量に対して、0.5wt%〜99wt%の有機塩基を含む、項目36に記載の方法。
項目42.
物質が、化学線に曝露されたネガ型フォトレジストを含む、項目36に記載の方法。
物質が、化学線に曝露されたネガ型フォトレジストを含む、項目36に記載の方法。
項目43.
物質が、ポジ型フォトレジストを含む、項目36に記載の方法。
物質が、ポジ型フォトレジストを含む、項目36に記載の方法。
項目44.
溶液の厚みと基板の少なくとも一部分上の物質の厚みの比率が、6:1超である、項目1に記載の方法。
溶液の厚みと基板の少なくとも一部分上の物質の厚みの比率が、6:1超である、項目1に記載の方法。
項目45.
プラズマエッチプロセスを用いて基板の表面上にフィーチャーを形成するステップをさらに含み、プラズマエッチプロセスに応答して基板上に残渣が形成され、物質が残渣を含む、項目36に記載の方法。
プラズマエッチプロセスを用いて基板の表面上にフィーチャーを形成するステップをさらに含み、プラズマエッチプロセスに応答して基板上に残渣が形成され、物質が残渣を含む、項目36に記載の方法。
項目46.
基板の第1の側上の物質の厚みが0.2マイクロメートル〜150マイクロメートルの範囲内にある、項目36に記載の方法。
基板の第1の側上の物質の厚みが0.2マイクロメートル〜150マイクロメートルの範囲内にある、項目36に記載の方法。
項目47.
基板が、50mm〜450mmの範囲内の直径を有する、項目36に記載の方法。
基板が、50mm〜450mmの範囲内の直径を有する、項目36に記載の方法。
項目48.
溶液の温度が20℃〜150℃の範囲内にある、項目36に記載の方法。
溶液の温度が20℃〜150℃の範囲内にある、項目36に記載の方法。
項目49.
物質と溶液を接触させるステップには、基板を保持するプロセスボウル内に溶液を分配するステップが含まれ、さらに、基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な時間、充分な温度まで溶液、基板またはその両方を加熱するステップをさらに含み、溶液をプロセスボウル内に分配した後20秒〜20分の範囲内の時間、溶液、基板またはその両方が加熱される、項目36に記載の方法。
物質と溶液を接触させるステップには、基板を保持するプロセスボウル内に溶液を分配するステップが含まれ、さらに、基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な時間、充分な温度まで溶液、基板またはその両方を加熱するステップをさらに含み、溶液をプロセスボウル内に分配した後20秒〜20分の範囲内の時間、溶液、基板またはその両方が加熱される、項目36に記載の方法。
項目50.
− 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が第2の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まず、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップであって、第2の厚みが1mmより大きく、第2の厚みと第1の厚みの比率が6:1超であるステップと;
− 基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。
− 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が第2の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まず、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップであって、第2の厚みが1mmより大きく、第2の厚みと第1の厚みの比率が6:1超であるステップと;
− 基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。
項目51.
基板と溶液の接触中、溶液、基板またはその両方が撹拌されない、項目50に記載の方法。
基板と溶液の接触中、溶液、基板またはその両方が撹拌されない、項目50に記載の方法。
項目52.
基板の第2の側の90%超が溶液を含まない、項目50に記載の方法。
基板の第2の側の90%超が溶液を含まない、項目50に記載の方法。
項目53.
物質の実質的に全てが基板から除去される、項目50に記載の方法。
物質の実質的に全てが基板から除去される、項目50に記載の方法。
項目54.
物質の少なくとも95%が基板から除去される、項目50に記載の方法。
物質の少なくとも95%が基板から除去される、項目50に記載の方法。
項目55.
第2の厚みと第1の厚みの比率が8:1〜1000:1の範囲内にある、項目50に記載の方法。
第2の厚みと第1の厚みの比率が8:1〜1000:1の範囲内にある、項目50に記載の方法。
項目56.
さらに、物質と溶液を接触させた後、溶液、基板またはその両方を加熱するステップを含む、項目50に記載の方法。
さらに、物質と溶液を接触させた後、溶液、基板またはその両方を加熱するステップを含む、項目50に記載の方法。
項目57.
溶液が有機塩基、極性溶媒またはその両方を含む、項目50に記載の方法。
溶液が有機塩基、極性溶媒またはその両方を含む、項目50に記載の方法。
項目58.
− プロセスボウルを含む器具内に基板を設置し、基板がプロセスボウル内に保持されるようにするステップであって、基板が第1の側と第1の側に対して実質的に平行な第2の側を含み、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 基板を器具内に設置した後プロセスボウル内に溶液を分配することにより物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップと;
− プロセスボウル内に溶液を分配した後に溶液、基板またはその両方を20秒〜20分間の範囲内の持続時間にわたり加熱して、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップと;
− 基板上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板を洗い流すステップと;
を含む方法。
− プロセスボウルを含む器具内に基板を設置し、基板がプロセスボウル内に保持されるようにするステップであって、基板が第1の側と第1の側に対して実質的に平行な第2の側を含み、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 基板を器具内に設置した後プロセスボウル内に溶液を分配することにより物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップと;
− プロセスボウル内に溶液を分配した後に溶液、基板またはその両方を20秒〜20分間の範囲内の持続時間にわたり加熱して、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップと;
− 基板上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板を洗い流すステップと;
を含む方法。
項目59.
溶液、基板またはその両方が、出発温度から目標温度まで加熱され、出発温度と目標温度との間の差が少なくとも20℃である、項目58に記載の方法。
溶液、基板またはその両方が、出発温度から目標温度まで加熱され、出発温度と目標温度との間の差が少なくとも20℃である、項目58に記載の方法。
項目60.
溶液、基板またはその両方が、溶液の加熱中撹拌されない、項目58に記載の方法。
溶液、基板またはその両方が、溶液の加熱中撹拌されない、項目58に記載の方法。
項目61.
溶液、基板またはその両方が、基板の洗い流し中撹拌されない、項目58に記載の方法。
溶液、基板またはその両方が、基板の洗い流し中撹拌されない、項目58に記載の方法。
項目62.
器具には、基板の第1の側に溶液、リンス剤またはその両方を保つための格納機構が含まれている、項目58に記載の方法。
器具には、基板の第1の側に溶液、リンス剤またはその両方を保つための格納機構が含まれている、項目58に記載の方法。
項目63.
プロセスボウルが単一の基板を保持する、項目58に記載の方法。
プロセスボウルが単一の基板を保持する、項目58に記載の方法。
項目64.
溶液、基板またはその両方の加熱ステップには、溶液、基板またはその両方の目標温度が達成されるまで、溶液、基板またはその両方から規定の距離内に熱源を設置するステップが含まれる、項目58に記載の方法。
溶液、基板またはその両方の加熱ステップには、溶液、基板またはその両方の目標温度が達成されるまで、溶液、基板またはその両方から規定の距離内に熱源を設置するステップが含まれる、項目58に記載の方法。
項目65.
熱源の温度が、目標温度よりも50℃〜200℃高い、項目64に記載の方法。
熱源の温度が、目標温度よりも50℃〜200℃高い、項目64に記載の方法。
項目66.
溶液が、基板の第1の側を洗い流しする前にプロセスボウルからドレンされる、項目58に記載の方法。
溶液が、基板の第1の側を洗い流しする前にプロセスボウルからドレンされる、項目58に記載の方法。
項目67.
基板を洗い流した後器具から基板を除去するステップをさらに含む、項目66に記載の方法。
基板を洗い流した後器具から基板を除去するステップをさらに含む、項目66に記載の方法。
項目68.
基板が第1の基板であり、基板の少なくとも一部分の上に配置された物質が第1の物質であり、溶液が第1の溶液であり、さらに、
− 器具から第1の基板を除去した後に器具内に第2の基板を設置するステップであって、第2の基板が第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側とを含み、第2の物質が第2の基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されているステップと;
− 第2の溶液の新鮮な体積をプロセスボウル内に分配して、第2の基板の第1の側が第2の厚みまで第2の溶液でコーティングされ、第2の基板の第2の側の少なくとも一部分が第2の溶液を含まず、第2の物質の少なくとも一部分が第2の基板の第1の側から放出されるようにするステップと、
を含む項目67に記載の方法。
基板が第1の基板であり、基板の少なくとも一部分の上に配置された物質が第1の物質であり、溶液が第1の溶液であり、さらに、
− 器具から第1の基板を除去した後に器具内に第2の基板を設置するステップであって、第2の基板が第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側とを含み、第2の物質が第2の基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されているステップと;
− 第2の溶液の新鮮な体積をプロセスボウル内に分配して、第2の基板の第1の側が第2の厚みまで第2の溶液でコーティングされ、第2の基板の第2の側の少なくとも一部分が第2の溶液を含まず、第2の物質の少なくとも一部分が第2の基板の第1の側から放出されるようにするステップと、
を含む項目67に記載の方法。
項目69.
第2の溶液が第1の溶液と実質的に同じであり、第2の物質が第1の物質と実質的に同じである、項目68に記載の方法。
第2の溶液が第1の溶液と実質的に同じであり、第2の物質が第1の物質と実質的に同じである、項目68に記載の方法。
項目70.
第2の溶液が第1の溶液と異なり、第2の物質が第1の物質と異なる、項目69に記載の方法。
第2の溶液が第1の溶液と異なり、第2の物質が第1の物質と異なる、項目69に記載の方法。
項目71.
第1の基板が第1の溶液で第1の厚みまでコーティングされ、第2の基板が第2の溶液で第2の厚みまでコーティングされる、項目68に記載の方法。
第1の基板が第1の溶液で第1の厚みまでコーティングされ、第2の基板が第2の溶液で第2の厚みまでコーティングされる、項目68に記載の方法。
項目72.
第1の厚みが第2の厚みと異なる、項目71に記載の方法。
第1の厚みが第2の厚みと異なる、項目71に記載の方法。
項目73.
− 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が一定の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップであって、溶液が極性溶媒および1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含んでいるステップと;
− 基板と溶液を接触させた後、基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な温度まで、充分な時間にわたり溶液、基板またはその両方を加熱するステップと;
− 溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。
− 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が一定の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップであって、溶液が極性溶媒および1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含んでいるステップと;
− 基板と溶液を接触させた後、基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な温度まで、充分な時間にわたり溶液、基板またはその両方を加熱するステップと;
− 溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。
項目74.
極性溶媒が極性非プロトン性溶媒である、項目73に記載の方法。
極性溶媒が極性非プロトン性溶媒である、項目73に記載の方法。
項目75.
溶液が、溶液の総重量に対して10wt%〜99wt%の極性溶媒を含む、項目73に記載の方法。
溶液が、溶液の総重量に対して10wt%〜99wt%の極性溶媒を含む、項目73に記載の方法。
項目76.
溶液がスルホン化ポリマーまたはスルホン化モノマーを含まない、項目73に記載の方法。
溶液がスルホン化ポリマーまたはスルホン化モノマーを含まない、項目73に記載の方法。
項目77.
溶液が無機塩基を含まない、項目73に記載の方法。
溶液が無機塩基を含まない、項目73に記載の方法。
項目78.
基板の少なくとも一部分上の物質の厚みに対する溶液の厚みの比率が6:1超である、項目73に記載の方法。
基板の少なくとも一部分上の物質の厚みに対する溶液の厚みの比率が6:1超である、項目73に記載の方法。
実施例1
厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストを、Sn/Agはんだピラーを伴う300mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積の約96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、220mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ2.95mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は25:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は7.5分間である。7.5分後に、加熱器を除去する。次に、20秒間500rpmで回転させるのと同時に、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストを、Sn/Agはんだピラーを伴う300mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積の約96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、220mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ2.95mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は25:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は7.5分間である。7.5分後に、加熱器を除去する。次に、20秒間500rpmで回転させるのと同時に、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
実施例2
厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストを、Sn/Agはんだピラーを伴う300mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、70mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ0.94mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は8:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は7.5分間である。7.5分後に、加熱器を除去する。次に、20秒間500rpmで回転させるのと同時に、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、大分部のフォトレジストはウエハー上にとどまり、プロセス中に除去されない。
厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストを、Sn/Agはんだピラーを伴う300mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、70mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ0.94mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は8:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は7.5分間である。7.5分後に、加熱器を除去する。次に、20秒間500rpmで回転させるのと同時に、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、大分部のフォトレジストはウエハー上にとどまり、プロセス中に除去されない。
実施例3
厚み50μmのTOKCR4000ポジ型スピンオンフォトレジストを、CuピラーとSn/Agはんだキャップを伴う300mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、58.6wt%の1−ホルミルピペリジン、39.4wt%のアミノエチルエタノールアミン、1.5wt%のH2Oおよび0.5%の腐食防止剤であり、ここで腐食防止剤は、CorfreeM1という商標名で販売されていてよいドデカン二酸、ウンデカン二酸およびセバシン酸の混合物である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、70mLの剥離用組成物で被覆される。加工中、剥離用組成物はウエハー上のみにとどまり、チャックの全内径を満たない。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ1mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は20:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は4分間である。4分後に、加熱器を除去する。次に、20秒間500rpmで回転させるのと同時に、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
厚み50μmのTOKCR4000ポジ型スピンオンフォトレジストを、CuピラーとSn/Agはんだキャップを伴う300mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、58.6wt%の1−ホルミルピペリジン、39.4wt%のアミノエチルエタノールアミン、1.5wt%のH2Oおよび0.5%の腐食防止剤であり、ここで腐食防止剤は、CorfreeM1という商標名で販売されていてよいドデカン二酸、ウンデカン二酸およびセバシン酸の混合物である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、70mLの剥離用組成物で被覆される。加工中、剥離用組成物はウエハー上のみにとどまり、チャックの全内径を満たない。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ1mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は20:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は4分間である。4分後に、加熱器を除去する。次に、20秒間500rpmで回転させるのと同時に、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
実施例4
厚み80μmのAsahiCX8040ドライフィルムネガ型フォトレジストを、Sn/Agはんだピラーを伴う200mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをピンチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーは裏側上でピンのみによって支持されており、ウエハーの縁部は閉じ込められていない。ウエハーは、50mLの剥離用組成物で被覆され、剥離用組成物は200mmのウエハーの上部表面全体を被覆していた。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ1.6mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は20:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は110℃である。液体に熱を加える合計時間は2分20秒間である。2分20秒後に、加熱器を除去する。次に、300rpmでスピンさせながら、25mLのDMSOでウエハーを洗い流す。次に、20秒間1000rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。次に、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、25秒間2000rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
厚み80μmのAsahiCX8040ドライフィルムネガ型フォトレジストを、Sn/Agはんだピラーを伴う200mmウエハー上に配置する。剥離用溶液の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをピンチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーは裏側上でピンのみによって支持されており、ウエハーの縁部は閉じ込められていない。ウエハーは、50mLの剥離用組成物で被覆され、剥離用組成物は200mmのウエハーの上部表面全体を被覆していた。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ1.6mmである。剥離用組成物の厚みとレジストの厚みの比率は20:1である。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は110℃である。液体に熱を加える合計時間は2分20秒間である。2分20秒後に、加熱器を除去する。次に、300rpmでスピンさせながら、25mLのDMSOでウエハーを洗い流す。次に、20秒間1000rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。次に、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、25秒間2000rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
実施例5
ポリイミド層を通してビアをエッチングした後で、ポジ型フォトレジストをポリイミド層上に配置する。ビアをポジ型フォトレジスト内でパターン化し、次に、酸素プラズマを用いてポリイミドを貫通してエッチングする。EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で、ウエハーを加工する。下にあるポリイミドから残りのフォトレジストを剥離するために、単一の150mmウエハーを16.5mLの剥離用組成物でコーティングし、結果としてウエハーの上面に0.95mmの厚みを得る。剥離用組成物の組成は、5.1wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、3wt%のモノエタノールアミン(MEA)、10wt%の3−メトキシ−3−メチルブタノール、81.9wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)、および25ppmのEDTAである。この剥離プロセスは、室温で実施される。分配後、コーティングされたウエハーを30秒間室温に置いて残留するレジストを溶解させた。その後、300rpmでスピンさせながら、19.5mLのDMSOでウエハーを洗い流す。DMSOでの洗い流しの後、ウエハーを10rpmまで減速して、ウエハー上の液体が過度に薄くなり、脱イオン(DI)水での洗い流しステップへの遷移中にウエハー上に乾燥スポットが発生するのを防ぐ。次に、20秒間DI水でウエハーを洗い流し、その後スピン乾燥により乾燥させる。1つのウエハーの合計プロセス所要時間は、ウエハー1個あたり36mLの合計体積量で剥離用組成物を使用して1分55秒である。プロセスが完了した後、レジストは完全に除去され、ポリイミド層は無傷の状態にとどまる。
ポリイミド層を通してビアをエッチングした後で、ポジ型フォトレジストをポリイミド層上に配置する。ビアをポジ型フォトレジスト内でパターン化し、次に、酸素プラズマを用いてポリイミドを貫通してエッチングする。EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で、ウエハーを加工する。下にあるポリイミドから残りのフォトレジストを剥離するために、単一の150mmウエハーを16.5mLの剥離用組成物でコーティングし、結果としてウエハーの上面に0.95mmの厚みを得る。剥離用組成物の組成は、5.1wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、3wt%のモノエタノールアミン(MEA)、10wt%の3−メトキシ−3−メチルブタノール、81.9wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)、および25ppmのEDTAである。この剥離プロセスは、室温で実施される。分配後、コーティングされたウエハーを30秒間室温に置いて残留するレジストを溶解させた。その後、300rpmでスピンさせながら、19.5mLのDMSOでウエハーを洗い流す。DMSOでの洗い流しの後、ウエハーを10rpmまで減速して、ウエハー上の液体が過度に薄くなり、脱イオン(DI)水での洗い流しステップへの遷移中にウエハー上に乾燥スポットが発生するのを防ぐ。次に、20秒間DI水でウエハーを洗い流し、その後スピン乾燥により乾燥させる。1つのウエハーの合計プロセス所要時間は、ウエハー1個あたり36mLの合計体積量で剥離用組成物を使用して1分55秒である。プロセスが完了した後、レジストは完全に除去され、ポリイミド層は無傷の状態にとどまる。
実施例6
プラズマエッチプロセスを用いてGaAs基板内にフィーチャをエッチングした後、GaAs基板上にポストエッチ残渣が配置される。EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で、ウエハーを加工する。ウエハーからポストエッチ残渣を剥離するために、単一の150mmウエハーを12mLの剥離用組成物でコーティングし、結果としてウエハーの上面に0.7mmの厚みを得る。剥離用組成物の組成は、5.1wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、3wt%のモノエタノールアミン(MEA)、10wt%の3−メトキシ−3−メチルブタノール、81.9wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)、および25ppmのEDTAである。コーティングの後、合計30秒間近位対流加熱を用いて剥離用組成物を加熱し、最高80℃の温度に達する。加熱後、次に300rpmでスピンさせながら、19.5mLのDMSOでウエハーを洗い流す。DMSOでの洗い流しの後、ウエハーを10rpmまで減速して、ウエハー上の液体が過度に薄くなり、DI水での洗い流しステップへの遷移中にウエハー上に乾燥スポットが発生するのを防ぐ。次に、20秒間DI水でウエハーを洗い流し、その後スピン乾燥により乾燥させる。1つのウエハーの合計プロセス所要時間は、ウエハー1個あたり31.5mLの合計体積量で剥離用組成物を使用して2分16秒である。プロセスが完了した後、ポストエッチ残渣は、ウエハーから完全に除去され。
プラズマエッチプロセスを用いてGaAs基板内にフィーチャをエッチングした後、GaAs基板上にポストエッチ残渣が配置される。EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で、ウエハーを加工する。ウエハーからポストエッチ残渣を剥離するために、単一の150mmウエハーを12mLの剥離用組成物でコーティングし、結果としてウエハーの上面に0.7mmの厚みを得る。剥離用組成物の組成は、5.1wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、3wt%のモノエタノールアミン(MEA)、10wt%の3−メトキシ−3−メチルブタノール、81.9wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)、および25ppmのEDTAである。コーティングの後、合計30秒間近位対流加熱を用いて剥離用組成物を加熱し、最高80℃の温度に達する。加熱後、次に300rpmでスピンさせながら、19.5mLのDMSOでウエハーを洗い流す。DMSOでの洗い流しの後、ウエハーを10rpmまで減速して、ウエハー上の液体が過度に薄くなり、DI水での洗い流しステップへの遷移中にウエハー上に乾燥スポットが発生するのを防ぐ。次に、20秒間DI水でウエハーを洗い流し、その後スピン乾燥により乾燥させる。1つのウエハーの合計プロセス所要時間は、ウエハー1個あたり31.5mLの合計体積量で剥離用組成物を使用して2分16秒である。プロセスが完了した後、ポストエッチ残渣は、ウエハーから完全に除去され。
実施例7
二酸化ケイ素ウエハー内にビアをエッチングした後、二酸化ケイ素基板上にポストエッチ残渣が配置される。ウエハーは、二酸化ケイ素中にビアがプラズマエッチングされたAZ9260を用いて調製される。EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上でウエハーを加工する。ポストエッチ残渣を剥離するために、200mmのウエハーを40mLの剥離用組成物でコーティングし、結果としてウエハーの上面におよそ1.3mmの剥離用組成物の厚みを得る。剥離用組成物の組成は、59.21%のDMSO、35.92%のMEA、4.85%のpTMAHである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は100℃である。液体に熱を加える合計時間は4分間である。既定の時間の後、加熱器を除去する。加熱後、20秒間300rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介してDI水でウエハーを洗い流す。ウエハーを500rpm/秒で300rpmまで加速させると同時に水スプレーをオンに切替える。最終的に、ウエハーを、スピン乾燥させる。プロセスが完了した後、ポストエッチ残渣は、ウエハーから完全に除去される。
二酸化ケイ素ウエハー内にビアをエッチングした後、二酸化ケイ素基板上にポストエッチ残渣が配置される。ウエハーは、二酸化ケイ素中にビアがプラズマエッチングされたAZ9260を用いて調製される。EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上でウエハーを加工する。ポストエッチ残渣を剥離するために、200mmのウエハーを40mLの剥離用組成物でコーティングし、結果としてウエハーの上面におよそ1.3mmの剥離用組成物の厚みを得る。剥離用組成物の組成は、59.21%のDMSO、35.92%のMEA、4.85%のpTMAHである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は100℃である。液体に熱を加える合計時間は4分間である。既定の時間の後、加熱器を除去する。加熱後、20秒間300rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介してDI水でウエハーを洗い流す。ウエハーを500rpm/秒で300rpmまで加速させると同時に水スプレーをオンに切替える。最終的に、ウエハーを、スピン乾燥させる。プロセスが完了した後、ポストエッチ残渣は、ウエハーから完全に除去される。
実施例8.
Sn/Ag合金はんだピラーを伴う300mmのウエハー上に厚み120μmのAsahi CX−A240ドライフィルムネガ型フォトレジストを配置する。クーポンサイズのウエハー試料をホットプレート上で加工する。2.7mLの体積をもつウェルを伴うホルダーの内部にクーポンを設置する。1.8mLの調合物を使用してクーポンを被覆し、その結果クーポンの上面の調合物の厚みはおよそ2mmである。ホルダーをホットプレート上に設置して、液体温度が約110℃に達するようにする。試験対象の調合物に応じて、異なる時間試料を加熱する。加熱後、次にピンセットを用いてウェルからクーポンを除去し、ファンスプレーノズルを介して10〜20秒間45psiの加圧水で洗い流す。最後に、クーポンをIPAで洗い流し、空気流で送風乾燥させる。調合物の組成、加熱時間およびレジスト除去結果は、表1に要約されている。
Sn/Ag合金はんだピラーを伴う300mmのウエハー上に厚み120μmのAsahi CX−A240ドライフィルムネガ型フォトレジストを配置する。クーポンサイズのウエハー試料をホットプレート上で加工する。2.7mLの体積をもつウェルを伴うホルダーの内部にクーポンを設置する。1.8mLの調合物を使用してクーポンを被覆し、その結果クーポンの上面の調合物の厚みはおよそ2mmである。ホルダーをホットプレート上に設置して、液体温度が約110℃に達するようにする。試験対象の調合物に応じて、異なる時間試料を加熱する。加熱後、次にピンセットを用いてウェルからクーポンを除去し、ファンスプレーノズルを介して10〜20秒間45psiの加圧水で洗い流す。最後に、クーポンをIPAで洗い流し、空気流で送風乾燥させる。調合物の組成、加熱時間およびレジスト除去結果は、表1に要約されている。
Pb/Snを伴う300mmのウエハー上に厚み80μmのAsahi CX−8040ドライフィルムネガ型フォトレジストを配置する。クーポンサイズのウエハー試料をホットプレート上で加工する。2.7mLの体積をもつウェルを伴うホルダーの内部にクーポンを設置する。1.8mLの調合物を使用してクーポンを被覆し、その結果クーポンの上面の調合物の厚みはおよそ2mmである。ホルダーをホットプレート上に設置して、液体温度が約115℃に達するようにする。試験対象の調合物に応じて、異なる時間試料を加熱する。加熱後、次にピンセットを用いてウェルからクーポンを除去し、ファンスプレーノズルを介して10〜20秒間45psiの加圧水で洗い流す。最後に、クーポンをIPAで洗い流し、空気流で送風乾燥させる。調合物の組成、加熱時間およびレジスト除去結果は、表2に要約されている。
実施例11
Sn/Ag合金はんだを伴うウエハー上に厚み80μmのAsahi CX−8040ドライフィルムネガ型フォトレジストを配置する。クーポンサイズのウエハー試料をホットプレート上で加工する。2.7mLの体積をもつウェルを伴うホルダーの内部にクーポンを設置する。1.8mLの調合物を使用してクーポンを被覆し、その結果クーポンの上面の調合物の厚みはおよそ2mmである。ホルダーをホットプレート上に設置して、液体温度が約108℃に達するようにする。試料を3.5分間加熱する。加熱後、次にピンセットを用いてウェルからクーポンを除去し、ファンスプレーノズルを介して10〜20秒間45psiの加圧水で洗い流す。最後に、クーポンをIPAで洗い流し、空気流で送風乾燥させる。調合物の組成、加熱時間およびレジスト除去結果は、表3に要約されている。
Sn/Ag合金はんだを伴うウエハー上に厚み80μmのAsahi CX−8040ドライフィルムネガ型フォトレジストを配置する。クーポンサイズのウエハー試料をホットプレート上で加工する。2.7mLの体積をもつウェルを伴うホルダーの内部にクーポンを設置する。1.8mLの調合物を使用してクーポンを被覆し、その結果クーポンの上面の調合物の厚みはおよそ2mmである。ホルダーをホットプレート上に設置して、液体温度が約108℃に達するようにする。試料を3.5分間加熱する。加熱後、次にピンセットを用いてウェルからクーポンを除去し、ファンスプレーノズルを介して10〜20秒間45psiの加圧水で洗い流す。最後に、クーポンをIPAで洗い流し、空気流で送風乾燥させる。調合物の組成、加熱時間およびレジスト除去結果は、表3に要約されている。
実施例12
この実施例は、厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストの、共晶Sn/Pbはんだピラーを伴う300mmウエハーからの除去に関する。剥離用組成物の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、220mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ2.95mmである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は6.5分間である。6.5分後に、加熱器を除去する。次に、200rpm/秒の加速度で150rpmでウエハーをスピンさせて、ウエハーの表面から液体を振り落とす。その後直ちに、50rpmで回転させながら、室温でおよそ50mLのDMSOを用いてウエハーを洗い流すが、ここで、DMSOは中央から始めてウエハーの縁部へ向かって一掃するように分配される。次に、20秒間500rpmで回転させながらファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後ウエハーを少量のIPAで洗い流し、最終的に20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
この実施例は、厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストの、共晶Sn/Pbはんだピラーを伴う300mmウエハーからの除去に関する。剥離用組成物の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。このチャックはリングチャックと呼ばれる。ウエハーは、220mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ2.95mmである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は105℃である。液体に熱を加える合計時間は6.5分間である。6.5分後に、加熱器を除去する。次に、200rpm/秒の加速度で150rpmでウエハーをスピンさせて、ウエハーの表面から液体を振り落とす。その後直ちに、50rpmで回転させながら、室温でおよそ50mLのDMSOを用いてウエハーを洗い流すが、ここで、DMSOは中央から始めてウエハーの縁部へ向かって一掃するように分配される。次に、20秒間500rpmで回転させながらファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後ウエハーを少量のIPAで洗い流し、最終的に20秒間1500rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
実施例13
この実施例は、厚み80μmのAsahi CX8040ドライフィルムネガ型フォトレジストの、Sn/Agはんだピラーを伴う200mmのウエハーからの除去に関する。剥離用組成物の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをピンチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーは裏側でピンのみで支持されており、ウエハーの縁部は閉じ込められていない。ウエハーは、50mLの剥離用組成物で被覆され、200mmのウエハーの上部表面全体を被覆していた。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ1.6mmである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は110℃である。液体に熱を加える合計時間は2分20秒である。2分20秒後に、加熱器を除去する。次に、300rpmでスピンさせながら、ウエハーを25mLのDMSOで洗い流す。次に、20秒間1000rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、25秒間2000rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
この実施例は、厚み80μmのAsahi CX8040ドライフィルムネガ型フォトレジストの、Sn/Agはんだピラーを伴う200mmのウエハーからの除去に関する。剥離用組成物の組成は、5wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物(pTMAH)、23.75wt%のジメチルアミノエタノール(DMAE)、および71.25wt%のジメチルスルホキシド(DMSO)である。ウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。ウエハーをピンチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーは裏側でピンのみで支持されており、ウエハーの縁部は閉じ込められていない。ウエハーは、50mLの剥離用組成物で被覆され、200mmのウエハーの上部表面全体を被覆していた。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ1.6mmである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。この場合、剥離用組成物の目標温度は110℃である。液体に熱を加える合計時間は2分20秒である。2分20秒後に、加熱器を除去する。次に、300rpmでスピンさせながら、ウエハーを25mLのDMSOで洗い流す。次に、20秒間1000rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水でウエハーを洗い流す。その後、ウエハーを、少量のIPAで洗い流し、最終的に、25秒間2000rpmでウエハーをスピンさせることにより乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストはウエハーから完全に除去される。
実施例14〜18
実施例14〜18は、厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストの、Sn/Agはんだピラーを伴う複数の300mmウエハーからの、異なるプロセスおよび/または撹拌剥離用組成物を用いた除去に関する。各々のウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。各ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。各ウエハーは、220mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ2.95mmである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。実施例14〜18について、剥離用組成物の目標温度は105℃である。実施例14〜15について、液体に熱を加える合計時間は8.5分間である。8.5分後に、加熱器を除去する。次に、各ウエハーをスピンさせて、ウエハーの表面から液体を振り落とす。この振り落しステップを実施するため、ウエハーを200rpm/秒で150rpmまで加速させ、続いて1秒間遅延させる。1秒間の遅延の後、10秒間500rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水で各ウエハーを洗い流す。実施例14〜16および18については、これらのウエハーをその後、LiOHの1.14M水溶液で処理したが、ここでは、10rpmで回転させながらLiOH溶液でウエハーをコーティングし、30秒間放置する。30秒後に、ウエハーを、10秒間500rpmで回転させながら、脱イオン水で洗い流す。実施例18を除いて、全てのウエハーを次に、10rpmで回転させながら、メタルスルホン酸(MSA)の7wt%水溶液でコーティングし、30秒間放置した。30秒後に、ウエハーを10秒間500rpmで回転させながら、脱イオン水で洗い流す。次に、ウエハーを、15秒間500rpmで回転させながら、イソプロパノールで洗い流す。最後に、20秒間1500rpmでスピンさせることによって、ウエハーを乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストは、ウエハーから完全に除去される。フォトレジスト除去のための清浄性能は、Rudulph NSX−100光学検査システムを使用して測定する。ダイベースでのポストレジスト剥離歩留りを記録する。フォトレジストの除去後、各ウエハーを加工してCu電界金属をエッチングする。ウエハーを100mLの含水リン酸、および過酸化水素の混合物により室温でコーティングした。ウエハーを20秒間放置し、その後、脱イオン水で洗い流し、乾燥させた。Cu電界金属エッチ(FME)性能を、Rudulph NSX−100光学検査システムを用いて測定する。ダイベースのポスト−FME歩留りを記録する。Cu表面仕上げを調べるためにCu電界金属エッチを実施するが、それは、ウエハーからフォトレジストまたは残渣を除去するために発明力あるプロセスを使用し、次に同じまたは類似のプロセスステップを用いて同じウエハーに対し追加の湿式プロセスを実施するための能力を実証するものである。例えば、ウエハーはフォトレジストを除去するために、発明力あるプロセスを受けることができ、その後、スピン乾燥の後で、ウエハーに湿式エッチング溶液をコーティングして、Cu電界金属を除去し、次に洗い流し、乾燥させることができる。このようにして、1つの工具上で、1つのプロセスボウル内で、多くの集積ステップを実施することが可能である。
実施例14〜18は、厚み120μmのTOK50120ドライフィルムネガ型フォトレジストの、Sn/Agはんだピラーを伴う複数の300mmウエハーからの、異なるプロセスおよび/または撹拌剥離用組成物を用いた除去に関する。各々のウエハーを、EVG−301RS単一ウエハーフォトレジスト剥離用設備上で加工する。各ウエハーをチャック内に設置するが、ここでは、ウエハーの裏側の表面積のおよそ96%が空気と接触しており、チャックの外径は、ウエハーの外周まわりに液体閉じ込め障壁を形成する。ウエハー裏側の外側3mmの半径部分は、チャックと接触状態にある。各ウエハーは、220mLの剥離用組成物で被覆される。チャックの内側半径は、ウエハーの外側半径よりもおよそ4mm大きい。剥離用組成物は、チャックの全内径を満たす。すなわち、剥離用組成物はウエハーの上部表面全体をコーティングし、ウエハーの全直径を超えて延在して、チャックの全内径を満たす。したがって、ウエハーの上面の剥離用組成物の厚みは、およそ2.95mmである。次に、250℃の加熱器を液体表面の極く近位(およそ1mm)にもってくることにより、剥離用組成物を加熱する。このようにして、液体を対流加熱により加熱する。加熱中、加熱器と液体表面の間の離隔距離を変動させて、液体温度を目標温度に制御することにより、温度を維持する。実施例14〜18について、剥離用組成物の目標温度は105℃である。実施例14〜15について、液体に熱を加える合計時間は8.5分間である。8.5分後に、加熱器を除去する。次に、各ウエハーをスピンさせて、ウエハーの表面から液体を振り落とす。この振り落しステップを実施するため、ウエハーを200rpm/秒で150rpmまで加速させ、続いて1秒間遅延させる。1秒間の遅延の後、10秒間500rpmで回転させながら、ファンスプレーノズルを介して脱イオン水で各ウエハーを洗い流す。実施例14〜16および18については、これらのウエハーをその後、LiOHの1.14M水溶液で処理したが、ここでは、10rpmで回転させながらLiOH溶液でウエハーをコーティングし、30秒間放置する。30秒後に、ウエハーを、10秒間500rpmで回転させながら、脱イオン水で洗い流す。実施例18を除いて、全てのウエハーを次に、10rpmで回転させながら、メタルスルホン酸(MSA)の7wt%水溶液でコーティングし、30秒間放置した。30秒後に、ウエハーを10秒間500rpmで回転させながら、脱イオン水で洗い流す。次に、ウエハーを、15秒間500rpmで回転させながら、イソプロパノールで洗い流す。最後に、20秒間1500rpmでスピンさせることによって、ウエハーを乾燥させる。このプロセスの後、フォトレジストは、ウエハーから完全に除去される。フォトレジスト除去のための清浄性能は、Rudulph NSX−100光学検査システムを使用して測定する。ダイベースでのポストレジスト剥離歩留りを記録する。フォトレジストの除去後、各ウエハーを加工してCu電界金属をエッチングする。ウエハーを100mLの含水リン酸、および過酸化水素の混合物により室温でコーティングした。ウエハーを20秒間放置し、その後、脱イオン水で洗い流し、乾燥させた。Cu電界金属エッチ(FME)性能を、Rudulph NSX−100光学検査システムを用いて測定する。ダイベースのポスト−FME歩留りを記録する。Cu表面仕上げを調べるためにCu電界金属エッチを実施するが、それは、ウエハーからフォトレジストまたは残渣を除去するために発明力あるプロセスを使用し、次に同じまたは類似のプロセスステップを用いて同じウエハーに対し追加の湿式プロセスを実施するための能力を実証するものである。例えば、ウエハーはフォトレジストを除去するために、発明力あるプロセスを受けることができ、その後、スピン乾燥の後で、ウエハーに湿式エッチング溶液をコーティングして、Cu電界金属を除去し、次に洗い流し、乾燥させることができる。このようにして、1つの工具上で、1つのプロセスボウル内で、多くの集積ステップを実施することが可能である。
実施例14および16〜17について、ポスト−レジスト剥離歩留りは86〜87%であり、これはほぼ完全なレジスト除去を表わす。全ての場合において、歩留りの損失を結果としてもたらす欠陥は、典型的には小さい残渣であった。実施例15および18は、実施例14および16〜17に比べて低いポスト−レジスト剥離歩留りを示した。実施例15および18については、歩留り削減を結果としてもたらした欠陥の増加は、典型的に、表面の変色であり、残渣ではなかった。従って、実施例14〜18については、レジスト除去性能は、同等とみなされるべきである。ただし、ポスト−FME歩留りは実施例14〜18について変動し、このことは、実際の清浄性能と同様にCu電界金属表面品質もより良く表わしている。実施例5は、Cu電界金属のエッチ後、最高の歩留りを示した。実施例6は、最も悪い歩留りを示した。
実施例19
ウエハー上で剥離用組成物を加熱するための異なる方法には、裏側伝導加熱、上側対流加熱、および上側放射加熱が含まれる。これらの方法の各々は、ウエハー上で剥離用組成物を加熱するそれらの能力について調査されてきた。実施例19については、トップダウン対流加熱を用いて、裸の300mmのSiウエハー上で液体を加熱するが、ここで加熱器は250℃の温度にある。ウエハーをリングチャック内に設置し、220mLのDMSOで被覆し、結果として、ウエハーの上面におよそ2.95mmの厚みのDMSOが得られる。加熱器をリングチャックの上部表面から1mm以内にもっていくが、これは、DMSOの上部表面から1mmにも対応している。加熱器をこの位置に1分35秒間保ち、その後ゆっくりと液体表面から、DMSOの上部表面から98mmのところである平衡位置まで遠ざける。図3は、ウエハー上の3つの位置において測定された液体温度および、液体−加熱器離隔距離と時間との関係を示す。液体温度は、3つの位置つまりウエハーの中心、ウエハーの縁部およびウエハーの中間半径(r/2)においてウエハーの表面に接触させられた熱電対を用いて測定される。初期加熱速度および3つの位置についての平均平衡温度は、表5に示されている。ウエハー全体についての平均初期加熱速度は、0.76℃/秒である。ウエハーを横断した平均温度の幅は、7.7℃である。所与の位置について、平衡温度の幅は、3℃未満である。
ウエハー上で剥離用組成物を加熱するための異なる方法には、裏側伝導加熱、上側対流加熱、および上側放射加熱が含まれる。これらの方法の各々は、ウエハー上で剥離用組成物を加熱するそれらの能力について調査されてきた。実施例19については、トップダウン対流加熱を用いて、裸の300mmのSiウエハー上で液体を加熱するが、ここで加熱器は250℃の温度にある。ウエハーをリングチャック内に設置し、220mLのDMSOで被覆し、結果として、ウエハーの上面におよそ2.95mmの厚みのDMSOが得られる。加熱器をリングチャックの上部表面から1mm以内にもっていくが、これは、DMSOの上部表面から1mmにも対応している。加熱器をこの位置に1分35秒間保ち、その後ゆっくりと液体表面から、DMSOの上部表面から98mmのところである平衡位置まで遠ざける。図3は、ウエハー上の3つの位置において測定された液体温度および、液体−加熱器離隔距離と時間との関係を示す。液体温度は、3つの位置つまりウエハーの中心、ウエハーの縁部およびウエハーの中間半径(r/2)においてウエハーの表面に接触させられた熱電対を用いて測定される。初期加熱速度および3つの位置についての平均平衡温度は、表5に示されている。ウエハー全体についての平均初期加熱速度は、0.76℃/秒である。ウエハーを横断した平均温度の幅は、7.7℃である。所与の位置について、平衡温度の幅は、3℃未満である。
実施例20
実施例20のためには、トップダウン対流加熱を用いて液体を加熱するが、ここで加熱器は150℃の温度にある。300mmのウエハー由来のクーポン(3.7cm×3.7cm×0.775mm)を、2.7mLの容積を有するウェルを伴うステンレス鋼製ホルダーの内部に設置する。1.8mLのDMSOを使用してクーポンを被覆し、結果としてクーポンの上面におよそ2mmの厚みのDMSOが得られる。ホルダーの上部表面から1mm以内に加熱器をもってくるが、これはDMSOの上部表面から1mmにも対応する。780秒間のラン全体にわたり、加熱をこの位置に保つ。図4は、クーポンホルダー内部で測定された液体温度を示す。平均加熱速度は、最初の150秒間は0.38℃/秒である。最後の420秒間にわたる平均温度および幅は、それぞれ110.6℃および5℃である。
実施例20のためには、トップダウン対流加熱を用いて液体を加熱するが、ここで加熱器は150℃の温度にある。300mmのウエハー由来のクーポン(3.7cm×3.7cm×0.775mm)を、2.7mLの容積を有するウェルを伴うステンレス鋼製ホルダーの内部に設置する。1.8mLのDMSOを使用してクーポンを被覆し、結果としてクーポンの上面におよそ2mmの厚みのDMSOが得られる。ホルダーの上部表面から1mm以内に加熱器をもってくるが、これはDMSOの上部表面から1mmにも対応する。780秒間のラン全体にわたり、加熱をこの位置に保つ。図4は、クーポンホルダー内部で測定された液体温度を示す。平均加熱速度は、最初の150秒間は0.38℃/秒である。最後の420秒間にわたる平均温度および幅は、それぞれ110.6℃および5℃である。
実施例21
実施例21のためには、ボトムアップ対流加熱を用いて液体を加熱するが、ここで加熱器は115℃の温度にある。300mmのウエハー由来のクーポン(3.7cm×3.7cm×0.775mm)を、2.7mLの容積を有するウェルを伴うステンレス鋼製ホルダーの内部に設置する。1.8mLのDMSOを使用してクーポンを被覆し、結果としてクーポンの上面におよそ2mmの厚みのDMSOが得られる。ホルダーは加熱器の上面に直接設置される。図5は、クーポンホルダー内部で測定された液体温度を示す。平均初期加熱速度は、最初の40秒間は1.5℃/秒である。最後の420秒間にわたる平均温度および幅は、それぞれ108.8℃および3.3℃である。
実施例21のためには、ボトムアップ対流加熱を用いて液体を加熱するが、ここで加熱器は115℃の温度にある。300mmのウエハー由来のクーポン(3.7cm×3.7cm×0.775mm)を、2.7mLの容積を有するウェルを伴うステンレス鋼製ホルダーの内部に設置する。1.8mLのDMSOを使用してクーポンを被覆し、結果としてクーポンの上面におよそ2mmの厚みのDMSOが得られる。ホルダーは加熱器の上面に直接設置される。図5は、クーポンホルダー内部で測定された液体温度を示す。平均初期加熱速度は、最初の40秒間は1.5℃/秒である。最後の420秒間にわたる平均温度および幅は、それぞれ108.8℃および3.3℃である。
実施例22のためには、トップダウン対流加熱を用いて、ウエハー上で液体を加熱する。ベンチトップ上に裸の200mmのSiウエハーを設置し、50mLの剥離用組成物で被覆する。剥離用組成物は、45wt%のn−メチルピロリドン、11.25wt%の水酸化テトラメチルアンモニウム五水和物、33.75wt%のジエチレングリコール、10wt%の5−ソジオスルホイソフタル酸のジエチレングリコールジエステルである。赤外線は、中波炭素エミッタの線形アレイにより提供される。IRエミッタは、ウエハーの表面から75mm上に置かれた。ウエハー上の液体を照射し加熱するために、IRエミッタに電力を供給する。液体温度を測定し、これを用いて、目標における150℃の液体温度を維持するためPIDコントローラーを使用してIR出力を制御する。図6は、ウエハーの中心において測定された液体温度を示す。最初の10秒についての平均初期加熱速度は10.6℃/秒である。最後の285秒間にわたる平均温度および幅は、それぞれ149.7℃と7.9℃である。
Claims (31)
- − 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側を一定の厚みまで溶液でコーティングし、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップであって、溶液が有機塩基および1000パートパーミリオン(ppm)未満のスルホン化ポリマー、スルホン化モノマーまたはその両方を含んでいるステップと;
− 基板の第1の側上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。 - 溶液が極性溶媒を含む、請求項1に記載の方法。
- 溶液が、スルホン化ポリマーおよびスルホン化モノマーを含まない、請求項1に記載の方法。
- 溶液が、その総重量に基づいて0.5wt%〜99wt%の有機塩基を含む、請求項1に記載の方法。
- 物質が、化学線に曝露されたネガ型フォトレジストまたはポジ型フォトレジストを含む、請求項1に記載の方法。
- 溶液の厚みと基板の少なくとも一部分上の物質の厚みの比率が6:1超である、請求項1に記載の方法。
- プラズマエッチプロセスを用いて基板の表面上にフィーチャーを形成するステップをさらに含み、プラズマエッチプロセスに応答して基板上に残渣が形成され、物質が残渣を含む、請求項1に記載の方法。
- 基板の第1の側上の物質の厚みが0.2マイクロメートル〜150マイクロメートルの範囲内にある、請求項1に記載の方法。
- 物質と溶液を接触させるステップには、基板を保持するプロセスボウル内に溶液を分配するステップが含まれ、さらに、基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な時間、充分な温度まで溶液、基板またはその両方を加熱するステップをさらに含み、基板の第1の側から物質の少なくとも一部分を放出するのに充分な時間、充分な温度まで溶液と基板の接触後に溶液、基板またはその両方が加熱される、請求項1に記載の方法。
- 加熱持続時間が、プロセスボウル内への溶液の分配後20秒〜20分間の範囲内にある、請求項9に記載の方法。
- − 第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側を含む基板を提供するステップであって、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されているステップと;
− 物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が第2の厚みまで溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まず、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップであって、第2の厚みが1mmより大きく、第2の厚みの第1の厚みに対する比率が6:1超であるステップと;
− 基板の第1の側の上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板の第1の側を洗い流すステップと;
を含む方法。 - 基板の第2の側の90%超が溶液を含まない、請求項11に記載の方法。
- 物質の少なくとも95%が基板から除去される、請求項11に記載の方法。
- 第2の厚みと第1の厚みの比率が8:1〜1000:1の範囲内にある、請求項11に記載の方法。
- − プロセスボウルを含む器具内に基板を設置し、基板がプロセスボウル内に保持されるようにするステップであって、基板が第1の側と第1の側に対して実質的に平行な第2の側を含み、物質が基板の第1の側の少なくとも一部分の上に配置されているステップと;
− 基板を器具内に設置した後プロセスボウル内に溶液を分配することにより物質と溶液を接触させて、基板の第1の側が溶液でコーティングされ、基板の第2の側の少なくとも一部分が溶液を含まないようにするステップと;
− プロセスボウル内に溶液を分配した後に溶液、基板またはその両方を20秒〜20分間の範囲内の持続時間にわたり加熱して、物質の少なくとも一部分が基板の第1の側から放出されるようにするステップと;
− 基板上の一定体積の溶液および基板の第1の側から放出された物質の少なくとも一部分を除去するのに充分な体積のリンス剤で、基板を洗い流すステップと;
を含む方法。 - 溶液、基板またはその両方が、出発温度から目標温度まで加熱され、出発温度と目標温度との間の差が少なくとも20℃である、請求項15に記載の方法。
- 溶液、基板またはその両方の加熱ステップには、溶液、基板またはその両方の目標温度が達成され、熱源の温度が目標温度よりも50℃〜200℃高くなるまで、溶液、基板またはその両方から規定の距離内に熱源を設置するステップが含まれる、請求項15に記載の方法。
- 基板が第1の基板であり、基板の少なくとも一部分の上に配置された物質が第1の物質であり、溶液が第1の溶液であり、さらに、
− 器具から第1の基板を除去した後で器具内に第2の基板を設置するステップであって、第2の基板が第1の側と第1の側に対して実質的に平行である第2の側とを含み、第2の物質が第2の基板の第1の側の少なくとも一部分の上に第1の厚みまで配置されているステップと;
− 第2の溶液の新鮮な体積をプロセスボウル内に分配して、第2の基板の第1の側が第2の厚みまで第2の溶液でコーティングされ、第2の基板の第2の側の少なくとも一部分が第2の溶液を含まず、第2の物質の少なくとも一部分が第2の基板の第1の側から放出されるようにするステップと、
を含む、請求項15に記載の方法。 - 第2の溶液が第1の溶液と実質的に同じであり、第2の物質が第1の物質と実質的に同じである、請求項18に記載の方法。
- 第1の基板が第1の溶液で第1の厚みまでコーティングされ、第2の基板が第2の溶液で第2の厚みまでコーティングされ、第1の厚みが第2の厚みと異なる、請求項19に記載の方法。
- 基板から物質を除去するための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板の第1の側と剥離用組成物とを、基板の第1の側の少なくとも一部分をコーティングするのに充分な厚みまで、物質を放出するのに充分な時間、接触させるステップと;
c.機械的力、音波力または電気力を通して基板を撹拌して、剥離用組成物および放出された物質を実質的に除去するステップと;
を含み、前記第2の側の少なくとも一部分が剥離用組成物に対し曝露されていない、方法。 - − 基板を洗い流し乾燥させるステップ;
をさらに含む、請求項21に記載の方法。 - 剥離用組成物の厚みが約0.5mm〜約5.0mmである、請求項21に記載の方法。
- 基板がa.〜c.のうちの少なくとも1つの追加のサイクルに付され、少なくとも1つの追加のサイクル内では新鮮な剥離用組成物が使用される、請求項21に記載の方法。
- 前記撹拌ステップがスピニングを介するものである、請求項21に記載の方法。
- 基板が剥離用組成物でのコーティングの前に予熱される、請求項21に記載の方法。
- 基板を洗い流すための方法において、
a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液または酸水溶液と基板の第1の側とを接触させるステップと;
d.基板から前記塩基水溶液または酸水溶液を除去するのに有効であるリンス剤と基板の第1の側とを接触させるステップと;
e.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、a.〜e.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が塩基水溶液組成物に曝露されていない、方法。 - 基板の第1の側と塩基水溶液とを接触させるステップを含む、請求項27に記載の方法。
- 基板の第1の側と酸性水溶液とを接触させるステップを含む、請求項27に記載の方法。
- a.物質が上に配置されている第1の側と第2の側とを有する基板を提供するステップと;
b.基板から物質を除去するステップと;
c.塩基水溶液と基板とを接触させるステップと;
d.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
e.酸水溶液と基板とを接触させるステップと;
f.リンス剤と基板とを接触させるステップと;
g.前記基板を乾燥させるステップと;
を含み、少なくともc.〜g.が単一のボウル内で行なわれ、前記第2の側の少なくとも一部分が、塩基水溶液または酸水溶液組成物に曝露されていない、請求項27に記載の方法。 - 少なくともa.〜g.が単一のボウル内で行なわれる、請求項27に記載の方法。
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Cited By (1)
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