JP2016225264A - ストリーマ放電装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のストリーマ放電装置10は、円筒11の内部に少なくとも1個の三角形状の平型放電体13が設けられ、三角形状の平型放電体13は、平面を円筒11の円周面と並行とし三角形状の先端を円筒11の中心からの放射方向に配置し、三角形状の先端の縦方向の線状部を放電部13aとすることとした。
【選択図】図1
Description
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ストリーマ放電の安定性を確保するとともに、さらに安定放電の持続性をも確保するストリーマ放電装置を提供することを目的とする。
また、前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の線状部を放電部とすることとした。
また、前記三角形状の平型放電体の先端の前記放電部を研磨する放電部研磨ユニットを設け、前記放電部研磨ユニットは、前記放電部が前記円筒の内側に沿って回転するとき当接する研磨材と、前記研磨材を前記放電部に当接させる圧力材とを設けることとした。
また、前記円筒の内部を研磨すると共に清掃する清掃ユニットを設け、前記清掃ユニットは、前記放電部が前記円筒の内側に沿って回転するとき、前記円筒の内側に当接し前記円筒の内部に沿って移動する清掃板を設けることとした。
また、前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の半円筒部を放電部とすることとした。
さらに、前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の平面部を放電部とすることとした。
また、前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の線状部を放電部とすることとしたため、ストリーマ放電の安定性を確実に確保するとともに、さらに安定放電の持続性をもより確実に確保することができる。
また、前記三角形状の平型放電体の先端の前記放電部を研磨する放電部研磨ユニットを設け、前記放電部研磨ユニットは、前記放電部が前記円筒の内側に沿って回転するとき当接する研磨材と、前記研磨材を前記放電部に当接させる圧力材とを設けることとしたため、安定放電の持続性をもより確実に確保することができる。
また、前記円筒の内部を研磨すると共に清掃する清掃ユニットを設け、前記清掃ユニットは、前記放電部が前記円筒の内側に沿って回転するとき、前記円筒の内側に当接し前記円筒の内部に沿って移動する清掃板を設けることとしため、安定放電の持続性をもより確実に確保することができる。
また、前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の半円筒部を放電部とすることとしたため、ストリーマ放電の安定性を確実に確保するとともに、さらに安定放電の持続性をもより確実に確保することができる。
さらに、前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の平面部を放電部とすることとしたため、ストリーマ放電の安定性を確実に確保するとともに、さらに安定放電の持続性をもより確実に確保することができる。
図1(a)、図1(b)に示すように、本発明の第1の実施の形態のストリーマ放電装置10は、円筒11と、円筒11の内部に設けられ先端が円筒11の内側に向け放射状に配置された三角形状の平型放電体13とにより構成されている。
三角形状の平型放電体13は、放電体ホルダー12の外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられている。そのため、放電体ホルダー12の外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられた三角形状の平型放電体13の先端は同一円周上に配置されている。
三角形状の平型放電体13は、図1に示す円筒11の内部に放電体ホルダー12の外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられ、先端は同一円周上に配置され、平面を円筒11の円周面と並行とし先端を円筒11の中心方向から円筒11の内側に向け放射状に複数配置している。
また、三角形状の平型放電体13は、円筒11の中心方向から内側に向けた平面の先端を角形状とし縦方向の線状部を放電部13aとしている。
そのため、三角形状の平型放電体13の平面の先端を角形状としているため、互いに干渉することなく三角形状の平型放電体13の平面の先端から円筒11の内側に向け放電され、ストリーマ放電の安定性をより確実に確保し、さらに、先端の縦方向の線状部を放電部13aとしているため、放電による損傷を防ぎ安定放電の持続性をも確保することができる。
なお、外周に沿って同一の間隔で放射状に三角形状の平型放電体13が複数設けられた放電体ホルダー12は複数設置することもできる。
図3(a)、図3(b)に示すように、本発明の第2の実施の形態のストリーマ放電装置30は、円筒31と、円筒31の内部に設けられ先端が円筒31の内側に向け放射状に配置された三角形状の平型放電体33a、33b、33cと、放電部研磨ユニット40と、円筒31の内側を掃除する掃除ユニット50とにより構成されている。
三角形状の平型放電体33aは、第1の放電体ホルダー32aの外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられ、三角形状の平型放電体33bは、第2の放電体ホルダー32bの外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられ、三角形状の平型放電体33cは、第3の放電体ホルダー32cの外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられている。そのため、第1の放電体ホルダー32aと、第2の放電体ホルダー32bと、第3の放電体ホルダー32cとにそれぞれ外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられた三角形状の平型放電体33a、33b、33cの先端はそれぞれ同一円周上に配置されている。
シャフト34は回転駆動部39により回転力が与えられ、シャフト34の回転駆動により第1の放電体ホルダー32aと、第2の放電体ホルダー32bと、第3の放電体ホルダー32cとが回転する。
掃除板52は、弾性のバネ材で板状に形成され、垂直方向の一方の端部側が上部支持部51aと下部支持部51bに開口力が与えられ取り付けられている。
第1の放電体ホルダー32aが矢印Kに示すように回転すると先端の放電部35aも回転し、放電部研磨ユニット40は、第1の研磨材41aがバネ構造の第1の圧力材42aにより円筒31の内側に押圧され三角形状の平型放電体33aの先端の放電部35aに当接状況となる。そのため、第1の放電体ホルダー32aの回転により、順次三角形状の平型放電体33aの先端の放電部35aが研磨材41aに当接し研磨が連続的に行われる。
また、第2の放電体ホルダー32bと第3の放電体ホルダー32cも同時に回転し、同様に順次三角形状の平型放電体33b、33cの先端の放電部35b、35cも研磨が連続的に行はれる。
放電体ホルダー32a、32b、32cが矢印Kに示すように回転し、開口した掃除板52が研磨材41a、41b、41cに当接しても、掃除板52は、バネ材で形成されているため閉口するとともに、研磨材41a、41b、41cを外側に押し込み、通過することができ、掃除ユニット50により連続的に円筒31の内側を的確に掃除するとともに研磨することができる。
この状態を防止するため、三角形状の平型放電体の先端の放電部を研磨することとした。また、三角形状の平型放電体の対極に当たる円筒の内側が汚れると全体の放電量が低下し安定性を確保することができなくなり、この防止のため、掃除ユニット50により円筒の内側を研磨するとともに清掃することとした。
三角形状の平型放電体113は、図1に示す円筒11の内部に放電体ホルダー12の外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられ、三角形状の平型放電体113の先端は同一円周上に配置され、平面を円筒11の円周面と並行とし三角形状の先端を円筒11の中心方向から円筒11の内側に向け放射状に複数配置している。
また、三角形状の平型放電体113は、円筒11の中心方向から内側に向けた平面の先端を半円形状とし縦方向の半円筒部を放電部113aとしている。
そのため、三角形状の平型放電体113の平面の先端を半円形状としているため、互いに干渉することなく三角形状の平型放電体113の平面の先端から円筒11の内側に向け放電され、ストリーマ放電の安定性をより確実に確保し、さらに、縦方向の半円筒部を放電部113aとしているとしているため、放電による損傷をより効果的に防ぎ安定放電の持続性をも確保することができる。
三角形状の平型放電体213は、図1に示す円筒11の内部に放電体ホルダー12の外周に沿って同一の間隔で放射状に複数設けられ、三角形状の平型放電体213の先端は同一円周上に配置され、平面を円筒11の円周面と並行とし三角形状の先端を円筒11の中心方向から円筒11の内側に向け放射状に複数配置している。
また、三角形状の平型放電体213は、円筒11の中心方向から内側に向けた平面の先端を直線状とし縦方向の平面部を放電部213aとしている。
三角形状の平型放電体213の平面の先端を直線状としているため、互いに干渉することなく三角形状の平型放電体213の平面の先端から円筒11の内側に向け放電され、ストリーマ放電の安定性をより確実に確保し、さらに、縦方向の平面部を放電部213aとしているとしているため、放電による損傷をより効果的に防ぎ安定放電の持続性をも確保することができる。
なお、上記の実施例で三角形状の平型放電体は複数設けることとしたが、少なくとも1個設けるようにすることもできる。
11、31 円筒
12、32a、32b、32c 放電体ホルダー
13、33a、33b、33c、113、213 三角形状の平型放電体
14、34 シャフト
40 放電部研磨ユニット
41a、41b、41c 研磨材
42a、42b、42c 圧力材
50 掃除ユニット
51a 上部支持部
51b 下部支持部
52 掃除板
Claims (6)
- 円筒の内部に少なくとも1個の三角形状の平型放電体が設けられ、前記三角形状の平型放電体は、平面を前記円筒の円周面と並行とし前記三角形状の先端を前記円筒の中心からの放射方向に配置したことを特徴とするストリーマ放電装置。
- 前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の線状部を放電部とすることを特徴とする請求項1に記載のストリーマ放電装置。
- 前記三角形状の平型放電体の先端の前記放電部を研磨する放電部研磨ユニットを設け、前記放電部研磨ユニットは、前記放電部が前記円筒の内側に沿って回転するとき当接する研磨材と、前記研磨材を前記放電部に当接させる圧力材とを設けることを特徴とする請求項2に記載のストリーマ放電装置。
- 前記円筒の内部を研磨すると共に清掃する清掃ユニットを設け、前記清掃ユニットは、前記放電部が前記円筒の内側に沿って回転するとき、前記円筒の内側に当接し前記円筒の内部に沿って移動する清掃板を設けることを特徴とする請求項2に記載のストリーマ放電装置。
- 前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の半円筒部を放電部とすることを特徴とする請求項1に記載のストリーマ放電装置。
- 前記三角形状の平型放電体は、前記三角形状の先端の縦方向の平面部を放電部とすることを特徴とする請求項1に記載のストリーマ放電装置。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005052832A (ja) * | 2003-08-05 | 2005-03-03 | Fleetguard Inc | 静電集塵器のためのコロナ放電電極組立体 |
JP2005080835A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気浄化装置 |
JP2005116202A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Daikin Ind Ltd | 放電装置及び空気浄化装置 |
JP2007330897A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Calsonic Kansei Corp | 放電リアクターの内部電極製造方法 |
JP2011098329A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Tds:Kk | 酸化物質の発生を目的とした直流高出力ストリーマ放電装置 |
WO2014204310A1 (en) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | Virus Free Air B.V. | Gas flow cleaning device |
-
2015
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005052832A (ja) * | 2003-08-05 | 2005-03-03 | Fleetguard Inc | 静電集塵器のためのコロナ放電電極組立体 |
JP2005080835A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 空気浄化装置 |
JP2005116202A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Daikin Ind Ltd | 放電装置及び空気浄化装置 |
JP2007330897A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Calsonic Kansei Corp | 放電リアクターの内部電極製造方法 |
JP2011098329A (ja) * | 2009-11-06 | 2011-05-19 | Tds:Kk | 酸化物質の発生を目的とした直流高出力ストリーマ放電装置 |
WO2014204310A1 (en) * | 2013-06-19 | 2014-12-24 | Virus Free Air B.V. | Gas flow cleaning device |
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