JP2016224311A - ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】位置検出精度の点で有利なステージ装置を提供する。【解決手段】真空チャンバ5内に配置され、対象物を保持して移動可能な可動ステージ21と、可動ステージ21の位置を計測する干渉計ユニット3とを備えるステージ装置であって、計測の基準となる基準部を真空チャンバ5内に備え、干渉計ユニット3は、光源31と、光源からの出射光を真空チャンバ5内に通すための導光部材32と、真空チャンバ5内に配置される光学系部材34と、連結部材33とを有し、連結部材33は、導光部材32および光学系部材34を内蔵し、出射光が可動ステージ21に照射されるように形成された光路を備え、真空チャンバ5に設けられた開口部を貫通して配置された連結部材33により、干渉計ユニット3と基準部とが連結して一体で構成される。【選択図】図1
Description
本発明は、ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法に関する。
荷電粒子線またはX線を対象物(基板など)へ照射することで微細パターンの形成または検査を行うリソグラフィ装置として、荷電粒子線描画装置やX線露光装置がある。荷電粒子線等は大気中で減衰するため、真空環境下で使用する必要がある。したがって、上記リソグラフィ装置は、真空チャンバを含んで構成され、対象物を保持して移動可能な可動ステージを真空チャンバ内に備える。微細パターンの形成等のためには、可動ステージの位置を高精度に検出して制御する必要がある。
一般的に真空チャンバ内の可動ステージの位置は、真空チャンバの内壁に固定されたレーザー干渉計を用いて検出される。ここで、真空チャンバは、その内部を減圧して真空にする際、外部と内部との差圧により変形することがある。変形に伴い、レーザー干渉計から可動ステージに照射するレーザーの光軸がずれて可動ステージの位置を高精度に検出することが困難になる。これに対し、特許文献1は、予め取得しておいた真空チャンバ外の気圧と位置検出誤差との関係と、真空チャンバ外の気圧の計測結果と、に基づきレーザー干渉計による検出値を補正する回路パターン装置を開示している。
ここで、特許文献1における補正は、真空チャンバの変形量が真空チャンバ外の気圧により一意に決まることを前提としている。しかしながら、通常、真空チャンバの変形量に再現性はない。したがって、特許文献1における補正は十分でないことがありうる。また、真空チャンバの変形量によっては、レーザー干渉計による位置検出が不可能となる場合もありうる。この場合、特許文献1の回路パターン装置では検出値の補正が困難となる。真空チャンバの変形量を抑えるためには、真空チャンバを構成する部材に高剛性の材料を用いたり、真空チャンバの壁を厚くしたりする方法が考えられる。しかし、これら方法ではコストや装置重量の面で不利となりうる。
本発明は、例えば、位置検出精度の点で有利なステージ装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、真空チャンバ内に配置され、対象物を保持して移動可能な可動ステージと、可動ステージの位置を計測する干渉計ユニットとを備えるステージ装置であって、計測の基準となる基準部を真空チャンバ内に備え、干渉計ユニットは、光源と、光源からの出射光を真空チャンバ内に通すための導光部材と、真空チャンバ内に配置される干渉計と、連結部材とを有し、連結部材は、導光部材および干渉計を内蔵し、出射光が可動ステージに照射されるように形成された光路を備え、真空チャンバに設けられた開口部を貫通して配置された連結部材により、干渉計ユニットと基準部とが連結して一体で構成されることを特徴とする。
本発明によれば、例えば、位置検出精度の点で有利なステージ装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。
(第1実施形態)
まず、本発明の一実施形態に係るステージ装置と、このステージ装置を備える荷電粒子線描画装置(電子線描画装置)の構成について説明する。図1は本実施形態に係る電子線描画装置の構成を示す概略図である。電子線描画装置100は、電子光学鏡筒(投影系)1と、対象物(不図示)を保持して移動可能なステージ(可動ステージ)2および干渉計ユニット3を備えたステージ装置と、可動ステージ2を保持する定盤4と、真空チャンバ5とを備える。投影系1は、真空チャンバ5の上壁に設けられた開口部を貫通して配置されている。ステージ2は、微動ステージ21、X方向に移動可能なXステージ22およびY方向に移動可能なYステージ23を含む。干渉計ユニット3は、光源31、導光部材(透過ガラス)32、連結部材33および光学系部材34を含む。定盤4は、真空チャンバ5の底部に備えられたZ軸駆動機構6により支持されている。真空チャンバ5は、底部隔壁、側部隔壁及び上部隔壁を含む隔壁により大気雰囲気から対象物(不図示)を処理するための内部空間を仕切っている。また、真空チャンバ5は、床からの振動を絶縁するための除振マウント7により支持されている。なお、以下の各図では、鉛直方向にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。
まず、本発明の一実施形態に係るステージ装置と、このステージ装置を備える荷電粒子線描画装置(電子線描画装置)の構成について説明する。図1は本実施形態に係る電子線描画装置の構成を示す概略図である。電子線描画装置100は、電子光学鏡筒(投影系)1と、対象物(不図示)を保持して移動可能なステージ(可動ステージ)2および干渉計ユニット3を備えたステージ装置と、可動ステージ2を保持する定盤4と、真空チャンバ5とを備える。投影系1は、真空チャンバ5の上壁に設けられた開口部を貫通して配置されている。ステージ2は、微動ステージ21、X方向に移動可能なXステージ22およびY方向に移動可能なYステージ23を含む。干渉計ユニット3は、光源31、導光部材(透過ガラス)32、連結部材33および光学系部材34を含む。定盤4は、真空チャンバ5の底部に備えられたZ軸駆動機構6により支持されている。真空チャンバ5は、底部隔壁、側部隔壁及び上部隔壁を含む隔壁により大気雰囲気から対象物(不図示)を処理するための内部空間を仕切っている。また、真空チャンバ5は、床からの振動を絶縁するための除振マウント7により支持されている。なお、以下の各図では、鉛直方向にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。
連結部材33には、導光部材32および干渉計34が内蔵され、また、光源31からの出射光が通過する光路(空洞)を有する。干渉計ユニット3は、真空チャンバ5の内外を隔てる導光部材32を介して、真空チャンバ5の外から内へ光を導光する。連結部材33は、真空チャンバ5の上部隔壁に設けられた開口部を貫通して、干渉計ユニット3の計測の基準(基準部)となる定盤4と連結されている。
電子線描画装置100は、さらにベローズBLを備える。ベローズBLは、真空内外の圧力差(真空負圧)による真空チャンバ5の変形が連結部材33に伝わらないように低い剛性で真空チャンバ5と連結部材33とを連結するとともに、真空チャンバ5内の気密を保持している。
一般的に、光学系部材34は多軸で微動ステージ21を制御する。そこで、光学系部材34に含まれる反射ミラーのうち、導光部材32を透過した第一の出射光を受ける反射ミラーは連結部材33に固定されるが、その他の反射ミラー等は、計測の基準となる定盤4上に配置されていても良い。
従来の電子線描画装置では、図1で示した光源31、導光部材32および光学系部材34が真空チャンバに取り付けられており、真空チャンバの変形に伴い、各部材の位置関係が変動してしまっていた。そこで、本実施形態における電子線描画装置100は、干渉計ユニット3と基準部である定盤4とを連結部材33により連結して一体で構成している。この構成により、光源31、導光部材32および光学系部材34の位置関係は、真空チャンバ5の変形の影響を受けず、干渉計ユニット3からの出射光の光軸ずれ量を低減させることが可能である。また、図2に示すように導光部材32が負圧により変形が生じる(凹む)場合もありうる。これに対応するため、連結部材33を通過する光軸Aと導光部材32の中心とを合わせるように各部材を構成することが好ましい。
以上のように、本実施形態によれば、位置検出精度の点で有利なステージ装置を提供することができる。また、本実施形態に係るステージ装置を備えるリソグラフィ装置によれば、対象物の位置を高精度に検出できるため、高精度にパターンを形成し得る。
(第2実施形態)
図3は、本実施形態に係る電子線描画装置200の構成を示す概略図である。電子線描画装置200の構成は、第1実施形態と同様であるが、連結部材33が、第1の連結部33−1および第2の連結部33−2の二つの部材に分割されている点が異なる。この構成により、連結部材33−2を定盤4に連結した後に連結部材33−1を連結部材33−2に締結することで、光源31からの出射光の軸調整の煩雑さを増すことなく、装置の組立性向上することができる。このような構成を有する電子線描画装置によっても、第1実施形態と同様の効果を奏する。
図3は、本実施形態に係る電子線描画装置200の構成を示す概略図である。電子線描画装置200の構成は、第1実施形態と同様であるが、連結部材33が、第1の連結部33−1および第2の連結部33−2の二つの部材に分割されている点が異なる。この構成により、連結部材33−2を定盤4に連結した後に連結部材33−1を連結部材33−2に締結することで、光源31からの出射光の軸調整の煩雑さを増すことなく、装置の組立性向上することができる。このような構成を有する電子線描画装置によっても、第1実施形態と同様の効果を奏する。
(第3実施形態)
図4は、本実施形態に係る電子線描画装置300の構成を示す概略図である。第1および第2実施形態の構成と異なる点は、真空チャンバ5の連結部材33が貫通する開口部と対向する位置に同面積の開口部OPが設けられ、定盤4と開口部OPとの間にベローズBL2を備える点である。第1実施形態の電子線描画装置100においては、連結部材33が貫通する開口部により、その開口面積に相当する大気圧による力が連結部材33を介して定盤4に鉛直下向きにかかる。この力により、定盤4も変形しうる。これに対し、本実施形態では、真空チャンバ上部に形成された開口部と同面積の開口部OPを備えることで、実質等価な大きさの鉛直上向きの力を定盤4の下部から作用させている。つまり、定盤4にかかる鉛直下向きの圧力と鉛直上向きの圧力とが同程度となり、定盤4に対し、その上下方向からかかる力がつりあい、定盤4の変形が抑えられる。このような構成を有する電子線描画装置によっても、第1実施形態および第2実施形態と同様の効果を奏する。
図4は、本実施形態に係る電子線描画装置300の構成を示す概略図である。第1および第2実施形態の構成と異なる点は、真空チャンバ5の連結部材33が貫通する開口部と対向する位置に同面積の開口部OPが設けられ、定盤4と開口部OPとの間にベローズBL2を備える点である。第1実施形態の電子線描画装置100においては、連結部材33が貫通する開口部により、その開口面積に相当する大気圧による力が連結部材33を介して定盤4に鉛直下向きにかかる。この力により、定盤4も変形しうる。これに対し、本実施形態では、真空チャンバ上部に形成された開口部と同面積の開口部OPを備えることで、実質等価な大きさの鉛直上向きの力を定盤4の下部から作用させている。つまり、定盤4にかかる鉛直下向きの圧力と鉛直上向きの圧力とが同程度となり、定盤4に対し、その上下方向からかかる力がつりあい、定盤4の変形が抑えられる。このような構成を有する電子線描画装置によっても、第1実施形態および第2実施形態と同様の効果を奏する。
(第4実施形態)
図5は、本実施形態に係る電子線描画装置400の構成を示す概略図である。第1〜第3実施形態の構成と異なる点は、投影系1を計測の基準(基準部)として、干渉計ユニット3と投影系1とを第2連結部材8により連結して一体の構成としている点である。第2連結部材8は、投影系1からXY平面に平行な方向に延伸しており、また、連結部材33の一部が挿入され、固定されるように形成された開口部OP2を備えている。本実施形態では、真空チャンバ5が負圧により変形して、投影系1の位置が変動しても、上記構成により干渉計ユニット3と投影系1との位置関係に変化は生じない。このような構成を有する電子線描画装置によっても、第1〜第3実施形態および第2実施形態と同様の効果を奏する。
図5は、本実施形態に係る電子線描画装置400の構成を示す概略図である。第1〜第3実施形態の構成と異なる点は、投影系1を計測の基準(基準部)として、干渉計ユニット3と投影系1とを第2連結部材8により連結して一体の構成としている点である。第2連結部材8は、投影系1からXY平面に平行な方向に延伸しており、また、連結部材33の一部が挿入され、固定されるように形成された開口部OP2を備えている。本実施形態では、真空チャンバ5が負圧により変形して、投影系1の位置が変動しても、上記構成により干渉計ユニット3と投影系1との位置関係に変化は生じない。このような構成を有する電子線描画装置によっても、第1〜第3実施形態および第2実施形態と同様の効果を奏する。
上記の説明では、リソグラフィ装置として電子線描画装置の例を説明したが、リソグラフィ装置は、それに限らず、真空内で対象物を処理するX線露光装置など他のリソグラフィ装置であってもよい。例えば、EUV光の照射により基板上にレジストの潜像パターンを形成するリソグラフィ装置にも適用できる。さらに、基板ステージではなく、マスクステージの位置計測用の干渉計にも適用できる。
(物品の製造方法)
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。該製造方法は、感光剤が塗布された基板の該感光剤に上記のリソグラフィ装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板に描画を行う工程)と、該工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含みうる。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。該製造方法は、感光剤が塗布された基板の該感光剤に上記のリソグラフィ装置を用いて潜像パターンを形成する工程(基板に描画を行う工程)と、該工程で潜像パターンが形成された基板を現像する工程とを含みうる。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。
1 電子光学鏡筒(投影系)
2 可動ステージ
21 微動ステージ
22 Xステージ
23 Yステージ
3 干渉計ユニット
31 光源
32 導光部材(透過ガラス)
33 連結部材
34 干渉計
4 定盤
5 真空チャンバ
2 可動ステージ
21 微動ステージ
22 Xステージ
23 Yステージ
3 干渉計ユニット
31 光源
32 導光部材(透過ガラス)
33 連結部材
34 干渉計
4 定盤
5 真空チャンバ
Claims (6)
- 真空チャンバ内に配置され、対象物を保持して移動可能な可動ステージと、前記可動ステージの位置を計測する干渉計ユニットとを備えるステージ装置であって、
前記計測の基準となる基準部を前記真空チャンバ内に備え、
前記干渉計ユニットは、光源と、前記光源からの出射光を前記真空チャンバ内に通すための導光部材と、前記真空チャンバ内に配置される干渉計と、連結部材とを有し、
前記連結部材は、前記導光部材および前記干渉計を内蔵し、前記出射光が前記可動ステージに照射されるように形成された光路を備え、
前記真空チャンバに設けられた開口部を貫通して配置された前記連結部材により、前記干渉計ユニットと前記基準部とが連結して一体で構成されることを特徴とするステージ装置。 - 前記基準部は、前記可動ステージを保持する定盤であることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記連結部材は、前記光源が固定される第1の連結部および、前記基準部と連結される第2の連結部を有することを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記真空チャンバには、前記開口部と対向する位置に前記開口部と同面積の開口部がさらに設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のステージ装置。
- パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
請求項1ないし4のいずれか1項に記載のステージ装置を備える、
ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項5に記載のリソグラフィ装置を用いて基板上に潜像パターンを形成する工程と、
前記工程で潜像パターンの形成された基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015111510A JP2016224311A (ja) | 2015-06-01 | 2015-06-01 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
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Publications (1)
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ID=57748663
Family Applications (1)
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JP2015111510A Pending JP2016224311A (ja) | 2015-06-01 | 2015-06-01 | ステージ装置、リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
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Country | Link |
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- 2015-06-01 JP JP2015111510A patent/JP2016224311A/ja active Pending
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