JP2016218012A - 圧力検出装置 - Google Patents

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大晃 三輪
篤史 本田
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【課題】圧電素子を挟む電極同士のショートを防止し、かつ、圧電素子の割れを防止することができる圧力センサを提供する。【解決手段】圧電素子210の第1受圧面211及び第2受圧面212は、全体が球面である。第1電極240の第1接触面241は、圧電素子210の第1受圧面211に対応して隙間無く接触するように形成された球面である。第2電極250の第2接触面251は、圧電素子210の第2受圧面212に対応して隙間無く接触するように形成された球面である。第1電極240から圧電素子210に伝わる荷重の荷重印加方向に対して垂直な方向において、第1電極240の外径サイズをAとし、第2電極250の外径サイズをBとし、圧電素子210の外径サイズをCと定義する。そして、圧電素子210、第1電極240、及び第2電極250は、A>B>Cの関係を満たすようにそれぞれ形成されている。【選択図】図1

Description

本発明は、圧電素子に掛かる荷重に基づいて圧力を検出する圧力検出装置に関する。
従来より、圧力媒体の荷重が圧電素子に印加されることで圧力媒体の圧力を検出するように構成された圧力センサが、例えば特許文献1で提案されている。圧電素子は、主面とこの主面とは反対側の主面との両面が外側に凸の球面として形成されている。また、各主面上には電極がそれぞれ形成されている。
さらに、圧電素子は、電極としても機能する台座によって挟まれている。そして、各台座は、圧電素子に対する荷重印加方向に対して垂直な方向におけるサイズが圧電素子と同じサイズになっている。
特開2010−197192号公報
ここで、上述の圧電素子及び各台座は中空筒状のケースに収容され、一方の台座がケースと同電位とされる。もしくは、一方の台座がケースの一部すなわち有底筒状のケースの底部として構成されることで圧電素子及び他方の台座がケースに収容される。この組み付け時に他方の台座はケースに接触しないようにケースに収容される。これにより、一方の台座から圧電素子に荷重が伝わると、圧電素子の各主面の間に加わる荷重によって圧電素子に電荷が生じる。したがって、この電荷を各台座で集めることで荷重を測定することが可能になっている。
しかしながら、上記従来の技術では、ケースに対する圧電素子及び他方の台座の組み付け時に軸ずれが発生した場合、他方の台座がケースの内壁面に接触してしまう可能性がある。これにより、台座同士がショートしてしまい、圧電素子の特性が低下してしまうという問題がある。
また、圧電素子に対する荷重印加方向に対して垂直な方向における圧電素子と各台座のサイズが同じになっているので、圧電素子と各台座との軸ずれによって台座が圧電素子の主面の一部を押さえつける可能性がある。このため、圧電素子に局所応力が掛かってしまい、圧電素子が割れてしまうという問題がある。
本発明は上記点に鑑み、圧電素子を挟む電極同士のショートを防止し、かつ、圧電素子の割れを防止することができる圧力センサを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、中空筒状のケース(230)を備えている。また、ケース(230)に収容され、第1受圧面(211)と、第1受圧面(211)とは反対側の第2受圧面(212)と、を有し、第1受圧面(211)と第2受圧面(212)との間に印加される荷重に基づいて発生する電荷を出力する圧電素子(210)を備えている。
また、ケース(230)と同電位とされ、圧電素子(210)の第1受圧面(211)に接触する第1接触面(241)を有し、荷重を圧電素子(210)に伝える第1電極(240)を備えている。さらに、ケース(230)の内壁面(234)から離間するようにケース(230)に収容され、圧電素子(210)の第2受圧面(212)に接触する第2接触面(251)を有し、圧電素子(210)に発生した電荷に対応した電気信号を出力する第2電極(250)を備えている。
そして、圧電素子(210)の第1受圧面(211)及び第2受圧面(212)は、全体が球面である。第1電極(240)の第1接触面(241)は、圧電素子(210)の第1受圧面(211)に対応して隙間無く接触するように形成された球面である。第2電極(250)の第2接触面(251)は、圧電素子(210)の第2受圧面(212)に対応して隙間無く接触するように形成された球面である。
さらに、第1電極(240)から圧電素子(210)に伝わる荷重の荷重印加方向に対して垂直な方向において、第1電極(240)の外径サイズをAとし、第2電極(250)の外径サイズをBとし、圧電素子(210)の外径サイズをCとすると、A>B>Cの関係を満たすように圧電素子(210)、第1電極(240)、及び第2電極(250)が形成されていることを特徴とする。
これによると、第2電極(250)は第1電極(240)よりも外径サイズが小さいので、第2電極(250)がケース(230)の中で軸ずれを起こしたとしても、ケース(230)の内壁面(234)まで届かない。このため、第1電極(240)と第2電極(250)とが電気的に接続されない。したがって、圧電素子(210)を挟む第1電極(240)と第2電極(250)とのショートを防止することができる。
また、圧電素子(210)のサイズは各電極(240、250)よりも小さいので、各電極(240、250)の各接触面(241、251)の全体が圧電素子(210)の各受圧面(211、212)の全体に接触し続ける。このため、圧電素子(210)の各受圧面(211、212)に局所的な応力が印加されることがない。したがって、圧電素子(210)の割れを防止することができる。
なお、この欄及び特許請求の範囲で記載した各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
本発明の第1実施形態に係る圧力検出装置の一部断面図である。 図1に示された圧電素子、第1電極、及び第2電極の拡大断面図である。 本発明の第2実施形態に係る圧電素子、第1電極、及び第2電極の拡大断面図である。 本発明の第3実施形態に係る圧電素子、第1電極、及び第2電極の拡大断面図である。 本発明の第4実施形態に係る圧電素子、第1電極、及び第2電極の拡大断面図である。 本発明の第5実施形態に係る圧力検出装置の一部断面図である。
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
(第1実施形態)
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。本実施形態に係る圧力検出装置は、燃焼室を構成する燃焼機構に取り付けられると共に、燃焼室の燃焼圧を検出する装置である。燃焼機構は、例えば車両に搭載されたエンジンである。そして、図1に示されるように、圧力検出装置は、ハウジング100、予荷重保持部200、ダイヤフラム300、及び伝達部400を備えて構成されている。
ハウジング100は、圧力検出装置の外観の一部をなす中空筒状の部品である。ハウジング100は、予荷重保持部200の一部及び伝達部400を収容している。また、ハウジング100は側壁に形成された図示しないネジ部を有しており、このネジ部を介してエンジンブロックにネジ止めされる。ハウジング100は例えば金属材料で形成されている。
予荷重保持部200は、ダイヤフラム300から分離された部品であると共に、ダイヤフラム300から伝わる荷重の大きさを検出するように構成されている。つまり、予荷重保持部200は燃焼圧を検出するためのセンシング部として構成されている。このような予荷重保持部200は、圧電素子210及び予荷重印加部220を有している。
圧電素子210は、印加される荷重に基づいて電荷を発生させる荷重検出素子である。圧電素子210は、第1受圧面211と、第1受圧面211とは反対側の第2受圧面212と、を有している。そして、圧電素子210は、第1受圧面211と第2受圧面212との間に荷重が印加されることで荷重の大きさに応じた電荷を発生させる。圧電素子210は、例えば圧電体で構成されている。したがって、圧電素子210は、印加された荷重の大きさを例えば電圧に変換して出力する。
予荷重印加部220は、圧電素子210を挟み込むと共に圧電素子210に所定の予荷重を印加する構造を有する。具体的に、予荷重印加部220は、ケース230、第1電極240、第2電極250、絶縁リング260、支持部材270、及びOリング280を有している。
ケース230は、中空部231を有する有底筒状の部品であり、筒部232及び底部233を有して構成されている。筒部232は中空筒状の部分であり、筒部232の中空部分がケース230の中空部231に対応している。ケース230は、当該ケース230の内壁面234に圧電素子210が接触しないように、底部233側から第1電極240、圧電素子210、及び第2電極250の順にこれらを収容している。
第1電極240は、ケース230の中空部231の底面235に接するように中空部231に収容された板状の部品である。したがって、第1電極240はケース230と同電位とされる。また、第1電極240は、圧電素子210の第1受圧面211に接触する第1接触面241を有し、この第1接触面241を介して圧電素子210に荷重を圧電素子210に伝える。第1電極240は圧電素子210の一方の電極として機能する。
第2電極250は、ケース230の内壁面234から離間するようにケース230の中空部231に収容された部品である。第2電極250は、圧電素子210の他方の電極として機能する。第2電極250は、圧電素子210の第2受圧面212に接触する第2接触面251を有しており、圧電素子210の第2受圧面212に当接している。これにより、第2電極250は第1電極240と共に圧電素子210を挟んでいる。
また、第2電極250は、圧電素子210に発生した電荷に対応した電気信号を出力する。このため、第2電極250は、圧電素子210とは反対側に突出すると共に圧電素子210の検出信号を出力するための棒状の突出部252を有している。突出部252は、いわゆるターミナルである。
絶縁リング260は、ケース230に収容されていると共に、第2電極250と支持部材270とを絶縁するためのリング状の部品である。絶縁リング260は、第2電極250のうち圧電素子210側とは反対側に当接している。絶縁リング260は、例えばアルミナ等のセラミックスで形成されている。絶縁リング260の中空部分には第2電極250の突出部252が通されている。
支持部材270は、圧電素子210に予荷重を与えるための部品であり、絶縁リング260のうち第2電極250とは反対側に当接している。支持部材270はケース230の中空部分に挿入される部分とケース230の外径よりも太い部分とで構成された凸形状をなしている。そして、支持部材270は、径が小さい部分がケース230の開口部236に差し込まれている。
また、支持部材270は、絶縁リング260、第2電極250、及び圧電素子210を第1電極240側、すなわちケース230の底部233側に押し込んだ状態でケース230の開口部236に溶接固定されている。これにより、支持部材270は、各電極240、250と圧電素子210とを互いに圧接させると共に、圧電素子210に予荷重を印加している。
このように圧電素子210に所定の予荷重を印加する目的の1つは、燃焼室は正圧だけでなく負圧も発生するため、予荷重印加部220に負圧が作用しても圧電素子210が各電極240、250から浮き上がって計測不能になることを避けるためである。もう1つの目的は、エンジンで異常燃焼が生じると衝撃波が発生するので、この衝撃波によって圧電素子210が浮き上がってケース230の内壁面や各電極240、250に衝突することにより破損してしまうことを防止するためである。
さらに、支持部材270は、圧電素子210、第2電極250、及び絶縁リング260の積層方向に沿って設けられた貫通孔271を有している。貫通孔271は、第2電極250の突出部252よりも径が大きいと共に、突出部252の先端部253が伝達部400側に露出するように突出部252が通される部分である。言い換えると、第2電極250の突出部252は、絶縁リング260の中空部分及び支持部材270の貫通孔271の連通長さよりも長く形成されている。貫通孔271の壁面272は第2電極250の突出部252から離間している。
ここで、予荷重印加部220のうち、ケース230、各電極240、250、及び支持部材270は、例えば同じ金属材料で形成されている。圧力検出装置は高温に晒されることになるため、各部品の熱膨張率に差を生じさせないようにするべく、各部品が同じ金属材料で形成されていることが好ましい。また、予荷重印加部220は高耐圧性や高ヤング率(硬い)であることも要求される。このようなことから、ケース230、各電極240、250、及び支持部材270は、例えばSUS630で形成されている。なお、SUH660等の他の金属材料が用いられても良い。
Oリング280は、第2電極250の突出部252を支持部材270に固定するための部品である。具体的には、Oリング280は、貫通孔271に配置されて支持部材270と突出部252とに挟まれることにより、突出部252を貫通孔271の壁面272から離間させて支持部材270に固定する。
本実施形態では、貫通孔271のうち絶縁リング260とは反対側の入口部分の径が他の部分よりも大きく形成されたことにより溝部273が構成されており、Oリング280はこの溝部273に嵌め込まれている。なお、Oリング280はゴム等の樹脂材料で形成されている。Oリング280は樹脂以外の絶縁材料で形成されていても良い。また、Oリング280や貫通孔271の径のサイズに応じて貫通孔271に溝部273が設けられていなくても良い。
ダイヤフラム300は、燃焼室に配置されて燃焼圧に基づく荷重を予荷重印加部220に伝達する有底筒状の部品である。ダイヤフラム300は、筒部分に相当する胴体部310と、底部分に相当する受圧部320と、を有して構成されている。
胴体部310は、予荷重保持部200を収容する中空筒状の部分である。受圧部320は、燃焼圧に基づく荷重を受ける部分である。胴体部310は、受圧部320の一部が予荷重印加部220のケース230の底部233に接触するように予荷重保持部200を収容している。また、胴体部310の開口部分が支持部材270に溶接固定されている。これにより、受圧部320で受けた荷重がケース230を介して第1電極240に伝達される。
さらに、胴体部310は外壁面311に設けられた突起部312を有している。そして、胴体部310は、開口側すなわち受圧部320とは反対側がハウジング100に収容された状態で、突起部312がハウジング100の開口端に溶接固定されている。
伝達部400は、第2電極250すなわち突出部252の先端部253から出力された検出信号を図示しない信号処理部に伝達するための部品である。伝達部400は、スプリングピン410、コイルスプリング420、及び押圧部430を有している。
スプリングピン410は、コイルスプリング420の一端部421を支持する板状の部品である。スプリングピン410は、第2電極250の突出部252の先端部253が差し込まれる穴部411を有している。スプリングピン410は、金属等の導電性の材料で構成されている。そして、スプリングピン410は、コイルスプリング420の一端部421によって突出部252の先端部253に押さえ付けられ、突出部252から出力される検出信号をコイルスプリング420に伝達する。
コイルスプリング420は、金属線が螺旋状に巻かれたことにより構成された部品である。コイルスプリング420は、支持部材270の貫通孔271よりも大きい径で形成されている。ここで、コイルスプリング420の径とは内径を指す。これによると、コイルスプリング420の径方向のサイズが第2電極250の突出部252よりも大きいので、コイルスプリング420の芯出しがしやすい。また、コイルスプリング420を構成する金属線を太くすることができる。このため、スプリングピン410に対するコイルスプリング420の取り付けが容易な構成とすることができる。
なお、コイルスプリング420がスプリングピン410から離れてしまうことを防止するため、コイルスプリング420はバネ荷重が慣性力よりも大きくなるように形成されていることが好ましい。
押圧部430は、コイルスプリング420の他端部をコイルスプリング420の一端部421側に押し込むと共に、スプリングピン410から出力される検出信号を信号処理部に伝達するための部品である。このため、押圧部430はコイルスプリング420のうちスプリングピン410とは反対側に位置している。押圧部430はOリング431によってハウジング100内に固定されている。
信号処理部は、検出信号に対する信号処理を行うものである。信号処理部はハウジング100のうちダイヤフラム300が接合された開口側とは反対側に設けられている。また、信号処理部は、コイルスプリング420に電気的に接続された回路基板等を有して構成されている。回路基板にはICチップ等が実装されている。さらに、信号処理部は図示しないコネクタ部に設けられたターミナルに電気的に接続されている。これにより、信号処理部が外部装置と電気的なやりとりができるようになっている。
以上が、本実施形態に係る圧力検出装置の全体構成である。圧力検出装置のハウジング100がエンジンブロックに固定されると、ハウジング100、ダイヤフラム300、第1電極240、ケース230、及び支持部材270がエンジンブロックと同じ電位に固定される。エンジンブロックの電位は例えば接地電位である。
上記の圧力検出装置において、燃焼圧は次のように検出される。まず、燃焼室で発生した衝撃がダイヤフラム300の受圧部320に印加される。そして、受圧部320が受けた衝撃が第1電極240を介して圧電素子210に伝わる。圧電素子210は第1電極240から受けた荷重の大きさに応じて電荷を発生させる。これにより、第1電極240と第2電極250との間の電圧が変化する。したがって、燃焼圧に応じた検出信号が突出部252から出力され、スプリングピン410及びコイルスプリング420を介して信号処理部に入力され、当該信号処理部で信号処理されて外部装置に出力される。
次に、圧電素子210の各受圧面211、212、第1電極240の第1接触面241、及び第2電極の第2接触面251の具体的な構成について説明する。
図2に示されるように、圧電素子210の各受圧面211、212は、全体が球面に形成されている。また、各受圧面211、212は、全体が外側に凸の球面である。つまり、第1受圧面211は第1電極240側に突出し、第2受圧面212は第2電極250側に突出している。各球面は、同じ半径で形成されていても良いし、異なる半径で形成されていても良い。
一方、第1電極240の第1接触面241は、圧電素子210の第1受圧面211に対応して隙間無く接触するように形成された球面である。そして、第1接触面241は、圧電素子210の第1受圧面211に対応して内側に凹の球面である。
他方、第2電極250の第2接触面251は、圧電素子210の第2受圧面212に対応して隙間無く接触するように形成された球面である。そして、第2接触面251は、圧電素子210の第2受圧面212に対応して内側に凹の球面である。
さらに、第1電極240から圧電素子210に伝わる荷重の荷重印加方向に対して垂直な方向において、第1電極240の外径サイズをAとし、第2電極250の外径サイズをBとし、圧電素子210の外径サイズをCと定義する。このような定義のもと、圧電素子210、第1電極240、及び第2電極250は、A>B>Cの関係を満たすようにそれぞれ形成されている。
なお、「外径サイズ」は、圧電素子210及び各電極240、250が円柱状であれば径方向の最大サイズであり、各電極240、250が柱状であれば荷重の荷重印加方向に対して垂直な方向の最大サイズに対応する。
このように外径サイズが規定されることで、第2電極250は第1電極240よりも外径サイズが小さくなる。このため、第2電極250がケース230の中で軸ずれを起こしたとしても、第2電極250がケース230の内壁面234まで届かないようにすることができる。つまり、第1電極240と第2電極250とが電気的に接続されないので、第1電極240と第2電極250とのショートを防止することができる。
また、上記のように外径サイズが規定されることで、圧電素子210のサイズが各電極240、250よりも小さくなる。このため、各電極240、250の各接触面241、251の全体が圧電素子210の各受圧面211、212の全体に接触し続ける。つまり、圧電素子210の各受圧面211、212が各接触面241、251の範囲に接触しているので、各電極240、250の各接触面241、251から圧電素子210に各受圧面211、212に掛かる応力が分散されると共に、圧電素子210の各受圧面211、212に対して局所的な応力が印加されないようにすることができる。したがって、圧電素子210が割れることを防止することができる。
(第2実施形態)
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図3に示されるように、圧電素子210の第1受圧面211は全体が外側に凸の球面であり、第2受圧面212は、全体が内側に凹の球面である。
したがって、第1電極240の第1接触面241は、圧電素子210の第1受圧面211に対応して内側に凹の球面である。また、第2電極250の第2接触面251は、圧電素子210の第2受圧面212に対応して外側に凸の球面である。このように、各受圧面211、212及び各接触面241、251が形成されていても良い。
(第3実施形態)
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。図4に示されるように、圧電素子210の第1受圧面211は全体が内側に凹の球面であり、第2受圧面212は全体が外側に凸の球面である。
したがって、第1電極240の第1接触面241は、圧電素子210の第1受圧面211に対応して外側に凸の球面である。また、第2電極250の第2接触面251は、圧電素子210の第2受圧面212に対応して内側に凹の球面である。このように、各受圧面211、212及び各接触面241、251が形成されていても良い。
(第4実施形態)
本実施形態では、第1〜第3実施形態と異なる部分について説明する。図5に示されるように、圧電素子210の第1受圧面211及び第2受圧面212は、全体が内側に凹の球面である。
したがって、第1電極240の第1接触面241は、圧電素子210の第1受圧面211に対応して外側に凸の球面である。また、第2電極250の第2接触面251は、圧電素子210の第2受圧面212に対応して外側に凸の球面である。このように、各受圧面211、212及び各接触面241、251が形成されていても良い。
(第5実施形態)
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分について説明する。図6に示されるように、本実施形態では、ケース230は、中空筒状の部品である。そして、ケース230の一方の開口部を塞ぐように、第1電極240がケース230に一体化されている。言い換えると、ケース230の底部233が第1電極240として機能する。したがって、ケース230は、中空部231に圧電素子210、第2電極250、及び絶縁リング260の順にこれらを収容している。
このように、ケース230に第1電極240が一体化されている場合、第1電極240の外径サイズAは、第1電極240から圧電素子210に伝わる荷重の荷重印加方向に対して垂直な方向におけるケース230の内径に対応している。以上のように、ケース230と第1電極240とが分離されずに一つの部品として構成されていても良い。
(他の実施形態)
上記各実施形態で示された圧力検出装置の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、圧力検出装置は車両のエンジン以外の燃焼室に適用されても良い。
また、第1電極240のうちの圧電素子210側の面は全体が球面の第1接触面241になっていても良いし、一部が球面の第1接触面241になっていても良い。第2電極250についても同様である。
さらに、第2電極250を圧電素子210に押し込むための絶縁リング260及び支持部材270の構成は上記に限られず、例えば絶縁リング260及び支持部材270が一体化されたものでも構わない。
210 圧電素子
211 第1受圧面
212 第2受圧面
230 ケース
234 内壁面
240 第1電極
241 第1接触面
250 第2電極
251 第2接触面

Claims (7)

  1. 中空筒状のケース(230)と、
    前記ケース(230)に収容され、第1受圧面(211)と、前記第1受圧面(211)とは反対側の第2受圧面(212)と、を有し、前記第1受圧面(211)と前記第2受圧面(212)との間に印加される荷重に基づいて発生する電荷を出力する圧電素子(210)と、
    前記ケース(230)と同電位とされ、前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)に接触する第1接触面(241)を有し、前記荷重を前記圧電素子(210)に伝える第1電極(240)と、
    前記ケース(230)の内壁面(234)から離間するように前記ケース(230)に収容され、前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)に接触する第2接触面(251)を有し、前記圧電素子(210)に発生した電荷に対応した電気信号を出力する第2電極(250)と、
    を備え、
    前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)及び前記第2受圧面(212)は、全体が球面であり、
    前記第1電極(240)の前記第1接触面(241)は、前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)に対応して隙間無く接触するように形成された球面であり、
    前記第2電極(250)の前記第2接触面(251)は、前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)に対応して隙間無く接触するように形成された球面であり、
    前記第1電極(240)から前記圧電素子(210)に伝わる前記荷重の荷重印加方向に対して垂直な方向において、前記第1電極(240)の外径サイズをAとし、前記第2電極(250)の外径サイズをBとし、前記圧電素子(210)の外径サイズをCとすると、A>B>Cの関係を満たすように前記圧電素子(210)、前記第1電極(240)、及び前記第2電極(250)が形成されていることを特徴とする圧力検出装置。
  2. 前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)及び前記第2受圧面(212)は、全体が外側に凸の球面であり、
    前記第1電極(240)の前記第1接触面(241)は、前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)に対応して内側に凹の球面であり、
    前記第2電極(250)の前記第2接触面(251)は、前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)に対応して内側に凹の球面であることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
  3. 前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)は、全体が外側に凸の球面であり、
    前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)は、全体が内側に凹の球面であり、
    前記第1電極(240)の前記第1接触面(241)は、前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)に対応して内側に凹の球面であり、
    前記第2電極(250)の前記第2接触面(251)は、前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)に対応して外側に凸の球面であることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
  4. 前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)は、全体が内側に凹の球面であり、
    前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)は、全体が外側に凸の球面であり、
    前記第1電極(240)の前記第1接触面(241)は、前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)に対応して外側に凸の球面であり、
    前記第2電極(250)の前記第2接触面(251)は、前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)に対応して内側に凹の球面であることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
  5. 前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)及び前記第2受圧面(212)は、全体が内側に凹の球面であり、
    前記第1電極(240)の前記第1接触面(241)は、前記圧電素子(210)の前記第1受圧面(211)に対応して外側に凸の球面であり、
    前記第2電極(250)の前記第2接触面(251)は、前記圧電素子(210)の前記第2受圧面(212)に対応して外側に凸の球面であることを特徴とする請求項1に記載の圧力検出装置。
  6. 前記ケース(230)は、底部(233)を有する有底筒状であり、前記底部(233)側から前記第1電極(240)、前記圧電素子(210)、及び前記第2電極(250)の順にこれらを収容していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力検出装置。
  7. 前記第1電極(240)は、前記ケース(230)に一体化されていることを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の圧力検出装置。
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