JP2016213411A5 - - Google Patents
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Description
(実験例1)
PSL(ポリスチレン・ラテックス)標準粒子(粒径0.12μm)を塗布したウエハから検出される散乱光強度のメジアン値、換算後のPSL標準粒子サイズの経時変化を測定した。測定は、いずれも同じパーティクルカウンター装置を用いて行った。結果を図4(a)、(b)に示す。ここで、図4(a)は散乱光強度のメジアン値の経時変化を示し、図4(b)は、換算後のPSL標準粒子サイズの経時変化を示している。
PSL(ポリスチレン・ラテックス)標準粒子(粒径0.12μm)を塗布したウエハから検出される散乱光強度のメジアン値、換算後のPSL標準粒子サイズの経時変化を測定した。測定は、いずれも同じパーティクルカウンター装置を用いて行った。結果を図4(a)、(b)に示す。ここで、図4(a)は散乱光強度のメジアン値の経時変化を示し、図4(b)は、換算後のPSL標準粒子サイズの経時変化を示している。
図4(a)からわかるように、ひとつのサイズのPSL標準粒子から発生する散乱光強度のメジアン値は時間が経つにつれて下がってくる。図4(c)からわかるように、同時にヘイズ値も下がってくる。しかしながら、換算後のPSL標準粒子サイズについては、図4(b)に示すように、散乱光強度が下がってきても、その変化がある一定値を超えた場合に、換算後のPSL標準粒子サイズが変わらないように換算値を変更するため、換算後のPSL標準粒子サイズの経時変化は比較的少なくなっている。
(実施例2)
2台の散乱光を用いたパーティクルカウンター装置(以下、「装置A」、「装置B」と称する)のそれぞれにおいて、粒径0.12μmのPSL標準粒子を塗布したウエハ(標準サンプル)から発生する散乱光強度のメジアン値を求めた。装置Bでの散乱光強度のメジアン値は、装置Aの散乱光強度のメジアン値の1.20倍となった。この時、装置Bで測定したヘイズ値の補正値を0.83倍とすることで、パーティクルカウンター装置間の変動を相殺したヘイズ値を求めることができた。
2台の散乱光を用いたパーティクルカウンター装置(以下、「装置A」、「装置B」と称する)のそれぞれにおいて、粒径0.12μmのPSL標準粒子を塗布したウエハ(標準サンプル)から発生する散乱光強度のメジアン値を求めた。装置Bでの散乱光強度のメジアン値は、装置Aの散乱光強度のメジアン値の1.20倍となった。この時、装置Bで測定したヘイズ値の補正値を0.83倍とすることで、パーティクルカウンター装置間の変動を相殺したヘイズ値を求めることができた。
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