JP2016208551A - 水晶振動素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】溝部141aは、一の開口21からなり、開口21内に振動腕部12aの延設方向に沿って山221と谷222とが交互に連続する底面22を有する。第一の溝部141aに形成された山221の位置に対して、第二の溝部143aに形成された山221の位置がY’軸方向(延設方向)にずれ、かつ、第一の溝部141aに形成された谷222の位置に対して、第二の溝部143aに形成された谷222の位置がY’軸方向(延設方向)にずれている。
【選択図】図4
Description
基部と、この基部から同一方向に延設された二本の振動腕部と、これらの振動腕部の表裏面である第一及び第二の主面にそれぞれ設けられた第一及び第二の溝部と、を備えた水晶振動素子において、
前記第一及び第二の溝部は、それぞれ一の開口からなり、当該開口内に前記振動腕部の延設方向に沿って山と谷とが交互に連続する底面を有し、
前記第一の溝部に形成された前記山の位置に対して、前記第二の溝部に形成された前記山の位置が前記延設方向にずれ、かつ、
前記第一の溝部に形成された前記谷の位置に対して、前記第二の溝部に形成された前記谷の位置が前記延設方向にずれている、
ことを特徴とする水晶振動素子。
S2=√(t2+t2)×d≒1.41td
S1≒t×d=td
11 基部
12a,12b 振動腕部
131 主面(第一の主面)
132 主面(第二の主面)
15 外側面
141a,142a,141b,142b 溝部(第一の溝部)
143a,144a,143b,144b 溝部(第二の溝部)
21 開口
22 底面
221 山
222 谷
223 底板
23 内側面
31a,31b 励振電極
42 耐食膜
43 感光性レジスト膜
52 振動腕部となる領域
54 溝部となる領域
55 第一の溝部の山となる領域
56 第二の溝部の山となる領域
57 突起
62,65,67 幅
64 ずれ
66 傾き
68 深さ
71,72 傾斜角
d,t 厚み
P ピッチ
321 開口
322 底面
521 山
522 谷
523 底板
323 内側面
341 水晶ウェハ
342 耐食膜
352 振動腕部となる領域
354 溝部となる領域
355 表の溝部の山となる領域
356 裏の溝部の山となる領域
357 突起
441a,443a 溝部
621 小溝部
622 底面
821 仕切部
822 谷
823 底板
824 傾斜角
623 内側面
741a,743a 溝部
Q ピッチ
Claims (3)
- 基部と、この基部から同一方向に延設された二本の振動腕部と、これらの振動腕部の表裏面である第一及び第二の主面にそれぞれ設けられた第一及び第二の溝部と、を備えた水晶振動素子において、
前記第一及び第二の溝部は、それぞれ一の開口からなり、当該開口内に前記振動腕部の延設方向に沿って山と谷とが交互に連続する底面を有し、
前記第一の溝部に形成された前記山の位置に対して、前記第二の溝部に形成された前記山の位置が前記延設方向にずれ、かつ、
前記第一の溝部に形成された前記谷の位置に対して、前記第二の溝部に形成された前記谷の位置が前記延設方向にずれている、
ことを特徴とする水晶振動素子。 - 前記第一及び第二の溝部に形成された前記谷の深さは、前記振動腕部の厚みの50%以上かつ60%以下である、
請求項1記載の水晶振動素子。 - 水晶の頂点を通る結晶軸をZ軸、このZ軸に垂直な平面内の稜線を結ぶ三つの結晶軸をX軸、前記X軸及び前記Z軸に直交する座標軸をY軸とし、これらのX軸、Y軸及びZ軸からなる座標系を前記X軸を中心として±5度の範囲で回転させたときの回転後の前記Y軸及び前記Z軸を、それぞれY’軸及びZ’軸とした場合、
前記山の前記Y’軸の方向のピッチをPとしたとき、
前記第一の溝部に形成された前記山に対する、前記第二の溝部に形成された前記山の前記Y’軸の方向のずれは、0.4P以上かつ0.5P未満である、
請求項1又は2記載の水晶振動素子。
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JP6005001B2 (ja) * | 2013-07-09 | 2016-10-12 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
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