JP2016201410A - 荷重補正装置、荷重補正方法、実装装置及び実装方法 - Google Patents
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Abstract
Description
流量調整バルブ52は、配管54に接続されている。流量調整バルブ52は、信号処理部1からの制御信号に基づいて、ポンプ50から配管54を介して移動部6に供給される空気の量を調整する。流量調整バルブ53は、配管55に接続されている。流量調整バルブ53は、信号処理部1からの制御信号に基づいて、ポンプ50から配管55を介して移動部6に供給される空気の量を調整する。
移動部6は、昇降部700及び吸着ヘッド5を備えている。
昇降部700は、エアシリンダ70、ピストン74、ピストンロッド80、第1圧力測定部71、第2圧力測定部72、位置測定部73及び電源部78を備えている。
加圧ポート76は、配管55に接続されており、ポンプ50から供給された空気を第1空気室701に供給する。したがって、配管55は、第1空気室701と加圧ポート76を介して連結している。
加圧ポート77は、配管54に接続されており、ポンプ50から供給された空気を第2空気室702に供給する。したがって、配管54は、第2空気室702と加圧ポート77を介して連結している。これにより、第1空気室701及び第2空気室702の圧力差により、エアシリンダ70の内部にあるピストン74は、±Z方向に往復動することができる。
ヒータ部56は、配線79を介して電源部78に接続されている。ヒータ部56は、電源部78から電力が供給される(通電される)ことで発熱する。例えば、ヒータ部56は、セラミックス製のパルスヒータである。
電源部78は、信号処理部1から供給される制御信号に基づいて、ヒータ部56に電力を供給する。
流量制御部12は、荷重補正処理をする際、ピストン74を位置Z1に移動させ、一定速度でピストン74をエアシリンダ70の位置Z1から位置Z2まで摺動させる。したがって、流量制御部12は、第1空気室701の圧力P1と第2空気室702の圧力P2との間で圧力差が発生するように流量調整バルブ52及び流量調整バルブ53に制御信号を出力する。
補正部14は、荷重算出部141及び荷重補正部142を備えている。
荷重算出部141は、取得部13で取得した圧力P1及び圧力P2からピストン74に加わる力Fを算出する。まず、荷重算出部141は、(1)式により、ピストン74に加えられる−Z方向の力F1を算出する。
F1=P1×A1 …(1)
F2=P2×A1 …(2)
F=F1−F2−(m×g) …(3)
ステップS102において、流量制御部12は、一定速度でピストン74をエアシリンダ70の位置Z1から位置Z2まで摺動させる。したがって、流量制御部12は、流量調整バルブ53に制御信号を出力し、第1空気室701の圧力P1に空気圧を注入する。これにより、第2空気室702の圧力P2との間で圧力差が発生し、ピストン74は、一定速度で下降する。
次に、荷重算出部141は、(2)式により、圧力P2に表面積A1を乗算することで力F2を算出する。
また、本実施形態の実装装置100は、荷重補正処理で補正された設定荷重を用いて実装処理することで、外乱外力の影響を受けることなく所定の圧着荷重でICチップ4を回路基板8に実装することができる。したがって、回路基板8において、隣接したバンプ同士の接触や、バンプが十分に熱圧着されず、バンプと端子との非接触による導通不良や強度不足を抑制することができる。
Claims (5)
- ピストンと前記ピストンに接続されたピストンロッドとを有するエアシリンダと、
前記エアシリンダの上下に設けられたエアーを供給する加圧ポートと、
前記ピストンロッドに接続され、半導体チップを吸着する吸着ヘッドと、
を有し、前記加圧ポートから供給されるエアーにより前記ピストンに加わる圧力を調整することで、前記吸着ヘッドで吸着した半導体チップを所定の荷重値で基板上に実装する実装装置に用いられる荷重補正装置であって、
前記実装装置に設けられた備品が前記吸着ヘッドに与える外力を算出し、算出した前記外力に基づいて前記所定の荷重値を補正する補正部を有する荷重補正装置。 - 前記ピストンに加わる圧力を調整し、前記ピストンを一定速度で動作させる制御部と、
前記ピストンを挟んで形成された前記エアシリンダの第1空気室及び第2空気室の圧力を取得する取得部とをさらに有し、
前記補正部は、前記第1空気室の圧力、前記第2空気室の圧力、及び前記ピストンに加わる重力に基づいて前記外力を算出する請求項1に記載の荷重補正装置。 - ピストンと前記ピストンに接続されたピストンロッドとを有するエアシリンダと、
前記エアシリンダの上下に設けられたエアーを供給する加圧ポートと、
前記ピストンロッドに接続され、半導体チップを吸着する吸着ヘッドと、
を有し、前記加圧ポートから供給されるエアーにより前記ピストンに加わる圧力を調整することで、前記吸着ヘッドで吸着した半導体チップを所定の荷重値で基板上に実装する実装装置に用いられる荷重補正方法であって、
補正部が、前記実装装置に設けられた備品が前記吸着ヘッドに与える外力を算出し、算出した前記外力に基づいて前記所定の荷重値を補正する過程を有する荷重補正方法。 - ピストンと前記ピストンに接続されたピストンロッドとを有するエアシリンダと、
前記エアシリンダの上下に設けられたエアーを供給する加圧ポートと、
前記ピストンロッドに接続され、半導体チップを吸着する吸着ヘッドと、
を有し、前記加圧ポートから供給されるエアーにより前記ピストンに加わる圧力を調整することで、前記吸着ヘッドで吸着した半導体チップを所定の荷重値で基板上に実装する実装装置であって、
前記実装装置に設けられた備品が前記吸着ヘッドに与える外力を算出し、算出した前記外力に基づいて前記所定の荷重値を補正する補正部を有する実装装置。 - ピストンと前記ピストンに接続されたピストンロッドとを有するエアシリンダと、
前記エアシリンダの上下に設けられたエアーを供給する加圧ポートと、
前記ピストンロッドに接続され、半導体チップを吸着する吸着ヘッドと、
を有し、前記加圧ポートから供給されるエアーにより前記ピストンに加わる圧力を調整することで、前記吸着ヘッドで吸着した半導体チップを所定の荷重値で基板上に実装する実装装置の実装方法であって、
補正部が、前記実装装置に設けられた備品が前記吸着ヘッドに与える外力を算出し、算出した前記外力に基づいて前記所定の荷重値を補正する過程を有する実装方法。
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