JP2016193812A - プレス成形用ガラス素材、ガラス光学素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化物ガラスと、上記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、上記酸化物ガラスと被覆層との間に設けられた中間層と、を備え、上記中間層において、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、ガラス光学素子。プレス成形用ガラス素材。上記プレス成形用ガラス素材を用いるガラス光学素子の製造方法。
【選択図】なし
Description
そこで、本発明者らはガラス中の発泡を抑制する手段を見出すために、泡の発生原因について鋭意検討を重ねた。その結果、プレス成形後の光学素子に発生する泡は、非酸化性雰囲気でプレス成形を行ったとしても多くの酸素を含んでいるという、予想外の現象を見出した。非酸化性雰囲気でのプレス成形における酸素の発生原因は酸化物ガラスのみであるため、酸化物ガラス由来の酸素が泡の発生に関与していると考えられる。
酸化物ガラス(以下、「ガラス」とも記載する。)と、
上記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
上記酸化物ガラスと被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
上記中間層において、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、プレス成形用ガラス素材、
に関する。
プレス成形用ガラス素材をプレス成形しプレス成形体を形成するプレス工程を備え、
上記プレス成形用ガラス素材が、上述のプレス成形用ガラス素材である、ガラス光学素子の製造方法、
に関する。
酸化物ガラスと、
上記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
上記酸化物ガラスと被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
上記中間層において、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、ガラス光学素子、
に関する。
上述の被覆層は金属酸化物膜であるが、化学量論組成より酸素が欠損した状態にあるため、より安定な状態である化学量論組成に近づこうと酸素を取り込みやすい状態にある。したがって、この状態の金属酸化物膜であれば、プレス成形時にガラス中で発生して発泡を引き起こす酸素を取り込み、泡の発生を抑制することができる。
但し、プレス成形時には、被覆層から酸化物ガラス側へ向かって、被覆層に含まれる金属原子の移動(拡散)も起こり得る。この拡散により被覆層の実効的な膜厚の減少や膜の消失が生じてしまうと、被覆層によって泡の発生を抑制することは困難となる。
これに対し、上記中間層では、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い。これにより、酸化物ガラスからの酸素原子の拡散(被覆層側へ向かう移動)は、被覆層からの金属原子の拡散に優先して進行する。そのため、被覆層は、実効的な膜厚の減少や膜の消失を起こすことなく、酸素原子を酸化物ガラスから被覆層へ効率的に取り込み、泡の発生を抑制することができる。
また、こうして得られる光学素子には、プレス工程を経た上述の被覆層および中間層が存在している。この光学素子に含まれる被覆層は、プレス成形時に酸化物ガラスから拡散した酸素原子を取り込むため、プレス成形用ガラス素材に含まれていた状態より金属原子に対する酸素原子の含有率は高い。ただし、一態様では、光学素子に含まれる被覆層は依然として化学量論組成より酸素が欠損した状態にあることも、本発明者らの検討の結果、明らかとなった。
更に、本発明の一態様によれば、泡の発生のない均質な光学素子を提供することができる。
図1は、中間層における、酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度(T1)と、この温度における金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度(T2)との関係を示すモデル図である。上記プレス成形用ガラス素材では、図1に示すように、酸化物ガラスと中間層とは、接している。また、中間層と被覆層とは、接している。このモデル図に示すように、中間層において、T1>T2の関係を満たしていれば、酸化物ガラスからの酸素原子の拡散(被覆層側へ向かう移動)は、被覆層からの金属原子の拡散に優先して進行する。これにより、被覆層は、プレス成形が通常行われる温度である酸化物ガラスのガラス転移温度以上において、実効的な膜厚の減少や膜の消失を起こすことなく、酸素原子を酸化物ガラスから被覆層へ効率的に取り込み、泡の発生を抑制することができる。
本発明者らは、上記プレス成形用ガラス素材を用いてプレス成形を行うことにより、ガラス内部に泡が発生することを抑制することができる理由を、以上のように考えている。但し、上記記載は本発明者らによる推察を含むものであり、本発明はそれら推察に何ら限定されるものではない。
なお、中間層がT1>T2の関係を満たすことは、プレス成形後に被覆層の膜厚の実効的な減少や膜の消失が発生しないことにより確認することができる。
図2は、本発明の一態様にかかるプレス成形用ガラス素材を示す断面模式図である。図2では、一例として、凹メニスカスレンズ用のプレス成形用ガラス素材PFを示している。
図2に示すプレス成形用ガラス素材は、酸化物ガラス1と、酸化物ガラス1の表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層3と、酸化物ガラス1と被覆層3との間に設けられた中間層2と、を備える。被覆層3および中間層2は、酸化物ガラス1の表面の少なくとも一部を覆っていればよい。即ち、酸化物ガラス1は、その表面の一部に被覆層3および中間層2が被覆されていない未被覆の部分があってもよく、表面の全面が被覆されていてもよい。一実施形態では、プレス成形用ガラス素材をプレス成形してガラス光学素子を成形したときに、光学素子の光学機能面を形成することになる酸化物ガラスの部位を少なくとも被覆することができる。光学機能面とは、例えば光学素子においては有効径内の領域を意味する。但し、被覆層3がプレス成形用ガラス素材表面のどの部位にせよ少なくとも一部に存在すれば酸化物ガラスから酸素原子を取り込むことができるため、上述の実施形態に限定されるものではない。
酸化物ガラスを覆う被覆層は、化学量論組成より酸素が欠損した状態にある金属酸化物膜である。したがって、被覆層は、かかる金属酸化物膜が形成可能な成膜法により形成すればよい。例えば、酸化物ガラスからなるガラス塊の表面に後述する中間層を形成した後、ターゲットとして金属(金属の単体)を用いて非酸化性雰囲気中でスパッタ法、真空蒸着法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法等の公知の成膜法により成膜することで、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜を形成することができる。ここで非酸化性雰囲気とは、アルゴンガス、窒素ガス等の不活性ガス等の酸素以外のガスからなる雰囲気をいう。但し雰囲気ガスに意図せず不純物として混入している微量酸素に由来する酸素の存在は許容されるものとする。
中間層は、被覆層と酸化物ガラスとの間に設けられる。なお、プレス成形用ガラス素材は、酸化物ガラスの表面の少なくとも一部に、中間層を介して被覆層を備えるものであればよく、酸化物ガラス表面の一部に、中間層のみで被覆されている部分があってもよく、被覆層のみで被覆されている部分があってもよい。上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度で、中間層において、酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度(T1)は、金属酸化物膜(被覆層)に含まれる金属原子が拡散する速度(T2)より速い。このように、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度で、中間層においてT1>T2の関係を満たす限り、中間層の材料や膜厚は限定されるものではない。例えば、中間層は、一種以上の金属元素と、酸素、窒素、炭素、およびフッ素からなる群から選ばれる一種以上の元素との化合物を用いて形成することができる。中間層は、例えば、金属酸化物膜であり、金属酸化物膜としては、ジルコニウム、イットリウム、スカンジウム、ランタノイドの酸化物膜を挙げることができる。ランタノイドとしては、ランタン、セリウム、プラセオジム、サマリウム、イッテルビウムを挙げることができる。これらは例示に過ぎず、上述の材料に限定されるものではない。中間層の膜厚は、例えば1〜15nmの範囲とすることができるが、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度においてT1>T2の関係を満たせばよく、膜厚がこの範囲外であってもよい。なお、中間層は、単層であってもよく、二層以上の多層構造のものでもよい。多層構造の場合、上記の中間層の膜厚とは、多層の合計膜厚をいう。多層構造の中間層は、多層構造全体でT1>T2の関係を満たすものであればよい。
酸化物ガラスとしては、光学素子の作製に通常使用される各種組成の光学ガラスを挙げることができる。そのような光学ガラスの具体的態様としては、ホウ酸ランタン系ガラス等のホウ酸−希土類系ガラス、リン酸塩ガラス、ケイ酸塩ガラスを挙げることができる。
カチオン%表示で、
B3+およびSi4+を合計で5〜60%(但し、B3+を5〜50%)、
Zn2+およびMg2+を合計で5%以上、
La3+、Gd3+、Y3+およびYb3+を合計で10〜50%、
Ti4+、Nb5+、Ta5+、W6+およびBi3+を合計で6〜45%(但し、Ti4+およびTa5+の合計含有量が0%超、かつW6+の含有量が5%超)、
含み、
B3+の含有量に対するSi4+の含有量のカチオン比(Si4+/B3+)が0.70以下であり、
Ti4+およびTa5+の合計含有量に対するTa5+の含有量のカチオン比(Ta5+/(Ti4++Ta5+))が0.23以上であり、
Nb5+およびW6+の合計含有量に対するW6+の含有量のカチオン比(W6+/(Nb5++W6+))が0.30以上であり、
B3+およびSi4+の合計含有量に対するTi4+、Nb5+、Ta5+、W6+およびBi3+の合計含有量のカチオン比((Ti4++Nb5++Ta5++W6++Bi3+)/(B3++Si4+))が0.37を超え3.00以下であり、
La3+、Gd3+、Y3+およびYb3+の合計含有量に対するZn2+、Mg2+およびLi+の合計含有量のカチオン比((Zn2++Mg2++Li+)/(La3++Gd3++Y3++Yb3+))が0.40以上であり、
屈折率ndが1.90〜2.00であり、かつアッベ数νdが下記(1)式:
25≦νd<(3.91−nd)/0.06 ・・・(1)
を満たす酸化物ガラス。
なお、ガラス転移温度を過剰に低下させるとガラスの安定性が低下したり、屈折率が低下する傾向を示すため、ガラス転移温度は500℃以上であることが好ましく、520℃以上であることがより好ましく、540℃以上であることが更に好ましく、560℃以上であることが一層好ましく、570℃以上であることがより一層好ましい。
B2O3、La2O3およびZnOを含み、モル%表示で、B2O3 20〜60%、SiO2 0〜20%、ZnO 22〜42%、La2O3 5〜24%、Gd2O3 0〜20%(但し、La2O3とGd2O3の合計量が10〜24%)、ZrO2 0〜10%、Ta2O5 0〜10%、WO3 0〜10%、Nb2O5 0〜10%、TiO2 0〜10%、Bi2O3 0〜10%、GeO2 0〜10%、Ga2O3 0〜10%、Al2O3 0〜10%、BaO 0〜10%、Y2O3 0〜10%およびYb2O3 0〜10%、を含み、かつアッベ数(νd)が40以上で、実質的にリチウムを含まない酸化物ガラス。
モル%表示で、
SiO2 0〜20%、
B2O3 5〜40%、
SiO2+B2O3=15〜50%、
Li2O 0〜10%、
ZnO 12〜36%、
但し、3×Li2O+ZnO≧18%、
La2O3 5〜30%、
Gd2O3 0〜20%、
Y2O3 0〜10%、
La2O3+Gd2O3=10〜30%、
La2O3/ΣRE2O3=0.67〜0.95%、
(但し、ΣRE2O3=La2O3+Gd2O3+Y2O3+Yb2O3+Sc2O3+Lu2O3)
ZrO2 0.5〜10%、
Ta2O5 1〜15%、
WO3 1〜20%、
Ta2O5/WO3≦2.5(モル比)
Nb2O5 0〜8%、
TiO2 0〜8%
を含み、
屈折率ndが1.87以上、
アッベ数νdが35以上40未満
の酸化物ガラス。
酸化物ガラスは、プレス成形用ガラス素材として公知の形状に、プレス成形用ガラス素材の成形法として公知の方法により成形することができる。酸化物ガラスの形状および成形方法については、例えば、特開2011−1259号公報段落0087〜0106および実施例の記載、特開2004−250295号公報段落0040〜0044および実施例の記載を参照できる。
本発明の一態様にかかるプレス成形用ガラス素材は、以上説明した酸化物ガラスに、上述の中間層および被覆層を形成する成膜処理を行うことで得ることができる。プレス成形用ガラス素材には、上述の被覆層上に、更に一層以上の被膜を任意に形成することができる。そのような被膜は、プレス成形において成形型からのガラスの離型性を高めること等に有効である。
本発明の一態様は、
酸化物ガラスと、
上記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
上記酸化物ガラスと被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
上記中間層において、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、ガラス光学素子、
に関する。
但し、上記態様以外の各種態様も、本発明の一態様として、本発明に包含される。
屈折率ndおよびアッベ数νdは、徐冷降温速度を−30℃/時にして得られた光学ガラスについて測定した。
(1)プレス成形用ガラス素材の作製
プレス成形用ガラス素材の酸化物ガラスとして、前述のガラスIIIに属する表1に記載した光学ガラスIII−1を用いた。
まず、酸化物ガラスを、熔融状態から受け型に滴下、冷却し、一面および他面を凸面とした形状のガラス塊を予備成形した。この予備成形されたガラス塊に対して、特開2011−1259号公報の実施例1〜6における表面層であるZrO2膜(膜厚:約5nm)とSiO2膜(膜厚:約5nm)をこの順に、同公報に記載の方法で成膜してプレス成形用ガラス素材を得た。得られたプレス成形用ガラス素材の外形寸法は17〜18mm、中心部肉厚は7〜8mmであった。
次いで、上述の(1)で作製したプレス成形用ガラス素材を精密プレス成形装置により窒素ガス雰囲気下でプレス成形した。即ち、成形面にスパッタ法による炭素含有離型膜を形成したSiC製の上下型と、胴型からなる成形型を用い、成形装置のチャンバー内雰囲気を非酸化性のN2ガスで充満してから、酸化物ガラスの粘度が107.2dPa・sとなる温度に加熱し、酸化物ガラスの粘度で108.5dPa・s相当の温度に加熱した成形型に供給した。そして、供給直後に上下型間でプレス成形用ガラス素材をプレスし(プレス温度675℃)、プレス成形用ガラス素材と上下型の密着を維持したまま、酸化物ガラスの徐冷温度以下の温度まで冷却し、成形型内からプレス成形体を取り出した。プレス成形体の外径寸法は26.0mm、中心肉厚は4.0mmであった。次いで、プレス成形体の外周部を研削加工により芯取りを行い、φ22mmの両凸形状の非球面ガラスレンズを得た。
比較例1のSiO2膜に変えて、ZrO2膜上に被覆層としてジルコニウム酸化物膜(膜厚:約5nm)を成膜した。成膜は、金属ジルコニウム(Zr)をターゲットに用いてAr100%の雰囲気中で成膜温度300℃でスパッタ法により行い、膜厚はスパッタ条件により調整した。中間層であるZrO2膜は、酸化物ガラス上に直接成膜した。また、被覆膜であるジルコニウム酸化物膜は、中間層であるZrO2膜上に直接成膜した。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材は、被覆層としてジルコニウム酸化物膜を有し、中間層としてZrO2膜を有する。このプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
金属ジルコニウムに変えて金属イットリウム(Y)を用いて膜厚約5nmの被覆層を成膜した点以外、実施例1と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
中間層を形成しなかった点以外、実施例2と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
金属ジルコニウムに変えて金属タンタル(Ta)を用いて膜厚約5nmの被覆層を成膜した点以外、実施例1と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
金属ジルコニウムに変えて金属ニオブ(Nb)を用いて膜厚約5nmの被覆層を成膜した点以外、実施例1と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
金属ジルコニウムに変えて金属タングステン(W)を用いて膜厚約5nmの被覆層を成膜した点以外、実施例1と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
金属ジルコニウムに変えて金属チタン(Ti)を用いて膜厚約5nmの被覆層を成膜した点以外、実施例1と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
金属ジルコニウムに変えてY2O3を用いて膜厚約5nmのY2O3膜を被覆層として成膜した点以外、実施例1と同様にプレス成形用ガラス素材を得た。
こうして得られたプレス成形用ガラス素材を用いて、上記と同様の方法により非球面ガラスレンズを得た。
光学顕微鏡を用いて、倍率10〜50倍で観察した場合に、直径50μm以上の泡が1ケ未満、または直径25μm以上の泡が2ケ未満、または直径10μm以上の泡が5ケ未満であり、かつ泡の直径の合計が50μmを超えないことを、泡の発生が抑制された均質な光学素子である指標(以下、「外観指標1」)とすることができる。
より好ましくは、光学顕微鏡を用いて、倍率10〜50倍で観察した場合に、直径25μm以上の泡が1ケ未満、または直径10μm以上の泡が3ケ未満であり、かつ泡の直径の合計が25μmを超えないことを、泡のない均質な光学素子である指標(以下、「外観指標2」)とすることができる。
ここで、泡の直径の合計とは、例えば直径50μmの泡が2個存在するならば100μmとなる。また、ここでの直径とは泡が円形状の泡である場合は直径を指し、楕円形状の泡の場合は長手方向の距離、不定形状の泡の場合は取り得る最長の距離を指すものとする。
実施例、比較例で作製した各レンズを光学顕微鏡で倍率50倍で観察し、外観指標1および外観指標2について評価した。各外観指標について、満たすものを○、満たさないものを×として、結果を表2に示す。
実施例1〜6の被覆層は、金属単体を用いて非酸化性雰囲気で成膜された金属酸化物膜であるため化学量論組成から酸素が欠損した状態にあるのに対し、比較例1の被覆層は特開2011−1259号公報に記載の通りSiO2膜、即ち化学量論組成のケイ素酸化物膜である。
また、比較例2は、実施例2と中間層の有無で相違する。
比較例3の被覆層は、詳細を後述するように化学量論組成のイットリウム酸化物膜、即ちY2O3膜である。
なお実施例1〜6では、光学顕微鏡等による観察の結果から、プレス前後で被覆層の膜厚の大きな減少や膜の消失はなかったことが確認された。この結果から、実施例1〜6の中間層は、T1>T2の関係を満たすものであることが確認できる。
表2に示すように、実施例1〜6が比較例1〜3と比べて外観評価の評価結果に優れていたことから、化学量論組成より酸素が欠損した状態にある金属酸化物膜を、T1>T2を満たす中間層を介して酸化物ガラス上に設けることにより、プレス成形においてガラス内部に泡が発生することを抑制することができることが確認できる。
比較例1で作製したレンズ中の泡中の気体組成を、質量分析法(Mass Spectrometry)により分析したところ、窒素ガス雰囲気下でプレス成形を行ったにもかかわらず、10%超もの酸素が検出された。この結果は、先に説明した通り、酸化物ガラス由来の酸素が泡の発生原因となっていることを裏付けるものである。
比較例1において被覆層は、化学量論組成のSiO2膜である。このような金属酸化物膜は、化学的に安定なため、プレス成形時に酸化物ガラスに由来する酸素を膜中に取り込むことはできないと考えられる。その結果、ガラス中で発泡を引き起こすと推察される。
実施例1と同じ条件で作製したプレス成形用ガラス素材および光学素子について、以下の方法によりTOF―SIMS(Time-of-flight secondary ion mass spectrometer:飛行時間型2次イオン質量分析法)により、表面から深さ方向の組成分析を行った。
TOF−SIMSによる深さ方向分析
ION−TOF社製TOF−SIMS300を用いて、深さ方向測定を実施した。TOF−SIMSは、パルス化された一次イオンを照射し、発生した二次イオンを検出する手法である。TOF−SIMSの深さ方向分析では、(i)一次イオンを照射、(ii)発生した二次イオンを計測、(iii)スパッタイオンを照射、以下(i)〜(iii)の繰り返しでデータを取得する。
一次イオン源にはBi3 ++を用い、一次イオン源のカラムにかかる電圧は25kVとした。一次イオン源の電流を0.2pAとして測定を行った。一次イオン源の照射面積(=二次イオンを検出する測定領域)は100μm角とし、二次イオンは負イオンを検出した。
スパッタイオン源にはCsを用いた。スパッタイオン源の加速は1kV、電流値は75.4nAで調整を行った。スパッタイオン源の面積は400μm角でスパッタを行った。
実施例1で酸化物ガラスに被覆層として形成したジルコニウム酸化物膜および中間層として形成したZrO2膜の膜厚は、いずれも約5nmである。図4には、ジルコニウム酸化物膜およびZrO2膜に由来する2次イオンとして、ZrO2と単体のZr(図4中、「Zr」)を記載している。また、図4では省略しているがジルコニウム酸化物膜およびZrO2膜に由来するZrOも検出されている。Zr2が検出されていないため、単体のZrは金属Zrに由来するものではなく、ジルコニウム酸化物膜およびZrO2膜に由来するものと考えられる。
図4中、表面(深さ0nm)〜深さ約5nmの領域と深さ約5nm〜約10nmの領域に、それぞれZrO2のスペクトルにピークが存在することと、深さ約10nm以降の領域で酸化物ガラスに由来するWO3が検出されていることから、酸化物ガラス上に設けられた中間層と中間層上に設けられた被覆層の二層が形成されていることが確認できる。
プレス成形後(光学素子)のTOF−SIMSによる2次イオン強度の深さ方向分析結果では、表面(深さ0nm)〜深さ約10nmの領域では、深さ約10nm以降の領域よりZrO2のピーク強度が高く、かつ深さ約10nm以降の領域ではWO3が検出された。この結果から、プレス成形後にも被覆層は膜厚の大きな減少や膜の消失を起こすことなく、酸化物ガラス上に存在することが確認できる。この結果から、中間層がT1>T2の関係を満たすことも確認できる。
プレス成形前(プレス成形用ガラス素材)について求めた結果から、被覆層に相当する領域において、ZrO2/Zr強度比がZrO2である場合と比べて小さくなっていることが確認された。この結果から、実施例1のプレス成形用ガラス素材の被覆層であるジルコニウム酸化物膜は、化学量論組成より酸素が欠損した状態にあることが確認できる。
また、被覆層に相当する領域においてプレス成形後にプレス成形前と比べてZrO2/Zr強度比が大きくなったことが確認された。即ち、プレス成形後に被覆層の酸素含有率が高くなったことが確認された。この結果は、被覆層が酸化物ガラスから酸素を取り込んだことを示す結果と本発明者らは考えている。
実施例2、比較例3と同じ条件で作製したプレス成形用ガラス素材および光学素子について、上記4.と同様の方法によりTOF―SIMSにより、表面から深さ方向の組成分析を行った。
実施例2で酸化物ガラスに被覆層として形成したイットリウム酸化物膜および中間層として形成したZrO2膜の膜厚は、いずれも約5nmである。図5には、イットリウム酸化物膜に由来する2次イオンとして、YO2とYOを記載している。また、図5では省略しているが単体のYもわずかに検出されている。他方、Y2が検出されていないため、単体のYは金属Yに由来するものではなく、イットリウム酸化物膜に由来するものと考えられる。
図5中、表面(深さ0nm)〜深さ約5nmの領域にYO2およびYOのスペクトルのピークが存在すること、深さ約5nm〜約10nmの領域にZrO2のスペクトルにピークが存在すること、および深さ約10nm以降の領域で酸化物ガラスに由来するWO3が検出されていることから、酸化物ガラス上に設けられた中間層(ZrO2膜)と中間層上に設けられた被覆層(イットリウム酸化物膜)の二層が形成されていることが確認できる。
プレス成形後(光学素子)のTOF−SIMSによる2次イオン強度の深さ方向分析結果でも、表面(深さ0nm)〜深さ約5nmの領域にYO2およびYOのスペクトルのピークが存在し、深さ約5nm〜約10nmの領域にZrO2のスペクトルにピークが存在し、かつ深さ約10nm以降の領域で酸化物ガラスに由来するWO3が検出された。この結果から、プレス成形後にも被覆層は膜厚の大きな減少や膜の消失を起こすことなく、酸化物ガラス上に存在することが確認できる。この結果から、中間層がT1>T2の関係を満たすことも確認できる。
表4に示すプレス成形前の比較例3の被覆層の各位置におけるYO2/YO強度比は、化学量論組成のイットリウム酸化物、即ちY2O3のYO2/YO強度比と同様である。この結果から、比較例3の被覆層が化学量論組成のイットリウム酸化物膜、即ちY2O3膜であることが確認できる。
これに対し、表3に示すプレス成形前の実施例2の被覆層の各位置におけるYO2/YO強度比は、化学量論組成のイットリウム酸化物(Y2O3)のYO2/YO強度比と比べて小さい。この結果から、実施例2のプレス成形用ガラス素材の被覆層であるイットリウム酸化物膜は、化学量論組成より酸素が欠損した状態にあることが確認できる。
また、表3に示すように、実施例2の被覆層では、各位置においてプレス成形後にプレス成形前と比べてYO2/YO強度比が大きくなっている。即ち、プレス成形後に被覆層の酸素含有率が高くなったことが確認された。この結果について、被覆層が酸化物ガラスから酸素を取り込んだことを示す結果と本発明者らは考えている。ただし実施例2の被覆層のプレス成形後の各位置におけるYO2/YO強度比は、化学量論組成のイットリウム酸化物(Y2O3)のYO2/YO強度比と比べて小さい。この結果から、プレス成形後においても、実施例2の被覆層は化学量論組成より酸素が欠損した状態にあることが確認できる。
これに対し、表4に示すように、比較例3の被覆層では、各位置においてプレス成形前後でYO2/YO強度比の有意な差は見られない。比較例3のプレス成形用ガラス素材の被覆層は、上記の通り、化学量論組成のY2O3膜である。このような金属酸化物膜は、化学的に安定なため、プレス成形時に酸化物ガラスに由来する酸素を膜中に取り込むことはできないと考えられる。このことが、表4に示すようにプレス成形前後でYO2/YO強度比の有意な差が見られなかった理由と推察される。
酸化物ガラスと、
上記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
上記酸化物ガラスと被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
上記中間層において、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、ガラス光学素子、
が提供される。
酸化物ガラスと、
上記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
上記酸化物ガラスと被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
上記中間層において、上記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における上記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、上記温度における上記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、プレス成形用ガラス素材、
が提供される。
プレス成形用ガラス素材をプレス成形しプレス成形体を形成するプレス工程を備え、
上記プレス成形用ガラス素材が、上述のプレス成形用ガラス素材である、ガラス光学素子の製造方法、
が提供される。
上記製造方法により得られたガラス光学素子、
が提供される。
上記の光学素子の製造方法において、
上記プレス成形体は、上記プレス工程を経た上記被覆層を含み、かつ
上記プレス工程を経た被覆層は、プレス工程前の上記被覆層より酸素含有率が高い金属酸化物膜である。
Claims (9)
- 酸化物ガラスと、
前記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
前記酸化物ガラスと前記被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
前記中間層において、前記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における前記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、前記温度における前記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、ガラス光学素子。 - 前記金属酸化物は、ジルコニウム、イットリウム、タンタル、ニオブ、タングステンおよびチタンからなる群から選択される金属の酸化物である請求項1に記載のガラス光学素子。
- 前記中間層は、金属酸化物膜である請求項1または2に記載のガラス光学素子。
- 前記中間層は、ジルコニウム酸化物膜である請求項3に記載のガラス光学素子。
- 酸化物ガラスと、
前記酸化物ガラスの表面の少なくとも一部を覆い、化学量論組成より酸素が欠損した金属酸化物膜である被覆層と、
前記酸化物ガラスと前記被覆層との間に設けられた中間層と、
を備え、
前記中間層において、前記酸化物ガラスのガラス転移温度以上の温度における前記酸化物ガラスに含まれる酸素原子が拡散する速度は、前記温度における前記金属酸化物膜に含まれる金属原子が拡散する速度より速い、プレス成形用ガラス素材。 - 前記金属酸化物は、ジルコニウム、イットリウム、タンタル、ニオブ、タングステンおよびチタンからなる群から選択される金属の酸化物である請求項5に記載のプレス成形用ガラス素材。
- 前記中間層は、金属酸化物膜である請求項5または6に記載のプレス成形用ガラス素材。
- 前記中間層は、ジルコニウム酸化物膜である請求項7に記載のプレス成形用ガラス素材。
- プレス成形用ガラス素材をプレス成形しプレス成形体を形成するプレス工程を備え、
前記プレス成形用ガラス素材が、請求項5〜8のいずれか1項に記載のプレス成形用ガラス素材である、ガラス光学素子の製造方法。
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