JP2016192533A - 光ナノインプリント樹脂硬化方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光ナノインプリント法の離型問題を解決する。【解決手段】光ナノインプリント用モールドが押し当てられた光硬化樹脂の各部位によって樹脂の硬化完了時間が異なるように制御することで、基板の平面方向の硬化した光硬化樹脂の歪を吸収し又基板の平面方向の硬化した光硬化樹脂の歪の方向がまとまることを防ぐ。【選択図】図１
Description
本発明は、光ナノインプリント樹脂硬化方法に関する。
従来ナノインプリント方法でナノサイズの微細パターンを安価に形成しその一方法として光ナノインプリント法があった。
そこで実用化のため、離型欠陥の低減と処理能力の向上が求められている。
光ナノインプリントリソグラフイ技術 東芝２０１２／０４
従来のナノインプリント技術では、処理能力を優先して早く離型すれば、離型欠陥の発生確立が高まっていた。
本発明は、このような従来の問題を解決し、スループツトが良くかつ離型欠陥が少ない光ナノインプリント樹脂硬化方法を提供しようとするものである。
そして本発明は上記目的を達成するために光ナノインプリント用モールドを押し当てられた光硬化樹脂を小範囲に分割して、各小範囲の樹脂硬化速度に差をつけるため、モザイク状に各部分で紫外線透過度に違いがある紫外線フイルターを通した照射紫外線にて光硬化樹脂を硬化している。
本発明光ナノインプリント樹脂硬化方法は、上記の様な形態をとっているので、光ナノインプリント用モールド直下の一番先に樹脂硬化が完了する小範囲であれば、基板とモールド間の光硬化樹脂が収縮することによるモールドの微細パターン内の硬化した光硬化樹脂の基板平面方向の歪が小さく、モールドの微細パターンの側壁と強く接触しない。
この時、一番先に硬化した光硬化樹脂の隣の小範囲が、基板の平面方向の光硬化樹脂の歪の緩衝地帯となり、光硬化樹脂が基板の平面方向に全体がまとまって収縮することを防いでいる。
次に一番先に硬化した光硬化樹脂の隣の小範囲が遅れて硬化が完了するが一番先に硬化完了した光硬化樹脂がすでに基板と強固に固着しているので、壁となり基板の平面方向に光硬化樹脂がまとまって収縮する事を防いでいる。
以下本発明ナノインプリント樹脂硬化方法の実施例を図に基づいて説明する。
本発明光ナノインプリント樹脂硬化方法は、図１に示すように碁盤の目の様な仕切りを有し、各隣り合った仕切りは、一方は紫外線を良く通すますめ１、もう一方は紫外線の透過が悪いますめ２で構成された紫外線フイルター３を通して、光ナノインプリント用モールドを照射する。
こうすることで、紫外線を良く通すますめ１を透過した紫外線により基板と光ナノインプリント用モールド間の樹脂は、もう一方の紫外線の透過が悪いますめ２を透過紫外線照射された基板と光ナノインプリント用モールド間の樹脂より早く硬化する。
従って紫外線を良く通すますめ１を透過した紫外線により硬化した光硬化樹脂の硬化完了時の基板平面方向の歪は、紫外線の透過が悪いますめ２を透過した紫外線が照射されまだ硬化が完了していない光硬化樹脂の部分で吸収される。
次に紫外線の透過が悪いますめ２を透過した紫外線が光硬化樹脂を硬化完了さす時に発生する光ナノインプリント用モールドと基板との間の硬化した光硬化樹脂の基板水平方向の歪は、周囲の早く硬化完了した光硬化樹脂が壁となり、歪そのものが小さくなり、かつ光ナノインプリント用モールドが押し当てられた他の部分の硬化した光硬化樹脂の基板平面方向の歪との連携がなく、まとまって大きな歪とならない。
他の実施例として、光ナノインプリント用モールドが押し当てられた光硬化樹脂全体に、あらかじめ完全に硬化しない程度の紫外線を照射しておいて、
最後に狭い範囲に集束する強い紫外線ビームで、光ナノインプリント用モールドが押し当てられた光硬化樹脂全体を走査し、樹脂の硬化を完了さす実施例がある。
こうすることで、光硬化が完了した部分は基板と強固に固着し、歪を伝えない、又光硬化が完了していない部分は歪を吸収する。
いずれの実施例でも、光硬化樹脂が光硬化完了する時に発生する基板平面方向の歪が一定方向にまとまる事がなく大きな歪とならないので、
光ナノインプリント用モールドの微細パターン内で光硬化した樹脂は、収縮して光ナノインプリント用モールドの微細パターン内の側壁と強く接触しないので、離型問題が解決している。
本発明は、光ナノインプリント一般、特に離型剤使用できない場合や半導体リソグラフイーに利用ができる。
１ 紫外線を良く通すますめ
２ 紫外線の透過が悪いますめ
３ 紫外線フイルター
２ 紫外線の透過が悪いますめ
３ 紫外線フイルター
Claims (3)
- 光ナノインプリント用モールドを押し当てられた光硬化樹脂の各部位によって硬化完了時間が異なるように制御された光ナノインプリント樹脂硬化方法。
- 紫外線透過度がモザイク状に各部分によって異なる紫外線フイルターを通して光硬化樹脂に紫外線を照射する請求項１記載の光ナノインプリント樹脂硬化方法。
- 光ナノインプリント用モールドを押し当てられた光硬化樹脂を、小範囲に集中する紫外線ビームで走査し、樹脂硬化を完了する請求項１記載の光ナノインプリント樹脂硬化方法。
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| JP2015097736A JP2016192533A (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 光ナノインプリント樹脂硬化方法 |
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| JP2015097736A JP2016192533A (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 光ナノインプリント樹脂硬化方法 |
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| JP2016192533A true JP2016192533A (ja) | 2016-11-10 |
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| JP2015097736A Pending JP2016192533A (ja) | 2015-03-30 | 2015-03-30 | 光ナノインプリント樹脂硬化方法 |
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2015
- 2015-03-30 JP JP2015097736A patent/JP2016192533A/ja active Pending
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