JP2016188298A - Polyimide, resin film, metal-clad laminate, and circuit board - Google Patents

Polyimide, resin film, metal-clad laminate, and circuit board Download PDF

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JP2016188298A JP2015068746A JP2015068746A JP2016188298A JP 2016188298 A JP2016188298 A JP 2016188298A JP 2015068746 A JP2015068746 A JP 2015068746A JP 2015068746 A JP2015068746 A JP 2015068746A JP 2016188298 A JP2016188298 A JP 2016188298A
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康弘 安達
Yasuhiro Adachi
康弘 安達
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Nippon Steel and Sumikin Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polyimide excellent in dielectric characteristics and dimensional stability after heat treatment, a resin film and a metal-clad laminate.SOLUTION: There is polyimide which contains i) 70-100 mol% of pyromellitic dianhydride in whole tetracarboxylic acid dianhydride; ii) 4-8 mol% of dimer acid type diamine obtained by substituting a primary aminomethyl group or an amino group for two terminal carboxylic acid groups of dimer acid, and aromatic diamine in whole diamine; iii) 76-92 mol% of 4,4'-diaminobiphenyl; and iv) 4-16 mol% of diamine represented by formula (2).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、ポリイミド、これを利用した樹脂フィルム、金属張積層体及び回路基板に関する。   The present invention relates to polyimide, a resin film using the same, a metal-clad laminate, and a circuit board.

近年、電子機器の小型化、軽量化、省スペース化の進展に伴い、薄く軽量で、可撓性を有し、屈曲を繰り返しても優れた耐久性を持つフレキシブルプリント配線板(FPC;Flexible Printed Circuits)の需要が増大している。FPCは、限られたスペースでも立体的かつ高密度の実装が可能であるため、例えば、HDD、DVD、携帯電話等の電子機器の可動部分の配線や、ケーブル、コネクター等の部品にその用途が拡大しつつある。   In recent years, with the progress of downsizing, weight reduction, and space saving of electronic devices, flexible printed wiring boards (FPCs) that are thin, light, flexible, and have excellent durability even after repeated bending are used. The demand for Circuits) is increasing. FPC can be mounted three-dimensionally and densely in a limited space. For example, it can be used for wiring of movable parts of electronic devices such as HDDs, DVDs, mobile phones, and parts such as cables and connectors. It is expanding.

上述した高密度化に加えて、機器の高性能化が進んだことから、伝送信号の高周波化への対応も必要とされている。高周波信号を伝送する際に、信号の伝送経路にインピーダンスが変化する点があると、その点で電磁波の反射が生じ、電気信号のロスや信号波形の乱れなどの不都合が生じる。そのため、FPCのインピーダンス整合性は重要な特性となる。高周波化に対応するために、低誘電率、低誘電正接を特徴とした液晶ポリマーを誘電体層としたFPCが用いられている。しかしながら、液晶ポリマーは、誘電特性に優れているものの、耐熱性や金属箔との接着性に改善の余地がある。   In addition to the above-described higher density, higher performance of equipment has been advanced, so that it is necessary to cope with higher frequency transmission signals. When transmitting a high-frequency signal, if there is a point where the impedance changes in the signal transmission path, the electromagnetic wave is reflected at that point, causing problems such as loss of an electric signal and disturbance of the signal waveform. Therefore, impedance matching of the FPC becomes an important characteristic. In order to cope with higher frequencies, FPC using a liquid crystal polymer characterized by a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent as a dielectric layer is used. However, although the liquid crystal polymer is excellent in dielectric properties, there is room for improvement in heat resistance and adhesion to metal foil.

耐熱性や接着性を改善するため、ポリイミドを絶縁層にした金属張積層体が提案されている(特許文献1)。特許文献1によると、一般的に高分子材料をモノマーに脂肪族系のものを用いることにより誘電率が低下することが知られており、脂肪族(鎖状)テトラカルボン酸二無水物を用いて得られたポリイミドの耐熱性は著しく低いために、はんだ付けなどの加工に供する事が不可能となり実用上問題があるが、脂肪族テトラカルボン酸二無水物を用いると鎖状のものに比べて耐熱性が向上したポリイミドが得られるとしている。しかしながら、このようなポリイミドフィルムは、10GHzにおける誘電率が3.2以下であるものの、誘電正接は0.01を超えるものであり、誘電特性は未だ十分ではなかった。   In order to improve heat resistance and adhesiveness, a metal-clad laminate using polyimide as an insulating layer has been proposed (Patent Document 1). According to Patent Document 1, it is generally known that the dielectric constant is lowered by using an aliphatic polymer as a monomer, and an aliphatic (chain) tetracarboxylic dianhydride is used. Since the heat resistance of the polyimide obtained in this way is extremely low, it cannot be used for processing such as soldering, and there is a problem in practical use. It is said that polyimide with improved heat resistance can be obtained. However, although such a polyimide film has a dielectric constant at 10 GHz of 3.2 or less, the dielectric loss tangent exceeds 0.01, and the dielectric properties have not been sufficient.

本発明者らは、先に、誘電正接を抑制し、高周波領域におけるインピーダンス整合性に優れた回路基板を提供すべく、原料のジアミン成分として、所定量のダイマー酸型ジアミンを配合したポリイミドを提案した(特許文献2)。   The present inventors previously proposed a polyimide that contains a predetermined amount of dimer acid type diamine as a raw material diamine component in order to provide a circuit board excellent in impedance matching in a high frequency region by suppressing dielectric loss tangent. (Patent Document 2).

特開2004−358961号公報JP 2004-358916 A 国際公開WO2014/208644号International Publication WO2014 / 208644

原料のジアミン成分として、ダイマー酸型ジアミンを一定量以上配合したポリイミドは、熱処理による寸法変化率が大きくなるという傾向がある。その反面、ダイマー酸型ジアミンの配合量が少なくなりすぎると、低誘電正接効果が小さくなるとともに、熱処理条件による誘電正接への影響が大きくなるという傾向がある。   A polyimide in which a certain amount or more of dimer acid type diamine is blended as a raw material diamine component tends to have a large dimensional change rate due to heat treatment. On the other hand, if the blending amount of the dimer acid diamine is too small, the low dielectric loss tangent effect tends to be small and the influence on the dielectric loss tangent by the heat treatment conditions tends to be large.

本発明は、電子機器の小型化・高性能化に伴う高周波化への対応が可能で、かつ熱処理後の寸法安定性に優れたポリイミド、樹脂フィルム及び金属張積層体を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a polyimide, a resin film, and a metal-clad laminate that can cope with a high frequency associated with downsizing and high performance of an electronic device and that has excellent dimensional stability after heat treatment.

上述した課題を解決するため、本発明者らは、ダイマー酸型ジアミンに、特定のテトラカルボン酸二無水物成分及び特定のジアミン化合物を組み合わせて用いることによって、ダイマー酸型ジアミンの配合量を抑制して熱処理による寸法安定性を高めながら、熱処理条件の依存性が少なく安定して低い誘電正接を有するポリイミドが得られることを見出し、本発明を完成するに至った。   In order to solve the above-mentioned problems, the present inventors suppress the blending amount of the dimer acid type diamine by using the dimer acid type diamine in combination with a specific tetracarboxylic dianhydride component and a specific diamine compound. As a result, the inventors have found that a polyimide having a low dielectric loss tangent can be obtained stably with little dependence on heat treatment conditions while improving dimensional stability by heat treatment, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明のポリイミドは、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分を反応させて得られるものであって、以下(i)〜(iv)の条件;
i)全テトラカルボン酸二無水物中、ピロメリット酸二無水物を70〜100モル%の範囲内で含有すること;
ii)全ジアミン中、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基またはアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミンを4〜8モル%の範囲内で含有すること;
iii)全ジアミン中、下記の式(1)で表されるジアミンAを76〜92モル%の範囲内で含有すること;
iv)全ジアミン中、下記の式(2)で表されるジアミンBを4〜16モル%の範囲内で含有すること;
を満たすことを特徴とする。
That is, the polyimide of the present invention is obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component, and the following conditions (i) to (iv);
i) containing pyromellitic dianhydride in the range of 70 to 100 mol% in all tetracarboxylic dianhydrides;
ii) The dimer acid type diamine in which the two terminal carboxylic acid groups of the dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups in the total diamine within a range of 4 to 8 mol%;
iii) containing diamine A represented by the following formula (1) in the range of 76 to 92 mol% in all diamines;
iv) In all diamines, the diamine B represented by the following formula (2) is contained within a range of 4 to 16 mol%;
It is characterized by satisfying.

Figure 2016188298
[Rは炭素数3以下のアルキル基、−CF、又は、−CH=CHを意味する]
Figure 2016188298
[R represents an alkyl group having 3 or less carbon atoms, —CF 3 , or —CH═CH 2 ]

Figure 2016188298
[式中、Xは以下の構造を意味する]
Figure 2016188298
[Wherein X means the following structure]

Figure 2016188298
Figure 2016188298

本発明のポリイミドは、イミド基濃度が31〜33重量%の範囲内であってもよい。   The polyimide of the present invention may have an imide group concentration of 31 to 33% by weight.

本発明の樹脂フィルムは、単層又は複数層のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、
前記ポリイミド層の少なくとも1層が、上記いずれかのポリイミドによって構成されていることを特徴とする。
The resin film of the present invention is a resin film having a single layer or multiple polyimide layers,
At least one of the polyimide layers is made of any of the above polyimides.

本発明の金属張積層体は、絶縁樹脂層と金属層とを備えた金属張積層体であって、絶縁樹脂層が上記樹脂フィルムからなる。   The metal-clad laminate of the present invention is a metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer, and the insulating resin layer is made of the resin film.

本発明の回路基板は、上記の金属張積層体の前記金属層を配線に加工してなるものである。   The circuit board of the present invention is obtained by processing the metal layer of the metal-clad laminate into a wiring.

本発明のポリイミドは、原料として、ダイマー酸型ジアミンに、特定のテトラカルボン酸二無水物成分及び特定のジアミン化合物を組み合わせて用いるので、熱処理による寸法安定性に優れ、かつ、熱処理条件の依存性が少なく安定して低い誘電正接を有するものとなる。従って、本発明のポリイミドは、高速信号伝送を必要とする電子材料として好適に用いることができるものである。また、本発明のポリイミドを用いて樹脂基材を形成することによって、その目的に応じて、樹脂フィルムや金属張積層体への幅広い適用が可能となる。   Since the polyimide of the present invention is used as a raw material in combination with a dimer acid type diamine and a specific tetracarboxylic dianhydride component and a specific diamine compound, it has excellent dimensional stability by heat treatment and dependency on heat treatment conditions. And stable and has a low dielectric loss tangent. Therefore, the polyimide of the present invention can be suitably used as an electronic material that requires high-speed signal transmission. Moreover, by forming a resin base material using the polyimide of the present invention, it can be widely applied to a resin film or a metal-clad laminate depending on the purpose.

以下、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

[ポリイミド]
本発明の一実施の形態のポリイミドは、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分を反応させて得られるものであって、以下(i)〜(iv);
i)全テトラカルボン酸二無水物中、ピロメリット酸二無水物を70〜100モル%の範囲内で含有すること;
ii)全ジアミン中、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基またはアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミンを4〜8モル%の範囲内で含有すること;
iii)全ジアミン中、下記の式(1)で表されるジアミンA(以下、「ジアミンA」と記すことがある)を76〜92モル%の範囲内で含有すること;
iv)全ジアミン中、下記の式(2)で表されるジアミンB(以下、「ジアミンB」と記すことがある)を4〜16モル%の範囲内で含有すること;
の条件を満たすポリイミドによって構成されている。
[Polyimide]
The polyimide according to an embodiment of the present invention is obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component, and the following (i) to (iv);
i) containing pyromellitic dianhydride in the range of 70 to 100 mol% in all tetracarboxylic dianhydrides;
ii) The dimer acid type diamine in which the two terminal carboxylic acid groups of the dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups in the total diamine within a range of 4 to 8 mol%;
iii) In all diamines, the diamine A represented by the following formula (1) (hereinafter sometimes referred to as “diamine A”) is contained within a range of 76 to 92 mol%;
iv) All diamines contain diamine B represented by the following formula (2) (hereinafter sometimes referred to as “diamine B”) within a range of 4 to 16 mol%;
It is comprised with the polyimide which satisfy | fills these conditions.

Figure 2016188298
[Rは炭素数3以下のアルキル基、−CF、又は、−CH=CHを意味する]
Figure 2016188298
[R represents an alkyl group having 3 or less carbon atoms, —CF 3 , or —CH═CH 2 ]

Figure 2016188298
[式中、Xは以下の構造を意味する]
Figure 2016188298
[Wherein X means the following structure]

Figure 2016188298
Figure 2016188298

ポリイミドは、一般に、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミンとを反応させて製造されるので、テトラカルボン酸二無水物成分とジアミンを説明することにより、本実施の形態のポリイミドの具体例が理解される。以下、好ましいポリイミドをテトラカルボン酸二無水物成分とジアミンにより説明する。   Since polyimide is generally produced by reacting a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine, a specific example of the polyimide of this embodiment can be understood by explaining the tetracarboxylic dianhydride component and the diamine. Is done. Hereinafter, a preferable polyimide will be described using a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine.

(ピロメリット酸二無水物)
本実施の形態のポリイミドは、全テトラカルボン酸二無水物中、ピロメリット酸二無水物を70〜100モル%の範囲内、好ましくは80〜100モル%の範囲内で含有する。全テトラカルボン酸二無水物中、ピロメリット酸二無水物の量が、70モル%未満では、熱膨張係数(CTE)が大きくなり、寸法安定性が低下する。従って、全テトラカルボン酸二無水物に対し、ピロメリット酸二無水物を70モル%以上用いることが好ましく、80%とすることがより好ましい。
(Pyromellitic dianhydride)
The polyimide of this Embodiment contains pyromellitic dianhydride in the range of 70-100 mol% in the total tetracarboxylic dianhydride, Preferably it exists in the range of 80-100 mol%. If the amount of pyromellitic dianhydride in all tetracarboxylic dianhydrides is less than 70 mol%, the coefficient of thermal expansion (CTE) increases and the dimensional stability decreases. Therefore, it is preferable to use 70 mol% or more of pyromellitic dianhydride with respect to all tetracarboxylic dianhydrides, and more preferably 80%.

本実施の形態のポリイミドは、ピロメリット酸二無水物以外のテトラカルボン酸二無水物成分を用いることも可能である。ピロメリット酸二無水物以外のテトラカルボン酸二無水物成分としては、例えば3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物が好ましく例示される。また、酸無水物として、2,2',3,3'-、2,3,3',4'-又は3,3',4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3',3,4'-ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、3,3'',4,4''-、2,3,3'',4''-又は2,2'',3,3''-p-テルフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)-プロパン二無水物、ビス(2,3-又は3.4-ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、1,1-ビス(2,3-又は3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、例えば1,2,7,8-、1,2,6,7-又は1,2,9,10-フェナンスレン-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)テトラフルオロプロパン二無水物、2,3,5,6-シクロヘキサン二無水物、2,3,6,7-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,5,6-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8-ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、2,6-又は2,7-ジクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-(又は1,4,5,8-)テトラクロロナフタレン-1,4,5,8-(又は2,3,6,7-)テトラカルボン酸二無水物、2,3,8,9-、3,4,9,10-、4,5,10,11-又は5,6,11,12-ペリレン-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカルボン酸二無水物、4,4’-ビス(2,3-ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。   The polyimide of this embodiment can use a tetracarboxylic dianhydride component other than pyromellitic dianhydride. Examples of tetracarboxylic dianhydride components other than pyromellitic dianhydride include 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone tetra Preferred examples include carboxylic dianhydride and 4,4′-oxydiphthalic anhydride. Moreover, 2,2 ', 3,3'-, 2,3,3', 4'- or 3,3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 2,3 ', 3,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2', 3,3'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3 ', 3,4'-diphenyl ether tetracarboxylic dianhydride Bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 3,3``, 4,4 ''-, 2,3,3``, 4 ''-or 2,2 '', 3, 3 ''-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) -propane dianhydride, bis (2,3- or 3.4-di Carboxyphenyl) methane dianhydride, bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3- or 3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride Products such as 1,2,7,8-, 1,2,6,7- or 1,2,9,10-phenanthrene-tetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-anthracenetetracarboxylic acid Dianhydride 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) tetrafluoropropane dianhydride, 2,3,5,6-cyclohexane dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7- Hexahydronaphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, 2,6- or 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic dianhydride, 2,3, 6,7- (or 1,4,5,8-) tetrachloronaphthalene-1,4,5,8- (or 2,3,6,7-) tetracarboxylic dianhydride, 2,3,8 , 9-, 3,4,9,10-, 4,5,10,11- or 5,6,11,12-perylene-tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane-1,2,3,4- Tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic dianhydride, thiophene-2,3,4,5 -Tetracarboxylic acid Anhydride, 4,4'-bis (2,3-dicarboxyphenoxy) diphenylmethane dianhydride and the like.

(ダイマー酸型ジアミン)
本実施の形態のポリイミドは、ダイマー酸型ジアミンを4〜8モル%の範囲内、好ましくは5〜7モル%の範囲内で含有する。ダイマー酸型ジアミンとは、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基(‐COOH)が、1級のアミノメチル基(‐CH‐NH)又はアミノ基(‐NH)に置換されてなるジアミンを意味する。
(Dimer acid type diamine)
The polyimide of this Embodiment contains dimer acid type diamine in the range of 4-8 mol%, Preferably it is in the range of 5-7 mol%. The dimer acid type diamine is a diamine obtained by substituting the primary aminomethyl group (—CH 2 —NH 2 ) or the amino group (—NH 2 ) of the two terminal carboxylic acid groups (—COOH) of the dimer acid. Means.

ダイマー酸は、不飽和脂肪酸の分子間重合反応によって得られる既知の二塩基酸であり、その工業的製造プロセスは業界でほぼ標準化されており、炭素数が11〜22の不飽和脂肪酸を粘土触媒等にて二量化して得られる。工業的に得られるダイマー酸は、オレイン酸やリノール酸などの炭素数18の不飽和脂肪酸を二量化することによって得られる炭素数36の二塩基酸が主成分であるが、精製の度合いに応じ、任意量のモノマー酸(炭素数18)、トリマー酸(炭素数54)、炭素数20〜54の他の重合脂肪酸を含有する。第1の実施の形態では、ダイマー酸は分子蒸留によってダイマー酸含有量を90重量%以上にまで高めたものを使用することが好ましい。また、ダイマー化反応後には二重結合が残存するが、第1の実施の形態では、更に水素添加反応して不飽和度を低下させたものもダイマー酸に含めるものとする。   Dimer acid is a known dibasic acid obtained by an intermolecular polymerization reaction of an unsaturated fatty acid, and its industrial production process is almost standardized in the industry, and an unsaturated fatty acid having 11 to 22 carbon atoms is converted into a clay catalyst. It is obtained by dimerization with the above. The dimer acid obtained industrially is mainly composed of a dibasic acid having 36 carbon atoms obtained by dimerizing an unsaturated fatty acid having 18 carbon atoms such as oleic acid or linoleic acid, depending on the degree of purification. , Containing any amount of monomeric acid (18 carbon atoms), trimer acid (54 carbon atoms), and other polymerized fatty acids having 20 to 54 carbon atoms. In the first embodiment, it is preferable to use dimer acid whose dimer acid content is increased to 90% by weight or more by molecular distillation. In addition, although a double bond remains after the dimerization reaction, in the first embodiment, the dimer acid further includes a hydrogenation reaction that lowers the degree of unsaturation.

ダイマー酸型ジアミンの特徴として、ダイマー酸の骨格に由来する特性を付与することができる。すなわち、ダイマー酸型ジアミンは、分子量約560〜620の巨大分子の脂肪族であるので、分子のモル体積を大きくし、ポリイミドの極性基を相対的に減らすことができる。このようなダイマー酸型ジアミンの特徴は、ポリイミドの耐熱性の低下を抑制しつつ、誘電特性を向上させることに寄与すると考えられる。また、2つの自由に動く炭素数7〜9の疎水鎖と、炭素数18に近い長さを持つ2つの鎖状の脂肪族アミノ基とを有するので、ポリイミドに柔軟性を与えるのみならず、ポリイミドを非対象的な化学構造や非平面的な化学構造とすることができるので、ポリイミドの低誘電率化を図ることができると考えられる。   As a feature of the dimer acid diamine, a characteristic derived from the skeleton of the dimer acid can be provided. That is, since the dimer acid type diamine is a macromolecular aliphatic having a molecular weight of about 560 to 620, the molecular molar volume can be increased and the polar groups of the polyimide can be relatively reduced. Such a feature of the dimer acid type diamine is considered to contribute to improving the dielectric properties while suppressing a decrease in the heat resistance of the polyimide. In addition, since it has two freely moving hydrophobic chains having 7 to 9 carbon atoms and two chain-like aliphatic amino groups having a length close to 18 carbon atoms, not only gives flexibility to the polyimide, Since polyimide can be made into a non-target chemical structure or a non-planar chemical structure, it is thought that the dielectric constant of polyimide can be reduced.

ダイマー酸型ジアミンの仕込み量は、全ジアミン成分に対し、4〜8モル%の範囲内、好ましくは5〜7モル%の範囲内がよい。ダイマー酸型ジアミンが4モル%未満であると、ポリイミドの誘電特性が低下し、また、熱処理条件による誘電正接への影響が大きくなる傾向になり、8モル%を超えると、熱処理による寸法変化率が大きくなって耐熱性が悪化する傾向となる。   The charging amount of the dimer acid type diamine is within the range of 4 to 8 mol%, preferably within the range of 5 to 7 mol%, based on the total diamine component. If the dimer acid type diamine is less than 4 mol%, the dielectric properties of the polyimide will be reduced, and the influence of the heat treatment conditions on the dielectric loss tangent will tend to increase. If it exceeds 8 mol%, the dimensional change rate due to the heat treatment Tends to increase and heat resistance deteriorates.

ダイマー酸型ジアミンは、市販品が入手可能であり、例えばクローダジャパン社製のPRIAMINE1073(商品名)、同PRIAMINE1074(商品名)、コグニスジャパン社製のバーサミン551(商品名)、同バーサミン552(商品名)等が挙げられる。   The dimer acid type diamine is commercially available. For example, PRIAMINE 1073 (trade name) manufactured by Croda Japan, PRIAMINE 1074 (trade name), Versamine 551 (trade name), Versamine 552 (product) manufactured by Cognis Japan. Name).

(ジアミンA)
ジアミンAは、芳香族ジアミンであり、配向性の向上と吸湿率の抑制効果により、低CTE化や誘電特性の改善に寄与する。このような観点から、ジアミンAは、原料の全ジアミン成分に対し、76〜92モル%の範囲内、好ましくは82〜92モル%の範囲内で使用する。原料の全ジアミン成分に対するジアミンAの仕込み量が76モル%未満であると、分子の配向性が低下し、低CTE化が困難となる。また、原料の全ジアミン成分に対するジアミンAの仕込み量が92モル%を超えると、相対的にダイマー酸型ジアミン及びジアミンBの配合比率が低くなり過ぎるため、得られるポリイミドの誘電特性を改善する効果が十分に得られない。
(Diamine A)
Diamine A is an aromatic diamine, and contributes to the reduction of CTE and the improvement of dielectric properties by improving the orientation and suppressing the moisture absorption rate. From such a viewpoint, the diamine A is used in the range of 76 to 92 mol%, preferably in the range of 82 to 92 mol%, with respect to the total diamine component of the raw material. When the amount of diamine A charged relative to the total diamine component of the raw material is less than 76 mol%, the molecular orientation is lowered and it is difficult to reduce CTE. Moreover, since the compounding ratio of dimer acid type diamine and diamine B will become comparatively low when the preparation amount of diamine A with respect to all the diamine components of a raw material exceeds 92 mol%, the effect which improves the dielectric property of the polyimide obtained. Is not enough.

ジアミンAの具体例としては、2,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、3,3’,5-トリメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2’,5,5'-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、3,3’,5,5'-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,3’,5,5'-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2’,3,5-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2’,3,3’,5,5'-ヘキサメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2’,3,3’,5,5',6,6’-オクタメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,5-ジメチルメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,3,5,6-テトラメチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2'-ジエチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2'-プロピル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2'-ビス(1-メチルエチル)-4,4'-ジアミノジフェニル、5,5’ジメチル-2,2’−ビス(1-メチルエチル)-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2'-ジオクチル-4,4'-ジアミノジフェニル、2,2’−ビス(フェニルメチル)-4,4'-ジアミノジフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル等を挙げることができる。   Specific examples of diamine A include 2,3′-dimethyl-4,4′-diaminodiphenyl, 3,3 ′, 5-trimethyl-4,4′-diaminodiphenyl, 2,2 ′, 5,5′- Tetramethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 3,3 ', 5,5'-tetramethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,3', 5,5'-tetramethyl-4,4'- Diaminodiphenyl, 2,2 ', 3,5-tetramethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,2', 3,3 ', 5,5'-hexamethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2, 2 ', 3,3', 5,5 ', 6,6'-octamethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,5-dimethylmethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,3,5,6 -Tetramethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,2'-diethyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,2'-propyl-4,4'-diaminodiphenyl, 2,2'-bis (1 -Methylethyl) -4,4'-diaminodiphenyl, 5,5'dimethyl-2,2'-bis (1-methylethyl) -4,4'-diaminodiphenyl, 2,2'-dioctyl-4,4 '- Mino diphenyl, 2,2'-bis mention may be made of (phenylmethyl) -4,4'-diaminodiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl.

ジアミンAとしては、Rが炭素数1〜3のアルキル基であるものが好ましく、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルジフェニル、4,4’−ジアミノ−3,3’−ジメチルジフェニルがより好ましい。   The diamine A is preferably one in which R is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, 4,4′-diamino-2,2′-dimethyldiphenyl, 4,4′-diamino-3,3′-dimethyldiphenyl. Is more preferable.

(ジアミンB)
ジアミンBは、芳香族ジアミンであり、ダイマー酸型ジアミンと組み合わせることによって、ダイマー酸型ジアミンの配合量を抑制しても誘電正接の低減に寄与できるとともに、間接的にポリイミドの熱処理前後の寸法安定性の改善にも寄与する。このような観点から、本実施の形態のポリイミドは、ジアミンBを、全ジアミン中、4〜16モル%の範囲内、好ましくは6〜12モル%の範囲内で含有する。全ジアミン中、ジアミンBの量が、4モル%未満では、低誘電正接効果が得られにくくなり、16モル%を超えるとCTEが大きくなり、寸法安定性が低下する。
(Diamine B)
Diamine B is an aromatic diamine. When combined with dimer acid diamine, diamine B can contribute to reduction of dielectric loss tangent even if the blending amount of dimer acid diamine is suppressed, and indirectly stabilizes the dimension before and after heat treatment of polyimide. Also contributes to improvement of sex. From such a viewpoint, the polyimide of the present embodiment contains diamine B within the range of 4 to 16 mol%, preferably within the range of 6 to 12 mol%, based on the total diamine. If the amount of diamine B is less than 4 mol% in all diamines, it is difficult to obtain a low dielectric loss tangent effect, and if it exceeds 16 mol%, CTE increases and dimensional stability decreases.

ジアミンBとしては、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−Q)、2,2−ビス(4−アミノフェノキシフェニル)プロパン(BAPP)等を挙げることができる。   As diamine B, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R), 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB), 1,4-bis (4-aminophenoxy) Examples include benzene (TPE-Q), 2,2-bis (4-aminophenoxyphenyl) propane (BAPP), and the like.

本実施の形態のポリイミドは、上記以外のジアミンを用いることも可能である。上記以外のジアミンとしては、上記ジアミンA及びジアミンBジアミン以外のジアミンとしては、例えば4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、2’-メトキシ-4,4’-ジアミノベンズアニリド、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジヒドロキシ-4,4’-ジアミノビフェニル、4,4’-ジアミノベンズアニリド、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[1-(4-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[1-(3-アミノフェノキシ)]ビフェニル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4-(4-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4-(3-アミノフェノキシ)]ベンゾフェノン、ビス[4,4'-(4-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、ビス[4,4'-(3-アミノフェノキシ)]ベンズアニリド、9,9-ビス[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、9,9-ビス[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]フルオレン、2,2−ビス-[4-(4-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、2,2-ビス-[4-(3-アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン、4,4’-メチレンジ-o-トルイジン、4,4’-メチレンジ-2,6-キシリジン、4,4’-メチレン-2,6-ジエチルアニリン、4,4’-ジアミノジフェニルプロパン、3,3’-ジアミノジフェニルプロパン、4,4’-ジアミノジフェニルエタン、3,3’-ジアミノジフェニルエタン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、3,3’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’-ジアミノジフェニルスルフィド、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3-ジアミノジフェニルエーテル、3,4'-ジアミノジフェニルエーテル、ベンジジン、3,3’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジメトキシベンジジン、4,4''-ジアミノ-p-テルフェニル、3,3''-ジアミノ-p-テルフェニル、m-フェニレンジアミン、p-フェニレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、4,4'-[1,4-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、4,4'-[1,3-フェニレンビス(1-メチルエチリデン)]ビスアニリン、ビス(p-アミノシクロヘキシル)メタン、ビス(p-β-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-アミノペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノナフタレン、2,6-ジアミノナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチル)トルエン、2,4-ジアミノトルエン、m-キシレン-2,5-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレンジアミン、p-キシリレンジアミン、2,6-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オキサジアゾール、ピペラジン等が挙げられる。   A diamine other than the above can also be used for the polyimide of the present embodiment. Examples of diamines other than those described above include diamines other than the diamine A and diamine B diamines such as 4,4′-diaminodiphenyl ether, 2′-methoxy-4,4′-diaminobenzanilide, and 2,2′-dimethyl- 4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dihydroxy-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diaminobenzanilide, 2,2-bis- [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy)] biphenyl, bis [4- (3-amino Phenoxy) biphenyl, bis [1- (4-aminophenoxy)] biphenyl, bis [1- (3-aminophenoxy)] biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3 -Aminopheno Si) phenyl] methane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (4-aminophenoxy)] benzophenone, bis [4 -(3-Aminophenoxy)] benzophenone, bis [4,4 '-(4-aminophenoxy)] benzanilide, bis [4,4'-(3-aminophenoxy)] benzanilide, 9,9-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 9,9-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] fluorene, 2,2-bis- [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2 , 2-Bis- [4- (3-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-2,6-xylidine, 4,4'-methylene -2,6-diethylaniline, 4,4'-diaminodiphenyl Propane, 3,3'-diaminodiphenylpropane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 3,3'-diaminodiphenylethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'- Diaminodiphenyl sulfide, 3,3′-diaminodiphenyl sulfide, 4,4′-diaminodiphenyl sulfone, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3-diaminodiphenyl ether, 3,4 ′ -Diaminodiphenyl ether, benzidine, 3,3'-diaminobiphenyl, 3,3'-dimethoxybenzidine, 4,4 ''-diamino-p-terphenyl, 3,3 ''-diamino-p-terphenyl, m- Phenylenediamine, p-phenylenediamine, 2,6-diaminopyridine, 4,4 '-[1,4-phenylenebis (1-methylethylidene)] bisaniline, 4,4'-[1,3-phenylenebis (1 -Mechi Ethylidene)] bisaniline, bis (p-aminocyclohexyl) methane, bis (p-β-amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-methyl-δ-aminopentyl) benzene, p-bis (2- Methyl-4-aminopentyl) benzene, p-bis (1,1-dimethyl-5-aminopentyl) benzene, 1,5-diaminonaphthalene, 2,6-diaminonaphthalene, 2,4-bis (β-amino- t-butyl) toluene, 2,4-diaminotoluene, m-xylene-2,5-diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylenediamine, p-xylylenediamine, 2,6-diamino Examples include pyridine, 2,5-diaminopyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, piperazine and the like.

ポリイミドの誘電特性と、熱処理前後の寸法安定性を踏まえ、本実施の形態のポリイミドの前駆体の調製に好適に用いられるテトラカルボン酸無水物とジアミンの組み合わせとしては、例えば、テトラカルボン酸無水物としてピロメリット酸二無水物(PMDA);
ジアミンAとして2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル(m−TB);ジアミンBとして、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)を上記配合比率で使用する組み合わせを挙げることができる。
Based on the dielectric properties of polyimide and the dimensional stability before and after heat treatment, the combination of tetracarboxylic acid anhydride and diamine preferably used for the preparation of the polyimide precursor of the present embodiment includes, for example, tetracarboxylic acid anhydride As pyromellitic dianhydride (PMDA);
2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl (m-TB) as diamine A; 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R) as diamine B at the above blending ratio Can be listed.

本実施の形態のポリイミドにおいて、上記酸無水物及びジアミンの種類や、2種以上の酸無水物又はジアミンを使用する場合のそれぞれのモル比を選定することにより、熱膨張性、接着性、ガラス転移温度等を制御することができる。   In the polyimide of the present embodiment, by selecting the types of the above acid anhydride and diamine, and the molar ratios when using two or more acid anhydrides or diamines, thermal expansion, adhesion, glass The transition temperature and the like can be controlled.

本実施の形態のポリイミドは、上記テトラカルボン酸無水物、ダイマー酸型ジアミン、ジアミンA、及びジアミンBを溶媒中で反応させ、前駆体樹脂を生成したのち加熱閉環させることにより製造できる。例えば、酸無水物成分とジアミン成分をほぼ等モルで有機溶媒中に溶解させて、0〜100℃の範囲内の温度で30分〜24時間撹拌し重合反応させることでポリイミドの前駆体であるポリアミド酸が得られる。反応にあたっては、生成する前駆体が有機溶媒中に5〜30重量%の範囲内、好ましくは10〜20重量%の範囲内となるように反応成分を溶解する。重合反応に用いる有機溶媒としては、例えば、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAC)、N−メチル−2−ピロリドン、2−ブタノン、ジメチルスホキシド、硫酸ジメチル、シクロヘキサノン、ジオキサン、テトラヒドロフラン、ジグライム、トリグライム等が挙げられる。これらの溶媒を2種以上併用して使用することもでき、更にはキシレン、トルエンのような芳香族炭化水素の併用も可能である。また、このような有機溶剤の使用量としては特に制限されるものではないが、重合反応によって得られるポリアミド酸溶液(ポリイミド前駆体溶液)の濃度が5〜30重量%程度になるような使用量に調整して用いることが好ましい。   The polyimide of the present embodiment can be produced by reacting the tetracarboxylic acid anhydride, dimer acid type diamine, diamine A, and diamine B in a solvent to form a precursor resin, followed by heating and ring closure. For example, it is a polyimide precursor by dissolving an acid anhydride component and a diamine component in an approximately equimolar amount in an organic solvent and stirring and polymerizing at a temperature in the range of 0 to 100 ° C. for 30 minutes to 24 hours. A polyamic acid is obtained. In the reaction, the reaction components are dissolved so that the precursor to be produced is in the range of 5 to 30% by weight, preferably in the range of 10 to 20% by weight in the organic solvent. Examples of the organic solvent used for the polymerization reaction include N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide (DMAC), N-methyl-2-pyrrolidone, 2-butanone, dimethyl sulfoxide, dimethyl sulfate, cyclohexanone, and dioxane. , Tetrahydrofuran, diglyme, triglyme and the like. Two or more of these solvents can be used in combination, and further, aromatic hydrocarbons such as xylene and toluene can be used in combination. The amount of such organic solvent used is not particularly limited, but the amount used is such that the concentration of the polyamic acid solution (polyimide precursor solution) obtained by the polymerization reaction is about 5 to 30% by weight. It is preferable to adjust and use.

合成された前駆体は、通常、反応溶媒溶液として使用することが有利であるが、必要により濃縮、希釈又は他の有機溶媒に置換することができる。また、前駆体は一般に溶媒可溶性に優れるので、有利に使用される。前駆体をイミド化させる方法は、特に制限されず、例えば前記溶媒中で、80〜400℃の範囲内の温度条件で1〜24時間かけて加熱するといった熱処理が好適に採用される。   The synthesized precursor is usually advantageously used as a reaction solvent solution, but can be concentrated, diluted, or replaced with another organic solvent if necessary. Moreover, since a precursor is generally excellent in solvent solubility, it is advantageously used. The method for imidizing the precursor is not particularly limited, and for example, heat treatment such as heating in the solvent at a temperature within the range of 80 to 400 ° C. for 1 to 24 hours is suitably employed.

本実施の形態のポリイミドは、イミド基濃度が31%〜33%の範囲内であることが好ましい。ここで、「イミド基濃度」は、ポリイミド中のイミド基部(−(CO)−N−)の分子量を、ポリイミドの構造全体の分子量で除した値を意味する。イミド基濃度が31%未満であると、耐熱性の低下やCTEの増大によって寸法安定性の低下の原因となり、33%を超えると、極性基の増加によって誘電特性も悪化する。本実施の形態のポリイミドでは、上記ダイマー酸型ジアミンによって誘電特性を改善するとともに、テトラカルボン酸二無水物としてのピロメリット酸二無水物と、ジアミンA及びジアミンBとの選択的な組み合わせによって、ポリイミド中の分子の配向性を制御することで、イミド基濃度低下に伴うCTEの増加を抑制し、低い誘電特性と高い寸法安定性とを両立させている。 The polyimide of this embodiment preferably has an imide group concentration in the range of 31% to 33%. Here, the “imide group concentration” means a value obtained by dividing the molecular weight of the imide group (— (CO) 2 —N—) in the polyimide by the molecular weight of the entire structure of the polyimide. If the imide group concentration is less than 31%, the dimensional stability is reduced due to a decrease in heat resistance and an increase in CTE, and if it exceeds 33%, the dielectric properties are also deteriorated due to an increase in polar groups. In the polyimide of the present embodiment, the dimer acid type diamine improves the dielectric characteristics, and by selective combination of pyromellitic dianhydride as tetracarboxylic dianhydride, diamine A and diamine B, By controlling the orientation of the molecules in the polyimide, an increase in CTE accompanying a decrease in imide group concentration is suppressed, and both low dielectric properties and high dimensional stability are achieved.

[樹脂フィルム]
本実施の形態の樹脂フィルムは、上記実施の形態のポリイミドから形成されるポリイミド層を含む絶縁樹脂のフィルムであれば特に限定されるものではなく、絶縁樹脂からなるフィルム(シート)であってもよく、銅箔、ガラス板、ポリイミド系フィルム、ポリアミド系フィルム、ポリエステル系フィルムなどの樹脂シート等の基材に積層された状態の絶縁樹脂のフィルムであってもよい。また、第1の実施の形態の樹脂フィルムの厚みは、好ましくは3〜100μmの範囲内、より好ましくは3〜75μmの範囲にある。
[Resin film]
The resin film of this embodiment is not particularly limited as long as it is an insulating resin film including a polyimide layer formed from the polyimide of the above embodiment, and even a film (sheet) made of an insulating resin. Alternatively, it may be a film of an insulating resin laminated on a substrate such as a resin sheet such as a copper foil, a glass plate, a polyimide film, a polyamide film, or a polyester film. Moreover, the thickness of the resin film of 1st Embodiment becomes like this. Preferably it exists in the range of 3-100 micrometers, More preferably, it exists in the range of 3-75 micrometers.

本実施の形態の樹脂フィルムは、FPC等の回路基板に使用した際のインピーダンス整合性を確保するために、3GHzにおける誘電率が3.3以下であることが好ましい。樹脂フィルムの3GHzにおける誘電率が3.3を超えると、FPC等の回路基板に使用した際に、高周波信号の伝送経路上でインピーダンスが変化しやすくなり、電磁波の反射が生じて、電気信号のロスや信号波形の乱れなどの不都合が生じやすくなる。   The resin film of the present embodiment preferably has a dielectric constant at 3 GHz of 3.3 or less in order to ensure impedance matching when used for a circuit board such as an FPC. If the dielectric constant of the resin film at 3 GHz exceeds 3.3, when used for a circuit board such as an FPC, the impedance tends to change on the transmission path of the high-frequency signal, reflection of electromagnetic waves occurs, Inconveniences such as loss and signal waveform disturbance are likely to occur.

また、本実施の形態の樹脂フィルムは、FPC等の回路基板に使用した際のインピーダンス整合性を確保するために、3GHzにおける誘電正接が0.006以下であることが好ましい。樹脂フィルムの3GHzにおける誘電正接が0.006を超えると、FPC等の回路基板に使用した際に、高周波信号の伝送経路上でインピーダンスが変化しやすくなり、電磁波の反射が生じて、電気信号のロスや信号波形の乱れなどの不都合が生じやすくなる。   In addition, the resin film of the present embodiment preferably has a dielectric loss tangent at 3 GHz of 0.006 or less in order to ensure impedance matching when used for a circuit board such as an FPC. When the dielectric tangent at 3 GHz of the resin film exceeds 0.006, when used for a circuit board such as an FPC, the impedance tends to change on the transmission path of the high-frequency signal, and reflection of electromagnetic waves occurs. Inconveniences such as loss and signal waveform disturbance are likely to occur.

上記の本実施の形態のポリイミドから形成されるポリイミド層の中でも、低接着性であって、低熱膨張性のポリイミド層は、ベースフィルム層(絶縁樹脂層の主層)としての適用が好適である。具体的には、熱線膨張係数が1×10−6 〜30×10−6(1/K)の範囲内、好ましくは1×10−6 〜25×10−6(1/K)の範囲内、より好ましくは15×10−6 〜25×10−6(1/K)の範囲内にある低熱膨張性のポリイミド層をベースフィルム層に適用すると大きな効果が得られる。一方、上記熱線膨張係数を超えるポリイミド層も、例えば金属層や他の樹脂層などの基材との接着層としての適用が好適である。このような接着性ポリイミド層として好適に用いることができるポリイミドとして、そのガラス転移温度が、例えば350℃以下であるものが好ましく、200〜320℃の範囲内にあるものがより好ましい。 Among the polyimide layers formed from the polyimide of the present embodiment, the low adhesion and low thermal expansion polyimide layer is suitable for application as a base film layer (main layer of an insulating resin layer). . Specifically, the thermal linear expansion coefficient is in the range of 1 × 10 −6 to 30 × 10 −6 (1 / K), preferably in the range of 1 × 10 −6 to 25 × 10 −6 (1 / K). More preferably, when a low thermal expansion polyimide layer in the range of 15 × 10 −6 to 25 × 10 −6 (1 / K) is applied to the base film layer, a great effect can be obtained. On the other hand, a polyimide layer exceeding the thermal linear expansion coefficient is also preferably applied as an adhesive layer with a base material such as a metal layer or another resin layer. As a polyimide that can be suitably used as such an adhesive polyimide layer, a glass transition temperature of, for example, 350 ° C. or lower is preferable, and a glass transition temperature in the range of 200 to 320 ° C. is more preferable.

本実施の形態の樹脂フィルムとしてのポリイミドフィルムの形成方法については特に限定されないが、例えば、ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を任意の基材上に塗布した後に熱処理(乾燥、硬化)を施して基材上にポリイミド層(又はポリアミド酸層)を形成した後、剥離してポリイミドフィルムとする方法を挙げることができる。ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を基材上に塗布する方法としては特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。多層のポリイミド層の形成に際しては、ポリイミド溶液(又はポリアミド酸溶液)を基材に塗布、乾燥する操作を繰り返す方法が好ましい。   The method for forming the polyimide film as the resin film of the present embodiment is not particularly limited. For example, after applying a polyimide solution (or polyamic acid solution) on an arbitrary substrate, heat treatment (drying and curing) is performed. An example is a method of forming a polyimide film (or polyamic acid layer) on a substrate and then peeling it to form a polyimide film. The method for applying the polyimide solution (or polyamic acid solution) on the substrate is not particularly limited, and for example, it can be applied by a coater such as a comma, die, knife, lip or the like. In forming a multi-layer polyimide layer, a method of repeatedly applying and drying a polyimide solution (or polyamic acid solution) on a substrate is preferable.

本実施の形態の樹脂フィルムは、単層又は複数層のポリイミド層を含むことができる。この場合、ポリイミド層の少なくとも1層(好ましくはベースフィルム層)が、本実施の形態の非熱可塑性ポリイミドを用いて形成されていることが好ましい。例えば、非熱可塑性ポリイミド層をP1、熱可塑性ポリイミド層をP2とすると、樹脂フィルムを2層とする場合にはP2/P1の組み合わせで積層することが好ましく、樹脂フィルムを3層とする場合にはP2/P1/P2の順、又は、P2/P1/P1の順に積層することが好ましい。ここで、P1が本実施の形態の非熱可塑性ポリイミドを用いて形成されたベースフィルム層となる。なお、P2は、本実施の形態のポリイミド以外のポリイミドによって構成されていてもよい。   The resin film of the present embodiment can include a single layer or a plurality of polyimide layers. In this case, it is preferable that at least one of the polyimide layers (preferably the base film layer) is formed using the non-thermoplastic polyimide of the present embodiment. For example, if the non-thermoplastic polyimide layer is P1 and the thermoplastic polyimide layer is P2, when the resin film is two layers, it is preferable to laminate with a combination of P2 / P1, and when the resin film is three layers Are preferably laminated in the order of P2 / P1 / P2, or in the order of P2 / P1 / P1. Here, P1 is a base film layer formed using the non-thermoplastic polyimide of the present embodiment. P2 may be made of a polyimide other than the polyimide of the present embodiment.

本実施の形態の樹脂フィルムは、必要に応じて、ポリイミド層中に無機フィラーを含有してもよい。具体的には、例えば二酸化ケイ素、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ベリリウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、フッ化アルミニウム、フッ化カルシウム等が挙げられる。これらは1種又は2種以上を混合して用いることができる。   The resin film of this Embodiment may contain an inorganic filler in a polyimide layer as needed. Specific examples include silicon dioxide, aluminum oxide, magnesium oxide, beryllium oxide, boron nitride, aluminum nitride, silicon nitride, aluminum fluoride, and calcium fluoride. These may be used alone or in combination of two or more.

本実施の形態の樹脂フィルムを低熱膨張性のポリイミドフィルムとして適用したものは、例えばカバーレイフィルムにおけるカバーレイ用フィルム材として適用することができる。本実施の形態の樹脂フィルムに、任意の接着剤層を積層してカバーレイフィルムを形成することができる。カバーレイ用フィルム材層の厚みは、特に限定されるものではないが、例えば5μm以上100μm以下が好ましい。また、接着剤層の厚さは、特に限定されるものではないが、例えば25μm以上50μm以下が好ましい。   What applied the resin film of this Embodiment as a low-thermal-expansion polyimide film can be applied, for example as a film material for coverlays in a coverlay film. A cover lay film can be formed by laminating an arbitrary adhesive layer on the resin film of the present embodiment. The thickness of the coverlay film material layer is not particularly limited, but is preferably 5 μm or more and 100 μm or less, for example. The thickness of the adhesive layer is not particularly limited, but is preferably 25 μm or more and 50 μm or less, for example.

本実施の形態の樹脂フィルムを接着性のポリイミドフィルムとして適用したものは、例えば多層FPCのボンディングシートとしても利用することができる。ボンディングシートとして用いる場合、任意の基材フィルム上に、第1の実施の形態の樹脂フィルムをそのままボンディングシートとして使用してもよいし、この樹脂フィルムを任意の基材フィルムと積層した状態で使用してもよい。   What applied the resin film of this Embodiment as an adhesive polyimide film can be utilized also as a bonding sheet of multilayer FPC, for example. When used as a bonding sheet, the resin film of the first embodiment may be used as it is as a bonding sheet on an arbitrary base film, or the resin film is used in a state of being laminated with an arbitrary base film. May be.

[金属張積層体]
本実施の形態の金属張積層体は、絶縁樹脂層と、この絶縁樹脂層の少なくとも片側の面に積層された金属層と、を有する。金属張積層体の好ましい具体例としては、例えば銅張積層体(CCL)などを挙げることができる。
[Metal-clad laminate]
The metal-clad laminate of the present embodiment has an insulating resin layer and a metal layer laminated on at least one surface of the insulating resin layer. Preferable specific examples of the metal-clad laminate include a copper-clad laminate (CCL).

<絶縁樹脂層>
本実施の形態の金属張積層体において、絶縁樹脂層は、単層又は複数層のポリイミド層を有する。この場合、金属張積層体に優れた高周波特性を付与するためには、ポリイミド層の少なくとも1層(好ましくはベースフィルム層)が、本実施の形態の非熱可塑性ポリイミドを用いて形成されていることが好ましい。例えば、絶縁樹脂層を2層とする場合において、非熱可塑性ポリイミド層をP1、熱可塑性ポリイミド層をP2、金属層をM1とすると、P1/P2/M1の順に積層することが好ましい。ここで、P1が本実施の形態の非熱可塑性ポリイミドを用いて形成されたベースフィルム層となる。なお、P2は、本実施の形態のポリイミド以外のポリイミドによって構成されていてもよい。
<Insulating resin layer>
In the metal-clad laminate of this embodiment, the insulating resin layer has a single layer or a plurality of polyimide layers. In this case, in order to impart excellent high frequency characteristics to the metal-clad laminate, at least one of the polyimide layers (preferably the base film layer) is formed using the non-thermoplastic polyimide of the present embodiment. It is preferable. For example, when two insulating resin layers are used, P1 is a non-thermoplastic polyimide layer, P2 is a thermoplastic polyimide layer, and M1 is a metal layer. Here, P1 is a base film layer formed using the non-thermoplastic polyimide of the present embodiment. P2 may be made of a polyimide other than the polyimide of the present embodiment.

本実施の形態の金属張積層体において、絶縁樹脂層は、FPC等の回路基板に使用した際のインピーダンス整合性を確保するために、3GHzにおける誘電率が3.3以下であることが好ましい。絶縁樹脂層の3GHzにおける誘電率が3.3を超えると、FPC等の回路基板に使用した際に、高周波信号の伝送経路上でインピーダンスが変化しやすくなり、電磁波の反射が生じて、電気信号のロスや信号波形の乱れなどの不都合が生じやすくなる。   In the metal-clad laminate of the present embodiment, the insulating resin layer preferably has a dielectric constant at 3 GHz of 3.3 or less in order to ensure impedance matching when used for a circuit board such as an FPC. When the dielectric constant of the insulating resin layer at 3 GHz exceeds 3.3, when used on a circuit board such as an FPC, the impedance is likely to change on the transmission path of the high-frequency signal, and reflection of electromagnetic waves occurs. Inconvenience such as loss of signal and disturbance of signal waveform is likely to occur.

また、本実施の形態の金属張積層体において、絶縁樹脂層は、FPC等の回路基板に使用した際のインピーダンス整合性を確保するために、3GHzにおける誘電正接が0.006以下であることが好ましい。絶縁樹脂層の3GHzにおける誘電正接が0.006を超えると、FPC等の回路基板に使用した際に、高周波信号の伝送経路上でインピーダンスが変化しやすくなり、電磁波の反射が生じて、電気信号のロスや信号波形の乱れなどの不都合が生じやすくなる。   In addition, in the metal-clad laminate of this embodiment, the insulating resin layer may have a dielectric loss tangent at 3 GHz of 0.006 or less in order to ensure impedance matching when used for a circuit board such as an FPC. preferable. If the dielectric tangent at 3 GHz of the insulating resin layer exceeds 0.006, when used for a circuit board such as an FPC, the impedance easily changes on the transmission path of the high-frequency signal, and electromagnetic waves are reflected, resulting in an electrical signal. Inconvenience such as loss of signal and disturbance of signal waveform is likely to occur.

<金属層>
第1の実施の形態の金属張積層体における金属層の材質としては、特に制限はないが、例えば、銅、ステンレス、鉄、ニッケル、ベリリウム、アルミニウム、亜鉛、インジウム、銀、金、スズ、ジルコニウム、タンタル、チタン、鉛、マグネシウム、マンガン及びこれらの合金等が挙げられる。この中でも、特に銅又は銅合金が好ましい。なお、後述する第1の実施の形態の回路基板における配線層の材質も金属層と同様である。
<Metal layer>
The material of the metal layer in the metal-clad laminate of the first embodiment is not particularly limited. For example, copper, stainless steel, iron, nickel, beryllium, aluminum, zinc, indium, silver, gold, tin, zirconium Tantalum, titanium, lead, magnesium, manganese, and alloys thereof. Among these, copper or a copper alloy is particularly preferable. The material of the wiring layer in the circuit board of the first embodiment to be described later is the same as that of the metal layer.

信号配線に高周波信号が供給されている状態では、その信号配線の表面にしか電流が流れず、電流が流れる有効断面積が少なくなって直流抵抗が大きくなり信号が減衰する問題(表皮効果)がある。金属層の絶縁樹脂層に接する面の表面粗度を下げることで、この表皮効果による信号配線の抵抗増大を抑制できる。しかし、電気性能要求基準を満足させるために表面粗度を下げると、銅箔と誘電体基板との接着力(剥離強度)が弱くなる。そこで、電気性能要求を満足可能であり、絶縁樹脂層との接着性を確保しつつ金属張積層体の視認性を向上させるという観点から、金属層の絶縁樹脂層に接する面の表面粗度は、十点平均粗さRzが1.5μm以下であることが好ましく、かつ、算術平均粗さRaが0.2μm以下であることが好ましい。   When a high-frequency signal is supplied to the signal wiring, current flows only on the surface of the signal wiring, the effective cross-sectional area through which the current flows decreases, the DC resistance increases, and the signal attenuates (skin effect) is there. By reducing the surface roughness of the surface of the metal layer in contact with the insulating resin layer, an increase in the resistance of the signal wiring due to the skin effect can be suppressed. However, if the surface roughness is lowered to satisfy the electrical performance requirement standard, the adhesive strength (peeling strength) between the copper foil and the dielectric substrate becomes weak. Therefore, from the viewpoint of satisfying the electrical performance requirements and improving the visibility of the metal-clad laminate while ensuring adhesion with the insulating resin layer, the surface roughness of the surface of the metal layer in contact with the insulating resin layer is The ten-point average roughness Rz is preferably 1.5 μm or less, and the arithmetic average roughness Ra is preferably 0.2 μm or less.

金属張積層体は、例えば上記実施の形態のポリイミドを含んで構成される樹脂フィルムを用意し、これに金属をスパッタリングしてシード層を形成した後、例えばメッキによって金属層を形成することによって調製してもよい。   The metal-clad laminate is prepared, for example, by preparing a resin film including the polyimide of the above-described embodiment, forming a seed layer by sputtering a metal on the resin film, and then forming the metal layer by, for example, plating. May be.

また、金属張積層体は、上記実施の形態のポリイミドを含んで構成される樹脂フィルムを用意し、これに金属箔を熱圧着などの方法でラミネートすることによって調製してもよい。   The metal-clad laminate may be prepared by preparing a resin film including the polyimide of the above embodiment and laminating a metal foil on the resin film by a method such as thermocompression bonding.

さらに、金属張積層体は、金属箔の上に、上記実施の形態のポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を含有する塗布液をキャストし、乾燥して塗布膜とした後、熱処理してイミド化し、ポリイミド層を形成することによって調製してもよい。   Further, the metal-clad laminate is cast on a metal foil with a coating solution containing the polyamic acid that is a precursor of the polyimide of the above embodiment, dried to form a coating film, and then heat treated to imidize. Alternatively, it may be prepared by forming a polyimide layer.

[回路基板]
本実施の形態の回路基板は、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層上に形成された配線層と、を有する。本実施の形態の回路基板において、絶縁樹脂層は、単層又は複数層のポリイミド層を有することができる。この場合、回路基板に優れた高周波特性を付与するためには、ポリイミド層の少なくとも1層(好ましくはベースフィルム層)が、上記実施の形態の非熱可塑性ポリイミドを用いて形成されていることが好ましい。例えば、絶縁樹脂層を2層とする場合において、非熱可塑性ポリイミド層をP1、熱可塑性ポリイミド層をP2、配線層をM2とすると、P1/P2/M2の順に積層することが好ましい。ここで、P1が本上記実施の形態の非熱可塑性ポリイミドを用いて形成されたベースフィルム層となる。なお、P2は、上記実施の形態以外のポリイミドによって構成されていてもよい。
[Circuit board]
The circuit board of the present embodiment includes an insulating resin layer and a wiring layer formed on the insulating resin layer. In the circuit board of this embodiment, the insulating resin layer can include a single layer or a plurality of polyimide layers. In this case, in order to impart excellent high frequency characteristics to the circuit board, at least one of the polyimide layers (preferably the base film layer) is formed using the non-thermoplastic polyimide of the above embodiment. preferable. For example, when two insulating resin layers are used, P1 is a non-thermoplastic polyimide layer, P2 is a thermoplastic polyimide layer, and M2 is a wiring layer. P1 / P2 / M2 are preferably laminated in this order. Here, P1 is a base film layer formed using the non-thermoplastic polyimide of the above embodiment. P2 may be made of polyimide other than the above embodiment.

本実施の形態において、上記実施の形態のポリイミドを使用する以外、回路基板を作成する方法は問われない。例えば、上記実施の形態のポリイミドを含む絶縁樹脂層と金属層で構成される金属張積層体を用意し、金属層をエッチングして配線を形成するサブトラクティブ法でもよい。また、上記実施の形態のポリイミド層上にシード層を形成した後、レジストをパターン形成し、さらに金属をパターンメッキすることにより配線形成を行うセミアディティブ法でもよい。   In the present embodiment, a method for producing a circuit board is not limited except that the polyimide of the above embodiment is used. For example, a subtractive method may be used in which a metal-clad laminate including an insulating resin layer containing polyimide and a metal layer according to the above embodiment is prepared, and wiring is formed by etching the metal layer. Alternatively, a semi-additive method may be used in which a seed layer is formed on the polyimide layer of the above-described embodiment, a resist is patterned, and a metal is pattern-plated to form a wiring.

以下、代表的にキャスト法とサブトラクティブ法との組み合わせの場合を例に挙げて本実施の形態の回路基板の製造方法について、具体的に説明する。   Hereinafter, a method for manufacturing a circuit board according to the present embodiment will be specifically described by taking as an example a combination of a casting method and a subtractive method.

まず、本実施の形態の金属張積層体の製造方法は、以下の工程(1)〜(3)を含むことができる。
工程(1):
工程(1)は、上記実施の形態のポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の樹脂溶液を得る工程である。この工程は、上記のとおり、ピロメリット酸二無水物を含むテトラカルボン酸二無水物と、ダイマー酸型ジアミン、ジアミンA及びジアミンBを含むジアミン成分とを適宜の溶媒中で反応させることにより行うことができる。
First, the manufacturing method of the metal-clad laminate of the present embodiment can include the following steps (1) to (3).
Step (1):
Step (1) is a step of obtaining a resin solution of polyamic acid that is a precursor of the polyimide of the above embodiment. As described above, this step is performed by reacting a tetracarboxylic dianhydride containing pyromellitic dianhydride and a diamine component containing dimer acid diamine, diamine A and diamine B in an appropriate solvent. be able to.

工程(2):
工程(2)は、金属層となる金属箔上に、ポリアミド酸の樹脂溶液を塗布し、塗布膜を形成する工程である。金属箔は、カットシート状、ロール状のもの、又はエンドレスベルト状などの形状で使用できる。生産性を得るためには、ロール状又はエンドレスベルト状の形態とし、連続生産可能な形式とすることが効率的である。さらに、回路基板における配線パターン精度の改善効果をより大きく発現させる観点から、銅箔は長尺に形成されたロール状のものが好ましい。
Step (2):
Step (2) is a step of applying a polyamic acid resin solution onto a metal foil to be a metal layer to form a coating film. The metal foil can be used in the form of a cut sheet, a roll, or an endless belt. In order to obtain productivity, it is efficient to use a roll-like or endless belt-like form so that continuous production is possible. Furthermore, the copper foil is preferably in the form of a roll that is formed in a long shape from the viewpoint of expressing the effect of improving the accuracy of the wiring pattern on the circuit board.

塗布膜を形成する方法は、ポリアミド酸の樹脂溶液を金属箔の上に直接塗布するか、又は金属箔に支持されたポリイミド層の上に塗布した後に乾燥することで形成できる。塗布する方法は特に制限されず、例えばコンマ、ダイ、ナイフ、リップ等のコーターにて塗布することが可能である。   The coating film can be formed by directly applying the polyamic acid resin solution on the metal foil or by applying the solution on the polyimide layer supported by the metal foil and then drying. The method of applying is not particularly limited, and it is possible to apply with a coater such as a comma, die, knife, lip or the like.

ポリイミド層は、単層でもよいし、複数層からなるものでもよい。ポリイミド層を複数層とする場合、異なる構成成分からなる前駆体の層の上に他の前駆体を順次塗布して形成することができる。前駆体の層が3層以上からなる場合、同一の構成の前駆体を2回以上使用してもよい。層構造が簡単である2層又は単層は、工業的に有利に得ることができるので好ましい。また、前駆体の層の厚み(乾燥後)は、例えば、3〜100μmの範囲内、好ましくは3〜50μmの範囲内にあることがよい。   The polyimide layer may be a single layer or a plurality of layers. In the case where a plurality of polyimide layers are used, other precursors can be sequentially applied on the precursor layers made of different components. When the precursor layer is composed of three or more layers, the precursor having the same configuration may be used twice or more. A two-layer or a single layer having a simple layer structure is preferable because it can be advantageously obtained industrially. The thickness of the precursor layer (after drying) is, for example, in the range of 3 to 100 μm, preferably in the range of 3 to 50 μm.

ポリイミド層を複数層とする場合、ベースフィルム層が上記実施の形態のポリイミドからなる非熱可塑性ポリイミド層であり、金属層に接するポリイミド層が熱可塑性ポリイミド層となるように前駆体の層を形成することが好ましい。熱可塑性ポリイミドを用いることで、金属層との密着性を向上させることができる。このような熱可塑性ポリイミドは、ガラス転移温度(Tg)が360℃以下であるものが好ましく、より好ましくは200〜320℃である。   When multiple polyimide layers are used, the precursor film is formed so that the base film layer is a non-thermoplastic polyimide layer made of the polyimide of the above embodiment, and the polyimide layer in contact with the metal layer is a thermoplastic polyimide layer. It is preferable to do. By using thermoplastic polyimide, adhesion with the metal layer can be improved. Such a thermoplastic polyimide preferably has a glass transition temperature (Tg) of 360 ° C. or lower, more preferably 200 to 320 ° C.

また、単層又は複数層の前駆体の層を一旦イミド化して単層又は複数層のポリイミド層とした後に、更にその上に前駆体の層を形成することも可能である。   It is also possible to once imidize a single layer or a plurality of precursor layers into a single layer or a plurality of polyimide layers, and further form a precursor layer thereon.

工程(3):
工程(3)は、塗布膜を熱処理してイミド化し、絶縁樹脂層を形成する工程である。イミド化の方法は、特に制限されず、例えば、80〜400℃の範囲内の温度条件で1〜60分間の範囲内の時間加熱するといった熱処理が好適に採用される。金属層の酸化を抑制するため、低酸素雰囲気下での熱処理が好ましく、具体的には、窒素又は希ガスなどの不活性ガス雰囲気下、水素などの還元ガス雰囲気下、あるいは真空中で行うことが好ましい。熱処理により、塗布膜中のポリアミド酸がイミド化し、ポリイミドが形成される。
Step (3):
Step (3) is a step of forming an insulating resin layer by heat-treating the coating film to imidize it. The imidization method is not particularly limited, and for example, heat treatment such as heating for 1 to 60 minutes under a temperature condition in the range of 80 to 400 ° C. is suitably employed. In order to suppress the oxidation of the metal layer, heat treatment in a low oxygen atmosphere is preferable. Specifically, the heat treatment is performed in an inert gas atmosphere such as nitrogen or a rare gas, in a reducing gas atmosphere such as hydrogen, or in a vacuum. Is preferred. By the heat treatment, the polyamic acid in the coating film is imidized to form polyimide.

以上のようにして、ポリイミド層(単層又は複数層)と金属層とを有する金属張積層体を製造することができる。   As described above, a metal-clad laminate having a polyimide layer (single layer or multiple layers) and a metal layer can be produced.

また、第1の実施の形態の回路基板の製造方法は、上記(1)〜(3)の工程に加え、さらに、以下の工程(4)を含むことができる。   The circuit board manufacturing method of the first embodiment can further include the following step (4) in addition to the steps (1) to (3).

工程(4):
工程(4)は、金属張積層体の金属箔をパターニングして配線層を形成する工程である。本工程では、金属層を所定形状にエッチングすることによってパターン形成し、配線層に加工することによって回路基板を得る。エッチングは、例えばフォトリソグラフィー技術などを利用する任意の方法で行うことができる。
Step (4):
Step (4) is a step of forming a wiring layer by patterning the metal foil of the metal-clad laminate. In this step, the circuit layer is obtained by forming a pattern by etching the metal layer into a predetermined shape and processing it into a wiring layer. Etching can be performed by any method using, for example, photolithography.

なお、以上の説明では、回路基板の製造方法の特徴的工程のみを説明した。すなわち、回路基板を製造する際に、通常行われる上記以外の工程、例えば前工程でのスルーホール加工や、後工程の端子メッキ、外形加工などの工程は、常法に従い行うことができる。   In the above description, only the characteristic steps of the circuit board manufacturing method have been described. That is, when manufacturing a circuit board, processes other than the above normally performed, for example, processes such as through-hole processing in a previous process, terminal plating in a subsequent process, and external processing can be performed according to a conventional method.

以上のように、上記実施の形態のポリイミドは、熱処理による寸法安定性に優れ、かつ、低い誘電正接を有するものである。従って、本実施の形態のポリイミドを使用することによって、インピーダンス整合性に優れた金属張積層体を形成することができる。また、上記実施の形態のポリイミドを用いることにより、FPCに代表される回路基板において、電気信号の伝送特性を改善し、信頼性を向上させることができる。   As described above, the polyimide of the above embodiment has excellent dimensional stability by heat treatment and has a low dielectric loss tangent. Therefore, by using the polyimide of the present embodiment, a metal-clad laminate having excellent impedance matching can be formed. In addition, by using the polyimide according to the above-described embodiment, electrical signal transmission characteristics can be improved and reliability can be improved in a circuit board typified by FPC.

以下に実施例を示し、本発明の特徴をより具体的に説明する。ただし、本発明の範囲は、実施例に限定されない。なお、以下の実施例において、特にことわりのない限り各種測定、評価は下記によるものである。   The features of the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited to the examples. In the following examples, various measurements and evaluations are as follows unless otherwise specified.

[熱膨張係数(CTE)の測定]
熱膨張係数は、3mm×20mmのサイズのポリイミドフィルムを、サーモメカニカルアナライザー(Bruker社製、商品名;4000SA)を用い、5.0gの荷重を加えながら一定の昇温速度で30℃から250℃まで昇温させ、更にその温度で10分保持した後、5℃/分の速度で冷却し、240℃から100℃までの平均熱膨張係数(線熱膨張係数)を求めた。
[Measurement of coefficient of thermal expansion (CTE)]
The coefficient of thermal expansion was 30 ° C. to 250 ° C. with a constant temperature increase rate while applying a 5.0 g load using a thermomechanical analyzer (trade name: 4000SA) made of a polyimide film having a size of 3 mm × 20 mm. Then, the temperature was further maintained at that temperature for 10 minutes, followed by cooling at a rate of 5 ° C./minute, and an average thermal expansion coefficient (linear thermal expansion coefficient) from 240 ° C. to 100 ° C. was determined.

[ガラス転移温度(Tg)の測定]
ガラス転移温度は、5mm×20mmのサイズのポリイミドフィルムを、粘弾性測定装置(DMA:TAインスツルメント社製、商品名;RSA3)を用いて、30℃から400℃まで昇温速度4℃/分、周波数1Hzで行い、弾性率変化が最大となる(tanδ変化率が最も大きい)温度をガラス転移温度として評価した。
[Measurement of glass transition temperature (Tg)]
The glass transition temperature is 5 mm × 20 mm using a viscoelasticity measuring device (DMA: manufactured by TA Instruments Co., Ltd., trade name: RSA3). The temperature at which the elastic modulus change was maximum (the tan δ change rate was the largest) was evaluated as the glass transition temperature.

[ピール強度の測定]
ピール強度は、テンシロンテスター(東洋精機製作所社製、商品名;ストログラフVE−10)を用いて、幅1mmのサンプル(基材/樹脂層で構成された積層体)の樹脂層側を両面テープによりアルミ板に固定し、基材を180°方向に50mm/分の速度で、樹脂層と基材を剥離するときの力を求めた。
[Measurement of peel strength]
Peel strength was measured using a tensilon tester (trade name: Strograph VE-10, manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., Ltd.), and the double-sided tape was applied to the resin layer side of a 1 mm wide sample (laminate composed of substrate / resin layer). Was fixed to the aluminum plate, and the force for peeling the resin layer and the substrate in the 180 ° direction at a speed of 50 mm / min was determined.

[誘電率及び誘電正接の測定]
誘電率及び誘電正接は、以下の方法1(空洞共振器摂動法)又は方法2(平行平板法)により求めた。
方法1)空洞共振器摂動法誘電率評価装置(Agilent社製、商品名;ベクトルネットワークアナライザE8363B)を用い、所定の周波数における樹脂シート(硬化後の樹脂シート)の誘電率および誘電正接を測定した。なお、測定に使用した樹脂シートは、温度;24〜26℃、湿度;45〜55%の条件下で、24時間放置したものである。
方法2)平行平板法誘電率評価装置(Agilent社製、商品名;マテリアルアナライザーE4991A)を用い、所定の周波数における樹脂シート(硬化後の樹脂シート)の誘電率および誘電正接を測定した。なお、測定に使用した樹脂シートは、温度;30〜85℃、湿度;30〜85%の条件下で、1時間放置したものである。
[Measurement of dielectric constant and dissipation factor]
The dielectric constant and dielectric loss tangent were determined by the following method 1 (cavity resonator perturbation method) or method 2 (parallel plate method).
Method 1) Using a cavity resonator perturbation method dielectric constant evaluation apparatus (manufactured by Agilent, trade name: Vector Network Analyzer E8363B), the dielectric constant and dielectric loss tangent of a resin sheet (cured resin sheet) at a predetermined frequency were measured. . In addition, the resin sheet used for the measurement was left for 24 hours under the conditions of temperature; 24-26 ° C., humidity: 45-55%.
Method 2) The dielectric constant and dielectric loss tangent of the resin sheet (cured resin sheet) at a predetermined frequency were measured using a parallel plate method dielectric constant evaluation apparatus (trade name; Material Analyzer E4991A, manufactured by Agilent). In addition, the resin sheet used for the measurement was left for 1 hour under the conditions of temperature; 30 to 85 ° C., humidity; 30 to 85%.

実施例及び比較例に用いた略号は、以下の化合物を示す。
DDA:ダイマー酸型ジアミン(クローダジャパン株式会社製、商品名;PRIAMINE1074、炭素数;36、アミン価;210mgKOH/g、ダイマー成分の含有量;95重量%以上)
m−TB:2,2’−ジメチルー4,4’−ジアミノビフェニル
TPE−R:1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
TPE−Q:1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン
APB:1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン
BAPP:2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン
PMDA:ピロメリット酸二無水物
BPDA:3,3’、4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
DMAc:N,N−ジメチルアセトアミド
Abbreviations used in Examples and Comparative Examples indicate the following compounds.
DDA: Dimer acid type diamine (trade name; PRIAMINE 1074, carbon number: 36, amine value: 210 mgKOH / g, content of dimer component: 95% by weight or more)
m-TB: 2,2′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl TPE-R: 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene TPE-Q: 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene APB : 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene BAPP: 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane PMDA: pyromellitic dianhydride BPDA: 3, 3 ′, 4, 4 '-Biphenyltetracarboxylic dianhydride DMAc: N, N-dimethylacetamide

合成例1
300mlのセパラブルフラスコに、2.578gのDDA(4.82mmol)、1.410gのTPE−R(4.82mmol)、15.022gのm−TB(70.76mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.661gのBPDA(15.84mmol)及び13.821gのPMDA(63.36mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Aを得た。得られたポリアミド酸溶液Aの粘度は8,900cP、重量平均分子量(Mw)は114,000であった。
Synthesis example 1
In a 300 ml separable flask, 2.578 g DDA (4.82 mmol), 1.410 g TPE-R (4.82 mmol), 15.022 g m-TB (70.76 mmol), 212.5 g DMAc. The mixture was stirred and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.661 g of BPDA (15.84 mmol) and 13.821 g of PMDA (63.36 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution A. The resulting polyamic acid solution A had a viscosity of 8,900 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 114,000.

合成例2
300mlのセパラブルフラスコに、2.558gのDDA(4.79mmol)、1.866gのTPE−R(6.38mmol)、14.568gのm−TB(68.62mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.625gのBPDA(15.72mmol)及び13.715gのPMDA(62.88mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Bを得た。得られたポリアミド酸溶液Bの粘度は9,500cP、重量平均分子量(Mw)は120,000であった。
Synthesis example 2
In a 300 ml separable flask, 2.558 g DDA (4.79 mmol), 1.866 g TPE-R (6.38 mmol), 14.568 g m-TB (68.62 mmol), 212.5 g DMAc. The mixture was stirred and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.625 g of BPDA (15.72 mmol) and 13.715 g of PMDA (62.88 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution B. The resulting polyamic acid solution B had a viscosity of 9,500 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 120,000.

合成例3
300mlのセパラブルフラスコに、2.152gのDDA(4.03mmol)、2.355gのTPE−R(8.05mmol)、14.534gのm−TB(68.46mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.669gのBPDA(15.87mmol)及び13.844gのPMDA(63.47mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Cを得た。得られたポリアミド酸溶液Cの粘度は13,700cP、重量平均分子量(Mw)は126,000であった。
Synthesis example 3
In a 300 ml separable flask, 2.152 g DDA (4.03 mmol), 2.355 g TPE-R (8.05 mmol), 14.534 g m-TB (68.46 mmol), 212.5 g DMAc. The mixture was stirred and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.669 g of BPDA (15.87 mmol) and 13.844 g of PMDA (63.47 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution C. The resulting polyamic acid solution C had a viscosity of 13,700 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 126,000.

合成例4
300mlのセパラブルフラスコに、1.316gのDDA(2.46mmol)、2.401gのTPE−R(8.21mmol)、15.169gのm−TB(71.45mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.760gのBPDA(16.18mmol)及び14.116gのPMDA(64.72mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Dを得た。得られたポリアミド酸溶液Dの粘度は10,000cP、重量平均分子量(Mw)は112,000であった。
Synthesis example 4
In a 300 ml separable flask, 1.316 g DDA (2.46 mmol), 2.401 g TPE-R (8.21 mmol), 15.169 g m-TB (71.45 mmol), 212.5 g DMAc. The mixture was stirred and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.760 g of BPDA (16.18 mmol) and 14.116 g of PMDA (64.72 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution D. The resulting polyamic acid solution D had a viscosity of 10,000 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 112,000.

合成例5
300mlのセパラブルフラスコに、7.056gのTPE−R(24.1mmol)、11.957gのm−TB(56.24mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.664gのBPDA(15.83mmol)及び13.824gのPMDA(63.31mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Eを得た。得られたポリアミド酸溶液Eの粘度は6,200cP、重量平均分子量(Mw)は111,000であった。
Synthesis example 5
To a 300 ml separable flask, 7.056 g of TPE-R (24.1 mmol), 11.957 g of m-TB (56.24 mmol), and 212.5 g of DMAc were added and stirred at room temperature under a nitrogen stream. . After sufficiently stirring, 4.664 g of BPDA (15.83 mmol) and 13.824 g of PMDA (63.31 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution E. The resulting polyamic acid solution E had a viscosity of 6,200 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 111,000.

合成例6
300mlのセパラブルフラスコに、4.786gのTPE−R(16.35mmol)、13.904gのm−TB(65.40mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.746gのBPDA(16.10mmol)及び14.065gのPMDA(64.42mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Fを得た。得られたポリアミド酸溶液Fの粘度は19,600cP、重量平均分子量(Mw)は155,000であった。
Synthesis Example 6
A 300 ml separable flask was charged with 4.786 g of TPE-R (16.35 mmol), 13.904 g of m-TB (65.40 mmol), and 212.5 g of DMAc, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. . After sufficiently stirring, 4.746 g of BPDA (16.10 mmol) and 14.065 g of PMDA (64.42 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution F. The resulting polyamic acid solution F had a viscosity of 19,600 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 155,000.

合成例7
300mlのセパラブルフラスコに、2.396gのTPE−R(8.18mmol)、15.659gのm−TB(73.65mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、7.126gのBPDA(24.18mmol)及び12.320gのPMDA(56.43mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Gを得た。得られたポリアミド酸溶液Gの粘度は28,300cP、重量平均分子量(Mw)は146,000であった。
Synthesis example 7
A 300 ml separable flask was charged with 2.396 g of TPE-R (8.18 mmol), 15.659 g of m-TB (73.65 mmol), and 212.5 g of DMAc, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. . After sufficiently stirring, 7.126 g of BPDA (24.18 mmol) and 12.320 g of PMDA (56.43 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution G. The resulting polyamic acid solution G had a viscosity of 28,300 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 146,000.

合成例8
300mlのセパラブルフラスコに、2.491gのDDA(4.66mmol)、3.189gのBAPP(7.77mmol)、13.854gのm−TB(65.26mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.503gのBPDA(15.30mmol)及び13.353gのPMDA(61.22mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Hを得た。得られたポリアミド酸溶液Hの粘度は1,900cP、重量平均分子量(Mw)は77,000であった。
Synthesis Example 8
A 300 ml separable flask was charged with 2.491 g DDA (4.66 mmol), 3.189 g BAPP (7.77 mmol), 13.854 g m-TB (65.26 mmol), 212.5 g DMAc. The mixture was stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.503 g of BPDA (15.30 mmol) and 13.353 g of PMDA (61.22 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution H. The resulting polyamic acid solution H had a viscosity of 1,900 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 77,000.

合成例9
300mlのセパラブルフラスコに、1.316gのDDA(2.46mmol)、2.401gのTPE−R(8.21mmol)、15.169gのm−TB(71.45mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.760gのBPDA(16.18mmol)及び14.116gのPMDA(64.72mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Iを得た。得られたポリアミド酸溶液Iの粘度は10,000cP、重量平均分子量(Mw)は112,000であった。
Synthesis Example 9
In a 300 ml separable flask, 1.316 g DDA (2.46 mmol), 2.401 g TPE-R (8.21 mmol), 15.169 g m-TB (71.45 mmol), 212.5 g DMAc. The mixture was stirred and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.760 g of BPDA (16.18 mmol) and 14.116 g of PMDA (64.72 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution I. The resulting polyamic acid solution I had a viscosity of 10,000 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 112,000.

合成例10
300mlのセパラブルフラスコに、7.056gのTPE−R(24.1mmol)、11.957gのm−TB(56.24mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.664gのBPDA(15.83mmol)及び13.824gのPMDA(63.31mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Jを得た。得られたポリアミド酸溶液Jの粘度は6,200cP、重量平均分子量(Mw)は111,000であった。
Synthesis Example 10
To a 300 ml separable flask, 7.056 g of TPE-R (24.1 mmol), 11.957 g of m-TB (56.24 mmol), and 212.5 g of DMAc were added and stirred at room temperature under a nitrogen stream. . After sufficiently stirring, 4.664 g of BPDA (15.83 mmol) and 13.824 g of PMDA (63.31 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution J. The resulting polyamic acid solution J had a viscosity of 6,200 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 111,000.

合成例11
300mlのセパラブルフラスコに、4.786gのTPE−R(16.35mmol)、13.904gのm−TB(65.40mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.746gのBPDA(16.10mmol)及び14.065gのPMDA(64.42mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Kを得た。得られたポリアミド酸溶液Kの粘度は19,600cP、重量平均分子量(Mw)は155,000であった。
Synthesis Example 11
A 300 ml separable flask was charged with 4.786 g of TPE-R (16.35 mmol), 13.904 g of m-TB (65.40 mmol), and 212.5 g of DMAc, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. . After sufficiently stirring, 4.746 g of BPDA (16.10 mmol) and 14.065 g of PMDA (64.42 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution K. The resulting polyamic acid solution K had a viscosity of 19,600 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 155,000.

合成例12
300mlのセパラブルフラスコに、2.396gのTPE−R(8.18mmol)、15.659gのm−TB(73.65mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、7.126gのBPDA(24.18mmol)及び12.320gのPMDA(56.43mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Lを得た。得られたポリアミド酸溶液Lの粘度は28,300cP、重量平均分子量(Mw)は146,000であった。
Synthesis Example 12
A 300 ml separable flask was charged with 2.396 g of TPE-R (8.18 mmol), 15.659 g of m-TB (73.65 mmol), and 212.5 g of DMAc, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. . After sufficiently stirring, 7.126 g of BPDA (24.18 mmol) and 12.320 g of PMDA (56.43 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution L. The resulting polyamic acid solution L had a viscosity of 28,300 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 146,000.

合成例13
300mlのセパラブルフラスコに、4.228gのDDA(7.91mmol)、15.120gのm−TB(71.22mmol)、212.5gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、4.578gのBPDA(15.56mmol)及び13.574gのPMDA(62.23mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Mを得た。得られたポリアミド酸溶液Mの粘度は12,800cP、重量平均分子量(Mw)は115,000であった。
Synthesis Example 13
A 300 ml separable flask was charged with 4.228 g of DDA (7.91 mmol), 15.120 g of m-TB (71.22 mmol), and 212.5 g of DMAc, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 4.578 g of BPDA (15.56 mmol) and 13.574 g of PMDA (62.23 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution M. The obtained polyamic acid solution M had a viscosity of 12,800 cP and a weight average molecular weight (Mw) of 115,000.

合成例14
300mlのセパラブルフラスコに、10.681gのBAPP(26.02mmol)、1.127gのDDA(2.11mmol)及び132gのDMAcを投入し、室温、窒素気流下で撹拌した。充分に撹拌した後、0.411gのBPDA(1.40mmol)及び5.782gのPMDA(26.51mmol)を添加し、室温で4時間撹拌してポリアミド酸溶液Nを得た。得られたポリアミド酸溶液Nの粘度は2,700cP、重量平均分子量(Mw)は233,000であった。
Synthesis Example 14
A 300 ml separable flask was charged with 10.681 g of BAPP (26.02 mmol), 1.127 g of DDA (2.11 mmol) and 132 g of DMAc, and stirred at room temperature under a nitrogen stream. After sufficiently stirring, 0.411 g of BPDA (1.40 mmol) and 5.782 g of PMDA (26.51 mmol) were added and stirred at room temperature for 4 hours to obtain a polyamic acid solution N. The viscosity of the obtained polyamic acid solution N was 2,700 cP, and the weight average molecular weight (Mw) was 233,000.

Figure 2016188298
Figure 2016188298

実施例1
厚さ12μmの電解銅箔上に、熱処理後の厚みが約25μmとなるようポリアミド酸溶液Aを均一に塗布し、120℃で3分間加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させて、合計約20分の熱処理(熱処理条件1)によりイミド化を行った。得られた銅張積層板について、銅箔をエッチング除去し、ポリイミドフィルムを得た。また、乾燥後の熱処理を130℃から360℃まで段階的に昇温させ、合計約180分の熱処理(熱処理条件2)によりイミド化を行った以外は、前述と同様にしてフィルムを作製した。2つの熱処理条件により得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 1
Polyamic acid solution A was uniformly applied onto an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm so that the thickness after heat treatment was about 25 μm, and the solvent was removed by heating and drying at 120 ° C. for 3 minutes. Thereafter, the temperature was raised stepwise from 130 ° C. to 360 ° C., and imidization was performed by heat treatment (heat treatment condition 1) for a total of about 20 minutes. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away and the polyimide film was obtained. Further, a film was produced in the same manner as described above except that the heat treatment after drying was stepwise raised from 130 ° C. to 360 ° C. and imidization was performed by a heat treatment (heat treatment condition 2) of about 180 minutes in total. The characteristics of the film obtained by the two heat treatment conditions are shown in the table.

実施例2
ポリアミド酸溶液Bを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 2
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution B was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

実施例3
ポリアミド酸溶液Cを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 3
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution C was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

実施例4
厚さ12μmの電解銅箔上に、熱処理後の厚みが約25μmとなるようポリアミド酸溶液Dを均一に塗布し、120℃で3分間加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させて、合計約20分の熱処理(熱処理条件1)によりイミド化を行った。得られた銅張積層板について、銅箔をエッチング除去し、ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 4
The polyamic acid solution D was uniformly applied onto an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm so that the thickness after heat treatment was about 25 μm, and the solvent was removed by heating and drying at 120 ° C. for 3 minutes. Thereafter, the temperature was raised stepwise from 130 ° C. to 360 ° C., and imidization was performed by heat treatment (heat treatment condition 1) for a total of about 20 minutes. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away and the polyimide film was obtained. The properties of the obtained film are shown in the table.

実施例5
ポリアミド酸溶液Eを用いた以外は実施例4と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 5
A film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the polyamic acid solution E was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

実施例6
ポリアミド酸溶液Fを用いた以外は実施例4と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 6
A film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the polyamic acid solution F was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

実施例7
ポリアミド酸溶液Gを用いた以外は実施例4と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 7
A film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the polyamic acid solution G was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

実施例8
ポリアミド酸溶液Hを用いた以外は実施例4と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Example 8
A film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the polyamic acid solution H was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

比較例1
ポリアミド酸溶液Dを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Comparative Example 1
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution D was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

比較例2
ポリアミド酸溶液Eを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Comparative Example 2
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution E was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

比較例3
ポリアミド酸溶液Fを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Comparative Example 3
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution F was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

比較例4
ポリアミド酸溶液Gを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Comparative Example 4
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution G was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

比較例5
ポリアミド酸溶液Mを用いた以外は実施例1と同様にしてフィルムを得た。得られたフィルムの特性を表に示す。
Comparative Example 5
A film was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polyamic acid solution M was used. The properties of the obtained film are shown in the table.

Figure 2016188298
Figure 2016188298

試験例1
厚さ12μmの電解銅箔上に、熱処理後の厚みが約4μmとなるようポリアミド酸溶液Nを均一に塗布し、120℃で1分30秒加熱乾燥して溶媒を除去した。その上に、熱処理後の厚みが約42μmとなるようポリアミド酸溶液Aを均一に塗布し、120℃で5分間加熱乾燥して溶媒を除去した。さらにその上に、熱処理後の厚みが約4μmとなるようポリアミド酸溶液Nを均一に塗布し、120℃で1分30秒加熱乾燥して溶媒を除去した。その後、130℃から360℃まで段階的に昇温させて、イミド化を行った。得られた銅張積層板について、銅箔をエッチング除去し、ポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの寸法変化率を表に示す。
Test example 1
A polyamic acid solution N was uniformly applied onto an electrolytic copper foil having a thickness of 12 μm so that the thickness after the heat treatment was about 4 μm, and the solvent was removed by heating and drying at 120 ° C. for 1 minute and 30 seconds. On top of that, the polyamic acid solution A was uniformly applied so that the thickness after heat treatment was about 42 μm, and the solvent was removed by heating and drying at 120 ° C. for 5 minutes. Furthermore, the polyamic acid solution N was uniformly applied so that the thickness after the heat treatment was about 4 μm, and the solvent was removed by heating and drying at 120 ° C. for 1 minute and 30 seconds. Thereafter, the temperature was raised stepwise from 130 ° C. to 360 ° C. to perform imidization. About the obtained copper clad laminated board, the copper foil was etched away and the polyimide film was obtained. The dimensional change rate of the obtained film is shown in the table.

試験例2
ポリアミド酸溶液Aの代わりにポリアミド酸Mを用いた以外は参考例7と同様にしてポリイミドフィルムを得た。得られたフィルムの寸法変化率を表に示す。
Test example 2
A polyimide film was obtained in the same manner as in Reference Example 7 except that the polyamic acid M was used in place of the polyamic acid solution A. The dimensional change rate of the obtained film is shown in the table.

Figure 2016188298
Figure 2016188298

表3から、ポリイミドの原料としてダイマー酸型ジアミンを含むことにより、低誘電率・低誘電正接になり、熱処理条件による誘電正接の影響を受けにくくなる。しかし、ダイマー酸型ジアミンを多く加えすぎると、エッチング後の寸法変化率と加熱後の寸法変化率の差が大きくなり、両方を好ましい範囲(±0.10以内)に収めることが難しくなる。   From Table 3, by including dimer acid type diamine as a raw material of polyimide, low dielectric constant and low dielectric loss tangent are obtained, and it is difficult to be affected by dielectric loss tangent due to heat treatment conditions. However, if too much dimer acid type diamine is added, the difference between the dimensional change rate after etching and the dimensional change rate after heating becomes large, and it is difficult to keep both within the preferable range (within ± 0.10).

以上、本発明の実施の形態を例示の目的で詳細に説明したが、本発明は上記実施の形態に制約されることはなく、種々の変形が可能である。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described in detail for the purpose of illustration, this invention is not restrict | limited to the said embodiment, A various deformation | transformation is possible.

Claims (5)

テトラカルボン酸二無水物成分とジアミン成分を反応させて得られるポリイミドであって、以下(i)〜(iv)の条件;
i)全テトラカルボン酸二無水物中、ピロメリット酸二無水物を70〜100モル%の範囲内で含有すること;
ii)全ジアミン中、ダイマー酸の二つの末端カルボン酸基が1級のアミノメチル基またはアミノ基に置換されてなるダイマー酸型ジアミンを4〜8モル%の範囲内で含有すること;
iii)全ジアミン中、下記の式(1)で表されるジアミンAを76〜92モル%の範囲内で含有すること;
Figure 2016188298
[Rは炭素数3以下のアルキル基、−CF、又は、−CH=CHを意味する]
iv)全ジアミン中、下記の式(2)で表されるジアミンBを4〜16モル%の範囲内で含有すること;
Figure 2016188298
[式中、Xは以下の構造を意味する]
Figure 2016188298
を満たすことを特徴とするポリイミド。
A polyimide obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride component and a diamine component, the following conditions (i) to (iv);
i) containing pyromellitic dianhydride in the range of 70 to 100 mol% in all tetracarboxylic dianhydrides;
ii) The dimer acid type diamine in which the two terminal carboxylic acid groups of the dimer acid are substituted with primary aminomethyl groups or amino groups in the total diamine within a range of 4 to 8 mol%;
iii) containing diamine A represented by the following formula (1) in the range of 76 to 92 mol% in all diamines;
Figure 2016188298
[R represents an alkyl group having 3 or less carbon atoms, —CF 3 , or —CH═CH 2 ]
iv) In all diamines, the diamine B represented by the following formula (2) is contained within a range of 4 to 16 mol%;
Figure 2016188298
[Wherein X means the following structure]
Figure 2016188298
Polyimide characterized by satisfying
イミド基濃度が31〜33重量%の範囲内である請求項1に記載のポリイミド。   The polyimide according to claim 1, wherein the imide group concentration is in the range of 31 to 33% by weight. 単層又は複数層のポリイミド層を有する樹脂フィルムであって、
前記ポリイミド層の少なくとも1層が、請求項1又は2に記載のポリイミドによって構成されていることを特徴とする樹脂フィルム。
A resin film having a single layer or a plurality of polyimide layers,
At least 1 layer of the said polyimide layer is comprised by the polyimide of Claim 1 or 2, The resin film characterized by the above-mentioned.
絶縁樹脂層と金属層とを備えた金属張積層体であって、絶縁樹脂層が請求項3に記載の樹脂フィルムからなる金属張積層体。   A metal-clad laminate comprising an insulating resin layer and a metal layer, wherein the insulating resin layer comprises the resin film according to claim 3. 請求項4に記載の金属張積層体の前記金属層を配線に加工してなる回路基板。   A circuit board obtained by processing the metal layer of the metal-clad laminate according to claim 4 into a wiring.
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